TWI695782B - 用於支撐工件的支撐部件、包含複數個所述支撐部件的工件支撐總成、結合所述工件支撐總成的工件參考系統、包含所述工件支撐總成的工件參考系統、用於參考工件的工件參考總成、結合所述工件參考總成的工件參考系統以及參考單一化工件之方法 - Google Patents

用於支撐工件的支撐部件、包含複數個所述支撐部件的工件支撐總成、結合所述工件支撐總成的工件參考系統、包含所述工件支撐總成的工件參考系統、用於參考工件的工件參考總成、結合所述工件參考總成的工件參考系統以及參考單一化工件之方法 Download PDF

Info

Publication number
TWI695782B
TWI695782B TW103112816A TW103112816A TWI695782B TW I695782 B TWI695782 B TW I695782B TW 103112816 A TW103112816 A TW 103112816A TW 103112816 A TW103112816 A TW 103112816A TW I695782 B TWI695782 B TW I695782B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
workpiece
support
assembly
horizontal
workpieces
Prior art date
Application number
TW103112816A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201501948A (zh
Inventor
湯姆 哈里斯
瑞奇 班奈特
Original Assignee
新加坡商Asm組合系統新加坡有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 新加坡商Asm組合系統新加坡有限公司 filed Critical 新加坡商Asm組合系統新加坡有限公司
Publication of TW201501948A publication Critical patent/TW201501948A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI695782B publication Critical patent/TWI695782B/zh

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • B41F15/16Printing tables
    • B41F15/18Supports for workpieces
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H01L21/682Mask-wafer alignment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Automatic Assembly (AREA)

Abstract

一種工件參考系統及方法,該系統包含:一工件支撐總成,其用於支撐複數個工件,其中該支撐總成包含一支撐平台及安置至該支撐平台之複數個支撐部件,每一支撐部件經建構以支撐一個別工件;及一工件參考總成,其用於將如由該支撐總成所支撐之該等工件參考至預定位置;其中該等支撐部件各自包含:一本體,該本體包括支撐一工件之一支撐表面;及 一彈性耦接件,該彈性耦接件相對於該支撐平台彈性地耦接該本體之至少一上部部分,使得該本體之該至少部分藉由操作該參考總成而相對於該支撐平台自一第一未經偏置位置可位移至一第二經偏置參考位置,且在被釋放時,該本體之該至少部分返回至該第一未經偏置位置。

Description

用於支撐工件的支撐部件、包含複數個所述支撐部件的工件支撐總成、結合所述工件支撐總成的工件參考系統、包含所述工件支撐總成的工件參考系統、用於參考工件的工件參考總成、結合所述工件參考總成的工件參考系統以及參考單一化工件之方法
本發明係關於一種用於參考由工件載具所支撐之複數個單一化工件(諸如,電子基板)的典型地用於網版印刷機中的工件參考系統及方法。
在本發明之一態樣中,提供一種用於支撐複數個單一化工件之工件支撐總成,其中該支撐總成包含各自支撐一工件之複數個支撐部 件,其中該等支撐部件各自包含:一本體,該本體包括支撐一工件之一支撐表面;及一彈性耦接件,該彈性耦接件彈性地耦接包括該支撐表面的該本體之至少一部分,使得該本體之該至少部分至少在一水平定向中自一第一未經偏置位置可位移至一第二經偏置參考位置,且在被釋放時,該本體之該至少部分返回至該第一未經偏置位置,藉此實際上自定中心。
在一具體實施方式中,該等工件係以單一化方式輸送於一工件載具之個別載具單元中,且該等支撐部件經建構以自該工件載具之該等載具單元收納該等工件且將該等工件返回至該工件載具之該等載具單元。
在一具體實施方式中,該等支撐部件係由一支撐平台支撐,該支撐平台包含具有上部表面及下部表面之一本體且包括各自收納一各別支撐部件之複數個鑽孔。
在一具體實施方式中,每一支撐部件之該本體包括一桿狀物,該桿狀物延伸至該支撐平台中之該各別鑽孔中。
在一具體實施方式中,該桿狀物在該鑽孔內可滑動以允許該支撐部件之該本體之該至少部分在一垂直定向中位移。
在一具體實施方式中,該桿狀物自該本體之該至少部分延伸通過該支撐平台中之該各別鑽孔,藉以一真空或減壓源經施加至該支撐表面,以便將一所支撐工件固定於其上之一經界定位置處。
在一具體實施方式中,該真空或減壓將該工件維持平坦,其中該工件係翹曲或可撓性的。
在一具體實施方式中,該等桿狀物各自界定一流體通道,該流體通道在該本體之該各別至少部分與該支撐平台之一下部表面之間延 伸,其通常由一歧管流體地連接。
在一具體實施方式中,該支撐平台進一步包含一鎖定部件,該鎖定部件可致動以將該等支撐部件之該等本體鎖定於一所參考垂直或Z軸位置處。
在一具體實施方式中,該鎖定部件包括複數個孔隙,該複數個孔隙與該支撐平台中之該複數個鑽孔一致地配置;且在一第一解鎖位置與一第二鎖定位置之間可位移,在該第一解鎖位置中,該等支撐部件之該等本體之至少該等部分相對於該支撐平台之該本體垂直地可移動以便允許調整該等支撐部件之該等垂直或Z軸位置,在該第二鎖定位置中,該鎖定部件與該等支撐部件嚙合且鎖定該等支撐部件之該等垂直或Z軸位置。
在一具體實施方式中,該鎖定部件經偏置至該第一解鎖位置,使得當該鎖定部件被釋放時,該鎖定部件採用該第一解鎖位置。
在一具體實施方式中,該等支撐部件各自進一步包含:一基座,該支撐部件之該本體之該至少部分在一垂直定向中可移動地耦接至該基座;及一偏置元件,其用以使該支撐部件之該本體之該至少部分自該支撐部件之該基座偏置,以便允許在將一偏置施加至該支撐部件之該本體時該支撐部件之該本體之該至少部分相對於該支撐部件之該基座自一第一停置位置移動,且提供在釋放如對該偏置元件施加之該偏置時使該支撐部件之該本體返回至該第一停置位置。
在一具體實施方式中,該支撐部件之該基座附接至該支撐平台。
在一具體實施方式中,該支撐部件之該本體包含一下部本體 部分及一上部本體部分,該上部本體部分包括該支撐表面且可移動地耦接至該下部本體部分,使得該上部本體部分相對於該下部本體部分可位移。
在一具體實施方式中,該上部本體部分具有一頭部,該頭部包括用於支撐一工件之該支撐表面。
在一具體實施方式中,該頭部係可替換的。
在一具體實施方式中,該上部本體部分係可替換的。
在一具體實施方式中,該彈性耦接件將該上部本體部分耦接至該下部本體部分。
在一具體實施方式中,該彈性耦接件包含可偏轉之一彈性體或橡膠耦接件。
在一具體實施方式中,該彈性耦接件係由視情況呈一圓盤或套筒之形式的一低硬度計材料或一發泡材料形成。
在一具體實施方式中,該彈性耦接件包含一或多個彈簧元件。
在一具體實施方式中,該彈性耦接件包含一或多個螺旋或板片彈簧。
在一具體實施方式中,該彈性耦接件包含一或多個彈性元件。
在一具體實施方式中,該彈性耦接件包含一單一彈性元件。
在另一具體實施方式中,該彈性耦接件包含複數個彈性元件。
在一具體實施方式中,該等彈性元件包含彈性體或橡膠元 件。
在一具體實施方式中,該支撐總成包含作為一單一整體總成之一個一體式支撐模組,該一體式支撐模組包括該等支撐部件且自諸如一網版印刷機之一處理機可移除。
在一具體實施方式中,該支撐總成可重新組態,使得該等支撐部件可以任何所要組態而配置。
本發明亦延伸至併有上述工件支撐總成的一工件參考系統。
在另一態樣中,本發明提供一種工件參考系統,其包含:上述工件支撐總成;及一工件參考總成,其用於將如由該支撐總成所支撐之工件參考至預定位置。
在一具體實施方式中,該參考總成包含一水平參考件,該水平參考件用於在一水平定向中將該等工件參考至預定位置。
在一具體實施方式中,該水平參考件包含一水平參考單元,該水平參考單元包含至少一水平參考部件,該至少一水平參考部件包括複數個參考表面,該複數個參考表面與該等支撐部件一致地配置,以便在該至少一水平參考部件在一水平定向中移動時嚙合如由該等各別支撐部件所支撐之該等工件。
在一具體實施方式中,該等參考表面各自包含至少一狹長邊緣或離散接觸點。
在一具體實施方式中,該等參考表面各自包含複數個狹長邊緣或離散接觸點。
在一具體實施方式中,該或該等接觸點包含彈性元件。
在一具體實施方式中,該或該等接觸點包含彈性體或橡膠元件。
在另一具體實施方式中,該或該等接觸點包含彈簧元件。
在一具體實施方式中,該或該等接觸點包含螺旋或板片彈簧。
在一具體實施方式中,該至少一水平參考部件包含一板元件,該板元件包括複數個孔隙,該複數個孔隙各自界定至少一參考表面。
在一具體實施方式中,該至少一水平參考部件係沿著向該等工件之至少一邊緣傾斜之一軸線而移動。
在一具體實施方式中,該等工件具有正交邊緣,且該至少一水平參考部件在該兩個正交邊緣中間的一方向上移動,視情況與該兩個正交邊緣成約35度至約55度而移動。
在一具體實施方式中,該水平參考單元包含第一水平參考部件及第二水平參考部件,該等水平參考部件各自包括複數個參考表面,該複數個參考表面與該等支撐部件一致地配置,且該等水平參考部件在不同方向上可移動,以便在該等水平參考部件在一水平定向中移動時各自嚙合如由該等各別支撐部件所支撐之該等工件。
在一具體實施方式中,該等水平參考部件在實質上相對方向上移動。
在一具體實施方式中,該等水平參考部件各自包含一板元件,該板元件包括複數個孔隙,該複數個孔隙各自界定至少一參考表面。
在一具體實施方式中,該等水平參考部件中之一者包括相對 於該等工件之大小而尺寸過大的固定形狀之孔隙,該等孔隙之至少一邊緣包括一第一參考表面;且該等水平參考部件中之另一者包括對應物孔隙,該等對應物孔隙之至少一邊緣包括一突出物,該突出物延伸至該一水平參考部件中之該等各別孔隙中且提供一第二參考表面,藉以該第一水平參考部件及該第二水平參考部件之移動用以藉由該第一參考表面及該第二參考表面而嚙合該等工件且將該等工件定位於預定參考位置中。
在一具體實施方式中,該參考總成包含一垂直參考件,該垂直參考件操作以將如由該等支撐部件所支撐之該等工件參考至一共同高度或垂直或Z軸位置。
在一具體實施方式中,該垂直參考件包含一垂直參考部件,該垂直參考部件在使用時安置於該支撐總成上方之一預定高度或垂直或Z軸位置處且用以將如由該等支撐部件所支撐之該等工件參考至一共同高度或垂直或Z軸位置。
在一具體實施方式中,該垂直參考部件包含一板元件。
在一具體實施方式中,該垂直參考部件具有一平面下部表面。
在一具體實施方式中,該系統進一步包含:一輸送機構,其用於將該垂直參考部件自一第一儲存位置移動至該支撐總成上方之一第二位置。
在一具體實施方式中,該輸送機構包含:一支撐托架,其支撐該垂直參考部件;一可樞轉鏈接件,其耦接至該支撐托架且用以在該第一位置與該第二位置之間平移該支撐托架;及一致動器,其可操作以在該 第一位置與該第二位置之間移動該支撐托架。
在一具體實施方式中,該支撐托架包含:第一及第二臂狀物,其與該垂直參考部件之側向邊緣嚙合;及一本體,其以固定關係來支撐該等臂狀物,視情況該等臂狀物自該本體成懸臂式。
在一具體實施方式中,該可樞轉鏈接件包含複數個連桿。
在一另外態樣中,本發明提供一種工件參考總成,其用於將如由一支撐總成之支撐部件所支撐之工件參考至預定位置,其中該參考總成包含用於在一水平定向中將該等工件參考至預定位置之一水平參考件。
在一具體實施方式中,該水平參考件包含一水平參考單元,該水平參考單元包含至少一水平參考部件,該至少一水平參考部件包括複數個參考表面,該複數個參考表面與該等支撐部件一致地配置,以便在該至少一水平參考部件在一水平定向中移動時嚙合如由該等各別支撐部件所支撐之該等工件。
在一具體實施方式中,該等參考表面各自包含至少一狹長邊緣或離散接觸點。
在另一具體實施方式中,該等參考表面各自包含複數個狹長邊緣或離散接觸點。
在一具體實施方式中,該或該等接觸點包含彈性元件。
在一具體實施方式中,該或該等接觸點包含彈性體或橡膠元件。
在另一具體實施方式中,該或該等接觸點包含彈簧元件。
在一具體實施方式中,該或該等接觸點包含螺旋或板片彈 簧。
在一具體實施方式中,該至少一水平參考部件包含一板元件,該板元件包括複數個孔隙,該複數個孔隙各自界定至少一參考表面。
在一具體實施方式中,該至少一水平參考部件係沿著向該等工件之至少一邊緣傾斜之一軸線而移動。
在一具體實施方式中,該等工件具有正交邊緣,且該至少一水平參考部件在該兩個正交邊緣中間的一方向上移動,視情況與該兩個正交邊緣成約35度至約55度而移動。
在一具體實施方式中,該水平參考單元包含第一水平參考部件及第二水平參考部件,該等水平參考部件各自包括複數個參考表面,該複數個參考表面與該等支撐部件一致地配置,且該等水平參考部件在不同方向上可移動,以便在該等水平參考部件在一水平定向中移動時嚙合如由該等各別支撐部件所支撐之該等工件。
在一具體實施方式中,該等水平參考部件在實質上相對方向上移動。
在一具體實施方式中,該等水平參考部件各自包含一板元件,該板元件包括複數個孔隙,該複數個孔隙各自界定至少一參考表面。
在一具體實施方式中,該等水平參考部件中之一者包括相對於該等工件之大小而尺寸過大的固定形狀之孔隙,該等孔隙之至少一邊緣包括一第一參考表面;且該等水平參考部件中之另一者包括對應物孔隙,該等對應物孔隙之至少一邊緣包括一突出物,該突出物延伸至該一水平參考部件中之該等各別孔隙中且提供一第二參考表面,藉以該第一水平參考 部件及該第二水平參考部件之移動用以藉由該第一參考表面及該第二參考表面而嚙合該等工件且將該等工件定位於預定參考位置中。
在一具體實施方式中,該參考總成包含一垂直參考件,該垂直參考件操作以將如由該等支撐部件所支撐之該等工件參考至一共同高度或垂直或Z軸位置。
在一具體實施方式中,該垂直參考件包含一垂直參考部件,該垂直參考部件在使用時安置於該支撐總成上方之一預定高度或垂直或Z軸位置處且用以將如由該等支撐部件所支撐之該等工件參考至一共同高度或垂直或Z軸位置。
在一具體實施方式中,該垂直參考部件包含一板元件。
在一具體實施方式中,該垂直參考部件具有一平面下部表面。
在一具體實施方式中,該總成進一步包含:一輸送機構,其用於將該垂直參考部件自一第一儲存位置移動至該支撐總成上方之一第二位置。
在一具體實施方式中,該輸送機構包含:一支撐托架,其支撐該垂直參考部件;一可樞轉鏈接件,其耦接至該支撐托架且用以在該第一位置與該第二位置之間平移該支撐托架;及一致動器,其可操作以在該第一位置與該第二位置之間移動該支撐托架。
在一具體實施方式中,該支撐托架包含:第一及第二臂狀物,其與該垂直參考部件之側向邊緣嚙合;及一本體,其以固定關係來支撐該等臂狀物,視情況該等臂狀物自該本體成懸臂式。
在一具體實施方式中,該可樞轉鏈接件包含複數個連桿。
本發明亦延伸至併有上述工件支撐總成的一工件參考系統。
在一具體實施方式中,該等工件各自包含由一共同載具元件所支撐之複數個工件元件。
在另一具體實施方式中,該等工件各自包含一單一工件元件。
在一又另外態樣中,本發明提供一種用於支撐一工件之支撐部件,其中該支撐部件包含一支撐件;一本體,該本體包括支撐一工件之一支撐表面,及一彈性耦接件,該彈性耦接件相對於該支撐件彈性地耦接該本體之至少部分,使得該本體之該至少部分相對於該支撐件在至少一水平定向中自一第一未經偏置位置可位移至一第二經偏置參考位置,且在被釋放時,該本體之該至少部分返回至該第一未經偏置位置,藉此實際上自定中心。
在一具體實施方式中,該支撐部件之該本體包括一桿狀物,該桿狀物自該本體之該至少部分延伸通過該本體。
在一具體實施方式中,該桿狀物可滑動以允許該支撐部件之該本體之該至少部分在一垂直定向中位移。
在一具體實施方式中,該桿狀物延伸至該支撐表面,藉以一真空或減壓源經施加至該支撐表面,以便將一所支撐工件固定於其上之一經界定位置處。
在一具體實施方式中,該真空或減壓將該工件維持平坦,其中該工件係翹曲或可撓性的。
在一具體實施方式中,該本體之該至少部分在一垂直定向中可位移,以便允許調整該支撐部件之垂直或Z軸位置,且可鎖定於一所參考垂直或Z軸位置處。
在一具體實施方式中,該支撐部件進一步包含:一基座,該本體之該至少部分在該垂直定向中可移動地耦接至該基座;及一偏置元件,其用以使該本體之該至少部分自該基座偏置,以便允許在將一偏置施加至該本體時該本體之該至少部分相對於該基座自一第一停置位置移動,且提供在釋放如對該偏置元件施加之該偏置時使該本體返回至該第一停置位置。
在一具體實施方式中,該支撐部件之該基座附接至一支撐平台。
在一具體實施方式中,該支撐部件之該本體包含一下部本體部分及一上部本體部分,該上部本體部分包括該支撐表面且可移動地耦接至該下部本體部分,使得該上部本體部分相對於該下部本體部分可位移。
在一具體實施方式中,該上部本體部分具有一頭部,該頭部包括用於支撐一工件之該支撐表面。
在一具體實施方式中,該頭部係可替換的。
在一具體實施方式中,該上部本體部分係可替換的。
在一具體實施方式中,該彈性耦接件將該上部本體部分耦接至該下部本體部分。
在一具體實施方式中,該彈性耦接件包含可偏轉之一彈性體或橡膠耦接件。
在一具體實施方式中,該彈性耦接件係由視情況呈一圓盤或套筒之形式的一低硬度計材料或一發泡材料形成。
在一具體實施方式中,該彈性耦接件包含一或多個彈簧元件。
在一具體實施方式中,該彈性耦接件包含一或多個螺旋或板片彈簧。
在一具體實施方式中,該彈性耦接件包含一或多個彈性元件。
在一具體實施方式中,該彈性耦接件包含一單一彈性元件。
在一具體實施方式中,該彈性耦接件包含複數個彈性元件。
在一具體實施方式中,該等彈性元件包含彈性體或橡膠元件。
在一又另外態樣中,本發明提供一種參考複數個單一化工件之方法,該方法包含如下步驟:提供用於支撐複數個工件之一工件支撐總成,其中該支撐總成包含各自經建構以支撐一工件之複數個支撐部件,其中該等支撐部件各自包含:一支撐件;一本體,該本體包括支撐一工件之一支撐表面;及一彈性耦接件,該彈性耦接件相對於該支撐件彈性地耦接該本體之至少一部分,使得該本體之該至少部分相對於該支撐件自一第一未經偏置位置可位移至一第二經偏置參考位置,且在被釋放時,該本體之該至少部分返回至該第一未經偏置位置;將工件提供至該等支撐部件之該等支撐表面;藉由使該等工件及支撐該等工件的該等支撐部件中每一者之該本體之該至少部分在至少一水平定向中自一第一未經偏置位置位移至一 第二經偏置參考位置來在一水平定向中將該等工件參考至預定位置,在該第二經偏置參考位置處執行一處理操作,視情況執行一網版印刷操作;釋放該等支撐部件中每一者之該本體之該至少部分,藉以該等支撐部件之該等彈性耦接件使該等支撐部件中每一者之該本體之該至少部分返回至該第一未經偏置位置;及自該等支撐部件之該等支撐表面移除該等工件。
在一具體實施方式中,該等工件係以單一化方式輸送於一工件載具之個別載具單元中,且該等支撐部件經建構以自該工件載具之該等載具單元收納該等工件且將該等工件返回至該工件載具之該等載具單元。
在一具體實施方式中,該方法進一步包含如下步驟:將一真空或減壓源施加至該等支撐部件中每一者之該支撐表面以便將一所支撐工件固定於其上之一經界定位置處。
在一具體實施方式中,該真空或減壓將該工件維持平坦,其中該工件係翹曲或可撓性的。
在一具體實施方式中,每一支撐部件之該本體包括自其該支撐表面延伸至一歧管的一流體通道,一真空或減壓通常施加於該歧管處。
在一具體實施方式中,該等支撐部件各自在一垂直定向中可移動,且該方法進一步包含如下步驟:將該等支撐部件中每一者之該支撐表面參考至一共同高度或垂直或Z軸位置;及將該等支撐部件之該等本體鎖定於該所參考高度或垂直或Z軸位置處。
在一具體實施方式中,該等支撐部件各自進一步包含:一基座,該支撐部件之該本體之該至少部分在一垂直定向中可移動地耦接至該基座;及一偏置元件,其用以使該支撐部件之該本體之該至少部分自該支 撐部件之該基座偏置,以便允許在將一偏置施加至該支撐部件之該本體時該支撐部件之該本體相對於該支撐部件之該基座自一第一停置位置移動,且提供在釋放如對該偏置元件施加之該偏置時使該支撐部件之該本體返回至該第一停置位置。
在一具體實施方式中,該支撐部件之該基座附接至一支撐平台。
在一具體實施方式中,該支撐部件之該本體包含一下部本體部分及一上部本體部分,該上部本體部分包括該支撐表面且可移動地耦接至該下部本體部分,使得該上部本體部分相對於該下部本體部分可位移。
在一具體實施方式中,該上部本體部分具有一頭部,該頭部包括用於支撐一工件之該支撐表面。
在一具體實施方式中,該頭部係可替換的。
在一具體實施方式中,該上部本體部分係可替換的。
在一具體實施方式中,該彈性耦接件將該上部本體部分耦接至該下部本體部分。
在一具體實施方式中,該支撐總成包含作為一單一整體總成之一個一體式模組,該一體式模組包括該等支撐部件且自諸如一網版印刷機之一處理機可移除。
在一具體實施方式中,該支撐總成可重新組態,使得該等支撐部件可以任何所要組態而配置。
在一具體實施方式中,藉由操作一水平參考件而在一水平定向中將該等工件參考至預定位置。
在一具體實施方式中,該水平參考件包含一水平參考單元,該水平參考單元包含至少一水平參考部件,該至少一水平參考部件包括複數個參考表面,該複數個參考表面與該等支撐部件一致地配置,且該參考步驟包含:藉由在一水平定向中移動該至少一水平參考部件使得該等參考表面與如由該等各別支撐部件所支撐之該等工件嚙合而嚙合該等各別工件,且在一水平定向中將該等工件移動至預定位置。
在一具體實施方式中,該等參考表面各自包含至少一狹長邊緣或離散接觸點。
在一具體實施方式中,該等參考表面各自包含複數個狹長邊緣或離散接觸點。
在一具體實施方式中,該或該等接觸點包含彈性元件。
在一具體實施方式中,該至少一水平參考部件包含一板元件,該板元件包括複數個孔隙,該複數個孔隙各自界定至少一參考表面。
在一具體實施方式中,該至少一水平參考部件係沿著向該等工件之至少一邊緣傾斜之一軸線而移動。
在一具體實施方式中,該等工件具有正交邊緣,且該至少一水平參考部件在該兩個正交邊緣中間的一方向上移動,視情況與該兩個正交邊緣成約35度至約55度而移動。
在一具體實施方式中,該水平參考單元包含第一水平參考部件及第二水平參考部件,該等水平參考部件各自包括複數個參考表面,該複數個參考表面與該等支撐部件一致地配置,且該等水平參考部件在不同方向上可移動,且該參考步驟包含:藉由在一水平定向中移動該等水平參 考部件使得其該等參考表面與如由該等各別支撐部件所支撐之該等工件嚙合而嚙合該等各別工件,且在一水平定向中將該等工件移動至預定位置。
在一具體實施方式中,該等水平參考部件在實質上相對方向上移動。
在一具體實施方式中,該等水平參考部件各自包含一板元件,該板元件包括複數個孔隙,該複數個孔隙各自界定至少一參考表面。
在一具體實施方式中,該等水平參考部件中之一者包括相對於該等工件之大小而尺寸過大的固定形狀之孔隙,該等孔隙之至少一邊緣包括一第一參考表面;且該等水平參考部件中之另一者包括對應物孔隙,該等對應物孔隙之至少一邊緣包括一突出物,該突出物延伸至該一水平參考部件中之該等各別孔隙中且提供一第二參考表面,藉以該第一水平參考部件及該第二水平參考部件之移動用以藉由該第一參考表面及該第二參考表面而嚙合該等工件且將該等工件定位於預定參考位置中。
在一具體實施方式中,該方法進一步包含如下步驟:藉由使該等工件及支撐該等工件的該等支撐部件中每一者之該本體之該至少部分在至少一垂直定向中位移來在一垂直定向中將該等工件參考至預定位置。
在一具體實施方式中,藉由操作一垂直參考件而在一垂直定向中將該等工件參考至預定位置。
在一具體實施方式中,該垂直參考件包含一垂直參考部件,該垂直參考部件安置於一預定高度或垂直或Z軸位置處,且用以藉由該支撐總成相對於該垂直參考部件之移動、藉由該垂直參考部件相對於該支撐總成之移動或藉由該支撐總成及該垂直參考部件兩者相對於彼此之移動來 將如由該等支撐部件所支撐之該等工件參考至一共同高度或垂直或Z軸位置。
在一具體實施方式中,該垂直參考部件包含一板元件。
在一具體實施方式中,在一垂直定向中將該等工件參考至預定位置之該步驟包含:將該垂直參考部件自一第一儲存位置移動至該支撐總成上方之一第二位置,及提昇該支撐總成使得該等工件與該垂直參考部件之一下部表面嚙合。
在一具體實施方式中,該垂直參考部件係由一支撐托架支撐,該支撐托架耦接至一可樞轉鏈接件,且移動該垂直參考部件之該步驟包含在該第一位置與該第二位置之間平移該支撐托架的步驟。
在一具體實施方式中,該支撐托架包含:第一及第二臂狀物,其與該垂直參考部件之側向邊緣嚙合;及一本體,其以固定關係來支撐該等臂狀物,視情況該等臂狀物自該本體成懸臂式。
在一具體實施方式中,該可樞轉鏈接件包含複數個連桿。
3:工件支撐總成
7:工件載具
11:工件參考總成
15:載具單元
17:基座單元
19:支撐模組
20:歧管空腔
21:支撐平台
23:支撐部件
25:平台本體
27:上部表面
29:下部表面
31:鑽孔
41:上部本體元件
43:下部本體元件
45:空腔
51:鎖定部件
53:孔隙
54:接觸元件
55:偏置元件
56:基座
57:本體
59:偏置元件
61:第一下部本體部分
63:第二上部本體部分
64:頭部
75:彈性耦接件
77:桿狀物
81:流體通道
85:真空或減壓源/真空壓力源
100:支撐平台
101:水平參考件
102:垂直參考件
103:水平參考單元
104:致動機構
111a:第一上部參考部件/上部板元件
111b:第二下部參考部件
113a:對應物孔隙
113b:對應物孔隙
115a:第一突出物
115b:第二突出物
117:支撐本體
119:孔隙
121a:第一致動器
121b:第一致動器
121c:第一致動器
121d:第一致動器
121e:第一致動器
121f:第一致動器
122a:第二致動器
122b:第二致動器
122c:第二致動器
122d:第二致動器
122e:第二致動器
122f:第二致動器
125:垂直參考部件
127:輸送機構
128:支撐托架
131:臂狀物
133:本體
135:可樞轉耦接件
137:致動器
H1:第一方向
H2:第二方向
W:工件
現在將在下文中僅藉由實例參考隨附圖式來描述本發明之較佳具體實施方式,在該等圖式中:圖1說明根據本發明之一較佳具體實施方式的工件參考系統之立體圖,其中為易於說明而省略其工件支撐總成及工件參考總成;圖2說明圖1之工件參考系統之工件支撐總成的立體圖;圖3說明圖2之工件支撐總成的垂直剖視圖(沿著剖面I-I);圖4說明圖1之工件支撐系統之工件參考總成的立體圖; 圖5說明圖4之工件參考總成的放大立體圖(細節A);及圖6(a)至圖6(j)說明在使用圖1之工件支撐系統時的操作步驟。
工件參考系統包含:一工件支撐總成3,其用於個別地支撐在工件載具7中以單一化方式輸送的複數個工件W;及一工件參考總成11,其用於將如由支撐總成3所支撐之工件W各自參考至預定位置。
在此具體實施方式中,工件載具7包含複數個載具單元15,該複數個載具單元15以間隔關係來支撐個別工件W。在此具體實施方式中,載具單元15係以規則陣列之形式配置,典型地以m×n陣列之形式配置,此處以3×7陣列之形式配置;但可具有任何配置。在此具體實施方式中,工件載具7為JEDEC樣式載具或船式,但可具有任何其他樣式,諸如,Auer樣式。
支撐總成3包含一基座單元17及一支撐模組19,該支撐模組19安置至該基座單元17。在此具體實施方式中,支撐模組19係可移除、可替換模組,此允許使用不同支撐模組19且藉此適應使用不同工件載具7及工件W,而無需替換整個支撐總成3。
在此具體實施方式中,基座單元17在其上部表面中包括歧管空腔20,支撐模組19之平台21流體地連接至該歧管空腔20。如將在下文中更詳細地描述,歧管空腔20流體地連接至真空或減壓源85。在使用此組態的情況下,無需至支撐模組19之支撐部件23之個別連接,且可將支撐模組19作為一體式總成來移除。
支撐模組19包含一支撐平台21及安置至該支撐平台21之 複數個支撐部件23,每一支撐部件23經建構以支撐一個別工件W。
在此具體實施方式中,支撐部件23係以規則陣列之形式配置,典型地以mxn陣列之形式配置,此處以3×7陣列之形式配置,其對應於工件載具7之載具單元15之組態;但可具有任何配置。
在此具體實施方式中,支撐平台21包含此處呈板之形式的一平台本體25,該平台本體25具有上部表面27及下部表面29且包括複數個鑽孔31,每一鑽孔31收納一各別支撐部件23且根據工件載具7中之載具單元15之配置予以組態。
在此具體實施方式中,平台本體25包含一起界定空腔45的一上部本體元件41及一下部本體元件43,該空腔45橫越平台本體25側向地延伸且收納一鎖定部件51,如將在下文中更詳細地予以描述。
在此具體實施方式中,支撐平台21進一步包含一鎖定部件51,該鎖定部件51操作以鎖定支撐部件23之垂直或Z軸高度。
在此具體實施方式中,此處呈板之形式的鎖定部件51包括複數個孔隙53,該複數個孔隙53與平台本體25中之複數個鑽孔31一致地配置;且該鎖定部件51在第一解鎖或停置位置(其中支撐部件23垂直地可移動,以便允許調整支撐部件23之高度)與第二鎖定位置(其中鎖定部件51與支撐部件23之一部分嚙合(在此具體實施方式中,與支撐部件23之桿狀物77嚙合)且鎖定支撐部件23之垂直或Z軸高度)之間可致動。
在此具體實施方式中,鎖定部件51包括此處呈彈性元件之形式的複數個接觸元件54(諸如,橡膠或彈性體墊),該複數個接觸元件54安置於各別孔隙53處以便在鎖定部件51處於鎖定位置中時提供與各別 支撐部件23之接觸表面。
在此具體實施方式中,支撐平台21進一步包含一偏置元件55,此處為彈簧元件,其用以在鎖定部件51未被致動時使該鎖定部件51偏置至解鎖位置。在使用此組態的情況下,鎖定部件51在無需任何分離致動或干預的情況下自動地採用解鎖位置。
在此具體實施方式中,支撐模組19包含自處理機(諸如,網版印刷機)可移除之一體式模組作為單一整體模組。
在此具體實施方式中,支撐模組19可重新組態,使得支撐部件23可以任何所要組態而配置,且另外或替代地允許不同支撐部件23配合至支撐平台21。
支撐部件23各自包含:一基座56,其附接至支撐平台21;一本體57,其可移動地耦接至基座56(在此具體實施方式中至少在垂直或Z軸定向中耦接);及一偏置元件59,其用以使本體57偏置遠離基座56且遠離安裝有基座56之支撐平台21(在此具體實施方式中向上地偏置),以便允許將本體57自未經偏置或停置位置降低且在釋放如施加至本體57之偏置時將本體57返回至未經偏置位置。
在此具體實施方式中,本體57包含第一下部本體部分61及第二上部本體部分63,該第二上部本體部分63之至少一部分可移動地耦接至下部本體部分61,此處至少在水平或X-Y平面中耦接且較佳地允許相對於垂直或Z軸旋轉θ。
在此具體實施方式中,上部本體部分63包括一頭部64,該頭部64提供用於支撐工件W之支撐表面65。
在此其體實施方式中,本體57進一步包含一彈性耦接件75,該彈性耦接件75將上部本體部分63彈性地耦接至下部本體部分61,使得上部本體部分63藉由操作參考總成11而在水平定向中相對於下部本體部分61且相對於下部本體部分61耦接至的支撐平台21而自第一未經偏置位置可位移至第二經偏置參考位置(如將在下文中更詳細地予以描述),且在被釋放時,上部本體部分63返回至第一未經偏置位置。
在此具體實施方式中,上部本體部分63相對於下部本體部分61之移動受約束使得支撐部件23提供對所支撐工件W之穩定支撐。
在使用此組態的情況下,工件W各自個別地以參考位置作為參考且在釋放工件W時各自返回至其原始位置而無任何控制輸入,因此允許工件W直接嚙合於工件載具7之載具單元15中,而不具有藉由相對於所支撐工件W僅僅提昇工件載具7進行之任何位置調整,該調整可藉由提昇工件載具7(其中使支撐模組19固定)、降低支撐模組19(其中使工件載具7固定)或提昇工件載具7且降低支撐模組19兩者來進行。
在此具體實施方式中,彈性耦接件75包含彈性體或橡膠元件;其在上部本體部件63之位移時偏轉。
在一具體實施方式中,彈性耦接件75可由諸如圓盤或套筒之低硬度計材料形成。
在另一具體實施方式中,彈性耦接件75可由諸如圓盤或套筒之發泡材料形成。
在此具體實施方式中,彈性耦接件75包含複數個彈性耦接元件。
在另一具體實施方式中,彈性耦接件75可包含單一彈性耦接元件。
在一具體實施方式中,彈性耦接件75可包含諸如螺旋或板片彈簧之一或多個彈簧元件。
在另一具體實施方式中,彈性耦接件75可包含諸如橡筋帶(elastic band)之一或多個彈性體或橡膠元件。
在其他具體實施方式中,彈性耦接件可包含上述元件中任一者之組合。
在此具體實施方式中,本體57包括一桿狀物77,該桿狀物77延伸至支撐平台21中之各別鑽孔31中,且在該鑽孔31內可滑動以允許本體57在垂直或Z軸定向中位移。
在此具體實施方式中,桿狀物77自上部本體部分63延伸通過支撐平台21中之各別鑽孔31,且界定一流體通道81,該流體通道81在上部本體部分63與支撐平台21之下部表面之間延伸,其流體地連接至真空或減壓源85,藉以真空或減壓經施加至上部本體部分63之頭部64之支撐表面65,以便將所支撐工件W固定於上部本體部分63上之經界定位置處,且亦將工件W維持平坦,其中工件W係翹曲或可撓性的。
在此具體實施方式中,藉由通常將真空或減壓源85施加至歧管空腔20,無需至支撐部件23中每一者之個別連接,且支撐模組19可作為一體式模組被移除。
參考總成11包含一支撐平台100;一水平參考件101,其用於在相對於支撐平台100之水平定向中參考由工件載具7之載具單元15所 支撐的工件W;及一垂直參考件102,其用於在相對於支撐平台100之垂直定向中參考由工件載具7之載具單元15所支撐的工件W。
水平參考件101包含:一水平參考單元103,其由支撐部件23之上部本體部分63上方之支撐平台100支撐;及一致動機構104,其操作以致動水平參考單元103以參考在水平或X-Y定向中由工件載具7之載具單元15所支撐的工件W。
在此具體實施方式中,水平參考單元103包含此處呈板之形式的第一參考部件111a及第二參考部件111b,其各自包括複數個對應物孔隙113a、113b,該等對應物孔隙113a、113b與支撐部件23一致地配置且經建構以收納各別工件W(在工件W由其支撐時)。
在此具體實施方式中,第一參考部件111a及第二參考部件111b在相對方向上可位移,以便使工件W在各別孔隙113a、113b中居中且參考工件W之水平或X-Y定向。
在此具體實施方式中,第一上部參考部件111a包括固定形狀之孔隙113a,此處具有相對於工件W之大小而尺寸過大的矩形剖面,其之至少一邊緣(此處為兩個鄰近正交邊緣)界定工件嚙合表面,且第二下部參考部件111b包括對應物孔隙113b,其之至少一邊緣(此處為兩個鄰近正交邊緣)包括突出物115a、115b,突出物115a、115b延伸至上部板元件111a中之各別孔隙113a中而至上部參考部件111a之上部表面且界定工件嚙合表面。
在使用此組態的情況下,上部參考部件111a中之孔隙113a之至少一邊緣(此處為鄰近正交邊緣)及下部參考部件111b中之孔隙113b 處之至少一邊緣(此處為處於鄰近正交邊緣處的第一突出物115a及第二突出物115b)用以與各別工件W之相對邊緣嚙合且在水平定向中(此處在其X、Y位置方面及在其相對於垂直或Z軸之旋轉θ方面兩者)使工件W居中於預定位置處。
在此具體實施方式中,參考部件111a、111b係沿著向工件W之至少一邊緣傾斜之軸線而移動。在工件W具有正交邊緣之一具體實施方式中,參考部件111a、111b在兩個正交邊緣中間的方向上移動,典型地與該兩個正交邊緣成45度而移動。
在此具體實施方式中,工件W具有矩形形狀,且孔隙113a、113b界定工件W嚙合所抵靠的正交邊緣。
在一替代具體實施方式中,孔隙113a、113b可界定點接觸,使得工件W僅在沿著其邊緣之點處接觸。
在另一替代具體實施方式中,孔隙113a、113b可包括諸如彈簧接點之彈性接點,使得工件W僅在沿著其邊緣之點處接觸。
在此具體實施方式中,支撐平台100包含一支撐本體117,該支撐本體117包括一孔隙119,支撐部件23之上部本體部分63經由該孔隙119可位移。
在此具體實施方式中,致動機構104包含複數個致動器121a至121f、122a至122f,該複數個致動器121a至121f、122a至122f經建構以在水平平面中使第一參考部件111a及第二參考部件111b位移。
在此具體實施方式中,致動機構104包含:複數個第一致動器121a至121f,其嚙合第一參考部件111a且在第一方向H1上使其位移; 及複數個第二致動器122a至122f,其嚙合第二參考部件111b且在與第一方向H1相對的第二方向H2上使其位移。
垂直參考件102包含一垂直參考部件125及一輸送機構127,該輸送機構127用於將垂直參考部件125自第一不操作或停置位置輸送至支撐模組19之支撐部件23上的第二操作位置。
在此具體實施方式中,垂直參考部件125包含一板(此處為相對重的板),如由支撐部件23所支撐之工件W經偏置抵靠其,該板用以在所支撐工件W自工件載具7中之載具單元15提昇時將該等工件W參考至一共同高度。
在此具體實施方式中,垂直參考部件125具有平面下部表面,但在其他具體實施方式中,下部表面可(諸如)藉由包括凹座而成剖面,以便容納工件W之上部表面上之特徵或組件。
在此具體實施方式中,垂直參考部件125當處於不操作或停置位置中時經定位成鄰近於支撐平台100且在支撐平台100下方。
在此具體實施方式中,垂直參考部件125之下部表面當處於操作位置中時經定位成相對於支撐平台100處於預定高度。在一具體實施方式中,垂直參考部件125當處於操作位置中時經定位於水平參考單元103之上部表面上。
在使用時,當提昇支撐模組19時,支撐部件23被提昇直至所支撐工件W各自與垂直參考部件125之下部表面嚙合為止。工件W可在不同時間取決於工件W之厚度而嚙合,且此組態亦允許支撐部件23之高度的某變化,從而意謂支撐部件23無需經校準成照現有支撐系統式樣具有相 同高度。在支撐部件23與垂直參考部件125之下部表面嚙合時,支撐平台21可隨著桿狀物77經由平台本體25中之各別鑽孔31可滑動而進一步提昇,且支撐平台21可被提昇直至所有工件W之上部表面與垂直參考部件125之下部表面嚙合為止。當處於此組態中時,鎖定部件51經致動以鎖定支撐部件23之垂直或Z軸高度,使得工件W處於共同垂直或Z軸位置處。
在一具體實施方式中,可省略垂直參考件102。在一具體實施方式中,支撐部件23被校準,且工件W具有實質上均一厚度, 在此具體實施方式中,輸送機構127包含:一支撐托架128,其包含:第一及第二臂狀物131,其與垂直參考部件125之側向邊緣嚙合,及一本體133,其以固定關係來支撐該等臂狀物131;一可樞轉耦接件135,其相對於支撐平台100來耦接支撐托架128且用以在不操作位置與操作位置之間平移支撐托架128;及一致動器137,其可操作以在不操作位置與操作位置之間驅動支撐托架128。
圖6(a)至圖6(j)說明在使用圖1之工件支撐系統時的操作步驟。
如圖6(a)所說明,在支撐總成3之支撐模組19相對於水平參考單元103處於降低組態中的情況下,將工件載具7引入於水平參考單元103之下方。
如圖6(b)所說明,垂直參考件102經操作以將垂直參考部件125自不操作位置移動至水平參考單元103上方之操作位置。
真空壓力源85接著經致動以將真空提供於支撐部件23之頭部處,且相對於水平參考單元103來提昇支撐總成3之支撐模組19。
如圖6(c)所說明,支撐部件23之頭部64與工件W之下部表面嚙合(工件W藉由彼處之真空而固持至其),且將工件W自工件載具7之載具單元15升高。
如圖6(d)所說明,提昇支撐部件23直至所支撐工件W各自與垂直參考部件125之下部表面嚙合為止,其中工件W在不同時間取決於工件W之厚度而嚙合。在此組態中,工件W位於水平參考單元103之參考部件111a、111b中之各別孔隙113a、113b中。
如圖6(e)所說明,在工件W在垂直位置中被參考的情況下,支撐平台21之鎖定部件51經致動以(在此具體實施方式中)藉由接觸元件54與支撐部件23之桿狀物77嚙合而將支撐部件23鎖定於垂直或Z軸高度處。
如圖6(f)所說明,垂直參考件102經操作以將垂直參考部件125自操作位置移動至遠離水平參考單元103之不操作位置。
如圖6(g)所說明,致動機構104之致動器121a至121f、122a至122f經致動以使第一參考部件111a在第一方向H1上位移且使第二參考部件111b在與第一方向H1相對的第二方向H2上位移,此情形造成上部參考部件111a中之孔隙113a之鄰近正交邊緣及下部參考部件111b中之孔隙113b處之鄰近正交邊緣處的第一突出物115a及第二突出物115b與各別工件W之相對邊緣嚙合,且在水平定向中(此處在其X、Y位置方面及在其相對於垂直或Z軸之旋轉θ方面兩者)使工件W居中於預定位置處。工件W之此參考藉由支撐部件23之下部本體部分61與上部本體部分63之間的彈性耦接件75而係可能的,此情形允許上部本體部分63及(因此)其 支撐工件W的頭部64自第一未經偏置位置位移至第二經偏置位置。
在此水平所參考位置中,對工件W執行程序操作。藉由實例,此等操作包括印刷及取置操作。
如圖6(h)所說明,致動機構104之致動器121a至121f、122a至122f經致動以使第一參考部件111a在第二方向H2上位移且使第二參考部件111b在第一方向H1上位移,此情形造成上部參考部件111a中之孔隙113a之鄰近正交邊緣及下部參考部件111b中之孔隙113b處之鄰近正交邊緣處的第一突出物115a及第二突出物115b與各別工件W之相對邊緣解除嚙合。藉由此動作,支撐部件23之下部本體部分61與上部本體部分63之間的彈性耦接件75造成上部本體部分63及(因此)其支撐工件W的頭部64在無任何干預的情況下自經偏置位置返回至未經偏置位置。
真空壓力源85接著經解除致動以釋放支撐部件23之頭部64處之真空,且相對於水平參考單元103來降低支撐總成3之支撐模組19。
如圖6(i)所說明,支撐部件23之頭部64在工件W處於工件載具7之載具單元15中時將工件W之下部表面解除嚙合。
支撐總成3之支撐模組19返回至相對於水平參考單元103之降低之組態,此情形允許自水平參考單元103下方來輸送工件載具7,且程序重複。
最後,應理解,本發明已在其較佳具體實施方式中予以描述,且可在不脫離如由附加申請專利範圍所界定之本發明之範疇的情況下以許多不同方式來修改本發明。
在一具體實施方式中,工件W可包含由一共同載具元件所 支撐之複數個工件元件。
在一修改中,水平參考單元103可僅包含單一參考部件111a,其在水平平面中位移且用以與所有工件W嚙合以在水平或X-Y平面中將其移動至預定參考位置。
3:工件支撐總成
11:工件參考總成
17:基座單元
19:支撐模組
20:歧管空腔
21:支撐平台
23:支撐部件
100:支撐平台
101:水平參考件
102:垂直參考件
104:致動機構
117:支撐本體
119:孔隙
121a:第一致動器
121b:第一致動器
121c:第一致動器
121d:第一致動器
121e:第一致動器
121f:第一致動器
122a:第二致動器
122b:第二致動器
122c:第二致動器
122d:第二致動器
122e:第二致動器
122f:第二致動器
125:垂直參考部件
127:輸送機構
128:支撐托架
131:臂狀物
133:本體
135:可樞轉耦接件
137:致動器

Claims (113)

  1. 一種用於支撐一工件之支撐部件,其中該支撐部件包含一支撐件及一本體,該本體包括支撐一工件的一支撐表面以及相對於該支撐件彈性地耦接該本體之至少部分的一彈性耦接件,使得該本體之該至少部分相對於該支撐件在至少一水平定向中自一第一未經偏置位置可位移至一第二經偏置參考位置,且在被釋放時,該彈性耦接件導致該本體之該至少部分返回至該第一未經偏置位置;該支撐部件之該本體包括一桿狀物,該桿狀物自該本體之該至少部分延伸通過該本體,且該桿狀物延伸至該支撐表面,藉以使一真空或減壓源被施加至該支撐表面,以便將一被支撐工件固定於其上之一經界定位置處。
  2. 如申請專利範圍第1項之支撐部件,其中該桿狀物為一滑動配合件,以允許該支撐部件之該本體之該至少部分在一垂直定向中位移。
  3. 如申請專利範圍第1項之支撐部件,其中該真空或減壓源將該工件維持平坦,其中該工件係翹曲或可撓性的。
  4. 如申請專利範圍第1項之支撐部件,其中該本體之該至少部分在該垂直定向中可位移,以便允許調整該支撐部件之垂直或Z軸位置,且可鎖定於一所參考垂直或Z軸位置處。
  5. 如申請專利範圍第1項之支撐部件,其中該支撐部件進一步包含:一基座,該本體之該至少部分在該垂直定向中可移動地耦接至該基座;及一偏置元件,其用以使該本體之該至少部分自該基座偏置,以便允許在將一偏置施加至該本體時,該本體之該至少部分相對於該基座自一第一停置位置移動,且提供在釋放對該偏置元件施加之該偏置時使 該本體返回至該第一停置位置。
  6. 如申請專利範圍第5項之支撐部件,其中該支撐部件之該基座係附接至一支撐平台。
  7. 如申請專利範圍第1項之支撐部件,其中該支撐部件之該本體包含一下部本體部分及一上部本體部分,該上部本體部分包括該支撐表面且可移動地耦接至該下部本體部分,使得該上部本體部分相對於該下部本體部分可位移。
  8. 如申請專利範圍第7項之支撐部件,其中該上部本體部分具有一頭部,該頭部包括用於支撐一工件之該支撐表面。
  9. 如申請專利範圍第8項之支撐部件,其中該頭部係可替換的。
  10. 如申請專利範圍第7項之支撐部件,其中該上部本體部分係可替換的。
  11. 如申請專利範圍第7項之支撐部件,其中該彈性耦接件將該上部本體部分耦接至該下部本體部分。
  12. 如申請專利範圍第7項之支撐部件,其中該彈性耦接件包含可偏轉之一彈性體或橡膠耦接件。
  13. 如申請專利範圍第12項之支撐部件,其中該彈性耦接件係由一低硬度計材料或一發泡材料所形成,且可選地呈一圓盤或套筒之形式。
  14. 如申請專利範圍第7項之支撐部件,其中該彈性耦接件包含一或多個彈簧元件。
  15. 如申請專利範圍第7項之支撐部件,其中該彈性耦接件包含一或多個螺旋或板片彈簧。
  16. 如申請專利範圍第7項之支撐部件,其中該彈性耦接件包含一或多個 彈性元件。
  17. 如申請專利範圍第7項之支撐部件,其中該彈性耦接件包含單一彈性元件。
  18. 如申請專利範圍第16項之支撐部件,其中該彈性耦接件包含複數個彈性元件。
  19. 如申請專利範圍第18項之支撐部件,其中該等彈性元件包含彈性體或橡膠元件。
  20. 一種用於支撐複數個單一化(singulated)工件之工件支撐總成,其中該工件支撐總成包含複數個如申請專利範圍第1項至第19項中任一項之支撐部件,且該等支撐部件各自支撐一工件。
  21. 如申請專利範圍第20項之工件支撐總成,其中該等工件係以單一化方式輸送於一工件載具之個別載具單元中,且該等支撐部件經建構以自該工件載具之該等載具單元收納該等工件且將該等工件返回至該工件載具之該等載具單元。
  22. 如申請專利範圍第20項之工件支撐總成,其中該等支撐部件係由一支撐平台支撐,該支撐平台包含具有上部表面及下部表面之一本體且包括各自收納一各別支撐部件之複數個鑽孔。
  23. 如申請專利範圍第22項之工件支撐總成,其中該等桿狀物各自界定一流體通道,該流體通道在該本體之該至少部分與該支撐平台之一下部表面之間延伸,其通常由一歧管流體地連接。
  24. 如申請專利範圍第22項之工件支撐總成,其中該支撐平台進一步包含一鎖定部件,該鎖定部件可致動以將該等支撐部件之該等本體鎖定於 一所參考垂直或Z軸位置處。
  25. 如申請專利範圍第22項之工件支撐總成,其中該支撐平台進一步包含一鎖定部件,該鎖定部件可致動以將該等支撐部件之該等本體鎖定於一所參考垂直或Z軸位置處。
  26. 如申請專利範圍第25項之工件支撐總成,其中該鎖定部件包括複數個孔隙,該等孔隙與該支撐平台中之該等鑽孔一致地配置;且在一第一解鎖位置與一第二鎖定位置之間可位移,在該第一解鎖位置中,該等支撐部件相對於該支撐平台之該本體垂直地可移動以便允許調整該等支撐部件之該等垂直或Z軸位置,在該第二鎖定位置中,該鎖定部件與該等支撐部件嚙合且鎖定該等支撐部件之該等垂直或Z軸位置。
  27. 如申請專利範圍第26項之工件支撐總成,其中該鎖定部件經偏置至該第一解鎖位置,使得當該鎖定部件被釋放時,該鎖定部件採用該第一解鎖位置。
  28. 如申請專利範圍第20項之工件支撐總成,其中該工件支撐總成包含作為一單一整體總成之一體式單元,該一體式單元自諸如一網版印刷機之一處理機可移除。
  29. 如申請專利範圍第20項之工件支撐總成,其中該工件支撐總成可重新建構,使得該等支撐部件可以任何所欲組態而配置。
  30. 一種工件參考系統,其包含如申請專利範圍第20項之工件支撐總成。
  31. 一種工件參考系統,其包含:如申請專利範圍第20項之工件支撐總成;及一工件參考總成,其用於將由該工件支撐總成所支撐之工件參考至預 定位置。
  32. 如申請專利範圍第31項之工件參考系統,其中該工件參考總成包含一水平參考件,該水平參考件用於在一水平定向中將該等工件參考至預定位置。
  33. 如申請專利範圍第32項之工件參考系統,其中該水平參考件包含一水平參考單元,該水平參考單元包含至少一水平參考部件,該至少一水平參考部件包括複數個參考表面,該等參考表面與該等支撐部件一致地配置,以便在該至少一水平參考部件在一水平定向中移動時嚙合由該等支撐部件所支撐之該等工件。
  34. 如申請專利範圍第33項之工件參考系統,其中該等參考表面各自包含至少一狹長邊緣或離散接觸點。
  35. 如申請專利範圍第33項之工件參考系統,其中該等參考表面各自包含複數個狹長邊緣或離散接觸點。
  36. 如申請專利範圍第34項之工件參考系統,其中該或該等接觸點包含彈性元件。
  37. 如申請專利範圍第36項之工件參考系統,其中該或該等接觸點包含彈性體或橡膠元件。
  38. 如申請專利範圍第36項之工件參考系統,其中該或該等接觸點包含彈簧元件。
  39. 如申請專利範圍第38項之工件參考系統,其中該或該等接觸點包含螺旋或板片彈簧。
  40. 如申請專利範圍第33項之工件參考系統,其中該至少一水平參考部件 包含一板元件,該板元件包括複數個孔隙,該等孔隙各自界定至少一參考表面。
  41. 如申請專利範圍第33項之工件參考系統,其中該至少一水平參考部件係沿著向該等工件之至少一邊緣傾斜之一軸線而移動。
  42. 如申請專利範圍第41項之工件參考系統,其中該等工件具有正交邊緣,且該至少一水平參考部件在該等正交邊緣中間的一方向上移動,視情況與該等正交邊緣成約35度至約55度而移動。
  43. 如申請專利範圍第33項之工件參考系統,其中該水平參考單元包含第一水平參考部件及第二水平參考部件,該等水平參考部件各自包括複數個參考表面,該等參考表面與該等支撐部件一致地配置,且該等水平參考部件在不同方向上可移動,以便在該等水平參考部件在一水平定向中移動時嚙合由該等支撐部件所支撐之該等工件。
  44. 如申請專利範圍第43項之工件參考系統,其中該等水平參考部件在實質上相對方向上移動。
  45. 如申請專利範圍第43項之工件參考系統,其中該等水平參考部件各自包含一板元件,該板元件包括複數個孔隙,該等孔隙各自界定至少一參考表面。
  46. 如申請專利範圍第45項之工件參考系統,其中該等水平參考部件中之一者包括相對於該等工件之尺寸而言過大的固定形狀之孔隙,該等孔隙之至少一邊緣包括一第一參考表面;且該等水平參考部件中之另一者包括對應物孔隙,該等對應物孔隙之至少一邊緣包括一突出物,該突出物延伸至該一水平參考部件中之該等孔隙中且提供一第二參考表 面,藉以使該第一水平參考部件及該第二水平參考部件之移動用以藉由該第一參考表面及該第二參考表面而嚙合該等工件且將該等工件定位於預定參考位置中。
  47. 如申請專利範圍第31項之工件參考系統,其中該工件參考總成包含一垂直參考件,該垂直參考件係操作以將由該等支撐部件所支撐之該等工件參考至一共同高度。
  48. 如申請專利範圍第47項之工件參考系統,其中該垂直參考件包含一垂直參考部件,該垂直參考部件在使用時安置於該工件支撐總成上方之一預定高度處且用以將由該等支撐部件所支撐之該等工件參考至一共同高度。
  49. 如申請專利範圍第48項之工件參考系統,其中該垂直參考部件包含一板元件。
  50. 如申請專利範圍第48項之工件參考系統,其中該垂直參考部件具有一平面下部表面。
  51. 如申請專利範圍第48項之工件參考系統,其進一步包含:一輸送機構,其用於將該垂直參考部件自一第一儲存位置移動至該工件支撐總成上方之一位置。
  52. 如申請專利範圍第51項之工件參考系統,其中該輸送機構包含:一支撐托架,其支撐該垂直參考部件;一可樞轉鏈接件,其耦接至該支撐托架且用以在不操作位置與操作位置之間平移該支撐托架;及一致動器,其係可操作以在該不操作位置與該操作位置之間移動該支撐托架。
  53. 如申請專利範圍第52項之工件參考系統,其中該支撐托架包含:第一 及第二臂狀物,其與該垂直參考部件之側向邊緣嚙合;及一本體,其以固定關係來支撐該等臂狀物,可選擇地,該等臂狀物自該本體成懸臂式。
  54. 如申請專利範圍第52項之工件參考系統,其中該可樞轉鏈接件包含複數個連桿。
  55. 一種工件參考總成,其用於將由一工件支撐總成之複數個支撐部件所支撐之工件參考至預定位置,其中該工件參考總成包含用於在一水平定向中將該等工件參考至預定位置之一水平參考件,其中該水平參考件包含一水平參考單元,該水平參考單元包含至少一水平參考部件,該至少一水平參考部件包括複數個參考表面,該等參考表面與該等支撐部件一致地配置,以便在該至少一水平參考部件在一水平定向中移動時嚙合由該等支撐部件所支撐之該等工件。
  56. 如申請專利範圍第55項之工件參考總成,其中該等參考表面各自包含至少一狹長邊緣或離散接觸點。
  57. 如申請專利範圍第55項之工件參考總成,其中該等參考表面各自包含複數個狹長邊緣或離散接觸點。
  58. 如申請專利範圍第56項之工件參考總成,其中該或該等接觸點包含彈性元件。
  59. 如申請專利範圍第58項之工件參考總成,其中該或該等接觸點包含彈性體或橡膠元件。
  60. 如申請專利範圍第58項之工件參考總成,其中該或該等接觸點包含彈簧元件。
  61. 如申請專利範圍第60項之工件參考總成,其中該或該等接觸點包含螺旋或板片彈簧。
  62. 如申請專利範圍第55項之工件參考總成,其中該至少一水平參考部件包含一板元件,該板元件包括複數個孔隙,該等孔隙各自界定至少一參考表面。
  63. 如申請專利範圍第55項之工件參考總成,其中該至少一水平參考部件係沿著向該等工件之至少一邊緣傾斜之一軸線而移動。
  64. 如申請專利範圍第63項之工件參考總成,其中該等工件具有正交邊緣,且該至少一水平參考部件在該等正交邊緣中間的一方向上移動,視情況與該等正交邊緣成約35度至約55度而移動。
  65. 如申請專利範圍第55項之工件參考總成,其中該水平參考單元包含第一水平參考部件及第二水平參考部件,該等水平參考部件各自包括複數個參考表面,該等參考表面與該等支撐部件一致地配置,且該等水平參考部件在不同方向上可移動,以便在該等水平參考部件在一水平定向中移動時嚙合由該等支撐部件所支撐之該等工件。
  66. 如申請專利範圍第65項之工件參考總成,其中該等水平參考部件在實質上相對方向上移動。
  67. 如申請專利範圍第65項之工件參考總成,其中該等水平參考部件各自包含一板元件,該板元件包括複數個孔隙,該等孔隙各自界定至少一參考表面。
  68. 如申請專利範圍第67項之工件參考總成,其中該等水平參考部件中之一者包括相對於該等工件之尺寸而言過大的固定形狀之孔隙,該等孔 隙之至少一邊緣包括一第一參考表面;且該等水平參考部件中之另一者包括對應物孔隙,該等對應物孔隙之至少一邊緣包括一突出物,該突出物延伸至該水平參考部件中之該等孔隙中且提供一第二參考表面,藉以使該第一水平參考部件及該第二水平參考部件之移動用以藉由該第一參考表面及該第二參考表面而嚙合該等工件且將該等工件定位於預定參考位置中。
  69. 如申請專利範圍第55項之工件參考總成,其中該工件參考總成包含一垂直參考件,該垂直參考件係操作以將由該等支撐部件所支撐之該等工件參考至一共同高度。
  70. 如申請專利範圍第69項之工件參考總成,其中該垂直參考件包含一垂直參考部件,該垂直參考部件在使用時安置於該支撐總成上方之一預定高度處且用以將如由該等支撐部件所支撐之該等工件參考至一共同高度。
  71. 如申請專利範圍第70項之工件參考總成,其中該垂直參考部件包含一板元件。
  72. 如申請專利範圍第70項之工件參考總成,其中該垂直參考部件具有一平面下部表面。
  73. 如申請專利範圍第70項之工件參考總成,其進一步包含:一輸送機構,其用於將該垂直參考部件自一第一儲存位置移動至該工件支撐總成上方之一位置。
  74. 如申請專利範圍第73項之工件參考總成,其中該輸送機構包含:一支撐托架,其支撐該垂直參考部件;一可樞轉鏈接件,其耦接至該支撐 托架且用以在不操作位置與操作位置之間平移該支撐托架;及一致動器,其可操作以在該不操作位置與該操作位置之間移動該支撐托架。
  75. 如申請專利範圍第74項之工件參考總成,其中該支撐托架包含:第一及第二臂狀物,其與該垂直參考部件之側向邊緣嚙合;及一本體,其以固定關係來支撐該等臂狀物,可選擇地,該等臂狀物自該本體成懸臂式。
  76. 如申請專利範圍第74項之工件參考總成,其中該可樞轉鏈接件包含複數個連桿。
  77. 一種工件參考系統,其包含如申請專利範圍第55項之工件參考總成。
  78. 如申請專利範圍第20項之工件支撐總成或如申請專利範圍第55項之工件參考總成,其中該等工件包含由一共同載具元件所支撐之複數個工件元件。
  79. 一種參考複數個單一化工件之方法,該方法包含如下步驟:提供用於支撐複數個工件之一工件支撐總成,其中該工件支撐總成包含各自經建構以支撐一個別工件之複數個支撐部件,其中該等支撐部件各自包含:一支撐件;一本體,該本體包括支撐一工件之一支撐表面;及一彈性耦接件,該彈性耦接件相對於該支撐件彈性地耦接該本體之至少一部分,使得該本體之該至少部分相對於該支撐件自一第一未經偏置位置可位移至一第二經偏置參考位置,且在被釋放時,該本體之該至少部分返回至該第一未經偏置位置;將工件提供至該等支撐部件之該等支撐表面;藉由使該等工件及支撐該等工件的該等支撐部件中每一者之該本體之 該至少部分在至少一水平定向中自一第一未經偏置位置位移至一第二經偏置參考位置以在水平定向中將該等工件參考至預定位置,在該第二經偏置參考位置處執行一處理操作,可選擇地執行一網版印刷操作;釋放該等支撐部件中每一者之該本體之該至少部分,藉以該等支撐部件之該等彈性耦接件使該等支撐部件中每一者之該本體之該至少部分返回至該第一未經偏置位置;及自該等支撐部件之該等支撐表面移除該等工件。
  80. 如申請專利範圍第79項之方法,其中該等工件係以單一化方式輸送於一工件載具之個別載具單元中,且該等支撐部件經建構以自該工件載具之該等載具單元收納該等工件且將該等工件返回至該工件載具之該等載具單元。
  81. 如申請專利範圍第79項之方法,其進一步包含如下步驟:將一真空或減壓源施加至該支撐表面以便將一所支撐工件固定於其上之一經界定位置處。
  82. 如申請專利範圍第81項之方法,其中該真空或減壓源將該工件維持平坦,其中該工件係翹曲或可撓性的。
  83. 如申請專利範圍第81項之方法,其中每一支撐部件之該本體包括自其該支撐表面延伸至一歧管的一流體通道,一真空或減壓源通常施加於該歧管處。
  84. 如申請專利範圍第81項之方法,其中該等支撐部件各自在垂直定向中可移動,且進一步包含如下步驟:將該等支撐部件中每一者之該支撐表面參考至一共同垂直或Z軸位 置;及將該等支撐部件之該等本體鎖定於參考的該垂直或Z軸位置處。
  85. 如申請專利範圍第84項之方法,其中該等支撐部件各自進一步包含:一基座,該支撐部件之該本體之該至少部分在該垂直定向中可移動地耦接至該基座;及一偏置元件,其用以使該支撐部件之該本體之該至少部分自該支撐部件之該基座偏置,以便允許在將一偏置施加至該支撐部件之該本體時該支撐部件之該本體相對於該支撐部件之該基座自一第一停置位置移動,且提供在釋放對該偏置元件施加之該偏置時使該支撐部件之該本體返回至該第一停置位置。
  86. 如申請專利範圍第85項之方法,其中該支撐部件之該基座附接至一支撐平台。
  87. 如申請專利範圍第85項之方法,其中該支撐部件之該本體包含一下部本體部分及一上部本體部分,該上部本體部分包括該支撐表面且可移動地耦接至該下部本體部分,使得該上部本體部分相對於該下部本體部分可位移。
  88. 如申請專利範圍第87項之方法,其中該上部本體部分具有一頭部,該頭部包括用於支撐一工件之該支撐表面。
  89. 如申請專利範圍第88項之方法,其中該頭部係可替換的。
  90. 如申請專利範圍第87項之方法,其中該上部本體部分係可替換的。
  91. 如申請專利範圍第87項之方法,其中該彈性耦接件將該上部本體部分耦接至該下部本體部分。
  92. 如申請專利範圍第79項之方法,其中該工件支撐總成包含作為一單一 整體總成之一個一體式單元,該一體式單元自諸如一網版印刷機之一處理機可移除。
  93. 如申請專利範圍第79項之方法,其中該工件支撐總成可重新組態,使得該等支撐部件可以任何所欲組態而配置。
  94. 如申請專利範圍第79項之方法,其中藉由操作一水平參考件而在一水平定向中將該等工件參考至預定位置。
  95. 如申請專利範圍第94項之方法,其中該水平參考件包含一水平參考單元,該水平參考單元包含至少一水平參考部件,該至少一水平參考部件包括複數個參考表面,該等參考表面與該等支撐部件一致地配置,且該參考步驟包含:藉由在一水平定向中移動該至少一水平參考部件使得該等參考表面與由該等支撐部件所支撐之該等工件嚙合而嚙合該等工件,且在該水平定向中將該等工件移動至該等預定位置。
  96. 如申請專利範圍第95項之方法,其中該等參考表面各自包含至少一狹長邊緣或離散接觸點。
  97. 如申請專利範圍第95項之方法,其中該等參考表面各自包含複數個狹長邊緣或離散接觸點。
  98. 如申請專利範圍第96項之方法,其中該或該等接觸點包含彈性元件。
  99. 如申請專利範圍第95項之方法,其中該至少一水平參考部件包含一板元件,該板元件包括複數個孔隙,該等孔隙各自界定至少一參考表面。
  100. 如申請專利範圍第95項之方法,其中該至少一水平參考部件係沿著向該等工件之至少一邊緣傾斜之一軸線而移動。
  101. 如申請專利範圍第100項之方法,其中該等工件具有正交邊緣,且該 至少一水平參考部件在該等正交邊緣中間的一方向上移動,視情況與該等正交邊緣成約35度至約55度而移動。
  102. 如申請專利範圍第95項之方法,其中該水平參考單元包含第一水平參考部件及第二水平參考部件,該等水平參考部件各自包括複數個參考表面,該等參考表面與該等支撐部件一致地配置,且該等水平參考部件在不同方向上可移動,且該參考步驟包含:藉由在一水平定向中使該等水平參考部件朝向彼此移動使得其該等參考表面與如由該等支撐部件所支撐之該等工件嚙合而嚙合該等工件,且在該水平定向中將該等工件移動至該等預定位置。
  103. 如申請專利範圍第102項之方法,其中該等水平參考部件在實質上相對方向上移動。
  104. 如申請專利範圍第102項之方法,其中該等水平參考部件各自包含一板元件,該板元件包括複數個孔隙,該等孔隙各自界定至少一參考表面。
  105. 如申請專利範圍第104項之方法,其中該等水平參考部件中之一者包括相對於該等工件之尺寸而言過大的固定形狀之孔隙,該等孔隙之至少一邊緣包括一第一參考表面;且該等水平參考部件中之另一者包括對應物孔隙,該等對應物孔隙之至少一邊緣包括一突出物,該突出物延伸至該一水平參考部件中之該等孔隙中且提供一第二參考表面,藉以使該第一水平參考部件及該第二水平參考部件之移動用以藉由該第一參考表面及該第二參考表面而嚙合該等工件且將該等工件定位於預定參考位置中。
  106. 如申請專利範圍第79項之方法,其進一步包含如下步驟:藉由使該等工件及支撐該等工件的該等支撐部件中每一者之該本體之該至少部分在至少一垂直定向中位移以在該垂直定向中將該等工件參考至預定位置。
  107. 如申請專利範圍第79項之方法,其中藉由操作一垂直參考件而在一垂直定向中將該等工件參考至預定位置。
  108. 如申請專利範圍第107項之方法,其中該垂直參考件包含一垂直參考部件,該垂直參考部件以一預定高度而安置,且用以藉由該工件支撐總成相對於該垂直參考部件之移動、藉由該垂直參考部件相對於該工件支撐總成之移動或藉由該工件支撐總成及該垂直參考部件兩者相對於彼此之移動來將由該等支撐部件所支撐之該等工件參考至一共同高度。
  109. 如申請專利範圍第108項之方法,其中該垂直參考部件包含一板元件。
  110. 如申請專利範圍第108項之方法,其中在該垂直定向中將該等工件參考至預定位置之該步驟包含:將該垂直參考部件自一第一儲存位置移動至該工件支撐總成上方之一第二位置,及提昇該工件支撐總成使得該等工件與該垂直參考部件之一下部表面嚙合。
  111. 如申請專利範圍第110項之方法,其中該垂直參考部件係由一支撐托架所支撐,該支撐托架耦接至一可樞轉鏈接件,且移動該垂直參考部件之該步驟包含在該第一位置與該第二位置之間平移該支撐托架的步驟。
  112. 如申請專利範圍第111項之方法,其中該支撐托架包含:第一及第二 臂狀物,其與該垂直參考部件之側向邊緣嚙合;及一本體,其以固定關係來支撐該等臂狀物,視情況該等臂狀物自該本體成懸臂式。
  113. 如申請專利範圍第111項或第112項之方法,其中該可樞轉鏈接件包含複數個連桿。
TW103112816A 2013-04-08 2014-04-08 用於支撐工件的支撐部件、包含複數個所述支撐部件的工件支撐總成、結合所述工件支撐總成的工件參考系統、包含所述工件支撐總成的工件參考系統、用於參考工件的工件參考總成、結合所述工件參考總成的工件參考系統以及參考單一化工件之方法 TWI695782B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201361809558P 2013-04-08 2013-04-08
US61/809,558 2013-04-08

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201501948A TW201501948A (zh) 2015-01-16
TWI695782B true TWI695782B (zh) 2020-06-11

Family

ID=50473304

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW103112816A TWI695782B (zh) 2013-04-08 2014-04-08 用於支撐工件的支撐部件、包含複數個所述支撐部件的工件支撐總成、結合所述工件支撐總成的工件參考系統、包含所述工件支撐總成的工件參考系統、用於參考工件的工件參考總成、結合所述工件參考總成的工件參考系統以及參考單一化工件之方法

Country Status (6)

Country Link
US (2) US10889102B2 (zh)
CN (2) CN107833855B (zh)
MY (1) MY187268A (zh)
PH (1) PH12015502346A1 (zh)
TW (1) TWI695782B (zh)
WO (1) WO2014166956A1 (zh)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104354453B (zh) * 2014-10-21 2017-02-08 苏州迈为科技股份有限公司 一种太阳能电池片的高效印刷方法及其装置
GB2580347A (en) * 2019-01-03 2020-07-22 Asm Assembly Systems Singapore Pte Ltd Alignment of singulated workpieces
JP7327415B2 (ja) * 2019-01-24 2023-08-16 Agc株式会社 基材保持装置、基材保持方法、および、基材保持装置を備える曲面スクリーン印刷装置
TWI707740B (zh) 2019-11-26 2020-10-21 財團法人工業技術研究院 可調式工件支撐系統及方法
GB2596517A (en) 2020-06-22 2022-01-05 Asm Assembly Systems Singapore Pte Ltd Workpiece alignment and printing
GB2619961A (en) 2022-06-23 2023-12-27 Asm Assembly Systems Singapore Pte Ltd Alignment of singulated substrates
GB2623976A (en) * 2022-11-01 2024-05-08 Asmpt Smt Singapore Pte Ltd Referencing system for singulated workpieces

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW439168B (en) * 1998-11-19 2001-06-07 Applied Materials Inc Improved apparatus for retaining a workpiece upon a workpiece support and method of manufacturing same
US20040177520A1 (en) * 2003-01-22 2004-09-16 Nsk Ltd. Positioning apparatus

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4621967A (en) 1982-01-18 1986-11-11 Usm Corporation Automatic board loaders
US4793814A (en) * 1986-07-21 1988-12-27 Rogers Corporation Electrical circuit board interconnect
US5882055A (en) * 1996-02-12 1999-03-16 Aetrium Incorporated Probe for handling microchips
US5699621A (en) * 1996-02-21 1997-12-23 Massachusetts Institute Of Technology Positioner with long travel in two dimensions
US6370766B1 (en) * 1997-02-28 2002-04-16 Lucent Technologies Inc. Manufacture of printed circuit cards
EP0997741A3 (en) * 1998-10-31 2001-04-04 Mirae Corporation Carrier for an integrated circuit module handler
US6609304B1 (en) * 2000-08-08 2003-08-26 Tkh Co., Ltd. Two-dimensional moving system
SG121019A1 (en) * 2004-09-27 2006-04-26 Rokko Systems Pte Ltd A conversion kit
DE102010005016B3 (de) * 2010-01-19 2011-06-22 ASM Assembly Systems GmbH & Co. KG, 81379 Verfahren bzw. Bestückautomat zur Bestückung von Bauelementen an eine Leiterplatte
US20110271968A1 (en) 2010-05-07 2011-11-10 Carolyn Rierson Carpenter Filtered Cigarette With Modifiable Sensory Characteristics
JP2013022642A (ja) * 2011-07-26 2013-02-04 Orii & Mec Corp ワーク搬送装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW439168B (en) * 1998-11-19 2001-06-07 Applied Materials Inc Improved apparatus for retaining a workpiece upon a workpiece support and method of manufacturing same
US20040177520A1 (en) * 2003-01-22 2004-09-16 Nsk Ltd. Positioning apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
US11660853B2 (en) 2023-05-30
US10889102B2 (en) 2021-01-12
MY187268A (en) 2021-09-17
US20160039196A1 (en) 2016-02-11
CN105359264B (zh) 2019-04-19
WO2014166956A1 (en) 2014-10-16
PH12015502346B1 (en) 2016-02-22
CN105359264A (zh) 2016-02-24
TW201501948A (zh) 2015-01-16
US20210070033A1 (en) 2021-03-11
PH12015502346A1 (en) 2016-02-22
CN107833855A (zh) 2018-03-23
CN107833855B (zh) 2021-11-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI695782B (zh) 用於支撐工件的支撐部件、包含複數個所述支撐部件的工件支撐總成、結合所述工件支撐總成的工件參考系統、包含所述工件支撐總成的工件參考系統、用於參考工件的工件參考總成、結合所述工件參考總成的工件參考系統以及參考單一化工件之方法
US8322697B2 (en) Clamping device for adjoining board materials
US6695298B1 (en) Flexible, self conforming, workpiece support system and accessories
US9245784B2 (en) Substrate retaining device with push back portion
KR102372646B1 (ko) 기판 처리 장치
US8556315B2 (en) Vacuum gripper assembly
CN105493652A (zh) 对基板作业装置
JP2018065216A (ja) ワーク吸着固定治具
JP2018079545A (ja) 吸着機能を備えた載置テーブル
CN100374298C (zh) 接合材料的印刷装置以及印刷方法
KR102040946B1 (ko) 노즐 교환 장치
TW458891B (en) Screen printing apparatus
TWI731644B (zh) 彈性載體
JP4324800B2 (ja) 基板支持具
KR101509863B1 (ko) 차량용 차체패널의 근접홀 가공 장치
FI118039B (fi) Menetelmä modulaarisen kokoonpanolinjan säätämiseksi ja modulaarisen kokoonpanolaitteen paikoitusyksikkö
JP4330392B2 (ja) 部品実装装置
KR102510962B1 (ko) 기판 이송 장치 및 기판 이송 방법
KR20240062960A (ko) 단일화된 작업편들을 위한 기준 시스템
JP2009291886A (ja) 研磨装置
WO2010049706A1 (en) Tooling fixture for and method of supporting workpieces
JP4865325B2 (ja) 回路基板保持具
JP4674536B2 (ja) スクリーン印刷方法
JP2007273565A (ja) 基板保持装置
JP4666823B2 (ja) 電子部品実装装置の基板バックアップ機構