JPH03240501A - グリーンシート積層方法 - Google Patents
グリーンシート積層方法Info
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- JPH03240501A JPH03240501A JP3759390A JP3759390A JPH03240501A JP H03240501 A JPH03240501 A JP H03240501A JP 3759390 A JP3759390 A JP 3759390A JP 3759390 A JP3759390 A JP 3759390A JP H03240501 A JPH03240501 A JP H03240501A
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- green sheet
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Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 238000010030 laminating Methods 0.000 title claims description 4
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 18
- 101100313164 Caenorhabditis elegans sea-1 gene Proteins 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 101100276984 Mus musculus Ccdc88c gene Proteins 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 210000004709 eyebrow Anatomy 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 235000011962 puddings Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はセラミックプリント配線板を製造する工程のう
ちのグリーンシートを積層する[稈におけるグリンシー
ト積層方法に関する。
ちのグリーンシートを積層する[稈におけるグリンシー
ト積層方法に関する。
3、発明の詳細な説明
〔概疲〕
セラミックプリン1〜配線板を製造するF稈のう〔従来
の技術] 従来はグリーンシートを各」−す部に位貿決め用孔を設
けた構成とし、グリーンシーl〜をその孔を金型」二の
位匝決めピンに嵌合させて積層していた。
の技術] 従来はグリーンシートを各」−す部に位貿決め用孔を設
けた構成とし、グリーンシーl〜をその孔を金型」二の
位匝決めピンに嵌合させて積層していた。
積層されたグリーンシートの位置ずれは、位置決めピン
により規制されている。
により規制されている。
グリーンシートは比較的柔かいものであり、孔をピンに
嵌合させるどきに、グリーンシートのうち孔の周囲の個
所が破れることがある。
嵌合させるどきに、グリーンシートのうち孔の周囲の個
所が破れることがある。
この場合に◆よ、グリーンシートの信置規制が不確実と
なり、眉間の位置ずれが生じてしまう。
なり、眉間の位置ずれが生じてしまう。
そこで、孔とピンを使用しない積層方法の実現が望まれ
ていた。
ていた。
この場合には、グリーンシートを積囮毎に仮固定するこ
とが必要となる。この仮固定については、加圧のときに
不都合が起きない状態で仮固定をする必要がある。
とが必要となる。この仮固定については、加圧のときに
不都合が起きない状態で仮固定をする必要がある。
本発明は、厚さ均一性を損なわずに仮固定を可能とした
グリーンシート積層方法を提供することを目的とする。
グリーンシート積層方法を提供することを目的とする。
本発明は、グリーンシートを直前に積層されたグリーン
シートど仮固定させつつ積層する方法であって、 上記の仮固定を、上記グリーンシートの周辺に沿う複数
の個所で且つこの個所を積層の都度グリーンシートの周
辺に沿ってずらしつつ行う構成である。
シートど仮固定させつつ積層する方法であって、 上記の仮固定を、上記グリーンシートの周辺に沿う複数
の個所で且つこの個所を積層の都度グリーンシートの周
辺に沿ってずらしつつ行う構成である。
〔作用]
仮固定の個所を積層の都度ずらづ−ことにより、仮固定
の個所が積層方向上型ならず、グリーンシート積層体の
周辺の厚さを略均−どし得る、。
の個所が積層方向上型ならず、グリーンシート積層体の
周辺の厚さを略均−どし得る、。
第1図は本発明方法を用いた装置の概略構成図を示す。
同図中、制御部10はメカ制御部11を介して搬送装置
12を制御し、グリーンシー(・13を7−プル装置1
4まで搬送させる1、このグリーンシ−1〜13は、バ
イザ及び微細パターンが形成されており、所定の外形寸
法とされたものである。テレビカメラ15はグリーンシ
ート13の位置決めマークを読み取り、この読取情報は
画像処理部16を経て制御部10に供給され、制御部は
この読取情報をもとにテーブル装置14を制御してテー
ブル装置14に固定されたグリーンシー1へ17とグリ
ーンシート13との位置決めを行なう。
12を制御し、グリーンシー(・13を7−プル装置1
4まで搬送させる1、このグリーンシ−1〜13は、バ
イザ及び微細パターンが形成されており、所定の外形寸
法とされたものである。テレビカメラ15はグリーンシ
ート13の位置決めマークを読み取り、この読取情報は
画像処理部16を経て制御部10に供給され、制御部は
この読取情報をもとにテーブル装置14を制御してテー
ブル装置14に固定されたグリーンシー1へ17とグリ
ーンシート13との位置決めを行なう。
18は本発明の要部をなす仮固定装置であり、制御部1
0によりメカill 111部11を介して制御され、
後述するように、グリーンシーI〜を積層する都度、新
たに積層したグリーンシートをこの直前に@層されてい
るグリーンシートに対して仮固定する。
0によりメカill 111部11を介して制御され、
後述するように、グリーンシーI〜を積層する都度、新
たに積層したグリーンシートをこの直前に@層されてい
るグリーンシートに対して仮固定する。
第2図は本発明方法の機構部の一実施例の斜視図を示す
。
。
同図中、テーブル装置14はXステージ20゜Yステー
ジ21.θステージ22より構成され、θステージ22
は内蔵モータによってXステージ20及びYステ−ジ2
1を載せたまま矢印θ方向に回動し、Yステージ21は
モータ23によってXステージ20を載せたまま矢印Y
方向に移動し、Xステージ20はモータ24によって矢
印×lJ向に移動する。Xステージ20上にはバキュー
ム吸着用の溝25が設(、プられている。
ジ21.θステージ22より構成され、θステージ22
は内蔵モータによってXステージ20及びYステ−ジ2
1を載せたまま矢印θ方向に回動し、Yステージ21は
モータ23によってXステージ20を載せたまま矢印Y
方向に移動し、Xステージ20はモータ24によって矢
印×lJ向に移動する。Xステージ20上にはバキュー
ム吸着用の溝25が設(、プられている。
テレビカメラ30,31.3’2.33夫々はXステー
ジ20の4つの隅部の上方(矢印Zh向)に設けられて
いる。
ジ20の4つの隅部の上方(矢印Zh向)に設けられて
いる。
搬送装置12の搬送アーム35はグリーンシー1へ36
を1枚ずつ吸着して、Xステージ20どテレビカメラ3
0・〜33との間を矢印Yの逆方向に移動し、グリーン
シート36をXステージ20上まで搬送する。最初に搬
送されたグリーンシー1へ36 ハX ステー シ20
−[ニre、fit サh ”’C溝25によりバキュ
ーム吸着され、次に搬送されたグリーンシート36はテ
ーブル装置による自動位置決め後、前に搬送されたグリ
ーンシート36上に載置され後述するように仮固定され
る、。
を1枚ずつ吸着して、Xステージ20どテレビカメラ3
0・〜33との間を矢印Yの逆方向に移動し、グリーン
シート36をXステージ20上まで搬送する。最初に搬
送されたグリーンシー1へ36 ハX ステー シ20
−[ニre、fit サh ”’C溝25によりバキュ
ーム吸着され、次に搬送されたグリーンシート36はテ
ーブル装置による自動位置決め後、前に搬送されたグリ
ーンシート36上に載置され後述するように仮固定され
る、。
即ち、グリーンシート36は仮固定されつつ認識積層さ
れる。
れる。
グリーンシー1・36の配線層37にはその4つの隅部
に位置決めp ’z38,39.40.41か設()
られでいる。
に位置決めp ’z38,39.40.41か設()
られでいる。
Xステージ2C)I−まで搬送されたグリーンシト36
の荀1鎮決めマーク38・〜41は大々テレビカメラ3
0〜・33によって読み取られる1゜なお、プリント配
線板36の搬送時にテレビカメラl)30・〜33が邪
魔な場合にはテレビカメラ30 = 33を取付(−)
’lII/l 2a 〜42dニにす回IJJさせる構
成どづる。
の荀1鎮決めマーク38・〜41は大々テレビカメラ3
0〜・33によって読み取られる1゜なお、プリント配
線板36の搬送時にテレビカメラl)30・〜33が邪
魔な場合にはテレビカメラ30 = 33を取付(−)
’lII/l 2a 〜42dニにす回IJJさせる構
成どづる。
第3図は本発明j5法の一実施例のフローブヤ1へを示
す。
す。
同図中、まず、起動(こ搬送されたXステージ20に固
定されたグリーンシート36の(i7置決めマーク38
・〜41を大々テレビカメラ30〜・33で請み取り第
4図(A>に]fiす如く各位置決めマーク38〜・4
1の重心GTl (11は1,2.3.4)を算出づる
くステップ50)。
定されたグリーンシート36の(i7置決めマーク38
・〜41を大々テレビカメラ30〜・33で請み取り第
4図(A>に]fiす如く各位置決めマーク38〜・4
1の重心GTl (11は1,2.3.4)を算出づる
くステップ50)。
次に、第4図([3)に丞すtAl<重心01〜G4で
形成される四角形の重心G。及び対角線の交角θを算出
するくステップ51)。
形成される四角形の重心G。及び対角線の交角θを算出
するくステップ51)。
この後、次に搬送されたグリーンシート36の位置決め
マーク38〜41を読み取り、夫々の重心G+−,G2
−.G3−.G4−を算出しくステップ52)、この重
心01〜G4−で形成される四角形の重心Go−及び対
角線の交角θ−を算出する(ステップ53)。
マーク38〜41を読み取り、夫々の重心G+−,G2
−.G3−.G4−を算出しくステップ52)、この重
心01〜G4−で形成される四角形の重心Go−及び対
角線の交角θ−を算出する(ステップ53)。
更に、第4図(C)に示す如く、Xテーブル20及びY
デープル21を移動ざぜて重心G。
デープル21を移動ざぜて重心G。
を重心G0に一致させる(ステップ54)。また第1図
(D>に示す如く、交角θ−の二等分線之−を交角θの
二等分線g−とを一致させて、交角0′とθとが互いに
按分される状態とする(ステップ55)。
(D>に示す如く、交角θ−の二等分線之−を交角θの
二等分線g−とを一致させて、交角0′とθとが互いに
按分される状態とする(ステップ55)。
この後、搬送したグリーンシー1へ36を先に固定した
グリーンシー1へ36−Lに載置し−C1両名を後述す
るように仮固定する(ステップ56)。
グリーンシー1へ36−Lに載置し−C1両名を後述す
るように仮固定する(ステップ56)。
上記ステップ52〜56はステップ57において積層が
完了したと判別されるまで繰り返し実行される。
完了したと判別されるまで繰り返し実行される。
勿論、上記の積層後の加熱加圧処理で、グリンシート3
6間が溶着され、グリーンシート積層体ができあがる。
6間が溶着され、グリーンシート積層体ができあがる。
このように各グリーンシー1へ36の位置決め7り38
・〜41【よ配線パターンと共に形成されて、これらの
間の位置fれがなく、従来の如き基準孔と配線パターン
との間の位置ずれが防止される。
・〜41【よ配線パターンと共に形成されて、これらの
間の位置fれがなく、従来の如き基準孔と配線パターン
との間の位置ずれが防止される。
また1E心の−・致及び交角の一二′8分線の一致によ
る位1d決めを行なっているため、各グリーンシト36
間で伸縮率が異なっていてもイずl置ずれが最小に抑え
られる。
る位1d決めを行なっているため、各グリーンシト36
間で伸縮率が異なっていてもイずl置ずれが最小に抑え
られる。
これによってグリーンシート積層体の層間の位備精度か
向」−づる。
向」−づる。
次に、本発明の要部をなづ一仮固定について説明する。
まず、仮固定を行う装置について説明する。
第2図中、60〜63は夫々のり塗布装置であり、Xス
テージ20のコーナ近傍のプーリ64〜67に案内され
ているワイA768に連結されており、Xスj−ジ20
の各辺に対向している。−のプーリ64はパルスモータ
69に固定しである。
テージ20のコーナ近傍のプーリ64〜67に案内され
ているワイA768に連結されており、Xスj−ジ20
の各辺に対向している。−のプーリ64はパルスモータ
69に固定しである。
モータ69が駆動すると、ワイr68を介して、各のり
塗布装置60〜63がXステージ20の各辺に沿って移
動する。
塗布装置60〜63がXステージ20の各辺に沿って移
動する。
70.71は夫々リミットスイッヂであり、のり塗布装
置60の移動範囲の限界を検出する。
置60の移動範囲の限界を検出する。
第5図は一つののり塗布装置60を示す。
75.76.77は夫々のり射出部であり、スポイトの
先端と同じ形状を有しており、のり78が溜まっている
。
先端と同じ形状を有しており、のり78が溜まっている
。
のり割出部75〜77は、ブロック79に等間隔aで配
置しである。
置しである。
80はエア源、81はディスベンザである。デイスペン
サ81はブロック7つと接続しである。
サ81はブロック7つと接続しである。
エア源80よりの圧縮空気が、デイスペンサ81を介し
て、パルス的にブロック79に送り出される。これによ
り、仮固定に最適な量ののりが各のり射出部75,76
.77の先端より押し出され、グリーンシートに塗布さ
れる。
て、パルス的にブロック79に送り出される。これによ
り、仮固定に最適な量ののりが各のり射出部75,76
.77の先端より押し出され、グリーンシートに塗布さ
れる。
ここで、上記のパルスモータ69及びデイスペン1ノ8
1が、前記の制御部10によりメカ制御部11を介して
制御される。
1が、前記の制御部10によりメカ制御部11を介して
制御される。
次に、仮固定の方法について説明する。
まず、第6図中、グリーンシート36−1の積層を完了
したことを確認して(第6図中ステップ90)、ディス
ベン−リ81を動作させる(ステップ91)。
したことを確認して(第6図中ステップ90)、ディス
ベン−リ81を動作させる(ステップ91)。
これにJ、す、各のり側出部75.’76.77よりの
りが射出され、第7図中、符号100101−+ 、
102−+のようにグリーンシー1へ36−1の一辺
の三個所にのりが塗布される。同様にグリーンシート3
6−1の他の三辺についてものりが塗布される。
りが射出され、第7図中、符号100101−+ 、
102−+のようにグリーンシー1へ36−1の一辺
の三個所にのりが塗布される。同様にグリーンシート3
6−1の他の三辺についてものりが塗布される。
次いで、パルスモータ69を正転駆動させる(ステップ
92〉。
92〉。
ブロック79は、上記寸法aの3分の1に相当する距離
すだけ−Y方向に移動され、次ののり塗布までその位置
で待機する。
すだけ−Y方向に移動され、次ののり塗布までその位置
で待機する。
次のグリーンシー[〜36=2が前記のように認識積層
されると、このグリーンシート3G−2は先に積層され
ているグリーンシート36−1に対して、第8図中、1
10−+、111 1t2−+の個所でのり付けされる。
されると、このグリーンシート3G−2は先に積層され
ているグリーンシート36−1に対して、第8図中、1
10−+、111 1t2−+の個所でのり付けされる。
グリーンシート3G−2が積層されると、前記のステッ
プ91が行われ、グリーンシート36−?上にのりが塗
布される。更には、ステップ92が行われ、ブロック7
9がシフI〜される。
プ91が行われ、グリーンシート36−?上にのりが塗
布される。更には、ステップ92が行われ、ブロック7
9がシフI〜される。
次のグリーンシート36−3が認識積層されると、グリ
ーンシート36−3は、第8図中符号110−2 、
111−2 、 112−?の個所でグリーンシート3
6−2とのり付すされる。3 仮固定の個所110−2 、 111−p 、 11
2 =2は夫々光に仮固定された個所11(L−+ 、
111112−+ に幻して−Y力方向寸法すだけ
ずれている。
ーンシート36−3は、第8図中符号110−2 、
111−2 、 112−?の個所でグリーンシート3
6−2とのり付すされる。3 仮固定の個所110−2 、 111−p 、 11
2 =2は夫々光に仮固定された個所11(L−+ 、
111112−+ に幻して−Y力方向寸法すだけ
ずれている。
上記の動作゛が繰り返されるステップ93はリミットス
イッチ71がオンとなったか否かを判断(]、この判断
結果がYESとなると、パルスモータ69を逆転駆動さ
せる(ステップ94 ) 、。
イッチ71がオンとなったか否かを判断(]、この判断
結果がYESとなると、パルスモータ69を逆転駆動さ
せる(ステップ94 ) 、。
これにより、ブロック7つは元の位置の方向1
(Y方向)に戻される。
ステップ95は、リミットスイッチ70がオンとなった
か否かを判断し、判断結果がYFSとなると、前記の動
作を再開する。
か否かを判断し、判断結果がYFSとなると、前記の動
作を再開する。
ステップ9Gで最終のグリーンシートが積層されたこと
が確認されると、動作は終了する。こitにより、第8
図に示すように、グリーンシート36は、積層毎に各辺
について三個所をのり何(ブされて、這つのり付けの個
所を積層面にずらして仮固定される。
が確認されると、動作は終了する。こitにより、第8
図に示すように、グリーンシート36は、積層毎に各辺
について三個所をのり何(ブされて、這つのり付けの個
所を積層面にずらして仮固定される。
ここで、のり付けの個所が積層面にずれているため、グ
リーンシート積層体120は、第8図に示すように、各
辺に沿う部分のうち特定の個所が厚くなることが避けら
れ、全周に亘って路間−の厚さとなる。
リーンシート積層体120は、第8図に示すように、各
辺に沿う部分のうち特定の個所が厚くなることが避けら
れ、全周に亘って路間−の厚さとなる。
このため、積層後の加熱加圧処狸のときに、圧力が局部
的に集中することが無くなり、それだ(ブ、良質のセラ
ミックプリント配線板を製造しうる。
的に集中することが無くなり、それだ(ブ、良質のセラ
ミックプリント配線板を製造しうる。
第9図は別の仮固定の方法を示す。これ(よ、フィーダ
から送られてきたセラミック製のビン1302 をエアパンヂ140によりグリーンシートに打ら込んで
仮固定する方法である。ビン130は、二枚のグリーン
シー1へを合わせた厚さに相当する長さCであり、第1
0図に示すように、新たに積層されたグリーンシーt=
36−2を先にI@されたグリーンシート36−1に
対して仮固定する。
から送られてきたセラミック製のビン1302 をエアパンヂ140によりグリーンシートに打ら込んで
仮固定する方法である。ビン130は、二枚のグリーン
シー1へを合わせた厚さに相当する長さCであり、第1
0図に示すように、新たに積層されたグリーンシーt=
36−2を先にI@されたグリーンシート36−1に
対して仮固定する。
また、ビンを打込む個所は、第10図に示すようにグリ
ーンシー1への積層毎にずれており、グリンシート積層
体150の各辺の厚さに略等しくなり、積層後の加圧も
上記の場合と同様に良好に行われる。
ーンシー1への積層毎にずれており、グリンシート積層
体150の各辺の厚さに略等しくなり、積層後の加圧も
上記の場合と同様に良好に行われる。
以上説明したように、本発明によれば、加熱加圧前のグ
リーンシート積層体を、各グリーンシト間の位置ずれを
起こさない構造とすることが出来るのは勿論、当該グリ
ーンシート積層体の周囲の厚さを略均−とすることが出
来、加圧の不均一が置きない状態で仮固定を行うことが
出来る。
リーンシート積層体を、各グリーンシト間の位置ずれを
起こさない構造とすることが出来るのは勿論、当該グリ
ーンシート積層体の周囲の厚さを略均−とすることが出
来、加圧の不均一が置きない状態で仮固定を行うことが
出来る。
第1図は本発明方法を用いた装置の概略構成図、4!2
図は本発明方法の機構部の一実施例の斜視図、 第3図は本発明方法の一実施例のフローヂャ1へ、 第4図は認識積層を説明するための図、第5図(ま第2
図中−つののり塗1fi装置を示す図、第6図は仮固定
動性の)[1−チャート、第7図はグリーンシートへの
のり塗rbの状態を示号図、 第8同はのりイ〈目1により仮固定されつつ、積層され
たグリーンシート積層体を示す図、第9図はピン打ち装
置を示す図、 第10図はピンIJらにより仮固定されつつ8!1層さ
れたグリーンシート槓胴体を示寸図である。 11はメカ制御部、 12は搬送装置、 13.17,36.36−+〜36−83はグリンシー
ト、 14はテーブル装置、 15.30〜33(まテレビカメラ、 18は仮固定装置、 38〜41は位置決めマーク、 60.61,62.63はのり付は装置、69はパルス
モータ、 710−+ 、 111−+ 、 112−1.
110−2 。 111−2. 112−2はのり付は部、120.15
0はグリーンシート積層体、130はピン、 141はエアーパンチ を示す。 図にJ3いて、 10は制御部、 5 6 特開平 3 240501 (6) 仮固定動作のフローチャート 第 図 特開平 240501(7) Y グリーンシ トへののり塗布の状態を示す図 第 図 第 図 上澄グリーンシート積層体 層された グリーンシート積層体を示す図 第 0 図 8
図は本発明方法の機構部の一実施例の斜視図、 第3図は本発明方法の一実施例のフローヂャ1へ、 第4図は認識積層を説明するための図、第5図(ま第2
図中−つののり塗1fi装置を示す図、第6図は仮固定
動性の)[1−チャート、第7図はグリーンシートへの
のり塗rbの状態を示号図、 第8同はのりイ〈目1により仮固定されつつ、積層され
たグリーンシート積層体を示す図、第9図はピン打ち装
置を示す図、 第10図はピンIJらにより仮固定されつつ8!1層さ
れたグリーンシート槓胴体を示寸図である。 11はメカ制御部、 12は搬送装置、 13.17,36.36−+〜36−83はグリンシー
ト、 14はテーブル装置、 15.30〜33(まテレビカメラ、 18は仮固定装置、 38〜41は位置決めマーク、 60.61,62.63はのり付は装置、69はパルス
モータ、 710−+ 、 111−+ 、 112−1.
110−2 。 111−2. 112−2はのり付は部、120.15
0はグリーンシート積層体、130はピン、 141はエアーパンチ を示す。 図にJ3いて、 10は制御部、 5 6 特開平 3 240501 (6) 仮固定動作のフローチャート 第 図 特開平 240501(7) Y グリーンシ トへののり塗布の状態を示す図 第 図 第 図 上澄グリーンシート積層体 層された グリーンシート積層体を示す図 第 0 図 8
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 グリーンシート(36−_2)を直前に積層されたグ
リーンシート(36−_1)と仮固定させつつ積層する
方法であって、 上記の仮固定を、上記グリーンシートの周辺に沿う複数
の個所(110−_1,111−_1,112−_1)
で且つこの個所を積層の都度グリーンシートの周辺に沿
ってずらしつつ(110−_2,111−_2,112
−_2)行うことを特徴とする グリーンシート積層方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3759390A JPH03240501A (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 | グリーンシート積層方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3759390A JPH03240501A (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 | グリーンシート積層方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03240501A true JPH03240501A (ja) | 1991-10-25 |
Family
ID=12501848
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3759390A Pending JPH03240501A (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 | グリーンシート積層方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03240501A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006040959A1 (ja) * | 2004-10-13 | 2006-04-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 積層セラミック電子部品の製造方法とその製造装置 |
JP2007201245A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Koa Corp | セラミック多層基板の製造方法 |
-
1990
- 1990-02-19 JP JP3759390A patent/JPH03240501A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006040959A1 (ja) * | 2004-10-13 | 2006-04-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 積層セラミック電子部品の製造方法とその製造装置 |
JPWO2006040959A1 (ja) * | 2004-10-13 | 2008-05-15 | 松下電器産業株式会社 | 積層セラミック電子部品の製造方法とその製造装置 |
JP2007201245A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Koa Corp | セラミック多層基板の製造方法 |
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