JP6302758B2 - チャックテーブル - Google Patents
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Description
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、吸引圧力の損失を抑えるとともに、チャックテーブルを用いた装置のコストを抑えることを目的とする。
流体供給源から供給される流体により吸引力を生成するので、吸引源を必要としない。このため、チャックテーブルを用いた装置のコストを抑えることができる。また、流体供給源を、板状ワークを解放するためのエア供給源と兼用させることができるので、チャックテーブルを用いた装置のコストを低減することができる。さらに、流路を流れる流体によりチャックテーブルを冷却することができるので、吸引プレートを冷却するための冷却水供給源などを、流体供給源とは別に設ける必要がない。このため、チャックテーブルを用いた装置のコストを低減することができる。
また、流路に加速エリアを設け、加速エリアで流路に吸引路を接続し、流路の下流方向へ向けて開口させれば、吸引力を更に強くすることができる。
まず、吸引プレート11の吸引面111に板状ワークを載置する。次に、供給口142に接続されたエア供給源からのエアの供給を停止した状態で、供給口312に接続された流体供給源からの流体の供給を開始する。これにより、吸引力が発生し、板状ワークが吸引保持される。
流体供給源からの流体の供給を継続することにより、板状ワークの吸引保持が持続する。この状態で、板状ワークを加工するなどして加工熱が発生しても、流路311を流れる流体によりチャックテーブル10が冷却されるので、吸引プレート11が熱膨張して加工精度が低下するのを防ぐことができる。
流体供給源からの流体の供給を停止し、エア供給源からエアを供給する。その後、吸引面111に載置された板状ワークを搬出する。流体供給源からの流体の供給を停止したことにより吸引力がなくなり、エア供給源からエアを供給することにより、板状ワークを持ち上げるのに必要な力が小さくなっているので、板状ワークを容易に搬出することができる。
吸引路321Aは、加速エリア314内で流路311Aの中央付近まで延び、接続口323Aは、流路311Aの下流方向を向いて開口している。これにより、吸引力生成部13Aによって生成される吸引力が更に強くなる。
112,212 側面、113,213 下面、114 吸引孔、
12 枠体、121 円板部、122 円環部、
13,13A 吸引力生成部、311,311A 流路、312 供給口、
313 排出口、314 加速エリア、321,321A 吸引路、322 吸入口、
323,323A 接続口、
141 解放路、142 供給口、143 放出口、
22 収容エリア、221 底面、222 内側面
Claims (1)
- 板状ワークを吸引保持するチャックテーブルであって、
板状ワークに接する吸引面を有する板状の吸引プレートと、
該吸引面を露出させて該吸引プレートを囲繞する枠体と、
該枠体の内部に設けられた吸引力生成部と、を備え、
該吸引力生成部は、
該枠体に流体を供給する流体供給源に接続される供給口と、
該供給口から供給された該流体を排出する排出口と、
該供給口と該排出口との間を連通する流路と、
該流路に接続された吸引路と、
を備え、
該流路は、
他のエリアよりも断面積を小さく形成することにより、該他のエリアよりも該流体が流れる速度が速い加速エリアを有し、
該吸引路は、
該加速エリアで該流路に接続され、該流路の下流方向へ向けて開口しており、
該流路を該流体が流れることによって発生する負圧により、該吸引路から気体を吸引し、該吸引プレートの吸引面に載置された該板状ワークを吸引する、チャックテーブル。
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