KR100848253B1

KR100848253B1 - 플로팅 타입의 가변 테이블을 가지는 연마장치

Info

Publication number: KR100848253B1
Application number: KR1020070027258A
Authority: KR
Inventors: 원용연; 김현수
Original assignee: 주식회사 엔씨비네트웍스
Priority date: 2007-03-20
Filing date: 2007-03-20
Publication date: 2008-07-25

Abstract

연마테이블의 양측에 배치되는 가변 테이블에 압축공기가 집중적으로 분출되는 노즐을 구비함으로써, 패널의 회전 시 패널에 대한 부하를 최소화하면서 패널의 에지부위가 처지는 것을 방지하여 패널을 안전하게 회전시킬 수 있는 플로팅 타입의 가변 테이블을 가지는 연마장치가 개시되어 있다. 본 발명에 따른 연마장치는 연마대상물이 진공흡착되는 연마테이블을 가지는 연마테이블부, 연마테이블의 양측에 배치되고 연마테이블 측으로 좁아지거나 또는 연마테이블의 양측으로 벌어지면서 연마대상물의 단폭 에지부위 또는 장폭 에지부위를 진공흡착 또는 부상시키는 한 쌍의 가변테이블을 가지는 가변테이블부를 구비한다. 이러한 연마장치는 연마테이블이 연마대상물을 회전시킬 때 연마대상물의 단폭 에지부위 또는 장폭 에지부위를 부상시킬 수 있도록 각각의 가변테이블에 하나 이상 장착되는 에어분출노즐을 가지는 플로팅부를 더 구비한다.

Description

플로팅 타입의 가변 테이블을 가지는 연마장치{GRINDING DEVICE HAVING VARIABLE TABLE FOR FLOATING}

도 1은 본 발명에 따른 플로팅 타입의 가변 테이블을 가지는 연마장치를 나타낸 사시도이고,

도 2는 도 1의 “A”부분을 확대하여 나타낸 도면이며, 그리고

도 3은 도 1에 도시된 연마대상물이 부상된 상태를 보인 도면이다.

<도면의주요부분에대한부호의설명>

100 : 플로팅 타입의 가변 테이블을 가지는 연마장치

110 : 연마테이블부 112 : 연마모터

114 : 실린더샤프트 116 : 연마테이블

118 : 진공흡착공 120 : 가변테이블부

122 : 가변테이블 124 : 에어분출공

126 : 진공흡착그루부 130 : 플로팅부

132 : 가이드 134 : 에어안내블록

136 : 에어분출노즐 138 : 이송스크류

140 : 가이드블록 142 : 에어안내면

L : 연마대상물

본 발명은 플로팅 타입의 가변 테이블을 가지는 연마장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 연마테이블의 양측에 배치되는 가변 테이블에 압축공기가 집중적으로 분출되는 노즐을 구비함으로써, 패널의 회전 시 패널에 대한 부하를 최소화하면서 패널의 에지부위가 처지는 것을 방지하여 패널을 안전하게 회전시킬 수 있는 플로팅 타입의 가변 테이블을 가지는 연마장치에 관한 것이다.

일반적으로 TFT-LCD와, PDP패널 같은 디스플레이 패널은 저온 공정으로 대면적 유리기판에 작용할 수 있으며, 저 전압으로도 충분히 구동할 수 있는 장점을 가지고 있어 널리 사용되는 액정표시장치이다.

이러한 디스플레이 패널은 화상 테이터를 액정의 광학적 성질을 이용하여 디스플레이 하는 액정패널과 이를 구동하기 위한 구동회로를 포함하는 액정패널 어셈블리, 화면표시를 위한 광을 공급하는 백라이트 어셈블리 및 액정패널 어셈블리와 백라이트 어셈블리를 고정, 수용하는 몰드 프레임으로 구성된다.

액정패널 어셈블리는 2매의 대형 유리기판(이하; “모 기판”이라 한다)에 박막 트랜지스터 어레이(TFT array)가 형성되는 TFT기판 및 공통전극을 형성하는 칼라필터 기판을 각각 형성하는 기판제작공정, 전술한 모 기판에 배향막 및 스페이서(spacer)를 형성하고 중합시켜 다수의 액정셀을 형성한 다음 다양한 커팅도구를 이용하여 개별적인 액정셀로 절단하여 액정패널을 형성한 후, 개별 액정패널에 형 성된 주입구를 통하여 소정의 액정을 주입하는 액정셀 형성공정 및 액정셀로 전기적 신호를 공급하기 위한 구동회로를 부착하는 모듈공정에 의해서 형성된다.

전술한 모듈공정은 TFT기판의 측단부 상면에 구동신호를 입력받기 위한 신호 입력 패턴과, TFT기판 상에 형성된 소스 라인 및 게이트 라인으로 구동신호를 인가 하기 위한 인쇄회로기판 및 구동IC를 ACF본딩 또는 솔더링 본딩을 이용하여 결합하는 공정인데, 결합과정에서 상기 신호입력 패턴과 인쇄회로기판의 얼라인미스를 방지하고, 공정충격에 의한 크랙발생을 방지하기 위하여 액정주입 후 세정을 거친 액정패널에 대한 가장자리(edge) 연마 공정을 수행한다.

전술한 액정패널을 연마 가공하는 방법으로는 통상적으로, 연마테이블에 액정패널을 올려놓은 후, 액정패널을 연마석이 장착된 스핀들 축과 직각을 이루도록 연마테이블을 회전시키고, 각각의 스핀들 축을 가공위로 미리 이동시켜 연마테이블을 스핀들 축 사이로 통과시키면서 액정패널의 양측 가공하게 된다. 또한, 액정패널의 또 다른 양측으로 가공하기 위해서 연마테이블을 90도 회전시키고, 다시 스핀들 축을 가공위치에 알맞도록 이송시킨 후, 연마테이블을 다시 스핀들 축 사이로 통과시키면서 액정패널의 또 다른 양측을 가공하게 된다.

그러나 전술한 연마테이블은 동일한 사이즈의 액정패널을 가공할 때에는 문제가 없이 사용할 수 있으나, 가공하고자 하는 액정패널의 사이즈가 변화하게 되면 연마테이블을 액정패널의 사이즈에 맞게 교체하여야 하는 번거로움으로 인해 작업효율이 떨어지는 문제점이 있었다.

이러한 문제점을 해결하기 위해서 최근에는 연마테이블의 양측에 가변 테이 블이 장착된 연마장치들이 개발되고 있는 실정이다. 이러한 가변 테이블은 액정패널의 사이즈가 변화하더라도 가변 테이블이 액정패널의 에지부위를 지지하기 때문에 연마 가공 시 패널의 에지부위가 처지는 것을 방지할 수 있게 한다.

그러나 전술한 가변 테이블이 장착된 연마장치는 액정패널의 단폭 에지부위를 연마가공 한 후 장폭 에지부위를 연마가공하기 위해서, 또는 장폭 에지부위를 연마가공 한 후 단폭 에지부위를 연마가공하기 위해서 액정패널을 회전시킬 때 액정패널의 에지부위가 자중에 의해서 처져 가변 테이블과 접촉하여 스크래치가 발생하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 연마테이블의 양측에 배치되는 가변 테이블에 압축공기가 집중적으로 분출되는 노즐을 구비함으로써, 패널의 회전 시 패널에 대한 부하를 최소화하면서 패널의 에지부위가 처지는 것을 방지하여 패널을 안전하게 회전시킬 수 있는 플로팅 타입의 가변 테이블을 가지는 연마장치를 제공하는데 있다.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위해서 본 발명은,
연마대상물이 진공흡착되는 연마테이블을 가지는 연마테이블부, 연마테이블의 양측에 배치되고 연마테이블 측으로 좁아지거나 또는 연마테이블의 양측으로 벌어지면서 연마대상물의 단폭 에지부위 또는 장폭 에지부위를 진공흡착 또는 부상시키는 한 쌍의 가변테이블을 가지는 가변테이블부를 구비하는 연마장치에 있어서,
연마장치는;
연마테이블이 연마대상물을 회전시킬 때 연마대상물의 단폭 에지부위 또는 장폭 에지부위를 부상시킬 수 있도록 각각의 가변테이블에 하나 이상 장착되는 에어분출노즐을 가지는 플로팅부를 더 구비하고,
플로팅부는 연마테이블에 인접한 각각의 가변테이블의 일측면 상에 배치되는 에어안내블록을 더 구비하며, 에어안내블록의 일단면 상에는 에어분출노즐이 장착되며,

에어분출노즐이 장착된 에어안내블록의 일단면 상에는 에어안내블록의 일단면 상에서 에어안내블록의 상부면 상으로 부드러운 곡률로 제공되는 에어안내면이 형성된 플로팅 타입의 가변 테이블을 가지는 연마장치를 제공한다.

삭제

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 연마테이블의 양측에 배치되는 가변 테이블에 압축공기가 집중적으로 분출되는 노즐을 구비함으로써, 패널의 회전 시 패널에 대한 부하를 최소화하면서 패널의 에지부위가 처지는 것을 방지하여 패널을 안전하게 회전시킬 수 있다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 플로팅 타입의 가변 테이블을 가지는 연마장치에 대해 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 플로팅 타입의 가변 테이블을 가지는 연마장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 “A”부분을 확대하여 나타낸 도면이며, 그리고 도 3은 도 1에 도시된 연마대상물이 부상된 상태를 보인 도면이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 연마장치(100)는 연마대상물(L)이 진공 흡착되는 연마테이블부(110), 연마테이블부(110)의 양측에 배치되면서 선택적으로 연마대상물(L)의 단폭 에지부위 또는 장폭 에지부위를 진공흡착 또는 부상시키는 가변테이블부(120) 및 가변테이블부(120)에 장착되고 연마테이블부(110)의 연마대상물(L)을 회전시킬 때 연마대상물(L)의 단폭 에지부위 또는 장폭 에지부위를 부상시키는 플로팅부(130)로 이루어진다.

연마테이블부(110)는 연마모터(112)와, 연마모터(112)와 연결되면서 연마모터(112)의 상부면 외부로 출입하는 실린더 샤프트(114)와, 실린더 샤프트(114)의 상부에 장착되는 연마테이블(116)을 구비한다.

누구나 알 수 있듯이 연마테이블(116)에는 다수의 진공흡착공(118)이 형성됨과 아울러 진공흡착배관라인(도시되지 않음)이 연결된다. 또한 연마모터(112)는 통상의 다이렉트 드라이브 모터(DIRECT DRIVE MOTOR; DD-MOTOR)를 채택한다. 이러한 연마모터(112)는 연마 가공을 위해 연마테이블(116)에 얻어진 연마대상물(L)을 90도 정회전 또는 90도 역회전시킨다. 이렇게 형성된 연마테이블(116)의 양측에는 가변테이블부(120)가 배치된다.

가변테이블부(120)는 연마테이블(116)의 양측에 배치되는 가변테이블(122)을 구비하는데, 가변테이블(122)의 상부면 상에는 다수의 에어분출공(124) 및 다수의 진공흡착그루브(126)가 형성됨과 아울러 에어분출배관라인(도시되지 않음) 및 진공흡착배관라인(도시되지 않음)과 연결된다. 이러한 가변테이블(120)은 연마테이블(116) 측으로 좁아지거나 또는 연마테이블(116)의 양측으로 벌어지는데, 이를 위 해서 가변테이블(122)의 하부에는 가변테이블(122)을 가변시키는 통상의 이송수단(도시되지 않음)이 배치된다. 통상의 이송수단은 연마테이블(116)의 양측으로 배치되는 고정 리니어모터와, 가변테이블(122)의 하부에 배치되면서 고정 리니어모터를 따라 이송되는 가동 리니어모터를 채택함이 바람직하다.

한편, 플로팅부(130)는 가이드(132), 타단이 가이드(132)에 슬라이딩 가능하게 장착되고 일단면에는 에어분출노즐(136)이 장착된 에어안내블록(134)과, 에어안내블록(134)을 이송시키는 이송스크루(138)를 구비한다.

먼저, 가이드(132)는 통상의 엘엠(LM) 가이드를 채택한다. 이러한 가이드(132)는 연마테이블(116)에 인접한 각각의 가변테이블(122)의 일측면 상에서 가변테이블(122)의 길이방향을 따라 고정 배치된다.

에어안내블록(134)은 육면체 형상을 가지는데, 에어안내블록(134) 타단면 상에는 가이드(132)에 장착될 수 있도록 가이드블록(140)이 형성되고 에어분출노즐(136)이 장착된 일단면 및 상부면 사이에는 에어안내블록(134)의 일단면 상에서 에어안내블록(134)의 상부면 상으로 부드러운 곡률로 제공되는 에어안내면(142)이 형성된다. 바람직하게는 에어분출노즐(136)은 에어분출배관라인(도시되지 않음)과 연결되고 에어분출노즐(136)에서 분출된 압축에어는 에어안내면(142)을 따라 안내된다.

한편, 이송스크루(138)는 에어안내블록(134)의 일측에서부터 에어안내블록(134)을 관통하여 연장된다. 즉, 에어안내블록(134)은 이송스크루(138)의 회전에 의해서 가이드(132)를 따라 슬라이딩 된다. 이러한 이송스크루(138)는 연마대상 물(L)에 대응하여 가이드(132)를 따라 슬라이딩 된다.

하기에는 전술한 바와 같이 형성된 플로팅 타입의 가변 테이블을 가지는 연마장치(100)의 작동상태를 간략하게 설명한다.

먼저, 단폭 에지부위 및 장폭 에지부위를 연마할 연마대상물(L)을 상류장비(도시되지 않음)에 넘겨받은 후, 연마대상물(L)의 얼라인(align)이 완료되면, 연마대상물(L)을 연마테이블(116)에 안착시키게 되는데, 이때, 각각의 가변테이블(122)은 연마테이블(116)에 인접한 위치까지 이동된다. 이렇게 이동된 각각의 가변테이블(122)은 연마테이블(116)과 함께 얼라인된 연마대상물(L)을 진공 흡착한다.

전술한 바와 같이 연마대상물(L)이 연마테이블(116) 및 가변테이블(122)에 흡착되면, 먼저 연마대상물(L)의 단폭 에지부위를 통상의 방법으로 연마한다. 이렇게 단폭 에지부위의 연마가 완료되면, 연마대상물(L)의 장폭 에지부위를 연마하기 위해서 연마테이블(116)은 연마모터(112)에 의해서 90도 회전하는데, 이때, 각각의 가변테이블(122)의 에어분출공(124) 및 플로팅부(130)의 에어분출노즐(136)에서는 각각 압축에어가 분출된다, 그 결과 연마대상물(L)의 각각의 에지부위는 처짐이 없이 안정적으로 부상된다. 한편, 에어분출노즐(136)에서 분출된 압축에어는 주위 공기와 혼합되어 강한 분사력 및 부상력을 가지면서 에어안내블록(134)의 부드러운 곡률로 제공된 에어안내면(142)을 따라 안내되면서 연마대상물(L)을 부상시킨다.

이렇게 연마대상물(L)이 90도 회전하면, 각각의 가변테이블(122)의 에어분출공(124) 및 에어분출노즐(136)에서 분출되는 압축에어의 공급을 차단시키고, 가변테이블부(122)의 진공흡착배관라인을 가동하여 다시 연마대상물(L)을 진공 흡착한 후, 연마대상물(L)의 장폭 에지부위를 통상의 방법으로 연마한다.

전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 플로팅 타입의 가변 테이블을 가지는 연마장치(100)는 연마테이블(116) 양측에 배치된 가변테이블(122)에 압축에어가 분출되는 에어분출노즐(136)을 구비함으로써, 연마테이블(116)에 진공 흡착된 연마대상물(L)을 90도 회전할 때 에어분출노즐(136)에서 분출되는 압축에어에 의해서 회전하는 연마대상물(L)의 에지부위의 처짐을 미연에 방지하여 연마대상물(L)을 안정적으로 회전시킬 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술 분야의 숙련된 당업자는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims

연마대상물(L)이 진공흡착되는 연마테이블(116)을 가지는 연마테이블부(110), 상기 연마테이블(116)의 양측에 배치되고 상기 연마테이블(116) 측으로 좁아지거나 또는 상기 연마테이블(116)의 양측으로 벌어지면서 상기 연마대상물(L)의 단폭 에지부위 또는 장폭 에지부위를 진공흡착 또는 부상시키는 한 쌍의 가변테이블(122)을 가지는 가변테이블부(120)를 구비하는 연마장치에 있어서,

상기 연마장치는;

상기 연마테이블(116)이 상기 연마대상물(L)을 회전시킬 때 상기 연마대상물(L)의 단폭 에지부위 또는 장폭 에지부위를 부상시킬 수 있도록 상기 각각의 가변테이블(122)에 하나 이상 장착되는 에어분출노즐(136)을 가지는 플로팅부(130)를 더 구비하고,

상기 플로팅부(130)는 상기 연마테이블(116)에 인접한 각각의 상기 가변테이블(122)의 일측면 상에 배치되는 에어안내블록(134)을 더 구비하며, 상기 에어안내블록(134)의 일단면 상에는 상기 에어분출노즐(136)이 장착되며,

상기 에어분출노즐(136)이 장착된 상기 에어안내블록(134)의 일단면 상에는 상기 에어안내블록(134)의 일단면 상에서 상기 에어안내블록(134)의 상부면 상으로 부드러운 곡률로 제공되는 에어안내면(142)이 형성된 것을 특징으로 하는 플로팅 타입의 가변 테이블을 가지는 연마장치.
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제 1 항에 있어서, 상기 플로팅부(130)는 상기 연마테이블(116)에 인접한 각각의 상기 가변테이블(122)의 일측면 상에서 상기 가변테이블(122)의 길이방향을 따라 고정 배치되는 가이드(132)를 더 구비하고, 상기 에어안내블록(134) 타단면 상에는 상기 가이드(132)를 따라 슬라이딩 될 수 있도록 가이드블록(140)이 형성되는 것을 특징으로 하는 플로팅 타입의 가변 테이블을 가지는 연마장치.
제 4 항에 있어서, 상기 플로팅부(130)는 상기 에어안내블록(134)을 이송시키는 이송스크루(138)를 더 구비하고, 상기 이송스크루(138)는 상기 에어안내블록(134)의 일측에서부터 상기 에어안내블록(134)을 관통하여 연장됨과 아울러 상기 이송스크루(138)의 회전에 의해서 상기 가이드(132)를 따라 슬라이딩 되는 것을 특징으로 하는 플로팅 타입의 가변 테이블을 가지는 연마장치.
제 1 항에 있어서, 상기 연마테이블부(110)는 연마모터(112)와, 상기 연마모터(112)와 연결되면서 상기 연마모터(112)의 상부면 외부로 출입하는 실린더 샤프트(114)를 더 구비하며, 상기 실린더 샤프트(114)의 상부에는 상기 연마테이블(116)이 장착되고, 상기 연마테이블(116)에는 다수의 진공흡착공(118)이 형성되는 것을 특징으로 하는 플로팅 타입의 가변 테이블을 가지는 연마장치.
제 6 항에 있어서, 상기 연마모터(112)는 통상의 다이렉트 드라이브 모터인 것을 특징으로 하는 플로팅 타입의 가변 테이블을 가지는 연마장치.
제 1 항에 있어서, 각각의 상기 가변테이블(122)의 상부면 상에는 다수의 에어분출공(124) 및 다수의 진공흡착그루브(126)가 형성되는 것을 특징으로 하는 플로팅 타입의 가변 테이블을 가지는 연마장치.