JP2529008B2 - 積層基板の製造方法および積層基板の製造装置 - Google Patents
積層基板の製造方法および積層基板の製造装置Info
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- JP2529008B2 JP2529008B2 JP2162017A JP16201790A JP2529008B2 JP 2529008 B2 JP2529008 B2 JP 2529008B2 JP 2162017 A JP2162017 A JP 2162017A JP 16201790 A JP16201790 A JP 16201790A JP 2529008 B2 JP2529008 B2 JP 2529008B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 複数枚のグリーンシートを、積載テーブル上に位置合
わせさせながら順次積層させる積層基板の製造方法およ
び積層基板の製造装置に関し、 積層されるグリーンシートの基準マーク位置を、初期
位置と積層位置との２段階にわたって検出することで、
正確な積層位置に確実にグリーンシートの積層が行なわ
れることを目的とし、 位置調整手段をそなえた積載テーブル上に積層される
べき基板のグリーンシートを保持したハンドを位置さ
せ、上記積載テーブルの所定位置に設けられた複数の第
１のカメラにより上記グリーンシートの第１の位置検出
マークを検出するとともに、上記積載テーブルの位置を
調整させることにより該第１の位置検出マークを第１の
基準位置マークに一致させ、、その状態で、上記ハンド
を降下させてグリーンシートを積載テーブル上に載置さ
せ、上記積載テーブルの所定位置に設けられた複数の第
２のカメラにより上記グリーンシートの第２の位置検出
マークと第２の基準位置マークとの一致度を検出確認し
てグリーンシートを積載テーブルに積層させるように構
成する。
わせさせながら順次積層させる積層基板の製造方法およ
び積層基板の製造装置に関し、 積層されるグリーンシートの基準マーク位置を、初期
位置と積層位置との２段階にわたって検出することで、
正確な積層位置に確実にグリーンシートの積層が行なわ
れることを目的とし、 位置調整手段をそなえた積載テーブル上に積層される
べき基板のグリーンシートを保持したハンドを位置さ
せ、上記積載テーブルの所定位置に設けられた複数の第
１のカメラにより上記グリーンシートの第１の位置検出
マークを検出するとともに、上記積載テーブルの位置を
調整させることにより該第１の位置検出マークを第１の
基準位置マークに一致させ、、その状態で、上記ハンド
を降下させてグリーンシートを積載テーブル上に載置さ
せ、上記積載テーブルの所定位置に設けられた複数の第
２のカメラにより上記グリーンシートの第２の位置検出
マークと第２の基準位置マークとの一致度を検出確認し
てグリーンシートを積載テーブルに積層させるように構
成する。
本発明は、複数枚のグリーンシートを、積載テーブル
上に位置合わせさせながら順次積層させる積層基板の製
造方法および積層基板の製造装置に関する。
上に位置合わせさせながら順次積層させる積層基板の製
造方法および積層基板の製造装置に関する。
電子・通信などに適用される回転基板には、セラミッ
ク基板からなるグリーンシートを複数枚積層して焼成
し、一体化してなる多層基板が用いられる。
ク基板からなるグリーンシートを複数枚積層して焼成
し、一体化してなる多層基板が用いられる。
グリーンシートには、片面または両面に所要の回路パ
ターンが印刷形成されるとともに、積層される各グリー
ンシート間、ならびに上下層の回転接続を行なわせるビ
アホールが形成され、積層されることで所定の回路が構
成される。
ターンが印刷形成されるとともに、積層される各グリー
ンシート間、ならびに上下層の回転接続を行なわせるビ
アホールが形成され、積層されることで所定の回路が構
成される。
このような多層基板は、積層されるべきグリーンシー
トの相互間が正確に位置決めされることが必要不可欠な
ことである。
トの相互間が正確に位置決めされることが必要不可欠な
ことである。
グリーンシートを積み重ねて多層の積層基板とするた
め、従来の製造装置の概略構成が第３図に示される。第
３図の図（ａ）は外観斜視面、図（ｂ）は位置合わせの
説明図、である。
め、従来の製造装置の概略構成が第３図に示される。第
３図の図（ａ）は外観斜視面、図（ｂ）は位置合わせの
説明図、である。
図（ａ）に示されるように、基台12上に位置調整手段
であるところの位置調整テーブル４を介して積載テーブ
ル２が設けられ、積載テーブル２の上方に積層されるべ
きグリーンシート１−１を吸着保持する保持プレート3A
をそなえたハンド３が位置設定される。位置調整テーブ
ル４は、水平面内をＸ方向およびＹ方向の直交方向にそ
れぞれ独立に移動可能なＸテーブル５およびＹテーブル
６、ならびに、水平面上を回転可能なθテーブル７、か
らなる。
であるところの位置調整テーブル４を介して積載テーブ
ル２が設けられ、積載テーブル２の上方に積層されるべ
きグリーンシート１−１を吸着保持する保持プレート3A
をそなえたハンド３が位置設定される。位置調整テーブ
ル４は、水平面内をＸ方向およびＹ方向の直交方向にそ
れぞれ独立に移動可能なＸテーブル５およびＹテーブル
６、ならびに、水平面上を回転可能なθテーブル７、か
らなる。
積載テーブル２の複数箇所所定位置に設けられた支持
具11に支持されたカメラ８が、保持プレート3Aの各コー
ナ部の位置検出マーク観測用貫通孔3Bをとおしてグリー
ンシート１−１面を撮影し、その映像が表示部13に表示
されるように構成される。
具11に支持されたカメラ８が、保持プレート3Aの各コー
ナ部の位置検出マーク観測用貫通孔3Bをとおしてグリー
ンシート１−１面を撮影し、その映像が表示部13に表示
されるように構成される。
以上の構成により、積層されるべきグリーンシート１
−１を吸着保持させたハンド３は、所定経路を移動させ
ることにより、積載テーブル２上の所定空間位置に位置
決め停止され、カメラ８によりコーナ部の表面が撮影さ
れて、それぞれの箇所の映像が表示部13に表示され、位
置を確認することができる。
−１を吸着保持させたハンド３は、所定経路を移動させ
ることにより、積載テーブル２上の所定空間位置に位置
決め停止され、カメラ８によりコーナ部の表面が撮影さ
れて、それぞれの箇所の映像が表示部13に表示され、位
置を確認することができる。
すなわち、図（ｂ）に示されるように、所定位置の基
準位置マーク14が表示部13に表示されており、観測用貫
通孔3Bをとおして撮影される画像の、積層されるべきグ
リーンシート１−１の位置検出マーク1Aの中心G2と、表
示部13上に位置決め表示されている基準位置マーク14の
中心G1と、が一致するように位置調整を行なわせる。
準位置マーク14が表示部13に表示されており、観測用貫
通孔3Bをとおして撮影される画像の、積層されるべきグ
リーンシート１−１の位置検出マーク1Aの中心G2と、表
示部13上に位置決め表示されている基準位置マーク14の
中心G1と、が一致するように位置調整を行なわせる。
このような中心位置G2およびG1を一致させることを実
際には、それぞれ、位置検出マーク1Aと基準位置マーク
14との輪郭を一致させることに、ほかならないことであ
る。
際には、それぞれ、位置検出マーク1Aと基準位置マーク
14との輪郭を一致させることに、ほかならないことであ
る。
位置調整を行なうには、たとえば、図（ｂ）に示され
るような状態であれば、まず、位置調整テーブル４のＸ
テーブル５をｘ、Ｙテーブル６をｙ、それぞれ移動させ
るるとともに、各コーナ部の位置検出マーク1Aと基準位
置マーク14の中心G2,G1、すなわち輪郭をそれぞれ一致
させるように、θテーブル７により水平方向の傾きを調
整移動させる。
るような状態であれば、まず、位置調整テーブル４のＸ
テーブル５をｘ、Ｙテーブル６をｙ、それぞれ移動させ
るるとともに、各コーナ部の位置検出マーク1Aと基準位
置マーク14の中心G2,G1、すなわち輪郭をそれぞれ一致
させるように、θテーブル７により水平方向の傾きを調
整移動させる。
以上のようにして、位置調整後ハンド３を降下機構
（図示省略）により降下させ、保持プレート3Aに吸着保
持されているグリーンシート１−１の吸着状態を解除
し、積層テーブル２上の吸着プレート2A面上に載置積層
させる。
（図示省略）により降下させ、保持プレート3Aに吸着保
持されているグリーンシート１−１の吸着状態を解除
し、積層テーブル２上の吸着プレート2A面上に載置積層
させる。
上記のようにして、すでに積層テーブル２上の、吸着
プレート2A上に載置されたグリーンシート１−２が吸着
保持され、位置固定されている状態が、図（ａ）に示さ
れているから、このグリーンシート１−２上に積層され
るべきグリーンシート１−１が位置精度よく積層される
ことになる。したがって、同様の手順により、順次積層
されるべき新規なグリーンシート１−１をハンド３によ
って保持させ、積載テーブル２上に移送、停止させた状
態で、カメラ８による位置検出マークの撮影像にもとづ
く位置決め調整により、複数の積層されるべきグリーン
シート１−１が、積載テーブル２上に順次正確に位置決
め積層される。
プレート2A上に載置されたグリーンシート１−２が吸着
保持され、位置固定されている状態が、図（ａ）に示さ
れているから、このグリーンシート１−２上に積層され
るべきグリーンシート１−１が位置精度よく積層される
ことになる。したがって、同様の手順により、順次積層
されるべき新規なグリーンシート１−１をハンド３によ
って保持させ、積載テーブル２上に移送、停止させた状
態で、カメラ８による位置検出マークの撮影像にもとづ
く位置決め調整により、複数の積層されるべきグリーン
シート１−１が、積載テーブル２上に順次正確に位置決
め積層される。
カメラ８による位置検出マーク1Aの撮影像を基準位置
マーク14に位置合わせさせるように、位置調整し積層す
るに際して、実際にはハンド３が降下機構の誤差、誤動
作などにより、正確に真下に降下されずにグリーンシー
ト１−１の積層位置が正確に行なわれない事態の生じる
ことがある。
マーク14に位置合わせさせるように、位置調整し積層す
るに際して、実際にはハンド３が降下機構の誤差、誤動
作などにより、正確に真下に降下されずにグリーンシー
ト１−１の積層位置が正確に行なわれない事態の生じる
ことがある。
このような不具合な事態が生じても、グリーンシート
１−１の積層はそのまま継続され、製品の完成後の試験
または検査により、はじめて不良品であることが判明
し、無駄な工数をも費やすといった問題を有していた。
１−１の積層はそのまま継続され、製品の完成後の試験
または検査により、はじめて不良品であることが判明
し、無駄な工数をも費やすといった問題を有していた。
以上のような従来の問題点にかんがみて、本発明は、
積層されるグリーンシートの基準マーク位置を、初期位
置と積層位置との２段階にわたって検出することで、正
確な積層位置に確実にグリーンシートの積層が行なわれ
ることを目的とする。
積層されるグリーンシートの基準マーク位置を、初期位
置と積層位置との２段階にわたって検出することで、正
確な積層位置に確実にグリーンシートの積層が行なわれ
ることを目的とする。
上記、課題を達成するための本発明構成要旨とする第
１の手段は、位置調整手段をそなえた積載テーブル上に
積層されるべき基板のグリーンシートを保持したハンド
を位置させ、上記積載テーブルの所定位置に設けられた
複数の第１のカメラにより上記グリーンシートの第１の
位置検出マークを検出するとともに、上記積載テーブル
の位置を調整させることにより該第１の位置検出マーク
を第１の基準位置マークに一致させ、その状態で、上記
ハンドを降下させてグリーンシートを積載テーブル上に
載置させ、上記積載テーブルの所定位置に設けられた複
数の第２のカメラにより上記グリーンシートの第２の位
置検出マークと第２の基準位置マークとの一致度を検出
確認してグリーンシートを積載テーブル上に積層させる
積層基板の製造方法である。
１の手段は、位置調整手段をそなえた積載テーブル上に
積層されるべき基板のグリーンシートを保持したハンド
を位置させ、上記積載テーブルの所定位置に設けられた
複数の第１のカメラにより上記グリーンシートの第１の
位置検出マークを検出するとともに、上記積載テーブル
の位置を調整させることにより該第１の位置検出マーク
を第１の基準位置マークに一致させ、その状態で、上記
ハンドを降下させてグリーンシートを積載テーブル上に
載置させ、上記積載テーブルの所定位置に設けられた複
数の第２のカメラにより上記グリーンシートの第２の位
置検出マークと第２の基準位置マークとの一致度を検出
確認してグリーンシートを積載テーブル上に積層させる
積層基板の製造方法である。
第２の手段は、置調整手段をそなえた積載テーブル
と、上記積載テーブルにそれぞれが所定位置に配置して
設けられ積載テーブル面の方向に向けられたそれぞれ複
数の第１のカメラおよび第２のカメラと、上記積載テー
ブルと第１のカメラおよび第２のカメラとの間に積層さ
れるべき基板のグリーンシートを保持し位置させるハン
ドと、からなり、上記積載テーブル上に位置されるグリ
ーンシートの第１の位置検出マークを第１のカメラで検
出させるとともに該第１の位置検出マークを上記位置調
整手段により第１の基準位置マークに一致させ該グリー
ンシートをハンドとともに降下させて積層テーブル上に
載置させた状態を上記第２のカメラでグリーンシート上
の第２の位置検出マークと第２の基準位置マークとの一
致度を検出し得るようにした積層基板の製造装置であ
る。
と、上記積載テーブルにそれぞれが所定位置に配置して
設けられ積載テーブル面の方向に向けられたそれぞれ複
数の第１のカメラおよび第２のカメラと、上記積載テー
ブルと第１のカメラおよび第２のカメラとの間に積層さ
れるべき基板のグリーンシートを保持し位置させるハン
ドと、からなり、上記積載テーブル上に位置されるグリ
ーンシートの第１の位置検出マークを第１のカメラで検
出させるとともに該第１の位置検出マークを上記位置調
整手段により第１の基準位置マークに一致させ該グリー
ンシートをハンドとともに降下させて積層テーブル上に
載置させた状態を上記第２のカメラでグリーンシート上
の第２の位置検出マークと第２の基準位置マークとの一
致度を検出し得るようにした積層基板の製造装置であ
る。
上記、本発明の第１手段である積層基板の製造方法に
よると、位置調整手段をそなえた積載テーブル上に、積
層されるべき基板のグリーンシートを保持したハンドを
位置させた状態で、複数の第１のカメラによりグリーン
シートの第１の位置検出マークを検出し、積載テーブル
の位置を移動調整させることによって、第１の位置検出
マークを第１の基準位置マークに一致させ、その状態
で、ハンドを降下させてグリーンシートを積載テーブル
上に載置させ、この状態で複数の第２のカメラによりグ
リーンシートの第２の位置検出マークと第２の基準位置
マークとの一致度を検出確認し、グリーンシートを積載
テーブル上に積載させて積層させるようにした手順によ
り、確実に位置ずれのないことが確認されれば、そのま
ま積層し、位置ずれの生じたことが確認されれば修正な
どの対策を講じることにより、間違いなく所定位置に積
層させることができる。
よると、位置調整手段をそなえた積載テーブル上に、積
層されるべき基板のグリーンシートを保持したハンドを
位置させた状態で、複数の第１のカメラによりグリーン
シートの第１の位置検出マークを検出し、積載テーブル
の位置を移動調整させることによって、第１の位置検出
マークを第１の基準位置マークに一致させ、その状態
で、ハンドを降下させてグリーンシートを積載テーブル
上に載置させ、この状態で複数の第２のカメラによりグ
リーンシートの第２の位置検出マークと第２の基準位置
マークとの一致度を検出確認し、グリーンシートを積載
テーブル上に積載させて積層させるようにした手順によ
り、確実に位置ずれのないことが確認されれば、そのま
ま積層し、位置ずれの生じたことが確認されれば修正な
どの対策を講じることにより、間違いなく所定位置に積
層させることができる。
第２の手段である積層基板の製造装置によると、位置
調整手段をそなえた積載テーブルと、積載テーブル上に
積載テーブル面の方向に向けて配置された第１のカメラ
および第２のカメラと、積載テーブルと第１のカメラお
よび第２のカメラとの間に、積層されるべき基板のグリ
ーンシートを保持し位置させるハンドと、からなるもの
であり、積載テーブル上にハンドにより保持されて位置
されるグリーンシートの第１の位置検出マークを第１の
カメラで検出させ、この第１の位置基準マークを位置調
整手段により第１の基準位置マークの位置に一致させる
ことができる。ハンドを積載テーブル上から降下させて
グリーンシートを積載テーブル上に載置させた状態を、
第２のカメラでグリーンシート上の第２の位置検出マー
クと第２の基準位置マークとの一致度を検出確認し得る
ように、２段階の位置でそれぞれ異なる位置検出マーク
と基準位置マークとの一致度を確認することができる積
層装置であるから、降下後の積層位置における位置ずれ
の有無を確実に確かめながらグリーンシートを積層する
ことができる。
調整手段をそなえた積載テーブルと、積載テーブル上に
積載テーブル面の方向に向けて配置された第１のカメラ
および第２のカメラと、積載テーブルと第１のカメラお
よび第２のカメラとの間に、積層されるべき基板のグリ
ーンシートを保持し位置させるハンドと、からなるもの
であり、積載テーブル上にハンドにより保持されて位置
されるグリーンシートの第１の位置検出マークを第１の
カメラで検出させ、この第１の位置基準マークを位置調
整手段により第１の基準位置マークの位置に一致させる
ことができる。ハンドを積載テーブル上から降下させて
グリーンシートを積載テーブル上に載置させた状態を、
第２のカメラでグリーンシート上の第２の位置検出マー
クと第２の基準位置マークとの一致度を検出確認し得る
ように、２段階の位置でそれぞれ異なる位置検出マーク
と基準位置マークとの一致度を確認することができる積
層装置であるから、降下後の積層位置における位置ずれ
の有無を確実に確かめながらグリーンシートを積層する
ことができる。
以下、本発明積層基板の製造方法および積層基板の製
造装置について、図を参照しながら構成要旨にもとづい
た好適実施例により、具体的詳細に説明する。なお、全
図を通じて同様箇所には同一符号を付して示してある。
造装置について、図を参照しながら構成要旨にもとづい
た好適実施例により、具体的詳細に説明する。なお、全
図を通じて同様箇所には同一符号を付して示してある。
第１図は本発明積層基板の製造方法の原理説明図であ
って、製造装置の概略の要部側面図が示される。第１図
を参照すると、水平面内を移動可能な、Ｘテーブル５、
Ｙテーブル６、回転方向のθテーブル７、からなる位置
調整手段である位置調整テーブル４をそなえた積載テー
ブル２上の空間位置に、積層されるべき基板のグリーン
シート１−１を保持したハンド３を位置させ、積載テー
ブル２の所定位置に設けられた複数（図では代表的に１
箇所のみ示す）の第１のカメラ８により、グリーンシー
ト１−１の第１の位置検出マーク（図示省略）を検出さ
せるとともに、積載テーブル２の位置を位置調整テーブ
ル４により調整させることにより、該第１の位置検出マ
ークを第１の基準位置マーク（図示省略）に一致させ、
その状態で、ハンド３を矢印で示されるように降下させ
てグリーンシート１−１を積層テーブル２上に載置させ
る。
って、製造装置の概略の要部側面図が示される。第１図
を参照すると、水平面内を移動可能な、Ｘテーブル５、
Ｙテーブル６、回転方向のθテーブル７、からなる位置
調整手段である位置調整テーブル４をそなえた積載テー
ブル２上の空間位置に、積層されるべき基板のグリーン
シート１−１を保持したハンド３を位置させ、積載テー
ブル２の所定位置に設けられた複数（図では代表的に１
箇所のみ示す）の第１のカメラ８により、グリーンシー
ト１−１の第１の位置検出マーク（図示省略）を検出さ
せるとともに、積載テーブル２の位置を位置調整テーブ
ル４により調整させることにより、該第１の位置検出マ
ークを第１の基準位置マーク（図示省略）に一致させ、
その状態で、ハンド３を矢印で示されるように降下させ
てグリーンシート１−１を積層テーブル２上に載置させ
る。
ついで、積層テーブル２の所定位置に設けられた複数
（図では代表的に１箇所のみ示す）の第２のカメラ９に
より、グリーンシート１−１の第２の位置検出マークと
第２の基準位置マーク（いずれも図示省略）との一致度
を検出確認して、ハンド３から保持状態を解除しグリー
ンシート１−１を積載テーブル２上に積層させる。
（図では代表的に１箇所のみ示す）の第２のカメラ９に
より、グリーンシート１−１の第２の位置検出マークと
第２の基準位置マーク（いずれも図示省略）との一致度
を検出確認して、ハンド３から保持状態を解除しグリー
ンシート１−１を積載テーブル２上に積層させる。
なお、図示積載テーブル２上のグリーンシート１−２
は、上記説明のような手順により、すでに載置積層され
ているものである。
は、上記説明のような手順により、すでに載置積層され
ているものである。
第１のカメラ８は、ハンド３により移動されてくるグ
リーンシート１−１の位置が一定の所定高さ位置に設定
されることから、第１の位置検出マークを検出撮像する
には、とくに問題はないが、第２のカメラ９は積載テー
ブル２上に積層載置されるグリーンシート１−１上の第
２の位置検出マークを鮮明に検出撮像するには、図示さ
れるように、積層されるグリーンシート１−２の積層高
さＨ分、その都度ピントを調整する必要がある。したが
って、その分第２のカメラ９を昇降手段10によって逐次
上昇させる。この昇降手段10は、第２のカメラ９内の自
動合焦レンズ手段などに置き換えることは、もちろん可
能なことである。
リーンシート１−１の位置が一定の所定高さ位置に設定
されることから、第１の位置検出マークを検出撮像する
には、とくに問題はないが、第２のカメラ９は積載テー
ブル２上に積層載置されるグリーンシート１−１上の第
２の位置検出マークを鮮明に検出撮像するには、図示さ
れるように、積層されるグリーンシート１−２の積層高
さＨ分、その都度ピントを調整する必要がある。したが
って、その分第２のカメラ９を昇降手段10によって逐次
上昇させる。この昇降手段10は、第２のカメラ９内の自
動合焦レンズ手段などに置き換えることは、もちろん可
能なことである。
以上のようであるから、ハンド３の降下が何からの都
合で直下に下降しないといった不都合が生じたとして
も、グリーンシート１−１の積層されるべき正確な位置
を積層されるべき位置において、第２のカメラ９により
確認することができるので対応策を講じることができ、
積層基板の積層位置不良による不良品発生が防止され
る。
合で直下に下降しないといった不都合が生じたとして
も、グリーンシート１−１の積層されるべき正確な位置
を積層されるべき位置において、第２のカメラ９により
確認することができるので対応策を講じることができ、
積層基板の積層位置不良による不良品発生が防止され
る。
つぎに、第２図を参照して本発明積層基板の製造装置
の一実施例について、具体的詳細に説明する。第２図は
概略の要部構成であって、図（ａ）は外観斜視図、図
（ｂは第２のカメラ部分に関連する要部斜視図、であ
る。
の一実施例について、具体的詳細に説明する。第２図は
概略の要部構成であって、図（ａ）は外観斜視図、図
（ｂは第２のカメラ部分に関連する要部斜視図、であ
る。
図（ａ）に示されるように、基台12上に位置調整手段
である、位置調整テーブル４を介して積載テーブル２が
設けられ、積載テーブル２の上方の空間位置に積載され
るべきグリーンシート１−１を吸着保持する保持プレー
ト3Aをそなえたハンド３が位置される。位置調整テーブ
ル４は、水平面内をＸ方向およびＹ方向にそれぞれ独立
に移動可能なＸテーブル５およびＹテーブル６、ならび
に、水平面上を回転可能なθテーブル７、からなる。
である、位置調整テーブル４を介して積載テーブル２が
設けられ、積載テーブル２の上方の空間位置に積載され
るべきグリーンシート１−１を吸着保持する保持プレー
ト3Aをそなえたハンド３が位置される。位置調整テーブ
ル４は、水平面内をＸ方向およびＹ方向にそれぞれ独立
に移動可能なＸテーブル５およびＹテーブル６、ならび
に、水平面上を回転可能なθテーブル７、からなる。
積載テーブル２の複数箇所所定位置に設けられた支持
具11に支持された第１のカメラ８が、保持プレート3Aの
各コーナ部の第１の位置検出マーク観測用貫通孔3Bをと
おしてグリーンシート１−１面を撮影し、その映像が表
示部13に表示される。
具11に支持された第１のカメラ８が、保持プレート3Aの
各コーナ部の第１の位置検出マーク観測用貫通孔3Bをと
おしてグリーンシート１−１面を撮影し、その映像が表
示部13に表示される。
積載テーブル２の複数箇所所定位置に設けられた支柱
10Aの上部に、可動アーム10Bが昇降手段10の調整ねじ10
Cにより昇降可能に設けられ、可動アーム10Bの先端にそ
れぞれ、第２のカメラ９が対向位置に取り付けられ、保
持プレート3Aの第２の位置検出マーク観測用貫通孔3Cを
とおしてグリーンシート１−１面を撮影し、表示部13と
の間を符号，で示されるようにそれぞれ接続され
て、その映像が表示部13に表示されるように構成され
る。
10Aの上部に、可動アーム10Bが昇降手段10の調整ねじ10
Cにより昇降可能に設けられ、可動アーム10Bの先端にそ
れぞれ、第２のカメラ９が対向位置に取り付けられ、保
持プレート3Aの第２の位置検出マーク観測用貫通孔3Cを
とおしてグリーンシート１−１面を撮影し、表示部13と
の間を符号，で示されるようにそれぞれ接続され
て、その映像が表示部13に表示されるように構成され
る。
以上の構成により、積層されるべきグリーンシート１
−１を吸着保持させたハンド３は、所定経路を移動され
ることにより、積載テーブル２上の所定空間位置に位置
決め停止され、第１のカメラ８によりコーナ部の表面が
撮影されて、それぞれの箇所の映像が表示部13に表示さ
れ、位置を確認することができる。
−１を吸着保持させたハンド３は、所定経路を移動され
ることにより、積載テーブル２上の所定空間位置に位置
決め停止され、第１のカメラ８によりコーナ部の表面が
撮影されて、それぞれの箇所の映像が表示部13に表示さ
れ、位置を確認することができる。
すなわち、第３図の図（ｂ）に示されるように、この
場合、所定位置の第１の基準位置マーク14が表示部13に
表示されており、第１の位置検出マーク観測用貫通孔3B
をとおして撮影される画像の、積層されるべきグリーン
シート１−１の第１の位置検出マーク1Aの中心G2と、表
示部13上に位置決め表示されている第１の基準位置マー
ク14の中心G1と、が一致するように位置調整を行なわせ
る。
場合、所定位置の第１の基準位置マーク14が表示部13に
表示されており、第１の位置検出マーク観測用貫通孔3B
をとおして撮影される画像の、積層されるべきグリーン
シート１−１の第１の位置検出マーク1Aの中心G2と、表
示部13上に位置決め表示されている第１の基準位置マー
ク14の中心G1と、が一致するように位置調整を行なわせ
る。
このような中心位置G2およびG1を一致させることを実
際には、それぞれ、第１の位置検出マーク1Aと第１の基
準位置マーク14との輪郭を一致させることにより達成さ
れ得る。
際には、それぞれ、第１の位置検出マーク1Aと第１の基
準位置マーク14との輪郭を一致させることにより達成さ
れ得る。
位置調整を行なうには、たとえば、第３図の図（ｂ）
に示されるように状態であれば、まず、位置調整テーブ
ル４のＸテーブル５をｘ、Ｙテーブル６をｙ、それぞれ
移動させるとともに、各コーナ部の第１の位置検出マー
ク1Aと第１の基準位置マーク14の中心G2,G1、すなわち
輪郭をそれぞれ一致させるように、θテーブル７により
水平方向の傾きを調整移動させる。
に示されるように状態であれば、まず、位置調整テーブ
ル４のＸテーブル５をｘ、Ｙテーブル６をｙ、それぞれ
移動させるとともに、各コーナ部の第１の位置検出マー
ク1Aと第１の基準位置マーク14の中心G2,G1、すなわち
輪郭をそれぞれ一致させるように、θテーブル７により
水平方向の傾きを調整移動させる。
以上の手順は従来技術と同様であり、ついで、位置調
整後ハンド３を降下機構（図示省略）により降下させ、
保持プレート3Aに吸着保持されているグリーンシート１
−１を、積載テーブル２上の吸着プレート2A面上に載置
させる。
整後ハンド３を降下機構（図示省略）により降下させ、
保持プレート3Aに吸着保持されているグリーンシート１
−１を、積載テーブル２上の吸着プレート2A面上に載置
させる。
この状態が、第２図に示される。図示状態は理解を容
易とするために、グリーンシート１−１が保持プレート
3Aから離れた状態に示されるが、実際には吸着状態であ
ると理解されたい。
易とするために、グリーンシート１−１が保持プレート
3Aから離れた状態に示されるが、実際には吸着状態であ
ると理解されたい。
ここで、グリーンシート１−１上に形成されている第
２の位置検出マーク1Bを、第２のカメラ９により第２の
位置検出マーク観測用貫通孔3Cをとおして認識すること
により、撮影された画像が表示部13に表示される。
２の位置検出マーク1Bを、第２のカメラ９により第２の
位置検出マーク観測用貫通孔3Cをとおして認識すること
により、撮影された画像が表示部13に表示される。
第１のカメラ８により位置決めされたグリーンシート
１−１が、ハンド３により正確に真下に下降されたとす
るならば、第２のカメラ９によって撮影される第２の位
置検出マーク1Bは表示部13に表示されるが、図示省略の
第２の基準位置マーク（基本的には第３図の図（ｂ）に
示される基準位置マーク14に相当する）に対して位置ず
れが生じないように設定されている。
１−１が、ハンド３により正確に真下に下降されたとす
るならば、第２のカメラ９によって撮影される第２の位
置検出マーク1Bは表示部13に表示されるが、図示省略の
第２の基準位置マーク（基本的には第３図の図（ｂ）に
示される基準位置マーク14に相当する）に対して位置ず
れが生じないように設定されている。
第２のカメラ９により撮影された第２の位置検出マー
ク1Bは、表示部13に位置決め表示されている第２の基準
位置マーク（第３図の14に相当）の中心をそれぞれ一致
されているわけであるが、これは両マークの輪郭が一致
されていることにより認識し得ることである。
ク1Bは、表示部13に位置決め表示されている第２の基準
位置マーク（第３図の14に相当）の中心をそれぞれ一致
されているわけであるが、これは両マークの輪郭が一致
されていることにより認識し得ることである。
第２のカメラ９により、位置ずれがないことが確認さ
れたならば、積層状態に位置されているグリーンシート
１−１を吸着保持している状態の、保持プレート3Aの接
着状態を解除してハンド３を上昇させ、つぎの新規なグ
リーンシート１−１の吸着ならびに位置合わせにそなえ
る。
れたならば、積層状態に位置されているグリーンシート
１−１を吸着保持している状態の、保持プレート3Aの接
着状態を解除してハンド３を上昇させ、つぎの新規なグ
リーンシート１−１の吸着ならびに位置合わせにそなえ
る。
以上のようにして順次グリーンシート１−１を、吸着
プレート2A上に積層されるグリーンシート１−２上に積
層載置させることができるので、それぞれのグリーンシ
ート１−1,1−２間における位置ずれは防止され、正確
な位置合わせがされた状態の積層基板が得られる。
プレート2A上に積層されるグリーンシート１−２上に積
層載置させることができるので、それぞれのグリーンシ
ート１−1,1−２間における位置ずれは防止され、正確
な位置合わせがされた状態の積層基板が得られる。
また、積層されるべきグリーンシート１−１が、積層
されたグリーンシート１−２上に積層されるにつれての
厚さ（高さ）Ｈの増加に応じて、第２のカメラ９の位置
を順次グリーンシート１−１の厚さに相当する量高く上
昇させることが、画像の鮮明さを確保する上から、一定
の距離ｌを維持させるために必要となる。このため、昇
降手段10の調整ねじ10Cを操作して第２のカメラ９を矢
印Ｚ方向に順次上昇させる。
されたグリーンシート１−２上に積層されるにつれての
厚さ（高さ）Ｈの増加に応じて、第２のカメラ９の位置
を順次グリーンシート１−１の厚さに相当する量高く上
昇させることが、画像の鮮明さを確保する上から、一定
の距離ｌを維持させるために必要となる。このため、昇
降手段10の調整ねじ10Cを操作して第２のカメラ９を矢
印Ｚ方向に順次上昇させる。
ハンド３が積載テーブル２上の初期位置に停止状態に
おいて、第１のカメラ８による位置合わせ後、ハンド３
を下降させてグリーンシート１−１を積層位置にさせた
状態を、第２のカメラ９によって確認した場合に、第２
の位置検出マーク１−Ｂと第２の基準位置マークとに、
ずれのあることが検出されたならば、下降の過程で真下
に下降されなかった何らかの異状、あるいは原因がある
ことから、このような不具合の対策を講じることによ
り、以後の位置ずれの障害発生を除去させ、位置ずれす
ることなく積層させることができる。
おいて、第１のカメラ８による位置合わせ後、ハンド３
を下降させてグリーンシート１−１を積層位置にさせた
状態を、第２のカメラ９によって確認した場合に、第２
の位置検出マーク１−Ｂと第２の基準位置マークとに、
ずれのあることが検出されたならば、下降の過程で真下
に下降されなかった何らかの異状、あるいは原因がある
ことから、このような不具合の対策を講じることによ
り、以後の位置ずれの障害発生を除去させ、位置ずれす
ることなく積層させることができる。
しかしながら、原因の対策が講じられた後も、信頼性
確保上、第２のカメラ９による位置検出ならびに確認が
続けて行なわれることはいうまでもないことである。
確保上、第２のカメラ９による位置検出ならびに確認が
続けて行なわれることはいうまでもないことである。
第２のカメラ９の昇降手段10の調整ねじ10Cは、この
ようなものに限定されることではなく、精密に第２のカ
メラ９を昇降し得る機構ないしは、第２のカメラ９自体
内部にそなえられた、たとえば、自動合焦レンズ手段
（AF）などの代替手段が適用され得るものである。
ようなものに限定されることではなく、精密に第２のカ
メラ９を昇降し得る機構ないしは、第２のカメラ９自体
内部にそなえられた、たとえば、自動合焦レンズ手段
（AF）などの代替手段が適用され得るものである。
以上、詳細に説明したように、本発明積層基板の製造
方法によれば、位置調整手段をそなえた積載テーブル上
に、積層されるべき基板のグリーンシートを保持したハ
ンドを位置させた状態で、複数の第１のカメラによりグ
リーンシートの第１の位置検出マークを検出し、積載テ
ーブルの位置を移動調整させることによって、第１の位
置検出マークを第１の基準位置マークに一致させ、その
状態で、ハンドを降下させてグリーンシートを積載テー
ブル上に載置させ、この状態で複数の第２のカメラによ
りグリーンシートの第２の位置検出マークと第２の基準
位置マークとの一致度を検出確認し、グリーンシートを
積載テーブル上に積載させて積層させるようにした手順
により、確実に位置ずれのないことが確認されれば、そ
のまま積層し、位置ずれの生じたことが確認されれば修
正などの対策を講じることにより、間違いなく所定位置
に積層させることができる。
方法によれば、位置調整手段をそなえた積載テーブル上
に、積層されるべき基板のグリーンシートを保持したハ
ンドを位置させた状態で、複数の第１のカメラによりグ
リーンシートの第１の位置検出マークを検出し、積載テ
ーブルの位置を移動調整させることによって、第１の位
置検出マークを第１の基準位置マークに一致させ、その
状態で、ハンドを降下させてグリーンシートを積載テー
ブル上に載置させ、この状態で複数の第２のカメラによ
りグリーンシートの第２の位置検出マークと第２の基準
位置マークとの一致度を検出確認し、グリーンシートを
積載テーブル上に積載させて積層させるようにした手順
により、確実に位置ずれのないことが確認されれば、そ
のまま積層し、位置ずれの生じたことが確認されれば修
正などの対策を講じることにより、間違いなく所定位置
に積層させることができる。
また、積層基板の製造装置によれば、位置調整手段を
そなえた積載テーブルと、積載テーブル上に積載テーブ
ル面の方向に向けて配置された第１のカメラおよび第２
のカメラと、積載テーブルと第１のカメラおよび第２の
カメラとの間に、積層されるべき基板のグリーンシート
を保持し位置させるハンドと、からなるものであり、積
載テーブル上にハンドにより保持されて位置されるグリ
ーンシートの第１の位置検出マークを第１のカメラで検
出させ、この第１の位置基準マークを位置調整手段によ
り第１の基準位置マークの位置に一致させることができ
る。ハンドを積載テーブル上から降下させてグリーンシ
ートを積載テーブル上に積載させた状態を、第２のカメ
ラでグリーンシート上の第２の位置検出マークと第２の
基準位置マークとの一致度を検出確認し得るように、２
段階の位置でそれぞれ異なる位置検出マークと基準位置
マークとの一致度を確認することができる積層装置であ
るから、降下後の積層位置における位置ずれを有無を確
実に確かめながらグリーンシート積層することができ
る、実用上の効果はきわめて顕著なものである。
そなえた積載テーブルと、積載テーブル上に積載テーブ
ル面の方向に向けて配置された第１のカメラおよび第２
のカメラと、積載テーブルと第１のカメラおよび第２の
カメラとの間に、積層されるべき基板のグリーンシート
を保持し位置させるハンドと、からなるものであり、積
載テーブル上にハンドにより保持されて位置されるグリ
ーンシートの第１の位置検出マークを第１のカメラで検
出させ、この第１の位置基準マークを位置調整手段によ
り第１の基準位置マークの位置に一致させることができ
る。ハンドを積載テーブル上から降下させてグリーンシ
ートを積載テーブル上に積載させた状態を、第２のカメ
ラでグリーンシート上の第２の位置検出マークと第２の
基準位置マークとの一致度を検出確認し得るように、２
段階の位置でそれぞれ異なる位置検出マークと基準位置
マークとの一致度を確認することができる積層装置であ
るから、降下後の積層位置における位置ずれを有無を確
実に確かめながらグリーンシート積層することができ
る、実用上の効果はきわめて顕著なものである。
第１図は本発明積層基板の製造方法の原理説明図、 第２図は本発明積層基板の製造装置の一実施例、 第３図は従来の積層基板の製造装置、 である。 各図における符号の、 １−１は（積層されるべき）グリーンシート、 １−２は（積層テーブル上に積層されている）グリーン
シート、 1Aは位置基準マーク、第１の位置基準マーク、 1Bは第２の位置基準マーク、 ２は積載テーブル、 2Aは吸着テーブル、 ３はハンド、 3Aは保持プレート、 3B,3Cは位置検出マーク観測用貫通孔、 ４は位置調整テーブル、 ５はＸテーブル、 ６はＹテーブル、 ７はθテーブル、 ８はカメラ、第１のカメラ、 ９は第２のカメラ、 10は昇降手段、 10Aは支柱、 10Bは可動アーム、 10Cは調整ねじ、 11は支持具、 12は基台、 13は表示部、 14は基準位置マーク、第１の基準位置マーク、 をそれぞれ示す。
シート、 1Aは位置基準マーク、第１の位置基準マーク、 1Bは第２の位置基準マーク、 ２は積載テーブル、 2Aは吸着テーブル、 ３はハンド、 3Aは保持プレート、 3B,3Cは位置検出マーク観測用貫通孔、 ４は位置調整テーブル、 ５はＸテーブル、 ６はＹテーブル、 ７はθテーブル、 ８はカメラ、第１のカメラ、 ９は第２のカメラ、 10は昇降手段、 10Aは支柱、 10Bは可動アーム、 10Cは調整ねじ、 11は支持具、 12は基台、 13は表示部、 14は基準位置マーク、第１の基準位置マーク、 をそれぞれ示す。
Claims (2)
- 【請求項１】位置調整手段をそなえた積載テーブル上に
積層されるべき基板のグリーンシートを保持したハンド
を位置させ、上記積載テーブルの所定位置に設けられた
複数の第１のカメラにより上記グリーンシートの第１の
位置検出マークを検出するとともに、上記積載テーブル
の位置を調整させることにより該第１の位置検出マーク
を第１の基準位置マークに一致させ、その状態で、上記
ハンドを降下させてグリーンシートを積載テーブル上に
載置させ、上記積載テーブルの所定位置に設けられた複
数の第２のカメラにより上記グリーンシートの第２の位
置検出マークと第２の基準位置マークとの一致度を検出
確認してグリーンシートを積載テーブル上に積層させる
ことを特徴とする積層基板の製造方法。 - 【請求項２】位置調整手段をそなえた積載テーブルと、
上記積載テーブルにそれぞれが所定位置に配置して設け
られ積載テーブル面の方向に向けられたそれぞれ複数の
第１のカメラおよび第２のカメラと、上記積載テーブル
と第１のカメラおよび第２のカメラとの間に積層される
べき基板のグリーンシートを保持し位置させるハンド
と、からなり、上記積載テーブル上に位置されるグリー
ンシートの第１の位置検出マークを第１のカメラで検出
させるとともに該第１の位置検出マークを上記位置調整
手段により第１の基準位置マークに一致させ該グリーン
シートをハンドとともに降下させて積層テーブル上に載
置させた状態を上記第２のカメラでグリーンシート上の
第２の位置検出マークと第２の基準位置マークとの一致
度を検出し得るようにしたことを特徴とする積層基板の
製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2162017A JP2529008B2 (ja) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | 積層基板の製造方法および積層基板の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2162017A JP2529008B2 (ja) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | 積層基板の製造方法および積層基板の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0452103A JPH0452103A (ja) | 1992-02-20 |
| JP2529008B2 true JP2529008B2 (ja) | 1996-08-28 |
Family
ID=15746474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2162017A Expired - Fee Related JP2529008B2 (ja) | 1990-06-20 | 1990-06-20 | 積層基板の製造方法および積層基板の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2529008B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4780132B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2011-09-28 | Ｔｄｋ株式会社 | 積層セラミック電子部品の製造装置および製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0618687B2 (ja) * | 1985-11-27 | 1994-03-16 | 株式会社日立製作所 | 積層装置 |
-
1990
- 1990-06-20 JP JP2162017A patent/JP2529008B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0452103A (ja) | 1992-02-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |