JP2011178529A - 浮上搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の浮上ユニット33によって区画される搬送領域TAの上方位置に、複数の吹付ノズル45が搬送方向に間隔を置いて配設され、複数の吹付ノズル45は、いずれかの浮上ユニット33と基板Wとの間に生成されたエア溜まり層Sを支点として基板Wの幅方向の端部側に上向きの力を発生させるように、基板の幅方向の中央部に向かって上方向からエアを吹付けるようになっていること。
【選択図】図1
Description
本発明の第1実施形態について図1から図4を参照して説明する。なお、図面中、「FF」は、前方向、「FR」は、後方向、「L」は、左方向、「R」は、右方向をそれぞれ指してある。
本発明の第2実施形態について図5から図7を参照して説明する。なお、図面中、「FF」は、前方向、「FR」は、後方向、「L」は、左方向、「R」は、右方向をそれぞれ指してある。
TA 搬送領域
S エア溜まり層(圧力溜まり層)
TA 搬送領域
1 浮上搬送装置
3 装置フレーム
5 支持台
11 搬送機構
13 支持ブラケット
15 第1搬送ローラ
17 移動用エアシリンダ
23 スライダ
25 第2搬送ローラ
27 回転用モータ
29 チャンバー
31 供給ファン
33 浮上ユニット
35 噴出孔
37 支持アーム
39 供給パイプ
41 エア供給源
43 連絡回路
45 吹付ノズル
47 浮上搬送装置
49 支持アーム
51 供給パイプ
53 エア供給源
55 連絡回路
57 吹付ノズル
Claims (4)
- 基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、
装置フレームに設けられ、基板を前記搬送方向へ搬送する搬送機構と、
前記装置フレームに前記搬送方向及び前記搬送方向に直交する搬送幅方向に間隔を置いて配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出する噴出孔が形成され、基板との間に浮上ガス溜まり層を生成可能であって、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、
複数の前記浮上ユニットによって区画される搬送領域の上方位置に前記搬送方向に間隔を置いて配設され、いずれかの前記浮上ユニットと基板との間に生成された浮上ガス溜まり層を支点として基板の幅方向の端部側に上向きの力を発生させるように、基板の幅方向の中央部に向かって上方向からエアを吹付ける複数の吹付ノズルと、を具備したことを特徴とする浮上搬送装置。 - 各吹付ノズルは、上方向から見たときに前記搬送幅方向に隣接関係にある前記浮上ユニット間に整合するようになっていることを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。
- 各噴出孔が前記浮上ユニットの外縁に沿って形成され、各噴出孔が鉛直方向に対して各浮上ユニットの中心側へ傾斜するように構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の浮上搬送装置。
- 複数の前記吹付ノズルの配設状態が前記搬送幅方向に複数列になっていることを特徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれかの請求項に記載の浮上搬送装置。
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JP2010045248A JP5589447B2 (ja) | 2010-03-02 | 2010-03-02 | 浮上搬送装置 |
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Citations (3)
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---|---|---|---|---|
JP2006182563A (ja) * | 2004-12-01 | 2006-07-13 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 浮上装置および搬送装置 |
JP2007051001A (ja) * | 2005-08-19 | 2007-03-01 | Nippon Sekkei Kogyo:Kk | 薄板状材料の搬送方法及び装置 |
JP2008076170A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
-
2010
- 2010-03-02 JP JP2010045248A patent/JP5589447B2/ja active Active
Patent Citations (3)
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JP2008076170A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
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