KR100926320B1

KR100926320B1 - 유리기판 연마장치 및 방법

Info

Publication number: KR100926320B1
Application number: KR1020080009525A
Authority: KR
Inventors: 김태성
Original assignee: (주)미래컴퍼니
Priority date: 2008-01-30
Filing date: 2008-01-30
Publication date: 2009-11-12
Also published as: KR20090083617A

Abstract

유리기판 연마장치 및 방법이 개시된다. 연마휠의 외주면이 유리기판의 에지(edge)에 접하도록 하여 에지를 연마하는 장치로서, 유리기판의 중심부를 지지하는 회전 테이블과, 회전 테이블의 표면에 형성되며, 공기를 흡입하여 유리기판을 흡착하는 흡착부와, 유리기판의 하방에서 유리기판의 양 단부를 지지하며, 상호 간의 거리가 조절가능한 한 쌍의 연마 테이블과, 한 쌍의 연마 테이블에 상응하여 유리기판의 상방에 위치하며, 유리기판의 양 단부를 가압하여 유리기판의 에지가 연마휠에 접하도록 유리기판의 단부를 가이드하는 한 쌍의 가이드부를 포함하는 유리기판 연마장치는, 유리기판의 규격에 따라 그 크기가 변경되더라도 연마 테이블을 교체하지 않고 사용할 수 있고, 연마 테이블의 진공 흡착 공정이 생략되므로 유리기판 에지연마의 택 타임(tact time)을 대폭 절감할 수 있으며, 연마 테이블에 사용되던 진공 라인을 제거함으로써 복잡한 공압 부품 및 배관들이 모두 불필요하여 연마 테이블의 구조가 간단해지고 에러 발생이 최소화되며, 유리기판 에지의 연마시 단부의 처짐을 방지함으로써 에지 연마의 정밀도를 제고할 수 있다.

유리기판, 연마, 워터 가이드

Description

유리기판 연마장치 및 방법{Apparatus and method of grinding glass plate}

본 발명은 유리기판 연마장치 및 방법에 관한 것이다.

최근 액정디스플레이(LCD) 패널 등 평판 디스플레이에는 평판 형태의 유리기판이 사용되고 있으며, 이를 위해 디스플레이 패널을 제조하는 과정에서 유리기판을 절단하고 유리기판의 에지(edge)를 연마하는 공정이 수행된다.

통상 디스플레이 패널은 액정이 봉입된 상하 유리기판으로 구성되고, 이 유리기판의 측부에 인쇄회로기판이 설치되어 있다. 이 인쇄회로기판과 액정패널의 단자부를 전기적으로 연결시켜 액정표시소자가 구동하게 되는데, 이때 사용되는 것이 플렉서블 커넥터이다. 유리기판을 절단한 후 곧바로 디스플레이 패널에 사용할 경우에는 유리기판 에지의 모서리에 의해 인쇄회로기판과 유리기판의 단자부를 연결하는 플렉서블 커넥터가 절단될 우려가 있다. 따라서, 이러한 유리기판의 에지는 절단공정에 후행하는 연마공정을 통해 재가공하게 되는데, 통상의 연마공정은 절단에 의해 날카롭게 형성된 유리기판의 에지를 고속으로 회전하는 연마휠의 외주면에 접하도록 함으로써 날카로운 모서리를 매끄럽게 성형하게 된다.

도 1은 종래기술에 따른 유리기판 연마장치의 측면도이다. 도 1을 참조하면, 종래기술에 따른 유리기판 연마장치는 유리기판(100)의 단부의 양 에지에 상응하는 위치에 배치되는 한 쌍의 연마휠(102)과, 유리기판을 지지하고 유리기판의 장변과 단변의 에지 연마에 대응하도록 유리기판을 회전시키는 지지테이블(104)로 구성된다.

종래기술에 따른 유리기판 지지테이블(104)은 연마하고자 하는 유리기판의 규격에 따라 유리기판의 크기가 변경되는 경우 그에 상응하는 크기의 지지테이블(104)로 교체해야 한다. 이에 따라 유리기판의 크기에 상응하는 지지테이블(104)을 다수 준비해야 하고, 테이블의 준비에 따른 지지테이블(104)의 제작비용의 증가와 지지테이블(104)의 교체시간이 소요되어 공정시간이 길어지는 문제점이 있었다.

지지테이블(104)이 유리기판의 규격에 따른 유리기판의 크기에 적절히 대응되지 않은 경우 유리기판 단부에 처짐이 발생하여 에지 연마의 정밀도가 떨어지는 문제가 있다.

또한, 유리기판의 크기에 상응하는 지지테이블(104)로 유리기판을 지지하더라도 지지테이블(104)이 유리기판의 하부만을 지지하고 고정하게 되므로, 유리기판이 지지테이블(104)에 의해 연마휠로 진입하여 유리기판의 에지의 연마를 수행할 때 연마휠의 회전에 의해 유리기판의 단부에 미세한 진동이 발생하여 에지 연마의 정밀도가 떨어지는 문제가 있다.

본 발명은 유리기판의 에지 연마시 단부의 처짐을 방지하고, 연마휠의 회전에 의한 유리기판의 진동을 최소화하여 유리기판 에지 연마의 정밀도를 제고할 수 있는 유리기판 연마장치 및 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 연마휠의 외주면이 유리기판의 에지(edge)에 접하도록 하여 에지를 연마하는 장치로서, 유리기판의 중심부를 지지하는 회전 테이블과, 회전 테이블의 표면에 형성되며, 공기를 흡입하여 유리기판을 흡착하는 흡착부와, 유리기판의 하방에서 유리기판의 양 단부를 지지하며, 상호 간의 거리가 조절가능한 한 쌍의 연마 테이블과, 한 쌍의 연마 테이블에 상응하여 유리기판의 상방에 위치하며, 유리기판의 양 단부를 가압하여 유리기판의 에지가 연마휠에 접하도록 유리기판의 단부를 가이드하는 한 쌍의 가이드부를 포함하는 유리기판 연마장치가 제공된다.

회전 테이블이 결합되는 구동부를 더 포함하되, 회전 테이블은 구동부를 중심으로 회전할 수 있다. 회전 테이블은 유리기판을 흡착하여 유리기판을 회전시키며, 연마 테이블은 유리기판의 단부를 지지하도록 그 거리가 조절될 수 있다. 또한, 연마 테이블의 표면에는 유체를 분사하는 분사부가 형성되어, 회전 테이블이 유리기판을 회전시킬 때 분사부를 통해 유체를 분사할 수 있다.

가이드부는 연마 테이블이 지지하고 있는 유리기판의 단부를 향하여 물을 분사하는 워터 가이드(water guide)를 포함할 수 있으며, 워터 가이드는 연마과정에서 유리기판이 연마 테이블에 밀착되도록 물을 분사할 수 있다. 워터 가이드와 유리기판 간의 간격은 0.01mm 내지 3mm이고, 워터 가이드는 2 kg/cm² 내지 5 kg/cm²의 압력, 및/또는 2 l/min 내지 10 l/min의 유량으로 물을 분사할 수 있다.

또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 연마휠의 외주면이 유리기판의 에지(edge)에 접하도록 하여 에지를 연마하는 방법으로서, 유리기판의 중심부를 흡착하여 회전시키는 단계, 한 쌍의 연마 테이블의 거리를 조절하여 유리기판의 하방에서 유리기판의 양 단부를 지지하는 단계, 한 쌍의 연마 테이블에 상응하여 유리기판의 상방에서 유리기판의 양 단부를 가압하는 단계, 및 유리기판의 에지에 연마휠이 접하도록 하여 유리기판의 에지를 연마하는 단계를 포함하는 유리기판 연마방법이 제공된다.

연마 테이블의 표면에는 유체를 분사하는 분사부가 형성되며, 회전 단계는, 분사부를 통해 유체를 분사하는 단계를 포함할 수 있다. 가압 단계는, 연마 테이블이 지지하고 있는 유리기판의 단부를 향하여 물을 분사하여 유리기판이 연마 테이블에 밀착되도록 하는 단계를 포함할 수 있다.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 잇점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.

상술한 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 유리기판의 규격에 따라 그 크기가 변경되더라도 연마 테이블을 교체하지 않고 사용할 수 있고, 연마 테이블의 진공 흡착 공정이 생략되므로 유리기판 에지연마의 택 타임(tact time)을 대폭 절감할 수 있으며, 연마 테이블에 사용되던 진공 라인을 제거함으로써 복잡한 공압 부품 및 배관들이 모두 불필요하여 연마 테이블의 구조가 간단해지고 에러 발생이 최소화되며, 유리기판 에지의 연마시 단부의 처짐을 방지함으로써 에지 연마의 정밀도를 제고할 수 있다.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것 으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 연마장치를 나타낸 평면도이고, 도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 연마장치를 나타낸 측면도이다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 유리기판(3), 회전 테이블(10), 흡착부(12), 구동부(14), 연마 테이블(20), 분사부(22), 가이드부(30)가 도시되어 있다.

본 실시예에 따른 유리기판 연마장치는 유리기판(3)을 올려놓기 위한 테이블과 유리기판(3)의 에지에 접촉하여 에지를 연마하는 연마휠로 구성된다. 테이블은 유리기판(3)의 중심부를 지지하는 회전 테이블(10)과 유리기판(3)의 단부를 지지하는 연마 테이블(20)로 이루어진다.

회전 테이블(10)은 구동부(14)에 결합되며 구동부(14)에 의해 회전하도록 구성되는데, 구동부(14)에는 모터, 기어, 유압잭 등의 회전수단 및/또는 승강수단이 설치되어 회전 테이블(10)이 유리기판(3)을 지지한 상태에서 회전 및 승강이 가능하도록 한다.

또한, 회전 테이블(10)의 표면에는 공기를 흡입하는 흡착부(12)가 하나 또는 복수로 형성되어 유리기판(3)이 회전 테이블(10)에 흡착, 고정되도록 한다. 이와 같이 회전 테이블(10)에 형성되는 흡착부(12)는 유리기판(3)을 회전, 승강시킬 때 유리기판(3)이 회전 테이블(10)에 고정된 채로 회전, 승강하도록 하는 역할을 하며, 에지 연마과정에서 유리기판(3)이 연마휠에 의해 밀리지 않도록 지탱하는 역할을 한다.

회전 테이블(10)은 유리기판(3)의 중심부를 지지하며, 그 크기는 연마 대상이 되는 유리기판(3)의 최소 사이즈에 맞도록 설계되므로, 회전 테이블(10)의 표면에 형성되는 흡착부(12)는 하나의 진공 라인으로 연결되어도 무방하다. 즉, 연마 테이블(20)에는 진공 라인을 연결하지 않아도 되며, 회전 테이블(10) 상에 형성되는 흡착부(12)에만 진공 라인을 연결함으로써 유리기판(3)의 흡착 고정, 승강 및 회전이 가능하게 된다.

이처럼 다양한 사이즈의 유리기판에 대응하기 위해 수십 개의 진공 라인을 연마 테이블(20)에 연결하는 대신, 연마 테이블(20)에 연결되는 진공 라인들을 제거하고 회전 테이블(10)에만 하나의 진공 라인을 연결함으로써, 진공 라인 연결에 필요한 복잡한 공압 부품 및 배관들을 모두 제거할 수 있고 테이블의 구조가 간단해져 원가 절감이 가능해진다.

하나의 진공 라인을 연결하기 위해서는 진공용 솔레노이드 밸브, 진공해제용 솔레노이드 밸브, 진공 센서, 레귤레이터, 튜브, 피팅 등의 다양한 부품이 소요되는데, 종래의 수십 개의 진공 라인을 하나로 절감함으로써 테이블 제작비용이 대폭 절감된다.

예를 들어, 30가지의 유리기판 사이즈에 대응하기 위해 연마 테이블(20)에 20 내지 30개의 진공 라인을 설치한다고 할 때, 1개의 진공 라인을 생략함으로써 약 수 십만 원 정도의 원가가 절감될 수 있으며, 30개의 진공 라인을 생략할 경우 수백만 원의 절감 효과를 도출하여 테이블 제작비용의 약 30%의 금액이 절감될 수 있는 것이다.

또한, 다양한 유리기판 사이즈에 대응하기 위해 연마 테이블(20)에 수십 개의 진공 라인을 연결함으로써 발생할 수 있었던 진공 라인 막힘, 진공 라인 부품 고장 등으로 인한 에러가 미연에 방지되고 테이블의 구조가 간단하여 메인터넌스(maintenance) 측면에서도 유리하다.

유리기판(3)의 단부를 지지하는 연마 테이블(20)은 한 쌍으로 이루어져 유리기판(3)의 하방에서 유리기판(3)의 양 단부를 지지하는데, 상호 간의 거리는 조절가능하다. 연마 테이블(20) 간의 거리 조절을 위한 이동수단으로는 기어, 래크, 체인, 케이블, LM(Linear Motion) 등 다양한 이동수단이 사용될 수 있다.

전술한 것처럼 회전 테이블(10)이 유리기판(3)을 흡착하여 유리기판(3)을 회전시킴으로써 연마휠이 유리기판(3)의 장변과 단변을 각각 연마할 수 있게 된다. 연마휠을 에지에 접촉시켜 유리기판(3)의 장변(또는 단변)을 연마한 후, 회전테이 블이 유리기판(3)을 90도 회전시킨 후 다시 연마휠을 에지에 접촉시켜 유리기판(3)의 단변(또는 장변)을 연마하게 된다.

이 과정에서 연마 테이블(20)은 유리기판(3)의 아래쪽에서 유리기판(3)의 단부가 처지지 않도록 지지하는 역할을 하며, 유리기판(3)의 장변 또는 단변이 연마될 때 유리기판(3)의 단부를 효과적으로 지지할 수 있도록 연마 테이블(20) 간의 거리가 조절되는 것이다.

도 2를 예로 들어 설명하면, 유리기판(3)의 장변을 연마하기 위해 연마 테이블(20)이 실선으로 도시된 것처럼 유리기판(3)의 단부를 지지한 후, 유리기판(3)이 90도 회전할 때 연마 테이블(20)은 유리기판(3)의 단변을 지지하기 위해 점선으로 도시된 것처럼 이동하는 것이다.

본 실시예에 따른 연마 테이블(20)에는 유리기판(3)을 흡착, 고정하기 위한 흡착부는 형성되어 있지 않고, 단순히 유리기판(3)을 아래쪽에서 지탱하는 역할을 하게 된다. 이로써 연마 테이블(20)에 설치되는 많은 수의 진공 라인 관련 부품들이 생략될 수 있고, 그로 인하여 원가 절감, 에러 방지 등의 효과가 도출될 수 있음은 전술한 바와 같다.

연마 테이블(20)의 표면에 흡착부는 형성되지 않지만, 유체를 분사하는 분사부(22)는 형성될 수 있다. 회전 테이블(10)이 유리기판(3)을 흡착하여 회전시킬 때 유리기판(3)의 표면이 연마 테이블(20)의 표면에 닿아 스크래치 등이 발생하는 것을 방지하기 위해, 유리기판(3)이 회전하는 동안 유체를 분사하여 유리기판(3)이 연마 테이블(20)에 접촉하지 않도록 유리기판(3)을 플로팅(floating)시키는 것이 다.

연마 테이블(20)에서 유체를 분사함으로써 유리기판(3)의 회전시에 유리기판(3)과 연마 테이블(20) 간의 마찰을 줄여 회전 테이블(10)에 의해 유리기판(3)이 원활하게 회전하도록 할 수 있다.

또한, 이와 같이 유리기판(3)의 회전시 연마 테이블(20)에서 유체를 분사하게 되면, 유리기판(3)의 연마 전 공정인 스크라이버(scriber) 공정에서 발생하여 유리기판(3)에 붙어 있는 유리가루가 제거될 수 있어, 이후 유리기판(3) 이송 과정에서 발생할 수 있는 스크래치 불량도 감소시킬 수 있다.

분사부(22)를 통해 분사되는 유체로는 공기 등의 기체와 DI(Deionized) 워터(water) 등의 액체를 들 수 있다. DI 워터란 물속에 녹아있는 이온조차 제거하여 물이 자체 이온화하여 생긴 이온을 제외하고는 불순물이 없는 순수한 물로서 이물질과 전기전도성이 제거된 물을 의미하며 기계 등의 세척에 사용된다.

본 실시예에 따른 유리기판 연마장치에서 유리기판(3)의 단부의 아래쪽은 전술한 연마 테이블(20)에 의해 지지되며, 위쪽은 한 쌍의 연마 테이블(20)에 상응하여 유리기판(3)의 상방에 위치하는 한 쌍의 가이드부(30)에 의해 가압된다. 즉, 유리기판(3)의 단부를 연마 테이블(20)과 가이드부(30)로 고정시킴으로써 에지 연마가 정확히 이루어지도록 하는 것이다.

본 실시예에 따른 가이드부(30)는 연마 테이블(20)이 지지하고 있는 유리기판(3)의 양 단부를 위에서 아래쪽으로 가압하여 유리기판(3)의 단부가 흔들리거나 진동하지 않고 고정시키는 역할을 한다.

유리기판(3)을 연마 테이블(20)만으로 지지하면, 에지에 연마휠을 접촉시켜 연마공정을 진행하는 과정에서 유리기판(3)이 위쪽으로 변형될 수 있으며, 이는 연마 품질 및 연마의 신뢰도를 저하시키는 결과를 초래한다. 따라서 본 실시예에 따른 가이드부(30)는 연마 대상이 되는 유리기판(3)의 에지가 연마휠에 접하는 과정에서 흔들리지 않도록 유리기판(3)을 잡아주며, 유리기판(3)을 이동시키면서 에지를 연마할 경우에는 에지가 연마휠과 정확히 접하도록 가이드하는 역할을 한다.

도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 연마장치의 측면 상세도이다. 도 4를 참조하면, 연마휠(1), 유리기판(3), 연마 테이블(20), 워터 가이드(32)가 도시되어 있다.

본 실시예에 따른 가이드부(30)는 연마 테이블(20)이 지지하고 있는 유리기판(3)의 단부를 가압하여 유리기판(3)을 고정시키기 위해 물을 분사하는 방식을 채택한 것이다. 유리기판(3)을 가압하기 위해 유리기판(3)과 물리적으로 접촉하는 가이드부(30)를 적용할 경우 연마과정에서 가이드부(30)로 인하여 유리기판(3)의 표면에 스크래치 등이 에러가 발생할 가능성을 배제할 수 없다.

따라서, 본 실시예에서는 가이드부(30)로서 워터 가이드(water guide)(32)를 적용하고, 워터 가이드(32)를 통해 유리기판(3)에 물을 분사함으로써 유리기판(3)이 연마 테이블(20)에 밀착되도록 한 것이다.

유리기판(3)의 아래쪽은 연마 테이블(20)에 의해 지지되고 있으므로, 워터 가이드(32)를 사용하여 소정의 압력으로 물을 분사하게 되면 연마가 이루어지는 동안에 유리기판(3)의 단부가 흔들리거나 진동하지 않고 연마 테이블(20)에 밀착된 상태로 고정될 수 있는 것이다.

유리기판(3)의 연마과정에서는 냉각 및/또는 세척의 목적으로 연마 부위에 물을 분사하게 되므로, 본 실시예에 따른 워터 가이드(32)는 기존의 수배관을 변형하여 용이하게 물이 공급되도록 구성할 수 있다.

워터 가이드(32)로부터 분사되는 물의 압력에 따라 유리기판(3)의 고정되는 정도가 좌우되므로, 본 실시예에 따른 워터 가이드(32)는 유리기판(3)을 연마 테이블(20)에 밀착시킬 수 있을 정도의 압력으로 물을 분사하는 것이 좋다.

따라서, 본 실시예에 따른 워터 가이드(32)는 유리기판(3)의 표면으로부터 0.01mm 이상, 3mm 이하의 간격만큼 이격되어 있고, 2 kg/cm² 이상, 5 kg/cm² 이하의 압력, 및/또는 2 l/min 이상, 10 l/min 이하의 유량으로 물을 분사하도록 구성하는 것이 좋다. 이와 같이 분사되는 물의 압력 및/또는 유량을 조절함으로써 연마과정에서 유리기판(3)이 흔들리지 않고 연마 테이블(20)에 밀착되도록 할 수 있고, 유리기판(3)이나 기계장치에 원하지 않는 손상을 초래하지 않으며, 과도한 수압을 확보하기 위해 불필요한 비용이 소요되지 않도록 할 수 있다.

도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 연마방법을 나타낸 순서도이고, 도 6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 연마공정을 종래의 연마공정과 비교하여 나타낸 흐름도이다.

본 실시예는 전술한 실시예에 따라 유리기판(3)의 에지를 연마하는 과정에 관한 것으로, 먼저 유리기판(3)을 로딩하여 회전 테이블(10)에 유리기판(3)의 중심 부를 흡착, 고정시킨다. 이 때 유리기판(3)의 단부의 아래쪽은 연마 테이블(20)에 의해 지지되고 위쪽은 가이드부(30)에 의해 가압된다. 이로써 유리기판(3)의 단부가 고정되어 에지가 정확히 연마될 수 있다.

이 상태에서 유리기판(3)의 장변(또는 단변)에 연마휠(1)이 접하도록 하여 유리기판(3)의 에지를 연마한다. 유리기판(3)의 장변(또는 단변)의 연마가 완료된 후 회전 테이블(10)을 회전시켜 유리기판(3)을 90도 회전시킨다(S10). 이 과정에서 연마 테이블(20)에 형성된 분사부(22)를 통해 유체를 분사함으로써 유리기판(3)이 마찰 없이 원활히 회전되도록 할 수 있다.

유리기판(3)의 회전에 따라 한 쌍의 연마 테이블(20)이 유리기판(3)의 단부를 지지하도록 그 거리를 조절한다(S20). 회전된 유리기판(3)의 단부의 아래쪽은 그에 맞도록 이동한 연마 테이블(20)에 의해 지지되며, 위쪽은 연마 테이블(20)의 이동에 따라 이동한 가이드부(30)에 의해 가압된다(S30). 이로써 유리기판(3)의 단변(또는 장변)의 연마를 위해 유리기판(3)이 고정된다.

가이드부(30)는 유리기판(3)의 단부를 향하여 물을 분사함으로써 유리기판(3)이 연마 테이블(20)에 밀착되도록 한다. 이 상태에서 유리기판(3)의 단변(또는 장변)에 연마휠(1)이 접하도록 하여 유리기판(3)의 나머지 에지를 연마하고(S40), 유리기판(3)을 언로딩하여 에지 연마공정이 완료된다.

본 실시예와 같이 연마 테이블(20)에 흡착부를 두지 않음으로써 유리기판 연마공정의 택 타임을 줄일 수 있게 된다. 종래의 연마 테이블(20)에 진공 라인을 설치한 경우의 연마공정(도 6의 (a))과 본 실시예와 같이 연마 테이블(20)에 진공 라인을 설치하지 않은 경우의 연마공정(도 6의 (b))을 비교해 보면, 그 효과를 확인할 수 있다.

즉, 본 실시예와 같이 연마 테이블(20)에 진공 라인을 설치하지 않을 경우에는 연마 테이블(20)에의 '진공 ON/OFF 동작 단계'인 P4, P6, P8 단계가 생략되며, 이는 시간상으로 수 초 정도의 절감 효과를 가져온다.

예를 들어 17인치 사이즈의 유리기판을 연마할 경우에는 본 실시예에 따른 연마 공정에 의해 약 2초 정도의 시간이 절감되며, 이는 전체 택 타임의 약 15% 정도에 상당하는 절감 효과이다. 이러한 절감 효과는 유리기판 연마를 보다 신속히 진행할 수 있는 장점에서 나아가, 필요 장비 수를 절감하여 장비 설치 공간 및 장비 운영 인력의 절감에까지 이어지는 파급 효과를 낳을 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 종래기술에 따른 유리기판 연마장치의 측면도.

도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 연마장치를 나타낸 평면도.

도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 연마장치를 나타낸 측면도.

도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 연마장치의 측면 상세도.

도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 연마방법을 나타낸 순서도.

도 6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 연마공정을 종래의 연마공정과 비교하여 나타낸 흐름도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 연마휠 3 : 유리기판

10 : 회전 테이블 12 : 흡착부

14 : 구동부 20 : 연마 테이블

22 : 분사부 30 : 가이드부

32 : 워터 가이드

Claims

연마휠의 외주면이 유리기판의 에지(edge)에 접하도록 하여 상기 에지를 연마하는 장치로서,

상기 유리기판의 중심부를 지지하는 회전 테이블과;

상기 회전 테이블의 표면에 형성되며, 공기를 흡입하여 상기 유리기판을 흡착하는 흡착부와;

상기 유리기판의 하방에서 상기 유리기판의 양 단부를 지지하며, 상호 간의 거리가 조절가능한 한 쌍의 연마 테이블과;

상기 한 쌍의 연마 테이블에 상응하여 상기 유리기판의 상방에 위치하며, 상기 유리기판의 양 단부를 가압하여 상기 유리기판의 에지가 상기 연마휠에 접하도록 상기 유리기판의 단부를 가이드하는 한 쌍의 가이드부를 포함하되,

상기 가이드부는 상기 연마 테이블이 지지하고 있는 상기 유리기판의 단부를 향하여 물을 분사하는 워터 가이드(water guide)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 연마장치.
제1항에 있어서,

상기 회전 테이블이 결합되는 구동부를 더 포함하되,

상기 회전 테이블은 상기 구동부를 중심으로 회전하는 것을 특징으로 하는 유리기판 연마장치.
제2항에 있어서,

상기 회전 테이블은 상기 유리기판을 흡착하여 상기 유리기판을 회전시키며, 상기 연마 테이블은 상기 유리기판의 단부를 지지하도록 그 거리가 조절되는 것을 특징으로 하는 유리기판 연마장치.
제3항에 있어서,

상기 연마 테이블의 표면에는 유체를 분사하는 분사부가 형성되어, 상기 회전 테이블이 상기 유리기판을 회전시킬 때 상기 분사부를 통해 유체를 분사하는 것을 특징으로 하는 유리기판 연마장치.
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제1항에 있어서,

상기 워터 가이드는 연마과정에서 상기 유리기판이 상기 연마 테이블에 밀착되도록 물을 분사하는 것을 특징으로 하는 유리기판 연마장치.
제6항에 있어서,

상기 워터 가이드와 상기 유리기판 간의 간격은 0.1mm 내지 3mm인 것을 특징으로 하는 유리기판 연마장치.
제6항에 있어서,

상기 워터 가이드는 2 kg/cm² 내지 5 kg/cm²의 압력으로 물을 분사하는 것을 특징으로 하는 유리기판 연마장치.
제6항에 있어서,

상기 워터 가이드는 2 l/min 내지 10 l/min의 유량으로 물을 분사하는 것을 특징으로 하는 유리기판 연마장치.
연마휠의 외주면이 유리기판의 에지(edge)에 접하도록 하여 상기 에지를 연마하는 방법으로서,

상기 유리기판의 중심부를 흡착하여 회전시키는 단계;

한 쌍의 연마 테이블의 거리를 조절하여 상기 유리기판의 하방에서 상기 유리기판의 양 단부를 지지하는 단계;

상기 한 쌍의 연마 테이블에 상응하여 상기 유리기판의 상방에서 상기 유리기판의 양 단부를 가압하는 단계; 및

상기 유리기판의 에지에 상기 연마휠이 접하도록 하여 상기 유리기판의 에지를 연마하는 단계를 포함하는 유리기판 연마방법.
제10항에 있어서,

상기 연마 테이블의 표면에는 유체를 분사하는 분사부가 형성되며,

상기 회전 단계는, 상기 분사부를 통해 유체를 분사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 연마방법.
제10항에 있어서,

상기 가압 단계는, 상기 연마 테이블이 지지하고 있는 상기 유리기판의 단부를 향하여 물을 분사하여 상기 유리기판이 상기 연마 테이블에 밀착되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 연마방법.