JPS5946029A - ウエハのプリアライメント装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、半導体ウェハ上に回路ｉｅターンヶ焼き伺け
る際に、上記ウエノＸケマスクパターン像と整合させる
べく、上記ウエノ１ケ所定位置にセットするに好適のウ
ェハのプリアライメント方法と装ｊｔＶＣ関する。

半導体ウェハにマスクの回路〕やターンヶ焼き付ける工
程では、前工程で、理に焼き付けされた・モターンと、
次工程で焼き付ける・タターンとの位置決めが必要であ
る。この場合、最終的の位１ｉ′１決めは、パターン認
識により精度良く行なわれるか、それを行うためには、
概略のウニ／％の位置決めが必要である。この概略のウ
ニノー位儀゛決め、才なわちプリアライメント装置うた
めの装置とし、て各穆のものが従来より採用されている
が、奔１相互間に互換性なく、ある】っの装置によって
焼き付けられた／Ｆターンは、次工程においても同一の
装置で位１１イ決めしないとウェハの中心位置が狂って
焼きイマ］けができず、装置全体の稼動率が向上し借な
い欠点があった。

すなわち、従来採用された装置の１つは、第１図（ａｌ
に示す７ＪＤ　＜、円弧状の半導ウェハ２（Ｊ、−１、
下ウェハと称呼する）の外周の一部ケ欠損せしめて形成
したオリフラ２ａ’、（、ウェハ２ケ示矢ＡのグＩＩ　
＜回転し、木矢Ｂの如く、ウェハ２の平坦支持点を求め
てオリフラ２ａ、（（見出し、ウェハ２の回転方向の位
置ケ沈める。次に、第１図（ｂｌに示す９口く、ウェハ
２の外周部ケ木矢Ｃの如く同時に４個所の対象位置から
押し、ウェハ２の中心位置決め、メインアライメント用
ターケ８ットマーク１（以下、ターゲットマークと呼称
する）ケ位置決めして、アライメントに行う方式である
８又、他の装置としては、第２図（ａｌおよび第２図（
ｂｌに示す如くオリフラ２ａに係合すべく、並設位置決
めさハ、たピンＡ１６ａと、ウェハ２の外周部に係合す
べく位置決めされたピンＢ　ｉ６ｂとに、ウェハ２ケ示
矢ＤＫ示す如く押圧し、ターゲットマーク１の位置決め
な行うものである。

以上の２つの製箔″ケ比較すると、いずれも、ウェハ２
の外径寸法と、オリフラ２ａの大きさＶＣよってターゲ
ットマーク１の位置が決めら〕１．るものであるため、
ウニ″２の外径寸法と、オリフラ２ａの大きさのバラツ
キによって、ターゲットマーク】の位置がズしてくる。

従って、１ｉｌ−のプリアライメント装置を用いなけれ
ば、合せ基塾が異るため、ターゲットマーク１が同一の
位置に位を値ｙＪ４めされず回路・母ターンを順次に焼
きイτｊけることができない。従って、フ０リアライメ
ント装置が１つのものに固定されるので、装置全体の株
＋１＋ｊ、ｌ率ケ回１゛せしめることが、できない。更
に位置決めの際、ウェハ２の外周部が押圧されるため、
ウニ／Ｓ　２の外周が損傷される欠点も生じる。

本発明は、以上の欠点を解消すべく創案さ１したもので
あり、その目的は、従来のプリアライメント装置に対し
互換性を有し、従って、装置の稼動率ケ向」二しうると
共に、ウェハの損傷が少なく、製品の歩留り全向上しつ
るウェハのプリアラ・ｒメント方法と装置を提供するこ
とにある。

本発明し［、以」二の目的ケ達成するために、移送さｉ
ｌ−てきたウェハｋ　、１１！’Ｉ田電位置決めしたの
ち、ウェハ全１ｉ−ｉｌ転し、上記オリフラの位置全検
出して、ウェハの同転位置決めをすると共に、ウェハの
外周の水平面方向の位ｉｆ　ｆ検出し、許容範囲との差
異ケ求めウェハ全水平面方向に移動せしめその中心位置
を−決めてウェハの位置決めをするウェハの７０リアラ
イメント方法ケ特徴とすると共に、上記移送されたウェ
ハの４１；′Ｉｌ略位置決する位１す゛決、ｙ）手段と
、」二組ウェハ孕水平面上に着脱自在Ｖこ取着すると共
に、水平面方向に移動可能に形成された移動手段と、上
記ウェハの外周部に係合し、該外周部の水平面方向の位
＠ケ検出する第１の検出手段と」二組移動手段による取
着が解除された上記ウェハを、水平面上に回転手段と、
上記ウェハのオリフラに係合し、該オリフラの位＃ケ検
出する第２の検出手段と、」二組第１．１＝−よび第２
の検出手段の検出値と許容範囲等との差異により、」−
記移動手段および回転手段を、水平面方向および回転方
向に移動位置決めする制御手段とから構成されるつｆハ
のプリアライメント装置行により、ウェハのりＬ１古ｊ
部を押出して位置決めすることなく、上記第１および第
２の検出手段により、ｒ“ノエハの外周ケ＋１傷するこ
となく、ウェハ全移動位置決めするウェハのプリアライ
メント装置全特徴とし、たものてホ）る。

以下、本発明の実施に好適な一実／ｆｆｉ例を図にノ、
（ついて説明する。

まず、本実施例のイ既要？第３し１ふ・よひ第４図によ
り説明する。

木矢ＥのｐｌＪ　＜　、移送されてきたウェハ２Ｃ」、
ウェハ２の外周部に係合する複数個のピンＣ５−、。

ピンＤ５−２およびピンＥ５−８．ｒ、す）Ｋ成さｉす
る位１百決め手段１７によＶ世１略位置決めさノ主る。

４１”ｌ略位置決めされたウェハ２の下面１１ｊｔｌ　
ｉ／ごは、ウェハ２を水平面上に着脱自在に取着する移
Ｗ＋υ手段Ｊ８か、設けらｉｔでいる。この移動手段１
８は、ウェハ２ヶ取着したまま、水平面方向のＸ方向お
よびＹ力向（第３図に示す）ＶＣ移動可仙に形成されて
いる。、＋＋：１略位置決めさ力、たウェハ２の外周部
には、この外；Ｍ部のＸ方向およびＹ方向の位＠ゲ検出
する複数個のう′Ｃ電素子Ａ６−４．Ｂ６−５．Ｃ６−
６およびＤ６−７等からなる第１の検出手段１９が係合
している。又、ウェハ２の下面側には、移動手段１８全
囲繞するウェハ回転テーブル４を有する回転手段２０が
殻゛けられている一回転手段２０は、移動手段１８の取
着が解除されたウェハ２金持ち上げ、こｆ″ＬヶＬ７回
転うに構成されている。

ウェハ２の外周部のオリフラ２ａには、ウエノ＼２の移
送方向に並設された複数個の−）’（：電素子Ｅ６−、
ＩＦ’６−２．およびＧ６−８からなる第２の検出手段
２１が係合している。

又・第１および第２の検出手段］／！ｌ　、　２＋　＆
よ、図示しなし・制御手段に接Ｎ１・し、ウェハ２のＸ
方向Ｙ方向および回転フｊ向の検出値葡人力させる。

この制ω１１手段は、＃動手段１８およＯ・回転手段加
とそれぞれ隆続し、−Ｌ記入力信号によ！〕、千ｇＩ！
ｌｌＪ手■使１８および回転手段２０全移動しウェハ２
の中心０’＋１〆１ｉ−よびオリフラの回転（ｔ’ξ置
を位置沈め１−／；・。１′−１、」二に、Ｊ：す、ウ
ェハ２のプリアライメント７′ｌ）行わハることになる
、 次に、本実施例を・更に詳しくｔシ明する。

上記の如く、木矢Ｅにより鷺送さノまたウェハ２は、位
置決ｙ）手段１７によｆ）概略位１ｉｒｔ決めさｉｌ−
る。

すなＪ）ち、移送さノ１．たウェハ２ケ支持する＋持デ
ープル台２２のよ、面側のウェハ２の移送方向には、ウ
ェハ２の外周直径よりやや大きな円周、］二Ｋ１適宜間
隔倉距てて、し９ンＡ３−１．ビンＢ５−２オ、・よび
ビンＣ５−８が設けられている。移送されてきたつ、：
ｒ−ハ２　ｒ、ｊ：、Ｑ４’　５１’′；ｌの点ｖｉａ
−ｃ示’Ｔ−７２１１＜、ビンＡ５−。

とビンＢ５−２、又１は、ビンＡ３−１とビンに５−３
とＫＪニジ析略の蔽置決めがさｉｔで停＋、にする。支
持テーブル台２２のウェハ２が概略位１ｔイ決めさノ１
．左中ノし位置近停には、後に説明する移動手段１８お
よび回転手段加が内蔵される孔部側が形成されている。

なおビンＡ５□等の設けられた円周の中！し点は、」二
紀孔ｆｅｌ＋　２３の中心点より、ウェハ２の移送方向
（第３図の右方向）にずれて位置決めされている。

従って、ウェハ２は、このずれ量δだけ孔部２３の中心
より右に寄った位置に、ＩＩ！！Ｉ略位置決めされる。

そして矛の後、同じくずれ量δだけ同方向にずれて初期
位置セットさ′ｆ′した移動手段１８のウェハ移動テー
ブル３により、孔部ｎの中心点に戻されて、位置決めさ
ノ′しる。

辺、上のり１］く、位置決め手段１７のビンＡ３−１等
を右寄りにずらして位置決めしたのは、移動手段１８が
ウェハ２を取着しだ林・、第６図に示すダ１１く、図の
左方向に戻って中心位置決めするブζめである。

すなわち、もし、ずれ量δ？零とすると、ウェハ２ｉ−
１一孔部側の中心に正確に停止１〜ることができないた
め、その分だけ、ウェハ２°の中心とウェハ移動テーブ
ル３との中心がずれてしまうからである。

従って、上記の如く、−たん右寄シにウェハ２？もって
１Ｔき、ウェハ移動テーブル３もＩＭＩ　ｉｌ゛どしＪ
−右寄りに位置決め一ノることによシ、ウェハ２のほぼ
中心をウェハ移動テーブル３て取着することができる。

なお、Ｘ方向のずれ量は、Ｙ方向に較べて緊少のため、
概略位置決め上では問題とならない。

次に、移動手段１８を説明する。

孔部２：３の内部には、支持テーブル台２２の上面（（
平行な仕切板り↓が設けらり、ている、仕切板２−Ｉ　
Ｊ：には、ウェハ移動テーブル３ＱＸ方向卦よびＹ方向
に摺動自在に支持する支持台がか載置されてし・る。

ウェハ移動テーブル３は、支持テーブル台２２の土面と
ほぼ同一レベルにそのテーブル上面ケ形成する。ウェハ
２は、上８己の如く、このテープ、＋１・−に面に載置
さｉする。ウェハ移動テーブル３の−１−記テ゛−プル
上面には、図示しない真空源に外通−ｊる真空通路２６
が接続している。従つで、ウエノ１２ｄ２、この真空に
よる吸着力の作用（（よす、ウニｔ：　））移動テーブ
ル３上に着脱自在に支持される。又、支持台か上にはウ
ェハ移動テーブル３をＹ力向に移動するためのＹ方向移
動モーフ９ど、Ｘ方向に移動−ｊ′るための図示しない
Ｘ方向移動モータがそれイれ載置されている。ぞして、
ウェハ移動デーフル３はスプリング２７Ｖこよυ、Ｙ方
向移動モーフ９等に圧接する方向に付勢されている。

次に、第１の検出手段１９ヲ説明する。

第３図および第６図に示す如く、支持テーブル台２２の
孔部２：３を中心とし、ウェハ２の外周とほぼ１■−の
円周上には、中心・線上に相対向して、−）゛Ｌ電素子
Ａ６−４と光電素子Ｃ６−６およびう゛Ｃ電累子Ｂ６−
５と光電素子Ｄ６−７が設けられている。　ウェハ２の
外周が、光電素早入６−４等のすべてとロー状態に併合
しているときは、光電素早入６−４　等は、ＩＭ−のＸ
方向ふ・よひＹ方向の検出値を検出するが、ウェハ２が
どちらかの方向にずれているときぐ」１、異った検出値
をそれぞれ検出することになる。これ等の検出値し」１
、後に説明する制御手段に入力される。

次に、回転手段２０を説明する。

第４図に示す如く、環状のウェハ回転テーブル４は、支
持テーブル台２２の孔部２３１７Ｊに、回転自在に挿設
され、回転手段１８のウェハ移動テーブル３を囲繞して
設けられている。ウェハ回転テーブル４の内周１１１１
１　＋ｃは内歯車が形成され、第３図（ｔこも示す如く
、この内歯車には、ビニオン歯車２０が噛合している。

ビニオン歯車２ｇは、仕切板２，１−１−に小ν、１修
さＪｔた回転テーブル回転モータ７により回転さ）圭る
。父、仕切板２４」−には、アーム酎の中間部る・支持
する支え台；３０が載ＩＰｔさｈ支え台３（）で支ト′
１さノまたアーム別の作用点側はウェハ回転デープル４
の下Ｍ」に当接すると共に、その力点側には、仕切板２
・１に増付けられた回転デープル上下川シリンダ８のピ
ストンが併合している。従って、回転デー　グル上下用
シリンダ８０作用により、ウェハ１１」ロリ′７−ブル
４は孔部乙の内周に治って上−ト動１゛る。

次に、第２の検出手段２１ヲ説明する。

第３図、第６図、第７し１．１．−よひ第８図に示すη
Ｉ：く、ウェハ２の外周に形成されたオリフラ２ａ　Ｖ
ｃ係合する光電素子Ｅ６−１１光電素子Ｆｌ”＋−２，
１，−よび光電素子Ｇ６−８は、ウエノ１２の４−ｔ、
送方向に並設に支持デープル台２２」二に支持されてい
る８第７図の如く、ウェハ２のオリフラ２ａが形成され
ていない外周が光電素子Ｅ６−７等に係合している状態
では、光電素子Ｅ６−１等のすべては１ｂ−１−の４Ｃ
Ｇ出値を検出しない。しかし、第８１ヌ１のり１１＜、
ウェハ２のオリフラ２ａが光゛ｎ先素子Ｅ６−１等に快
合すると同一の値が検出される。従って、オリフラ２ａ
の回転方向がイイハ出さ′ＦＬる。

次に、制御手段について説明１−る。

割部ｊ手段は、光屯累早入６−４等の１゛べての光市、
素子に接続し、光電素子Ａ６−４等の検出イハ号葡取り
込むための（弓路系統３１（第９図に示−ｊ−）と、取
り込まれた楡出伯号を演算する演算１刈路系統（第１１
）図に示す）と、Ｙ方向移動モータ９、Ｘ方向移動モー
タ（ｌｘｊ示ぜず）、回転テーブル１ｆ川転モータ７、
回転テーブル−１−下用シリンダ８．ｌ、−よび１ヌ１
示しない真空通路２６に連通１−る真空＃、等に接続し
、これ等を動作する動作回路等とから梠成されている。

次に、本実施例の作用を説明する。

上記したＱｏ　＜　、移送されてきたウェハ２は、ピン
Ａ３−１等に当接し、概略位置決めされる。ウェハ移動
テーブル３は、上記の如く予め右寄りにずノ′してずσ
首状めさノＬ、、Ｊｚ記椰略位置にあるウェハ２の下面
に係合し、これ孕支持する。同時に、ウェハ窟動テーブ
ル３の上面には、在学・山路２ＣｉよりＪ′℃空が送ら
れ、ウェハ２はウエノＸ”４動テーブル３１’こ吸着さ
れ、る。次に、ウェハ回転デープル３け、ウェハ２を吸
着した一Ｆ、ま、左行じ、中心付１ｒ１゛イなわぢ支持
テーブル２２の孔部ｚ：１の中心位置にルする。ここで
、ウェハ移動テーブル３はウエノ＼２の（νクバを治〜
解除する。同時に、Ｆ１１転テーブル上下用シリンダ８
の作用により、ウエノ１回転テーブル４かＪＺ　Ｊｉ’
、し、ウェハ２を支持する。次（ｆこ、回転テープＡ［
ｉ’１１瞥モータモ−タフにより、ウェハ回転テーブル
４か回転する、 ウェハ回転テーブル４が回転し、ウエノ＼２の外周に光
電素子Ｅ　６−１＋　Ｆ　６−２およびＧ６−８が４８
合し、上記し７た如く、オリフラ２ａの回転位Ｗ；が検
出される。この位置でウェハ移動テーブル４の回転を停
止し、ウエノ１回転テーブル４を下降せしめ、ウェハ２
の回転方向の位置決と）か完了する。

次に再び、ウェハ移動テーブル３の上面に次も！全作用
させ、ウエノＸ２を真空取着する、こσ）゛１ノ＼ｖシ
で、ウェハ２の外周に係合する光電素子Ａ　６−４゜１
３６−５１　Ｃ６−６およびＤ６−７の検出値孕求める
。

以下、この検出値孕制御手段にＪ（ソリ込み、Ｙ方向３
動モータ９卦よびｌｐｌ示しないＸ方向移動モータヲ二
ｉ！ｉ１１作し、ウェハ２の中心位置決めをし、ウェハ
２の１リアライメント欠完了する。

次に、第９図卦よび第１ｆ１図により？１ｊｌｌ向手段
゛の１１力作を説明する。

第９図は、」−記の加く、光電素早入６−４等の検１」
）信号を取り込むための回路系統：３１孕示−”Ｑ　−
）’ｅ電素子Ｅ　６−　、　ｌ　Ｆ　６−２１　（Ｊ　
６−Ｂ等には、光電素７−Ｅ（ｌｉ−１々ｔ−からのア
ナログ信号’ｋ　Ａ、／Ｄ変換するため増幅したり、）
°Ｌ電素子間のレベルを合わせたり−Ｊ−るバッファ月
がそＩｔそれ接続している。バッファ１１には、アナロ
グスイッチ１２がそれぞｈｊ；ｆ％　Ｌ？している。ア
ナログスイッチ＋２　ｉ＝１：、計ｑ機■５のアナログ
スイッチセレクトデータにより、デコーダ１４で１つの
アナログスイッチ１２２Ｂ４択してスイッチオンさ凡る
。これにより、所要の光電素子力）らの検出信号がＡ／
Ｄコンバータ１３全介して、計算機１５内シて入力され
る。

次に、上記検出信号ケ計儂−機で演算する渾算ＩＬ】１
路系統と、この演算ＶＣより、各モータ類を＾（１作す
る動作回路をフローチャートにより説明１゛る。

第１１し１はウェハ２の位置決め全求心方式で求Ｉ）る
場合會示ず。

光電素子Ａ６−４および光電素子Ｂ６−５の検出データ
全上記の如くして計算機１５に取込む。

両者のデータ差ａ、全求め、この絶対値１ａ、ｌｉ、予
め定め１ζ酌−容誤差に１と比較する。砲％Ｉ　（ｉＩ
！ＩＩ　Ｉｌｌ　ｔが許容誤差に、　Ｊ：り小さいとぎ
は、この方向（この」μ合Ｘ方回）のウェハ２の位置合
せはできたものとし、同様に光電素子Ｃ６−６とＤ６−
７　のデータケ取込み、データ差ａ、の絶対値１　ａ２
１と許容誤差に２全比較し、絶対値１ａ＝ｌが許容誤差
に２よりも小さけり、ば、ウェハ２のＹ方向の位置合せ
かｒ：きたものとする。

絶対値１ａ、１が許容値に、よりも大きい場合にｄ、・
データ差ａ１のプラス又は、マイナスに応じてウェハ移
動テーブル３ｉＸのマイナス方向又はプラス方向に移動
し、中心位置決め會する。同様ｅこ、データ差ａ２につ
いても、ウェハ悠、動テーブル３金Ｙのマイナス方向又
はノ０ラス方向に移動しこ、ウェハ２の中心（５ｊ’、
　（ｊＱ決め？＋−する。

ンンζ姓二ｊＱ　Ｑ　米子Ａ　Ｃ１、Ｂ　ｆｉ　　　＋
　０６−６−”　ヨＬ、）４−５ １−）　ｈ−７のデータケ再度取込み、６−５　　と６
−４゜６−６　　と　　５　７　　、　　６−５　　と
　　６−７　卦　、ｌ：　　び　　６−６　　と６　　
とのデータ差ａ、、ａ２．ａ、、オよびａ４ｉ求　４ め、これらの不色効１値ｌ　ａｌ　ｌ　、　　ｌ　ａ２
１　　、ｌ　ａｓ　ｌ−’よび１Ｂ４１ケ、、’ｐ　容
ｊ！呉差Ｋ。と比較（７、ウェハ２の中心トウエバ７移
動テーブル３との中心が許容範囲内で一匂Ｌ−でいろコ
コ１１否ズＩ）の判定ｋ・し７、一致していノ］、は位
置合せケ（、〉了し、不可σ）場合は、ｌｌ５１様のこ
とを芥（・ン返し行つ、。

２＋’＋　１．！し１ζτ１．３点位硝沃め方式による
ウゴーハ２の中ｒ（１−缶屑決めフロ・−チャートに示
す。この場合ウェハ２の８送方向の中心Ｎ外周に→’Ｑ
　ｉＪＬ素子Ｈ６−８が１糸ｐ＞　（−てｈりけられて
いる。従って、光電素子Ｈ６−８と尤Ｉ４Ｌ素千Ｆ６−
２とは、はぼ直交して配置篩゛されイ）。

ｊず、光？杭紫子Ｆ６−２のデータケ取込み、予め定め
た下限許容範囲Ｓ、と比較し、小さけノ］げＹのマイナ
ス方向１／（ウェハ２を移動し７、大きければ上限許容
範囲Ｓ２と比較する。６−２　　のデータが詐容仲、囲
Ｓ２より大きいときはＹのマイナス方向にウェハｌ−ｋ
　稈ｊ＋ｉ！ｊし、小さければ、Ｙ方向については一応
位置決めができたものとする。

次に回じ〈−）シミ素子Ｉ（６−８のデータ全取込み、
下限許容範囲Ｓ３および−１−眼許容範囲Ｓ４と比も（
２、Ｘ方向の鼎１整をする、七［７て、再度、６−８　
のテ゛−タが下限許容範囲Ｓ、お、ＬびＳ３と一ヒ用許
容％ｌ　１ｌｌｉ　Ｓ２およびＳ４間に入っているか否
かをそハぞれ（ｉ！Ｉλ々し、ウェハ２の位置決め全終
了する。１！〕、上の２つの方式は、いづれも光電素子
によってウェハ２の外周＋７）　−ｆ　′ｈｆ４を検出
し、この検出（ｉｔ！によってウエノ＼２の中心位置決
めをするもので、許容範１１ＪＩｉのｊ−；・ν４１ｉ
＜ｉの設定？変えることにより、適宜のウニ・１２の中
心位置決めが可能となる。従って、前上程で回路・ぐタ
ーン全焼き付けるときに用い／こプリアライメント装置
の如何に拘らず、ターグツトマーク１ケ一定の位置に位
１蝮決めてき同一のメイン了ライメント全円滑に行うこ
とができ、これにより装部の稼！７ｉ１１率ケ向」ニす
ることができる。又、従来の如く、ウェハ２の外周金押
圧して位置決めするものでかいため、ウェハ２を損傷す
ることなく、製品の歩留りを向上させることができる。

以上の説明で明らかの如く、本発明によれば、従来のプ
リアライメント装置に対し、互換性ケ有し・装置の稼動
全向上しつると共に製品の歩留り全向上しつる効果が上
げられる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａｔおよび（ｂｌは従来の求心方式によるプリ
アライメントの概戦ヲ説明する説明図、第２図（ａｌお
よび［ｂｌは同じく３点基準方式によるテリアライメン
トの説明図、第３図は本発明の一実施例の上面図、第４
図は第３図のＩＶ　−ＩＶ線矢視の断面図、第５図は実
施例のウェハの概略位値、決めケ示す説明図、第６図は
概略位置決めされたウェハと装置中心位置との関係孕示
す説明図、第７図および第８図はオリフラの位置検出手
段を示す説明図、第９図Ｑよ光′亀素子による検出信号
を取り込む回路系る演算、制御系統に説明するフローチ
ャー１・１．」）１１図Ｖよその、１点制御方式による
フローチャ・−１・−Ｃある。 】・・・メインアライメント用ターゲットマーク、２・
・・半導体ウェハ、２ａ・・・メリフラ、　３・・・ウ
ェハ移動テーブル、４・・・ウェハ回転テーブル、５　
・・・　１ ピンＣ％　　５−２・・・ピンＤ、５−８・・・ピンＥ
　ｓ　６−１　・・・ないし６−８・・・光電素子Ｄ　
、　Ｅ　、　Ｆ　、　Ｇ　、　Ａ　、　Ｂ　。 Ｃ，Ｈ，７・・・回転テーブル回転モータ、８・・・回
転ブ−−ブ２．上下用シリンダ、９・・・Ｙ方向移動モ
ータ＼１】・・・バッファ、１２・・・アナログスイッ
チ、１；３・・・Ａ／Ｄコンバータ、１４・・・デコー
ダ、１５・・・計算機、１６ａ・・・ピンＡ、１６ｂ・
・・ビニ’Ｂ、１７・・・位置決め手段、１８・・・移
動手段、］９・・・第１の検出手段、２（）・・・回転
手段、２１・・・第２の検出手段、２２・・・支持テー
ブル台、１′つ・・孔部、２４・・・仕切板、５・・・
支持台、２０・・・真空Ｉ＋ｎ路、２７・・・スプリン
グ、２８・・・アーム、２９・・・ビニオン歯車、３０
・・・支え台、３】・・・回路系統。 第１図 （Ｑ） （ｂン 第２図 （０） （ｂ） ；：ｒｒ　　６ド１ 第７図 第８図 第９図 第１Ｏ図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ■、　　＞ｓ、送さ−Ｊ１−るウェハる−１２を略位置
   決めしたのら、該ウェハ會回転し、ウェハの外周にＪ１
   φ成さｔｌ−７’ｊオリンラの位８　’ａ・該オリフラ
   と他のウェハ外周との検出イ１げの差異により検出して
   、」−記つエバの回転ブラ向の位置決め（ｉｌ−スると
   共に、上記ウェハ外周の水平面方向の許容範囲からの差
   異音検出し、上記ウェハを水平面上りこオ・り動ぜしめ
   て、その中Ｉｂ位ｆ６”決めするようにすることを特徴
   と１゛るウェハのプリアライメント方法。 ２、移送される。＞エバの概太位−゛決めづ−る位（ｈ
   。 決め手段と、上記ウェハを水平面」二に着脱自在に取着
   喋ると共に、水平面方向Ｖこ移動可能とする移動手段と
   、」二記ウェハの外周部に係合し、該外周り平面方向の
   位１灯？Ｌ検出する第１の検出手段と、」１記移動手段
   による取着が解除された上記ウエハン、水平面」−ｖこ
   回転可能に支持する回転手段と・上記ウェハの外周に形
   成されたオリフラに係合し２、オリフラの位置全検出す
   る第２の検出手段と、上記用１および第２の検出手段の
   検出値と許容範囲等との差異により、上記移動手段およ
   び回転子１：Ｉ、ｌ＋ケ、水平面方向および回転方向に
   移動位１１”′Ｉ′決めする制御手段とを備えたことを
   特徴とするウエノ・のプリアライメント装置。