JP2009291886A - 研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨装置の基板ホルダ11は、中央部に角型基板を吸着保持するチャックが設けられたホルダベース110と、中央部に角孔を有する円盤状のリテーナを前後に分割して形成された分割リテーナ120と、ホルダベースに対して分割リテーナを上下移動させるリテーナ昇降機構130と、分割リテーナを閉じて一体の円盤状にした閉位置と分割リテーナを開いて角型基板の側端面を露出させた開位置とに開閉可能に構成されたリテーナ開閉機構150とを備えて構成される。
【選択図】図1
Description
11 基板ホルダ 21 研磨ヘッド
23 研磨パッド 30 ヘッド移動機構
110 ホルダベース 120 分割リテーナ
130 リテーナ昇降機構 131 ダイヤフラム
135 昇降圧制御回路(制御回路) 150 リテーナ開閉機構
Claims (4)
- 角型基板を研磨対象面が上向きの水平姿勢で保持し下方に延びる回転軸廻りに回転駆動される基板ホルダと、前記角型基板の対角寸法よりも大径の研磨パッドを研磨面が下向きの水平姿勢で保持し上方に延びる回転軸廻りに回転駆動される研磨ヘッドと、前記基板ホルダに対して前記研磨ヘッドを相対移動させるヘッド移動機構とを備え、
前記基板ホルダは、
中央部に前記角型基板を吸着保持するチャックが設けられたホルダベース、
中央部に前記角型基板よりも僅かに大きい角孔を有する円盤状のリテーナを複数に分割して形成され前記ホルダベースの上部に設けられた分割リテーナ、
前記ホルダベースに対して前記分割リテーナを上下移動させるリテーナ昇降機構、
及び、前記分割リテーナを前記ホルダベースの中央部に閉じて前記角型基板の周囲を囲む一体の円盤状にした閉位置と、前記分割リテーナを前記ホルダベースの中央部から外方に開いて前記角型基板の側端面を露出させた開位置とに開閉可能に構成されたリテーナ開閉機構を備え、
前記角型基板を前記基板ホルダに搬入し及び前記基板ホルダから搬出する際に、前記リテーナ開閉機構により前記分割リテーナを前記開位置に設定し、前記角型基板を研磨加工する際に、前記リテーナ開閉機構により前記分割リテーナを前記閉位置に設定するとともに前記リテーナ昇降機構により前記分割リテーナの上面が前記角型基板の上面と略同一高さになるように構成したことを特徴とする研磨装置。 - 前記リテーナ昇降機構は、前記ホルダベースと前記分割リテーナとの間に設けられたダイヤフラムと、前記ダイヤフラムの内圧を制御する制御回路とを備え、
前記角型基板を研磨加工する際に、前記ダイヤフラムの内圧を正圧として前記分割リテーナを前記研磨パッドに所定圧力で押接させるように構成したことを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記角型基板を前記基板ホルダに搬入し及び前記基板ホルダから搬出する際に、前記ダイヤフラムの内圧を負圧として前記分割リテーナの上面が前記角型基板の上面よりも低くなるように構成したことを特徴とする請求項2に記載の研磨装置。
- 前記分割リテーナの上面が前記角型基板の材料と同一材料で形成され、前記所定圧力が前記角型基板の研磨加工圧と同一圧力となるように構成したことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の研磨装置。
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