KR20070055379A - 시트적층체의 제조방법 및 시트적층체의 제조장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (16)
- 여러 장의 세라믹 시트를 적층하여 이루어지는 시트적층체의 제조방법으로서, 시트를 가접합 스테이션으로 반송하여, 가접합 스테이션에서 시트의 얼라이먼트 마크 위치를 인식하여 그 위치정보에 따라 시트를 위치결정하고, 그 후 다음 시트를 가접합 스테이션으로 반송하여, 가접합 스테이션에서 그 시트를 위치결정한 후, 앞서 위치결정한 시트에 적층하는 동시에 부분적으로 가열하여 가접합하고, 그 후 가접합된 시트를 적층 스테이션으로 반송하여, 적층 스테이션에서 가접합 상태의 시트를 가열하는 동시에 가압하여 열압착하고, 적층 스테이션에서 시트를 열압착하고 있는 동안, 가접합 스테이션에서 다음 시트를 위치결정하고, 그 후 위치결정한 시트를 앞서 열압착된 시트에 적층하는 동시에 부분적으로 가열하여 가접합하고, 그 후 가접합된 시트를 적층 스테이션으로 반송하여 열압착하고, 그 후 이 동작들을 반복하여 여러 장의 시트를 열압착하여 일체로 적층된 시트적층체를 제조하는 것을 특징으로 하는 시트적층체의 제조방법.
- 여러 장의 세라믹 시트를 적층하여 이루어지는 시트적층체의 제조방법으로서, 시트를 가접합 스테이션으로 반송하여, 가접합 스테이션에서 시트의 얼라이먼트 마크 위치를 인식하여 그 위치정보에 따라 시트를 위치결정하고, 그 후 다음 시트를 가접합 스테이션으로 반송하여, 가접합 스테이션에서 그 시트를 위치결정한 후, 앞서 위치결정한 시트에 적층하는 동시에 부분적으로 가열하여 가접합하고, 그 후 이 동작들을 반복하여 여러 장의 시트를 가접합하며, 그 후 가접합된 여러 장의 시트를 적층 스테이션으로 반송하여, 적층 스테이션에서 가접합 상태의 여러 장의 시트를 가열하는 동시에 가압하여 열압착하고, 적층 스테이션에서 시트를 열압착하고 있는 동안, 가접합 스테이션에서 다음 시트를 위치결정하고, 그 위치결정한 시트를 앞서 열압착한 여러 장의 시트에 적층하는 동시에 부분적으로 가열하여 가접합하고, 이 동작을 반복하여 여러 장의 시트가 열압착된 시트적층체를 제조하는 것을 특징으로 하는 시트적층체의 제조방법.
- 여러 장의 세라믹 시트를 적층하여 이루어지는 시트적층체의 제조방법으로서, 여러 장의 시트를 차례로 가접합 스테이션으로 반송하고, 가접합 스테이션에서 시트의 얼라이먼트 마크 위치정보에 따라 시트를 위치결정한 후, 그 위치결정한 시트를 앞서 위치결정되어 가접합되어 있는 시트에 적층하는 동시에 부분적으로 가열하여 가접합하며, 그 후 이 동작들을 반복하여 여러 장의 시트를 가접합하고, 그 후 가접합 상태의 여러 장의 시트를 적층 스테이션으로 반송하여, 적층 스테이션에서 가접합 상태의 여러 장의 시트를 가열하는 동시에 가압하여 열압착하여, 여러 장의 시트를 열압착하여 일체로 적층된 시트적층체를 제조하는 것을 특징으로 하는 시트적층체의 제조방법.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,시트의 아랫면을 흡착보유한 상태에서 가접합 스테이션으로 반송하고, 가접 합 스테이션에서 시트의 윗면을 흡착보유한 상태에서 시트를 위치결정한 후, 그 위치결정한 시트를 앞서 위치결정되어 아랫면이 흡착보유되어 있는 시트의 위쪽에 적층하는 동시에 부분적으로 가열하여 가접합하고, 그 후 가접합한 시트의 아랫면을 흡착보유한 상태에서 적층 스테이션으로 반송하여, 적층 스테이션에서 가접합 상태의 시트를 상하측으로부터 가열하는 동시에 가압하여 열압착하는 것을 특징으로 하는 시트적층체의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,시트를 필름부착 시트로 하고, 그 필름부착 시트를 가접합 스테이션으로 반송하는데 앞서 시트로부터 필름을 박리하여, 가접합 스테이션에서 필름을 박리한 상태의 시트를 위치결정하는 것을 특징으로 하는 시트적층체의 제조방법.
- 제 2 항에 있어서,시트를 필름부착 필름으로 하고, 그 필름부착 시트를 가접합 스테이션으로 반송하는데 앞서 시트로부터 필름을 박리하여, 가접합 스테이션에서 필름을 박리한 상태의 시트를 위치결정하는 것을 특징으로 하는 시트적층체의 제조방법.
- 제 3 항에 있어서,시트를 필름부착 시트로 하고, 그 필름부착 시트를 가접합 스테이션으로 반송하는데 앞서 시트로부터 필름을 박리하여, 가접합 스테이션에서 필름을 박리한 상태의 시트를 위치결정하는 것을 특징으로 하는 시트적층체의 제조방법.
- 제 4 항에 있어서,시트를 필름부착 필름으로 하고, 그 필름부착 시트를 가접합 스테이션으로 반송하는데 앞서 시트로부터 필름을 박리하여, 가접합 스테이션에서 필름을 박리한 상태의 시트를 위치결정하는 것을 특징으로 하는 시트적층체의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,시트를 필름부착 시트로 하고, 가접합 스테이션에서는 필름부착 시트의 상태에서 시트를 위치결정하며, 그 후 위치결정을 완료한 시트를 가접합 스테이션 밖으로 반송하여, 가접합 스테이션에서 다음 시트를 위치결정하고, 상기 위치결정한 다음 번 시트를 앞서 위치결정한 시트에 적층하기 위하여, 앞서 위치결정한 시트를 가접합 스테이션으로 반송하는데 앞서, 앞서 위치결정한 시트로부터 필름을 박리하는 것을 특징으로 하는 시트적층체의 제조방법.
- 제 2 항에 있어서,시트를 필름부착 시트로 하고, 가접합 스테이션에서는 필름부착 시트의 상태에서 시트를 위치결정하며, 그 후 위치결정을 완료한 시트를 가접합 스테이션 밖으로 반송하여, 가접합 스테이션에서 다음 시트를 위치결정하고, 상기 위치결정한 다음 번 시트를 앞서 위치결정한 시트에 적층하기 위하여, 앞서 위치결정한 시트를 가접합 스테이션으로 반송하는데 앞서, 앞서 위치결정한 시트로부터 필름을 박리하는 것을 특징으로 하는 시트적층체의 제조방법.
- 제 3 항에 있어서,시트를 필름부착 시트로 하고, 가접합 스테이션에서는 필름부착 시트의 상태에서 시트를 위치결정하며, 그 후 위치결정을 완료한 시트를 가접합 스테이션 밖으로 반송하여, 가접합 스테이션에서 다음 시트를 위치결정하고, 상기 위치결정한 다음 번 시트를 앞서 위치결정한 시트에 적층하기 위하여, 앞서 위치결정한 시트를 가접합 스테이션으로 반송하는데 앞서, 앞서 위치결정한 시트로부터 필름을 박리하는 것을 특징으로 하는 시트적층체의 제조방법.
- 제 4 항에 있어서,시트를 필름부착 시트로 하고, 가접합 스테이션에서는 필름부착 시트의 상태에서 시트를 위치결정하며, 그 후 위치결정을 완료한 시트를 가접합 스테이션 밖으로 반송하여, 가접합 스테이션에서 다음 시트를 위치결정하고, 상기 위치결정한 다음 번 시트를 앞서 위치결정한 시트에 적층하기 위하여, 앞서 위치결정한 시트를 가접합 스테이션으로 반송하는데 앞서, 앞서 위치결정한 시트로부터 필름을 박리하는 것을 특징으로 하는 시트적층체의 제조방법.
- 여러 장의 세라믹 시트를 적층하여 이루어지는 시트적층체의 제조장치로서,시트를 한 장씩 반입하는 반입 스테이션과, 반송된 시트를 적층하여 앞선 시트에 가접합하는 가접합 스테이션과, 가접합한 적층 시트를 가열하는 동시에 가압하여 열압착하는 적층 스테이션과, 열압착한 시트적층체를 반출하는 반출 스테이션을 구비하고, 시트의 아랫면을 흡착보유 할 수 있는 제 1 승강테이블을 구비하며 반입 스테이션과 가접합 스테이션을 왕복이동 할 수 있는 제 1 반송장치와, 시트의 아랫면을 흡착보유 할 수 있는 제 2 승강테이블을 구비하며 가접합 스테이션과 적층 스테이션을 왕복이동 할 수 있는 제 2 반송장치와, 시트를 보유할 수 있는 보유수단을 구비하며 적층 스테이션과 반출 스테이션을 왕복이동 할 수 있는 제 3 반송장치를 설치하고, 가접합 스테이션에 시트의 윗면을 흡착보유한 상태에서 시트의 얼라이먼트 마크 위치정보에 따라 시트를 위치결정 할 수 있는 얼라이먼트 장치와, 위치결정한 시트를 제 2 승강테이블 위의 앞선 시트의 윗면에 가접합 할 수 있는 가접합 장치를 설치하고, 적층 스테이션에 가접합되어 있는 제 2 승강테이블 위의 적층시트를 가열할 수 있는 가열장치를 구비하고, 그 적층시트를 위쪽에서부터 가압할 수 있는 프레스 장치를 설치하여 이루어지는 시트적층체의 제조장치.
- 제 13 항에 있어서,반입 스테이션과 가접합 스테이션과 적층 스테이션을 일렬로 차례로 배치하고, 제 1 반송장치에 제 1 승강테이블을 반입 스테이션과 가접합 스테이션으로 왕복안내 할 수 있는 제 1 안내레일을 설치하고, 제 2 반송장치에 제 2 승강테이블을 가접합 스테이션과 적층 스테이션으로 왕복안내 할 수 있는 제 2 안내레일을 설치 하며, 제 1 안내레일과 제 2 안내레일을 공통된 직선형상의 안내레일로 구성하여 이루어지는 시트적층체의 제조장치.
- 제 13 항에 있어서,가접합 스테이션에 고정적으로 지지되어 있는 지지부재를 설치하고, 얼라이먼트 장치에, 지지부재에 대하여 수평면 안에서 X방향, Y방향, 선회방향으로 이동할 수 있게 설치한 얼라이먼트 테이블과, 얼라이먼트 테이블에 시트의 윗면을 흡착보유할 수 있게 설치한 흡착판과, 지지부재에 얼라이먼트 테이블과 흡착판의 관통구멍을 통하여 시트의 얼라이먼트 마크 위치를 인식하도록 위치조정 가능하게 설치한 카메라와, 지지부재에 카메라로부터의 얼라이먼트 마크 위치정보에 따라 얼라이먼트 테이블을 X방향, Y방향, 선회방향으로 이동시키도록 설치한 제어장치를 구비하고, 가접합 장치에, 지지부재에 대하여 얼라이먼트 테이블과 흡착판의 관통구멍을 통하여 구멍 개구부를 향하여 승강가능하게 설치한 가열 인두를 구비하여 이루어지는 시트적층체의 제조장치.
- 제 13 항에 있어서,적층 스테이션에 고정적으로 지지되어 있는 지지부재를 설치하고, 프레스 장치에, 지지부재에 대하여 피스톤 로드를 아래쪽을 향하게 하여 고정 설치한 유압 실린더와, 지지부재에 대하여 승강가능하게 지지되어 피스톤 로드에 연결되어 있는 승강체와, 승강체에 고정 설치되어 히터를 내장하고 있는 상부틀과, 승강체에 대하 여 상부틀 옆쪽의 전체 둘레와 상부틀의 위쪽을 감싸도록 승강가능하게 설치한 흡입케이스와, 흡입케이스의 내부공간으로부터 공기를 흡인할 수 있는 진공장치를 구비하여, 승강체를 하강시키면 도중에서 흡인케이스가 제 2 승강테이블에 맞닿아 하강이 정지되는 동시에, 흡인케이스 안을 기밀하게 폐쇄하는 것을 특징으로 하는 시트적층체의 제조장치.
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