JP6147974B2 - 研削装置 - Google Patents
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Description
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る研削装置の一例を示す斜視図である。図2は、本発明の第1の実施の形態に係る研削装置の一例を示す断面模式図である。図1に示すように、研削装置1は、チャックテーブル4と研削ユニット(研削手段)5とを相対回転させることにより、チャックテーブル4が保持する板状ワークを研削するように構成されている。なお、図1において、研削装置1は3つの研削ユニットを有するように示されているが、研削ユニットの数はこれに限定されるものではない。
ターンテーブル3は、円錐形状を有し、円錐の中心軸を回転軸としている。ターンテーブル3の側面(円錐面)は、二次曲面で構成される。ターンテーブル3の底面は、基台2上に収まるサイズに設計されている。ターンテーブル3の高さ(底面と頂点との距離)は適宜設定することができる。また、ターンテーブル3の中心位置には、後述するコラム6の柱が貫通する貫通孔3aが設けられている。なお、ターンテーブル2は、中空構造であってもよいし、中空構造でなくてもよい。
ここでは、研削装置1における3つの研削ユニット5について、装着される研削砥石54が、それぞれ粗研削用のもの、仕上げ研削用のもの、研磨用のもの、と異なる場合について説明する。なお、各研削ユニット5における研削砥石54の構成はこれに限定されない。また、被加工物である板状ワークの構成は特に限定されず、たとえば、サファイア基板、ガリウムヒ素(GaAs)基板、炭化ケイ素(SiC)基板などを用いることができる。
第1の実施の形態で示した研削装置1とは異なる構造の研削装置10について説明する。研削装置10は、ターンテーブル11の構成およびチャックテーブル4の配置方法について第1の実施の形態に係る研削装置1と相違する。
2 基台
3 ターンテーブル
3a 貫通孔
4 チャックテーブル
41 支持柱
42 回転機構
4a 保持面
5 研削ユニット
51 スピンドル
52 ホイールマウント
53 研削ホイール
54 研削砥石
55 研削ユニット移動機構
55a テーブル
55b ナット部
55c ボールねじ
55d 研削送りモータ
6 コラム
7 ウォータケース
10 研削装置
11 ターンテーブル
11a 貫通孔
12a,12b 支持柱
Claims (3)
- 真上から見た円形の中心を軸に回転可能に配設されるターンテーブルと、該ターンテーブルの回転中心を中心に均等な角度で該ターンテーブルに配設される板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持される板状ワークを研削する研削手段と、から少なくとも構成される研削装置であって、
該チャックテーブルは、該ターンテーブルの回転中心側を高く、該ターンテーブルの外周側を低く傾斜させて配設され、該研削手段は該ターンテーブルの上方で門型のコラムにより支持され、該研削手段は該チャックテーブルに対して該ターンテーブルの回転中心側に位置ずれしていることを特徴とする研削装置。 - 該ターンテーブルは、回転中心を頂点とした円錐形状で、斜面に該チャックテーブルを配設させたことを特徴とする請求項1記載の研削装置。
- 該ターンテーブルは、回転中心を頂点とした多角錐形状で、斜面に該チャックテーブルを配設させたことを特徴とする請求項1記載の研削装置。
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