JP2003205510A - グリーンシートの積層方法および積層装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】グリーンシート同士の層間へのエアーの噛み込
みを少なくし、層間剥がれや内部欠陥の発生を防止でき
る積層方法および積層装置を提供する。 【解決手段】受圧テーブル６上に、キャリアフィルム２
で裏打ちされたグリーンシート３を位置決めし、吸着ヘ
ッド１０の吸着面をグリーンシート３に熱圧着し、吸着
ヘッド１０を受圧テーブル６から離間させ、キャリアフ
ィルム２を剥離してグリーンシート３のみを吸着面上に
積層する。上記熱圧着および積層を繰り返すことによ
り、吸着面上に複数枚のグリーンシート５を熱圧着積層
する。上記吸着面またはその上に積層されたグリーンシ
ートをキャリアフィルム２上のグリーンシート３に熱圧
着する前に、吸着ヘッド１０の周囲に設けられたカット
刃１８をグリーンシート３上に密着させ、カット刃１８
で囲まれた内側空間をほぼ密閉状態とし、カット刃１８
で囲まれた内側空間２１の空気を真空引きにより脱気す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックグリー
ンシートなどのグリーンシートを熱圧着積層するグリー
ンシートの積層方法および積層装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、積層コンデンサなどの積層型電子
部品を製造する方法として、キャリアフィルムに裏打ち
された連続状グリーンシートを、ヒータを内蔵した受圧
テーブル上にシート送り機構により搬送、位置決めし、
このグリーンシートにカット刃とヒータとを持つ吸着ヘ
ッドを近接させ、カット刃によって閉ループをなす切断
線を形成するとともに、吸着ヘッドをグリーンシートに
熱圧着した後、吸着ヘッドを受圧テーブルから離反させ
ることにより、カット刃内にグリーンシートを熱圧着積
層する方法が提案されている（特公平７−７９０６９号
公報参照）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、熱圧着時に
グリーンシート同士が面で接着されるので、グリーンシ
ート同士の層間にエアーが噛み込み、エアー溜まりが発
生することがある。このようなエアーが噛み込んだ積層
体を脱脂、焼成して積層コンデンサを製造した場合、層
間剥がれが発生したり、内部に欠陥を持つことになり、
製品不良の大きな原因となっている。

【０００４】そこで、本発明の目的は、グリーンシート
同士の層間へのエアーの噛み込みを少なくし、層間剥が
れや内部欠陥の発生を防止できるグリーンシートの積層
方法および積層装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明は、受圧テーブル上に、キャ
リアフィルムにより裏打ちされたグリーンシートを位置
決めする工程と、吸着面を有する吸着ヘッドと受圧テー
ブルとを近接させ、吸着面または吸着面に保持されたグ
リーンシートをキャリアフィルム上のグリーンシートに
熱圧着する工程と、吸着ヘッドと受圧テーブルとを離間
させ、キャリアフィルムを剥離してグリーンシートを吸
着面上または吸着面上に保持されたグリーンシート上に
積層する工程と、上記熱圧着および積層を繰り返すこと
により、吸着面上に複数枚のグリーンシートを熱圧着積
層する工程とを備え、上記吸着面またはその上に積層さ
れたグリーンシートをキャリアフィルム上のグリーンシ
ートに熱圧着する前に、上記吸着面またはその上に積層
されたグリーンシートと、キャリアフィルム上のグリー
ンシートとの間の空気を真空引きにより脱気する工程を
有することを特徴とするグリーンシートの積層方法を提
供する。

【０００６】また、請求項３に記載の発明は、キャリア
フィルムにより裏打ちされたグリーンシートを吸引保持
する手段を有する受圧テーブルと、複数のグリーンシー
トを熱圧着積層するための吸着面を有する吸着ヘッド
と、上記吸着ヘッドの周囲に設けられ、吸着ヘッドがキ
ャリアフィルム上のグリーンシートに圧着する前にグリ
ーンシートに密着して内側空間をほぼ密閉状態とする脱
気枠と、上記脱気枠がキャリアフィルム上のグリーンシ
ートに密着した後、吸着ヘッドがグリーンシートに熱圧
着する前に、脱気枠の内側空間の空気を脱気する真空吸
引手段と、上記受圧テーブルまたは吸着ヘッドの少なく
とも一方に設けられ、グリーンシートを熱圧着のために
加熱するヒータと、上記吸着ヘッドを受圧テーブルに対
して近接、離反させる加圧離反手段とを備えたことを特
徴とするグリーンシートの積層装置を提供する。

【０００７】本発明の場合、受圧テーブル上にキャリア
フィルムにより裏打ちされたグリーンシートを位置決め
し、吸着面を有する吸着ヘッドと受圧テーブルとを近接
させ、吸着面または吸着面に保持されたグリーンシート
をキャリアフィルム上のグリーンシートに熱圧着する。
次に、吸着ヘッドと受圧テーブルとを離間させ、キャリ
アフィルムを剥離してグリーンシートを吸着面上に積層
し、上記熱圧着および積層を繰り返すことにより、吸着
面上に複数枚のグリーンシートを熱圧着積層する。熱圧
着の際、グリーンシート同士が面で接着されるので、グ
リーンシートの層間にエアーが噛み込むことがある。し
かし、本発明では熱圧着の前にグリーンシート層間の空
気を真空引きにより脱気するので、グリーンシート層間
が負圧になり、エアーの噛み込み量を少なくすることが
できる。また、たとえエアーが噛み込んでも、エアー中
に含まれる分子の数が減少しているので、常圧に戻した
時にエアー溜まりの体積が著しく小さくなり、層間剥が
れや内部欠陥の発生を防止できる。

【０００８】請求項２のように、脱気工程は、吸着ヘッ
ドの周囲に設けられた脱気枠をグリーンシート上に密着
させ、脱気枠で囲まれた内側空間をほぼ密閉状態とする
工程と、脱気枠で囲まれた内側空間の空気を真空引きに
より脱気する工程と、を有するのがよい。吸着ヘッドに
吸着保持されたグリーンシートと、キャリアフィルム上
のグリーンシートとの間の空気を脱気する場合、積層装
置全体を減圧室に入れ、脱気する方法もあるが、容積が
大きいので、脱気効率が悪く、大型の真空ポンプを必要
とする。そこで、上記のように脱気枠をグリーンシート
に密着させてその内側空間をほぼ密閉状態とし、その内
側空間の空気を脱気すれば、グリーンシートの層間付近
の空気のみを脱気するので、脱気容積が小さく、短時間
で効率よく脱気できる。したがって、小型の真空ポンプ
でも短時間に所望の真空度に到達できる。

【０００９】請求項４のように、脱気枠を、吸着面の周
囲を取り囲み、内側にグリーンシートを積層する積層枠
としてもよい。この場合には、グリーンシートを積層す
るための積層枠が脱気枠を兼ねるので、部品数が増加せ
ず、積層装置の構造を簡素化できる。

【００１０】請求項５のように、脱気枠の内側に、脱気
枠に対して相対的に上下動可能で、吸着面の周囲を取り
囲み、内側にグリーンシートを積層する積層枠を別に設
けてもよい。この場合には、脱気枠の内側に積層枠が配
置され、この積層枠の内側にグリーンシートを積層する
ようになっている。脱気枠は積層枠の外側に配置される
ので、積層されたグリーンシートに邪魔されずに脱気で
き、確実な脱気が可能になる。

【００１１】請求項６のように、積層枠の下端に、キャ
リアフィルム上のグリーンシートを閉ループ状にカット
するカット刃を設けてもよい。この場合には、積層枠が
カット刃を兼ねるので、一工程でグリーンシートのカッ
トと積層とを実施でき、工程が簡単になるとともに、グ
リーンシートのずれもない。

【００１２】請求項７のように、積層枠の下端に、キャ
リアフィルム上のグリーンシートに密着する弾性体を取
り付けてもよい。グリーンシートの表面に凹凸が存在し
たり、受圧テーブルの受圧面と脱気枠の底面とが平行で
ない場合に、グリーンシートを介して受圧テーブル上に
脱気枠を押し当てても、確実に内部を密閉できないこと
がある。そこで、脱気枠の下端に弾性体を取り付けれ
ば、弾性体がグリーンシート表面の凹凸や傾きに追随し
て隙間を塞ぎ、脱気枠をグリーンシートに強く押し当て
なくても空気漏れを解消できる。そのため、脱気がより
確実になる。弾性体としては、例えばフッ素系ゴムのよ
うに、耐熱性があり、グリーンシートと接着しにくい材
質が好ましい。

【００１３】

【発明の実施の形態】図１は本発明にかかるグリーンシ
ートの積層装置の第１実施例を示す。連続体シート１
は、図２に示すように、長尺なキャリアフィルム２の上
に薄層（例えば５μｍ以下）のセラミックグリーンシー
ト３を連続的にシート成形したものであり、グリーンシ
ート３の表面には所定ピッチ間隔で電極パターン４が印
刷その他の方法によって形成されている。

【００１４】連続体シート１はシート送り機構（図示せ
ず）によって印刷面を上向きにして定尺ずつ間欠搬送さ
れ、受圧テーブル６の上に送られる。受圧テーブル６
は、グリーンシート３を熱圧着に適した温度（例えば７
０℃〜１５０℃）に加熱するためのヒータ７と、連続体
シート１の裏面を吸着保持する複数の吸引穴８とを備え
ており、上記連続体シート１の電極パターン４が形成さ
れた部位を位置決めすることができる。なお、グリーン
シート３上の電極パターン４の位置調整などの必要に応
じて、受圧テーブル６または後述する吸着ヘッド１０を
ＸＹθ方向に移動させる機構を設けてもよい。

【００１５】受圧テーブル６の上方には、吸着ヘッド１
０が配置されている。吸着ヘッド１０は、その上面に突
設したガイド軸１１を固定台１２に設けたガイドブッシ
ュ１３に挿通することにより、上下動自在に支持されて
いる。吸着ヘッド１０の上面中央部には、固定台１２に
固定されたシリンダ等の加圧離反機構１４の可動ロッド
１４ａが係合する係合部１０ａが設けられており、吸着
ヘッド１０は加圧離反機構１４によって上下方向に駆動
され、受圧テーブル６に対して接近・離反可能である。
加圧離反機構１４は、熱圧着に適した加圧力、例えば５
〜５０ＭＰａでの加圧が可能である。吸着ヘッド１０の
内部には、熱圧着時にグリーンシート（積層体５）を熱
圧着に適した温度（例えば７０℃〜１５０℃）に均一に
加熱することができるヒータ１５が設けられている。

【００１６】この実施例の吸着ヘッド１０の下面（吸着
面）１０ｂには、真空吸引装置と接続された複数の吸引
穴１６が形成されており、吸着面１０ｂにはグリーンシ
ートの積層体５が吸着保持されている。なお、吸着面１
０ｂに積層体５を直接吸着するものに限らず、吸着面１
０ｂに保持基板または保持シートを吸着し、その上に積
層体５を密着保持するものでもよい。保持基板として
は、軟質の樹脂板や硬質の樹脂板でもよいし、金属板で
あってもよい。

【００１７】吸着ヘッド１０の周囲には、グリーンシー
ト３に閉ループ状の切断線ＣＬ（図２参照）を形成する
とともに、吸着面１０ｂに吸着保持された積層体５の外
周面を位置規制するカット刃１８が上下動自在に配置さ
れている。カット刃１８は、図３に示すカット刃駆動手
段２７により上下に駆動される。カット刃駆動手段２７
は、カット刃１８の外周面に固定された枠状のホルダー
１９を備えている。ホルダー１９の上面にはガイド軸２
３が突設され、このガイド軸２３が吸着ヘッド１０の側
面に突設されたブラケット２４にガイドブッシュ２５を
介して上下動自在にガイドされている。また、ガイドブ
ッシュ２５またはブラケット２４の下面とホルダー１９
の上面との間には、ガイド軸２３に挿通された圧縮スプ
リング２６が介装されており、圧縮スプリング２６のば
ね力によってホルダー１９つまりカット刃１８は常時下
方へ付勢されている。カット刃１８の下限位置は、ガイ
ド軸２３の頂部に設けられた頭部２５ａをガイドブッシ
ュ２５またはブラケット２４の上面で位置規制すること
で決定される。

【００１８】ホルダー１９の内部には、図４に示すよう
に周回状の排気通路２０が形成されている。排気通路２
０の内側部には、カット刃１８の内外に貫通する排気穴
１８ａと連通する複数の連通穴２０ａが形成され、排気
通路２０は連通穴２０ａおよび排気穴１８ａを介してカ
ット刃１８の内側空間２１（図３参照）に連通してい
る。この実施例では、カット刃１８の排気穴１８ａが、
カット刃１８の４辺それぞれに設けられているので、内
側空間２１の脱気が瞬時に行われる。上記排気穴１８ａ
より上部のカット刃１８の内側面と吸着ヘッド１０の外
側面との間にはシール部材１７が配置され、カット刃１
８と吸着ヘッド１０との間がシールされている。そのた
め、カット刃１８が上下動したとき、カット刃１８と吸
着ヘッド１０との間を介して空気漏れが発生することが
ない。

【００１９】排気通路２０の外側部には出口部２０ｂが
形成され、出口部２０ｂは配管２２を介して真空吸引装
置３０と接続されている。この実施例の真空吸引装置３
０は、図５に示すように、２個の電磁式切替バルブ３
１，３２と真空ポンプ３３と圧空ポンプ３４とで構成さ
れ、切替バルブ３１，３２のＯＮ／ＯＦＦ切替によって
通常、脱気および真空破壊の３状態に切替可能である。
切替バルブ３１は、配管２２を真空ポンプ３３または切
替バルブ３２への配管３５の何れかとを接続する。切替
バルブ３２は、配管３５を圧空ポンプ３４または大気開
放ポート３６の何れかとを接続する。カット前の通常状
態では、切替バルブ３１，３２は共にＯＦＦ状態にあ
り、カット刃１８の内側空間２１は配管２２，３５を介
して大気開放されている。カット刃１８が受圧テーブル
６上に位置決めされたグリーンシート３を切断したタイ
ミングで、切替バルブ３１がＯＮ、切替バルブ３２がＯ
ＦＦされ、真空ポンプ３３と配管２２とを接続する。そ
のため、カット刃１８の内側空間２１が脱気され、その
真空度が所定値まで上がった後、吸着面１０ｂまたはそ
の上に保持された積層体５がグリーンシート３に圧着す
るまで維持される。つまり、カット刃１８の内側空間２
１が所定の真空度に維持された状態で熱圧着される。熱
圧着後、方形グリーンシート３ａを積層体５とともにキ
ャリアフィルム２から剥離する前に、切替バルブ３１，
３２を切り換えて一時的に圧空ポンプ３４と配管２２と
を接続し、内側空間２１にエアーを供給して真空破壊を
行う。その後、再び通常状態に戻して、カット刃１８を
キャリアフィルム２から離間させる。なお、本実施例で
は真空破壊を行うために圧空ポンプ３４を使用している
が、圧空ポンプ３４を省略して配管３５を大気に開放す
るだけでもよい。この場合には、切替バルブ３２が不要
となる。

【００２０】上記実施例では、ホルダー１９に設けた排
気通路２０を介してカット刃１８の内側空間２１の空気
を脱気する例について説明したが、ホルダー１９を省略
し、カット刃１８に設けた排気穴１８ａに配管２２を直
接接続してもよい。ただし、実施例のようにホルダー１
９の排気通路２０を介して周囲４辺から内側空間２１の
空気を脱気するようにすれば、脱気が速やかに行われ、
所望の真空度に短時間で到達できるとともに、配管２２
が１本で済むという利点がある。なお、排気穴１８ａの
数を増やせば、さらに短時間で所望の真空度に到達でき
ることは勿論である。

【００２１】上記実施例では、カット刃駆動手段２７と
して、カット刃１８を吸着ヘッド１０に上下動自在にか
つバネ２６を介してフローティング支持し、加圧離反機
構１４によって吸着ヘッド１０とともにカット刃１８を
上下駆動させる例を示したが、カット刃駆動手段２７は
上記に限るものではない。例えば、カット刃１８を吸着
ヘッド１９の外側に上下動自在に取り付け、このカット
刃１８を別の駆動源によって吸着ヘッド１０に対して上
下駆動させてもよい。別の駆動源としてはシリンダやモ
ータ・ボールネジ機構などを用いることが可能である。
この駆動源は吸着ヘッド１０に設けてもよいし、固定台
１２などの固定部に設けてもよい。

【００２２】次に、上記構成よりなるグリーンシートの
積層装置の動作を、図３および図５を参照しながら説明
する。まず、連続体シート１が受圧テーブル６上に搬送
され、吸引穴８から吸引することで位置決めされる。連
続体シート１のキャリアフィルム２上には連続グリーン
シート３がシート成形され、グリーンシート３の上には
スクリーン印刷等により電極パターン４が所定ピッチ間
隔で形成されている（図２参照）。加圧離反機構１４が
作動される前の状態では、切替バルブ３１および３２は
共にＯＦＦ状態（図５の（ａ）参照）であり、カット刃
１８の内側空間２１は大気開放されている。

【００２３】次に、加圧離反機構１４によって吸着ヘッ
ド１０を下方へ駆動すると同時に、カット刃１８を降下
させる。そして、カット刃１８を先に連続グリーンシー
ト３に押し当て、グリーンシート３に閉ループ状の切断
線ＣＬを形成する（図３の（ａ）参照）。カット刃１８
による切断と同時に切替バルブ３１がＯＮ、切替バルブ
３２がＯＦＦされ、真空ポンプ３３と配管２２とが接続
され、カット刃１８の内側空間２１の空気が脱気される
（図５の（ｂ）参照）。特に、カット刃１８がキャリア
フィルム２に押しつけられるので、カット刃１８で囲ま
れた内側空間２１がほぼ密閉状態となり、この空間の空
気を脱気することにより、瞬時に所定の真空度まで上昇
する。真空度としては、絶対圧力で１〜２０ＫＰａ程度
とするのがよい。例えば、絶対圧力を１０ＫＰａ（ゲー
ジ圧−９０ＫＰａ程度）とした場合には、常圧時のエア
ー溜まりの体積を１／１０とすることができる。

【００２４】真空度が所定値まで上がった後、吸着ヘッ
ド１０の吸着面１０ｂまたはその上に積層されたグリー
ンシート５を切断された方形グリーンシート３ａに熱圧
着させる（図３の（ｂ）参照）。吸着面１０ｂと方形グ
リーンシート３ａは、共にヒータ１５，７によって加熱
されているので、グリーンシートに含まれるバインダが
溶融して吸着面１０ｂまたはその上に積層されたグリー
ンシート５に接着される。なお、吸着ヘッド１０の熱圧
着時にカット刃１８がキャリアフィルム２を切断しない
ように、カット刃１８は吸着ヘッド１０に対して相対的
に上方へ移動する。上記のようにカット刃１８の内側空
間２１を所定の真空度に減圧した状態で熱圧着を行うの
で、グリーンシート層間へのエアーの噛み込みが抑制さ
れる。また、たとえエアーが噛み込んでも、エアー中に
含まれる分子の数が減少しているので、常圧に戻した時
にエアー溜まりの体積が小さくなり、層間剥がれや内部
欠陥の発生を防止できる。

【００２５】熱圧着後、吸着ヘッド１０を上昇させる前
に、切替バルブ３１をＯＦＦ、切替バルブ３２をＯＮ
し、圧空ポンプ３４と配管２２とを接続して内側空間２
１の真空破壊を行なう（図５の（ｃ）参照）。真空破壊
によって、剥離時のキャリアフィルム２のめくれ上がり
が防止される。この時、切替バルブ３２を先にＯＮして
おけば、配管３５内にエアーが既に供給された状態であ
るので、切替バルブ３１をＯＦＦさせると同時にエアー
が内側空間２１へ供給され、速やかに真空破壊できる。
なお、真空破壊は一時的なものであり、真空破壊後、切
替バルブ３２をＯＦＦし、通常状態（図５の（ａ）参
照）に戻せばよい。

【００２６】吸着ヘッド１０を上昇させると、方形グリ
ーンシート３ａはキャリアフィルム２に比べて吸着面１
０ｂまたはその上に積層されたグリーンシート５との接
着力の方が強いので、方形グリーンシート３ａはキャリ
アフィルム２から剥離されて吸着ヘッド１０側に乗り移
る（図３の（ｃ）参照）。グリーンシート３ａをキャリ
アフィルム２から剥離しやすくするため、キャリアフィ
ルム２の表面に予め離型処理を施してもよい。吸着ヘッ
ド１０がキャリアフィルム２から離れた後、カット刃１
８もキャリアフィルム２から離れる。

【００２７】上記の切断、熱圧着、剥離を繰り返すこと
で、複数の方形グリーンシートがカット刃１８で囲まれ
た吸着面１０ｂ上に積層され、積層体５となる。積層体
５の内部にはエアー溜まりが殆ど存在しないので、良質
の積層体５を得ることができる。その後、積層体５をさ
らに圧縮し、チップカット、脱脂・焼成、外部電極形成
を行うことによって積層電子部品が完成する。

【００２８】図６は本発明にかかる積層装置の第２実施
例を示す。この実施例では、カット刃１８に代えて積層
枠４０を用いたものであり、図１と同一部分には同一符
号を付して重複説明を省略する。図６では、積層枠４０
を上下方向に駆動する駆動手段および積層枠４０の内側
空間の空気を脱気する真空吸引手段３０について、図示
を省略した。この実施例では、カット刃を持つカットヘ
ッド（図示せず）によってキャリアフィルム２上に形成
されたグリーンシート３に閉ループ状の切断線を形成し
た後、積層枠４０を持つ吸着ヘッド１０によって、切断
されたグリーンシートに熱圧着させるものである。つま
り、切断工程と、熱圧着・積層工程とを別個の装置で行
うものである。熱圧着および積層の動作については、第
１実施例と同様である。すなわち、吸着ヘッド１０がグ
リーンシートに熱圧着する前に積層枠４０を切断された
グリーンシート３ａの外側の領域に圧着し、積層枠４０
の内側空間をほぼ密閉状態とした後、真空吸引装置４０
により積層枠４０の排気穴４１を介してその内側空間の
空気を脱気することによって、グリーンシート層間のエ
アーの噛み込みを無くすことができる。そして、グリー
ンシート３ａを積層枠４０の内側に積層することができ
る。

【００２９】図７は本発明にかかる積層装置の第３実施
例を示す。この実施例は、第２実施例と同じく積層枠４
０を用いるとともに、積層枠４０の下端に密閉度を高め
るための環状の弾性体４２を取り付けたものである。こ
の場合には、積層枠４０をキャリアフィルム上のグリー
ンシート２に圧接した時に弾性体４２が密着するため、
積層枠４０をグリーンシート３に強く押し当てなくても
内側空間を簡単に密閉できる。弾性体４２は、例えばフ
ッ素系ゴムのように、耐熱性があり、グリーンシート３
と接着しにくい（剥離しやすい）材質が好ましい。

【００３０】図８は本発明にかかる積層装置の第４実施
例を示す。この実施例は、第１実施例におけるカット刃
１８の外側に、シール材４３を介して脱気枠４４を上下
動可能に取り付け、この脱気枠４４をグリーンシートま
たはキャリアフィルム上に密着させた状態で、脱気枠４
４に設けた排気穴４５から真空吸引を行うことで、脱気
枠４４の内側空間４６の空気を脱気するようにしたもの
である。この場合には、カット刃１８に排気穴１８ａを
設ける必要はない。図３に示すように、カット刃１８に
排気穴１８ａを設けた場合、カット刃１８の内周面とグ
リーンシート５の外周面との隙間が狭いので、通気面積
を確保しにくく、内側空間２１の脱気に時間がかかるこ
とがある。これに対し、第４実施例のように、カット刃
１８の外側に脱気枠４４を別に設けると、通気面積を確
保しやすく、排気穴４５から簡単に内側空間４６の空気
を脱気できるという利点がある。脱気枠４４の下端に図
７と同様な弾性体を取り付けてもよい。なお、脱気枠４
４の大きさは、図２に示す切断線ＣＬで囲まれた領域よ
り大きくなるが、隣の切断線ＣＬにかからない大きさと
するのがよい。その理由は、脱気枠４４の押圧跡が次に
積層されるグリーンシート３上に残らないようにするた
めである。

【００３１】図８では、カット刃１８と脱気枠４４との
間の空気漏れをなくすためにシール材４３を設けたが、
当然ながらカット刃１８と吸着ヘッド１０との間にもシ
ール材１７（図３参照）を設けるのが望ましい。また、
カット刃１８と脱気枠４４との間、およびカット刃１８
と吸着ヘッド１０との間にそれぞれシール材を介在させ
る方法に代えて、例えば吸着ヘッド１０と脱気枠４４と
の間を膜状のシール材で覆ってもよい。

【００３２】図９は本発明にかかる積層装置の第５実施
例を示す。この実施例は、第４実施例におけるカット刃
１８に代えて積層枠４０を用いたものである。図８と同
一部分には同一符号を付して説明を省略する。この場合
も、第２実施例（図６参照）に比べて脱気のための通路
面積を確保しやすく、脱気枠４４に設けた排気穴４５か
ら簡単に内側空間４６の空気を脱気できるという利点が
ある。

【００３３】上記実施例では、カット刃１８、積層枠４
０または脱気枠４４をグリーンシートに圧接させ、その
内側空間をほぼ密閉状態とした上で脱気するようにした
が、積層装置全体を減圧室に入れ、その中で熱圧着・積
層を実施してもよい。上記実施例では、受圧テーブル６
および吸着ヘッド１０の双方にグリーンシートの熱圧着
のためのヒータ７，１５を設けたが、ヒータをいずれか
一方にのみ設けても良い。

【００３４】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、請求項１
にかかる発明によれば、吸着面を有する吸着ヘッドを受
圧テーブルに近接させ、吸着面またはその上に保持され
たグリーンシートをキャリアフィルム上のグリーンシー
トに熱圧着し、積層するグリーンシートの積層方法にお
いて、熱圧着の前にグリーンシート層間の空気を真空引
きにより脱気するので、グリーンシート層間が負圧にな
り、エアーの噛み込み量を少なくすることができ、グリ
ーンシート層間にエアー溜まりが発生することが少な
い。また、たとえエアーが噛み込んでも、エアー中に含
まれる分子の数が減少しているので、常圧に戻した時に
エアー溜まりの体積が著しく小さくなり、層間剥がれや
内部欠陥の発生を防止できる。

【００３５】また、請求項３にかかる発明によれば、脱
気枠を用いてグリーンシート層間の空間をほぼ密閉し、
この密閉された空間の空気を脱気するので、短時間にグ
リーンシート層間の空気を脱気できる。そのため、脱気
に要する時間を短縮でき、生産効率を低下させずにエア
ーの噛み込みを少なくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るグリーンシートの積層装置の第１
実施例の全体図である。

【図２】連続体シートの一例の平面図である。

【図３】図１における要部の動作を示す拡大図である。

【図４】図１のＡ−Ａ線断面図である。

【図５】真空吸引装置の各動作説明図である。

【図６】本発明に係るグリーンシートの積層装置の第２
実施例の概略図である。

【図７】本発明に係るグリーンシートの積層装置の第３
実施例の概略図である。

【図８】本発明に係るグリーンシートの積層装置の第４
実施例の概略図である。

【図９】本発明に係るグリーンシートの積層装置の第５
実施例の概略図である。

【符号の説明】

１ 連続体シート ２ キャリアフィルム ３ 連続グリーンシート ４ 電極パターン ５ 積層体 ６ 受圧テーブル ７ ヒータ １０ 吸着ヘッド １５ ヒータ １８ カット刃 １９ ホルダー ２０ 排気通路 ３０ 真空吸引手段 ３３ 真空ポンプ ４０ 積層枠 ４２ 弾性体 ４４ 脱気枠

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂本 義典 京都府長岡京市天神２丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 川畑 尚明 京都府長岡京市天神２丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Ｆターム(参考） 4G055 AA08 AC09 BA22 BB05 5E082 AA01 BB01 BB07 BC32 BC38 FF05 FG04 FG06 FG26 FG46 MM13 MM15 MM21 MM22 MM23 MM24

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】受圧テーブル上に、キャリアフィルムによ
   り裏打ちされたグリーンシートを位置決めする工程と、
   吸着面を有する吸着ヘッドと受圧テーブルとを近接さ
   せ、吸着面または吸着面に保持されたグリーンシートを
   キャリアフィルム上のグリーンシートに熱圧着する工程
   と、吸着ヘッドと受圧テーブルとを離間させ、キャリア
   フィルムを剥離してグリーンシートを吸着面上または吸
   着面上に保持されたグリーンシート上に積層する工程
   と、上記熱圧着および積層を繰り返すことにより、吸着
   面上に複数枚のグリーンシートを熱圧着積層する工程と
   を備え、上記吸着面またはその上に積層されたグリーン
   シートをキャリアフィルム上のグリーンシートに熱圧着
   する前に、上記吸着面またはその上に積層されたグリー
   ンシートと、キャリアフィルム上のグリーンシートとの
   間の空気を真空引きにより脱気する工程を有することを
   特徴とするグリーンシートの積層方法。
2. 【請求項２】上記脱気工程は、上記吸着ヘッドの周囲に
   設けられた脱気枠をグリーンシート上に密着させ、上記
   脱気枠で囲まれた内側空間をほぼ密閉状態とする工程
   と、上記脱気枠で囲まれた内側空間の空気を真空引きに
   より脱気する工程と、を有する請求項１に記載のグリー
   ンシートの積層方法。
3. 【請求項３】キャリアフィルムにより裏打ちされたグリ
   ーンシートを吸引保持する手段を有する受圧テーブル
   と、複数のグリーンシートを熱圧着積層するための吸着
   面を有する吸着ヘッドと、上記吸着ヘッドの周囲に設け
   られ、吸着ヘッドがキャリアフィルム上のグリーンシー
   トに圧着する前にグリーンシートに密着して内側空間を
   ほぼ密閉状態とする脱気枠と、上記脱気枠がキャリアフ
   ィルム上のグリーンシートに密着した後、吸着ヘッドが
   グリーンシートに熱圧着する前に、脱気枠の内側空間の
   空気を脱気する真空吸引手段と、上記受圧テーブルまた
   は吸着ヘッドの少なくとも一方に設けられ、グリーンシ
   ートを熱圧着のために加熱するヒータと、上記吸着ヘッ
   ドを受圧テーブルに対して近接、離反させる加圧離反手
   段とを備えたことを特徴とするグリーンシートの積層装
   置。
4. 【請求項４】上記脱気枠は、上記吸着面の周囲を取り囲
   み、内側にグリーンシートを積層する積層枠であること
   を特徴とする請求項３に記載のグリーンシートの積層装
   置。
5. 【請求項５】上記脱気枠の内側に、上記脱気枠に対して
   相対的に上下動可能で、吸着面の周囲を取り囲み、内側
   にグリーンシートを積層する積層枠が別に設けられてい
   ることを特徴とする請求項３に記載のグリーンシートの
   積層装置。
6. 【請求項６】上記積層枠の下端に、キャリアフィルム上
   のグリーンシートを閉ループ状にカットするカット刃が
   設けられていることを特徴とする請求項４または５に記
   載のグリーンシートの積層装置。
7. 【請求項７】上記脱気枠の下端に、キャリアフィルム上
   のグリーンシートに密着する弾性体が取り付けられてい
   ることを特徴とする請求項３ないし６のいずれかに記載
   のグリーンシートの積層装置。