JP2002321841A - 板状体の取り出し装置 - Google Patents
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】シリコンウエハー等のウエハー体に発生する応
力の集中を抑制しつつ、ウエハー体を取り出す。 【解決手段】昇降体１１を下降させて、一対の非変位接
触部１２及び一対の変位接触部１３を最上層のシリコン
ウエハー２１の表面に接触させる。一対の非変位接触部
１２及一対の変位接触部１３の各吸着パッド１４の開口
部から空気を吸引し、各吸着パッド１４によりシリコン
ウエハー２１の表面を吸引する。そして、一対の変位接
触部１３を上昇させて、シリコンウエハー２１の２つの
角部２１ｂを持ち上げる。このとき、一対の非変位接触
部１２によってシリコンウエハー２１の２つの角部２１
ａが押えられるので、シリコンウエハー２１が反って下
側の他のシリコンウエハーから分離される。
力の集中を抑制しつつ、ウエハー体を取り出す。 【解決手段】昇降体１１を下降させて、一対の非変位接
触部１２及び一対の変位接触部１３を最上層のシリコン
ウエハー２１の表面に接触させる。一対の非変位接触部
１２及一対の変位接触部１３の各吸着パッド１４の開口
部から空気を吸引し、各吸着パッド１４によりシリコン
ウエハー２１の表面を吸引する。そして、一対の変位接
触部１３を上昇させて、シリコンウエハー２１の２つの
角部２１ｂを持ち上げる。このとき、一対の非変位接触
部１２によってシリコンウエハー２１の２つの角部２１
ａが押えられるので、シリコンウエハー２１が反って下
側の他のシリコンウエハーから分離される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば積層された
多数の板状のシリコンウエハーを１枚ずつ分離して取り
出す板状体の取り出し装置に関する。
多数の板状のシリコンウエハーを１枚ずつ分離して取り
出す板状体の取り出し装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】太陽電池のセル生産工程においては、多
数のシリコンウエハーが積層された状態で投入されるの
で、ここからシリコンウエハーを１枚ずつ分離して取り
出す必要があり、このための専用装置が用いられる。こ
の種の従来の装置は、例えば図６に示す様なものであっ
て、昇降体１０１と、昇降体１０１下面に設けられた非
変位接触部１０２と、昇降体１０１下面に設けられ、非
変位接触部１０２の両側に配置された一対の変位接触部
１０３とを備えている。昇降体１０１は、図示しないエ
アシリンダー機構等により昇降される。一対の変位接触
部１０３は、図示しない昇降機構により昇降体１０１対
して昇降され、それらの下端にそれぞれの吸着パッド１
０４を有している。また、積層された多数のシリコンウ
エハー１１１は、略正方形である。
数のシリコンウエハーが積層された状態で投入されるの
で、ここからシリコンウエハーを１枚ずつ分離して取り
出す必要があり、このための専用装置が用いられる。こ
の種の従来の装置は、例えば図６に示す様なものであっ
て、昇降体１０１と、昇降体１０１下面に設けられた非
変位接触部１０２と、昇降体１０１下面に設けられ、非
変位接触部１０２の両側に配置された一対の変位接触部
１０３とを備えている。昇降体１０１は、図示しないエ
アシリンダー機構等により昇降される。一対の変位接触
部１０３は、図示しない昇降機構により昇降体１０１対
して昇降され、それらの下端にそれぞれの吸着パッド１
０４を有している。また、積層された多数のシリコンウ
エハー１１１は、略正方形である。
【０００３】図７（ａ）〜（ｄ）は、図６の矢印Ａ方向
から見た側面図であり、従来の装置によるシリコンウエ
ハー１１１の取り出し手順を示している。
から見た側面図であり、従来の装置によるシリコンウエ
ハー１１１の取り出し手順を示している。
【０００４】図７（ａ）に示す様に昇降体１０１を最上
層のシリコンウエハー１１１上に配置し、図７（ｂ）に
示す様に昇降体１０１を下降させて、非変位接触部１０
２及び一対の変位接触部１０３をシリコンウエハー１１
１の表面に接触させる。引き続いて、図７（ｃ）に示す
様に一対の変位接触部１０３の吸着パッド１０４により
シリコンウエハー１１１の表面を吸引しつつ、一対の変
位接触部１０３を上昇させて、シリコンウエハー１１１
の対角線上の２つの角近傍を持ち上げる。このとき、非
変位接触部１０２によってシリコンウエハー１１１の中
央が押えられるので、シリコンウエハー１１１が反っ
て、シリコンウエハー１１１と下側の他のシリコンウエ
ハー間に隙間が生じ、１枚のシリコンウエハー１１１が
分離される。更に、図７（ｄ）に示す様に昇降体１０１
を上昇させて、シリコンウエハー１１１を取り出す。
層のシリコンウエハー１１１上に配置し、図７（ｂ）に
示す様に昇降体１０１を下降させて、非変位接触部１０
２及び一対の変位接触部１０３をシリコンウエハー１１
１の表面に接触させる。引き続いて、図７（ｃ）に示す
様に一対の変位接触部１０３の吸着パッド１０４により
シリコンウエハー１１１の表面を吸引しつつ、一対の変
位接触部１０３を上昇させて、シリコンウエハー１１１
の対角線上の２つの角近傍を持ち上げる。このとき、非
変位接触部１０２によってシリコンウエハー１１１の中
央が押えられるので、シリコンウエハー１１１が反っ
て、シリコンウエハー１１１と下側の他のシリコンウエ
ハー間に隙間が生じ、１枚のシリコンウエハー１１１が
分離される。更に、図７（ｄ）に示す様に昇降体１０１
を上昇させて、シリコンウエハー１１１を取り出す。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の装置では、シリコンウエハー１１１の取り出しに際
し、シリコンウエハー１１１の破損を招くことが多かっ
た。これは、シリコンウエハー１１１を反らせたとき
に、シリコンウエハー１１１に作用する応力がその強度
を超えるためである。図８は、従来の装置により反らさ
れたシリコンウエハー１１１のフォンミーゼス応力分布
を示すものであって、多数の等応力線によって応力分布
を表わしている。図８から明らかな様に、大きな応力が
シリコンウエハー１１１の中央に集中して発生してお
り、シリコンウエハー１１１の破損を招き易い状態であ
ることが分かる。
来の装置では、シリコンウエハー１１１の取り出しに際
し、シリコンウエハー１１１の破損を招くことが多かっ
た。これは、シリコンウエハー１１１を反らせたとき
に、シリコンウエハー１１１に作用する応力がその強度
を超えるためである。図８は、従来の装置により反らさ
れたシリコンウエハー１１１のフォンミーゼス応力分布
を示すものであって、多数の等応力線によって応力分布
を表わしている。図８から明らかな様に、大きな応力が
シリコンウエハー１１１の中央に集中して発生してお
り、シリコンウエハー１１１の破損を招き易い状態であ
ることが分かる。
【０００６】そこで、本発明は、上記従来の問題点に鑑
みてなされたものであり、シリコンウエハー等の板状体
に発生する応力の集中を抑制しつつ、板状体を取り出す
ことが可能な板状体の取り出し装置を提供することを目
的とする。
みてなされたものであり、シリコンウエハー等の板状体
に発生する応力の集中を抑制しつつ、板状体を取り出す
ことが可能な板状体の取り出し装置を提供することを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、積層された複数枚の板状体を１枚ずつ分
離して取り出す板状体の取り出し装置において、板状体
の表面に接触する一対の非変位接触部と一対の変位接触
部を備え、一対の非変位接触部を板状体の表面中心に対
して対称なそれぞれの位置に配置すると共に、一対の変
位接触部を板状体の表面中心に対して対称な別のそれぞ
れの位置に配置し、少なくとも一対の変位接触部によっ
て板状体の表面を吸引しつつ、一対の変位接触部を変位
させると共に、一対の非変位接触部によって板状体の表
面を押えることにより、板状体を反らせて、板状体を分
離している。
に、本発明は、積層された複数枚の板状体を１枚ずつ分
離して取り出す板状体の取り出し装置において、板状体
の表面に接触する一対の非変位接触部と一対の変位接触
部を備え、一対の非変位接触部を板状体の表面中心に対
して対称なそれぞれの位置に配置すると共に、一対の変
位接触部を板状体の表面中心に対して対称な別のそれぞ
れの位置に配置し、少なくとも一対の変位接触部によっ
て板状体の表面を吸引しつつ、一対の変位接触部を変位
させると共に、一対の非変位接触部によって板状体の表
面を押えることにより、板状体を反らせて、板状体を分
離している。
【０００８】この様な構成の本発明によれば、一対の非
変位接触部は、板状体の表面中心に対して対称なそれぞ
れの位置に配置され、板状体の表面を押える。また、一
対の変位接触部は、板状体の表面中心に対して対称な別
のそれぞれの位置に配置され、板状体の表面を吸引しつ
つ変位する。つまり、板状体の表面中心に対して対称な
それぞれの位置を押えつつ、板状体の表面中心に対して
対称な別のそれぞれの位置を吸引して変位させている。
これにより、板状体が反って下側の他の板状体から分離
される。このとき、応力は、板状体の表面中心から外れ
た４つの位置で生じ、これらの位置から板状体全体に分
散するので、板状体が破損せずに済む。
変位接触部は、板状体の表面中心に対して対称なそれぞ
れの位置に配置され、板状体の表面を押える。また、一
対の変位接触部は、板状体の表面中心に対して対称な別
のそれぞれの位置に配置され、板状体の表面を吸引しつ
つ変位する。つまり、板状体の表面中心に対して対称な
それぞれの位置を押えつつ、板状体の表面中心に対して
対称な別のそれぞれの位置を吸引して変位させている。
これにより、板状体が反って下側の他の板状体から分離
される。このとき、応力は、板状体の表面中心から外れ
た４つの位置で生じ、これらの位置から板状体全体に分
散するので、板状体が破損せずに済む。
【０００９】また、本発明においては、一対の変位接触
部は、板状体の表面を吸引するそれぞれの吸着パッドを
有しており、板状体の表面の吸引に際し、各吸着パッド
の変形により板状体の表面に対するそれぞれの接触箇所
が変位する。
部は、板状体の表面を吸引するそれぞれの吸着パッドを
有しており、板状体の表面の吸引に際し、各吸着パッド
の変形により板状体の表面に対するそれぞれの接触箇所
が変位する。
【００１０】ここでは、板状体の表面を吸引するために
吸着パッドを用いている。この吸着パッドは、弾性を有
している。このため、吸引のときには、吸着パッドが変
形し、その接触箇所が変位する。従って、吸着パッドに
より、板状体の表面の吸引と接触箇所の変位が同時にな
される。
吸着パッドを用いている。この吸着パッドは、弾性を有
している。このため、吸引のときには、吸着パッドが変
形し、その接触箇所が変位する。従って、吸着パッドに
より、板状体の表面の吸引と接触箇所の変位が同時にな
される。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を添付図
面を参照して詳細に説明する。
面を参照して詳細に説明する。
【００１２】図１は、本発明の板状体の取り出し装置の
第１実施形態を示す斜視図である。本実施形態の装置
は、昇降体１１と、昇降体１１下面に設けられた一対の
非変位接触部１２及び一対の変位接触部１３とを備えて
おり、積層された略正方形の多数のシリコンウエハー２
１を１枚ずつ取り出すものである。一対の非変位接触部
１２は、シリコンウエハー２１の対角線上の２つの角部
２１ａに対向する様に配置されている。また、一対の変
位接触部１３は、シリコンウエハー２１の他の対角線上
の別の２つの角部２１ｂに対向する様に配置されてい
る。
第１実施形態を示す斜視図である。本実施形態の装置
は、昇降体１１と、昇降体１１下面に設けられた一対の
非変位接触部１２及び一対の変位接触部１３とを備えて
おり、積層された略正方形の多数のシリコンウエハー２
１を１枚ずつ取り出すものである。一対の非変位接触部
１２は、シリコンウエハー２１の対角線上の２つの角部
２１ａに対向する様に配置されている。また、一対の変
位接触部１３は、シリコンウエハー２１の他の対角線上
の別の２つの角部２１ｂに対向する様に配置されてい
る。
【００１３】昇降体１１は、図示しないエアシリンダー
機構等により昇降される。一対の変位接触部１３は、図
示しない昇降機構により昇降体１１に対して昇降され
る。一対の非変位接触部１２及一対の変位接触部１３の
下端には、それぞれの吸着パッド１４を設けている。各
吸着パッド１４は、図示しない真空ポンプに接続されて
おり、各吸着パッド１４の開口部から真空ポンプへと空
気が吸引される。
機構等により昇降される。一対の変位接触部１３は、図
示しない昇降機構により昇降体１１に対して昇降され
る。一対の非変位接触部１２及一対の変位接触部１３の
下端には、それぞれの吸着パッド１４を設けている。各
吸着パッド１４は、図示しない真空ポンプに接続されて
おり、各吸着パッド１４の開口部から真空ポンプへと空
気が吸引される。
【００１４】図２（ａ）〜（ｅ）は、図１の矢印Ａ方向
から見た側面図であり、本実施形態の装置によるシリコ
ンウエハー２１の取り出し手順を示している。
から見た側面図であり、本実施形態の装置によるシリコ
ンウエハー２１の取り出し手順を示している。
【００１５】図２（ａ）に示す様に昇降体１１を最上層
のシリコンウエハー２１上に配置し、図２（ｂ）に示す
様に昇降体１１を下降させて、一対の非変位接触部１２
及び一対の変位接触部１３をシリコンウエハー２１の表
面に接触させる。
のシリコンウエハー２１上に配置し、図２（ｂ）に示す
様に昇降体１１を下降させて、一対の非変位接触部１２
及び一対の変位接触部１３をシリコンウエハー２１の表
面に接触させる。
【００１６】引き続いて、図２（ｃ）に示す様に一対の
非変位接触部１２及一対の変位接触部１３の各吸着パッ
ド１４の開口部から空気を吸引し、各吸着パッド１４に
よりシリコンウエハー２１の表面を吸引する。そして、
図２（ｄ）に示す様に一対の変位接触部１３を上昇させ
て、シリコンウエハー２１の２つの角部２１ｂを持ち上
げる。このとき、一対の非変位接触部１２によってシリ
コンウエハー２１の２つの角部２１ａが押えられるの
で、シリコンウエハー２１が反って、シリコンウエハー
２１と下側の他のシリコンウエハー間に隙間が生じ、１
枚のシリコンウエハー２１が分離される。更に、シリコ
ンウエハー２１と下側の他のシリコンウエハーの隙間
に、空気を吹き付けて、シリコンウエハー２１を分離さ
せ易くしても良い。
非変位接触部１２及一対の変位接触部１３の各吸着パッ
ド１４の開口部から空気を吸引し、各吸着パッド１４に
よりシリコンウエハー２１の表面を吸引する。そして、
図２（ｄ）に示す様に一対の変位接触部１３を上昇させ
て、シリコンウエハー２１の２つの角部２１ｂを持ち上
げる。このとき、一対の非変位接触部１２によってシリ
コンウエハー２１の２つの角部２１ａが押えられるの
で、シリコンウエハー２１が反って、シリコンウエハー
２１と下側の他のシリコンウエハー間に隙間が生じ、１
枚のシリコンウエハー２１が分離される。更に、シリコ
ンウエハー２１と下側の他のシリコンウエハーの隙間
に、空気を吹き付けて、シリコンウエハー２１を分離さ
せ易くしても良い。
【００１７】最後に、図２（ｄ）に示す様に昇降体１１
を上昇させて、シリコンウエハー２１を取り出す。
を上昇させて、シリコンウエハー２１を取り出す。
【００１８】ここで、シリコンウエハー２１の２つの角
部２１ｂを持ち上げつつ、２つの角部２１ａを押える
と、その応力は、４つの角部２１ａ、２１ｂで生じ、こ
れらの角部２１ａ、２１ｂからシリコンウエハー２１全
体に分散する。図３は、本実施形態の装置により反らさ
れたシリコンウエハー２１のフォンミーゼス応力分布を
示すものであって、多数の等応力線によって応力分布を
表わしている。図３に示す応力分布から明らかな様に、
応力がシリコンウエハー２１中央に集中せずに分散して
いる。このため、シリコンウエハー２１が破損せずに済
む。
部２１ｂを持ち上げつつ、２つの角部２１ａを押える
と、その応力は、４つの角部２１ａ、２１ｂで生じ、こ
れらの角部２１ａ、２１ｂからシリコンウエハー２１全
体に分散する。図３は、本実施形態の装置により反らさ
れたシリコンウエハー２１のフォンミーゼス応力分布を
示すものであって、多数の等応力線によって応力分布を
表わしている。図３に示す応力分布から明らかな様に、
応力がシリコンウエハー２１中央に集中せずに分散して
いる。このため、シリコンウエハー２１が破損せずに済
む。
【００１９】本実施形態の装置において、１２５ｍｍ
□、厚み３４０μｍのシリコンウエハーの２つの角部を
１０ｍｍ持ち上げて反らし、そのときの最大応力を測定
すると、７２ＭＰａであった。これに対して、図６に示
す従来の装置において、同一サイズのシリコンウエハー
の２つの角部を１０ｍｍ反らすと、最大応力が１８７Ｍ
Ｐａであった。従って、本実施形態の装置を使用すれ
ば、従来の装置と比較して、シリコンウエハーに作用す
る最大応力を半分以下に低減することができる。
□、厚み３４０μｍのシリコンウエハーの２つの角部を
１０ｍｍ持ち上げて反らし、そのときの最大応力を測定
すると、７２ＭＰａであった。これに対して、図６に示
す従来の装置において、同一サイズのシリコンウエハー
の２つの角部を１０ｍｍ反らすと、最大応力が１８７Ｍ
Ｐａであった。従って、本実施形態の装置を使用すれ
ば、従来の装置と比較して、シリコンウエハーに作用す
る最大応力を半分以下に低減することができる。
【００２０】図４は、本発明の板状体の取り出し装置の
第２実施形態を示す斜視図である。本実施形態の装置
は、図示しないエアシリンダー機構等により昇降される
昇降体３１と、昇降体３１下面に設けられた一対の非変
位接触部３２及び一対の変位接触部３３とを備えてい
る。一対の非変位接触部３２は、シリコンウエハー２１
の２つの角部２１ａに対向配置されている。また、一対
の変位接触部３３は、シリコンウエハー２１の別の２つ
の角部２１ｂに対向配置されている。
第２実施形態を示す斜視図である。本実施形態の装置
は、図示しないエアシリンダー機構等により昇降される
昇降体３１と、昇降体３１下面に設けられた一対の非変
位接触部３２及び一対の変位接触部３３とを備えてい
る。一対の非変位接触部３２は、シリコンウエハー２１
の２つの角部２１ａに対向配置されている。また、一対
の変位接触部３３は、シリコンウエハー２１の別の２つ
の角部２１ｂに対向配置されている。
【００２１】一対の非変位接触部３２は、先端を半球状
に形成された棒体である。また、一対の変位接触部３３
の下端には、弾性を有するそれぞれの吸着パッド３４を
設けている。各吸着パッド３４は、図示しない真空ポン
プに接続されており、各吸着パッド３４の開口部から真
空ポンプへと空気が吸引される。
に形成された棒体である。また、一対の変位接触部３３
の下端には、弾性を有するそれぞれの吸着パッド３４を
設けている。各吸着パッド３４は、図示しない真空ポン
プに接続されており、各吸着パッド３４の開口部から真
空ポンプへと空気が吸引される。
【００２２】図５（ａ）〜（ｄ）は、図４の矢印Ａ方向
から見た側面図であり、本実施形態の装置によるシリコ
ンウエハー２１の取り出し手順を示している。
から見た側面図であり、本実施形態の装置によるシリコ
ンウエハー２１の取り出し手順を示している。
【００２３】図５（ａ）に示す様に昇降体３１を最上層
のシリコンウエハー２１上に配置し、図５（ｂ）に示す
様に昇降体３１を下降させて、一対の非変位接触部３２
及び一対の変位接触部３３をシリコンウエハー２１の表
面に接触させる。
のシリコンウエハー２１上に配置し、図５（ｂ）に示す
様に昇降体３１を下降させて、一対の非変位接触部３２
及び一対の変位接触部３３をシリコンウエハー２１の表
面に接触させる。
【００２４】引き続いて、図５（ｃ）に示す様に一対の
変位接触部３３の各吸着パッド３４の開口部から空気を
吸引し、各吸着パッド３４によりシリコンウエハー２１
の表面を吸引する。このとき、各吸着パッド３４の内部
が負圧となるので、弾性を有する各吸着パッド３４が変
形して、シリコンウエハー２１の２つの角部２１ｂが持
ち上がる。一方、一対の非変位接触部３２によってシリ
コンウエハー２１の２つの角部２１ａが押えられる。こ
のため、シリコンウエハー２１が反って、シリコンウエ
ハー２１と下側の他のシリコンウエハー間に隙間が生
じ、１枚のシリコンウエハー２１が分離される。更に、
シリコンウエハー２１と下側の他のシリコンウエハーの
隙間に、空気を吹き付けて、シリコンウエハー２１を分
離させ易くしても良い。
変位接触部３３の各吸着パッド３４の開口部から空気を
吸引し、各吸着パッド３４によりシリコンウエハー２１
の表面を吸引する。このとき、各吸着パッド３４の内部
が負圧となるので、弾性を有する各吸着パッド３４が変
形して、シリコンウエハー２１の２つの角部２１ｂが持
ち上がる。一方、一対の非変位接触部３２によってシリ
コンウエハー２１の２つの角部２１ａが押えられる。こ
のため、シリコンウエハー２１が反って、シリコンウエ
ハー２１と下側の他のシリコンウエハー間に隙間が生
じ、１枚のシリコンウエハー２１が分離される。更に、
シリコンウエハー２１と下側の他のシリコンウエハーの
隙間に、空気を吹き付けて、シリコンウエハー２１を分
離させ易くしても良い。
【００２５】最後に、図５（ｄ）に示す様に昇降体３１
を上昇させて、シリコンウエハー２１を取り出す。
を上昇させて、シリコンウエハー２１を取り出す。
【００２６】この様な本実施形態の装置においても、応
力は、シリコンウエハー２１の４つの角部２１ａ、２１
ｂで生じ、これらの角部２１ａ、２１ｂからシリコンウ
エハー２１全体に分散する。また、シリコンウエハー２
１の応力分布は、図１の装置と同様に、図３に示すもの
となる。このため、シリコンウエハー２１が破損せずに
済む。
力は、シリコンウエハー２１の４つの角部２１ａ、２１
ｂで生じ、これらの角部２１ａ、２１ｂからシリコンウ
エハー２１全体に分散する。また、シリコンウエハー２
１の応力分布は、図１の装置と同様に、図３に示すもの
となる。このため、シリコンウエハー２１が破損せずに
済む。
【００２７】また、一対の変位接触部３３のみに各吸着
パッド３４を設け、一対の非変位接触部３２として単な
る棒体を適用し、一対の変位接触部３３の各吸着パッド
３４によってシリコンウエハー２１の２つの角部２１ｂ
を吸引しつつ持ち上げることにより、シリコンウエハー
２１を反らせている。つまり、一対の変位接触部３３そ
のものを上昇させなくても、また一対の非変位接触部３
２による吸引を行なわなくても、シリコンウエハー２１
を反らせることができる。従って、装置の構造を簡単化
することができる。
パッド３４を設け、一対の非変位接触部３２として単な
る棒体を適用し、一対の変位接触部３３の各吸着パッド
３４によってシリコンウエハー２１の２つの角部２１ｂ
を吸引しつつ持ち上げることにより、シリコンウエハー
２１を反らせている。つまり、一対の変位接触部３３そ
のものを上昇させなくても、また一対の非変位接触部３
２による吸引を行なわなくても、シリコンウエハー２１
を反らせることができる。従って、装置の構造を簡単化
することができる。
【００２８】尚、本発明は、上記各実施形態に限定され
るものではなく、多様に変形することができる。例え
ば、シリコンウエハーを吸引するために、吸着パッドと
は異なる他の機構を適用しても構わない。また、本発明
は、シリコンウエハーだけではなく、他の部材を取り出
すために適用することができる。
るものではなく、多様に変形することができる。例え
ば、シリコンウエハーを吸引するために、吸着パッドと
は異なる他の機構を適用しても構わない。また、本発明
は、シリコンウエハーだけではなく、他の部材を取り出
すために適用することができる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明した様に本発明によれば、一対
の非変位接触部は、板状体の表面中心に対して対称なそ
れぞれの位置に配置され、板状体の表面を押える。ま
た、一対の変位接触部は、板状体の表面中心に対して対
称な別のそれぞれの位置に配置され、板状体の表面を吸
引しつつ変位する。つまり、板状体の表面中心に対して
対称なそれぞれの位置を押えつつ、板状体の表面中心に
対して対称な別のそれぞれの位置を吸引して変位させて
いる。これにより、板状体が反って下側の他の板状体か
ら分離される。このとき、応力は、板状体の表面中心か
ら外れた４つの位置で生じ、これらの位置から板状体全
体に分散するので、板状体が破損せずに済む。
の非変位接触部は、板状体の表面中心に対して対称なそ
れぞれの位置に配置され、板状体の表面を押える。ま
た、一対の変位接触部は、板状体の表面中心に対して対
称な別のそれぞれの位置に配置され、板状体の表面を吸
引しつつ変位する。つまり、板状体の表面中心に対して
対称なそれぞれの位置を押えつつ、板状体の表面中心に
対して対称な別のそれぞれの位置を吸引して変位させて
いる。これにより、板状体が反って下側の他の板状体か
ら分離される。このとき、応力は、板状体の表面中心か
ら外れた４つの位置で生じ、これらの位置から板状体全
体に分散するので、板状体が破損せずに済む。
【００３０】また、本発明によれば、板状体の表面を吸
引するために吸着パッドを用いている。この吸着パッド
は、弾性を有している。このため、吸引のときには、吸
着パッドが変形し、その接触箇所が変位する。従って、
吸着パッドにより、板状体の表面の吸引と接触箇所の変
位が同時になされる。
引するために吸着パッドを用いている。この吸着パッド
は、弾性を有している。このため、吸引のときには、吸
着パッドが変形し、その接触箇所が変位する。従って、
吸着パッドにより、板状体の表面の吸引と接触箇所の変
位が同時になされる。
【図１】本発明の板状体の取り出し装置の第１実施形態
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図２】（ａ）〜（ｅ）は、図１の矢印Ａ方向から見た
側面図であり、図１の装置によるシリコンウエハーの取
り出し手順を示している。
側面図であり、図１の装置によるシリコンウエハーの取
り出し手順を示している。
【図３】本実施形態の装置により反らされたシリコンウ
エハーのフォンミーゼス応力分布を示す図である。
エハーのフォンミーゼス応力分布を示す図である。
【図４】本発明の板状体の取り出し装置の第２実施形態
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は、図４の矢印Ａ方向から見た
側面図であり、図４の装置によるシリコンウエハーの取
り出し手順を示している。
側面図であり、図４の装置によるシリコンウエハーの取
り出し手順を示している。
【図６】従来の装置を例示する斜視図である。
【図７】（ａ）〜（ｄ）は、図６の矢印Ａ方向から見た
側面図であり、図６の装置によるシリコンウエハーの取
り出し手順を示している。
側面図であり、図６の装置によるシリコンウエハーの取
り出し手順を示している。
【図８】図６の装置により反らされたシリコンウエハー
のフォンミーゼス応力分布を示す図である。
のフォンミーゼス応力分布を示す図である。
１１、３１ 昇降体 １２、３２ 非変位接触部 １３、３３ 変位接触部 １４、３４ 吸着パッド ２１ シリコンウエハー
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｂ Ｈ０１Ｌ 21/68 31/04 Ｘ (72)発明者 岩田 充浩 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 Ｆターム(参考） 3C007 AS04 AS24 CV05 DS02 FT04 FT11 FT15 KS17 LV09 MS02 MT00 MT09 3F343 FA13 FB19 FC01 GA01 GB01 GC04 GD04 JB02 JB17 JB24 KB05 LA04 LA12 LB03 5F031 CA02 CA05 CA09 FA01 FA02 FA05 FA11 GA24 GA26 5F051 AA03 CB30 GA04
Claims (2)
- 【請求項１】 積層された複数枚の板状体を１枚ずつ分
離して取り出す板状体の取り出し装置において、 板状体の表面に接触する一対の非変位接触部と一対の変
位接触部を備え、 一対の非変位接触部を板状体の表面中心に対して対称な
それぞれの位置に配置すると共に、一対の変位接触部を
板状体の表面中心に対して対称な別のそれぞれの位置に
配置し、 少なくとも一対の変位接触部によって板状体の表面を吸
引しつつ、一対の変位接触部を変位させると共に、一対
の非変位接触部によって板状体の表面を押えることによ
り、板状体を反らせて、板状体を分離することを特徴と
する板状体の取り出し装置。 - 【請求項２】 一対の変位接触部は、板状体の表面を吸
引するそれぞれの吸着パッドを有しており、板状体の表
面の吸引に際し、各吸着パッドの変形により板状体の表
面に対するそれぞれの接触箇所が変位することを特徴と
する請求項１に記載の板状体の取り出し装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001127888A JP2002321841A (ja) | 2001-04-25 | 2001-04-25 | 板状体の取り出し装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001127888A JP2002321841A (ja) | 2001-04-25 | 2001-04-25 | 板状体の取り出し装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002321841A true JP2002321841A (ja) | 2002-11-08 |
Family
ID=18976680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001127888A Pending JP2002321841A (ja) | 2001-04-25 | 2001-04-25 | 板状体の取り出し装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002321841A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012131622A (ja) * | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Kyocera Corp | 板状体吸着装置および板状体吸着方法 |
| CN104867855A (zh) * | 2015-04-24 | 2015-08-26 | 浙江长兴汉能光伏有限公司 | 一种太阳能电池背板取送装置 |
| KR20160104191A (ko) * | 2015-02-25 | 2016-09-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 분리장치 |
-
2001
- 2001-04-25 JP JP2001127888A patent/JP2002321841A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012131622A (ja) * | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Kyocera Corp | 板状体吸着装置および板状体吸着方法 |
| KR20160104191A (ko) * | 2015-02-25 | 2016-09-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 분리장치 |
| KR102322479B1 (ko) | 2015-02-25 | 2021-11-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 분리장치 |
| CN104867855A (zh) * | 2015-04-24 | 2015-08-26 | 浙江长兴汉能光伏有限公司 | 一种太阳能电池背板取送装置 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041130 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050121 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050222 |