JPH06105744B2 - ウエハ移載装置及びプローブ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】本発明は、ウエハ移載装置及びプ
ローブ装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】ウエハ内のチップを測定するプローブ装
置は、ウエハプロセス工程での最終工程にて、ウエハ内
に形成された数多くのチップに対して各々の電気的特性
を測定し、不良チップを区分するための機械的装置であ
り、ウエハ内のチップとテスタとの媒体となる装置であ
る。ウエハ状態で測定を行うことにより、不良チップを
アッセンブリ工程の手前で排除し、コストダウン、及び
生産性の向上に寄与させることができる。 【０００３】プローブ装置の基本的機能は、チップ上の
電極（パッドと称されている）にプローブカードに付さ
れているプローブ針を接触させることである。テスタか
らの測定信号は、プローブカードを経て、測定されるチ
ップに伝えられ、その出力信号もプローブカードを経て
テスタに返送され、テスタにより測定結果の判定が行わ
れる。 【０００４】最近の半導体製造工程は、半導体産業の飛
躍的な伸長により、生産性の向上、歩留りの向上及び品
質の向上が求められ、ウエハの大口径化と製造装置の自
動化が急激に進められている。プローブ装置についても
同様で、単にプローブカードのプローブ針を接触させる
機能だけのものから、ウエハが収納されたウエハカセッ
トをセットするだけで、すべてのウエハを自動的にテス
トできるフルオートプローブ装置に発展改良された現在
に至っている。 【０００５】フルオートプローブ装置は、セミオートプ
ローブ装置の省力化を更に発展させたプローブ装置で、
初期条件の設定とカセットの供給のみオペレータが行え
ば、アライメントも含めて全自動でプロービング（チッ
プにプローブカードのプローブ針を圧接して順番に測定
する行為）が可能となる。ウエハカセット１個につき２
５枚のウエハが収納できるので、一枚当りのテスト時間
を例えば３０分とすれば実に約１２時間以上の無人運転
が可能であり、カセット数を増設すれば、更に長時間運
転ができる。現在の生産ラインでは、ほとんどこのプロ
ーブ装置が利用されている。 【０００６】このようなプローブ装置では、ウエハ保持
台の回転角が小さい場合には、ウエハカセットとウエハ
保持台との間でウエハのプリアライメント（最終的な位
置合わせの前の概略の位置合わせ）を行わなければなら
ず、こうした機能を備えながらできるだけ簡単でかつ確
実な、プローブ装置に適した移載装置を用いることが重
要である。 【０００７】従来プローブ装置に用いられている移載装
置装置としては、例えば特開昭５７−６６６４９号公報
に記載されている技術が知られている。この技術は、ウ
エハカセットをエレベータ上に配置すると共に、ウエハ
カセットの昇降路上に搬送用のベルトを設け、ウエハカ
セットを降下させてウエハがベルトに接触したときにエ
レベータを停止して当該ベルトにウエハを受け渡し、こ
のベルトにより所定位置まで搬送した後Ｘ、Ｙ、Ｚ、θ
方向に移動自在なベルヌーイチャックによりベルト上の
ウエハの表面を吸引し、ベルヌーイチャックを回転させ
てウエハ保持台にウエハを受け渡すものである。ベルヌ
ーイチャックは、円錐型の吸引室の側壁に沿って空気を
通流して中央部を負圧にし、これによりウエハを上から
保持するものである。 【０００８】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の移
載装置ではベルトを用いてカセット内からウエハを取り
出しているため、ベルトからゴミが発生し、ウエハが汚
染されるという問題がある。このような汚染はデバイス
の集積度がそれ程高くない場合には大きな問題とはなら
ないが、今後デバイスの高集積化が進められていく現状
では歩留りの低下の一因になる。 【０００９】またベルヌーイチャックは、空気を噴射す
るノズルに水滴やチリが付着すると噴出気流が乱れ、ウ
エハを搬送中に落下させて破損することがあり、搬送の
確実性に欠けるという問題がある。 【００１０】本発明は、このような事情のもとになされ
たものであり、その目的は、ウエハ収納部からウエハを
取り出して所定位置まで移載するにあたり、確実に搬送
することができ、特にウエハ収納部が横に複数並んで配
列されている場合に、簡単でかつ占有スペースも狭くて
済むウエハ移載装置を提供することにある。 【００１１】本発明の他の目的は、ウエハ収納部とプロ
ーブカードの下に位置するウエハ保持台との間のウエハ
の移載を確実に行うことができ、しかも占有スペースの
狭いプローブ装置を提供することにある。 【００１２】 【課題を解決するための手段】第１の発明は、ウエハを
上下に間隔をおいて収納するウエハ収納部と、ウエハ保
持面に開口部が形成されると共に、進退自在でかつ前記
ウエハ収納部に対して相対的に昇降自在に構成され、ウ
エハ収納部内に進入してウエハを受け取る搬送部材と、
この搬送部材の開口部を通って昇降し、当該搬送部材上
のウエハを受け取って真空吸着する昇降部材と、切り欠
き部を備えると共に、前記昇降部材上のウエハと搬送部
材との間に進入し、昇降部材が切り欠き部内を降下して
昇降部材からウエハを受け取った後、水平方向に回転し
てこのウエハを所定位置に搬送する回転腕と、を具備し
てなることを特徴とするウエハ移載装置。 【００１３】第２の発明は、ウエハを上下に間隔をおい
て収納するウエハ収納部と、ウエハ保持面に開口部が形
成されると共に、進退自在でかつ前記ウエハ収納部に対
して相対的に昇降自在に構成され、ウエハ収納部内に進
入してウエハを受け取る搬送部材と、この搬送部材の開
口部を通って昇降し、当該搬送部材上のウエハを受け取
って真空吸着する昇降部材と、切り欠き部を備えると共
に、前記昇降部材上のウエハと搬送部材との間に進入
し、昇降部材が切り欠き部内を降下して昇降部材からウ
エハを受け取った後、水平方向に回転してこのウエハを
所定位置に搬送する回転腕と、この回転腕により搬送さ
れたウエハを受け取るために当該回転腕の切り欠き部を
通って昇降自在な支持ピンを備え、Ｘ、Ｙ方向に移動自
在なウエハ保持台と、このウエハ保持台の所定の静止位
置に対向して設けられたウエハのテスト用のプローブカ
ードと、を具備してなることを特徴とする。 【００１４】 【作用】搬送部材をウエハ収納部内に進入させてウエハ
をすくい上げ、その後後退させてウエハを取り出す。次
いで搬送部材上のウエハを昇降部材により突き上げ、例
えばこの昇降部材を回転させてウエハの位置合わせを行
う。そして所定のタイミングで回転腕をウエハの下方側
に位置させておき、昇降部材を降下させてウエハを回転
腕に受け渡し、この回転腕により所定位置まで移載す
る。 【００１５】従ってウエハの受け渡しを確実に行うこと
ができ、またウエハを収納部から取り出した後、搬送部
材を移動させて目的とする位置まで搬送するのではな
く、回転腕により搬送しているので、例えばウエハ収納
部が横に複数並んでいて横方向（Ｘ方向）に搬送部材が
移動するものであってもＸ方向と交差する方向に沿って
大きく移動させなくて済むため、移載装置の構成が簡単
でそのスペースも狭くて済む。従ってこのような構成
は、プロ−ブ装置に好適に用いることができる。 【００１６】またウエハの位置合わせをする場合には、
別途位置合わせステージを設けなくて済むので、スペー
スが狭くて済む上、移載の時間も短くて済む。 【００１７】 【実施例】以下に本発明のウエハ移載装置をプローブ装
置に適用した実施例について説明する。先ず図１を参照
してこのプローブ装置の全体の概要について述べると、
このプローブ装置は、カセットステージ１１上に横に一
列に配列されたウエハ収納部例えば４つのウエハカセッ
ト（以下「カセット」という。）１と、このカセット１
内に進入してウエハＷを受け取る搬送部材例えばピンセ
ット２と、このピンセット２に形成された開口部２１を
通ってピンセット２上のウエハＷを突き上げる昇降部材
３と、この昇降部材３上のウエハＷを受け取って所定位
置までウエハＷを搬送するための、切欠部４１を備えた
回転腕４と、この回転腕４からウエハＷを受け取ってウ
エハＷの測定領域まで移動するウエハ保持台５とを備え
ている。 【００１８】またウエハＷの測定領域には、図１では見
えない後述のプローブカードを取り付けるための、ヘッ
ドプレート５１にサポートリング５２を介して保持され
たインサートリング５３などが設けられ、その上方には
プローブカードのプローブ針とウエハＷ上のチップの電
極との位置を観察する光学系ユニット５４が設けられて
いる。 【００１９】なお上述の各移載に関する部分は、カセッ
ト１からウエハ保持台５までウエハＷを移載するものと
して説明しているが、これらはウエハ保持台５からカセ
ット１までの移載も行うものである。 【００２０】次に上述の各部分について詳述する。先ず
前記ピンセット２に関連する機構について図２を参照し
ながら説明する。４つのカセット１がＸ方向に配列され
ているとすると、これらカセット１に対向する位置にＸ
方向に並列して伸びる一対のカイドレール６１に沿っ
て、例えば図示しない車輪により滑動してガイドされる
Ｘ軸板６２が配置されており、このＸ軸板６２は、Ｘ方
向に離れて配置されたプーリ６３ａ、６３ｂの間に掛け
られたベルト６３に取り付けられ、モータＭ１を駆動す
る（正逆転する）ことによりＸ方向に移動するように構
成される。なお１２ａに支台１２に形成された開口部で
ある。 【００２１】前記Ｘ軸板６２を挟んで上下に対向するよ
うにピンセット受台６４及びモータ取付台６５が配設さ
れ、これらの間にはボールネジ６６及び２本のガイド棒
６７が立設されている。前記Ｘ軸板６２は、ボールネジ
６６に図示しないメネジ部を介して螺合すると共にガイ
ド棒６７が図示しないガイド溝を介して貫通されてお
り、従ってモータＭ２を駆動して（正逆転して）ボール
ネジ６６を回転させることにより、ピンセット受台６４
がＸ軸板６２に対して昇降することになる。 【００２２】前記ピンセット受台６４の上面側にはピン
セット基台７１が取り付けられており、このピンセット
基台７１の上には、レール基台７２からＹ方向に並行に
伸びる一対のガイドレール７３が配設されている。ピン
セット２はこのガイドレール７３にガイドされるように
前記基台７１上に滑動自在に取り付けられると共に、Ｙ
方向に沿ってプーリ７４ａ、７４ｂ間に掛けられたベル
ト７４に取り付けられ、モータＭ３を駆動（正逆転）す
ることによりＹ方向に移動自在に即ちカセット１に対し
て進退自在となるように構成されている。 【００２３】前記ピンセット２の進入最終部の位置（前
端位置）と、後退しているときの最後部の位置（後端位
置）とに対応して、図示しないが夫々光電子スイッチ、
例えばピンセット２の通過領域面を介して上下に対向す
る発光部及び受光部よりなる光電子スイッチを設け、ピ
ンセット２の本体通過に伴い、受光部で受光しない場合
にはモータＭ３を停止するように構成すれば、ピンセッ
ト２を予め設定した前端位置及び後端位置にて確実に停
止させることができる。 【００２４】前記ピンセット基台７１の下方側には、当
該ピンセット基台７１に取り付けられたソレノイド３１
によりピンセット基台７１側にガイド棒３２にガイドさ
れながら引き寄せられる（上昇する）昇降板３３が配設
されている。一方前記ピンセット２のウエハ保持面に
は、例えば長穴よりなる開口部２１が形成されており、
前記昇降板３２における前記開口部２１と対向する位置
には、当該開口部２１内を上下に通過する図１にて既述
した昇降部材３がモータＭ４によりベルト３４を介して
鉛直軸（Ｚ軸）のまわりに回転自在に設けられている。
この昇降部材３は、上面にウエハＷの保持面部３０が形
成され、この保持面部３０にはバキューム吸着機能が付
設されており、サブチャックとも呼ばれる。なおこの例
では昇降部材３の上限位置は前記ソレノイド３１のスト
ローク長で決まるが、保持面部３０とピンセット２との
間に前記回転腕４が位置することができるように設定さ
れる。 【００２５】ここでピンセット２のＸ方向（カセット１
の配列方向）の停止位置を設定する部分に関して述べる
と、図３に示すように装置本体側において４個のカセッ
ト１１に対応する位置Ａ〜Ｄに夫々光電子スイッチ１３
を配置すると共に、Ｘ軸板６２に装置本体側の光源１４
を光電子スイッチ１３側に反射するようにミラー１５を
取付け、光源１４からミラー１５を介して反射された光
を光電子スイッチ１３が受光したときに、該当する位置
Ａ〜Ｄに停止して、ピンセット２がカセット１の前面に
対向するように構成される。 【００２６】またこの実施例では、前記昇降部材３上の
ウエハＷをプリアライメントと呼ばれるウエハ保持台５
による最終的な位置合わせの前の前段の位置合わせを行
うための位置検出装置が昇降部材３に関連して設けられ
ている。この位置検出装置に関して述べると、図４
（ａ）に示すように昇降部材３上のウエハを挟んで上下
に対向するように、上側に受光センサ８１、下側に発光
ダイオード８２が夫々配設されており、図５に示すよう
に受光センサ８１には、当該受光センサ８１より出力電
流を電圧に変換するオペアンプ８３が接続されている。
このオペアンプ８３の後段側には低域通過フイルタ８
４、サンプルホールド回路８５及びＡ／Ｄコンバータ８
４がこの順に接続され、このＡ／Ｄコンバータ８４より
の電圧信号がＣＰＵに取り込まれることとなる。 【００２７】前記位置検出装置はこのように構成されて
おり、昇降部材３を上昇させてピンセット２上のウエハ
Ｗを突き上げた後当該昇降部材３によりウエハＷを１回
転させ、これにより得た出力波形にもとづいて図４
（ｂ）に示すようにウエハＷの中心Ｐと昇降部材３の中
心Ｑとの偏心量を求める。なお図６はこの出力波形の一
例を示す図である。その後昇降部材３を降下させてピン
セット２上に載せ、当該ピンセット２及びＸ軸板６２の
移動により前記偏心量を補正し、再び昇降部材３を上昇
させてウエハＷを突き上げて受け取り、ウエハＷを１回
転させて得た出力波形にもとづいてウエハＷのオリフラ
（オリエンテーションフラット）Ｆの位置を演算し、そ
の結果にもとづいて昇降部材３によりウエハＷの向きを
補正し、こうしてウエハＷのプリアライメントが行われ
る。なおウエハＷの受け渡し動作については後で詳述す
るが、昇降部材３の上に（詳しくは保持面部３の上）に
ウエハＷを保持するときにはバキューム吸着する。 【００２８】次に前記回転腕４に関連する構成について
図７を参照しながら述べると、下部側に位置する搬送基
台４２に一対のガイド棒４３を立設し、このガイド棒４
３の上端に固定板４４を嵌着すると共に、搬送基台４２
と固定板４４との間に、下端側のモータＭ５により駆動
されるボールネジ４５を軸着し、更にこのボールネジ４
５に螺合しかつガイド棒４３に嵌合する昇降基台４６を
設けて、回転腕４の昇降機構が構成される。 【００２９】前記昇降基台４６には、モータＭ６により
回転されるウオーム４７及びギア４８を介してＺ軸のま
わりに回転する回転軸４９が設けられており、この回転
軸４９の上端に、前記回転腕４の基端部が取り付けら
れ、こうして回転腕４は水平方向に回動しかつ昇降動作
ができることとなる。また前記回転腕４の先端部の切り
欠き部４１は、昇降部材３が上下に通過して昇降部材３
との間でウエハＷの受け渡しが可能となるように形成さ
れたものである。 【００３０】そして図１に戻ってウエハ保持台５につい
て述べると、このウエハ保持台５は、例えば特開昭６０
−２２６０５号公報に記載されているＸ−Ｙステージ上
に設置される。このようなＸ−Ｙステージ９０は、ボー
ルネジや、ガイドレールを含むＸ軸機構９１、及びボー
ルネジや、ガイドレールを含むＹ軸機構９２などからな
り、更にウエハ保持台５を例えば後述の図１０に示す偏
心カム５８などによりＺ軸方向に移動させ、かつＺ軸ま
わりに回転させる機構が組み合わせられている。 【００３１】またウエハ保持台５には、前記回転腕４の
切り欠き部４１内を通って昇降し、回転腕４との間でウ
エハの受け渡しを行うための例えば正三角形の頂点位置
に夫々配置された３本の支持ピン５０が突出、埋没自在
に設けられている。 【００３２】前記ウエハ保持台５の所定の静止位置（ウ
エハＷの測定領域）には、ウエハ保持台５と対向するよ
うにプローブカードが設けられており、図８に示すよう
にこのプローブカード５５は、プローブ針５６を備え、
例えばネジ５７によりインサートリング５３に取り付け
られている。この例では、インサートリング５３を保持
しているヘッドプレート５１はプローブ装置本体に開閉
自在に取り付けられている。 【００３３】次に上述実施例の装置により、ウエハＷを
カセット１からウエハ保持台５に移載し、測定終了後再
びカセット１まで戻る動作について述べる。先ず複数個
のカセット１をカセットステージ１１の所定の位置に配
置し、オペレータがこれらカセット１の測定順序をＲＯ
Ｍに記憶させる。これによりＲＯＭ内の情報と既述した
光電スイッチ１３からの出力信号とにもとづいて、ピン
セット２の下方側のＸ軸板６２がポジションＡ〜Ｄのう
ちの一つの位置を選択して移動し、これによりピンセッ
ト２が所定のカセット１の前に停止する。 【００３４】続いて当該カセット１からＲＯＭに記憶さ
れている順番に従ってウエハＷが取り出されることにな
るが、この動作を図９を参照しながら説明する。先ず図
９（ａ）に示すようにモータＭ２を駆動してボールネジ
６６を回転させてピンセット２を所定位置まで上昇（あ
るいは降下）させる。カセット１内には例えばウエハＷ
が上下に間隔をおいて２５枚収納されるが、ウエハＷ間
の間隔は予め規定された値であるから、ウエハＷの段数
がわかればウエハＷの収納位置、及びウエハＷ間の中間
位置が把握でき、従ってウエハＷ間の中間位置にピンセ
ット２が位置するようにモータＭ２が制御される。 【００３５】そして図９（ｂ）に示すように既述した如
くモータＭ３を駆動してベルト７４を移動させることに
より（図２参照）ピンセット２を前進させてカセット１
内に進入させ、ピンセット基台７１に取り付けた光電ス
イッチなどの進入確認センサ（図示せず）にて確認信号
を得た後に図９（ｃ）に示すようにモータＭ２を駆動し
てピンセット２を上昇させ、ウエハＷを保持する。ウエ
ハＷはピンセット２のバキューム吸着機能により吸着さ
れ、バキュームセンサ（図示せず）からの吸着完了の出
力後、図９（ｄ）に示すようにピンセット２は元の位置
まで後退する。 【００３６】更に既述した如くソレノイド３１に空気を
注入して昇降板３をピンセット基台７１に引き寄せ（図
２参照）これにより昇降部材３は図９（ｅ）に示すよう
にピンセット２の開口部２１を通って上昇し、ピンセッ
ト２上のウエハＷを突き上げて保持する。ピンセット２
上のバキューム吸着は、昇降部材３がウエハＷを突き上
げる前に解除され、これに代ってウエハＷは昇降部材３
によりバキューム吸着される。その後昇降部材３を回転
させて図４〜図６にて詳述したように、ウエハＷの中心
と向きとについて位置合わせ（プリアライメント）が行
われる。 【００３７】一方回転腕４は、昇降部材３の上昇時には
これよりも図１中時計まわり方向に寄った位置に待機
し、昇降部材３がウエハを受け取った後は図１０（ａ）
に示すようにピンセット２と昇降部材３との中間位置で
あって、回転腕４の切り欠き部４１が昇降部材３を囲む
位置まで回転し、ウエハＷのほぼ真下に待機している。
この状態で昇降部材３は、図１０（ｂ）に示すように前
記切り欠き部４１及びピンセット２の開口部２１を通っ
て降下し、これによりウエハＷは回転腕４に受け渡され
る。この受け渡しの際昇降部材３のバキューム吸着は解
除され、これに代ってウエハＷは回転腕４にバキューム
吸着される。 【００３８】しかる後図１０（ｃ）に示すように回転腕
４は、ウエハ保持台５の上方位置まで水平方向に回転
し、更に回転腕４のバキューム吸着を解除した後ウエハ
保持台５の支持ピン５０が回転腕４の切り欠き部４１内
を通って突出する。これによりウエハＷは支持ピン５０
に一旦支持され、回転腕４が退避した後支持ピン５０が
降下してウエハ保持台５上に受け渡され、バキューム吸
着される。 【００３９】その後ウエハ保持台５は、図１０（ｄ）に
示すようにＸ−Ｙステージ９０により測定領域であるプ
ローブカード５の下方位置まで移動され、図１に示す光
学系ユニット５４によりプローブカード５５の穴を通じ
てウエハＷ表面を観察しながらウエハＷの位置合わせを
正確に行った後例えば偏心カム５８により上昇して、プ
ローブカード５５のプローブ針５６とウエハＷ上のチッ
プの電極（パッド）とを圧接する。圧接後外部のテスタ
によりチップの電気的測定が行われる。 【００４０】全てのチップの測定が終了した後図１０
（ｃ）に示すようにウエハ保持台５はもとの高さまで降
下すると共に矢印と反対方向に移動し、支持ピン５０を
突出させてウエハＷを上昇させて回転腕４に受け渡し、
先述の移載動作と逆の動作で回転腕４→昇降部材３→ピ
ンセット２→カセット１の順にウエハＷがもとの位置ま
で移載される。以上のような動作を繰り返すことにより
すべてのウエハＷが測定される。 【００４１】なおウエハのプリアライメントは、ウエハ
保持台５上で行ってもよい。また本発明のウエハ移載装
置は、プローブ装置に限らず他の装置、例えばウエハに
対して所定の処理を行う処理装置の入出力ポート部分に
適用してもよい。 【００４２】 【発明の効果】本発明によれば、ウエハＷの下面側を保
持して移載するようにしているため、ウエハを確実に移
載することができ、また進退自在な搬送部材と回転腕と
を組み合わせているため、搬送部材を広い領域に亘って
移動させなくてよいので、装置が簡単でかつそのスペー
スも狭くて済む。そしてウエハの位置合わせを行う場合
には、搬送部材と回転腕との間の受け渡しを行うための
昇降部材により行うことができるので、この効果は非常
に大きい。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の実施例の全体の概略を示す斜視図であ
る。 【図２】本発明の実施例の一部であるピンセット（搬送
部材に相当する）に関連する部分を示す斜視図である。 【図３】ピンセットをＸ方向に動かすＸ軸板の停止位置
の設定を示す説明図である。 【図４】ウエハの位置合わせ装置及び位置合わせの一例
を示す説明図である。 【図５】ウエハの位置合わせ装置の一部を示すブロック
図である。 【図６】ウエハの位置合わせ装置の出力電流の一例を示
す特性図である。 【図７】回転腕及びこれを駆動する機構を示す斜視図で
ある。 【図８】プローブカードの取り付けの様子を示す斜視図
である。 【図９】本発明の実施例の動作説明図である。 【図１０】本発明の実施例の動作説明図である。 【符号の説明】 １ ウエハカセット ２ ピンセット ２１ 開口部 ３ 昇降部材 ３３ 昇降台 ４ 回転腕 ４１ 切欠部 ５ ウエハ保持台 ５０ 支持ピン ５５ プローブカード ６２ Ｘ軸板 ７１ ピンセット基台 ９０ Ｘ−Ｙステージ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）ウエハを上下に間隔をおいて収納するウエハ収納
   部と、 ウエハ保持面に開口部が形成されると共に、進退自在で
   かつ前記ウエハ収納部に対して相対的に昇降自在に構成
   され、ウエハ収納部内に進入してウエハを受け取る搬送
   部材と、 この搬送部材の開口部を通って昇降し、当該搬送部材上
   のウエハを受け取って真空吸着する昇降部材と、 切り欠き部を備えると共に、前記昇降部材上のウエハと
   搬送部材との間に進入し、昇降部材が切り欠き部内を降
   下して昇降部材からウエハを受け取った後、水平方向に
   回転してこのウエハを所定位置に搬送する回転腕と、 を具備してなることを特徴とするウエハ移載装置。 （２）昇降部材は、鉛直軸のまわりに回転自在に構成さ
   れ、 前記昇降部材によりウエハを回転させてウエハの位置を
   検出するためのウエハ位置検出装置を更に設けたことを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載のウエハ移載装
   置。 （３）ウエハを上下に間隔をおいて収納するウエハ収納
   部と、 ウエハ保持面に開口部が形成されると共に、進退自在で
   かつ前記ウエハ収納部に対して相対的に昇降自在に構成
   され、ウエハ収納部内に進入してウエハを受け取る搬送
   部材と、 この搬送部材の開口部を通って昇降し、当該搬送部材上
   のウエハを受け取って真空吸着する昇降部材と、 切り欠き部を備えると共に、前記昇降部材上のウエハと
   搬送部材との間に進入し、昇降部材が切り欠き部内を降
   下して昇降部材からウエハを受け取った後、水平方向に
   回転してこのウエハを所定位置に搬送する回転腕と、 この回転腕により搬送されたウエハを受け取るために当
   該回転腕の切り欠き部を通って昇降自在な支持ピンを備
   え、Ｘ、Ｙ方向に移動自在なウエハ保持台と、 このウエハ保持台の所定の静止位置に対向して設けられ
   たウエハのテスト用のプローブカードと、 を具備してなることを特徴とするプローブ装置。