JPH10315430A - 基板へのスクリーン印刷方法 - Google Patents
基板へのスクリーン印刷方法Info
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- JPH10315430A JPH10315430A JP9128331A JP12833197A JPH10315430A JP H10315430 A JPH10315430 A JP H10315430A JP 9128331 A JP9128331 A JP 9128331A JP 12833197 A JP12833197 A JP 12833197A JP H10315430 A JPH10315430 A JP H10315430A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 印刷時点での被印刷基板の位置ずれを少なく
でき、回路パターン等の形成を高精度に行うことを可能
にするスクリーン印刷方法を提供する。 【解決手段】 印刷部２に配置したスクリーン版６を介
して、基板テーブル３に保持した被印刷基板１に印刷す
る印刷方法において、印刷部２にある基板テーブル３に
保持した被印刷基板１の位置を、移動可能な視覚認識部
５による、基板テーブル３の上方の位置からの撮像情報
に基づいて検出し、検出した被印刷基板１の位置と、予
め設定している所定位置とのずれ量に基づいて、基板テ
ーブル３の位置を制御して、被印刷基板１の位置合わせ
を行った後、被印刷基板１に印刷することを特徴とす
る。また、基板テーブル３の温度を制御することによ
り、被印刷基板１の温度を所定温度に調節した後、基板
テーブル３に保持した被印刷基板１の位置を検出するよ
うにしたことを特徴とする。
でき、回路パターン等の形成を高精度に行うことを可能
にするスクリーン印刷方法を提供する。 【解決手段】 印刷部２に配置したスクリーン版６を介
して、基板テーブル３に保持した被印刷基板１に印刷す
る印刷方法において、印刷部２にある基板テーブル３に
保持した被印刷基板１の位置を、移動可能な視覚認識部
５による、基板テーブル３の上方の位置からの撮像情報
に基づいて検出し、検出した被印刷基板１の位置と、予
め設定している所定位置とのずれ量に基づいて、基板テ
ーブル３の位置を制御して、被印刷基板１の位置合わせ
を行った後、被印刷基板１に印刷することを特徴とす
る。また、基板テーブル３の温度を制御することによ
り、被印刷基板１の温度を所定温度に調節した後、基板
テーブル３に保持した被印刷基板１の位置を検出するよ
うにしたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子回路用基板に
回路パターン等を印刷するために使用される基板へのス
クリーン印刷方法に関する。
回路パターン等を印刷するために使用される基板へのス
クリーン印刷方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子回路用基板に回路パターン等を印刷
するために、スクリーン印刷が広く行われている。従来
のスクリーン印刷方法としては、印刷部外にある場所
で、基板テーブルに吸着等の手段で保持した被印刷基板
（ワーク）の位置をＣＣＤカメラ等からなる視覚認識部
による撮像情報に基づいて検出し、検出した被印刷基板
の位置と所定位置とのずれ量に基づいて、Ｘ軸、Ｙ軸方
向への移動及び偏角θの補正のための移動を基板テーブ
ルの位置について行って基板テーブルの位置を制御する
ことにより、基板テーブルに固定している被印刷基板の
位置合わせを行った後、基板テーブルと共に被印刷基板
を印刷部に移送し、次いで印刷部に配置したスクリーン
版を介して印刷する方法があった。しかし、この方法で
は被印刷基板の位置合わせを行った後で、基板テーブル
と共に被印刷基板を印刷部に移送するため、移送手段の
精度による機械的ずれや、移送時の急加速や急停止に伴
って生じる被印刷基板の位置ずれ等が生じるため、回路
パターン等の形成が高精度で行えないという問題があっ
た。
するために、スクリーン印刷が広く行われている。従来
のスクリーン印刷方法としては、印刷部外にある場所
で、基板テーブルに吸着等の手段で保持した被印刷基板
（ワーク）の位置をＣＣＤカメラ等からなる視覚認識部
による撮像情報に基づいて検出し、検出した被印刷基板
の位置と所定位置とのずれ量に基づいて、Ｘ軸、Ｙ軸方
向への移動及び偏角θの補正のための移動を基板テーブ
ルの位置について行って基板テーブルの位置を制御する
ことにより、基板テーブルに固定している被印刷基板の
位置合わせを行った後、基板テーブルと共に被印刷基板
を印刷部に移送し、次いで印刷部に配置したスクリーン
版を介して印刷する方法があった。しかし、この方法で
は被印刷基板の位置合わせを行った後で、基板テーブル
と共に被印刷基板を印刷部に移送するため、移送手段の
精度による機械的ずれや、移送時の急加速や急停止に伴
って生じる被印刷基板の位置ずれ等が生じるため、回路
パターン等の形成が高精度で行えないという問題があっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記のような
事情に鑑みてなされたものであって、その目的とすると
ころは、印刷部に配置したスクリーン版を介して、基板
テーブルに保持した被印刷基板に印刷する基板へのスク
リーン印刷方法であって、印刷時点での被印刷基板の位
置ずれを少なくでき、従って、回路パターン等の形成を
高精度に行うことを可能にするスクリーン印刷方法を提
供することにある。
事情に鑑みてなされたものであって、その目的とすると
ころは、印刷部に配置したスクリーン版を介して、基板
テーブルに保持した被印刷基板に印刷する基板へのスク
リーン印刷方法であって、印刷時点での被印刷基板の位
置ずれを少なくでき、従って、回路パターン等の形成を
高精度に行うことを可能にするスクリーン印刷方法を提
供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明の基
板へのスクリーン印刷方法は、印刷部に配置したスクリ
ーン版を介して、基板テーブルに保持した被印刷基板に
印刷する基板へのスクリーン印刷方法において、印刷部
にある基板テーブルに保持した被印刷基板の位置を、移
動可能な視覚認識部による、基板テーブルの上方の位置
からの撮像情報に基づいて検出し、検出した被印刷基板
の位置と、予め設定している所定位置とのずれ量に基づ
いて、基板テーブルの位置を制御して、被印刷基板の位
置合わせを行った後、被印刷基板に印刷することを特徴
とする。
板へのスクリーン印刷方法は、印刷部に配置したスクリ
ーン版を介して、基板テーブルに保持した被印刷基板に
印刷する基板へのスクリーン印刷方法において、印刷部
にある基板テーブルに保持した被印刷基板の位置を、移
動可能な視覚認識部による、基板テーブルの上方の位置
からの撮像情報に基づいて検出し、検出した被印刷基板
の位置と、予め設定している所定位置とのずれ量に基づ
いて、基板テーブルの位置を制御して、被印刷基板の位
置合わせを行った後、被印刷基板に印刷することを特徴
とする。
【０００５】請求項２に係る発明の基板へのスクリーン
印刷方法は、請求項１記載の基板へのスクリーン印刷方
法において、基板テーブルの温度を制御することによ
り、基板テーブルに保持した被印刷基板の温度を所定温
度に調節した後、基板テーブルに保持した被印刷基板の
位置を検出するようにしたことを特徴とする。
印刷方法は、請求項１記載の基板へのスクリーン印刷方
法において、基板テーブルの温度を制御することによ
り、基板テーブルに保持した被印刷基板の温度を所定温
度に調節した後、基板テーブルに保持した被印刷基板の
位置を検出するようにしたことを特徴とする。
【０００６】請求項３に係る発明の基板へのスクリーン
印刷方法は、請求項２記載の基板へのスクリーン印刷方
法において、印刷部外に予備温調ゾーンを設けておき、
この予備温調ゾーンで被印刷基板の温度を調節した後、
この基板を印刷部に移動して、印刷部にある基板テーブ
ルに保持させることを特徴とする。
印刷方法は、請求項２記載の基板へのスクリーン印刷方
法において、印刷部外に予備温調ゾーンを設けておき、
この予備温調ゾーンで被印刷基板の温度を調節した後、
この基板を印刷部に移動して、印刷部にある基板テーブ
ルに保持させることを特徴とする。
【０００７】本発明では、印刷部にある基板テーブルに
保持した被印刷基板に対して位置合わせを行った後、こ
の被印刷基板を移送することなく印刷するので、被印刷
基板の移送に伴って生じる被印刷基板の位置ずれが発生
しない。従って、従来の方法に比べ、印刷時点での被印
刷基板の位置ずれを少なくして印刷を行うことが可能に
なる。
保持した被印刷基板に対して位置合わせを行った後、こ
の被印刷基板を移送することなく印刷するので、被印刷
基板の移送に伴って生じる被印刷基板の位置ずれが発生
しない。従って、従来の方法に比べ、印刷時点での被印
刷基板の位置ずれを少なくして印刷を行うことが可能に
なる。
【０００８】また、印刷部にある基板テーブルの温度を
制御することにより、基板テーブルに保持した被印刷基
板の温度を所定温度に調節した後、基板テーブルに保持
した被印刷基板の位置を検出するようにすることは、被
印刷基板が温度によって大きく寸法変化する場合であっ
ても、所定温度の被印刷基板について位置合わせを行え
るため、印刷時点での被印刷基板の位置ずれをより少な
くして印刷を行うことを可能にする作用がある。さら
に、印刷部外に予備温調ゾーンを設けておき、この予備
温調ゾーンで被印刷基板の温度を調節した後、この基板
を印刷部に移動して、印刷部にある基板テーブルに保持
させるようにすることは、被印刷基板を加熱又は冷却し
てから印刷することが望ましい場合に、短時間で被印刷
基板の温度を所望温度にすることができるので、印刷ま
でに要する時間の短縮化を可能にする作用がある。
制御することにより、基板テーブルに保持した被印刷基
板の温度を所定温度に調節した後、基板テーブルに保持
した被印刷基板の位置を検出するようにすることは、被
印刷基板が温度によって大きく寸法変化する場合であっ
ても、所定温度の被印刷基板について位置合わせを行え
るため、印刷時点での被印刷基板の位置ずれをより少な
くして印刷を行うことを可能にする作用がある。さら
に、印刷部外に予備温調ゾーンを設けておき、この予備
温調ゾーンで被印刷基板の温度を調節した後、この基板
を印刷部に移動して、印刷部にある基板テーブルに保持
させるようにすることは、被印刷基板を加熱又は冷却し
てから印刷することが望ましい場合に、短時間で被印刷
基板の温度を所望温度にすることができるので、印刷ま
でに要する時間の短縮化を可能にする作用がある。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１０】図１〜図３は本発明の実施の形態を説明す
るための側面図である。本発明の基板へのスクリーン印
刷方法では、図１に示すように、被印刷基板１に回路パ
ターン等をスクリーン印刷する場所である印刷部２に、
印刷部２以外の場所から被印刷基板１をホイスト等から
なるワーク搬入装置（図示せず）を用いて搬入する。次
いで、印刷部２にある基板テーブル３に備えつけている
基板保持部材４で被印刷基板１を保持し、固定する。な
お、基板保持部材４に代えて吸着等の手段によって基板
テーブル３に被印刷基板１を固定してもよい。
るための側面図である。本発明の基板へのスクリーン印
刷方法では、図１に示すように、被印刷基板１に回路パ
ターン等をスクリーン印刷する場所である印刷部２に、
印刷部２以外の場所から被印刷基板１をホイスト等から
なるワーク搬入装置（図示せず）を用いて搬入する。次
いで、印刷部２にある基板テーブル３に備えつけている
基板保持部材４で被印刷基板１を保持し、固定する。な
お、基板保持部材４に代えて吸着等の手段によって基板
テーブル３に被印刷基板１を固定してもよい。
【００１１】次いで、固定された被印刷基板１の位置
を、移動可能な視覚認識部５による、基板テーブル３の
上方の位置からの撮像情報に基づいて検出する。より具
体的には、視覚認識部５として例えばＣＣＤ（電荷結合
素子）カメラを使用し、被印刷基板１の表面に付された
２つ以上の所定形状のマークをＣＣＤカメラで捕らえ、
マークの位置を制御部（図示せず）で読み取って、固定
された被印刷基板１の位置を検出する。ＣＣＤカメラの
数はマーク数と同数あれば被印刷基板１の位置の認識が
短時間でできるので好ましいが、ＣＣＤカメラを移動さ
せて認識すべきマークを捕らえるようにすれば１台であ
ってもよい。また、ＣＣＤカメラは被印刷基板１を搬入
・搬出するワーク搬入装置に取り付けておくことも可能
である。そして、検出した被印刷基板１の位置と、予め
設定している所定位置との、Ｘ軸、Ｙ軸方向のずれ量及
び偏角θを制御部（図示せず）で算出してずれ量を検出
する。検出したずれ量だけ位置補正するために、基板テ
ーブル３の位置を移動して、被印刷基板１の位置を予め
設定している所定位置に合わせる。なお、基板テーブル
３はＸ軸、Ｙ軸方向への移動及び偏角θの補正のための
移動がモータ駆動によって行える構造になっている。ま
た、基板テーブル３の上方にはスクリーン版６を配置し
ている。
を、移動可能な視覚認識部５による、基板テーブル３の
上方の位置からの撮像情報に基づいて検出する。より具
体的には、視覚認識部５として例えばＣＣＤ（電荷結合
素子）カメラを使用し、被印刷基板１の表面に付された
２つ以上の所定形状のマークをＣＣＤカメラで捕らえ、
マークの位置を制御部（図示せず）で読み取って、固定
された被印刷基板１の位置を検出する。ＣＣＤカメラの
数はマーク数と同数あれば被印刷基板１の位置の認識が
短時間でできるので好ましいが、ＣＣＤカメラを移動さ
せて認識すべきマークを捕らえるようにすれば１台であ
ってもよい。また、ＣＣＤカメラは被印刷基板１を搬入
・搬出するワーク搬入装置に取り付けておくことも可能
である。そして、検出した被印刷基板１の位置と、予め
設定している所定位置との、Ｘ軸、Ｙ軸方向のずれ量及
び偏角θを制御部（図示せず）で算出してずれ量を検出
する。検出したずれ量だけ位置補正するために、基板テ
ーブル３の位置を移動して、被印刷基板１の位置を予め
設定している所定位置に合わせる。なお、基板テーブル
３はＸ軸、Ｙ軸方向への移動及び偏角θの補正のための
移動がモータ駆動によって行える構造になっている。ま
た、基板テーブル３の上方にはスクリーン版６を配置し
ている。
【００１２】次いで、図２に示すように、視覚認識部５
を基板テーブル３の上方の位置から移動した後、図３に
示すように、基板テーブル３の上方に配置したスクリー
ン版６を被印刷基板１上にセットして印刷を開始する。
スクリーン版６はスクリーン枠７に固定していて、所定
の位置にセットした後印刷開始するが、スクリーン枠７
の移動方式は例えばＸ軸、Ｙ軸方向の移動はせず、高さ
方向の移動だけで行う等、位置精度を良好に保持できる
方式で行う。
を基板テーブル３の上方の位置から移動した後、図３に
示すように、基板テーブル３の上方に配置したスクリー
ン版６を被印刷基板１上にセットして印刷を開始する。
スクリーン版６はスクリーン枠７に固定していて、所定
の位置にセットした後印刷開始するが、スクリーン枠７
の移動方式は例えばＸ軸、Ｙ軸方向の移動はせず、高さ
方向の移動だけで行う等、位置精度を良好に保持できる
方式で行う。
【００１３】以上のように、この実施の形態の場合に
は、被印刷基板１の位置合わせを印刷部２において行う
ので、印刷時点での被印刷基板１の位置ずれを少なくで
き、従って、回路パターン等の形成を高精度に行うこと
ができる。
は、被印刷基板１の位置合わせを印刷部２において行う
ので、印刷時点での被印刷基板１の位置ずれを少なくで
き、従って、回路パターン等の形成を高精度に行うこと
ができる。
【００１４】また、基板テーブル３の温度を制御するこ
とにより、基板テーブル３に保持した被印刷基板１の温
度を所定温度に調節した後、基板テーブル３に保持した
被印刷基板１の位置を上記の方法で検出するようにする
と、被印刷基板１の温度が予定する温度に合致させるこ
とができるので、印刷時点での被印刷基板の温度変化に
よる位置ずれをより少なくして印刷を行うことができ
る。なお、基板テーブル３の温度を制御する方法につい
ては、特に制限はなく、例えば、図１〜図３に示すよう
に冷却及び加熱ができる冷却／加熱プレート８を基板テ
ーブル３の表面に配置する等の方法で行えばよい。
とにより、基板テーブル３に保持した被印刷基板１の温
度を所定温度に調節した後、基板テーブル３に保持した
被印刷基板１の位置を上記の方法で検出するようにする
と、被印刷基板１の温度が予定する温度に合致させるこ
とができるので、印刷時点での被印刷基板の温度変化に
よる位置ずれをより少なくして印刷を行うことができ
る。なお、基板テーブル３の温度を制御する方法につい
ては、特に制限はなく、例えば、図１〜図３に示すよう
に冷却及び加熱ができる冷却／加熱プレート８を基板テ
ーブル３の表面に配置する等の方法で行えばよい。
【００１５】また、印刷部２外の場所に予備温調ゾーン
（図示せず）を設けておき、この予備温調ゾーンで被印
刷基板１の温度を調節した後、この被印刷基板１を印刷
部２に移動して、印刷部２にある基板テーブル３に保持
させるするようにすると、被印刷基板１を加熱又は冷却
してから印刷することが望ましい場合に、短時間で被印
刷基板１の温度を所望温度にすることができるので、印
刷までに要する時間の短縮化ができる。
（図示せず）を設けておき、この予備温調ゾーンで被印
刷基板１の温度を調節した後、この被印刷基板１を印刷
部２に移動して、印刷部２にある基板テーブル３に保持
させるするようにすると、被印刷基板１を加熱又は冷却
してから印刷することが望ましい場合に、短時間で被印
刷基板１の温度を所望温度にすることができるので、印
刷までに要する時間の短縮化ができる。
【００１６】
【発明の効果】本発明の基板へのスクリーン印刷方法で
は、印刷部にある基板テーブルに保持した被印刷基板に
対して位置合わせを行った後、この被印刷基板を移送す
ることなしに印刷するので、被印刷基板の移送に伴って
生じる被印刷基板の位置ずれが発生しない。従って、本
発明の基板へのスクリーン印刷方法によれば、従来の方
法に比べ、印刷時点での被印刷基板の位置ずれを少なく
して印刷を行うことが可能である。
は、印刷部にある基板テーブルに保持した被印刷基板に
対して位置合わせを行った後、この被印刷基板を移送す
ることなしに印刷するので、被印刷基板の移送に伴って
生じる被印刷基板の位置ずれが発生しない。従って、本
発明の基板へのスクリーン印刷方法によれば、従来の方
法に比べ、印刷時点での被印刷基板の位置ずれを少なく
して印刷を行うことが可能である。
【００１７】また、請求項２に係る発明のスクリーン印
刷方法では、印刷部にある基板テーブルの温度を制御す
ることにより、基板テーブルに保持した被印刷基板の温
度を所定温度に調節した後、基板テーブルに保持した被
印刷基板の位置を検出するようにしているので、上記の
効果に加えて、被印刷基板が温度によって大きく寸法変
化する場合であっても、所定温度の被印刷基板について
位置合わせを行えるため、印刷時点での被印刷基板の位
置ずれをより少なくして印刷を行うことが可能である。
刷方法では、印刷部にある基板テーブルの温度を制御す
ることにより、基板テーブルに保持した被印刷基板の温
度を所定温度に調節した後、基板テーブルに保持した被
印刷基板の位置を検出するようにしているので、上記の
効果に加えて、被印刷基板が温度によって大きく寸法変
化する場合であっても、所定温度の被印刷基板について
位置合わせを行えるため、印刷時点での被印刷基板の位
置ずれをより少なくして印刷を行うことが可能である。
【００１８】さらに、請求項３に係る発明のスクリーン
印刷方法では、印刷部外に予備温調ゾーンを設けてお
き、この予備温調ゾーンで被印刷基板の温度を調節した
後、この基板を印刷部に移動して、印刷部にある基板テ
ーブルに保持させるようにしているので、被印刷基板を
加熱又は冷却してから印刷することが望ましい場合に、
短時間で被印刷基板の温度を所望温度にすることがで
き、印刷までに要する時間の短縮化できるという効果も
奏する。
印刷方法では、印刷部外に予備温調ゾーンを設けてお
き、この予備温調ゾーンで被印刷基板の温度を調節した
後、この基板を印刷部に移動して、印刷部にある基板テ
ーブルに保持させるようにしているので、被印刷基板を
加熱又は冷却してから印刷することが望ましい場合に、
短時間で被印刷基板の温度を所望温度にすることがで
き、印刷までに要する時間の短縮化できるという効果も
奏する。
【図１】本発明の実施の形態を説明するための側面図で
ある。
ある。
【図２】本発明の実施の形態における図１に続く工程を
説明するための側面図である。
説明するための側面図である。
【図３】本発明の実施の形態における図２に続く工程を
説明するための側面図である。
説明するための側面図である。
１ 被印刷基板 ２ 印刷部 ３ 基板テーブル ４ 基板保持部材 ５ 視覚認識部 ６ スクリーン版 ７ スクリーン枠 ８ 冷却／加熱プレート
Claims (3)
- 【請求項１】 印刷部に配置したスクリーン版を介し
て、基板テーブルに保持した被印刷基板に印刷する基板
へのスクリーン印刷方法において、印刷部にある基板テ
ーブルに保持した被印刷基板の位置を、移動可能な視覚
認識部による、基板テーブルの上方の位置からの撮像情
報に基づいて検出し、検出した被印刷基板の位置と、予
め設定している所定位置とのずれ量に基づいて、基板テ
ーブルの位置を制御して、被印刷基板の位置合わせを行
った後、被印刷基板に印刷することを特徴とする基板へ
のスクリーン印刷方法。 - 【請求項２】 基板テーブルの温度を制御することによ
り、基板テーブルに保持した被印刷基板の温度を所定温
度に調節した後、基板テーブルに保持した被印刷基板の
位置を検出するようにしたことを特徴とする請求項１記
載の基板へのスクリーン印刷方法。 - 【請求項３】 印刷部外に予備温調ゾーンを設けてお
き、この予備温調ゾーンで被印刷基板の温度を調節した
後、この基板を印刷部に移動して、印刷部にある基板テ
ーブルに保持させることを特徴とする請求項２記載の基
板へのスクリーン印刷方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12833197A JP3430858B2 (ja) | 1997-05-19 | 1997-05-19 | 基板へのスクリーン印刷方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12833197A JP3430858B2 (ja) | 1997-05-19 | 1997-05-19 | 基板へのスクリーン印刷方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10315430A true JPH10315430A (ja) | 1998-12-02 |
| JP3430858B2 JP3430858B2 (ja) | 2003-07-28 |
Family
ID=14982156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12833197A Expired - Fee Related JP3430858B2 (ja) | 1997-05-19 | 1997-05-19 | 基板へのスクリーン印刷方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3430858B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009248392A (ja) * | 2008-04-03 | 2009-10-29 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | スクリーン印刷方法及び基板温度調節機能付きスクリーン印刷装置 |
| JP2010507913A (ja) * | 2006-10-24 | 2010-03-11 | コミサリア、ア、レネルジ、アトミク−セーエーアー | メタライゼーション装置および方法 |
| CN102848709A (zh) * | 2012-09-29 | 2013-01-02 | 信利光电(汕尾)有限公司 | 一种半自动丝网印刷对位方法 |
| JP2015074139A (ja) * | 2013-10-08 | 2015-04-20 | 株式会社村田製作所 | インク乾燥装置、パターン印刷装置及びパターン印刷方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101926496B1 (ko) * | 2014-08-19 | 2018-12-07 | 한화에어로스페이스 주식회사 | 스크린 프린터 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5783841U (ja) * | 1980-11-11 | 1982-05-24 | ||
| JPS5837179U (ja) * | 1981-09-04 | 1983-03-10 | 富士通株式会社 | スクリ−ン印刷機 |
| JPH04236494A (ja) * | 1991-01-18 | 1992-08-25 | Furukawa Electric Co Ltd:The | クリーム半田の印刷装置 |
| JPH07304153A (ja) * | 1994-05-12 | 1995-11-21 | Hitachi Ltd | スクリーン印刷装置 |
-
1997
- 1997-05-19 JP JP12833197A patent/JP3430858B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5783841U (ja) * | 1980-11-11 | 1982-05-24 | ||
| JPS5837179U (ja) * | 1981-09-04 | 1983-03-10 | 富士通株式会社 | スクリ−ン印刷機 |
| JPH04236494A (ja) * | 1991-01-18 | 1992-08-25 | Furukawa Electric Co Ltd:The | クリーム半田の印刷装置 |
| JPH07304153A (ja) * | 1994-05-12 | 1995-11-21 | Hitachi Ltd | スクリーン印刷装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010507913A (ja) * | 2006-10-24 | 2010-03-11 | コミサリア、ア、レネルジ、アトミク−セーエーアー | メタライゼーション装置および方法 |
| JP2009248392A (ja) * | 2008-04-03 | 2009-10-29 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | スクリーン印刷方法及び基板温度調節機能付きスクリーン印刷装置 |
| CN102848709A (zh) * | 2012-09-29 | 2013-01-02 | 信利光电(汕尾)有限公司 | 一种半自动丝网印刷对位方法 |
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