CN1970291A - 薄片积层体的制造方法及薄片积层体的制造装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能在高精度定位各个薄片的基础上，短时间内高效率地制成薄片积层体的薄片积层体的制造方法，同时，提供一种能高效率地制造薄片积层体的薄片积层体的制造装置。薄片积层体的制造装置(41)按照顺序排成一列，设有一个一个搬入薄片的搬入台(2)，积层被搬运的薄片然后临时接合到前面的薄片的临时接合台(3)，加热临时接合的积层薄片的同时加压然后热压接的积层台(4)，以及搬出热压接的薄片积层体的搬出台(5)。在设置在临时接合台(3)上的对准装置(12)的下侧的吸附板上，内置有识别对准标志的照相机以及临时接合定位薄片的电热烙铁。

Description

薄片积层体的制造方法及薄片积层体的制造装置

技术领域

本发明涉及对积层芯片电容器、积层芯片电感器等的陶瓷绿带进行积层制成积层型的电子部件的制造方法，及使用该制造方法的制造装置。

背景技术

积层型的电子部件中最具有代表性的例子——积层陶瓷电容器，是将通过积层印有内部电极图案的绿带制成的薄片积层体切成芯片状，让内部电极露出在端面外，然后通过烧结制造的。在这种积层陶瓷电容器的制造中，在积层印有内部电极的绿带时，如果印刷的内部电极的位置发生偏离，积层陶瓷电容器取得的静电容量就会不稳定。因此，作为防止绿带积层时发生位置偏离的方法，历来采用在绿带穿孔工序中穿设定位孔，以该定位孔为基准进行印刷，在定位孔插入导电销，同时积层各绿带的方法，或者采用如专利文献1所述的，通过对准标志识别装置识别预先安装在绿带上的对准标志的位置，再根据该位置信息起动对准装置，给各绿带定位的方法。

【专利文献1】特开平03-142910号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，向绿带中穿设的定位孔中插入导电销同时积层各薄片的方法，由于定位孔和印刷位置经常发生偏离，定位孔必须一定程度上比销大，因此不能进行高精度的定位。另一方面，利用对准标志识别装置和对准装置定位各薄片的方法，需要在同一个积层装置内，进行对准标志的识别，进行对准，进行绿带积层等多个动作，所以不能在短时间内形成薄片积层体，积层装置变得复杂，保养维护也变难，有很多不足的地方。

本发明的目的是提供一种解决上述现有的薄片积层体的制造方法的问题，在能高精度定位各个薄片的基础上，短时间内高效率地制成薄片积层体的薄片积层体的制造方法。此外，还提供一种能这样高效率地制造薄片积层体的薄片积层体的制造装置。

课题的解决方案

在本发明中，权利要求1所述的发明构成是，一种由多个陶瓷薄片积层而成的薄片积层体的制造方法，其中将薄片搬运到临时接合台，在临时接合台上识别薄片的对准标志位置，再根据该位置信息定位薄片，之后，将下一个薄片搬运到临时接合台，在临时接合台上定位该薄片后，积层到先定位的薄片的同时部分加热进行临时接合，之后，将临时接合的薄片搬运到积层台，在积层台上加热临时接合状态的薄片的同时加压进行热压接，在积层台上热压接薄片的期间，在临时接合台上定位下一个薄片的位置，之后将定位的薄片积层到先热压接的薄片上的同时部分加热进行临时接合，之后，将临时接合的薄片搬运到积层台进行热压接，之后反复进行这些操作，热压接多个薄片，制造积层为一体的薄片积层体。

权利要求2所述的发明构成是，一种由多个陶瓷薄片积层而成的薄片积层体的制造方法，其中将薄片搬运到临时接合台，在临时接合台上识别薄片的对准标志位置，再根据该位置信息定位薄片，之后，将下一个薄片搬运到临时接合台，在临时接合台上定位该薄片后，积层到先定位的薄片的同时部分加热进行临时接合，之后，重复这些操作临时接合多个薄片，之后，将临时接合的多个薄片搬运到积层台，在积层台上加热多个临时接合状态的薄片的同时加压进行热压接，在积层台上热压接薄片的期间，在临时接合台上定位下一个薄片，积层该定位的薄片到先热压接的多个薄片上的同时部分加热进行临时接合，重复该动作，制造热压接多个薄片的薄片积层体。

权利要求3所述的发明构成是，一种由多个陶瓷薄片积层而成的薄片积层体的制造方法，其中将多个薄片按照顺序搬运到临时接合台，在临时接合台上，根据薄片的对准标志位置信息定位薄片后，将该定位的薄片积层到先定位的临时接合的薄片上的同时部分加热进行临时接合，之后重复这些操作进行多个薄片的临时接合，之后将临时接合状态的多个薄片搬运到积层台，在积层台上，加热临时接合状态的多个薄片的同时加压进行热压接，热压接多个薄片制造积层为一体的薄片积层体。

权利要求4所述的发明构成是，在权利要求1到权利要求3的任何一项所述的发明中，在薄片的下面被吸附保持的状态下搬运到临时接合台，在临时接合台上，在薄片的上面被吸附保持的状态下定位，之后，将该定位的薄片积层到先定位的、其下面被吸附保持的薄片的上侧，同时部分加热进行临时接合，之后在临时接合的薄片的下面被吸附保持的状态搬下运到积层台，在积层台上，对临时接合状态的薄片上下两侧加热，同时加压进行热压接。

权利要求5到权利要求8所述的发明构成是，在权利要求1到权利要求4分别所述的发明中，薄片是带薄膜的薄片，在将该带薄膜的薄片搬运到临时接合台之前将薄膜从薄片上剥离，在临时接合台，定位薄膜已被剥离状态的薄片。

权利要求9到权利要求12所述的发明构成是，在权利要求1到权利要求4分别所述的发明中，薄片是带薄膜的薄片，在临时接合台上定位带薄膜的薄片，之后，将完成定位的薄片搬运到临时接合台以外，在临时接合台定位下一个薄片，为了将该定位的下一个薄片积层到先定位的薄片上，在将先定位的薄片搬运到临时接合台之前，将薄膜从先定位的薄片上剥离。

权利要求13所述的发明构成是，一种由多个陶瓷薄片积层而成的薄片积层体的制造装置，其具有将薄片一个一个搬入的搬入台；积层被搬运的薄片，然后临时接合到上一个薄片的临时接合台；将临时接合的薄片加热的同时加压，进行热压接的积层台；搬出热压接的薄片的搬出台；设有具有可吸附保持薄片下面的第一升降台、可在搬入台和临时接合台之间往复运动的第一搬运装置；具有可吸附保持薄片下面的第二升降台、可在临时接合台和积层台之间往复运动的第二搬运装置；具有可保持薄片的保持手段、可在积层台和搬出台之间往复运动的第三搬运装置；在临时接合台上设有可在薄片上面被吸附保持的状态下根据对准标志位置信息定位薄片的对准装置和可将定位的薄片临时接合到第二升降台上的前面的薄片上面的临时接合装置；在积层台上设有具有可加热第二升降台上的临时接合的积层薄片的加热装置和可从上侧加压该积层薄片的加压装置。

权利要求14所述的发明构成是，在权利要求13所述的发明中，搬入台，临时接合台和积层台按照顺序配置成一列，在第一搬运装置上设有可在搬入台和临时接合台之间往复引导第一升降台的第一导轨，在第二搬运装置上设有可在临时接合台和积层台之间往复引导第二升降台的第二导轨，第一导轨和第二导轨由相同的直线型的导轨构成。

权利要求15所述的发明构成是，在权利要求13所述的发明中，在临时接合台上设有固定地支承着的支承部件；在对准装置中具有可在支承部件的水平面内，向X方向，Y方向，旋转方向移动的对准台，设于对准台上的可吸附保持薄片上面的吸附板，设于支承部件上的通过对准台和吸附板的贯通孔识别薄片的对准标志位置的可调整位置的照相机，以及设于支承部件上的根据来自照相机的对准标志位置信息让对准台在X方向，Y方向，旋转方向移动的控制装置；在临时接合装置中，具有设于支承部件上、可通过对准台和吸附板的贯通孔向着孔开口部升降的加热烙铁。

权利要求16所述的发明构成是，在权利要求13所述的发明中，在积层台上设有固定地支承着的支承部件；在加压装置中具有使得活塞杆向支承部件下行的固定的油压缸，可相对于支承部件升降地支承着的、与活塞杆连接的升降体，固定在升降体上、内置有加热器的上模，包围上模的全部侧面和上模的上方、可相对于升降体升降的抽吸箱，可从抽吸箱的内部空间抽吸空气的真空装置；升降体下降的话，在下降途中，抽吸箱与第二升降台靠接，使下降停止，同时气密地封闭抽吸箱。

发明的效果

由于权利要求1的发明的特征是将薄片搬运到临时接合台，在临时接合台上识别薄片的对准标志位置，再根据该位置信息定位薄片，之后，将下一个薄片搬运到临时接合台，在临时接合台上定位该薄片后，积层到先定位的薄片的同时部分加热进行临时接合，之后，将临时接合的薄片搬运到积层台，在积层台上加热临时接合状态的薄片的同时加压进行热压接，因此能正确定位的同时还能在维持该位置关系的状态下进行一体的积层，提高薄片积层体的积层精度和积层体的质量。另外，由于其特征还包括在积层台热压接薄片的期间，在临时接合台上定位下一个薄片的位置，之后将定位的薄片积层到先热压接的薄片上的同时部分加热进行临时接合，之后，将临时接合的薄片搬运到积层台进行热压接，因此能同时并行处理定位(对准)薄片、进行临时接合的动作以及加压热压接的加压动作，缩短薄片积层体制造的流水时间，提高生产率。

由于权利要求2的发明特征是，将薄片搬运到临时接合台，在临时接合台上识别薄片的对准标志，再根据该位置信息定位薄片，之后，将下一个薄片搬运到临时接合台，在临时接合台上定位该薄片后，积层到先定位的薄片的同时部分加热进行临时接合，之后，重复这些操作临时接合多个薄片，之后，将临时接合的多个薄片搬运到积层台，在积层台上加热多个临时接合状态的薄片的同时加压进行热压接，因此，能在正确定位多个薄片进行积层的同时在保持该位置关系的状态下进行一体的接合，提高薄片积层体的积层精度。另外，由于其特征还包括在积层台上热压接薄片的期间，在临时接合台上定位下一个薄片，积层该定位的薄片到先热压接的多个薄片上的同时部分加热进行临时接合，重复这些动作，临时接合多个薄片到热压接的薄片上，之后重复这些动作，热压接多个薄片，制造积层为一体的的薄片积层体，因此能同时并行处理多个薄片的对准动作以及临时接合和多个薄片的加压及热压接的加压动作，缩短薄片积层体制造的流水时间，提高生产率。

由于权利要求3的发明特征是，将多个薄片按照顺序搬运到临时接合台，在临时接合台上，根据薄片的对准标志位置信息决定薄片的位置后，将该定位的薄片积层到先定位的临时接合的薄片上的同时部分加热进行临时接合，之后重复这些操作进行多个薄片的临时接合，之后将临时接合状态的多个薄片搬运到积层台，在积层台上，加热临时接合状态的多个薄片的同时加压进行热压接，热压接多个薄片制造积层一体的薄片积层体，因此，能在正确定位多个薄片的同时在保持该位置关系的状态下进行一体的接合，提高薄片积层体的积层精度，另外，由于其特征还包括将临时接合状态的多个薄片搬运到积层台上，在积层台上，加热临时接合状态的多个薄片的同时加压进行热压接，制造薄片积层体，因此能同时并行处理多个薄片的临时接合动作和多个薄片的加压动作，缩短薄片积层体制造的流水时间，提高生产率。

根据权利要求4的发明，能将定位的薄片高效率地积层到位置保持状态的薄片上面，并能正确地临时接合，能高效率地制造薄片积层体。

根据权利要求5到权利要求8的发明，即使是带薄膜的薄片，也能剥离该薄膜正确定位多个薄片进行临时接合，能提高薄片积层体的积层精度。

根据权利要求9到权利要求12的发明，在临时接合台上，为了定位下一个薄片并将其积层到先定位的薄片上，在将先定位的薄片搬运到临时接合台之前，将薄膜从薄片上剥离，因此，能以带薄膜的薄片的状态热压接先定位的薄片，通过薄膜能抑制薄片的热变形以及压制模型与薄片的黏着。

根据权利要求13的发明，能将薄片搬运到临时接合台定位之后，积层到先定位的薄片的同时部分加热进行临时接合，将临时接合的薄片搬运到积层台加热的同时加压进行热压接，能机械化地制造将多个薄片积层为一体的薄片积层体。根据权利要求14的发明，能用简易的机械装置高效率地将薄片搬入搬出临时接合台和积层台。

根据权利要求15的发明，能吸附搬运到临时接合台上的薄片的上面并正确定位后，能容易地将该薄片临时接合到其他的、下面被吸附的薄片上，能用简易的机械装置高效率地进行临时接合。

根据权利要求16的发明，能在比大气压低的真空区域内加热及加压然后热压接搬运到积层台上的多个积层薄片，即使快速加压积层薄片，也能够防止气泡残留在积层薄片的薄片之间，提高薄片积层体的制造效率。

附图说明

图1是表示薄片积层体制造装置的正面的说明图。

图2是表示从上往下看的状态的薄片积层体制造装置的俯视图。

图3是表示第一搬运装置和第二搬运装置的斜视立体图。

图4是表示从上往下看的状态的对准装置的俯视图。

图5是表示对准装置的铅直断面的说明图。

图6是表示加热装置，加压装置的设置部位的说明图。

1薄片

2搬入台

3临时接合台

4积层台

5搬出台

6第一搬运装置

7第二搬运装置

8第三搬运装置

9第一升降台

10第二升降台

11保持手段

12对准装置

13临时接合装置

14电热烙铁

15加热装置

薄片的搬入台2，用于积层被搬运的薄片然后临时接合到前面的薄片的临时接合台3，用于加热临时接合的积层薄片的同时加压然后热压接的积层台4，以及用于搬出热压接的薄片积层体的搬出台5。

此外，在积层装置41的支承板42上，设有可在搬入台2和临时接合台3之间往复运动的第一搬运装置6，可在临时接合台3和积层台4之间往复运动的第二搬运装置7，可在积层台4和搬出台5之间往复运动的第三搬运装置8。图3是表示第一搬运装置6和第二搬运装置7的附图，在第一搬运装置6上，设有可吸附保持陶瓷绿带(以下，简称薄片)1的下面的第一升降台9，在第二搬运装置7上，设有可同样吸附保持薄片1的下面的第一升降台10，另一方面，第三搬运装置8上，设有用于保持薄片的四个角将薄片从积层台4搬出到搬出台5的搬出操作台5A上的保持手段11。

上述第一搬运装置6、第二搬运装置7具有与直线型平行配置的一对导轨17，配置在导轨17上的可滑动的台车6A，7A，以及在第一搬运装置6，第二搬运装置7的下侧，与分别由固定在支承板42上的一对支承板18A，19A支承的导轨17平行配置、同时具有螺合在第一搬运装置6、第二搬运装置7上的台车6A，7A上的螺轴18，19，以及连接固定配置在支承体42的端部的伺服马达18B，19B。在第一搬运装置6的台车6A和第二搬运装置7的台车7A上，前后分别具有使第一升降台9和第二升降台10升降的一对升降气缸9A，10A和引导第一升降台9和第二升降台10的升降的图中未表示的引导手段。此外，第一搬运装置6的第一升降台9上，前后附设有一对定位第一升降台9上载有的薄片的定位气缸9B，9C(图2所示)。一个定位气缸9B，使定位薄片的挡止器前后移动，另一个的定位气缸9C用于推压薄片使之与挡止器靠接。此外，在第一升降台9和第二升降台10上，使用镶嵌在金属框等框内的薄片时，内置使金属框等的4个角的部分升降的4个框升降气缸(图示省略)，在将薄片交到位于上方的后述的定位台的吸附板上时提升金属框，确保薄片交接到吸附板上。在支承台42上，设有为了让第二搬运装置7的台车7A停在临时接合台3的正确位置的感应器60。并且，在导轨17内，螺轴18侧的部分发挥在搬入台

16加压装置

20第一导轨

21第二导轨

23对准台

24吸附板

25照相机

26控制装置

27孔开口部

28A框架(支承部件)

29油压缸

30活塞杆

31升降体

32加热器

33上模

34抽吸箱

35真空装置

41积层装置

43支承部件

具体实施方式

发明的最佳实施方式

下面，参照附图详细说明本发明涉及的薄片积层体的制造装置及薄片积层体制造方法的一个实施方式。

图1，图2是表示薄片积层体的制造装置的附图，薄片积层体的制造装置(以下，简称积层装置)41按照顺序排成一列，设有用于一个一个搬入2和临时接合台3之间往复引导第一升降台9的第一导轨20的作用，螺轴19侧的部分，发挥在临时接合台3和积层台4之间往复引导第二升降台10的第二导轨21的作用。

在临时接合台3上，支承板42上树立设有4根支柱22，22……，支承部件43被水平地固定在各个支柱22的上端部分。并且，该支承部件(框架)43上，设有根据预先设置在薄片1上的对准标志位置的相关信息定位薄片1的对准装置12。图4，图5是表示对准装置12的设置部位的附图，对准位置12具有固定在支承部件43的下面的中空的安装基板12A，以及可在水平面内移动地安装在安装基板12A的下侧的对准台23。对准台23，如特开2000-98631号公报所述，是设置在安装基板12A上的历来公知的机械装置，可根据控制装置26的指令，在水平面内，可向X方向，Y方向，旋转方向(θ方向)移动。在支承部件43和安装基板12A上面的中央部分，设有大的开口部43C，12C。

还有，对准台23的中央部分具有一个大的开口部23A，在其下面设有，堵住开口部23A，吸附保持薄板的上面的吸附保持板24。在吸附保持板24上，除了在吸附其下面的薄板的区域的边缘的位置，固定着与其持平的、由可进行抽吸的多孔质材料组成的大致呈方形的吸附板24A，在位于该吸附板24A的上侧的内部，设有抽吸室24B，在吸附保持板24的上面连接有用于进行抽吸室24B的真空抽吸和真空破坏的多根抽吸管24C。另外，在吸附保持板24上，为了使用镶嵌在多个金属框内的薄片，在抽吸薄板区域的侧方向的多处埋设有可吸附金属框的磁石24D，同时，为了使这些被磁石吸引的金属框脱离向下配置有多个销气缸24E。此外，在吸附保持板24上，在吸附薄片区域的边缘的一部分，穿设有4个贯通孔36，36……和用于后面所示的临时接合的4个贯通孔26，26……。在各通孔36的内部，分别设有用于识别在薄片1上所附的对准标志的照相机(电荷耦合(CCD)照相机)25，25……，该照相机由安装在支承部件43上面的支架25A所支承，可调整位置。

此外，在对准台23的上方，设有可将定位的薄片1临时接合到前面定位的薄片的上面的临时接合装置13。并且，在临时接合装置13上，在安装在支承部件43上面的支架13A上，作为临时接合手段，安装有4个可向下升降的电热烙铁14，14……。电热烙铁14，14……通过穿设在对准台23的开口部23A及吸附保持板24上的通孔26，26……，可出入孔开口部27。

另一方面，在积层台4上，基板42上立设有4根支柱28，28……，支承部件(框架)28A被固定在这些支柱28的上端部。并且，在该支承部件28A上，具有可加热第二升降台9上的被临时接合的积层薄片的加热装置15，并设有可从上侧加压加热积层薄片的加压装置16。

图6是表示加热装置15，加压装置16的设置部位的附图，在加压装置16上具有活塞杆30向下、固定在支承部件28A上面的油压缸29，可被固定在支承部件28A上的一对引导衬套28B，28B升降自由地引导的一对导向杆31A，和固定在导向杆31A的下端部同时与油压缸29的活塞杆30相连的升降体31。并且，在升降体31上，内置加热体32的上模33通过支承体33A固定。

此外，在升降体31上，固定有引导左右的一对升降杆34A的一对导向衬套31B，在升降杆34A的下端部设有抽吸箱34，在降下的位置，包围上模33的全部侧面和上模33的上面。设置在抽吸箱34上壁的嵌合孔34B气密地，可上下滑动自由地嵌合在上模33的支承体33A上，抽吸箱34的下降被图中未表示的挡止器所阻止。此外，抽吸箱34被管子35A连接到设置在基板42下侧的真空装置35上，能从内部抽吸空气制造真空和进行真空破坏。并且，升降体31下降时，在下降的途中，抽吸箱34与第二升降台9靠接，在阻止抽吸箱34下降的同时将其气密地密封，保持抽吸箱34内部的脱气的状态。第三搬运装置8具有相互平行地配置在积层台4的侧方的第三导轨44和空气压驱动的无杆气缸44A，第三导轨44引导的无杆气缸44A使水平移动的移动体44B移动积层台4的第二搬运装置7的上方伸出的保持手段11。保持手段11具有通过空气抽吸能吸附热压接的薄片积层体上面的吸附手段，此外，为了使用镶嵌在金属框等内的薄片，保持手段11具有可通过设于第二升降台10上的框升降气缸，进出刚处于上升状态中的金属框等的左右的边缘部分的下方的扣合部件，抬起金属框等的左右边缘进行搬运。

下面，说明一个使用如上构成的积层装置41的薄片积层体的制造方法的例子。下面的说明涉及通过重复制造每一个薄片的一系列的薄片定位→临时接合→热压接的动作，最终积层需要个数(如，40个)的薄片的薄片积层体的制造方法。

薄片1被切断成所定大小的矩形，事先，通过印刷等形成所定的图案，构成电气元件的材料膜(如，内部电极)。此外，薄片1的四角印刷有定位用的对准标志。上述薄片1被搬运到搬运台2，然后放置在第一搬运装置6上的第一升降台9上。薄片1被放置在第一升降台9上后，定位气缸9B，9C即启动，将薄片1定位后，通过设在第一升降台9的外周的抽吸孔(图中未表示)的抽吸，薄片1的下面被固定在第一升降台9上。并且，薄片1被放置在第一升降装置9后，第一搬运装置6沿着第一导轨20被搬运到临时接合台3(向图1的右侧滑去)。第一搬运装置6的台车6A的移动位置被螺轴18的转动限制。

吸附保持如上所述的薄片1的第一搬运装置6通过滑动搬运到临时接合台3后，升降气缸9A即启动，第一升降台9上升，通过设置在对准装置12的下端的吸附板24A和薄片1靠接(即，薄片1通过第一升降台9和吸附板24A变成轻度被压状态)。这样，薄片1与吸附板24靠接，通过吸附板24A下面进行的全部抽吸，薄片1的上面被固定在吸附板24A上。此外，同时，第一升降台9停止抽吸薄片1，薄片1从第一升降台交到吸附板24A。薄片1交到吸附板24A上后，第一升降台即开始下降到最下端的位置，同时，第一搬运装置6沿着第一导轨20，移动到搬入台2(向图1的左侧滑去)。

此外，薄片1交到吸附板24上后，内置在吸附板24内的照相机25，25……即识别薄片1上的对准标志。并且按照该对准标志的位置信息，按照来自控制装置26的指令，通过向X方向，Y方向，旋转方向(θ方向)移动对准台23，将薄片1与吸附板24A一起定位在所定的位置。

另一方面，在定位如上所述的薄片1的期间，第二搬运装置7沿着第二导轨21移动到临时接合台3，通过定位感应器60在正确的位置停止(向图1的左侧滑动)。而第二搬运装置7的移动被螺轴19的转动所限制。并且，第二搬运装置7搬运到临时接合台3后，第二升降台10即上升，通过对准装置12的下端的吸附板24A和薄片1靠接(即，薄片1通过第二升降台10和吸附板24A变成轻度被压状态)。这样，薄片1与第二升降台靠接，通过从设在第二升降台10的外周的抽吸孔(图中未表示)进行抽吸，薄片1的下面被固定在第二升降台10上。此外，同时，吸附板24A停止抽吸薄片1，薄片1从吸附板24A交到第二升降台10上。如上所述，薄片1在吸附板24A上已经被定位，所以保持被定位的状态，交到第二升降台10上。薄片1交接到第二升降台10上后，第二升降台10朝着最下端的位置下降，同时，第二搬运装置7沿着第二导轨21向积层台4移动。

如上所述，第一个薄片1被定位，在被交到第二升降台10的期间，第2个薄片(被切断为所定矩形的薄片)1，被搬运到搬入台2，放置在第一搬运装置6上的第一升降台9上，用与第一个薄片1同样的方法，定位，抽吸固定，第二搬运装置7从临时接合台3向积层台4移动开始后被搬运到临时接合台3。并且，用与第1个薄片相同的方法，交到吸附板24A上，定位。

如上所述，在定位第2个薄片1的期间，抽吸固定第1个薄片的第二搬运装置7，再次沿着第二导轨21移动到临时接合台3(向图1的左侧滑动)。并且，第二搬运装置7向临时接合台3移动后，就停止定位，第二升降台10上升，通过第1个薄片1和第2个薄片1，与吸附板24A靠接(即，2个薄片1，1通过第二升降台10和吸附板24A变成轻度被压状态)。并且，这样2个薄片1，1通过第二升降台10和吸附板24A轻度被压，临时接合装置13的加热状态的4个电热烙铁14，14……下降，在所定的位置(四个角)临时接合2个薄片1，1(热融接)。而2个薄片1，1如上所述，都已经在吸附板24A上被定位，因此保持定位的状态，进行临时接合。

这样，2个薄片1，1被临时接合后，就通过第二升降台10的抽吸孔(图中未表示)进行抽吸，第1个薄片1的下面被固定在第二升降台10上的同时，吸附板24A停止抽吸第2个薄片1，临时接合的薄片1，1从吸附板24A交到第二升降台10上。如上所述，2个薄片1，1以定位的状态临时接合，因此保持定位的状态，交到第二升降台10。

2个薄片1，1在被定位的状态下交到第二升降台10后，第二升降台10开始下降到最下端位置，同时，第二搬运装置7沿着第二导轨10移动到积层台4(向图1的右侧滑动)。第二搬运装置7搬运到积层台4后，通过加压装置16的油压气缸29的启动，设有加热器23加热的上模33和抽吸箱34的升降体31下降。并且，抽吸箱34的下端的正方形的边缘通过与第二升降台10的上面的靠接，抽吸箱34的内部与外部被气密地隔断。为了提高抽吸箱34内的气密性，最好在抽吸箱34的下端附设密封材料。并且，在该状态下，通过真空装置35抽吸箱34内的空气。此外，如上所述，升降体31下降后，通过抽吸箱34与第二升降体10靠接后升降体的进一步下降，通过加热体32加热的上模33下降，与第二升降体10靠接(通过抽吸固定在第二升降台10上的临时接合后的2个薄片1，1靠接)。之后，通过施加所定的压力，2个薄片(临时接合后的薄片)1，1被热压接(在保持定位的状态下被热压接)。并且在2个薄片1，1被热压接后，即向抽吸箱34内填充空气，真空破坏之后，抽吸箱34和上模33上升到最上端的位置。

另一方面，在热压接第1个薄片和第2个薄片的期间，第3个薄片(被切断成所定的矩形的薄片)1，被搬运到搬入台2，放置在第一搬运装置6上的第一升降台9上，用与第1，2个薄片1同样的方法，抽吸固定后搬运到临时接合台3。并且，用与第1，2个薄片1，1同样的方法，交到吸附板24A上，对准，定位。

此外，在定位第3个薄片1的期间，抽吸固定热压接的第1，2个薄片1，1的第二搬运装置7，再次沿着第二导轨21移动到临时接合台3(向图1的左侧滑动)。并且，第二搬运装置7移动到临时接合台3并定位后，第二升降台10即上升，通过第1，2个薄片(热压接的薄片)1，1和第3个薄片1，与吸附板24A靠接。并且，这样3个薄片1，1，1通过第二升降台10和吸附板24A轻度被压，通过临时接合装置13的加热状态的4个电热烙铁14，14……的下降，在所定的位置(四个角)临时接合第1，2个薄片1，1和第3个薄片(热融接)。而3个薄片1，1，1如上所述，都在吸附板24A上被定位，因此在保持定位的状态下，进行临时接合。

这样，3个薄片被临时接合后，3个薄片1，1，1就从吸附板24A交到第二升降台10上，第二升降台10滑动到积层台4。并且，通过与热压接第1，2个薄片1，1时同样的工程，在抽吸箱34的脱气状态下，通过被加热的上模33，热压接3个薄片(临时接合的3个薄片)1，1，1。

并且，通过反复进行如上所述的所定次数的搬入→定位→临时接合→热压接，最终形成积层需要的个数薄片1，1……的薄片积层体。之后，形成的积层体，由设置在第三搬运装置8上的保持手段11保持，从积层台4搬出到搬出台5。第三搬运装置8，和第一搬运装置6，第二搬运装置7一样，由第三导轨44引导，可在积层台4和搬出台5之间移动。

采用积层装置41的上述薄片积层体的制造方法，能正确定位各个薄片1，1……并在进行积层的同时在保持该位置关系的状态下，一体地进行积层，能提高薄片积层体的积层精度，提高薄片积层体的品质。此外，能同时并行处理定位(对准)各个薄片1，1……并临时接合的动作和加压，热压接薄片的加压动作，缩短薄片积层体制造的流水时间，因此具有很高的生产率。

此外，积层装置41能在定位搬运到临时接合台3上的薄片1后，将其积层到前面定位的薄片1，同时，部分加热进行临时接合，搬运临时接合的薄片1到积层台4并在加热的同时加压，进行热压接，能机械地制造积层为一体的多个薄片1，1……的薄片积层体。

本发明的薄片积层体的制造方法及薄片积层体的积层装置的构成不限定于上述实施方式所述的方式，在不脱离搬入台，临时接合台，积层台，搬出台，第一搬运装置，第二搬运装置，第三搬运装置，对准装置，临时接合装置，加热装置，加压装置，第一导轨，第二导轨，第三导轨等的形状、构造等结构的本发明的主旨的范围内，可进行适应需要的适合变更。

例如，本发明的薄片的积层方法，如上所述，不仅仅限于通过反复进行每个薄片的定位→临时接合→热压接，形成积层最终需要个数的薄片的积层体的方法，可变通为所定的个数(如10个)一个一个的定位→反复进行临时接合形成薄片积层体(所定个数的积层体)后，热压接该临时接合状态的薄片积层体，之后通过反复进行定位每个薄片和定位的薄片的上述热压接后的薄片积层体的临时接合，热压接，形成积层最终的需要的个数的薄片的薄片积层体的方法。即使是采用上述的积层方法时，和上述实施方式的积层方法一样，也能在正确定位多个薄片进行积层的同时，在保持该位置关系的状态下进行一体的接合，能提高薄片积层体的积层精度。此外，能同时并行处理多个薄片的对准动作及临时接合和加压热压接多个薄片的加压动作，缩短薄片积层体制造的流水时间，提高其生产率。

此外，本发明的薄片的积层方法，可变通为反复进行每个薄片的定位→临时接合直到最终需要的个数，形成积层最终需要的个数的薄片积层体后，热压接该薄片积层体的积层方法。即使是采用上述的积层方法时，和上述实施方式的积层方法一样，也能在正确定位多个薄片进行积层的同时，在保持该位置关系的状态下进行一体的接合，能提高薄片积层体的积层精度。此外，能同时并行处理多个薄片的临时接合动作和多个薄片的加压动作，缩短薄片积层体制造的流水时间，提高其生产率。此外，在薄片是带薄膜的薄片时，需要用特许第2727739号公报和特开平8-244019号公报等公开的公知的薄膜剥离手段，从薄片上剥离薄膜，但是在本发明中，在搬入台和临时接合台之间设置了薄膜剥离手段，在带薄膜的薄片搬运到临时接合台之前从薄片上剥离薄膜，在临时接合台定位剥离了薄膜状态的薄片，因此可以防止薄膜剥离产生的薄片位置偏离。

此外，本发明的薄片的积层方法，也可是到将薄片搬入临时接合台，薄片是被保护用的薄膜覆盖的带薄膜的薄片，在临时接合台上，从薄片上剥离薄膜，定位剥离薄膜状态的薄片的构成。采用该构成时，具有能防止薄片上沾上粉尘，制造电气特性良好的薄片积层体的优点。

此外，本发明的薄片的积层方法，也可是在临时接合台上，对带薄膜的薄片状态下的薄片进行定位，之后将完成定位的薄片搬运到临时接合台外，在临时接合台上定位下一个薄片，为了将该定位的下一个薄片积层到前面定位的薄片上，在将前面定位的薄片搬运到临时接合台之前，通过设置在临时接合台和积层台之间的薄膜剥离手段从前面定位的薄片中剥离薄膜的构成。这时，最好的是热压接带薄膜状态的薄片后，从热压接后的薄片中剥离薄膜，将该薄片搬运到临时接合台，可以抑制薄片热压接时的薄片热变形和薄片与向压制模型的黏着。

此外，积层装置不仅仅限于设置识别对准标志的4个照相机的装置，也可设置3个以下的照相机，还可设置5个以上的照相机。此外，临时接合的手段也不仅仅限于电热烙铁，也可用其他的手段，如超声波焊接，震动焊接，红外线激光焊接等。超声波焊接和震动焊接时，可让超声波焊接机的振子和震动焊接机的振子与电热烙铁一样升降焊接积层薄片，红外线激光焊接时可将红外线激光焊接机的照射器固定设置在最佳位置，焊接积层薄片。

Claims (16)

1、一种由多个陶瓷薄片积层而成的薄片积层体的制造方法，其特征在于

将薄片搬运到临时接合台，在临时接合台上识别薄片的对准标志位置，再根据该位置信息定位薄片，之后，将下一个薄片搬运到临时接合台，在临时接合台上定位该薄片后，积层到先定位的薄片的同时部分加热进行临时接合，之后，将临时接合的薄片搬运到积层台，在积层台上加热临时接合状态的薄片的同时加压进行热压接，在积层台上热压接薄片的期间，在临时接合台上定位下一个薄片的位置，之后将定位的薄片积层到先热压接的薄片上的同时部分加热进行临时接合，之后，将临时接合的薄片搬运到积层台进行热压接，之后反复进行这些操作，热压接多个薄片，制造积层为一体的薄片积层体。

2、一种由多个陶瓷薄片积层而成的薄片积层体的制造方法，其特征在于

将薄片搬运到临时接合台，在临时接合台上识别薄片的对准标志位置，再根据该位置信息定位薄片，之后，将下一个薄片搬运到临时接合台，在临时接合台上定位该薄片后，积层到先定位的薄片的同时部分加热进行临时接合，之后，重复这些操作临时接合多个薄片，之后，将临时接合的多个薄片搬运到积层台，在积层台上加热多个临时接合状态的薄片的同时加压进行热压接，在积层台上热压接薄片的期间，在临时接合台上定位下一个薄片，积层该定位的薄片到先热压接的多个薄片上的同时部分加热进行临时接合，重复该动作，制造热压接多个薄片的薄片积层体。

3、一种由多个陶瓷薄片积层而成的薄片积层体的制造方法，其特征在于

将多个薄片按照顺序搬运到临时接合台，在临时接合台上，根据薄片的对准标志位置信息定位薄片后，将该定位的薄片积层到先定位的临时接合的薄片上的同时部分加热进行临时接合，之后重复这些操作进行多个薄片的临时接合，之后将临时接合状态的多个薄片搬运到积层台，在积层台上，加热临时接合状态的多个薄片的同时加压进行热压接，热压接多个薄片制造积层为一体的薄片积层体。

4、根据权利要求1到权利要求3的任何一项所述的薄片积层体的制造方法，其特征在于，在薄片的下面被吸附保持的状态下搬运到临时接合台，在临时接合台上，在薄片的上面被吸附保持的状态下定位，之后，将该定位的薄片积层到先定位的、其下面被吸附保持的薄片的上侧，同时部分加热进行临时接合，之后在临时接合的薄片的下面被吸附保持的状态搬下运到积层台，在积层台上，对临时接合状态的薄片上下两侧加热，同时加压进行热压接。

5、根据权利要求1所述的薄片积层体的制造方法，其特征在于，薄片是带薄膜的薄片，在将该带薄膜的薄片搬运到临时接合台之前将薄膜从薄片上剥离，在临时接合台，定位薄膜已被剥离状态的薄片。

6、根据权利要求2所述的薄片积层体的制造方法，其特征在于，薄片是带薄膜的薄片，在将该带薄膜的薄片搬运到临时接合台之前将薄膜从薄片上剥离，在临时接合台，定位薄膜已被剥离状态的薄片。

7、根据权利要求3所述的薄片积层体的制造方法，其特征在于，薄片是带薄膜的薄片，在将该带薄膜的薄片搬运到临时接合台之前将薄膜从薄片上剥离，在临时接合台，定位薄膜已被剥离状态的薄片。

8、根据权利要求4所述的薄片积层体的制造方法，其特征在于，薄片是带薄膜的薄片，在将该带薄膜的薄片搬运到临时接合台之前将薄膜从薄片上剥离，在临时接合台，定位薄膜已被剥离状态的薄片。

9、根据权利要求1所述的薄片积层体的制造方法，其特征在于，薄片是带薄膜的薄片，在临时接合台上定位带薄膜的薄片，之后，将完成定位的薄片搬运到临时接合台以外，在临时接合台定位下一个薄片，为了将该定位的下一个薄片积层到先定位的薄片上，在将先定位的薄片搬运到临时接合台之前，将薄膜从先定位的薄片上剥离。

10、根据权利要求2所述的薄片积层体的制造方法，其特征在于，薄片是带薄膜的薄片，在临时接合台上定位带薄膜的薄片，之后，将完成定位的薄片搬运到临时接合台以外，在临时接合台定位下一个薄片，为了将该定位的下一个薄片积层到先定位的薄片上，在将先定位的薄片搬运到临时接合台之前，将薄膜从先定位的薄片上剥离。

11、根据权利要求3所述的薄片积层体的制造方法，其特征在于，薄片是带薄膜的薄片，在临时接合台上定位带薄膜的薄片，之后，将完成定位的薄片搬运到临时接合台以外，在临时接合台定位下一个薄片，为了将该定位的下一个薄片积层到先定位的薄片上，在将先定位的薄片搬运到临时接合台之前，将薄膜从先定位的薄片上剥离。

12、根据权利要求4所述的薄片积层体的制造方法，其特征在于，薄片是带薄膜的薄片，在临时接合台上定位带薄膜的薄片，之后，将完成定位的薄片搬运到临时接合台以外，在临时接合台定位下一个薄片，为了将该定位的下一个薄片积层到先定位的薄片上，在将先定位的薄片搬运到临时接合台之前，将薄膜从先定位的薄片上剥离。

13、一种积层多个陶瓷薄片的薄片积层体的制造装置，其特征在于

其具有将薄片一个一个搬入的搬入台；积层被搬运的薄片，然后临时接合到上一个薄片的临时接合台；将临时接合的薄片加热的同时加压，进行热压接的积层台；搬出热压接的薄片的搬出台；设有具有可吸附保持薄片下面的第一升降台、可在搬入台和临时接合台之间往复运动的第一搬运装置；具有可吸附保持薄片下面的第二升降台、可在临时接合台和积层台之间往复运动的第二搬运装置；具有可保持薄片的保持手段、可在积层台和搬出台之间往复运动的第三搬运装置；在临时接合台上设有可在薄片上面被吸附保持的状态下根据对准标志位置信息定位薄片的对准装置和可将定位的薄片临时接合到第二升降台上的前面的薄片上面的临时接合装置；在积层台上设有具有可加热第二升降台上的临时接合的积层薄片的加热装置和可从上侧加压该积层薄片的加压装置。

14、根据权利要求13所述的薄片积层体的制造装置，其特征在于，搬入台，临时接合台和积层台按照顺序配置成一列，在第一搬运装置上设有可在搬入台和临时接合台之间往复引导第一升降台的第一导轨，在第二搬运装置上设有可在临时接合台和积层台之间往复引导第二升降台的第二导轨，第一导轨和第二导轨由相同的直线型的导轨构成。

15、根据权利要求13所述的薄片积层体的制造装置，其特征在于，在临时接合台上设有固定地支承着的支承部件；在对准装置中具有可在支承部件的水平面内，向X方向，Y方向，旋转方向移动的对准台，设于对准台上的可吸附保持薄片上面的吸附板，设于支承部件上的通过对准台和吸附板的贯通孔识别薄片的对准标志位置的可调整位置的照相机，以及设于支承部件上的根据来自照相机的对准标志位置信息让对准台在X方向，Y方向，旋转方向移动的控制装置；在临时接合装置中，具有设于支承部件上、可通过对准台和吸附板的贯通孔向着孔开口部升降的加热烙铁。

16、根据权利要求13所述的薄片积层体的制造装置，其特征在于，在积层台上设有固定地支承着的支承部件；在加压装置中具有使得活塞杆向支承部件下行的固定的油压缸，可相对于支承部件升降地支承着的、与活塞杆连接的升降体，固定在升降体上、内置有加热器的上模，包围上模的全部侧面和上模的上方、可相对于升降体升降的抽吸箱，可从抽吸箱的内部空间抽吸空气的真空装置；升降体下降的话，在下降途中，抽吸箱与第二升降台靠接，使下降停止，同时气密地封闭抽吸箱。

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