CN203418389U - 一种晶片倒角机 - Google Patents
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 23
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008676 import Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型公开了一种晶片倒角机，它包括用于固定晶片的夹片装置、冷却润滑装置和研磨装置。所述的夹片装置设有夹片轮，所述夹片轮的内侧设有防滑垫，所述的两侧的夹片轮横向中心设有夹片轮驱动轴。所述的研磨装置设有研磨轮，所述的研磨轮纵向中心设有止倒垫，所述研磨轮的横向中心设有研磨驱动轮。本实用新型结构简单，装置紧凑，占地面积小，价格低廉，功能齐全。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种用于晶片倒角的倒角机。
背景技术
微电子芯片衬底材料的研磨抛光会使衬底产生应力，如果衬底边缘有尖锐棱角，则会导致应力集中而使晶片碎裂或产生缺陷。故而需对晶片进行倒边处理。
目前国内外已有诸多品牌型号的倒边设备，功能单一，但是价格却很高，进口的需要几十上百万一台，国产的也将近十万一台。
发明内容
本实用新型的目的是解决现有技术存在的问题，提供一种晶片倒角机。晶片倒角机对规则、不规则、圆片、方片进行倒边，同时倒边角度可为45°标准角梯形倒边，也可以为任意角梯形倒边，还可以实现椭圆边倒边。
实现本实用新型目的的技术方案是一种晶片倒角机，它包括用于固定晶片的夹片装置、冷却润滑装置和研磨装置，所述的夹片装置设有夹片轮，所述夹片轮的内侧设有防滑垫，所述的两侧的夹片轮横向中心设有夹片轮驱动轴，冷却润滑装置的喷嘴对准加工晶片的底部，所述的研磨装置设有研磨轮，所述的研磨轮纵向中心设有止倒垫，所述研磨轮的横向中心设有研磨驱动轮。
所述的夹片轮由低速马达驱动，带动所述的夹片轮做旋转低速圆周运动，同时夹片轮可以上下运动。
所述的研磨轮自带角度，该角度和倒边成品角度吻合，所述的研磨轮由调速电机驱动做旋转低速圆周运动。
所述的研磨轮材质为金刚石砂轮、碳化硅砂轮，其磨料粒度小于80#。
所述倒角的晶片可以为规则、不规则、圆片、方片。
采用了上述技术方案，本实用新型具有以下的有益效果：晶片倒角机结构简单，装置紧凑，占地面积小，价格低廉，功能齐全。
附图说明
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中
图1为本实用新型的结构示意图。
附图中标号为：
1、夹片装置2、冷却润滑装置3、研磨装置4、晶片11、夹片轮12、防滑垫13、夹片轮驱动轴31、研磨轮32、止倒垫33、研磨驱动轮
具体实施方式
（实施例1）
见图1所示，本实施例的一种晶片倒角机，它包括用于固定晶片4的夹片装置1、冷却润滑装置2和研磨装置3。所述的夹片装置1设有夹片轮11，所述的夹片轮11夹紧晶片4后，由低速马达驱动旋转，方向与所述研磨轮31相反，打磨时带动所述的夹片轮11带动晶片4做旋转低速圆周运动，同时夹片轮11可以上下运动。所述夹片轮11的内侧设有防滑垫12，防止加工晶片4从夹片轮11脱落，所述的两侧的夹片轮11横向中心设有夹片轮驱动轴13。冷却润滑装置2对晶片4和研磨轮31的接触部位提供冷却润滑，冷却润滑装置2的喷嘴对准加工晶片4的底部。所述的研磨装置3设有研磨轮31，研磨轮31边缘自带角度，该角度和倒边成品角度吻合，研磨轮31由调速电机驱动，高速旋转运动，配合夹片轮11旋转打磨晶片4，所述的研磨轮31材质为金刚石砂轮、碳化硅砂轮，其磨料粒度小于80#。所述的研磨轮31纵向中心设有止倒垫32，所述的止倒垫32可以为加工晶片4研磨时做缓冲，防止加工晶片4研磨尺寸过多，所述研磨轮31的横向中心设有研磨驱动轮33。所述倒角的晶片4可以为规则、不规则、圆片、方片；倒边角度可为45°标准角梯形倒边或者椭圆边倒边。
以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种晶片倒角机，其特征在于：它包括用于固定晶片的夹片装置（1）、冷却润滑装置（2）和研磨装置（3），所述的夹片装置（1）设有夹片轮（11），所述夹片轮（11）的内侧设有防滑垫（12），所述的两侧的夹片轮（11）横向中心设有夹片轮驱动轴（13），冷却润滑装置（2）的喷嘴对准加工晶片（4）的底部，所述的研磨装置（3）设有研磨轮（31），所述的研磨轮（31）纵向中心设有止倒垫（32），所述研磨轮（31）的横向中心设有研磨驱动轮（33）。
2.根据权利要求1所述的一种晶片倒角机，其特征在于：所述的夹片轮（11）由低速马达驱动，带动所述的夹片轮（11）做旋转低速圆周运动，同时夹片轮（11）可以上下运动。
3.根据权利要求1或2所述的一种晶片倒角机，其特征在于：所述的研磨轮（31）自带角度，该角度和倒边成品角度吻合，所述的研磨轮（31）由调速电机驱动做旋转低速圆周运动。
4.根据权利要求3所述的一种晶片倒角机，其特征在于：所述的研磨轮（31）材质为金刚石砂轮、碳化硅砂轮，其磨料粒度小于80#。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320323726.XU CN203418389U (zh) | 2013-06-04 | 2013-06-04 | 一种晶片倒角机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320323726.XU CN203418389U (zh) | 2013-06-04 | 2013-06-04 | 一种晶片倒角机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203418389U true CN203418389U (zh) | 2014-02-05 |
Family
ID=50017493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201320323726.XU Expired - Fee Related CN203418389U (zh) | 2013-06-04 | 2013-06-04 | 一种晶片倒角机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203418389U (zh) |
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- 2013-06-04 CN CN201320323726.XU patent/CN203418389U/zh not_active Expired - Fee Related
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