KR100627613B1 - 유리기판용 연마테이블 및 연마장치 - Google Patents

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Abstract

유리기판용 연마테이블 및 연마장치가 개시된다. 베이스 플레이트과, 베이스 플레이트의 상부에 결합되는 메인 테이블과, 메인 테이블의 표면에 형성되는 복수의 제1 흡착부를 포함하되, 복수의 제1 흡착부는 각각 그에 대응하는 진공밸브와 기류적으로 연결되는 유리기판용 연마테이블은, 연마 대상이 되는 유리기판의 칫수가 변경되더라도 연마테이블을 교체하지 않고 범용적으로 사용할 수 있으며, 다양한 규격의 유리기판을 용이하게 고정하여 연마할 수 있다.
유리기판, 연마테이블, 연마장치, 그라인딩, 흡착부, 진공밸브

Description

유리기판용 연마테이블 및 연마장치{Table and apparatus for grinding glass panel}
도 1은 종래기술에 따른 연마테이블을 나타낸 평면도.
도 2는 종래기술에 따른 연마테이블을 나타낸 단면도.
도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 연마테이블을 나타낸 평면도.
도 4는 도 3의 A-A'에 대한 단면도.
도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 연마테이블의 흡착부를 나타낸 사시도.
도 6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 연마테이블의 진공밸브를 나타낸 단면도.
도 7은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 연마테이블의 서브 테이블을 나타낸 평면도.
도 8은 도 7의 B-B'에 대한 단면도.
도 9는 본 발명의 바람직한 일 실시에에 따른 진공밸브 블록을 나타낸 사시도.
도 10은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 연마테이블을 나타낸 평면도.
도 11은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 연마장치의 구성을 나타낸 평면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 베이스 플레이트 20 : 메인 테이블
30, 31 : 서브 테이블 32 : 흡착부
34 : 진공밸브 36 : 테이블 패널
38 : 지지부 100 : 본체
본 발명은 연마테이블에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유리기판용 연마테이블 및 연마장치에 관한 것이다.
종래기술에 따른 유리기판용 연마테이블의 경우 유리기판과 접촉하는 면에 복수의 흡착부가 형성되어 있고, 흡착부는 연마테이블에 결합되어 있는 진공밸브와 기류적으로 연결되어 있다. 따라서, 연마테이블에 유리기판이 놓이게 되면, 진공밸브를 작동시켜 흡착부가 유리기판을 흡착함으로써 유리기판이 연마테이블에 고정된다.
상기와 같은 종래기술에 따른 연마테이블의 경우 다음과 같은 문제점이 존재한다.
첫째, 유리기판의 규격에 따른 칫수에 맞추어 다양한 크기의 유리기판을 연 마해야 하므로, 연마 대상이 되는 유리기판의 칫수가 변경될 때마다 연마테이블도 그에 상응하는 칫수의 것으로 교체해야 한다. 즉, 연마작업을 수행하기 전에 유리기판의 크기에 맞는 적절한 크기의 연마테이블로 일일이 교체해 주어야 하는 불편함이 따르게 되며, 연마테이블이 유리기판보다 현저히 작을 경우 연마테이블에 의해 지지되지 않는 유리기판의 단부에서 처짐현상 또는 연마공정 중 떨림현상이 발생하여 연마품질이 저하되는 문제가 있다.
이와 같이 유리기판의 크기에 대응하여 연마테이블을 교체해야 하는 문제는 특히 대형 유리기판의 경우 작업시간 및 소요되는 노력의 손실이 더욱 심각해지며, 또한 다양한 유리기판의 규격에 따라 그에 상응하는 개수의 연마테이블을 준비해 놓아야 하므로 연마테이블의 제조, 운송, 보관 등에 불필요한 비용이 소모되게 된다.
둘째, 연마테이블에 형성되어 있는 복수의 흡착부의 경우 모든 흡착부가 기류적으로 연결되어 있으므로, 특정 부위에서 접촉이 이루어지지 않았을 경우에는 진공소실 현상이 발생하여, 흡착부에 의한 유리기판의 고정작업에 불필요한 작업시간이 소요되는 문제가 있다. 이에 대한 대책으로 복수의 흡착부 각각에 연결되는 진공밸브를 별도의 라인을 통해 작동되도록 할 수도 있으나, 360도 회전이 이루어지는 연마장치의 특성상 진공밸브에 2 이상의 라인이 연결되게 되면 꼬임현상 등에 의해 장비 손상의 문제가 있으며, 추가적인 비용상승의 문제점도 발생한다.
본 발명은 연마 대상이 되는 유리기판의 칫수가 변경되더라도 교체하지 않고 사용할 수 있는 유리기판용 연마테이블 및 이를 사용한 연마장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명은 일부에 접촉이 이루어지지 않더라도 진공소실 현상이 발생하지 않고, 다양한 규격의 유리기판을 고정하여 연마할 수 있는 연마테이블 및 연마장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일측면에 따르면, 베이스 플레이트과, 베이스 플레이트의 상부에 결합되는 메인 테이블과, 메인 테이블의 표면에 형성되는 복수의 제1 흡착부를 포함하되, 복수의 제1 흡착부는 각각 그에 대응하는 진공밸브와 기류적으로 연결되는 유리기판용 연마테이블이 제공된다.
또한, 메인 테이블에 대향하여 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트에 결합되는 하나 이상의 서브 테이블과, 서브 테이블의 표면에 형성되는 복수의 제2 흡착부를 더 포함하되, 복수의 제2 흡착부는 각각 그에 대응하는 진공밸브와 기류적으로 연결되는 유리기판용 연마테이블이 제공된다.
메인 테이블은 베이스 플레이트의 중앙부에 결합되며, 서브 테이블은 메인 테이블의 양측으로 한 쌍이 결합될 수 있다. 베이스 플레이트의 상부에는 메인 테이블의 하부를 관통하는 가이드 레일이 결합되며, 서브 테이블은 가이드 레일을 따라 이동하는 것이 바람직하다. 또한, 서브 테이블을 가이드 레일을 따라 이동시키는 구동부 및 서브 테이블의 이동 거리를 조절하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
상기 진공밸브는 복수로 작동할 경우 일부가 작동하지 않아도 진공소실 현상 이 방지되는 특성을 갖는 것이 바람직하다.
제2 흡착부는 중심구역과 주변구역으로 구획되어 일 방향으로 배열되어 있으며, 상기 주변구역의 제2 흡착부의 배열된 간격은 유리기판의 표준 규격에 대응하여 형성될 수 있다. 중심구역의 제2 흡착부는 복수로 형성될 수 있다.
서브 테이블은 진공밸브 블록과 진공밸브 블록의 상부에 결합되는 테이블 패널을 포함하며, 제2 흡착부는 테이블 패널의 표면에 형성되고, 진공밸브 블록에는 제2 흡착부에 대응하여 진공밸브가 일 방향으로 배열되는 것이 바람직하다.
또한, 베이스 플레이트의 상부에 복수의 서브 테이블이 결합되어 형성되는 유리기판용 연마테이블에 사용되는 진공밸브 블록에 있어서, 서브 테이블의 형상에 대응하는 형상으로 형성되어 서브 테이블의 하면에 결합되는 케이스와, 케이스에 수용되며, 유리기판의 표준 규격에 대응하여 일 방향으로 배열되는 복수의 진공밸브와, 복수의 진공밸브와 결합되는 단일의 작동라인을 포함하되, 복수의 진공밸브는 서브 테이블에 형성되는 복수의 흡착부와 각각 기류적으로 연결되는 유리기판 연마테이블용 진공밸브 블록이 제공된다.
또한, 본체와, 본체의 상부에 회전가능하게 결합되는 베이스 플레이트과, 베이스 플레이트의 중앙부에 결합되는 메인 테이블과, 베이스 플레이트의 상부에 결합되며, 메인 테이블의 하부를 관통하는 가이드 레일과, 가이드 레일을 따라 메인 테이블에 대향하여 이동 가능하도록 메인 테이블의 양측에 결합되는 한 쌍의 서브 테이블과, 메인 테이블 및 서브 테이블의 표면에 형성되는 복수의 흡착부를 포함하되, 복수의 흡착부는 각각 그에 대응하는 진공밸브와 기류적으로 연결되는 유리기 판용 연마장치가 제공된다.
이하, 본 발명에 따른 유리기판용 연마테이블 및 연마장치의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 연마테이블을 나타낸 평면도이고, 도 4는 도 3의 A-A'에 대한 단면도이다. 도 3 및 도 4를 참조하면, 유리기판(3), 베이스 플레이트(10), 가이드 레일(12), 메인 테이블(20), 서브 테이블(30, 31), 흡착부(32)가 도시되어 있다.
본 발명 연마용 테이블은 다양한 규격의 유리기판의 연마공정에 있어서 일일이 교체하지 않고 범용적으로 사용할 수 있도록 하기 위해, 연마용 테이블을 베이스 플레이트(10) 및 그 상부에 결합되는 메인 테이블(20)과 서브 테이블(30, 31)로 구성하였다.
즉, 종래의 연마용 테이블이 표면에 흡착부(32)가 형성되어 있고 흡착부(32)에 기류적으로 연결되는 진공밸브를 구비한 판형의 자재인 반면, 본 발명 연마용 테이블은 베이스 플레이트(10) 및 그에 결합되는 복수의 테이블로 구성된다. 복수의 테이블은 중앙의 메인 테이블(20)과 그 양측으로 이동가능한 서브 테이블(30, 31)로 구성되며, 서브 테이블(30, 31)이 메인 테이블(20)을 향하여 이동함으로써 다양한 크기의 유리기판을 올려놓을 수 있게 된다.
도 3에 도시된 바와 같이 베이스 플레이트(10)과, 베이스 플레이트(10)의 중앙 상부에 결합되는 메인 테이블(20)과, 메인 테이블(20)에 대향하여 메인 테이블(20)로부터의 거리가 조절될 수 있도록 이동되며, 메인 테이블(20)의 양측에 위치하도록 베이스 플레이트(10)에 결합되는 서브 테이블(30, 31)로 구성된다.
본 실시예에서는 구조적 안정성을 고려하여 유리기판의 중심부에 대응되는 위치에 메인 테이블(20)이 결합되고, 그 양측으로 유리기판의 양단부를 지지하도록 한 쌍의 서브 테이블(30, 31)이 결합되도록 하였으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 크기의 유리기판을 올려놓을 수 있도록 기준이 되는 테이블(메인 테이블)과 이동가능한 테이블(서브 테이블)로 구성하여 1개의 서브 테이블만을 사용하는 구성도 본 발명의 범위에 포함됨은 물론이다.
한편, 소형 유리기판과 같이 중앙부에 처짐의 구조적 문제가 발생할 우려가 없는 경우에는 양측에 대칭으로 형성되는 2개의 테이블만으로 구성할 수도 있으며, 이 경우 한 쪽이 메인 테이블, 다른 한 쪽이 서브 테이블에 해당하게 된다. 또한, 대형 유리기판의 경우에는, 본 발명과 같이 복수의 테이블로 구성된 연마테이블에 올려놓을 경우 구조적 처짐이 발생할 수 있으므로 위해 2개 이상의 서브 테이블을 사용할 수도 있다.
더 나아가, 복수의 흡착부가 형성되어 있는 메인 테이블만으로도 일정 범위의 다양한 유리기판을 고정시킬 수 있는 연마테이블을 구성할 수 있다.
서브 테이블(30, 31)은 베이스 플레이트(10)의 상부에 형성되어 있는 가이드 레일(12)을 따라 이동하며, 따라서 가이드 레일(12)은 메인 테이블(20)의 하부를 관통하여 서브 테이블(30, 31)이 이동할 수 있는 범위까지 연장되는 것이 바람직하다. 물론, 서브 테이블(30, 31)이 메인 테이블(20)에 접촉하도록 이동하지 않아도 다양한 크기의 유리기판을 올려놓을 수 있다면, 가이드 레일(12)은 메인 테이블(20)을 관통하지 않고 서브 테이블(30, 31)의 이동 궤적에 상응하여 베이스 플레이트(10)에 결합될 수 있다.
본 발명이 서브 테이블(30, 31)의 이동수단으로서 반드시 가이드 레일에 한정되는 것은 아니며, 서브 테이블(30, 31)이 메인 테이블(20)을 향하여 멀어지거나 가까워지도록 이동할 수 있는 수단으로서 기어, 래크, 체인, 케이블 등 당업자에게 자명한 이동수단이 본 발명에 포함됨은 물론이다.
본 발명에 따른 서브 테이블(30, 31)은 연마 대상이 되는 유리기판의 칫수에 상응하여 이동되어야 하므로 서브 테이블(30, 31)과 메인 테이블(20) 간의 거리를 정밀하게 조절할 수 있는 수단이 부가되는 것이 바람직하다. 이를 위해 본 실시예에서는 가이드 레일에 눈금을 표시하고 유리기판의 칫수에 해당하는 숫자를 기입함으로써 연마 대상이 되는 유리기판의 칫수에 상응하도록 서브 테이블(30, 31)을 정확히 이동시킬 수 있다.
또한, 상기와 같은 수동식이 아니고 자동식으로 서브 테이블(30, 31)을 이동시킬 수도 있다. 즉, 서브 테이블(30, 31)을 가이드 레일을 따라 이동시키는 구동부 및 서브 테이블(30, 31)의 이동 거리를 조절할 수 있는 제어부를 더 포함함으로써 컴퓨터 등의 제어장치를 사용하여 서브 테이블(30, 31)을 이동시키게 되면, 서브 테이블(30, 31)의 이동에 따른 노력을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 서브 테이블 (30, 31)의 이동거리를 정밀하게 제어할 수 있다.
도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 연마테이블의 흡착부를 나타낸 사시도이다. 도 5를 참조하면, 서브 테이블(30, 31), 흡착부(32), 테이블 표면(33), 진공밸브(34)가 도시되어 있다.
메인 테이블(20) 및 서브 테이블(30, 31)의 표면에는 유리기판을 고정시키기 위한 흡착부(32)가 형성된다. 흡착부(32)는 유리기판과의 접촉성을 좋게 하기 위해 테이핑 등에 의한 기류차단막이 형성된 테이블의 표면(33)에 선형으로 홈을 형성한 것이다. 다만, 본 발명이 흡착부(32)의 형상으로서 선형으로 형성된 홈에 한정되는 것은 아니며, 당업자에게 자명한 범위 내에서 진공흡착에 의해 유리기판을 고정할 수 있는 모든 형상의 흡착부가 본 발명의 범위에 포함됨은 물론이다.
흡착부(32)의 길이는 진공밸브(34)의 성능을 고려하여 적절한 길이로 형성하며, 따라서, 1개의 유리기판을 고정하기 위해 복수의 흡착부(32)가 사용될 수 있다. 각 흡착부(32)는 각각 그에 대응하는 진공밸브(34)가 기류적으로 연결된다. 도 5을 참조하면, 각 흡착부(32)에 기류적으로 연결되는 진공밸브(34)가 메인 테이블(20) 또는 서브 테이블(30, 31)의 하부에 흡착부(32)를 향하여 결합되어 있음을 알 수 있다.
도 6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 연마테이블의 진공밸브를 나타낸 단면도이다. 도 6을 참조하면, 진공밸브(34), 스프링(341), 부유체(342), 필터(343), 유지용 볼트(344), 흡착컵(345)이 도시되어 있다.
상기 진공밸브(34)는 복수로 작동할 경우 일부가 작동하지 않아도 진공소실 현상이 방지되는 특성을 갖는 것이 바람직하다. 즉, 다수의 진공밸브(34)를 배열하여 사용할 경우 하나 또는 그 이상의 흡착부(32)에서 유리기판과의 접촉이 이루어지지 않았을 경우에도 진공소실이 방지되는 성능을 갖는 것이 좋다.
진공밸브는 진공 발생기(미도시)와 흡착컵(345) 사이에 장착된다. 진공 발생 중 흡착컵(345)이 벗겨지거나 부분적으로 덮힌 경우 진공밸브(34)는 자동적으로 공기유입을 중단하며, 흡착컵(345)이 흡착 대상물의 표면에 단단히 부착되었을 때 진공이 재생성된다.
도 6의 좌측 그림과 같이 흡착컵(345)이 대기를 향해 열려져 있을 때에는 부유체(342)가 하우징에서 후퇴하며, 이 위치에서 부유체(342) 끝의 작은 구멍을 통해서만 공기의 흐름이 가능하다. 도 6의 우측 그림과 같이 흡착 대상물이 흡착컵(345)에 접촉되었을 때에는 유입되는 공기의 유량은 감소하고, 스프링(341)의 탄성력이 부유체(342)를 전진시켜 진공이 형성되게 된다.
다만 본 발명에 따른 연마테이블에 사용되는 진공밸브는 반드시 전술한 구성에 한정되는 것은 아니며, 복수의 진공밸브를 병렬로 연결했을 때 그 일부에서 진공흡착이 발생하지 않게 되면 해당 진공밸브만 작동하지 않고 나머지 진공밸브는 작동되는 기능을 구비한 것이면 당업자에게 자명한 범위 내에서 본 발명의 구성요소인 진공밸브에 포함될 수 있음은 물론이다.
상기와 같은 특성을 갖는 진공밸브(34)를 사용함으로써, 다양한 크기의 유리기판을 본 발명 연마 테이블에 올려놓을 경우 효과적으로 유리기판을 연마 테이블에 고정시킬 수 있게 된다. 이에 대한 상세한 설명은 후술한다.
도 7은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 연마테이블의 서브 테이블을 나타낸 평면도이고, 도 8는 도 7의 B-B'에 대한 단면도이다. 도 7 및 도 8를 참조하면, 서브 테이블(30), 흡착부(32), 진공밸브(34), 테이블 패널(36)이 도시되어 있다.
본 발명 연마테이블은 다양한 크기의 유리기판에 대응하여 교체하지 않고 범용적으로 사용할 수 있도록 한 것으로, 연마 대상이 되는 유리기판의 칫수에 대응하여 서브 테이블(30)이 메인 테이블(20)에 대향하여 이동하게 된다.
통상 유리기판의 칫수는 한쪽변의 길이가 증가함에 따라 다른 쪽 변의 길이도 증가하게 된다. 예를 들어, 17인치 유리기판에 비하여 32인치 유리기판은 가로방향 변의 길이뿐만 아니라 세로방향 변의 길이 또한 증가하게 되는 것이다. 따라서, 다양한 크기의 유리기판을 연마테이블에 올려놓을 경우 서브 테이블(30)과 메인 테이블(20) 간의 거리뿐만 아니라 서브 테이블(30) 및 메인 테이블(20)이 유리기판에 의해 덮여지는 부분의 길이 또한 변화하게 된다.
예를 들어 도 7에서와 같이 작은 사이즈의 유리기판(3a)을 본 발명 연마테이블에 올려놓을 경우 서브 테이블(30)은 원래의 위치(x0)에서 x1에 해당하는 거리만큼 메인 테이블(20) 쪽으로 이동하게 되며, 이 때 서브 테이블(30)의 표면에 형성되어 있는 복수의 흡착부(32)는 그 중심으로부터 유리기판에 의해 덮여지는 부분(도 7의 32a)까지 작동하게 된다.
큰 사이즈의 유리기판(3b)을 본 발명 연마 테이블에 올려놓을 경우 서브 테 이블(30)은 원래의 위치(x0)에서 x2에 해당하는 거리만큼 메인 테이블(20) 쪽으로 이동하게 되며, 이 때 서브 테이블(30)의 표면에 형성되어 있는 복수의 흡착부(32)는 그 중심으로부터 유리기판에 의해 덮여지는 부분(도 7의 32b)까지 작동하게 된다.
상기와 같이 서브 테이블(30)의 표면에 형성된 복수의 흡착부(32)가 작동되도록 하기 위해, 종래의 진공밸브(34)를 병렬로 연결할 경우에는 유리기판에 의해 덮여지지 않는 부분에서는 진공밸브(34)의 말단이 대기압 상태가 되어 전체 진공밸브(34)가 작동하지 않게 되는 문제가 있다.
또한, 이와 같이 문제점을 해결하기 위해 각 흡착부(32)에 기류적으로 연결되어 있는 진공밸브(34)를 각각 별도의 라인으로 연결하고 다양한 크기의 유리기판마다 그 고정에 사용되는 진공밸브(34)만을 작동시킬 경우에는, 진공 밸브의 수만큼의 연결라인 및 구동부가 소요될 뿐만 아니라 연마테이블이 본체(100)를 중심으로 360 회전하는 연마장치의 특성상 복수의 연결라인이 꼬이게 되어 연마장치의 고장, 손상, 오작동의 위험이 상존하게 된다.
따라서, 전술한 바와 같이 복수로 작동할 경우 일부가 작동하지 않아도 진공소실 현상이 방지되는 특성을 갖는 진공밸브(34)를 병렬로 연결하고 단일 라인으로 구동시키게 되면, 유리기판과 접촉이 이루어지지 않은 흡착부(32)에 연결된 진공밸브(34)가 작동하지 않을 경우에도 나머지, 즉 유리기판과 접촉한 진공밸브(34)가 작동하게 되므로 다양한 크기의 유리기판을 간편하게 고정시킬 수 있게 된다.
도 7을 참조하여 설명하면, 작은 사이즈의 유리기판(3a)을 본 발명 연마테이블에 올려놓을 경우 유리기판에 의해 덮여지지 않는 흡착부(32a'부터 32b까지)에 연결된 진공밸브(34)는 작동하지 않고, 유리기판에 의해 덮여지는 흡착부(중심으로부터 32a까지)에 연결된 진공밸브(34)만 작동하게 되므로 복수의 진공밸브(34)를 병렬로 연결하더라도 진공소실 현상 없이 유리기판을 연마테이블에 고정시킬 수 있다.
큰 사이즈의 유리기판(3b)을 본 발명 연마 테이블에 올려놓을 경우에는 서브 테이블(30)에 형성된 모든 흡착부(32)가 유리기판에 의해 덮여지게 되므로 모든 흡착부(32)에 연결된 진공밸브(34)가 작동하게 되어 큰 사이즈의 유리기판을 효과적으로 고정시킬 수 있다.
따라서, 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 서브 테이블(30)에 형성된 복수의 흡착부(32)는 연마 대상이 되는 유리기판의 규격을 고려하여 모든 규격의 유리기판에 의해 덮여지는 부분을 중심구역으로, 유리기판의 칫수가 증가함에 따라 점차적으로 덮여지게 되는 부분을 주변구역으로 구획하여 주변구역에 해당되는 흡착부(32)는 유리기판의 칫수가 증가하는 방향으로 일렬로 배열하는 것이 좋다.
또한, 주변구역의 흡착부(32)의 배열된 간격은 유리기판의 표준 규격에 대응할 수 있도록 형성하는 것이 좋다. 물론, 유리기판의 표준 규격 모두에 대해 각각 대응하는 흡착부(32)를 형성할 필요는 없으며, 유리기판의 표준 규격 칫수의 증가분이 흡착부(32)의 폭보다 작을 경우에는 하나의 흡착부(32)가 2 이상의 표준 규격 유리기판에 대응되도록 설계하는 것이 바람직하다.
흡착부(32)를 유리기판의 표준 규격에 대응하여 형성할 경우, 특정 유리기판의 최단부에 위치하는 흡착부(도 7에서 3a의 경우 32a, 3b의 경우 32b)는 유리기판의 단면에 가깝게 형성되도록 하는 것이 좋다. 전술한 바와 같이 유리기판의 단부를 지지하지 않을 경우 처짐 등의 구조적 문제가 발생하며, 단부를 지지하더라도 진공흡착 등에 의해 연마테이블에 고정하지 않게 되면 단부의 연마공정에서 진동이 발생하여 연마품질이 저하될 수 있기 때문이다.
일반적으로 최단부에 형성되는 흡착부(32)와 유리기판의 단면과의 거리는 수㎜ 이하가 되도록 하는 것이 좋다. 이는 연마공정에서 진동에 의한 품질저하를 방지하기 위한 수치이므로 서브 테이블(30)로부터 돌출되는 유리기판의 길이에 공통적으로 적용될 수 있으며, 이에 의해 서브 테이블(30)의 이동거리(도 7의 x1, x2)가 결정될 수 있다.
위에서는 주변구역에 형성되는 흡착부(32)에 대해 설명하였으나, 중심구역의 흡착부(32) 또한, 복수로 형성하는 것이 바람직하다. 중심구역의 흡착부(32)는 연마 대상이 되는 모든 칫수의 유리기판에 의해 덮여지는 부분이므로 반드시 복수로 형성하여 다양한 칫수의 유리기판에 대응할 필요는 없지만, 중심구역에 단일의 흡착부(32)만을 형성하게 되면, 중심구역에 이물질 등이 개재될 경우 중심구역의 진공밸브(34)가 작동하지 않아 유리기판을 고정하는 결합력이 현저히 감소하게 된다. 이는 전술한 바와 같이 중심부분에서 연마품질의 저하를 초래하게 된다.
따라서, 중심구역에서 일부의 진공밸브(34)가 작동하지 않더라도 유리기판의 결합력을 유지함으로써 신뢰성을 향상시키기 위해서는 중심구역의 흡착부(32) 또한 복수로 형성하는 것이 바람직하다. 특히 본 발명 연마테이블의 경우 일부의 진공밸브(34)가 작동하지 않더라도 나머지 진공밸브(34)는 작동하게 되므로, 중심구역의 진공밸브(34) 전체가 작동하지 않더라도 주변구역의 진공밸브(34)가 작동하여 유리기판을 고정하게 되기 때문에 중심구역의 흡착부(32)를 복수로 형성하여 신뢰성을 향상시키는 것이 필요하다.
이상으로 서브 테이블(30)의 흡착부(32)에 대해 설명하였지만, 이는 메인 테이블(20)에도 동일하게 적용될 수 있음은 물론이다.
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 서브 테이블(30)은 유리기판의 표준 규격에 대응하여 복수의 흡착부(32)가 일렬로 배열되므로, 각 흡착부(32)에 기류적으로 연결되는 진공밸브(34) 또한 유리기판의 표준 규격에 대응하여 일렬로 배열되는 것이 바람직하다.
도 8과 같이 메인 테이블(20) 또는 서브 테이블(30)은 표면에 복수의 흡착부(32)가 형성되어 있는 테이블 패널(36)과 그 하부에 복수의 진공밸브(34)가 일렬로 배열되어 있는 지지부(미도시)로 구성될 수 있다. 또한, 상기 지지부를 별도의 부재로 형성하지 않고 베이스 플레이트로서 지지부의 역할을 하도록 할 수 있다.
한편, 상기와 같은 경우 진공밸브(34)의 수 및 간격은 유리기판의 표준 규격에 대응하여 형성되므로 진공밸브(34) 및 지지부(38)를 일체의 진공밸브 블록으로 형성할 수도 있다.
도 9은 본 발명의 바람직한 일 실시에에 따른 진공밸브 블록을 나타낸 사시 도이다. 도 9을 참조하면, 흡착부(32), 진공밸브 블록(35), 테이블 패널(36), 케이스(352), 진공밸브(354), 작동라인(356)이 도시되어 있다.
진공밸브 블록은 본 발명에 따른 메인 테이블 또는 서브 테이블에 결합되는 복수의 진공밸브를 블록화한 것으로, 이에 따라 메인 테이블 또는 서브 테이블은 테이블 패널과 진공밸브 블록을 결합하는 것에 의해 용이하게 제작될 수 있다.
즉, 메인 테이블(20) 또는 서브 테이블(30)은 진공밸브 블록(35)과 진공밸브 블록(35)의 상부에 결합되는 테이블 패널(36)을 포함하여 구성되며, 흡착부(32)는 테이블 패널(36)의 표면에 유리기판의 표준 규격에 대응하여 형성되고, 진공밸브 블록(35)에는 흡착부(32)에 대응하여 진공밸브(354)가 일 방향으로 배열된다.
이와 같이 복수의 진공밸브(354)가 미리 결정된 규격에 따라 배열된 진공밸브 블록(35)을 사용할 경우, 본 발명에 따른 서브 테이블(30)을 용이하게 제조할 수 있으며, 진공밸브(354)의 결합에 소요되는 라인, 부자재, 노력을 절감할 수 있어 생산성 향상을 꾀할 수 있다.
보다 구체적으로 본 발명 유리기판용 연마테이블에 사용되는 진공밸브 블록(35)은, 메인 테이블 또는 서브 테이블의 상면에 해당하는 테이블 패널(36)의 형상에 대응하는 형상으로 형성되어 상기 테이블 패널(36)의 하면에 결합되는 케이스(352)와, 케이스(352)에 수용되며 유리기판의 표준 규격에 대응하여 일 방향으로 배열되어 형성되는 복수의 진공밸브(354)와, 각각의 진공밸브(354)와 병렬로 결합되는 단일의 작동라인(356)을 포함하는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성되는 진공밸브 블록(35)을 표면에 복수의 흡착부(32)가 형성 되어 있는 테이블 패널(36)과 결합함으로써 본 발명에 따른 메인 테이블(20) 또는 서브 테이블(30, 31)을 제조할 수 있게 된다. 물론, 진공밸브 블록(35)과 테이블 패널(36)의 결합부위는 진공밸브 블록의 각각의 진공밸브(354)와 이에 대응하는 흡착부(32)가 기류적으로 연결될 수 있도록 설계되어야 함은 당업자에게 자명하다.
또한, 진공밸브 블록(35)에 수용되는 복수의 진공밸브(354)는 병렬로 연결할 경우 일부가 작동하지 않아도 진공소실 현상이 방지되는 특성을 갖는 것이 바람직함은 전술한 바와 같다.
본 발명에 따른 진공밸브 블록(35)은 유리기판용 연마테이블에 전용으로 사용되는 것이므로, 공지되어 있는 일반적인 진공밸브와는 달리, 각 진공밸브(354)의 직경은 테이블 패널(36)에 형성되는 복수의 흡착부(32)의 간격의 최소값보다 작도록 형성하는 것이 바람직하다. 이는 진공밸브 블록(35)의 각 진공밸브(354)가 복수의 흡착부(32)와 각각 대응하여 작동할 수 있도록 하기 위함이다. 진공밸브(354)의 직경이 흡착부(32)의 간격보다 크게 되면 복수의 흡착부(32) 각각에 진공밸브(354)를 일렬로 배열하여 대응시킬 수 없게 된다.
다만, 진공밸브(354)의 직경이 반드시 복수의 흡착부(32)의 간격의 최소값보다 작아야 하는 것은 아니며, 진공밸브(354)를 일렬이 아닌 엇배치하여 복수의 흡착부(32)와 일대일로 대응할 수 있도록 배열하는 것도 가능함은 물론이다.
도 10은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 연마테이블을 나타낸 평면도이다. 도 10을 참조하면, 베이스 플레이트(110), 메인 테이블(120), 서브 테이블(130, 131), 흡착부(132), 진공밸브(134)가 도시되어 있다.
도 10은 도 3에서 설명한 것과 동일한 구조의 연마테이블을 나타낸 것이며, 다만 도 3는 유리기판의 단변 연마를 위해 유리기판의 단변 표준 규격에 따라 메인 테이블 및 서브 테이블의 길이, 서브 테이블의 이동거리, 흡착부의 수 및 간격 등을 설계한 것인 반면, 도 10에 나타낸 실시예는 유리기판의 장변 연마를 위해 유리기판의 장변 표준 규격에 따라 설계한 것이다.
도 11은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 연마장치의 구성을 나타낸 평면도이다. 도 11을 참조하면, 유리기판(3), 단변 연마용 테이블(1), 장변 연마용 테이블(2), 베이스 플레이트(10, 110), 가이드 레일(12, 112), 메인 테이블(20, 120), 서브 테이블(30, 130), 흡착부(32, 132)가 도시되어 있다.
본 발명 유리기판용 연마장치는 단변 연마용 테이블(1)과 장변 연마용 테이블(2)을 모두 구비하여 이루어지며, 각 연마용 테이블은 전술한 바와 같이 본체와, 본체의 상부에 회전가능하게 결합되는 베이스 플레이트(10, 110)과, 베이스 플레이트(10, 110)의 중앙부에 결합되는 메인 테이블(20, 120)과, 베이스 플레이트(10, 110)의 상부에 결합되며, 메인 테이블(20, 120)의 하부를 관통하는 가이드 레일(12, 112)과, 가이드 레일(12, 112)을 따라 메인 테이블(20, 120)에 대향하여 이동 가능하도록 메인 테이블(20, 120)의 양측에 결합되는 한 쌍의 서브 테이블(30, 130)과, 메인 테이블(20, 120) 및 서브 테이블(30, 130)의 표면에 형성되는 복수의 흡착부(32, 132)를 포함하여 형성된다.
다만, 본 발명 유리기판용 연마장치가 반드시 단변 연마용 테이블과 장변 연마용 테이블을 모두 구비해야 하는 것은 아니며, 유리기판의 종류, 형상, 크기 등 의 조건에 따라 하나의 연마용 테이블을 사용하여 유리기판의 장변 및 단변을 모두 연마할 수도 있음은 물론이다.
또한, 전술한 바와 같이 상기 연마장치에 형성된 복수의 흡착부는 각각 그에 대응하는 진공밸브와 기류적으로 연결되며, 복수의 진공밸브는 병렬로 연결할 경우 일부가 작동하지 않아도 진공소실 현상이 방지되는 특성을 갖는 것이 좋다.
유리기판의 단변 및 장변을 연마하는 공정은 일반적으로 실시되는 것과 동일하므로, 본 발명에서는 그에 대한 설명은 생략한다.
이상으로 다양한 크기의 유리기판에 대응하여 일일이 교체하지 않고 범용적으로 사용할 수 있는 유리기판용 연마테이블에 대해 설명하였다. 본 발명 연마테이블의 크기는 모든 유리기판의 규격에 대응할 수 있도록 형성할 수도 있으나, 제조상의 효율성을 고려하면, 유리기판의 표준규격을 소형, 중형, 대형 등과 같이 2 이상의 그룹으로 구분하고, 각 그룹의 범위 내에서 범용적으로 사용할 수 있는 연마테이블을 설계하는 것도 가능하다.
또한, 다양한 크기의 메인 테이블 또는 서브 테이블을 구비하여 베이스 플레이트에 탈착 가능하도록 결합함으로써 다양한 크기의 유리기판에 대응하여 연마테이블의 회전시 간섭현상이 발생하지 않도록 할 수 있다.
본 발명의 기술 사상이 상술한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상술한 실시예는 그 설명을 위한 것이지 그 제한을 위한 것이 아니며, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 연마테이블을 메인 테이블과 메인 테이블에 대해 이동가능하게 결합되는 서브 테이블로 구성함으로써, 연마 대상이 되는 유리기판의 칫수가 변경되더라도 연마테이블을 교체하지 않고 범용적으로 사용할 수 있게 된다.
또한, 각 테이블의 표면에 병렬로 연결할 경우 일부가 작동하지 않아도 진공소실 현상이 방지되는 특성을 갖는 진공밸브를 사용하여 복수의 흡착부를 형성함으로써, 일부에서 접촉이 이루어지지 않더라도 진공밸브가 작동하게 되므로 다양한 규격의 유리기판을 용이하게 고정하여 연마할 수 있게 된다.

Claims (10)

  1. 베이스 플레이트과;
    상기 베이스 플레이트의 상부에 결합되는 메인 테이블과;
    상기 메인 테이블의 표면에 형성되는 복수의 제1 흡착부를 포함하되,
    상기 복수의 제1 흡착부는 각각 그에 대응하는 진공밸브와 기류적으로 연결되며, 상기 진공밸브는 복수로 작동할 경우 일부가 작동하지 않아도 진공소실 현상이 방지되는 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 유리기판용 연마테이블.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 메인 테이블에 대향하여 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트에 결합되는 하나 이상의 서브 테이블과;
    상기 서브 테이블의 표면에 형성되는 복수의 제2 흡착부를 더 포함하되,
    상기 복수의 제2 흡착부는 각각 그에 대응하는 진공밸브와 기류적으로 연결되는 유리기판용 연마테이블.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 메인 테이블은 상기 베이스 플레이트의 중앙부에 결합되고, 상기 서브 테이블은 상기 메인 테이블의 양측에 쌍으로 결합되는 유리기판용 연마테이블.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 베이스 플레이트의 상부에는 상기 메인 테이블의 양측으로 이동수단이 결합되며, 상기 서브 테이블은 상기 이동수단에 결합되는 유리기판용 연마테이블.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 서브 테이블을 상기 가이드 레일을 따라 이동시키는 구동부 및 상기 서브 테이블의 이동 거리를 조절하는 제어부를 더 포함하는 유리기판용 연마테이블.
  6. 삭제
  7. 제2항에 있어서,
    상기 제2 흡착부는 중심구역과 주변구역으로 구획되어 일 방향으로 배열되어 있으며, 상기 주변구역의 제2 흡착부의 배열된 간격은 유리기판의 표준 규격에 대 응하여 형성된 유리기판용 연마테이블.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 서브 테이블은 진공밸브 블록과 상기 진공밸브 블록의 상부에 결합되는 테이블 패널을 포함하며, 상기 제2 흡착부는 상기 테이블 패널의 표면에 형성되고, 상기 진공밸브 블록에는 상기 제2 흡착부에 대응하여 진공밸브가 일 방향으로 배열되는 연마용 테이블.
  9. 베이스 플레이트의 상부에 복수의 서브 테이블이 결합되어 형성되는 유리기판용 연마테이블에 사용되는 진공밸브 블록에 있어서,
    상기 서브 테이블의 형상에 대응하는 형상으로 형성되어 상기 서브 테이블의 하면에 결합되는 케이스와;
    상기 케이스에 수용되며, 상기 유리기판의 표준 규격에 대응하여 일 방향으로 배열되는 복수의 진공밸브와;
    상기 복수의 진공밸브와 결합되는 작동라인을 포함하되,
    상기 복수의 진공밸브는 상기 서브 테이블에 형성되는 복수의 흡착부와 각각 기류적으로 연결되며, 상기 복수의 진공밸브는 일부가 작동하지 않아도 진공소실 현상이 방지되는 특성을 갖는 유리기판 연마테이블용 진공밸브 블록.
  10. 삭제
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