KR20070090752A - 에어 부상 유닛 및 에어 부상 유닛의 제조방법 - Google Patents

에어 부상 유닛 및 에어 부상 유닛의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 압축공기의 누출을 줄이는 구조를 가짐과 동시에, 가공, 조립의 비용을 줄일 수 있는 에어 부상 유닛 및 에어 부상 유닛의 제조방법을 제공하기 위하여, 중공부를 갖는 알루미늄 등의 압출부재(11)를 압출방향(X)와 수직 방향으로 소정의 길이(L)로 절단하여 중공판재(12)를 성형한다. 그리고, 중공판재(12)의 절단면을 에어 누출 방지판(3,4)으로 막아 상자 모양으로 만든다. 그래서, 중공판재의 표면에 분출부(5)와 에어 공급구를 가공 성형한다.
압축공기, 누출, 에어, 부상, 유닛, 제조방법

Description

에어 부상 유닛 및 에어 부상 유닛의 제조방법{Air cushion unit and production method of the same}
도 1은 본 발명에 의한 에어 부상 유닛의 제조방법을 설명하는 도면
도 2는 본 발명에 의한 에어 부상 유닛의 단면구조를 나타내는 도면
도 3은 에어 부상 유닛에 대해 설명하기 위한 도면
도 4는 종래의 에어 부상 유닛의 단면구조를 나타내는 도면
* 도면 중의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 에어 부상 유닛 2 : 중공부 3,4 : 에어 누출 방지판
5,25 : 분출부 6,22 : 에어 공급구 11 : 알루미늄 압출부재
12 : 중공판재 21 : 에어 부상 유닛 베이스 24 : 중공부
26 : 유도부 31 : 상자 형상 용기 32 : 덮개
본 발명은 비접촉으로 기판 등을 반송하기 위한 에어 부상 유닛에 관한 것으 로, 특히 압축 공기의 누출을 줄이는 구조를 가짐과 동시에, 가공, 조립의 비용을 줄일 수 있는 에어 부상 유닛 및 에어 부상 유닛의 제조방법에 관한 것이다.
액정기판반송시스템 등에 있어서는, 비접촉식으로 유리기판 등을 반송하기 위해 에어 부상 유닛이 사용되는 경우가 있다.
도 3은 에어 부상 유닛에 대해서 설명하기 위한 도면이다. 도 3에 나타낸 에어 부상 유닛은 에어 부상 유닛 베이스(21), 에어 부상 유닛에 압축된 에어(공기)를 공급하는 에어 공급구(22), 에어를 분배하는 유로로 되는 중공부(24), 에어 유량을 제한하는 조임부(26), 조임부(26)에서 압축된 에어를 피부상물체(41)와 유닛의 사이로 흐르는 분출부(25)로 구성되어 있다.
또한, 도 4는 종래의 에어 부상 유닛의 단면구조를 나타낸 도면이다. 또한, 도 4(A)에 나타내는 단면구조는 도 4(B)에서 1점 쇄선으로 나타내는 X-Y 방향으로 절단한 단면구조를 나타내고 있다. 도 4(A)에 나타낸 바와 같이, 종래의 에어 부상 유닛에서는 상자 형상 용기(31) 위에 에어를 상방향으로 분출하는 판상의 덮개(32)로 뚜껑을 하는 구조가 채용되고 있었다.
그러나, 이러한 종래의 구조에서 이하의 문제가 있다.
첫째, 상자 형상 용기(31)에 압축 에어를 주입하면, 덮개(32)와 상자 형상 용기(31)의 개구부에서 접하는 면(C)에서 에어가 누출하기 쉽다.
둘째, 에어를 각 분출부(25)로 유도하기 위하여 상자 형상 용기(31)는 중공 구조일 필요가 있고, 상자 형상의 용기(31)를 블록부재로부터 깎아내어 구성하기 때문에 가공비용이 높다.
셋째, 상자 형상 용기(31)와 덮개(32)가 접하는 면에서 에어가 누출하지 않도록 상자 형상 용기(31)와 덮개(32)를 다수의 나사로 밀착하도록 고정할 필요가 있어서 조립공정의 비용이 높게 된다.
따라서, 압축공기의 누출을 용이하게 줄일 수 있는 구조를 가짐과 동시에 상자 형상 용기(31)의 중공구조를 가공, 조립의 비용을 들이지 않고 얻을 수 있는, 에어 부상 유닛의 제공이 요망되고 있다.
또한, 종래 기술의 공기부상장치 및 공기부상식 반송장치가 있다(특허문헌1을 참조). 이 종래기술에서는 피부상물이 재치되는 벽면부재로서 지지용 판재를 사용함과 동시에 이 판재의 내표면에 다공질 재료로 된 공기분산부재를 배치하고 있다. 즉, 피부상물을 지지하는 부재와 공기를 분출시키는 부재를 개별적으로 설치하고, 피부상물이 유리판 등과 같이 비교적 넓은 면적에서 평면 정밀도가 요구되는 것이어도 충분히 지지할 수 있도록 하고 있다.
또한, 다공질 재료로 된 공기분산부재에 의해 공기를 지지면 전체에 걸쳐 균일적으로 또한 소량씩 분출시킴으로써, 예를 들면 클린룸 내에서 유리판을 부상시킬 때 종래와 같이 먼지를 들어올릴 염려가 없게 됨과 동시에 유리판으로부터 떨어진 공기분출공으로부터 공기가 없어져 부상력이 부족할 염려가 없게 된다.
그러나, 본 발명은 에어 부상 유닛의 중공부(에어 유로부)로부터의 에어 누출 문제를 해결함과 동시에 기공비용의 저감을 도모하는 것을 목적으로 하고 상기 종래 기술과는 발명의 목적과 구성이 다른 것이다.
[특허문헌1] 일본국 특허공개 2004-345744호 공보
상술한 바와 같이, 종래의 에어 부상 유닛의 구조에서는, 상자 형상 용기의 개구부와 덮개로 접하는 면에서 에어가 누출되기 쉽고, 또한 상자 형상 용기를 블록재로 깍아서 구성하기 때문에 비용이 높게 들었다. 또한 상자 형상 용기와 덮개의 접촉면으로부터 에어가 누출되지 않도록 다수의 나사로 밀착하도록 할 필요가 있기 때문에 조립공정에 공정수의 비용이 높게 되는 문제가 있었다.
본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위해 된 것으로, 그 목적은 압축공기의 누출을 줄이는 구조를 가지므로 동시에 가공, 조립비용을 줄일 수 있는 에어 부상 유닛 및 에어 부상 유닛의 제조방법을 제공하는데 있다.
본 발명은 상기한 과제를 해결하기 위해 된 것으로, 본 발명의 에어 부상 유닛은 피부상 물체를 압축시킨 에어의 분출에 의해 부상되는 에어 부상 유닛으로서, 에어 유로로 되는 중공부를 갖는 판상의 압출부재를 압출방향과 수직방향으로 절단하고 원하는 길이로 자른 중공판재와, 상기 중공판재의 양단면에 부착되는 상기 중공부를 막는 에어 누출 방지판과, 상자 형상으로 구성됨과 동시에 상기 중공판재에 에어의 분출부와 에어 공급구가 가공성형 된 것을 특징으로 한다.
이러한 구성의 에어 부상 유닛에서는 중공부를 갖는 알루미늄 등의 판상의 압출부재를 원하는 길이로 절단하여 중공판재를 성형한다. 그리고 중공판재의 절단 면을 에어 누출 판으로 막아서 상자형상의 구조로 만든다. 그래서 중공판재의 표면에 분출부와 에어 공급구를 가공 성형한다.
이렇게 하여 압출부재의 중공부를 에어 유로로서 이용할 수 있다. 이 때문에 중공부의 성형을 절삭가공으로 할 필요가 없게 되고 재료비나 공정수의 삭감이 가능하게 된다. 또한, 중공부재의 절단면을 막는 에어 누출 방지판도 작게 할 수 있고 에어 누출을 줄이며 막는 판(덮개)을 고정하는 나사수를 줄일 수 있는 것이다.
또한, 본 발명의 에어 유닛은 상기 압출부재의 재료가 알루미늄인 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의해 압출부재의 재료를 알루미늄으로 한 것으로, 이렇게 함으로서, 가공을 용이하게 하고 경량, 견고, 내부식성이 높은 에어 부상 유닛을 만들 수 있다.
또한, 본 발명의 에어 부상 유닛은 상기 압출부재의 재료가 수지인 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의해 압출부재의 재료를 수지로 한 것으로, 이렇게 함으로서 가공이 용이하고 경량의 에어 부상 유닛을 만들 수 있다.
또한, 본 발명의 에어 부상 유닛의 제조방법은 피부상물체를 압축시킨 에어의 분출에 의해 부상되는 에어 부상 유닛의 제조방법으로서, 에어의 유로로 되는 중공부를 갖는 판상의 압출부재를 압출방향과 수직방향으로 절단하여 원하는 길이의 중공판재를 만드는 제 1공정, 상기 중공판재에 에어 분출부 및 에어 공급구를 가공성형하는 제 2공정, 상기 중공부재의 양단면에 에어 누출 방지판을 부착하는 제 3공정으로 제작되는 것을 특징으로 한다.
이러한 방법에 의해 중공부를 갖는 알루미늄 등의 판상의 압출부재를 원하는 길이로 절단하여 중공판재를 성형한다. 그리고 중공판재의 절단면을 에어 누출판으로 막아서 상자 형상의 구조로 만든다. 그래서 중공판재의 표면에 분출부와 에어공급구를 가공 성형한다.
이렇게 하여 압출부재의 중공부를 에어 유로로서 이용할 수 있다. 이 때문에 중공부의 형성을 절삭가공에 의해 할 필요가 없게 되고 재료비나 공정수를 줄일 수 있다. 또한, 중공판재의 절단면을 막는 에어 누출 방지판도 작게 할 수 있고 에어 누출을 줄이며 판을 고정하는 나사수를 줄일 수 있다.
또한, 본 발명의 에어 부상 유닛의 제조방법은 상기 압출부재가 알루미늄인 것을 특징으로 한다.
이러한 방법에 의해 압출부재의 재료를 알루미늄으로 한 것으로, 이렇게 함으로서, 가공을 용이하게 하고 경량, 견고, 내부식성이 높은 에어 부상 유닛을 만들 수 있다.
또한, 본 발명의 에어 부상 유닛의 제조방법은 상기 압출부재의 재료가 수지인 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의해 압출부재의 재료를 수지로 한 것으로, 이렇게 함으로서 가공이 용이하고 경량의 에어 부상 유닛을 만들 수 있다.
이와 같이, 종래에는 절삭가공으로 성형하여 왔던 중공부(에어 유로)를 압출 가공하여 성형함으로써 가공수, 가공시간을 줄일 수 있다. 또한, 중공부를 막는 판 을 작게 할 수 있고 에어 누출을 줄일 수 있음과 동시에 판을 고정하는 나사수를 줄일 수 있으며 조립공정 수를 줄일 수 있다.
이하, 도면을 통하여 본 발명을 좀더 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 의한 에어 부상 유닛의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 1을 참조하여 본 발명의 에어 부상 유닛의 제조방법에 대해 설명한다.
먼저, 도 1(a)에 나타난 바와 같이, 알루미늄 압출기로 성형한 알루미늄 압출부재(11)를 준비한다. 이 알루미늄 압출부재(11)는 중공부(2)를 갖는 형상으로 화살표(X) 방향으로 압출 성형된 판상의 알루미늄 소재이다. 이 알루미늄 압출부재(11)를 원하는 치수(L)로 절단하고 도 1(b)에 나타낸 바와 같이 에어 부상 유닛의 모재로 되는 중공판재(12)를 제작한다.
그리고 도 1(c)에 나타난 바와 같이 중공판재(12)의 면상에 분출부(5)의 구멍가공을 함과 동시에 내면에 에어 공급구(도시 생략)를 설치하기 위해 가공을 한다. 또한, 원하는 부분에 연마 등의 표면처리를 실시한다.
이어서, 가공종료 후에 중공부(2)로부터의 에어 누출을 방지하기 위한 에어 누출 방지판(3,4)을 나사공정 등의 방법으로 부착하여 에어 부상 유닛을 완성한다.
또한 도 2는 본 발명에 의한 에어 부상 유닛의 단면구조를 나타내는 도면이다. 도 2(a)에 나타내는 단면 구조는 도 2(b)에서 일점쇄선으로 나타내는 X-Y방향으로 절단한 단면구조를 나타내고 있다.
도 2(a)에 나타낸 바와 같이,중공판재(12)에는 중공부(2)를 막는 에어 누출 방지판(3,4)이 나사(7)에 의해 부착되어 있다. 또한 중공판재(12)의 표면에는 복수 의 분출부(5)가 구멍가공에 의해 설치되고 중공판재(12)의 이면에는 에어 공급구(6)가 설치되어 있다.
상기한 구성에서 에어 공급구(6)로부터 중공부(2)에 압축된 에어가 공급되고 이 에어는 중공부(2)를 유로로 하여 분출부(5)로 부터 외부로 분출한다.
이와 같이, 본 발명의 에어 부상 유닛(1)에 있어서는 알루미늄 압출 가공으로부터 중공판재(12)를 성형하고 이 중공판재(12)의 중공부(2)를 에어 유로로서 이용하고 있다. 이 때문에 중공부(2)의 형성을 절삭가공으로 할 필요가 없게 되고 재료비나 공정수를 줄일 수 있다. 또한 중공부(2)를 막는 에어 누출 방지판(3,4)도 작게 할 수 있고 에어 누출을 줄일 수 있음과 동시에 판을 고정하는 나사수를 줄일 수 있다.
또한 도 1 및 도 2에 나타난 예에서는 알루미늄 압출가공으로 중공판재(12)를 형성하는 예에 대해 설명하였으나, 알루미늄 이외의 재료(예를 들면, 수지 등)로 중공판재를 형성할 수도 있다. 또한 알루미늄 압출 가공 이외에 주조에 의해 중공판재를 형성할 수도 있다.
이상 본 발명의 실시예에 대해 설명하였으나 본 발명의 에어 부상 유닛은 상술한 도시예에만 한정되는 것은 아니고 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 여러가지 변경을 가할 수 있음은 물론이다.
이상과 같이 본 발명에 따르면, 종래에는 절삭가공으로 성형하여 왔던 중공 부(에어 유로)를 압출 가공하여 성형함으로써 에어 누출을 줄일 수 있음과 동시에 가공수, 가공시간을 줄이는 효과를 내므로, 본 발명은 에어 부상 유닛 및 에어 부상 유닛의 제조방법 등에 유용하다.

Claims (6)

  1. 피부상 물체를 압축시킨 에어의 분출에 의해 부상되는 에어 부상 유닛으로서,
    에어 유로로 되는 중공부(2)를 갖는 판상의 압출부재(11)를 압출방향과 수직방향으로 절단하고 원하는 길이로 자른 중공판재(12), 및
    상기 중공판재(12)의 양단면에 부착되면서 상기 중공부(2)를 막는 에어 누출 방지판(3,4)의 상자 형상으로 구성됨과 동시에,
    상기 중공판재(12)에 에어의 분출부(5)와 에어 공급구(6)가 가공성형 된 것을 특징으로 하는 에어 부상 유닛
  2. 제1항에 있어서,
    상기 압출부재(11)의 재료가 알루미늄인 것을 특징으로 하는 에어 부상 유닛
  3. 제1항에 있어서,
    상기 압출부재(11)의 재료가 수지인 것을 특징으로 하는 에어 부상 유닛
  4. 피부상물체를 압축시킨 에어의 분출에 의해 부상되는 에어 부상 유닛의 제조방법으로서,
    에어의 유로로 되는 중공부(2)를 갖는 판상의 압출부재(11)를 압출방향과 수 직방향으로 절단하여 원하는 길이의 중공판재(12)를 만드는 제 1공정,
    상기 중공판재(12)에 에어 분출부(5) 및 에어 공급구(6)를 가공성형하는 제 2공정, 및
    상기 중공부재의 양단면에 에어 누출 방지판(3,4)을 부착하는 제 3공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 에어 부상 유닛의 제조방법
  5. 제4항에 있어서,
    상기 압출부재(11)의 재료가 알루미늄인 것을 특징으로 하는 에어 부상 유닛의 제조방법
  6. 제4항에 있어서,
    상기 압출부재(11)의 재료가 수지인 것을 특징으로 하는 에어 부상 유닛의 제조방법
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