CN110039566A - 一种具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备 - Google Patents
一种具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110039566A CN110039566A CN201910288844.3A CN201910288844A CN110039566A CN 110039566 A CN110039566 A CN 110039566A CN 201910288844 A CN201910288844 A CN 201910288844A CN 110039566 A CN110039566 A CN 110039566A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- chip
- suction pipe
- suction
- high reliablity
- suction nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
- B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
Abstract
本发明涉及一种具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备，包括移动装置、吸管、抽气管和吸嘴，还包括抽气机构和除尘机构，所述抽气机构包括活塞块、电磁铁、永磁铁和两个连接组件，所述连接组件包括传动杆、柱形凹口、升降块和弹簧，所述除尘机构包括至少两个除尘管和至少两个单向阀，该具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备中，通过抽气机构控制吸管抽放气，当吸管吸气的时候，可以通过吸嘴将芯片吸起，同时可以控制对芯片的吸力的大小，则降低了芯片在分拣的过程中发生损坏的几率，提高了分拣设备的实用性，在除尘机构的作用下，使抽气机构在放气的时候，可以将气流传导到芯片上，则可以将芯片上的灰尘吹走，提高了芯片生产的质量。
Description
技术领域
本发明涉及芯片分拣设备领域，特别涉及一种具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备。
背景技术
半导体芯片是将不同尺寸的晶片切断成所定大小，为了不使得切断时切断的半导体芯片零乱,晶片在背面粘接具有粘接性的保持带,由晶片切断装置等从表面侧切断晶片，此时,粘接在背面的保持带虽然被切入若干,但没有被切断,成为保持各半导体芯片的状态，接着,被切断的各半导体芯片通过芯片分拣机从保持带拾取,拾取过程中，芯片首先从晶圆上顶起，随后通过吸嘴吸附芯片表面，实现剥离并转移。
现有技术的芯片分拣设备在使用的时候，如果吸取芯片的气压过大将会造成芯片受损，因此需要对气压进行精确的调节，不仅如此，芯片在分拣之间，芯片上可能会吸附有灰尘，如果不将灰尘及时的去除，将会影响芯片的质量。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备，包括移动装置、吸管、抽气管和吸嘴，所述移动装置与吸管的一端固定连接，所述吸嘴的靠近吸管的一侧设有连接凹口，所述吸管的另一端设置在连接凹口的内部，所述抽气管与吸管同轴设置，所述抽气管设置在吸嘴的内部，还包括抽气机构和除尘机构，所述抽气机构设置在吸管的内部，所述除尘机构设置在吸嘴的内部；
所述抽气机构包括活塞块、电磁铁、永磁铁和两个连接组件，所述活塞块与吸管匹配，所述活塞块设置在吸管的内部，所述活塞块与吸管的内壁滑动连接，所述连接组件设置在活塞块的内部，所述电磁铁设置在吸管的靠近移动装置的一端的内壁上，所述永磁铁设置在活塞块的靠近电磁铁的一侧，所述永磁铁通过连接组件与活塞块连接；
所述连接组件包括传动杆、柱形凹口、升降块和弹簧，所述柱形凹口设置在活塞块的靠近电磁铁的一侧，所述柱形凹口的轴线与吸管的轴线平行，所述升降块与柱形凹口匹配，所述升降块设置在柱形凹口的内部，所述升降块与柱形凹口的内壁滑动连接，所述弹簧设置在柱形凹口的内部，所述柱形凹口的底部的内壁通过弹簧与升降块固定连接，所述弹簧处于拉伸状态，所述传动杆与柱形凹口同轴设置，所述传动杆的一端与升降块固定连接，所述传动杆的另一端与永磁铁固定连接；
所述除尘机构包括至少两个除尘管和至少两个单向阀，所述除尘管与抽气管平行，所述除尘管设置在吸嘴的内部，所述除尘管绕着吸嘴的轴线周向均匀设置，所述除尘管的数量与单向阀的数量相等，所述除尘管与单向阀一一对应，所述单向阀设置在除尘管的内部。
作为优选，为了提高分拣设备的自动化程度，所述吸管上设有控制面板，所述控制面板的内部设有处理器。
作为优选，为了提高吸管与吸嘴连接的稳定性，所述吸管的靠近吸嘴的一端的外周上设有环形槽，所述吸嘴的连接凹口的四周的内壁上设有限位块，所述限位块与环形槽匹配，所述限位块设置在环形槽的内部。
作为优选，为了提高升降块移动的顺畅度，所述柱形凹口的内壁上涂有润滑脂。
作为优选，为了检测吸嘴与芯片之间的距离，所述吸嘴的一侧设有距离传感器，所述距离传感器与处理器电连接。
作为优选，为了提高升降块与柱形凹口连接的稳定性，所述柱形凹槽的两侧的内壁上均设有限位槽，所述限位槽的长度小于柱形凹口的深度，所述升降块的两侧均设有滑块，所述滑块与限位槽匹配，所述滑块设置在限位槽的内部，所述滑块与限位槽滑动连接。
作为优选，为了提高限位槽与滑块连接的稳定性，所述限位槽为燕尾槽，所述滑块与限位槽匹配。
作为优选，为了保持永磁铁与电磁铁之间的距离，所述吸管的靠近吸嘴的一端的内壁上设有至少两个支撑块。
作为优选，为了提高活塞块与吸管的内壁之间的密封性能，所述活塞块上设有密封圈，所述活塞块通过密封圈与吸管的内壁密封连接。
作为优选，为了提高活塞块移动的顺畅度，所述吸管的靠近移动装置的一端上设有稳压孔，所述稳压孔的内部设有防尘网。
本发明的有益效果是，该具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备中，通过抽气机构控制吸管抽放气，当吸管吸气的时候，可以通过吸嘴将芯片吸起，同时可以控制对芯片的吸力的大小，则降低了芯片在分拣的过程中发生损坏的几率，提高了分拣设备的实用性，与现有抽气机构相比，该抽气机构结构简单，减少了该机构故障点的数量，降低了该机构发生故障的几率，不仅如此，在除尘机构的作用下，使抽气机构在放气的时候，可以将气流传导到芯片上，则可以将芯片上的灰尘吹走，提高了芯片生产的质量，与现有除尘机构相比，该除尘机构通过单向阀使除尘管只能吹气，无法吸气，则提高了抽气管的吸力。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备的结构示意图；
图2是本发明的具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备的内部结构示意图；
图3是本发明的具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备的抽气机构的结构示意图；
图4是本发明的具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备的连接组件的结构示意图；
图中：1.移动装置，2.吸管，3.吸嘴，4.稳压孔，5.永磁铁，6.活塞块，7.限位块，8.距离传感器，9.除尘管，10.单向阀，11.抽气管，12.支撑块，13.密封圈，14.环形槽，15.传动杆，16.电磁铁，17.限位槽，18.柱形凹口，19.升降块，20.滑块，21.弹簧。
具体实施方式
现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
如图1所示，一种具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备，包括移动装置1、吸管2、抽气管11和吸嘴3，所述移动装置1与吸管2的一端固定连接，所述吸嘴3的靠近吸管2的一侧设有连接凹口，所述吸管2的另一端设置在连接凹口的内部，所述抽气管11与吸管2同轴设置，所述抽气管11设置在吸嘴3的内部，还包括抽气机构和除尘机构，所述抽气机构设置在吸管2的内部，所述除尘机构设置在吸嘴3的内部；
通过抽气机构控制吸管2抽放气，当吸管2吸气的时候，可以通过吸嘴3将芯片吸起，同时可以控制对芯片的吸力的大小，则降低了芯片在分拣的过程中发生损坏的几率，提高了分拣设备的实用性，不仅如此，在除尘机构的作用下，使抽气机构在放气的时候，可以将气流传导到芯片上，则可以将芯片上的灰尘吹走，提高了芯片生产的质量；
如图2-3所示，所述抽气机构包括活塞块6、电磁铁16、永磁铁5和两个连接组件，所述活塞块6与吸管2匹配，所述活塞块6设置在吸管2的内部，所述活塞块6与吸管2的内壁滑动连接，所述连接组件设置在活塞块6的内部，所述电磁铁16设置在吸管2的靠近移动装置1的一端的内壁上，所述永磁铁5设置在活塞块6的靠近电磁铁16的一侧，所述永磁铁5通过连接组件与活塞块6连接；
操作人员控制分拣设备，当吸嘴3抵靠在芯片上的时候，通过电磁铁16提供动力，驱动永磁铁5向上移动，则在连接组件的传动作用下，通过永磁铁5驱动活塞块6上移动，则使吸管2内部的气压减小，之后通过吸嘴3将芯片吸住，同时在连接组件的作用下，使吸管2内部的吸力大于一定值的时候，可以控制活塞块6停止移动，则降低了因吸嘴3吸力过大而导致芯片损坏的几率，提高了分拣设备的实用性；
如图4所示，所述连接组件包括传动杆15、柱形凹口18、升降块19和弹簧21，所述柱形凹口18设置在活塞块6的靠近电磁铁16的一侧，所述柱形凹口18的轴线与吸管2的轴线平行，所述升降块19与柱形凹口18匹配，所述升降块19设置在柱形凹口18的内部，所述升降块19与柱形凹口18的内壁滑动连接，所述弹簧21设置在柱形凹口18的内部，所述柱形凹口18的底部的内壁通过弹簧21与升降块19固定连接，所述弹簧21处于拉伸状态，所述传动杆15与柱形凹口18同轴设置，所述传动杆15的一端与升降块19固定连接，所述传动杆15的另一端与永磁铁5固定连接；
在升降块19的连接作用下，提高了传动杆15与柱形凹口18连接的稳定性，当永磁铁5上升的时候，通过永磁铁5驱动传动杆15上升，此时弹簧21的拉力大于气压对活塞块6的阻力，则通过传动杆15驱动活塞块6上升，则使吸嘴3将芯片吸住，在活塞块6上升的过程中，气压对活塞块6的阻力渐渐增大，当气压的阻力大于弹簧21的拉力的时候，在永磁铁5继续上升的过程中，弹簧21被拉伸，则使活塞块6停止上升，使吸管2内部的吸力不会再增大，则操作人员通更换不同弹性系数的弹簧21，即可控制吸管2吸力的大小，则降低了芯片发生损坏的几率；
如图2所示，所述除尘机构包括至少两个除尘管9和至少两个单向阀10，所述除尘管9与抽气管11平行，所述除尘管9设置在吸嘴3的内部，所述除尘管9绕着吸嘴3的轴线周向均匀设置，所述除尘管9的数量与单向阀10的数量相等，所述除尘管9与单向阀10一一对应，所述单向阀10设置在除尘管9的内部；
当吸嘴3靠近芯片的时候，通过电磁铁16驱动永磁铁5向下移动，则通过永磁铁5驱动活塞块6向下移动，则通过活塞块6将吸管2内部的空气通过各除尘管9吹出，同时通过各除尘管9增大了气流的流动范围，之后通过气流将芯片上的灰尘吹走，则提高了芯片生产的质量，当活塞块6向上移动的时候，在单向阀10的作用下，使除尘管9关闭，则使气流无法从除尘管9处流通，则可以通过抽气管11进行吸气，将芯片吸起。
作为优选，为了提高分拣设备的自动化程度，所述吸管2上设有控制面板，所述控制面板的内部设有处理器；
通过处理器可以接收操作人员发送的控制信号，之后通过处理器控制分拣设备运行，则提高了分拣设备的自动化程度。
作为优选，为了提高吸管2与吸嘴3连接的稳定性，所述吸管2的靠近吸嘴3的一端的外周上设有环形槽14，所述吸嘴3的连接凹口的四周的内壁上设有限位块7，所述限位块7与环形槽14匹配，所述限位块7设置在环形槽14的内部；
通过环形槽14对限位块7的限位作用，提高了吸管2与吸嘴3连接的稳定性。
作为优选，为了提高升降块19移动的顺畅度，所述柱形凹口18的内壁上涂有润滑脂；
通过润滑脂减小了升降块19与柱形凹口18的内壁之间的摩擦力，则提高了升降块19移动的顺畅度。
作为优选，为了检测吸嘴3与芯片之间的距离，所述吸嘴3的一侧设有距离传感器8，所述距离传感器8与处理器电连接；
通过距离传感器可以检测吸嘴3与芯片之间的距离，之后距离传感器将信号发送给处理器，则通过处理器控制电磁铁16运行。
作为优选，为了提高升降块19与柱形凹口18连接的稳定性，所述柱形凹槽的两侧的内壁上均设有限位槽17，所述限位槽17的长度小于柱形凹口18的深度，所述升降块19的两侧均设有滑块20，所述滑块20与限位槽17匹配，所述滑块20设置在限位槽17的内部，所述滑块20与限位槽17滑动连接；
通过限位槽17对滑块20的限位作用，实现了对升降块19移动距离的限制，则降低了升降块19与柱形凹口18分离的几率。
作为优选，为了提高限位槽17与滑块20连接的稳定性，所述限位槽17为燕尾槽，所述滑块20与限位槽17匹配；
由于燕尾槽具有较稳定的连接结构，则提高了限位槽17与滑块20连接的稳定性。
作为优选，为了保持永磁铁5与电磁铁16之间的距离，所述吸管2的靠近吸嘴3的一端的内壁上设有至少两个支撑块12；
通过支撑块12的限位作用，使永磁铁5与电磁铁16之间保持一定距离，则降低了因永磁铁5与电磁铁16距离过远，致使电磁铁5无法吸附到永磁铁16的几率。
作为优选，为了提高活塞块6与吸管2的内壁之间的密封性能，所述活塞块6上设有密封圈13，所述活塞块6通过密封圈13与吸管2的内壁密封连接；
通过密封圈13减小了活塞块6与吸管2的内壁之间的间隙，则提高了活塞块6与吸管2的内壁之间的密封性能。
作为优选，为了提高活塞块6移动的顺畅度，所述吸管2的靠近移动装置1的一端上设有稳压孔4，所述稳压孔4的内部设有防尘网；
通过稳压孔4使活塞块6的靠近移动装置1的一侧的气压与吸管2外部的气压保持一致，则降低了气压对活塞块6的阻力，同时在防尘网的作用下，降低了灰尘从稳压孔4进入吸管2内部的几率。
操作人员控制分拣设备，当吸嘴3抵靠在芯片上的时候，通过电磁铁16驱动永磁铁5向上移动，则在连接组件的传动作用下，驱动活塞块6上移动，则使吸管2内部的气压减小，之后通过吸嘴3将芯片吸住，同时在连接组件的作用下，使吸管2内部的吸力大于一定值的时候，可以控制活塞块6停止移动，则降低了因吸嘴3吸力过大而导致芯片损坏的几率，提高了分拣设备的实用性，当吸嘴3靠近芯片的时候，通过电磁铁16驱动永磁铁5向下移动，则通过永磁铁5驱动活塞块6向下移动，则通过活塞块6将吸管2内部的空气通过各除尘管9吹出，同时通过各除尘管9增大了气流的流动范围，之后通过气流将芯片上的灰尘吹走，则提高了芯片生产的质量。
与现有技术相比，该具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备中，通过抽气机构控制吸管2抽放气，当吸管2吸气的时候，可以通过吸嘴3将芯片吸起，同时可以控制对芯片的吸力的大小，则降低了芯片在分拣的过程中发生损坏的几率，提高了分拣设备的实用性，与现有抽气机构相比，该抽气机构结构简单，减少了该机构故障点的数量，降低了该机构发生故障的几率，不仅如此，在除尘机构的作用下，使抽气机构在放气的时候，可以将气流传导到芯片上，则可以将芯片上的灰尘吹走，提高了芯片生产的质量，与现有除尘机构相比，该除尘机构通过单向阀10使除尘管9只能吹气，无法吸气，则提高了抽气管11的吸力。
以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (10)
1.一种具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备，包括移动装置(1)、吸管(2)、抽气管(11)和吸嘴(3)，所述移动装置(1)与吸管(2)的一端固定连接，所述吸嘴(3)的靠近吸管(2)的一侧设有连接凹口，所述吸管(2)的另一端设置在连接凹口的内部，所述抽气管(11)与吸管(2)同轴设置，所述抽气管(11)设置在吸嘴(3)的内部，其特征在于，还包括抽气机构和除尘机构，所述抽气机构设置在吸管(2)的内部，所述除尘机构设置在吸嘴(3)的内部；
所述抽气机构包括活塞块(6)、电磁铁(16)、永磁铁(5)和两个连接组件，所述活塞块(6)与吸管(2)匹配，所述活塞块(6)设置在吸管(2)的内部，所述活塞块(6)与吸管(2)的内壁滑动连接，所述连接组件设置在活塞块(6)的内部，所述电磁铁(16)设置在吸管(2)的靠近移动装置(1)的一端的内壁上，所述永磁铁(5)设置在活塞块(6)的靠近电磁铁(16)的一侧，所述永磁铁(5)通过连接组件与活塞块(6)连接；
所述连接组件包括传动杆(15)、柱形凹口(18)、升降块(19)和弹簧(21)，所述柱形凹口(18)设置在活塞块(6)的靠近电磁铁(16)的一侧，所述柱形凹口(18)的轴线与吸管(2)的轴线平行，所述升降块(19)与柱形凹口(18)匹配，所述升降块(19)设置在柱形凹口(18)的内部，所述升降块(19)与柱形凹口(18)的内壁滑动连接，所述弹簧(21)设置在柱形凹口(18)的内部，所述柱形凹口(18)的底部的内壁通过弹簧(21)与升降块(19)固定连接，所述弹簧(21)处于拉伸状态，所述传动杆(15)与柱形凹口(18)同轴设置，所述传动杆(15)的一端与升降块(19)固定连接，所述传动杆(15)的另一端与永磁铁(5)固定连接；
所述除尘机构包括至少两个除尘管(9)和至少两个单向阀(10)，所述除尘管(9)与抽气管(11)平行，所述除尘管(9)设置在吸嘴(3)的内部，所述除尘管(9)绕着吸嘴(3)的轴线周向均匀设置，所述除尘管(9)的数量与单向阀(10)的数量相等，所述除尘管(9)与单向阀(10)一一对应，所述单向阀(10)设置在除尘管(9)的内部。
2.如权利要求1所述的具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备，其特征在于，所述吸管(2)上设有控制面板，所述控制面板的内部设有处理器。
3.如权利要求1所述的具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备，其特征在于，所述吸管(2)的靠近吸嘴(3)的一端的外周上设有环形槽(14)，所述吸嘴(3)的连接凹口的四周的内壁上设有限位块(7)，所述限位块(7)与环形槽(14)匹配，所述限位块(7)设置在环形槽(14)的内部。
4.如权利要求1所述的具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备，其特征在于，所述柱形凹口(18)的内壁上涂有润滑脂。
5.如权利要求1所述的具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备，其特征在于，所述吸嘴(3)的一侧设有距离传感器(8)，所述距离传感器(8)与处理器电连接。
6.如权利要求1所述的具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备，其特征在于，所述柱形凹槽的两侧的内壁上均设有限位槽(17)，所述限位槽(17)的长度小于柱形凹口(18)的深度，所述升降块(19)的两侧均设有滑块(20)，所述滑块(20)与限位槽(17)匹配，所述滑块(20)设置在限位槽(17)的内部，所述滑块(20)与限位槽(17)滑动连接。
7.如权利要求6所述的具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备，其特征在于，所述限位槽(17)为燕尾槽，所述滑块(20)与限位槽(17)匹配。
8.如权利要求1所述的具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备，其特征在于，所述吸管(2)的靠近吸嘴(3)的一端的内壁上设有至少两个支撑块(12)。
9.如权利要求1所述的具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备，其特征在于，所述活塞块(6)上设有密封圈(13)，所述活塞块(6)通过密封圈(13)与吸管(2)的内壁密封连接。
10.如权利要求1所述的具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备，其特征在于，所述吸管(2)的靠近移动装置(1)的一端上设有稳压孔(4)，所述稳压孔(4)的内部设有防尘网。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910288844.3A CN110039566B (zh) | 2019-04-11 | 2019-04-11 | 一种具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910288844.3A CN110039566B (zh) | 2019-04-11 | 2019-04-11 | 一种具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110039566A true CN110039566A (zh) | 2019-07-23 |
| CN110039566B CN110039566B (zh) | 2021-07-16 |
Family
ID=67276746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910288844.3A Expired - Fee Related CN110039566B (zh) | 2019-04-11 | 2019-04-11 | 一种具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110039566B (zh) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110854051A (zh) * | 2019-09-11 | 2020-02-28 | 芜湖德锐电子技术有限公司 | 一种芯片拾取装置 |
| CN111251282A (zh) * | 2020-05-06 | 2020-06-09 | 浙江谱麦科技有限公司 | 一种scara高速并联机械手 |
| CN112720542A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-04-30 | 广州媛爱贸易有限公司 | 一种电液伺服控制的机械臂 |
| CN112750746A (zh) * | 2019-10-29 | 2021-05-04 | 佳能特机株式会社 | 基板保持单元、基板保持构件、基板保持装置及基板处理装置 |
| CN114179094A (zh) * | 2022-01-20 | 2022-03-15 | 汪子辉 | 一种用于物流货运的多铰接爪臂程序控制机械手 |
| CN114770904A (zh) * | 2022-06-17 | 2022-07-22 | 宁波长阳科技股份有限公司 | 一种多孔反射部件成型设备及多孔反射部件 |
| CN115332142A (zh) * | 2022-10-12 | 2022-11-11 | 无锡宇邦半导体科技有限公司 | 一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手及其加工方法 |
| CN115533740A (zh) * | 2022-11-25 | 2022-12-30 | 唐山国芯晶源电子有限公司 | 石英晶片收取装置和方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05138569A (ja) * | 1991-11-13 | 1993-06-01 | Hiroshi Akashi | 無接触プレス |
| JP2001198872A (ja) * | 2000-01-21 | 2001-07-24 | Murata Mfg Co Ltd | ノズル装置 |
| CN1802735A (zh) * | 2003-09-18 | 2006-07-12 | Nec机械股份有限公司 | 筒夹、芯片附着装置及芯片的拾取方法 |
| JP2008264973A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Olympus Corp | 吸着ハンド及び吸着装置並びにワークの吸着方法 |
| CN104795346A (zh) * | 2014-01-16 | 2015-07-22 | 北京中电科电子装备有限公司 | 一种电磁型芯片操作装置 |
| CN107263520A (zh) * | 2017-08-03 | 2017-10-20 | 姜俊博 | 永磁真空复合吸盘 |
| CN107662217A (zh) * | 2016-07-27 | 2018-02-06 | 发那科株式会社 | 吸附装置 |
-
2019
- 2019-04-11 CN CN201910288844.3A patent/CN110039566B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05138569A (ja) * | 1991-11-13 | 1993-06-01 | Hiroshi Akashi | 無接触プレス |
| JP2001198872A (ja) * | 2000-01-21 | 2001-07-24 | Murata Mfg Co Ltd | ノズル装置 |
| CN1802735A (zh) * | 2003-09-18 | 2006-07-12 | Nec机械股份有限公司 | 筒夹、芯片附着装置及芯片的拾取方法 |
| JP2008264973A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Olympus Corp | 吸着ハンド及び吸着装置並びにワークの吸着方法 |
| CN104795346A (zh) * | 2014-01-16 | 2015-07-22 | 北京中电科电子装备有限公司 | 一种电磁型芯片操作装置 |
| CN107662217A (zh) * | 2016-07-27 | 2018-02-06 | 发那科株式会社 | 吸附装置 |
| CN107263520A (zh) * | 2017-08-03 | 2017-10-20 | 姜俊博 | 永磁真空复合吸盘 |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110854051A (zh) * | 2019-09-11 | 2020-02-28 | 芜湖德锐电子技术有限公司 | 一种芯片拾取装置 |
| CN110854051B (zh) * | 2019-09-11 | 2022-03-01 | 深圳市奥维特机电有限公司 | 一种芯片拾取装置 |
| CN112750746A (zh) * | 2019-10-29 | 2021-05-04 | 佳能特机株式会社 | 基板保持单元、基板保持构件、基板保持装置及基板处理装置 |
| CN112750746B (zh) * | 2019-10-29 | 2024-01-12 | 佳能特机株式会社 | 基板保持单元、基板保持构件、基板保持装置及基板处理装置 |
| CN111251282A (zh) * | 2020-05-06 | 2020-06-09 | 浙江谱麦科技有限公司 | 一种scara高速并联机械手 |
| CN112720542A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-04-30 | 广州媛爱贸易有限公司 | 一种电液伺服控制的机械臂 |
| CN114179094A (zh) * | 2022-01-20 | 2022-03-15 | 汪子辉 | 一种用于物流货运的多铰接爪臂程序控制机械手 |
| CN114770904A (zh) * | 2022-06-17 | 2022-07-22 | 宁波长阳科技股份有限公司 | 一种多孔反射部件成型设备及多孔反射部件 |
| CN114770904B (zh) * | 2022-06-17 | 2022-09-13 | 宁波长阳科技股份有限公司 | 一种多孔反射部件成型设备及多孔反射部件 |
| CN115332142A (zh) * | 2022-10-12 | 2022-11-11 | 无锡宇邦半导体科技有限公司 | 一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手及其加工方法 |
| CN115533740A (zh) * | 2022-11-25 | 2022-12-30 | 唐山国芯晶源电子有限公司 | 石英晶片收取装置和方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN110039566B (zh) | 2021-07-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110039566A (zh) | 一种具有除尘功能的可靠性高的芯片分拣设备 | |
| CN106826624B (zh) | 真空吸附单元和真空吸附载台 | |
| CN104325282B (zh) | 一种锁螺丝机械装置及其锁螺丝驱动控制方法 | |
| CN105149167B (zh) | 一种负压反馈回吸顶针式点胶阀 | |
| CN106965202B (zh) | 一种真空吸头及带有该吸头的吸取装置 | |
| CN107098160B (zh) | 一种柔性多孔薄型片材的抓取与传递装置 | |
| CN102730412A (zh) | 自动上下料装置及系统 | |
| CN202240983U (zh) | 一种基于真空吸附原理的铝罐抓取器 | |
| CN111232812B (zh) | 一种用于成品车间的码垛设备 | |
| CN208246855U (zh) | 基于分级蜂窝结构的真空吸盘 | |
| CN107053230B (zh) | 吸盘式抓手结构 | |
| CN207514059U (zh) | 一种智能化吸盘装置 | |
| CN110335843B (zh) | 一种具有稳压功能的除尘型芯片分拣设备 | |
| CN105455722B (zh) | 吸附装置及带有该吸附装置的表面处理装置 | |
| CN106586555A (zh) | 可变容量吸取装置 | |
| CN110176424A (zh) | 一种吸嘴安装牢固的清洁型芯片拾取设备 | |
| CN206345443U (zh) | 可变容量吸取装置 | |
| CN114607674A (zh) | 一种定轴直线行驶真空气缸 | |
| CN111747100B (zh) | 气流驱动式烟支分离装置及分离方法 | |
| CN113428652A (zh) | 一种防护型玻璃盘加工制造设备 | |
| CN208587550U (zh) | 一种稳压可调节单向阀 | |
| CN203939652U (zh) | 一种油气回收真空泵 | |
| CN108861572B (zh) | 一种兼具大小尺寸的晶圆吸嘴组件 | |
| CN207788994U (zh) | 玻璃工件拾取机构以及激光加工系统 | |
| CN101940811B (zh) | 气路系统启动装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Zhang Dengshan Inventor after: Xie Kali Inventor after: Fang Jiyun Inventor before: Fang Jiyun |
|
| CB03 | Change of inventor or designer information | ||
| TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20210628 Address after: 518109 4018 shunjingxuan commercial building, Shenjing Industrial Zone, Huaqing Avenue, Qinghua community, Longhua street, Longhua District, Shenzhen City, Guangdong Province Applicant after: Shenzhen senmg environmental protection Recycling Co.,Ltd. Address before: 510000 No. 2 Nan Tang Wai Street, Fangcun Road, Liwan District, Guangzhou, Guangdong. Applicant before: Fang Jiyun |
|
| TA01 | Transfer of patent application right | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20210716 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |