KR101260953B1 - 기판 연마장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 연마장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 연마수단의 양측에 각각 기판을 안착시켜 동시에 양측 기판의 모서리를 연마할 수 있는 기판 연마장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명에 의한 기판 연마장치는 상면 양측에 각각 기판을 안착하도록 제1안착부와 제2안착부가 형성되는 테이블; 및 상기 테이블의 상부에 배치되어, 상기 제1안착부와 제2안착부에 각각 안착된 기판들의 모서리를 동시에 연마하는 연마수단;을 포함한다.

Description

기판 연마장치 및 방법{WORK EDGE GRINDING APPARATUS AND METHOD USING THE SAME}
본 발명은 기판 연마장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 연마수단의 양측에 각각 기판을 안착시켜 동시에 양측 기판의 모서리를 연마할 수 있는 기판 연마장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이 패널이나, TFT기판, 칼라필터 기판, 웨이퍼 등(이하, '기판'이라고 한다)은 원판에서 필요한 크기로 절단하여 사용한다.
도 1은 모니터나 TV 제조를 위한 대형 기판(S1)을 나타낸 것으로서, 기판(S1)의 모서리가 날카롭기 때문에 연마휠 등 연마수단을 이용하여 2개의 장변과, 2개의 단변 각각의 상하 모서리(e1~e8)를 연마하는 공정을 거치게 된다.
도 2를 참조하면, 종래의 연마장치(100)는 기판(S1)을 흡착하는 사각형상의 테이블(110)과 연마수단을 포함하는데, 장변 또는 단변의 상하 4개의 모서리를 동시에 연마하기 위하여 기판(S1)을 기준으로 좌우 상하에 각각 4개의 연마수단(121~124)이 구비된다.
이와 같이 4개의 연마수단(121~124)을 이용하여 장변(또는 단변)의 4개 모서리(도 1의 e1~e4 참조)를 동시에 연마한 후, 다시 단변(또는 장변)의 4개 모서리(도 1의 e5~e8 참조)를 동시에 연마하여 연마공정을 마무리한다.
도 3은 모바일용 기판 등 상대적으로 면적이 작은 소형기판(S2)의 연마공정을 나타낸 것이다. 도시된 바와 같이, 소형기판(S2)은 위에서 설명한 대형기판(S1)과 같이 복수의 모서리를 동시에 연마할 수 없다. 왜냐하면, 기판(S2)의 면적대비 연마수단(221,222)의 사이즈가 커서 상호 간섭이 일어나기 때문에 2개 이상 복수의 연마수단(221,222)을 동시에 동작시킬 수 없기 때문이다.
따라서 소형기판(S2)의 연마공정은 각 모서리를 동시에 연마하지 못하고 순차적으로 연마할 수밖에 없다.
도 4를 참조하면, 종래의 소형기판 연마장치(300)는 복수의 소형기판(S2)이 안착되는 테이블(310)과, 일정공간을 사이에 두고 일렬로 배치된 복수의 연마수단(321~324)을 포함한다. 이 상태에서 테이블(310)과 연마수단(321~324)을 상대이동시켜 복수의 소형기판(S2)의 제1모서리를 연마하고, 그 다음에 제2모서리를 연마하는 방식으로 8개의 모서리를 순차적으로 연마할 수밖에 없는 것이다.
따라서 종래와 같이 소형기판을 연마하는 경우, 공정택타입이 매우 길다는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 연마수단의 양측에 각각 기판을 안착시켜 동시에 양측 기판의 모서리를 연마할 수 있는 기판 연마장치 및 방법을 제공함에 있다.
위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 기판 연마장치는 상면 양측에 각각 기판을 안착하도록 제1안착부와 제2안착부가 형성되는 테이블; 및 상기 테이블의 상부에 배치되어, 상기 제1안착부와 제2안착부에 각각 안착된 기판들의 모서리를 동시에 연마하는 연마수단;을 포함한다.
또한 상기 기판이 경사지게 안착되도록 상기 제1안착부와 제2안착부는 각각 경사지게 형성되는 것이 바람직하다.
또한 상기 제1안착부 및 제2안착부는 바깥쪽으로 갈수록 낮아지는 방향으로 경사지게 형성되는 것이 바람직하다.
또한 상기 제1안착부와 제2안착부는 대칭되게 형성되는 것이 바람직하다.
또한 상기 제1안착부 및 제2안착부는 각각 복수의 기판이 나란하게 안착되는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 기판 연마방법은 1) 연마수단의 양측에 각각 기판을 안착시키는 단계; 및 2) 상기 연마수단을 구동하여 그의 양측에 안착된 기판들의 모서리를 동시에 연마하는 단계;를 포함한다.
또한 상기 1)단계는 상기 연마수단을 기준으로 바깥쪽으로 갈수록 경사지게 안착시키는 것이 바람직하다.
또한 상기 1)단계는 상기 연마수단의 양측에는 각각 복수의 기판이 안착되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 연마수단의 양측에 각각 기판을 안착시켜 동시에 양측 기판의 모서리를 연마할 수 있는 효과가 있다.
또한, 기판을 경사지게 안착시킴으로써, 소정의 연마량을 갖도록 연마할 수 있다.
또한, 기판의 양측에 각각 복수의 기판을 안착시킴으로써, 연속적으로 많은 기판의 모서리를 연마할 수 있어 공정택타임을 줄일 수 있는 효과도 있다.
도 1은 대형 기판을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 2는 도 1에 도시된 대형 기판의 연마장치를 나타낸 것이다.
도 3 및 도 4는 종래 소형 기판의 연마장치를 나타낸 것이다.
도 5 내지 도 7은 본 발명에 의한 연마장치를 나타낸 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예를 나타낸 것이다.
도 5을 참조하면, 본 발명에 의한 연마장치(1)는 테이블(10)과 연마수단(20)을 포함한다.
상기 테이블(10)은 상면 양측에 각각 기판을 안착하도록 제1안착부(11)와 제2안착부(12)가 형성된다. 특히, 상기 제1안착부(11)와 제2안착부(12)는 경사지게 형성되어 있음을 알 수 있다. 또한 상기 제1안착부(11)와 제2안착부(12)는 테이블(10)의 중심을 지나는 가상의 수직선에 대칭되도록 형성되는데, 더 나아가 바깥쪽으로 갈수록 낮아지는 방향으로 경사지게 형성된다. 제1안착부(11) 및 제2안착부(12)의 경사각은 기판이 연마되는 연마량과 직결되므로, 요구되는 연마량에 따라 제1안착부(11)와 제2안착부(12)의 경사각을 결정한다.
또한 상기 연마수단(20)은 상기 제1안착부(11)와 제2안착부(12)의 중심 상부에 배치된다. 상기 연마수단(20)은 회전하면서 연마하는 연마휠 등 공지의 수단이다.
도 6을 참조하면, 상기 제1안착부(11)에는 복수의 소형기판(S21)이 나란하게 흡착된다. 기판(S21)의 면적에 따라 안착되는 기판의 수는 변경되는 것은 당연하다. 마찬가지로 제2안착부(12)에도 복수의 소형기판(S22)이 나란하게 흡착된다.
이하에서는 위와 같이 구성된 본 실시예의 작동상태 및 이를 이용한 기판 연마방법을 설명한다.
먼저, 대칭되면서 경사지게 형성된 제1안착부(11) 및 제2안착부(12)에 각각 복수의 기판(S21,S22)들을 흡착시킨다. 이 때 연마를 용이하게 하기 위하여 제1안착부(11) 및 제2안착부(12)로부터 기판(S21,S22)이 돌출되도록 흡착시킨다.
다음으로, 상기 연마수단(20)과 테이블(10)을 상대운동하면서, 상기 연마수단(20)을 구동하여 양측에 흡착된 복수의 기판(S21,S22)들의 모서리를 연마한다.
이와 같이 연마함으로써, 하나의 연마수단(20)의 동작으로 2개의 모서리(제1기판(S21)의 제1모서리와 제2기판(S22)의 제2모서리)를 동시에 연마할 수 있는 것이다.
1: 연마장치 10: 테이블
11: 제1안착부 12: 제2안착부
20: 연마수단

Claims (8)

  1. 상면 양측에 각각 기판을 안착하도록 제1안착부와 제2안착부가 형성되고, 상기 제1안착부와 제2안착부는 바깥쪽으로 갈수록 낮아지는 방향으로 경사지게 형성되는 테이블; 및
    상기 테이블의 중심 상방에 배치되어, 상기 제1안착부에 안착된 기판과 상기 제2안착부에 안착된 기판의 서로 마주보는 한 쌍의 모서리를 동시에 연마하는 하나의 연마수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.

  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1안착부와 제2안착부는 대칭되게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1안착부 및 제2안착부는 각각 복수의 기판이 나란하게 안착되는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
  6. 1) 테이블의 상면 양측에 마주보도록 각각 기판을 안착시키되, 상기 기판들은 바깥쪽으로 갈수록 낮아지는 방향으로 경사지게 안착시키는 단계; 및
    2) 상기 기판의 모서리들 중 서로 마주보는 한 쌍의 모서리를 하나의 연마수단을 구동하여 동시에 연마하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 연마방법.

  7. 삭제
  8. 삭제
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