JP5938297B2 - 研削装置 - Google Patents
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Description
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る研削装置の一例を示す斜視図である。図1に示すように、研削装置1は、チャックテーブル4と研削ユニット(研削手段)5A,5Bとを相対回転させることにより、チャックテーブル4が保持する板状ワークWを研削するように構成されている。なお、研削装置1において、2つの研削ユニット(研削ユニット5A,5B)を有する場合について説明するが、研削ユニットの数はこれに限定されるものではない。
ここでは、研削ユニット5Aを構成する研削砥石54が粗研削用のもの、研削ユニット5Bを構成する研削砥石54が仕上げ研削用のものとして構成される場合の研削加工について説明する。なお、被加工物である板状ワークWの構成は特に限定されず、たとえば、サファイア基板、ガリウムヒ素(GaAs)基板、炭化ケイ素(SiC)基板などを用いることができる。
第1の実施の形態で示した研削装置1とは異なる構造の研削装置10について説明する。研削装置10は、研削ユニット5A,5Bを支持するコラム6の構成およびターンテーブル3上におけるチャックテーブル4の配置について第1の実施の形態に係る研削装置1と相違する。
2 基台
3 ターンテーブル
4 チャックテーブル
4a 保持面
5A,5B 研削ユニット
51 スピンドル
52 ホイールマウント
53 研削ホイール
54 研削砥石
6 コラム
61 研削ユニット移動機構
61a ガイドレール
61b Z軸テーブル
61c ボールねじ
61d 駆動モータ
7 制御部
Claims (3)
- 円盤中心を軸に回転可能に配設されるターンテーブルと、該ターンテーブルに配設され板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルが保持する板状ワークを研削する研削手段と、を少なくとも備える研削装置であって、
該ターンテーブルに配設される該チャックテーブルは、該ターンテーブルの回転中心を中心に均等な角度で配置され、該ターンテーブルを上から見た時、隣り合う該チャックテーブルが重なって配設されたことを特徴とする研削装置。 - 重なって配設される複数の該チャックテーブルは、複数の段を備えていて、該チャックテーブルの上面と該ターンテーブルの上面を略平行に配設されたことを特徴とする請求項1記載の研削装置。
- 重なって配設される複数の該チャックテーブルは、該チャックテーブルの回転軸を傾けて配設されたことを特徴とする請求項1記載の研削装置。
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