JP2006332418A - 非接触支持装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークの搬送に際してワークの浮上量の変動を好適に抑制することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】非接触支持装置１は、検査ステージ２及び浮上ステージ４を備え、これらの上方において略水平に搬送されるワークＷを非接触にて支持する。検査ステージ２には、加圧エアを噴出する浮上パッド３０と、周辺のエアを吸引する吸引パッド４０とがそれぞれ複数個配置されている。これら吸引パッド４０と浮上パッド３０とは、ワークＷの搬送方向に沿って５列ずつ互いに平行に配置されている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、加圧気体を噴出する噴出部と周辺の気体を吸引する吸引部との上方にワークを対向させることで、前記ワークが略水平に搬送されるに際して該ワークを非接触支持する非接触支持装置に関する。

半導体基板や、液晶パネル等のディスプレイパネルといった精密加工基板は、その性質上、支持装置に直接載置されることが嫌われる。このため、こうした精密加工基板（以下、ワーク）を支持する際には、これを非接触の状態で支持する非接触支持装置が用いられている。

こうした非接触支持装置としては、例えば特許文献１に見られるように、加圧気体を噴出させる噴出部と真空引きを行なうことで周辺の気体を吸引する吸引部とを、ワークの搬送方向に交互に設けたものも提案されている。これら噴出部及び吸引部をワークに対向させることで、ワークの非接触支持をより安定させることができる。

すなわち、噴出部から噴出される加圧気体をワークに吹き付けることで、ワークの支持面側には、ワークを浮上させる浮上力が生じる。一方、吸引部によって吸引部周辺の気体が吸引されることで、当該非接触支持装置の支持面側には、ワークを引き寄せる吸引力が生じる。このように、ワークの支持面側に浮上力と吸引力とが同時に生じることで、ワーク支持にかかる剛性が高められ、ワークが安定した状態で支持される。

ところで、上記非接触支持装置は、噴出部と吸引部とが搬送方向に沿って交互に配置される構成であることに起因して次のような問題を生じる。この問題とは、吸引部が、その上方がワークに覆われることでワークを吸引する力を最大とする性質を有することに起因するものである。この性質を有するため、ワークの搬送に際しては、ワークが吸引部の上方を覆った瞬間、ワークを吸引する力が増大し、ワークの浮上量が低減することとなる。したがって、上記非接触支持装置によれば、ワークの搬送に際してワークの平面度を維持することは困難なものとなっている。更に、ワークの浮上量を小さく設定すると、ワークが吸引部に吸引され、ワークが非接触支持装置の上面に接触するおそれもある。
特開２００４−１５２９４１号公報

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、ワークの搬送に際してワークの浮上量の変動を好適に抑制することのできる非接触支持装置を提供することにある。

以下、上記課題を解決するための手段、及びその作用効果について記載する。

手段１．加圧気体を噴出する噴出部と周辺の気体を吸引する吸引部との上方にワークを対向させることで、前記ワークが略水平に搬送されるに際して該ワークを非接触支持する非接触支持装置において、前記吸引部は、前記搬送方向に沿って複数配置されるとともに、前記噴出部は、前記複数の吸引部の結ぶ線と交わらない態様にて前記搬送方向に沿って配置されてなることを特徴とする。

上記構成では、特定の吸引部の上方がワークにより覆われるときにこの吸引部によるワークの吸引力が大きくなるとはいえ、吸引部がワークの搬送方向に沿って複数配置されているために、吸引部による吸引力は、その総力が一気にワークに加わることがなく分散される。このため、ワークが吸引部の上方を覆う前後のワークに加わる力の変化を抑制することができる。更に、噴出部が複数の吸引部の結ぶ線と交わらない態様にて搬送方向に沿って配置されるために、ワークの搬送に伴い搬送方向と平行な同一直線上においてワークに吸引力と浮上力とが入り乱れて加わることを回避することができ、ワークの浮上量の変動を抑制することができる。しかも、浮上力と吸引力とは共に搬送方向に沿って加わるために、ワークに加わる力の分布のうち搬送方向と直交する線上のものは、ワークの搬送に際して短時間で略同一となる。このため、ワークの浮上量の変動を好適に抑制することができる。

手段２．手段１において、前記複数の吸引部は、前記搬送方向に沿って均等に配置されてなることを特徴とする。

上記構成によれば、吸引部が搬送方向に沿って均等に配置されるために、ワークに加わる吸引力を搬送方向に沿って均等に分散させることができる。このため、ワークの浮上量の変動をいっそう低減することができる。

手段３．手段２において、前記噴出部は、前記搬送方向に沿って複数配置されるとともに、これら各噴出部は、前記複数の吸引部の各吸引部に対応して且つ、前記搬送方向と直交する方向で前記各吸引部に隣接して設けられてなることを特徴とする。

上記構成によれば、ワークの搬送に際し、ワークが特定の吸引部の上方を覆うのと同期してこの特定の吸引部と対応する噴出部による浮上力がワークに加わるようになる。このため、ワークに加わる力の変化を好適に抑制することができる。

手段４．手段３において、前記複数の吸引部は互いに同一形状且つ同一寸法のものからなり、前記複数の噴出部は互いに同一形状且つ同一寸法のものからなることを特徴とする。

上記構成によれば、吸引部同士や噴出部同士の形状及び寸法が互いに同一であるために、これら各吸引部による吸引力同士や、噴出部による浮上力同士を同一とすることが容易となる。

手段５．手段１〜４のいずれかにおいて、前記搬送方向の前後方向についての一方向にある１乃至複数の吸引部の上方が前記ワークに覆われて且つ前記前後方向についての他方向にある１乃至複数の吸引部の上方が前記ワークに覆われていないとき、前記他方向にある前記吸引部による気体の吸引によって前記一方向にある前記吸引部による気体の吸引力が低下することを回避又は抑制する吸引力保持手段を更に備えることを特徴とする。

上記構成において、ワークの搬送に伴い、前後方向の一方向の吸引部の上方がワークにより覆われると、同吸引部は、未だワークに覆われていない他方向の吸引部と比較して周辺の気体を取り込みにくくなる。換言すれば、その上方がワークで覆われている一方向の吸引部よりも、その上方がワークに覆われていない他方向の吸引部の方が気体を多量に取り込む。このため、非接触支持装置の構成によっては、その上方がワークで覆われていない他方向の吸引部によって多量の気体が吸引されることで、その上方がワークで覆われている一方向の吸引部によって吸引される気体量が変化することがある。そして、この場合、上記他方向の吸引部の上方がワークで覆われると、同他方向の吸引部によって吸引される気体量が減少するために、一方向の吸引部による吸引力が増加することとなる。

この点、上記構成によれば、吸引力保持手段を備えることで、前後方向の他方向の吸引部の上方がワークで覆われているかいないかにかかわらず、前後方向の一方向の吸引部による吸引力が変化することを好適に排除することができる。このため、ワークの浮上量の変動を好適に抑制することができる。

手段６．手段５において、前記吸引部の下流に、該吸引部に吸引される気体量を調整する調整手段を更に備え、前記吸引力保持手段は、前記搬送方向である列方向に沿って配置される複数の吸引部の各列又は隣接する複数の列毎に、前記調整手段が各別に備えられることで構成されてなることを特徴とする。

上記構成では、各列毎、又は隣接する複数の列毎に各別の調整手段を備えるために、同一の調整手段と対応する吸引部によって吸引される気体量のうち、その上方がワークに覆われていない吸引部によって吸引される気体量の占める割合を低減させることができる。このため、その上方がワークに覆われていない吸引部の吸引により、その上方がワークに覆われている吸引部の吸引力が低下することを好適に回避又は抑制することができる。

なお、この際、前記吸引力保持手段は、前記各列の前記吸引部毎に各別に前記調整手段が備えられることで構成されてなることが望ましい。この場合、各調整手段は、その上方がワークに覆われていない吸引部による吸引力を調整するか、その上方がワークで覆われている吸引部による吸引力を調整するかのいずれか一方となる。このため、未だその上方がワークに覆われてない吸引部による気体の吸引により、その上方がワークで覆われた吸引部による吸引力が低下することをいっそう好適に回避することができる。このため、上記構成によれば、上記吸引力保持手段を適切且つ簡易に構成することができる。

手段７．手段１〜６のいずれかにおいて、前記吸引部と前記噴出部とは、前記搬送方向に直交する方向において交互に複数個ずつ配置されてなることを特徴とする。

上記構成によれば、吸引部による吸引力の総力や、噴出部による浮上力の総力がより分散されることとなる。このため、ワークに加わる力をより均一なものとすることができる。

手段８．手段１〜７のいずれかにおいて、前記搬送方向に直交する方向についての両端は、噴出部及び吸引部のいずれか一方に統一されてなることを特徴とする。

ワークの搬送に際しては、通常、搬送方向に直交する方向におけるワークの両端部が接触支持されて、この接触支持する手段によりワークが水平方向に搬送される。このため、非接触支持装置がワークに加える力は、ワークの上記両端部においては特に等しくなることが望ましい。

この点、上記構成では、両端を噴出部又は吸引部で統一するために、非接触支持装置がワークの上記両端部に加える力を等しくすることができる。

手段９．手段１〜８のいずれかにおいて前記吸引部が同一線上に沿って複数配置されて且つ該複数の吸引部と平行に前記噴出部が配置されてユニット化されたものが、複数配置されてなることを特徴とする。

上記構成によれば、ユニット数を変更することで、様々なサイズ及び重量のワークに簡易に対処することができ、汎用性の高い非接触支持装置を実現することができる。

手段１０．手段１〜９のいずれかにおいて、前記噴出部は、その表面が多孔質体からなって且つ、前記加圧気体を前記多孔質体を介して噴出するものであることを特徴とする。

上記構成によれば、多孔質体を介して加圧気体が噴出されるために、多孔質体によって気体を絞ることができる。しかも、多孔質体を用いる場合には、単なる絞り通路を用いた場合と比較して均質な加圧気体を噴出させることができるため、ワークをより安定した状態とすることができる。

手段１１．加圧気体を噴出する噴出部と周辺の気体を吸引する吸引部との上方にワークを対向させることで、前記ワークが略水平に搬送されるに際して該ワークを非接触支持する非接触支持装置において、前記搬送方向の前後方向についての一方向にある１乃至複数の吸引部の上方が前記ワークに覆われて且つ前記前後方向についての他方向にある１乃至複数の吸引部の上方が前記ワークに覆われていないとき、前記他方向にある前記吸引部による気体の吸引によって前記一方向にある前記吸引部による気体の吸引力が低下することを回避又は抑制する吸引力保持手段を備えることを特徴とする。

上記構成において、ワークの搬送に伴い、前後方向の一方向の吸引部の上方がワークにより覆われると、同吸引部は、未だワークに覆われていない他方向の吸引部と比較して周辺の気体を取り込みにくくなる。換言すれば、その上方がワークで覆われている一方向の吸引部よりも、その上方がワークに覆われていない他方向の吸引部の方が気体を多量に取り込む。このため、非接触支持装置の構成によっては、その上方がワークで覆われていない他方向の吸引部によって多量の気体が吸引されることで、その上方がワークで覆われている一方向の吸引部によって吸引される気体量が変化することがある。そして、この場合、上記他方向の吸引部の上方がワークで覆われると、同他方向の吸引部によって吸引される気体量が減少するために、一方向の吸引部による吸引力が増加することとなる。

この点、上記構成によれば、吸引力保持手段を備えることで、前後方向の他方向の吸引部の上方がワークで覆われているかいないかにかかわらず、前後方向の一方向の吸引部による吸引力が変化することを好適に排除することができる。このため、ワークの浮上量の変動を好適に抑制することができる。

手段１２．手段１１において、前記吸引部の下流に、該吸引部に吸引される気体量を調整する調整手段を更に備え、前記吸引力保持手段は、前記搬送方向である列方向に沿って配置される複数の吸引部の各列又は隣接する複数の列毎に、前記調整手段が各別に備えられることで構成されてなることを特徴とする。

上記構成では、各列毎、又は隣接する複数の列毎に各別の調整手段を備えるために、同一の調整手段と対応する吸引部によって吸引される気体量のうち、その上方がワークに覆われていない吸引部によって吸引される気体量の占める割合を低減させることができる。このため、その上方がワークに覆われていない吸引部の吸引により、その上方がワークに覆われている吸引部の吸引力が低下することを好適に回避又は抑制することができる。

なお、この際、前記吸引力保持手段は、前記各列の前記吸引部毎に各別に前記調整手段が備えられることで構成されてなることが望ましい。この場合、各調整手段は、その上方がワークに覆われていない吸引部による吸引力を調整するか、その上方がワークで覆われている吸引部による吸引力を調整するかのいずれか一方となる。このため、未だその上方がワークに覆われてない吸引部による気体の吸引により、その上方がワークで覆われた吸引部による吸引力が低下することをいっそう好適に回避することができる。このため、上記構成によれば、上記吸引力保持手段を適切且つ簡易に構成することができる。

手段１３．手段１１又は手段１２において、前記吸引部は、前記搬送方向に直交する方向においても複数備えられており、前記調整手段は、前記搬送方向に直交する方向に沿って配置される複数の吸引部の間で共有されてなることを特徴とする。

上記構成によれば、搬送方向に直交する方向に沿って配置される複数の吸引部の間で調整手段が共有されるために、これらを共有しなかった場合と比較して調整手段の数を低減することができ、ひいては、非接触支持装置の構成を簡易化することができる。

以下、本発明にかかる非接触支持装置を、ガラス製の液晶ディスプレイパネルの検査時にこれを非接触支持する非接触支持装置に適用した一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。

図１は、上記非接触支持装置を示す平面図である。図示されるように、非接触支持装置１は、検査ステージ２と、検査ステージ２を挟んだ両側の浮上ステージ４とを備えている。そして、被支持部材としての上記液晶ディスプレイパネル（以下、ワークＷ）は、一方の浮上ステージ４の端部側上方から搬入され、検査ステージ２を介して他方の浮上ステージ４側へと搬送される。

上記浮上ステージ４は、複数の浮上部１０を備えて構成されている。これら浮上部１０は、ワークＷの搬送方向及び同搬送方向と直交する方向に沿って配置されている。詳しくは、本実施形態では、浮上部１０は、図中縦方向（行方向）に４行、図中横方向（列方向）に４列配置されている。

図２に、図１のＡ−Ａ断面図を示す。図示されるように、上記浮上ステージ４は、ベース２０上に配置されている。そして、上記浮上部１０は、浮上ステージ４に形成される収納溝１２に多孔質体１４が収納されることで構成されている。また、収納溝１２の底面には、流通溝１６が形成されている。そして、ベース２０に設けられた図示しない流路、及び浮上ステージ４に設けられたエア通路１８を介して流通溝１６内に圧縮エアが供給される。そして、流通溝１６内に供給されるエアは、多孔質体１４の微細孔を通過し、多孔質体１４の上面から噴出する。

一方、先の図１に示した検査ステージ２は、複数の浮上パッド３０及び複数の吸引パッド４０を備えて構成されている。図３に、図１のＢ−Ｂ断面を示す。図示されるように、検査ステージ２も、上記浮上ステージ４と同様、ベース２０上に配置されている。ここで、検査ステージ２の備える浮上パッド３０は、その上面に収納溝３２が開口され、収納溝３２には多孔質体３４が収納されている。ちなみに、この多孔質体３４の上面を収納溝３２の開口上端部の高さと一致させて浮上パッド３０の上面が平らになるようにすることが望ましい。

ちなみに、上記多孔質体３４は、例えば焼結三フッ化樹脂、焼結四フッ化樹脂等のフッ化樹脂によって形成されている。ただし、これに代えて、焼結ナイロン樹脂、焼結ポリアセタール樹脂等の合成樹脂や、焼結アルミニウム、焼結銅、焼結ステンレス等の金属材料、焼結カーボン、焼結セラミックス等で形成してもよい。

上記収納溝３２の底面には、流通溝３６が形成されている。そして、ベース２０に設けられた図示しない流路、及び浮上パッド３０に設けられたエア通路３８を介して流通溝３６に圧縮エアが供給される。そして、流通溝３６内に供給されるエアは、多孔質体３４の微細孔を通過し、多孔質体３４の上面から噴出する。

これに対し、吸引パッド４０は、吸引パッド４０の上面から底面までを貫通する孔４２（吸引部に対応）が形成されることで構成されている。図３に示す各吸引パッド４０の各孔４２によって構成されるエアの流路は、これらを合流させる列単位バッファ５０ａで合流し、調整部５２ａに接続される。この調整部５２ａは、例えば絞り弁や、流量計、圧力計等を備えて構成されており、列単位バッファ５０ａにより吸引されるエアの流量を調整することで、各吸引パッド４０による吸引力を調整するものである。調整部５２ａの下流には、集合バッファ５４が接続され、集合バッファ５４は負圧発生部５６と接続されている。ここで、負圧発生部５６は、例えば真空ポンプを備えて構成される。

ちなみに、先の図１のＤ−Ｄ断面を示す図４に示されるように、吸引パッド４０の各列毎に各別の列単位バッファ５０ａ〜５０ｆと調整部５２ａ〜５２ｆとが備えられている。そして、上記集合バッファ５４は、各調整部５２ａ〜５２ｆを介して吸引される気体を合流させて上記負圧発生部５６と接続させる役割を果たしている。

こうした構成によれば、負圧発生部５６によって非接触支持装置１の周囲の気体（エア）の圧力よりも低い圧力（負圧）が発生されると、集合バッファ５４や、調整部５２ａ〜５２ｆ、列単位バッファ５０ａ〜５０ｆを介して各吸引パッド４０の孔４２から吸引パッド４０の上面周辺のエアが吸引される。そして、この吸引されるエアの量は、調整部５２ａ〜５２ｆ内の絞り弁によって調整される。

なお、上記浮上パッド３０及び吸引パッド４０は、本実施形態では、同一形状、同一寸法とされている。更に、浮上パッド３０及び吸引パッド４０は、上記収納溝３２の形状及び口径や多孔質体３４の気孔率、孔４２の形状及び口径がそれぞれ同一とされている。また、先の図１に示されるように、浮上パッド３０及び吸引パッド４０は、各３行５列毎にユニット化されている（図１中、ユニットＵ１及びユニットＵ２）。これにより、これらユニットＵ１やユニットＵ２の数を変えることで、サイズや重量が異なるワークＷに対して適切に対処することができる。なお、ユニットＵ１やユニットＵ２の数を変える際には、浮上ステージ４のサイズを変えることで、浮上ステージ４と検査ステージ２との双方の行方向の幅を同時に調整することが望ましい。

こうした構成を有する非接触支持装置１を用いることで、非接触支持されつつ一方の浮上ステージ４、検査ステージ２、他方の浮上ステージ４へとワークＷが略水平に搬送される。以下、これについて図５を用いて更に詳述する。

図５（ａ）は、ワークＷの搬送時の非接触支持装置１の側面図である。図示されるように、検査ステージ２の上方には、ワークＷを検査するためのカメラＣＡが設けられている。ちなみに、実際にはワークＷの浮上量は、ワークＷとカメラＣＡとの距離よりも相当に小さいものであるが、図５（ａ）ではワークＷの浮上量を模式的に大きく描いている。一方、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＥ−Ｅ断面を示す。図示されるように、ワークＷは、搬送方向と直交する方向における端部が支持部材ＳＭにて支持されつつ、その下面が基本的には非接触の状態で支持される。また、図示されるように、ワークＷを検査するためのカメラＣＡは、搬送方向と直交する方向に沿って複数個配置されている。

ワークＷの搬送に際し、浮上ステージ４では、浮上部１０の多孔質体１４の上面からエアを噴出させる。これにより、ワークＷの下面（支持面）にエアが吹き付けられ、ワークＷに浮上力が発生し、ワークＷの下面は、非接触の状態で支持されることとなる。

一方、検査ステージ２においては、浮上パッド３０のエア通路３８を介して、流通溝３６にエアを供給し、多孔質体３４の上面から加圧されたエアを噴出させる。これにより、ワークＷの下面に浮上力が付与され、ワークＷは非接触支持される。更に、検査ステージ２においては、吸引パッド４０の孔４２内の空間を負圧とすることでここに吸引力を作用させ、吸引パッド４０の上面周辺のエアを吸引させる。これにより、ワークＷの下面に吸引力が作用し、ワークＷは非接触支持装置１側に引き寄せられる。

これにより、ワークＷの浮上量は、浮上ステージ４上よりも検査ステージ２上で小さな値となる。そして、検査ステージ２では、浮上パッド３０による浮上力と吸引パッド４０による吸引力との協働により、ワークＷの浮上にかかる剛性を高めることができる。このため、検査ステージ２では、ワークＷの浮上を安定させることが可能となる。そして、ワークＷの浮上が安定する検査ステージ２上方において、ワークＷの表面がカメラＣＡにより検査される。

ところで、吸引パッド４０によるワークＷの吸引力は、孔４２の上方がワークＷに完全に覆われることで増大する。このため、上述したように、吸引パッド４０によるワークＷの吸引力や、吸引パッド４０の配置態様等によっては、ワークＷの浮上量の変動が大きくなったり、ワークＷが非接触支持装置１と接触したりするおそれがある。

そこで、本実施形態では、先の図１に示したように、吸引パッド４０と浮上パッド３０とを、ワークＷの搬送方向に沿って複数配置するとともに、これらをワークＷの搬送方向に直交する方向において交互に複数個ずつ配置した。詳しくは、本実施形態では、浮上パッド３０、吸引パッド４０共に各５列に配置するとともに、８列の浮上パッドと７列の吸引パッド４０とを搬送方向と直交する方向に交互に配置した。

これにより、特定の列の吸引パッド４０の上方がワークＷにより覆われることでこの吸引パッド４０によるワークＷの吸引力が大きくなるとはいえ、吸引パッド４０による吸引力は、その総力が一気にワークＷに加わることがなく、分散される。このため、ワークＷが吸引パッド４０の上方を覆う前後のワークＷに加わる力の変化を抑制することができる。

また、本実施形態によれば、浮上パッド３０は、搬送方向に沿った複数の吸引パッド４０の結ぶ線と交わらない態様にて搬送方向に沿って配置されることとなる。このため、ワークＷの搬送に伴い搬送方向と平行な同一直線上においてワークＷに吸引力と浮上力とが入り乱れて加わることを回避することができ、ワークＷの浮上量の変動を抑制することができる。

しかも、搬送方向に沿って、吸引パッド４０の孔４２や、浮上パッド３０の多孔質体３４が等間隔に配置されることとなるために、搬送方向と直交する方向における検査ステージ２の断面構造が、搬送方向に沿って周期的に同一なものとなる。すなわち、例えば、先の図１に示したＢ−Ｂ断面とＣ−Ｃ断面とが同一の断面形状となる。これにより、搬送に伴いワークＷに加わる力を規則的なものとすることができる。換言すれば、ワークＷに加わる力の分布のうち搬送方向と直交する線上のものは、ワークＷの搬送に際して周期的に同一となる。そして、浮上パッド３０及び吸引パッド４０を検査を所望する領域において複数備えることで、これら浮上パッド３０や吸引パッド４０の１つ当たりの寸法を小さくすることができ、ひいては、上記線上においてワークＷに加わる力の変化の周期を短くすることができる。このため、ワークＷの浮上量の変動を好適に抑制することができる。

このように、ワークＷの搬送に際しワークＷに規則的な力を付与するためには、各浮上パッド３０の１つ当たりの浮上力を互いに等しくしたり、吸引パッド４０の１つ当たりの吸引力を互いに等しくしたりすることが有効である。ただし、吸引パッド４０の１つ当たりのワークＷの吸引力を互いに等しくするためには、以下の点に注意することが望まれる。

ワークＷの搬送に伴い、搬送方向の後方の吸引パッド４０の上方がワークＷにより覆われると、同後方の吸引パッド４０は、未だワークＷに覆われていない前方の吸引パッド４０と比較して周辺の気体を取り込みにくくなる。例えばワークＷの先端が検査ステージ２の中央部まで搬送されているときには、図１に示した４列目や５列目の吸引パッド４０は、その上方がワークＷによって覆われているため、１列目や２列目の吸引パッド４０と比較して、孔４２に取り込むエアの量が少なくなる。このため、例えば図４に示した構成に代えて、調整部５２ａ〜５２ｆを同一とすると（各吸引パッド４０で調整部を共有すると）、１列目や２列目の吸引パッド４０によって多量の気体が吸引されることで、４列目や５列目の吸引パッド４０によって吸引される気体量が変化することがある。そして、この場合、ワークＷの搬送に伴い、１列目や２列目の吸引パッド４０がワークＷに覆われ、これらが吸引するエアの量が減少することで、４列目や５列目の吸引パッド４０の吸引力が増加することとなる。

こうした吸引パッド４０の吸引力の変化を排除すべく、本実施形態では、先の図４に示したように、各列の吸引パッド４０毎に調整部５２ａ〜５２ｆを各別に独立して設けた。これにより、例えば５列目の吸引パッド４０の上方がワークＷによって覆われているときの同吸引パッド４０によるワークＷの吸引力を、１列目の吸引パッド４０がワークＷに覆われているかいないかにかかわらず一定とすることができる。

これにより、本実施形態では、これら各吸引パッド４０の上方がワークＷに覆われたときのその吸引力を、吸引パッド４０同士で同一とすることができるため、ワークＷの搬送に伴い、ワークＷの搬送方向と直交する線上に加わる力を正確に規則的なものとすることができ、ひいては、ワークＷの浮上量の変動を好適に抑制することができる。

なお、本実施形態では、検査ステージ２において、搬送方向と直交する方向の端部を浮上パッド３０で統一した。換言すれば、１行目と１５行目のパッド列を浮上パッド３０により構成した。これにより、先の図５（ｂ）に示した支持部材ＳＭで支持しつつ行なわれるワークＷの搬送を好適に行なうことができる。すなわち、図５（ｂ）に示したように、支持部材ＳＭは、ワークＷのうち搬送方向と直交する方向の両端部を支持する。このため、非接触支持装置１がワークＷの両端部に加える力は、等しいことが望ましい。この点、本実施形態では、上記両端のパッドを浮上パッド３０で統一することで、ワークＷの両端部に加わる力を同一とすることができ、ひいては、ワークＷの平面度をいっそう好適に維持することができる。

こうした構成により、本実施形態によれば、ワークＷの浮上量の変動量を極めて小さくすることができ（例えば「±２０μｍ」）、ワークＷの浮上量をより小さくして非接触支持することも可能となる。

以上詳述した本実施形態によれば、以下の効果が得られるようになる。

（１）吸引パッド４０と浮上パッド３０とを、ワークＷの搬送方向に沿って複数配置するとともに、これらをワークの搬送方向に直交する方向において互いに平行且つ交互に複数個ずつ配置した。これにより、吸引パッド４０による吸引力を分散することができる。また、ワークＷの搬送に伴い搬送方向の同一直線上においてワークＷに吸引力と浮上力とが入り乱れて加わることを回避することができ、ワークＷに加わる力の分布のうち搬送方向と直交する線上のものは、ワークＷの搬送に際して周期的に同一とすることができる。このため、ワークＷの浮上量の変動を好適に抑制することができる。

（２）各列の吸引パッド４０毎に各別に調整部５２ａ〜５２ｆを設けた。これにより、未だその上方がワークＷに覆われてない吸引パッド４０による気体の吸引により、その上方がワークＷで覆われた吸引パッド４０による吸引力が変化することを回避することができる。

（３）調整部５２ａ〜５２ｆを、搬送方向に直交する方向に沿って配置される複数の吸引パッド４０の間で共有した。これにより、これらを共有しなかった場合と比較して調整部の数を低減することができ、ひいては、非接触支持装置１の構成を簡易化することができる。

（４）検査ステージ２において、搬送方向に直交する方向についての両端に、浮上パッド３０を配置した。このように両端を浮上パッド３０で統一することで、ワークＷの上記両端部に加わる力を等しくすることができる。

（５）浮上パッド３０を、多孔質体３４を備えて構成した。これにより、多孔質体３４を介して加圧気体が噴出されるために、多孔質体３４によって気体を絞ることができる。しかも、多孔質体３４を用いる場合には、単なる絞り通路を用いた場合と比較して均質な加圧気体を噴出させることができるため、ワークＷをより安定した状態とすることができる。

（その他の実施形態）
なお、上記実施形態は、以下のように変更して実施してもよい。

・搬送方向と直交する方向についての両端を、浮上パッド３０とする代わりに、吸引パッド４０としても先の実施形態と同様の効果を得ることができる。

・搬送方向と直交する方向についての両端を、浮上パッド３０及び吸引パッド４０のいずれか一方に統一しなくても、先の実施形態の上記（１）〜（３），（５）の効果を得ることはできる。

・搬送方向と直交する方向に浮上パッド３０と吸引パッド４０とを交互に複数個ずつ配置する代わりに、同直交方向に複数の浮上パッド３０と単一の吸引パッド４０とを交互に配置することによっても、先の実施形態と同様の効果を得ることができる。更に、浮上パッド３０及び吸引パッド４０を各１行ずつ設けるだけでも、先の実施形態の上記（１），（２），（５）に準じた効果を得ることはできる。ただし、浮上パッド３０の１つ当たりの浮上力や吸引パッド４０の１つ当たりの吸引力を小さくすればするほど、ワークＷの搬送に伴いワークＷに加わる力の変動を抑制することができ、ワークＷの浮上量の変動をより好適に抑制することができることに留意することが望ましい。

・浮上パッド３０が多孔質体を備えなくても、加圧エアを噴出する構成とするなら、先の実施形態の上記（１）〜（４）に準じた効果を得ることはできる。

・吸引パッド４０は、その上面から下面までを貫通する孔４２を備えてこの孔４２の上部開口部から周辺の気体を吸引するものに限らない。例えば、孔４２の上部の口径を大きくするなどしてもよい。また、この口径を大きくした部分に多孔質体を収納してもよい。

・検査ステージ２の構成としては、３行５列毎にユニット化された浮上パッド３０と吸引パッド４０との集合体によって構成されるものに限らない。このユニットとしては、例えば列方向のパッド数が異なるものを予め用意しておき、用途に応じて適切な列数のユニットを用いて検査ステージ２を構成してもよい。また、ユニット化されたものをいくつか組み合わせて検査ステージ２を構成するものにも限らない。要は、加圧気体を噴出する噴出部（上記実施形態では多孔質体１４に対応）と周辺の気体を吸引する吸引部（上記実施形態では孔４２に対応）とを備えて構成されるものであればよい。

・各吸引パッド４０に孔４２を複数ずつ設けてもよい。これによっても、各吸引パッド４０における孔４２を設ける位置や形状、寸法を同一とすることで、検査ステージ２において、孔４２が搬送方向に沿って均等に配置されることとなり、ワークＷに吸引力を均等に作用させることができる。

・例えば孔４２の口径を各列毎に相違させても、各調整部５２ａ〜５２ｆによる流量の調整によって各列の吸引パッド４０によるワークＷの吸引力を等しくするなら、先の実施形態と同様の効果を得ることはできる。また、浮上パッド３０（より正確には、多孔質体３４の気孔率、形状及び寸法、並びに収納溝３２の形状及び寸法等）についてもこれらを互いに相違させてもこれら各浮上パッド３０へのエアの供給量を調整することで、各浮上パッド３０による浮上力を略等しくするなら、先の実施形態と同様の効果を得ることはできる。ただし、孔４２や浮上パッド３０を同一とすることが、各吸引パッド４０同士の吸引力や、各浮上パッド３０同士の浮上力を互いに同一とする簡易な手法であるため、望ましい。

・加圧気体を噴出する噴出部を、搬送方向に沿って複数個備える構成とする代わりに、搬送方向に対して途切れることのないもの（例えば搬送方向と平行な辺の方が長い長方形状のもの）を備える構成としてもよい。

・調整部５２ａ〜５２ｆを各列毎に共有化しなくても、先の実施形態の上記（１），（２），（４），（５）を得ることはできる。

・調整手段（調整部５２ａ〜５２ｆ）を各列毎に備える代わりに、隣接する複数の列毎に各別に調整手段を設けるようにしてもよい。すなわち、例えば吸引パッド４０が６列ある場合、１列目及び２列目と、３列目及び４列目と、５列目及び６列目との３つのグループにグループ分けしてこれら各グループ毎に各別の調整手段を備えてもよい。これにより、同一の調整手段を用いる吸引パッド４０によって吸引される気体の総量に対し、その上方がワークＷに覆われていない吸引パッド４０による気体の吸引量の占める割合を低減させることができる。このため、その上方がワークＷによって覆われていない吸引パッド４０による吸引によりその上方がワークＷによって覆われた吸引パッド４０による吸引力が低下することを抑制することができる。なお、この際、上記吸引力の低下を十分に抑制することができないなら、例えば吸引パッド４０の孔４２から吸引される気体量を調整する調整部５２の能力や集合バッファ５４のうち各列に割り当てられる部分の容積を大型化するなどすることが望ましい。これによっても、その上方がワークＷによって覆われてない吸引パッド４０の吸引による同ワークＷに覆われている吸引パッド４０の吸引への影響を小さくする効果があるため、上記グループ化との協働により上記吸引力の低下を好適に抑制することができる。

・搬送方向の前後方向についての一方向にある１乃至複数の吸引部の上方がワークに覆われて且つ前後方向についての他方向にある１乃至複数の吸引部の上方がワークに覆われていないとき、他方向にある前記吸引部による気体の吸引によって一方向にある吸引部による気体の吸引力が低下することを回避又は抑制する吸引力保持手段としては、上記態様にて各別に調整手段を設けることで構成されるものに限らない。例えば調整手段の能力を大きくしたり、集合バッファ５４のうち各列に割り当てられる部分の容積を大型化するなどすることで、その上方がワークＷによって覆われてない吸引パッド４０の吸引による同ワークＷに覆われている吸引パッド４０の吸引力の低下を抑制する手段としてもよい。更に、各吸引部（孔４２）に負圧を導入する通路内に開閉弁を設けて、ワークＷがその上方を覆っていない吸引部（孔４２）には負圧を導入しない構成としてもよい。

・加圧される気体や、当該非接触支持装置の雰囲気としては、エア（空気）に限らず、窒素ガス等の任意の気体でよい。

・上記浮上ステージ４としては、多孔質体を介してエアを噴出するものに限らず、多孔質体を介さずにエアを噴出させるものであってもよい。また、非接触支持装置１としては、浮上ステージ４を備えるものに限らず、例えば、全ての領域において検査ステージ２と同様の構成としてもよい。最も、検査ステージ２は、浮上ステージ４よりもその構成が複雑であることに鑑みれば、実際にワークＷの検査が行なわれる領域以外には、浮上ステージ４等を備える簡易な構成とすることが望ましい。

・上記実施形態では、液晶ディスプレイの検査工程において、同ディスプレイを非接触にて支持する非接触支持装置に本発明を適用したが、これに限らない。例えば上記特許文献１に例示された用途に適用される非接触支持装置に本発明を適用してもよい。換言すれば、被支持部材であるワークは、検査及び加工の少なくとも一方の対象となる薄板状部材であればよい。

本発明にかかる非接触支持装置の一実施形態の全体構成を示す平面図。 図１のＡ−Ａ断面図。 図１のＢ−Ｂ断面図。 図１のＤ−Ｄ断面図。 同実施形態におけるワークＷの搬送態様を示す断面図。

符号の説明

１…非接触支持装置、２…検査ステージ、３０…浮上パッド、３４…多孔質体（噴出部の一実施形態）、４０…吸引パッド、４２…孔（吸引部の一実施形態）、Ｗ…ワーク。

Claims (9)

1. 加圧気体を噴出する噴出部と周辺の気体を吸引する吸引部との上方にワークを対向させることで、前記ワークが略水平に搬送されるに際して該ワークを非接触支持する非接触支持装置において、
   前記吸引部は、前記搬送方向に沿って複数配置されるとともに、前記噴出部は、前記複数の吸引部の結ぶ線と交わらない態様にて前記搬送方向に沿って配置されてなることを特徴とする非接触支持装置。
2. 前記複数の吸引部は、前記搬送方向に沿って均等に配置されてなることを特徴とする請求項１記載の非接触支持装置。
3. 前記噴出部は、前記搬送方向に沿って複数配置されるとともに、これら各噴出部は、前記複数の吸引部の各吸引部に対応して且つ、前記搬送方向と直交する方向で前記各吸引部に隣接して設けられてなることを特徴とする請求項２記載の非接触支持装置。
4. 前記複数の吸引部は互いに同一形状且つ同一寸法のものからなり、前記複数の噴出部は互いに同一形状且つ同一寸法のものからなることを特徴とする請求項３記載の非接触支持装置。
5. 前記搬送方向の前後方向についての一方向にある１乃至複数の吸引部の上方が前記ワークに覆われて且つ前記前後方向についての他方向にある１乃至複数の吸引部の上方が前記ワークに覆われていないとき、前記他方向にある前記吸引部による気体の吸引によって前記一方向にある前記吸引部による気体の吸引力が低下することを回避又は抑制する吸引力保持手段を更に備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の非接触支持装置。
6. 前記吸引部の下流に、該吸引部に吸引される気体量を調整する調整手段を更に備え、
   前記吸引力保持手段は、前記搬送方向である列方向に沿って配置される複数の吸引部の各列又は隣接する複数の列毎に、前記調整手段が各別に備えられることで構成されてなることを特徴とする請求項５記載の非接触支持装置。
7. 前記吸引部と前記噴出部とは、前記搬送方向に直交する方向において交互に複数個ずつ配置されてなることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の非接触支持装置。
8. 前記搬送方向に直交する方向についての両端は、噴出部及び吸引部のいずれか一方に統一されてなることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の非接触支持装置。
9. 前記吸引部が同一線上に沿って複数配置されて且つ該複数の吸引部と平行に前記噴出部が配置されてユニット化されたものが、複数配置されてなることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の非接触支持装置。

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