KR200346820Y1 - 다공질 플라스틱(porous plastic)을 공기분사부로 이용한부상이송장치 - Google Patents

다공질 플라스틱(porous plastic)을 공기분사부로 이용한부상이송장치 Download PDF

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KR200346820Y1
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Abstract

본 고안은 LCD 또는 PDP 글라스 가공 공정 중 중대형 LCD 또는 PDP 글라스 이송설비에 이용되는 부상이송장치에 관한 것이다. 부상을 위해 공기가 분사되는 분사부에 다공성 플라스틱의 다공질을 이용함으로, 공압이 고르게 이송물에 분사되어 부상시키고, 또한 공압이 분사되지 않을 시에 이송물과 접촉하여도, 다공성 플라스틱의 특성인 유연성으로 인하여 이송물에 파손을 최소화 할수있는 효과가 있다.

Description

다공질 플라스틱(POROUS PLASTIC)을 공기분사부로 이용한 부상이송장치{omitted}
공압을 이용하여 이송물을 부양, 이송시키는 기술 등은 이미 공지되어 있다.
도 1은 한국공개특허 1999-0062042의 웨이퍼 이송장치에 관한 건으로서, 공압에 의해 웨이퍼를 부양시키고, 또한 이송시키고 있다. 본체(11)에서 나온 공기가 공기토출구(11a,11b)를 통해 분사되어 웨이퍼(w)를 이송시키고 있다. 하지만 이 경우, 공기토출구(11a,11b)의 공압이 분사되는 부분과 그렇지 않은 부분과의 공압이 고르지 않고 공압토출구(11a.11b)의 지름의 크기에 비례하여, 높은 공압을 요구하게 된다. 또한 이송시 이상발생에 의해 공압의 공급이 중단되었을 경우, 본체(11)와 웨이퍼(w)와의 접촉에 의한 파손을 최소화 할수 있게 한다.
다공성 플라스틱의 다공질을 이용함으로서, 공압의 분사의 효율을 높이고, 또한 분사를 고르게 한다. 다공성 플라스틱의 탄성을 이용하여, 부득이하게 본체(11)와 웨이퍼(w)와 접촉할 때에도 파손을 방지할 수 있게 한다.
제 1도는 종래의 이송장치의 일례
제 2도는 본 고안에 의한 웨이퍼 이송장치의 측면도
제 3도는 확산판을 구비하지 않을 경우 공기의 흐름
제 4도는 확산판을 구비했을 경우 공기의 흐름
도면의 주요부품에 대한 부호의 설명
1. 공기분사부
2. 본체상부
3. 본체하부
4. 공기유입부
5. 확산판
6. 고정부
7. 공기부상장치
8. 홀
본 고안의 목적을 달성하기 위한 구성을 상세히 설명하겠다.
공기분사부(1)는 공기를 분사함으로서 이송물을 부상시킨다.
재질은 다공질 플라스틱을 사용한다. 다공질 플라스틱(porous pastic)은 유기 고분자 성분을 소결 압축성형 또는 압축성형하여 제조된 다공질 형태의 플라스틱으로서, 기공의 지름은 0.1에서 100㎛의 크기를 갖고 있어서 여과, 소음, 분산 등에 사용되고 있다.다공질을 지니도록 가공된 금속 또는 세라믹재를 사용할 수도있겠지만, 가공, 제조상 어려움이 있으며, 또한 다공질 플라스틱에서 보장되는 탄성 등이 없고, 경도가 높아, 이송체와 마찰시 이송체가 파손될 수 있는 위험성이 있다. 본, 다공질 플라스틱을 이용함으로 파손의 위험성을 최소화 시킬 수 있을 뿐만 아니라, 이송물에 분사되는 압축공기 내의 이물질을 필터링하는 효과가 있어, 이송물의 파손을 더욱 더 최소화 할 수 있다.
다공질 플라스틱(porous plastic)을 생산하기 위한 대표적인 유기 고분자 성분에는 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 초고분자폴리에틸렌(UHMWPE), PVDF, PTFE등이 있다.
만일 본 이송장비에 내화학성이 요구되면 이때에 플라스틱을 내화학성 재질인 PVDF, PTFE등의 불소 플라스틱을 사용할 수 있다.
본체 상.하부(2,3)는 공기를 유입 받아 공기를 분사하는 틀이다. 본체하부(4)에는 공기유입부가 형성되어 있다. 본 실시예에서는 나사암부를 형성하여 공기유입관과 결합할 수 있게 하였다. 공기분사부(1)의 부착에 요구되는 접착제가 불순물을 발생 시킬수 있는 가능성이 있는바 이의 발생을 최소화 하기위하여 공기분사부(1)를 특별한 형태의 물리적 연결을 통하여 고정할 수 있는 고정부(6)를 형성하였다. 본체 상,하부(2,3)는 나사(도시되어 있지 않음) , 또는 강제 삽입(억지로 끼어넣음) 등을 통하여 결합되어 있다.
공기분사부(1)의 하부에는 확산판(5)를 설치하였다.
확산판(5)의 설치에 의해 공기가 공기분사부(1)의 가장자리까지 골고루 분사되어, 이송체가 고른 부력을 받고 부상될 수 있도록 한다. 제 3도는 확산판이 설치되지 않았을 경우이고, 제4도는 확산판이 설치되었을 경우의 공기의 이동을 표시하였다. 확산판에는 조그마한 홀(8)이 형성되어 있어 판을 통과하여 공기가 분사될 수도 있다.
실제적인 실시에 있어서는 공기부상장치(7)를 가로, 세로로 복수로 배치하여 사용할 수도 있다.
공기분사부(1)가 다공질 플라스틱(POROUS PLASTIC)으로 형성되어, 이송체를 부양시키는 공압이 골고루 형성되어 보다 안정된 이송을 이룰 수 있고, 공기공급장치 등의 이상시 이송체와 마찰하였을 경우에도 다공질 플라스틱(POROUS PLASTIC)의 탄성과 낮은 경도로 이송체를 손상을 최소화하였다. 뿐만 아니라, 이송물에 분사되는 압축공기 내의 이물질을 필터링하는 효과가 있어, 이송물의 파손을 더욱 더 최소화 할 수 있다.
확산판(5)을 설치하여 공기분사부(1)의 구석구석까지 골고루 공기를 분사할 수 있게 하였고, 고정부(6)를 설치하여, 연결에 요구되는 이물질사용을 최소화하여, 공기분사부(1)를 부착할 수 있게 하였다.

Claims (4)

  1. 공압을 이용하여 이송물을 부상시키는 부상이송장치의 공기분사력에 있어서, 공기분사부(1)가 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 초고분자폴리에틸렌(UHMWPE), PVDF, 혹은 PTFE를 재질로 하는 다공질 플라스틱(POROUS PLASTIC)으로 이루어진 부상이송장치
  2. 1항에 있어서 공기의 확산을 돕는 확산판(5)을 구비한 부상이송장치
  3. 1항에 있어서 공기분사부를 고정하는 고정부(6)를 구비한 부상이송장치
  4. 1항에 있어서 공기분사부를 고정하는 고정부(6)와, 공기의 확산을 돕는 확산판(5)을 구비한 부상이송장치
KR20-2004-0000277U 2004-01-06 2004-01-06 다공질 플라스틱(porous plastic)을 공기분사부로 이용한부상이송장치 KR200346820Y1 (ko)

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