KR101264406B1 - 기판 연마장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 연마장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 장변용 연마모듈과 단변용 연마모듈을 별개로 구비할 필요없이 하나의 모듈로 장변 및 단변을 순차적으로 연마할 수 있고, 기판의 상하 반전없이 각 모서리를 연마할 수 있는 기판 연마장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명에 의한 기판 연마장치는 기판을 하부에서 흡착하는 제1테이블; 상기 기판의 제1상부모서리를 연마하는 제1상부연마수단; 상기 기판을 상부에서 흡착하는 제1피커; 상기 기판의 제1하부모서리를 연마하는 제1하부연마수단; 상기 기판을 하부에서 흡착하는 제2테이블; 상기 기판의 제2상부모서리를 연마하는 제2상부연마수단; 상기 기판을 상부에서 흡착하는 제2피커; 상기 기판의 제2하부모서리를 연마하는 제2하부연마수단; 및 상기 기판을 수평방향으로 90°회전시키는 회전수단;을 포함한다.

Description

기판 연마장치 및 방법{WORK EDGE GRINDING APPARATUS AND METHOD USING THE SAME}
본 발명은 기판 연마장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 장변용 연마모듈과 단변용 연마모듈을 별개로 구비할 필요없이 하나의 모듈로 장변과 단변을 순차적으로 연마할 수 있고, 기판의 상하 반전이나 회전없이 각 모서리를 연마할 수 있는 기판 연마장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이 패널이나, TFT기판, 칼라필터 기판, 웨이퍼 등(이하, '기판'이라고 한다)은 원판에서 필요한 크기로 절단하여 사용한다.
도 1은 모니터나 TV 제조를 위한 대형 기판(S1)을 나타낸 것으로서, 기판(S1)의 모서리가 날카롭기 때문에 연마휠 등 연마수단을 이용하여 4개의 장변과, 4개의 단변 각각의 상하 모서리(e1~e8)를 연마하는 공정을 거치게 된다.
도 2를 참조하면, 종래의 연마장치(100)는 기판(S1)을 흡착하는 사각형상의 테이블(110)과 연마수단을 포함하는데, 장변 또는 단변의 상하 4개의 모서리를 동시에 연마하기 위하여 기판(S1)을 기준으로 좌우 상하에 각각 4개의 연마수단(121~124)이 구비된다.
이와 같이 4개의 연마수단(121~124)을 이용하여 장변(또는 단변)의 4개 모서리(도 1의 e1~e4 참조)를 동시에 연마한 후, 다시 단변(또는 장변)의 4개 모서리(도 1의 e5~e8 참조)를 동시에 연마하여 연마공정을 마무리한다.
그러나 휴대폰과 같은 모바일용 기판은 소형크기이기 때문에 한번에 4모서리를 연마할 수 없다. 그 이유는 연마휠 크기, 연마하는 동안 패널을 흡착하는 기구물 등이 기판에 비해 상대적으로 큰 공간을 차지하기 때문이다.
따라서 소형기판(S2)의 연마공정은 각 모서리를 동시에 연마하지 못하고 순차적으로 연마할 수밖에 없다.
도 3을 참조하면, 종래의 소형기판 연마장치(200)는 복수의 소형기판(S2)이 안착되는 장변연마용 테이블(210)과 단변연마용 테이블(220)이 각각 별도로 구비되며, 일정공간을 사이에 두고 일렬로 배치된 복수의 연마수단(241~248)을 포함한다. 상기 복수의 연마수단(241~248)은 모두 상기 테이블(210,220)의 상부에 위치하며, 각 연마수단(241~248)의 회전축은 동일방향 및 동일각도로 경사지게 설치된다.
이 상태에서 테이블(210,220)과 연마수단(241~248)을 상대이동시켜 복수의 소형기판(S2)을 연마하는데, 구체적으로는 장변연마용 테이블(210)에 복수의 소형기판(S2)을 흡착한 상태에서 수평이동하면서 제1연마수단(241)을 이용하여 제1모서리(e1)를 연마하고, 그 다음에 상기 소형기판(S2)을 수평방향으로 180°회전시킨 후 제2연마수단(242)을 이용하여 제3모서리(e3)를 연마하고, 그 다음에 상기 소형기판(S2)을 상하 반전한 후 제3연마수단(243)을 이용하여 제2모서리(e2)를 연마하고, 마지막으로 상기 소형기판(S2)을 수평방향으로 180°회전시킨 후 제4연마수단(244)을 이용하여 제4모서리(e4)를 연마하여 장변연마를 완료한다.
다음으로, 4개의 장변이 모두 연마된 기판을 회전수단에 의해 90°회전시키고, 단변연마용 테이블(220)에 흡착시킨다.
이 상태에서 단변연마용 테이블(220)을 수평이동하면서, 복수의 소형기판(S2)을 연마하는데, 구체적으로는 단변연마용 테이블(220)에 복수의 소형기판(S2)을 흡착한 상태에서 수평이동하면서 제5연마수단(245)을 이용하여 제6모서리(e6)를 연마하고, 그 다음에 상기 소형기판(S2)을 수평방향으로 180°회전시킨 후 제6연마수단(246)을 이용하여 제8모서리(e8)를 연마하고, 그 다음에 상기 소형기판(S2)을 상하 반전한 후 제7연마수단(247)을 이용하여 제5모서리(e5)를 연마하고, 마지막으로 상기 소형기판(S2)을 수평방향으로 180°회전시킨 후 제8연마수단(248)을 이용하여 제7모서리(e7)를 연마하여 단변연마를 완료한다.
즉, 종래에는 소형기판을 연마하기 위하여 4번의 회전과, 2번의 상하반전이 요구되어 설비 및 공정이 복잡하고, 공정택타입이 매우 길다는 문제점이 있다.
또한 상술한 바와 같이, 종래의 소형기판 연마장치는 장변연마용 테이블과 단변연마용 테이블이 별도로 각각 구비되어야 한다. 도 4는 장변연마용 테이블(210)을 나타낸 것으로서, 3개의 흡착부(211)가 하나의 소형기판(S2)을 흡착하는 구조이다. 또한 도 5는 단변연마용 테이블(220)을 나타낸 것으로서, 2개의 흡착부(221)가 하나의 소형기판(S2)을 흡착하는 구조이다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 장변용 연마모듈과 단변용 연마모듈을 별개로 구비할 필요없이 하나의 모듈로 장변 및 단변을 순차적으로 연마할 수 있고, 기판의 상하 반전없이 각 모서리를 연마할 수 있는 기판 연마장치 및 방법을 제공함에 있다.
위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 기판 연마장치는 기판을 하부에서 흡착하는 제1테이블; 상기 기판의 제1상부모서리를 연마하는 제1상부연마수단; 상기 기판을 상부에서 흡착하는 제1피커; 상기 기판의 제1하부모서리를 연마하는 제1하부연마수단; 상기 기판을 하부에서 흡착하는 제2테이블; 상기 기판의 제2상부모서리를 연마하는 제2상부연마수단; 상기 기판을 상부에서 흡착하는 제2피커; 상기 기판의 제2하부모서리를 연마하는 제2하부연마수단; 및 상기 기판을 수평방향으로 90°회전시키는 회전수단;을 포함한다.
또한 상기 제1테이블 및 제2테이블은 상기 기판의 단변과 장변 연마시 공통적으로 흡착하는 공통 흡착부가 형성되는 것이 바람직하다.
또한 상기 제1테이블 및 제2테이블은 상기 공통 흡착부의 외측에 형성되어 단변 연마시에만 상기 기판을 흡착하도록 제어되는 단변연마용 흡착부가 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 제1테이블 및 제2테이블은 상기 단변연마용 흡착부의 외측에 형성되어 장변 연마시에만 상기 기판을 흡착하도록 제어되는 장변연마용 흡착부가 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 제1피거 및 제2피커는 상기 기판의 단변과 장변 연마시 공통적으로 흡착하는 공통 흡착부가 형성되는 것이 바람직하다.
또한 상기 제1피커 및 제2피커는 상기 공통 흡착부의 외측에 형성되어 단변 연마시에만 상기 기판을 흡착하도록 제어되는 단변연마용 흡착부가 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 제1피커 및 제2피커는 상기 단변연마용 흡착부의 외측에 형성되어 장변 연마시에만 상기 기판을 흡착하도록 제어되는 장변연마용 흡착부가 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 제1테이블과 제1피커는 상기 기판의 연마시, 각각 동일한 방향으로 연속적으로 수평이동하는 것이 바람직하다.
또한 상기 제2테이블과 제2피커는 상기 기판의 연마시, 상기 제1테이블과 제1피커의 이동방향과 반대방향으로 연속적으로 수평이동하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 기판 연마방법은 1) 기판을 하부에서 흡착한 상태에서 제1상부모서리(e1 또는 e5)를 연마하는 단계; 2) 상기 제1상부모서리가 연마된 기판을 상부에서 흡착하고, 상기 기판의 제1상부모서리의 하부에 위치하는 제1하부모서리(e2 또는 e6)를 연마하는 단계; 3) 상기 제1하부모서리가 연마된 기판을 하부에서 흡착하고, 상기 제1상부모서리와 마주보는 제2상부모서리(e3 또는 e7)를 연마하는 단계; 및 4) 상기 제2상부모서리가 연마된 기판을 상부에서 흡착하고, 상기 기판의 제2상부모서리의 하부에 위치하는 제2하부모서리(e4 또는 e8)를 연마하는 단계; 5) 상기 기판을 90°회전하는 단계; 및 6) 상기 1)단계 내지 4)단계를 순차적으로 반복하여 상기 제1상부모서리와 만나는 제3상부모서리(e5 또는 e1), 상기 제3상부모서리의 하부에 위치하는 제3하부모서리(e6 또는 e2), 상기 제3상부모서리와 마주보는 제4상부모서리(e7 또는 e3) 및 상기 제4상부모서리의 하부에 위치하는 제4하부모서리(e8 또는 e4)를 연마하는 단계;를 포함한다.
또한 상기 1)단계 및 2)단계는 각각 상기 기판을 동일한 방향으로 연속적으로 수평이동시키면서 수행되고, 상기 3)단계 및 4)단계는 상기 1)단계 및 2)단계와 반대방향으로 연속적으로 수평이동시키면서 수행되는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 다른 기판 연마방법은 1) 기판을 상부에서 흡착한 상태에서 제1하부모서리(e2 또는 e6)를 연마하는 단계; 2) 상기 제1하부모서리가 연마된 기판을 하부에서 흡착하고, 상기 기판의 제1하부모서리의 상부에 위치하는 제1상부모서리(e1 또는 e5)를 연마하는 단계; 3) 상기 제1상부모서리가 연마된 기판을 상부에서 흡착하고, 상기 제1하부모서리와 마주보는 제2하부모서리(e4 또는 e8)를 연마하는 단계; 및 4) 상기 제2하부모서리가 연마된 기판을 하부에서 흡착하고, 상기 기판의 제2하부모서리의 상부에 위치하는 제2상부모서리(e3 또는 e7)를 연마하는 단계; 5) 상기 기판을 90°회전하는 단계; 및 6) 상기 1)단계 내지 4)단계를 순차적으로 반복하여 상기 제1하부모서리와 만나는 제3하부모서리(e6 또는 e2), 상기 제3하부모서리의 상부에 위치하는 제3상부모서리(e5 또는 e1), 상기 제3하부모서리와 마주보는 제4하부모서리(e8 또는 e4) 및 상기 제4하부모서리의 상부에 위치하는 제4상부모서리(e7 또는 e3)를 연마하는 단계;를 포함한다.
또한 상기 1)단계 및 2)단계는 각각 상기 기판을 동일한 방향으로 연속적으로 수평이동시키면서 수행되고, 상기 3)단계 및 4)단계는 상기 1)단계 및 2)단계와 반대방향으로 연속적으로 수평이동시키면서 수행되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 장변용 연마모듈과 단변용 연마모듈을 별개로 구비할 필요없이 하나의 모듈로 장변 및 단변을 순차적으로 연마할 수 있는 효과가 있다.
따라서 4개의 연마수단으로 8개의 모서리를 모두 연마할 수 있기 때문에 기구 구성이 매우 단순하다.
또한 기판의 상하반전이나 회전없이 각 모서리를 연마할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 대형기판을 나타낸 것이다.
도 2는 종래 대형기판을 연마하는 장치를 나타낸 것이다.
도 3 내지 도 5는 종래 소형기판을 연마하는 장치를 나타낸 것이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명에 의한 소형기판 연마장치를 나타낸 것이다.
도 9는 도 6에 도시된 장치를 이용하여 장변을 연마하는 공정을 나타낸 것이다.
도 10은 도 6에 도시된 장치를 이용하여 단변을 연마하는 공정을 나타낸 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예의 구성 및 작용을 설명한다.
도 6은 본 발명에 의한 실시예의 평면도를 나타낸 것으로서, 이를 참조하면, 본 발명에 의한 기판 연마장치(300)는 기판을 하부에서 흡착하는 제1테이블(310); 상기 기판의 제1상부모서리를 연마하는 제1상부연마수단(351); 상기 기판을 상부에서 흡착하는 제1피커(320); 상기 기판의 제1하부모서리를 연마하는 제1하부연마수단(352); 상기 기판을 하부에서 흡착하는 제2테이블(330); 상기 기판의 제2상부모서리를 연마하는 제2상부연마수단(353); 상기 기판을 상부에서 흡착하는 제2피커(340); 상기 기판의 제2하부모서리를 연마하는 제2하부연마수단(354); 및 상기 기판을 수평방향으로 90°회전시키는 회전수단(360);을 포함한다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 실시예는 장변연마모듈과 단변연마모듈이 별도로 구비되지 않고, 4개의 연마수단(351~354)을 구비한 하나의 모듈로 장변과 단변 등 8개의 모서리를 모두 연마한다.
본 실시예에서 상기 제1테이블(310)은 동시에 6개의 소형기판을 흡착하여 수평이동하도록 구성되어 있다. 또한 제1테이블(310)은 장변연마시와 단변연마시 기판의 중첩되는 영역에 공통 흡착부(311)가 형성된다. 즉, 상기 공통 흡착부(311)는 단변과 장변연마시 모구 공통적으로 기판을 흡착하는 것이다. 또한 상기 공통 흡착부(311)의 외측에서 둘러싸는 단변연마용 흡착부(312)가 형성된다. 상기 단변연마용 흡착부(312)는 기판의 단변을 연마할 때에만 기판을 흡착하도록 제어된다. 또한 상기 단변연마용 흡착부(312)의 외측으로는 양측에 장변연마용 흡착부(313)가 형성되는데, 이는 기판의 장변연마시에만 기판을 흡착하도록 제어되는 구성요소이다.
또한 상기 제2테이블(330)은 제1테이블과 설치된 위치만 다를 뿐, 동일한 구성을 하고 있다.
본 실시예에서 제1피커(320)와 제2피커(340)는 상부에서 기판을 흡착하는 구성으로서, 흡착면에는 상기 제1테이블(310)과 마찬가지로 장변연마시와 단변연마시 기판의 중첩되는 영역에 공통 흡착부(321)가 형성되고, 상기 공통 흡착부(321)의 외측에서 둘러싸는 단변연마용 흡착부(322)가 형성되며, 단변연마용 흡착부(322)의 외측으로는 양측에 장변연마용 흡착부(323)가 형성된다.
도 7은 상기 제1테이블(310)이 장변연마시 기판(S2)을 흡착한 상태를 나타낸 것이다. 도시된 바와 같이, 제1테이블(310)의 외측으로 연마할 장변이 약간 돌출되도록 안착하고, 이 상태에서 공통 흡착부(311)와, 장변연마용 흡착부(313)에 진공을 인가하여 기판을 흡착한다. 상기 제2테이블도 제1테이블과 동일하게 작동하는 것은 물론, 제1피커와 제2피커도 기판을 상부에서 흡착한다는 차이점이 있을 뿐, 장변연마시 도 7과 같이 기판을 흡착한다.
도 8은 상기 제1피커(320)가 단변연마시 기판(S2)을 흡착한 상태의 저면도를 나타낸 것이다. 도시된 바와 같이, 제1피커(320)의 외측으로 연마할 단변이 약간 돌출되도록 안착하고, 이 상태에서 공통 흡착부(321)와, 단변연마용 흡착부(322)에 진공을 인가하여 기판을 흡착한다. 상기 제2피커도 제1피커와 동일하게 작동하는 것은 물론, 제1테이블과 제2테이블도 기판을 하부에서 흡착한다는 차이점이 있을 뿐, 단변연마시 도 8과 같이 기판을 흡착한다.
도 9는 본 실시예를 이용하여 소형기판(S2)의 장변을 연마하는 작동상태 및 연마방법을 도시한 것이다. 도시된 바와 같이, 제1테이블(310)의 상부에 제1장변(제1상부모서리,e1)을 연마할 수 있도록 돌출시키고, 공통 흡착부와 장변연마용 흡착부를 작동시켜 기판을 흡착한다. 이 상태에서 제1테이블(310)을 도면상 우측으로 수평이동하면서 제1상부연마수단(351)을 이용하여 제1장변(e1)을 연마한다.
다음으로, 제2장변(제1하부모서리,e2)을 연마할 수 있도록 제1피커(320)가 기판의 상부에서 제2장변(e2)이 돌출되도록 흡착한다. 이 때 공통 흡착부와 장변연마용 흡착부를 작동시켜 기판을 흡착한다. 이 상태에서 제1피커(320)를 도면상 우측으로 수평이동하면서 제1하부연마수단(352)을 이용하여 제2장변(e2)을 연마한다.
다음으로, 제2테이블(330)의 상부에 제3장변(제2상부모서리,e3)을 연마할 수 있도록 돌출시키고, 공통 흡착부와 장변연마용 흡착부를 작동시켜 기판을 흡착한다. 이 상태에서 제2테이블(330)을 도면상 좌측으로 수평이동하면서 제2상부연마수단(353)을 이용하여 제3장변(e3)을 연마한다. 한편, 제1피커(320)에 흡착된 기판들을 제2테이블(330)로 전달하는 것은 제1피커(320)가 직접 수행할 수도 있고, 또는 다른 전달수단을 이용할 수 있다.
다음으로, 제4장변(제하부모서리,e4)을 연마할 수 있도록 제2피커(340)가 기판의 상부에서 제4장변(e4)이 돌출되도록 흡착한다. 이 때 공통 흡착부와 장변연마용 흡착부를 작동시켜 기판을 흡착한다. 이 상태에서 제2피커(340)를 도면상 좌측으로 수평이동하면서 제2하부연마수단(354)을 이용하여 제4장변(e4)을 연마한다.
이와 같은 동작으로 제1장변(e1)부터 제4장변(e4)까지 4개의 장변이 연마된다. 이와 같이 모든 장변들이 연마된 소형기판(s2)들은 회전수단에 의해 90°회전된다. 본 실시예에서 회전수단은 턴테이블(360)이다. 즉, 제2피커(340)는 제4장변(e4)이 연마된 기판을 턴테이블(360)로 전달하고, 턴테이블(360)은 기판들을 흡착한 상태에서 90°회전하여 단변 연마를 위한 준비를 하고, 다시 위와 같은 동작을 반복하여 제1단변(e5)부터 제4단변(e8)까지 연마한다.
도 10은 본 실시예를 이용하여 연마방법을 도시한 것이다. 도시된 바와 같이, 제1테이블(310)의 상부에 제1단변(제1상부모서리,e5)을 연마할 수 있도록 돌출시키고, 공통 흡착부와 단변연마용 흡착부를 작동시켜 기판을 흡착한다. 이 상태에서 제1테이블(310)을 도면상 우측으로 수평이동하면서 제1상부연마수단(351)을 이용하여 제1단변(e5)을 연마한다.
다음으로, 제2단변(제1하부모서리,e6)을 연마할 수 있도록 제1피커(320)가 기판의 상부에서 제2단변(e6)이 돌출되도록 흡착한다. 이 때 공통 흡착부와 단변연마용 흡착부를 작동시켜 기판을 흡착한다. 이 상태에서 제1피커(320)를 도면상 우측으로 수평이동하면서 제1하부연마수단(352)을 이용하여 제2단변(e6)을 연마한다.
다음으로, 제2테이블(330)의 상부에 제3단변(제2상부모서리,e7)을 연마할 수 있도록 돌출시키고, 공통 흡착부와 단변연마용 흡착부를 작동시켜 기판을 흡착한다. 이 상태에서 제2테이블(330)을 도면상 좌측으로 수평이동하면서 제2상부연마수단(353)을 이용하여 제3단변(e7)을 연마한다.
다음으로, 제4단변(제4하부모서리,e8)을 연마할 수 있도록 제2피커(340)가 기판의 상부에서 제4단변(e8)이 돌출되도록 흡착한다. 이 때 공통 흡착부와 장변연마용 흡착부를 작동시켜 기판을 흡착한다. 이 상태에서 제2피커(340)를 도면상 좌측으로 수평이동하면서 제2하부연마수단(354)을 이용하여 제4단변(e8)을 연마한다.
이와 같은 동작으로 제1단변(e5)부터 제4단변(e8)까지 4개의 단변이 연마된다.
또한 상술한 실시예와 달리, 본 발명은 다양한 응용 및 변형이 가능하다. 즉, 먼저 단변들을 연마한 후, 장변들을 연마할 수도 있다. 또한 제1하부모서리->제1상부모서리->제2하부모서리->제2상부모서리 순으로 연마할 수도 있는 것이다. 이 경우, 기판의 전달순서는 제1피커->제1테이블->제2피커->제2테이블로 전달된다.
300: 실시예 310: 제1테이블
311: 공통흡착부 312: 단변연마용 흡착부
313: 장변연마용 흡착부 320: 제1피커
321: 공통흡착부 322: 단변연마용 흡착부
323: 장변연마용 흡착부 330: 제2테이블
340: 제2피커 351: 제1상부연마수단
352: 제1하부연마수단 353: 제2상부연마수단
354: 제2하부연마수단 360: 턴테이블

Claims (13)

  1. 기판을 하부에서 흡착하는 제1테이블;
    상기 기판의 제1상부모서리를 연마하는 제1상부연마수단;
    상기 기판을 상부에서 흡착하는 제1피커;
    상기 기판의 제1하부모서리를 연마하는 제1하부연마수단;
    상기 기판을 하부에서 흡착하는 제2테이블;
    상기 기판의 제2상부모서리를 연마하는 제2상부연마수단;
    상기 기판을 상부에서 흡착하는 제2피커;
    상기 기판의 제2하부모서리를 연마하는 제2하부연마수단; 및
    상기 기판을 수평방향으로 90°회전시키는 회전수단;을 포함하며,
    상기 제1테이블과 제1피커는 상기 기판의 연마시, 각각 동일한 방향으로 연속적으로 수평이동하고,
    상기 제2테이블과 제2피커는 상기 기판의 연마시, 상기 제1테이블과 제1피커의 이동방향과 반대방향으로 연속적으로 수평이동하는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1테이블 및 제2테이블은 상기 기판의 단변과 장변 연마시 공통적으로 흡착하는 공통 흡착부가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1테이블 및 제2테이블은 상기 공통 흡착부의 외측에 형성되어 단변 연마시에만 상기 기판을 흡착하도록 제어되는 단변연마용 흡착부가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1테이블 및 제2테이블은 상기 단변연마용 흡착부의 외측에 형성되어 장변 연마시에만 상기 기판을 흡착하도록 제어되는 장변연마용 흡착부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1피거 및 제2피커는 상기 기판의 단변과 장변 연마시 공통적으로 흡착하는 공통 흡착부가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1피커 및 제2피커는 상기 공통 흡착부의 외측에 형성되어 단변 연마시에만 상기 기판을 흡착하도록 제어되는 단변연마용 흡착부가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1피커 및 제2피커는 상기 단변연마용 흡착부의 외측에 형성되어 장변 연마시에만 상기 기판을 흡착하도록 제어되는 장변연마용 흡착부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 1) 기판을 하부에서 흡착한 상태에서 제1상부모서리를 연마하는 단계;
    2) 상기 제1상부모서리가 연마된 기판을 상부에서 흡착하고, 상기 기판의 제1상부모서리의 하부에 위치하는 제1하부모서리를 연마하는 단계;
    3) 상기 제1하부모서리가 연마된 기판을 하부에서 흡착하고, 상기 제1상부모서리와 마주보는 제2상부모서리를 연마하는 단계; 및
    4) 상기 제2상부모서리가 연마된 기판을 상부에서 흡착하고, 상기 기판의 제2상부모서리의 하부에 위치하는 제2하부모서리를 연마하는 단계;
    5) 상기 기판을 90°회전하는 단계; 및
    6) 상기 1)단계 내지 4)단계를 순차적으로 반복하여 상기 제1상부모서리와 만나는 제3상부모서리, 상기 제3상부모서리의 하부에 위치하는 제3하부모서리, 상기 제3상부모서리와 마주보는 제4상부모서리 및 상기 제4상부모서리의 하부에 위치하는 제4하부모서리를 연마하는 단계;를 포함하며,
    상기 1)단계 및 2)단계는 각각 상기 기판을 동일한 방향으로 연속적으로 수평이동시키면서 수행되고, 상기 3)단계 및 4)단계는 상기 1)단계 및 2)단계와 반대방향으로 연속적으로 수평이동시키면서 수행되는 것을 특징으로 하는 기판 연마방법.
  11. 삭제
  12. 1) 기판을 상부에서 흡착한 상태에서 제1하부모서리를 연마하는 단계;
    2) 상기 제1하부모서리가 연마된 기판을 하부에서 흡착하고, 상기 기판의 제1하부모서리의 상부에 위치하는 제1상부모서리를 연마하는 단계;
    3) 상기 제1상부모서리가 연마된 기판을 상부에서 흡착하고, 상기 제1하부모서리와 마주보는 제2하부모서리를 연마하는 단계; 및
    4) 상기 제2하부모서리가 연마된 기판을 하부에서 흡착하고, 상기 기판의 제2하부모서리의 상부에 위치하는 제2상부모서리를 연마하는 단계;
    5) 상기 기판을 90°회전하는 단계; 및
    6) 상기 1)단계 내지 4)단계를 순차적으로 반복하여 상기 제1하부모서리와 만나는 제3하부모서리, 상기 제3하부모서리의 상부에 위치하는 제3상부모서리, 상기 제3하부모서리와 마주보는 제4하부모서리 및 상기 제4하부모서리의 상부에 위치하는 제4상부모서리를 연마하는 단계;를 포함하며,
    상기 1)단계 및 2)단계는 각각 상기 기판을 동일한 방향으로 연속적으로 수평이동시키면서 수행되고, 상기 3)단계 및 4)단계는 상기 1)단계 및 2)단계와 반대방향으로 연속적으로 수평이동시키면서 수행되는 것을 특징으로 하는 기판 연마방법.
  13. 삭제
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