JP2015153837A5 - - Google Patents

Description

このような目的を達成するために本発明に係るワーク用チャック装置は、大気雰囲気において受け取り着脱自在に接触保持された板状のワークを減圧雰囲気で搬送するワーク用チャック装置であって、前記ワークと対向するチャック面から前記ワークが浮くように非接触で保持する浮揚部を有する非接触保持手段と、前記チャック面に対して前記ワークを着脱自在に粘着保持する粘着部を有する粘着保持手段と、前記非接触保持手段の前記浮揚部及び前記粘着保持手段の前記粘着部をそれぞれ作動制御する制御部と、を備え、前記浮揚部は、前記ワークとの間にそれぞれ逆向きの離隔圧力及び接近圧力を発生させる手段が具備され、前記制御部は、大気雰囲気において前記浮揚部の前記離隔圧力及び前記接近圧力をバランスさせて、前記ワークが前記チャック面から浮くように非接触で保持され、減圧前又は減圧中に前記離隔圧力を減少させて、前記ワークが前記粘着保持手段の前記粘着部に当接して前記チャック面に粘着保持されるように制御することを特徴とする。

前述した特徴を有する本発明に係るワーク用チャック装置は、大気雰囲気において、搬送ロボットなどの受け渡し部材から部分歪みの残留したワークが、チャック面に受け渡されても、制御部で非接触保持手段の浮揚部を作動制御して、チャック面からワークが浮くように非接触で保持することにより、ワークの部分歪みが開放され、ワークを全体的にチャック面に沿った平滑状態にして受け取ることが可能になる。その後の減圧前又は減圧中において、制御部で粘着保持手段の粘着部にワークを当接させることにより、チャック面にワークが平滑状態のまま粘着保持されて、その後に減圧雰囲気になっても、ワークが平滑状態のまま保持されて位置ズレしない。
したがって、ワークＷ１に残留した部分歪みを除去して受け取り且つワークＷ１の粘着保持に切り換えて減圧雰囲気ＤＰで位置ズレ不能に搬送することができる。
その結果、部分歪みを残留したまま上側基板が上側基板保持具に受け渡されてしまう従来のものに比べ、ワークＷ１がＬＣＤなどのガラス基板のように大型化しても自重による部分歪みの影響を解消して、所定位置にワークＷ１を保持しながら搬送できるため、位置精度の向上が図れる。

Claims (6)

1. 大気雰囲気において受け取り着脱自在に接触保持された板状のワークを減圧雰囲気で搬送するワーク用チャック装置であって、
   前記ワークと対向するチャック面から前記ワークが浮くように非接触で保持する浮揚部を有する非接触保持手段と、
   前記チャック面に対して前記ワークを着脱自在に粘着保持する粘着部を有する粘着保持手段と、
   前記非接触保持手段の前記浮揚部及び前記粘着保持手段の前記粘着部をそれぞれ作動制御する制御部と、を備え、
   前記浮揚部は、前記ワークとの間にそれぞれ逆向きの離隔圧力及び接近圧力を発生させる手段が具備され、
   前記制御部は、大気雰囲気において前記浮揚部の前記離隔圧力及び前記接近圧力をバランスさせて、前記ワークが前記チャック面から浮くように非接触で保持され、減圧前又は減圧中に前記離隔圧力を減少させて、前記ワークが前記粘着保持手段の前記粘着部に当接して前記チャック面に粘着保持されるように制御することを特徴とするワーク用チャック装置。
2. 前記粘着保持手段の前記粘着部が前記ワークに向け前記非接触保持手段と相対的に往復動自在に設けられ、
   前記非接触保持手段が前記ワークを吸引する吸気部を有し、
   前記制御部は、前記ワークに向かう前記粘着部の接近移動と連動して前記吸気部を、前記吸気部による前記ワークの吸引力が、前記浮揚部による前記ワークの非接触保持力よりも大きくなるように作動制御することを特徴とする請求項１記載のワーク用チャック装置。
3. 前記制御部は、前記吸気部による吸引で前記ワークが前記粘着部に当接するように前記吸気部を所定時間作動した後に、前記非接触保持手段の前記浮揚部が作動停止するように制御することを特徴とする請求項２記載のワーク用チャック装置。
4. 大気雰囲気の変圧室に搬入された板状の第一ワークと第二ワークを、対向する第一保持部材と第二保持部材がそれぞれ受け取って、減圧雰囲気の前記変圧室内で前記第一保持部材及び前記第二保持部材の相対的な接近移動により前記第一ワークと前記第二ワークを貼り合わせるワーク貼り合わせ機であって、
   対向する一対の第一保持面又は第二保持面のいずれか一方か若しくは両方に対し、請求項１〜３のいずれか一つに記載のワーク用チャック装置が複数それぞれ所定間隔毎に設置されて、前記第一ワーク又は前記第二ワークのいずれか一方若しくは両方を保持する前記第一保持部材及び前記第二保持部材と、
   前記第一保持部材又は前記第二保持部材のいずれか一方か若しくは両方を相対的に接近移動させて前記第一ワーク及び前記第二ワークを重ね合わせる昇降駆動部と、
   前記第一保持面又は前記第二保持面のいずれか一方か若しくは両方に設置される前記ワーク用チャック装置のすべて及び前記昇降駆動部をそれぞれ作動制御する制御部と、を備え、
   前記制御部は、前記大気雰囲気の前記変圧室内において、前記ワーク用チャック装置の前記浮揚部により前記第一ワーク又は前記第二ワークのいずれか一方若しくは両方が、前記ワーク用チャック装置の前記チャック面から浮くように非接触で保持され、前記変圧室内の減圧前又は減圧中において、前記ワーク用チャック装置の前記粘着部を前記第一ワーク又は前記第二ワークのいずれか一方若しくは両方に向け接近移動させ当接して、前記チャック面に前記第一ワーク又は前記第二ワークのいずれか一方若しくは両方が粘着保持され、前記減圧雰囲気の前記変圧室内において前記昇降駆動部により前記第一保持部材又は前記第二保持部材のいずれか一方か若しくは両方を相対的に接近移動させて、前記第一ワーク及び前記第二ワークが重ね合わされるように制御することを特徴とするワーク貼り合わせ機。
5. 前記ワーク用チャック装置が設置される前記第一保持部材又は前記第二保持部材のいずれか一方か若しくは両方を、複数のエリアに分割し、前記制御部が、前記ワーク用チャック装置を前記エリア毎に独立して作動制御し、前記第一ワーク又は前記第二ワークのいずれか一方若しくは両方において、前記浮揚部による非接触保持と前記粘着部による粘着保持とを部分的に行うことを特徴とする請求項４記載のワーク貼り合わせ機。
6. 大気雰囲気の変圧室に搬入された板状の第一ワーク及び第二ワークを、対向する第一保持部材と第二保持部材がそれぞれ受け取って、減圧雰囲気の前記変圧室内で前記第一ワークと前記第二ワークを貼り合わせるワーク貼り合わせ方法であって、
   前記大気雰囲気の前記変圧室内において前記第一ワーク又は前記第二ワークのいずれか一方若しくは両方を、前記第一保持部材又は前記第二保持部材のいずれか一方か若しくは両方に設置される請求項１〜３のいずれか一つに記載のワーク用チャック装置の前記チャック面から浮くように非接触で保持する非接触保持工程と、
   その後の前記変圧室内の減圧前又は減圧中において、前記ワーク用チャック装置の前記チャック面に前記第一ワーク又は前記第二ワークのいずれか一方若しくは両方を粘着保持する粘着保持工程と、
   前記減圧雰囲気の前記変圧室内において、前記第一保持部材又は前記第二保持部材のいずれか一方か若しくは両方の相対的に接近移動により前記第一ワーク及び前記第二ワークを重ね合わせる合着工程と、を含むことを特徴とするワーク貼り合わせ方法。