JP2501928B2 - グリ―ンシ―ト積層方法 - Google Patents
グリ―ンシ―ト積層方法Info
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- JP2501928B2 JP2501928B2 JP2037594A JP3759490A JP2501928B2 JP 2501928 B2 JP2501928 B2 JP 2501928B2 JP 2037594 A JP2037594 A JP 2037594A JP 3759490 A JP3759490 A JP 3759490A JP 2501928 B2 JP2501928 B2 JP 2501928B2
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- JP
- Japan
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- green sheet
- gravity
- center
- green
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- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 セラミックプリント配線板を製造する工程のうちのグ
リーンシートを積層する工程におけるグリーンシート積
層方法に関し、 積層位置精度の向上を可能とすることを目的とし、 グリーンシートにバイアホールを形成する工程でバイ
アホールと併せて位置決め用のホールを形成し、グリー
ンシートを、その位置決めホールを基準として、直前に
積層されたグリーンシートに対して位置決めして積層す
るよう構成する。
リーンシートを積層する工程におけるグリーンシート積
層方法に関し、 積層位置精度の向上を可能とすることを目的とし、 グリーンシートにバイアホールを形成する工程でバイ
アホールと併せて位置決め用のホールを形成し、グリー
ンシートを、その位置決めホールを基準として、直前に
積層されたグリーンシートに対して位置決めして積層す
るよう構成する。
本発明はセラミックプリント配線板を製造する工程の
うちのグリーンシートを積層する工程におけるグリーン
シート積層方法に関する。
うちのグリーンシートを積層する工程におけるグリーン
シート積層方法に関する。
従来は、グリーンシートを各コーナ部に位置決め用孔
を設けた構成とし、グリーンシートをその孔を金型上の
位置決めピンに嵌合させて積層していた。
を設けた構成とし、グリーンシートをその孔を金型上の
位置決めピンに嵌合させて積層していた。
グリーンシートは比較的柔かいものであり、孔をピン
に嵌合させるときに、グリーンシートのうち孔の周囲の
個所が破れることがある。
に嵌合させるときに、グリーンシートのうち孔の周囲の
個所が破れることがある。
この場合には、グリーンシートの位置規制が不確実と
なり、層間の位置ずれが生じて積層位置精度が低下して
しまう。
なり、層間の位置ずれが生じて積層位置精度が低下して
しまう。
そこで、孔とピンを使用しない積層方法の実現が望ま
れていた。
れていた。
本発明は積層位置精度の向上を可能としたグリーンシ
ート積層方法を提供することを目的とする。
ート積層方法を提供することを目的とする。
本発明は、グリーンシートにバイアホールを形成する
工程でバイアホールと併せて４つの位置決め用のホール
をグリーンシートの各コーナ部に形成してなるグリーン
シートを、ステージ上に複数枚積層するグリーンシート
積層方法であって、 直前に積層されているグリーンシートについて、４つ
の位置決め用のホールの夫々の重心位置を算出し、続い
て、算出した４つの重心を結ぶ四角形の重心の位置と対
角線の交角を算出し、 該積層しようとするグリーンシートについて、４つの
位置決め用のホールの夫々の重心位置を算出し、続い
て、算出した４つの重心を結ぶ四角形の重心の位置と対
角線の交角を算出し、 該積層しようとするグリーンシートについて、その四
角形の重心の位置を、直前に積層されているグリーンシ
ートの四角形の重心の位置に一致させ、且つ、その交角
の二等分線を、直前に積層されているグリーンシートの
交角の二等分線に一致させて、上記直前に積層されてい
るグリーンシートに対して位置決めして、該直前に積層
されているグリーンシート上に載置する構成である。
工程でバイアホールと併せて４つの位置決め用のホール
をグリーンシートの各コーナ部に形成してなるグリーン
シートを、ステージ上に複数枚積層するグリーンシート
積層方法であって、 直前に積層されているグリーンシートについて、４つ
の位置決め用のホールの夫々の重心位置を算出し、続い
て、算出した４つの重心を結ぶ四角形の重心の位置と対
角線の交角を算出し、 該積層しようとするグリーンシートについて、４つの
位置決め用のホールの夫々の重心位置を算出し、続い
て、算出した４つの重心を結ぶ四角形の重心の位置と対
角線の交角を算出し、 該積層しようとするグリーンシートについて、その四
角形の重心の位置を、直前に積層されているグリーンシ
ートの四角形の重心の位置に一致させ、且つ、その交角
の二等分線を、直前に積層されているグリーンシートの
交角の二等分線に一致させて、上記直前に積層されてい
るグリーンシートに対して位置決めして、該直前に積層
されているグリーンシート上に載置する構成である。
位置決めホールはバイアホールと併せて形成したもの
であり、グリーンシート上における位置決めホールの位
置精度は高い。
であり、グリーンシート上における位置決めホールの位
置精度は高い。
これにより、グリーンシートの積層を位置精度良く行
うことが可能となる。
うことが可能となる。
また、直前に積層されているグリーンシートについ
て、４つの位置決め用のホールの夫々の重心位置を算出
し、続いて、算出した４つの重心を結ぶ四角形の重心の
位置と対角線の交角を算出し、積層しようとするグリー
ンシートについて、４つの位置決め用のホールの夫々の
重心位置を算出し、続いて、算出した４つの重心を結ぶ
四角形の重心の位置と対角線の交角を算出し、該積層し
ようとするグリーンシートについて、その四角形の重心
の位置を、直前に積層されているグリーンシートの四角
形の重心の位置に一致させ、且つ、その交角の二等分線
を、直前に積層されているグリーンシートの交角の二等
分線に一致させることは、直前に積層されているグリー
ンシートと、積層しようとするグリーンシートとの間で
伸縮率が異なっている場合にも、積層しようとするグリ
ーンシートの各バイアホールの直前に積層されているグ
リーンシートの対応するバイアホールに対する位置ずれ
の量が平均化するように作用する。
て、４つの位置決め用のホールの夫々の重心位置を算出
し、続いて、算出した４つの重心を結ぶ四角形の重心の
位置と対角線の交角を算出し、積層しようとするグリー
ンシートについて、４つの位置決め用のホールの夫々の
重心位置を算出し、続いて、算出した４つの重心を結ぶ
四角形の重心の位置と対角線の交角を算出し、該積層し
ようとするグリーンシートについて、その四角形の重心
の位置を、直前に積層されているグリーンシートの四角
形の重心の位置に一致させ、且つ、その交角の二等分線
を、直前に積層されているグリーンシートの交角の二等
分線に一致させることは、直前に積層されているグリー
ンシートと、積層しようとするグリーンシートとの間で
伸縮率が異なっている場合にも、積層しようとするグリ
ーンシートの各バイアホールの直前に積層されているグ
リーンシートの対応するバイアホールに対する位置ずれ
の量が平均化するように作用する。
第１図は本発明方法を用いた装置の概略構成図を示
す。
す。
同図中、制御部10はメカ制御部11を介して搬送装置12
を制御し、グリーンシート13をテーブル装置14まで搬送
させる。テレビカメラ15はグリーンシート13の位置決め
マークを読み取り、この読取情報は画像処理部16を経て
制御部10に供給され、制御部はこの読取情報をもとにテ
ーブル装置14を制御してテーブル装置14に固定されたグ
リーンシート17とグリーンシート13との位置決めを行な
う。
を制御し、グリーンシート13をテーブル装置14まで搬送
させる。テレビカメラ15はグリーンシート13の位置決め
マークを読み取り、この読取情報は画像処理部16を経て
制御部10に供給され、制御部はこの読取情報をもとにテ
ーブル装置14を制御してテーブル装置14に固定されたグ
リーンシート17とグリーンシート13との位置決めを行な
う。
このグリーンシート13,17は、バイヤ及び微細パター
ンが形成されており、所定の外形寸法とされたものであ
る。
ンが形成されており、所定の外形寸法とされたものであ
る。
第２図は本発明方法の機構部の一実施例の斜視図を示
す。
す。
同図中、テーブル装置14はＸステージ20,Yステージ2
1,θステージ22より構成され、θステージ22は内蔵モー
タによってＸステージ20及びＹステージ21を載せたまま
矢印θ方向に回動し、Ｙステージ21はモータ23によって
Ｘステージ20を載せたまま矢印Ｙ方向に移動し、Ｘステ
ージ20はモータ24によって矢印Ｘ方向に移動する。Ｘス
テージ20上にはバキューム吸着用の溝25が設けられてい
る。
1,θステージ22より構成され、θステージ22は内蔵モー
タによってＸステージ20及びＹステージ21を載せたまま
矢印θ方向に回動し、Ｙステージ21はモータ23によって
Ｘステージ20を載せたまま矢印Ｙ方向に移動し、Ｘステ
ージ20はモータ24によって矢印Ｘ方向に移動する。Ｘス
テージ20上にはバキューム吸着用の溝25が設けられてい
る。
テレビカメラ30,31,32,33夫々はＸステージ20の４つ
の隅部の上方（矢印Ｚ方向）に設けられている。
の隅部の上方（矢印Ｚ方向）に設けられている。
搬送装置12の搬送アーム35はグリーンシート36を１枚
ずつ吸着して、Ｘステージ20とテレビカメラ30〜33との
間を矢印Ｙの逆方向に移動し、グリーンシート36をＸス
テージ20上まで搬送する。最初に搬送されたグリーンシ
ート36はＸステージ20上に載置されて溝25によりバキュ
ーム吸着され、次に搬送されたグリーンシート36はテー
ブル装置による自動位置決め後、グリーンシート36上に
載置され仮固定される。
ずつ吸着して、Ｘステージ20とテレビカメラ30〜33との
間を矢印Ｙの逆方向に移動し、グリーンシート36をＸス
テージ20上まで搬送する。最初に搬送されたグリーンシ
ート36はＸステージ20上に載置されて溝25によりバキュ
ーム吸着され、次に搬送されたグリーンシート36はテー
ブル装置による自動位置決め後、グリーンシート36上に
載置され仮固定される。
Ｘステージ20上まで搬送されたグリーンシート36の以
下に説明する位置決めホール38〜41は夫々テレビカメラ
30〜33によって読み取られる。
下に説明する位置決めホール38〜41は夫々テレビカメラ
30〜33によって読み取られる。
なお、グリーンシート36の搬送時にテレビカメラ30〜
33が邪魔な場合にはテレビカメラ30〜33を取付け軸42a
〜42dにより回動させる構成とする。
33が邪魔な場合にはテレビカメラ30〜33を取付け軸42a
〜42dにより回動させる構成とする。
ここで、グリーンシート36は、第５図に併せて示すよ
うに、製品領域にバイヤホール45を多数有し、且つ、四
つのコーナ部に、位置決めマークとしての位置決めホー
ル38,39,40,41を有する。
うに、製品領域にバイヤホール45を多数有し、且つ、四
つのコーナ部に、位置決めマークとしての位置決めホー
ル38,39,40,41を有する。
第６図はバイヤホール45を形成する穿孔装置60を示
す。
す。
穿孔装置60は、上金型61と下金型62とよりなる。上金
型61内には多数のポンチ62−１〜62−ｎが整列して組込
まれている。各ポンチ62−１〜62−ｎ毎にエアシリンダ
機構63−１〜63−ｎが設けてある。
型61内には多数のポンチ62−１〜62−ｎが整列して組込
まれている。各ポンチ62−１〜62−ｎ毎にエアシリンダ
機構63−１〜63−ｎが設けてある。
穿孔動作は、コンピュータ制御によって所定のエアシ
リンダ機構が作動され、これに対応するポンチが突き出
され、この状態で上金型61が下動し、グリーンシートを
上金型61と下金型62との間に挟むことにより行われ、突
き出しているポンチがグリーンシートを打ち抜く。
リンダ機構が作動され、これに対応するポンチが突き出
され、この状態で上金型61が下動し、グリーンシートを
上金型61と下金型62との間に挟むことにより行われ、突
き出しているポンチがグリーンシートを打ち抜く。
ここで、上記ポンチ62−１〜62−ｎのうち両端側のポ
ンチ62−１及び62−ｎは、上記の位置決めホール38〜41
を打ち抜き形成するためのポンチであり、上金型61内に
他のポンチと併せて組込まれている。グリーンシート36
の穿孔は上記構成の穿孔装置60を使用して行われる。
ンチ62−１及び62−ｎは、上記の位置決めホール38〜41
を打ち抜き形成するためのポンチであり、上金型61内に
他のポンチと併せて組込まれている。グリーンシート36
の穿孔は上記構成の穿孔装置60を使用して行われる。
位置決めホール38〜41は、バイアホール45を穿孔する
工程において、バイアホール45と同時に打ち抜かれて形
成される。
工程において、バイアホール45と同時に打ち抜かれて形
成される。
位置決めホールの形成をバイヤホール45を形成する工
程とは別の工程で行う場合には、グリーンシートの装置
へのセットの誤差等により、位置決めホールの位置精度
十分に高い精度を期待することは困難である。しかし、
上記のように、バイヤホール45と同時に形成することに
より、上記の別工程で形成する場合に比べて、位置決め
ホール38〜42の位置精度は高い。
程とは別の工程で行う場合には、グリーンシートの装置
へのセットの誤差等により、位置決めホールの位置精度
十分に高い精度を期待することは困難である。しかし、
上記のように、バイヤホール45と同時に形成することに
より、上記の別工程で形成する場合に比べて、位置決め
ホール38〜42の位置精度は高い。
第３図は本発明方法の一実施例のフローチャートを示
す。
す。
同図中、まず、最初に搬送されたＸステージ20に固定
されたグリーンシート36の位置決めマーク38〜41を夫々
テレビカメラ30〜33で読み取り第４図（Ａ）に示す如く
各位置決めホール38〜41の重心Ｇｎ（ｎは1,2,3,4）を
算出する（ステップ50）。
されたグリーンシート36の位置決めマーク38〜41を夫々
テレビカメラ30〜33で読み取り第４図（Ａ）に示す如く
各位置決めホール38〜41の重心Ｇｎ（ｎは1,2,3,4）を
算出する（ステップ50）。
次に、第４図（Ｂ）に示す如く重心G1〜G4で形成され
る四角形の重心G0及び対角線の交角θを算出する（ステ
ップ51）。
る四角形の重心G0及び対角線の交角θを算出する（ステ
ップ51）。
この後、次に搬送されたグリーンシート36の位置決め
マーク38〜41を読み取り、夫々の重心G1′,G2′,G3′,G
4′を算出し（ステップ52）、この重心G1′〜G4′で形
成される四角形の重心G0′及び対角線の交角θ′を算出
する（ステップ53）。
マーク38〜41を読み取り、夫々の重心G1′,G2′,G3′,G
4′を算出し（ステップ52）、この重心G1′〜G4′で形
成される四角形の重心G0′及び対角線の交角θ′を算出
する（ステップ53）。
更に、第４図（Ｃ）に示す如く、Ｘテーブル20及びＹ
テーブル21を移動させて重心G0′を重心G0に一致させる
（ステップ54）。また第４図（Ｄ）に示す如く、交角
θ′の二等分線ｌ′を交角θの二等分線ｌとを一致させ
て、交角θ′とθとが互いに按分される状態とする（ス
テップ55）。
テーブル21を移動させて重心G0′を重心G0に一致させる
（ステップ54）。また第４図（Ｄ）に示す如く、交角
θ′の二等分線ｌ′を交角θの二等分線ｌとを一致させ
て、交角θ′とθとが互いに按分される状態とする（ス
テップ55）。
この後、搬送したグリーンシート36を先に固定したグ
リーンシート36上に載置して、両者を接着剤にて仮固定
する（ステップ56）。
リーンシート36上に載置して、両者を接着剤にて仮固定
する（ステップ56）。
上記ステップ52〜56はステップ57において積層が完了
したと判別されるまで繰り返し実行される。
したと判別されるまで繰り返し実行される。
勿論、上記の積層後の加熱加圧処理で、グリーンシー
ト36間が溶着され、グリーンシート積層体ができあが
る。
ト36間が溶着され、グリーンシート積層体ができあが
る。
ここで、位置決めホール38〜41はバイヤホール45と共
に形成されたものであり、位置精度は高い。
に形成されたものであり、位置精度は高い。
従って、グリーンシート36の積層をそれだけ位置精度
良く行うことができる。これにより、高品質のセラミッ
クプリント配線板を製造することが出来る。
良く行うことができる。これにより、高品質のセラミッ
クプリント配線板を製造することが出来る。
また、重心の一致及び交角の二等分線の一致による位
置決めを行なっているため、各グリーンシート36間で伸
縮率が異なっていても位置ずれが最小に抑えられる。
置決めを行なっているため、各グリーンシート36間で伸
縮率が異なっていても位置ずれが最小に抑えられる。
これによってもグリーンシートの層間の位置精度が向
上する。
上する。
以上説明した様に、本発明によれば、グリーンシート
上における位置決めホールの位置精度を高く出来、これ
により、グリーンシートの積層の位置精度を向上させる
ことが出来る。
上における位置決めホールの位置精度を高く出来、これ
により、グリーンシートの積層の位置精度を向上させる
ことが出来る。
また、直前に積層されているグリーンシートについ
て、４つの位置決め用のホールの夫々の重心位置を算出
し、続いて、算出した４つの重心を結ぶ四角形の重心の
位置と対角線の交角を算出し、積層しようとするグリー
ンシートについて、４つの位置決め用のホールの夫々の
重心位置を算出し、続いて、算出した４つの重心を結ぶ
四角形の重心の位置と対角線の交角を算出し、該積層し
ようとするグリーンシートについて、その四角形の重心
の位置を、直前に積層されているグリーンシートの四角
形の重心の位置に一致させ、且つ、その交角の二等分線
を、直前に積層されているグリーンシートの交角の二等
分線に一致させるようにしているため、直前に積層され
ているグリーンシートの伸縮率と、これから積層しよう
とするグリーンシートの伸縮率とが異なっている場合で
あっても、積層しようとするグリーンシートの各バイア
ホールの直前に積層されているグリーンシートの対応す
るバイアホールに対する位置ずれの量が平均化された状
態でグリーンシートを積層することが出来る。即ち、上
下のグリーンシートの対応する各バイアホールについて
みたときに、あるバイアホールは精度よく揃っているけ
れども、別のバイアホールは比較的大きく不揃いとなっ
てしまうという状態とはならず、上下のグリーンシート
の対応する全部のバイアホールについて、ずれの程度が
略一様となるようにすることが出来る。よって、特に不
安定なバイアホールが形成されることを回避出来、高い
品質のセラミックプリント配線板を製造することが出来
る。即ち、グリーンシート間での伸縮率の違いの影響を
最小に抑えることが出来る。
て、４つの位置決め用のホールの夫々の重心位置を算出
し、続いて、算出した４つの重心を結ぶ四角形の重心の
位置と対角線の交角を算出し、積層しようとするグリー
ンシートについて、４つの位置決め用のホールの夫々の
重心位置を算出し、続いて、算出した４つの重心を結ぶ
四角形の重心の位置と対角線の交角を算出し、該積層し
ようとするグリーンシートについて、その四角形の重心
の位置を、直前に積層されているグリーンシートの四角
形の重心の位置に一致させ、且つ、その交角の二等分線
を、直前に積層されているグリーンシートの交角の二等
分線に一致させるようにしているため、直前に積層され
ているグリーンシートの伸縮率と、これから積層しよう
とするグリーンシートの伸縮率とが異なっている場合で
あっても、積層しようとするグリーンシートの各バイア
ホールの直前に積層されているグリーンシートの対応す
るバイアホールに対する位置ずれの量が平均化された状
態でグリーンシートを積層することが出来る。即ち、上
下のグリーンシートの対応する各バイアホールについて
みたときに、あるバイアホールは精度よく揃っているけ
れども、別のバイアホールは比較的大きく不揃いとなっ
てしまうという状態とはならず、上下のグリーンシート
の対応する全部のバイアホールについて、ずれの程度が
略一様となるようにすることが出来る。よって、特に不
安定なバイアホールが形成されることを回避出来、高い
品質のセラミックプリント配線板を製造することが出来
る。即ち、グリーンシート間での伸縮率の違いの影響を
最小に抑えることが出来る。
第１図は本発明方法を用いた装置の概略構成図、 第２図は本発明方法の機構部の一実施例の斜視図、 第３図は本発明方法の一実施例のフローチャート、 第４図は本発明方法を説明するための図、 第５図はグリーンシートを示す図、 第６図は位置決めホールを穿孔する装置を示す図であ
る。 図において、 10は制御部、 11はメカ制御部、 12は搬送装置、 13,17,36はグリーンシート、 14はテーブル装置、 15,30〜33はテレビカメラ、 38〜41は位置決めホール、 50〜57はステップ、 60は穿孔装置、 61は上金型、 62は下金型、 62−１〜62−ｎはポンチ を示す。
る。 図において、 10は制御部、 11はメカ制御部、 12は搬送装置、 13,17,36はグリーンシート、 14はテーブル装置、 15,30〜33はテレビカメラ、 38〜41は位置決めホール、 50〜57はステップ、 60は穿孔装置、 61は上金型、 62は下金型、 62−１〜62−ｎはポンチ を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】グリーンシートにバイアホールを形成する
工程でバイアホールと併せて４つの位置決め用のホール
をグリーンシートの各コーナ部に形成してなるグリーン
シートを、ステージ上に複数枚積層するグリーンシート
積層方法であって、 直前に積層されているグリーンシートについて、４つの
位置決め用のホールの夫々の重心位置を算出し、続い
て、算出した４つの重心を結ぶ四角形の重心の位置と対
角線の交角を算出し、 積層しようとするグリーンシートについて、４つの位置
決め用のホールの夫々の重心位置を算出し、続いて、算
出した４つの重心を結ぶ四角形の重心の位置と対角線の
交角を算出し、 該積層しようとするグリーンシートについて、その四角
形の重心の位置を、直前に積層されているグリーンシー
トの四角形の重心の位置に一致させ、且つ、その交角の
二等分線を、直前に積層されているグリーンシートの交
角の二等分線に一致させて、上記直前に積層されている
グリーンシートに対して位置決めして、該直前に積層さ
れているグリーンシート上に載置する構成としたことを
特徴とするグリーンシート積層方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2037594A JP2501928B2 (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 | グリ―ンシ―ト積層方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2037594A JP2501928B2 (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 | グリ―ンシ―ト積層方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03240503A JPH03240503A (ja) | 1991-10-25 |
| JP2501928B2 true JP2501928B2 (ja) | 1996-05-29 |
Family
ID=12501879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2037594A Expired - Lifetime JP2501928B2 (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 | グリ―ンシ―ト積層方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2501928B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2625367B2 (ja) * | 1993-12-16 | 1997-07-02 | 日本電気株式会社 | 多層配線基板の製造方法 |
| JP4764729B2 (ja) * | 2006-01-27 | 2011-09-07 | コーア株式会社 | セラミック多層基板の製造方法 |
| JP2009246273A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Tdk Corp | グリーンシート積層装置および積層型電子部品の製造装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59997A (ja) * | 1982-06-28 | 1984-01-06 | 株式会社日立製作所 | セラミツク基板製造方法 |
-
1990
- 1990-02-19 JP JP2037594A patent/JP2501928B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03240503A (ja) | 1991-10-25 |
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