JP2001052956A - 薄膜積層体の製造方法および製造装置 - Google Patents
薄膜積層体の製造方法および製造装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 機構を複雑化することなく、部材の熱膨張に
よる製品精度への悪影響を解消することができる薄膜積
層体の製造方法および製造装置を提供する。 【解決手段】 セラミックシートＧが載置されているキ
ャリアフィルムＦを搬送するフィルム搬送機構と、前記
セラミックシートＧを所定サイズのシート片に切断する
切断機構Ｃと、前記シート片を保持して切断位置から積
層位置まで搬送するシート搬送機構３と、前記シート搬
送機構３を前記切断位置から積層位置まで搬送するボー
ルネジ機構１６と、前記シート搬送機構３の移動に同期
して移動するようにされているＣＣＤ撮像装置２１Ａ
と、前記ＣＣＤ撮像装置２１Ａからの画像を処理する画
像処理手段２１Ｂとを備え、前記画像処理手段２１Ｂか
らの補正移動量により前記シート搬送機構３の移動量が
補正されてなるものである。
よる製品精度への悪影響を解消することができる薄膜積
層体の製造方法および製造装置を提供する。 【解決手段】 セラミックシートＧが載置されているキ
ャリアフィルムＦを搬送するフィルム搬送機構と、前記
セラミックシートＧを所定サイズのシート片に切断する
切断機構Ｃと、前記シート片を保持して切断位置から積
層位置まで搬送するシート搬送機構３と、前記シート搬
送機構３を前記切断位置から積層位置まで搬送するボー
ルネジ機構１６と、前記シート搬送機構３の移動に同期
して移動するようにされているＣＣＤ撮像装置２１Ａ
と、前記ＣＣＤ撮像装置２１Ａからの画像を処理する画
像処理手段２１Ｂとを備え、前記画像処理手段２１Ｂか
らの補正移動量により前記シート搬送機構３の移動量が
補正されてなるものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は薄膜積層体の製造方
法および製造装置に関する。さらに詳しくは、電極パタ
ーンが形成された、例えばセラミックシートを所定寸法
のシート片に切断した後、積層して積層セラミックコン
デンサなどを製造する薄膜積層体の製造方法および製造
装置に関する。
法および製造装置に関する。さらに詳しくは、電極パタ
ーンが形成された、例えばセラミックシートを所定寸法
のシート片に切断した後、積層して積層セラミックコン
デンサなどを製造する薄膜積層体の製造方法および製造
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、積層セラミックコンデンサな
どの電子部品を製造する製造装置において、キャリアフ
ィルムと呼ばれる可撓性支持体上に形成されるセラミッ
クシートに電極パターンを印刷する場合や、電極パター
ンが印刷されたセラミックシートを所定寸法のシート片
に切断する場合にＣＣＤ撮像装置を利用して位置決めを
することが行われている（特開平８−１６７５４４号お
よび特開平１０−２８４３４６号公報参照）。
どの電子部品を製造する製造装置において、キャリアフ
ィルムと呼ばれる可撓性支持体上に形成されるセラミッ
クシートに電極パターンを印刷する場合や、電極パター
ンが印刷されたセラミックシートを所定寸法のシート片
に切断する場合にＣＣＤ撮像装置を利用して位置決めを
することが行われている（特開平８−１６７５４４号お
よび特開平１０−２８４３４６号公報参照）。
【０００３】図５に、電極パターンが印刷されたセラミ
ックシートを所定寸法のシート片に切断する際にＣＣＤ
撮像装置を利用して位置決めをする前記従来技術の薄膜
積層体製造装置の概略構成を示す。
ックシートを所定寸法のシート片に切断する際にＣＣＤ
撮像装置を利用して位置決めをする前記従来技術の薄膜
積層体製造装置の概略構成を示す。
【０００４】この製造装置１００は、セラミックシート
Ｇが表面に形成されるキャリアフィルムＦを搬送するフ
ィルム搬送機構１０１と、この搬送機構１０１により送
られるキャリアフィルムＦ表面のセラミックシートＧを
所定寸法のシート片に切断し所定位置まで搬送する切断
搬送機構１０２と、切断搬送機構１０２がセラミックシ
ートＧを切断する際の位置決めをする位置決め機構１０
３と、切断搬送機構１０２により前記所定位置まで搬送
されたセラミックシートを積層して圧着する積層圧着機
構１０４とから構成されている。
Ｇが表面に形成されるキャリアフィルムＦを搬送するフ
ィルム搬送機構１０１と、この搬送機構１０１により送
られるキャリアフィルムＦ表面のセラミックシートＧを
所定寸法のシート片に切断し所定位置まで搬送する切断
搬送機構１０２と、切断搬送機構１０２がセラミックシ
ートＧを切断する際の位置決めをする位置決め機構１０
３と、切断搬送機構１０２により前記所定位置まで搬送
されたセラミックシートを積層して圧着する積層圧着機
構１０４とから構成されている。
【０００５】フィルム搬送機構１０１は、セラミックシ
ートＧが表面に形成されたキャリアフィルムＦがセット
される巻出装置１０５を有しており、この巻出装置１０
５から繰り出されるキャリアフィルムＦが各ロール１０
６にガイドされつつ巻取装置１０７まで搬送され、巻き
取られるように構成されている。
ートＧが表面に形成されたキャリアフィルムＦがセット
される巻出装置１０５を有しており、この巻出装置１０
５から繰り出されるキャリアフィルムＦが各ロール１０
６にガイドされつつ巻取装置１０７まで搬送され、巻き
取られるように構成されている。
【０００６】切断搬送機構１０２は、セラミックシート
Ｇを剥離テーブル１１５を支台として所定寸法のシート
片に切断する切断刃１０８およびセラミックシートＧを
吸着する吸盤１０９を備えた搬送ユニット１１０と、搬
送ユニット１１０によりセラミックシートＧを切断する
切断位置と積層圧着機構１０４がシート片を積層して圧
着する積層位置との間で搬送ユニット１１０を移動させ
るロッドレス流体シリンダ１１１と、このロッドレス流
体シリンダ１１１を微調整のために小距離移動させるボ
ールネジ機構１１２とを備えている。
Ｇを剥離テーブル１１５を支台として所定寸法のシート
片に切断する切断刃１０８およびセラミックシートＧを
吸着する吸盤１０９を備えた搬送ユニット１１０と、搬
送ユニット１１０によりセラミックシートＧを切断する
切断位置と積層圧着機構１０４がシート片を積層して圧
着する積層位置との間で搬送ユニット１１０を移動させ
るロッドレス流体シリンダ１１１と、このロッドレス流
体シリンダ１１１を微調整のために小距離移動させるボ
ールネジ機構１１２とを備えている。
【０００７】位置決め機構１０３は、セラミックシート
Ｇに電極パターンと対応して所定間隔で印刷される位置
決めマークを撮影するＣＣＤ撮像装置１１３ａと、ＣＣ
Ｄ撮像装置１１３ａにより撮像された画像を処理する画
像処理装置１１３ｂとを有しており、このカメラ１１３
ａにより撮影される位置決めマークの画像情報を画像処
理装置１１３ｂにより処理して得られる補正移動量によ
り、搬送ユニット１１０を前記積層位置から前記切断位
置に移動させる際の位置決めを行うように構成されてい
る。
Ｇに電極パターンと対応して所定間隔で印刷される位置
決めマークを撮影するＣＣＤ撮像装置１１３ａと、ＣＣ
Ｄ撮像装置１１３ａにより撮像された画像を処理する画
像処理装置１１３ｂとを有しており、このカメラ１１３
ａにより撮影される位置決めマークの画像情報を画像処
理装置１１３ｂにより処理して得られる補正移動量によ
り、搬送ユニット１１０を前記積層位置から前記切断位
置に移動させる際の位置決めを行うように構成されてい
る。
【０００８】積層圧着機構１０４は、切断搬送機構１０
２により前記積層位置まで搬送されたセラミックシート
を積層して圧着するプレステーブル１１４や、このプレ
ステーブル１１４を押上げる油圧シリンダ１１５などか
ら構成されている。
２により前記積層位置まで搬送されたセラミックシート
を積層して圧着するプレステーブル１１４や、このプレ
ステーブル１１４を押上げる油圧シリンダ１１５などか
ら構成されている。
【０００９】この従来技術においては、搬送ユニット１
１０はロッドレス流体シリンダ１１１によりほとんどの
距離移動されるとともに、ボールネジ機構１１２がシリ
ンダ１０９を小距離移動できるようにして、搬送ユニッ
ト１１０を位置決めする構成とされている。これによっ
て、搬送ユニット１１０を、例えばボールネジ機構１１
２を用いて全ての距離移動させるようにした場合おけ
る、摩擦熱によるボールネジ軸１１２ａの軸方向におけ
る熱膨張に起因する、積層圧着されるシート片の位置ず
れを防止することができる。
１０はロッドレス流体シリンダ１１１によりほとんどの
距離移動されるとともに、ボールネジ機構１１２がシリ
ンダ１０９を小距離移動できるようにして、搬送ユニッ
ト１１０を位置決めする構成とされている。これによっ
て、搬送ユニット１１０を、例えばボールネジ機構１１
２を用いて全ての距離移動させるようにした場合おけ
る、摩擦熱によるボールネジ軸１１２ａの軸方向におけ
る熱膨張に起因する、積層圧着されるシート片の位置ず
れを防止することができる。
【００１０】次に、図６および図７を参照しながら、ボ
ールネジ機構１１２を用いて全ての距離移動させるよう
にした場合おける、摩擦熱によるボールネジ軸１１２ａ
の軸方向における熱膨張に起因する、積層圧着されるシ
ート片の位置ずれについて説明する。なお、図６は製造
装置１００の始動時の状態を示し、また図７は所定枚数
のシート片が積層されたときの状態を示している。
ールネジ機構１１２を用いて全ての距離移動させるよう
にした場合おける、摩擦熱によるボールネジ軸１１２ａ
の軸方向における熱膨張に起因する、積層圧着されるシ
ート片の位置ずれについて説明する。なお、図６は製造
装置１００の始動時の状態を示し、また図７は所定枚数
のシート片が積層されたときの状態を示している。
【００１１】図６および図７中、ポイントＡはボールネ
ジ機構１１２のボールネジ軸１１２ａ先端の支点を示し
ている。ポイントＢ1は搬送ユニット１１０が積層位置
で停止される基準位置、すなわちプレステーブル１１４
のセンタを示しており、ポイントＡからポイントＢ1ま
での距離はＬ1とされている。ポイントＢ2は図７の時点
において実際に搬送ユニット１１０が積層位置で停止さ
れる位置を示している。すなわち、図６の状態では、搬
送ユニット１１０の位置はプレステーブル１１４のセン
タと一致しているが、図７の状態では、搬送ユニット１
１０の積層位置での停止位置は、前記熱膨張の影響によ
りポイントＢ1から図の左方向にΔＬ1ずれたポイントＢ
2となっている。
ジ機構１１２のボールネジ軸１１２ａ先端の支点を示し
ている。ポイントＢ1は搬送ユニット１１０が積層位置
で停止される基準位置、すなわちプレステーブル１１４
のセンタを示しており、ポイントＡからポイントＢ1ま
での距離はＬ1とされている。ポイントＢ2は図７の時点
において実際に搬送ユニット１１０が積層位置で停止さ
れる位置を示している。すなわち、図６の状態では、搬
送ユニット１１０の位置はプレステーブル１１４のセン
タと一致しているが、図７の状態では、搬送ユニット１
１０の積層位置での停止位置は、前記熱膨張の影響によ
りポイントＢ1から図の左方向にΔＬ1ずれたポイントＢ
2となっている。
【００１２】ポイントＣ1はＣＣＤ撮像装置１１３ａの
固定位置であるとともに、セラミックシートＧ上に印刷
された位置決めマークの切断位置における基準位置でも
ある。ポイントＣ1はポイントＢ１から図の左方向にＬ2
移動した点とされている。
固定位置であるとともに、セラミックシートＧ上に印刷
された位置決めマークの切断位置における基準位置でも
ある。ポイントＣ1はポイントＢ１から図の左方向にＬ2
移動した点とされている。
【００１３】ポイントＤ1は、前記ＣＣＤ撮像装置１１
３ａで検出されるずれを０と仮定した場合に、搬送ユニ
ット１１０が前記切断位置まで移動されたときの位置を
示している。ポイントＤ1はポイントＣ1と一致してお
り、実際にはポイントＣ1からの位置決めマークのずれ
に応じて距離Ｌ2が補正されて、搬送ユニット１１０が
ポイントＢ1から前記切断位置に移動される際の移動距
離が決定される。
３ａで検出されるずれを０と仮定した場合に、搬送ユニ
ット１１０が前記切断位置まで移動されたときの位置を
示している。ポイントＤ1はポイントＣ1と一致してお
り、実際にはポイントＣ1からの位置決めマークのずれ
に応じて距離Ｌ2が補正されて、搬送ユニット１１０が
ポイントＢ1から前記切断位置に移動される際の移動距
離が決定される。
【００１４】ポイントＤ2は、図７の時点において、前
記ＣＣＤ撮像装置１１３ａで検出されるずれを０と仮定
した場合に、搬送ユニット１１０が前記切断位置で停止
される位置を示している。ポイントＤ2とポイントＢ2と
の距離は、ボールネジ軸１１２ａの熱膨張の影響によっ
て、Ｌ2＋ΔＬ2となっている。したがって、図７の状態
では、搬送ユニット１１０はポイントＤ1よりも図の左
方向にΔＬ1＋ΔＬ2ずれた位置に停止されることにな
る。
記ＣＣＤ撮像装置１１３ａで検出されるずれを０と仮定
した場合に、搬送ユニット１１０が前記切断位置で停止
される位置を示している。ポイントＤ2とポイントＢ2と
の距離は、ボールネジ軸１１２ａの熱膨張の影響によっ
て、Ｌ2＋ΔＬ2となっている。したがって、図７の状態
では、搬送ユニット１１０はポイントＤ1よりも図の左
方向にΔＬ1＋ΔＬ2ずれた位置に停止されることにな
る。
【００１５】この結果、図７の時点において、積層位置
において積層されるシート片は当初の位置よりも図の左
方向にΔＬ1ずれるとともに、位置決めマークの位置
（すなわち、電極パターンの位置（図７中、線分Ｅで位
置決めマークの位置を表している）は、図の右方向にΔ
Ｌ2ずれることになる。
において積層されるシート片は当初の位置よりも図の左
方向にΔＬ1ずれるとともに、位置決めマークの位置
（すなわち、電極パターンの位置（図７中、線分Ｅで位
置決めマークの位置を表している）は、図の右方向にΔ
Ｌ2ずれることになる。
【００１６】このように、搬送ユニット１１０をボール
ネジ機構１１２により前記切断位置と前記積層位置との
間で移動させる場合、始動時からボールネジ軸１１２ａ
の温度が安定するまでの間、ボールネジ軸１１２ａが熱
膨張により伸びていくため、積層されるシート片の電極
パターンがずれていくという問題がある。この点、前記
従来技術では、ロッドレス流体シリンダ１１１により搬
送ユニット１１０を前記切断位置と前記積層位置との間
の大分部を移動させるため、ボールネジ軸１１２ａの熱
膨張の影響による電極パターンのずれをほとんど問題と
ならない程度におさえることが可能である。
ネジ機構１１２により前記切断位置と前記積層位置との
間で移動させる場合、始動時からボールネジ軸１１２ａ
の温度が安定するまでの間、ボールネジ軸１１２ａが熱
膨張により伸びていくため、積層されるシート片の電極
パターンがずれていくという問題がある。この点、前記
従来技術では、ロッドレス流体シリンダ１１１により搬
送ユニット１１０を前記切断位置と前記積層位置との間
の大分部を移動させるため、ボールネジ軸１１２ａの熱
膨張の影響による電極パターンのずれをほとんど問題と
ならない程度におさえることが可能である。
【００１７】しかしながら、前記従来技術ではロッドレ
ス流体シリンダ１１１という比較的複雑な機構を製造装
置に含ませる必要があるため、製造装置の機構を複雑化
し、薄膜積層体の製造コストを増大させるという問題が
ある。
ス流体シリンダ１１１という比較的複雑な機構を製造装
置に含ませる必要があるため、製造装置の機構を複雑化
し、薄膜積層体の製造コストを増大させるという問題が
ある。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる従来技
術の課題に鑑みなされたものであって、機構を複雑化す
ることなく、部材の熱膨張による製品精度への悪影響を
解消することができる薄膜積層体の製造方法および製造
装置を提供することを目的としている。
術の課題に鑑みなされたものであって、機構を複雑化す
ることなく、部材の熱膨張による製品精度への悪影響を
解消することができる薄膜積層体の製造方法および製造
装置を提供することを目的としている。
【００１９】
【課題を解決するための手段】本発明の薄膜積層体の製
造方法は、薄膜状の搬送媒体に載置されて搬送されてい
る薄膜シートを所定サイズに切断して薄膜シート片を
得、前記薄膜シート片を積層個所にボールネジ機構によ
り搬送して積層する薄膜積層体の製造方法であって、前
記薄膜シートの切断位置の位置決めを、前記薄膜シート
片の搬送に同期して移動する撮像手段により撮像された
画像に基づいてなすことを特徴とする。
造方法は、薄膜状の搬送媒体に載置されて搬送されてい
る薄膜シートを所定サイズに切断して薄膜シート片を
得、前記薄膜シート片を積層個所にボールネジ機構によ
り搬送して積層する薄膜積層体の製造方法であって、前
記薄膜シートの切断位置の位置決めを、前記薄膜シート
片の搬送に同期して移動する撮像手段により撮像された
画像に基づいてなすことを特徴とする。
【００２０】本発明の薄膜積層体の製造方法において
は、前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前
記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位
置とされてなるのが好ましい。
は、前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前
記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位
置とされてなるのが好ましい。
【００２１】一方、本発明の薄膜積層体の製造装置は、
薄膜シートが載置されている薄膜状の搬送媒体を搬送す
る搬送媒体搬送機構と、前記薄膜シートを所定サイズの
薄膜シート片に切断する切断手段と、前記薄膜シート片
を保持して切断位置から積層位置まで搬送する保持・搬
送手段と、前記保持・搬送手段を前記切断位置から積層
位置まで搬送するボールネジ機構と、前記保持・搬送手
段の移動に同期して移動するようにされている撮像手段
と、前記撮像手段からの画像を処理する画像処理手段と
を備え、前記画像処理手段からの補正移動量により前記
保持・搬送手段の移動量が補正されてなることを特徴と
する。
薄膜シートが載置されている薄膜状の搬送媒体を搬送す
る搬送媒体搬送機構と、前記薄膜シートを所定サイズの
薄膜シート片に切断する切断手段と、前記薄膜シート片
を保持して切断位置から積層位置まで搬送する保持・搬
送手段と、前記保持・搬送手段を前記切断位置から積層
位置まで搬送するボールネジ機構と、前記保持・搬送手
段の移動に同期して移動するようにされている撮像手段
と、前記撮像手段からの画像を処理する画像処理手段と
を備え、前記画像処理手段からの補正移動量により前記
保持・搬送手段の移動量が補正されてなることを特徴と
する。
【００２２】本発明の薄膜積層体の製造装置において
は、前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前
記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位
置とされてなるのが好ましい。
は、前記積層位置の中心が、前記切断位置の中心と、前
記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点との中間位
置とされてなるのが好ましい。
【００２３】また、本発明の薄膜積層体の製造装置にお
いては、前記切断手段が、前記薄膜シートを搬送方向に
切断する第１切断機構と、前記搬送方向と直交方向に切
断する第２切断機構とを備え、前記第２切断機構が前記
保持・搬送手段に装着されてなるのが好ましい。
いては、前記切断手段が、前記薄膜シートを搬送方向に
切断する第１切断機構と、前記搬送方向と直交方向に切
断する第２切断機構とを備え、前記第２切断機構が前記
保持・搬送手段に装着されてなるのが好ましい。
【００２４】
【作用】本発明は前記の如く構成されているので、ボー
ルネジ機構のボールネジ軸の熱膨張により、予め設定さ
れている切断位置からずれた位置に保持・搬送手段が搬
送されたとしても、撮像手段により撮像された画像を処
理して得られる補正移動量により、保持・搬送手段を所
定位置に位置決めできる。そのため、ボールネジ軸の熱
膨張による製品精度への悪影響を解消することができ
る。
ルネジ機構のボールネジ軸の熱膨張により、予め設定さ
れている切断位置からずれた位置に保持・搬送手段が搬
送されたとしても、撮像手段により撮像された画像を処
理して得られる補正移動量により、保持・搬送手段を所
定位置に位置決めできる。そのため、ボールネジ軸の熱
膨張による製品精度への悪影響を解消することができ
る。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら本
発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる
実施形態のみに限定されるものではない。
発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる
実施形態のみに限定されるものではない。
【００２６】図１および図２に、本発明の一実施形態に
係る薄膜積層体の製造方法が適用される製造装置１の概
略構成を示す。
係る薄膜積層体の製造方法が適用される製造装置１の概
略構成を示す。
【００２７】この製造装置１は、セラミックシートＧが
表面に形成されるキャリアフィルムＦを所定長さづつ送
るように搬送するフィルム搬送機構２と、この搬送機構
２により送られるキャリアフィルムＦ表面のセラミック
シートＧを所定寸法のシート片に切断する切断機構Ｃ
と、このシート片を所定位置まで搬送するシート搬送機
構３と、切断機構ＣがセラミックシートＧを切断する際
の位置決めをする位置決め機構４と、シート搬送機構３
により前記所定位置まで搬送されたセラミックシートＧ
を積層して圧着する積層圧着機構５とを主要構成要素と
してなる。
表面に形成されるキャリアフィルムＦを所定長さづつ送
るように搬送するフィルム搬送機構２と、この搬送機構
２により送られるキャリアフィルムＦ表面のセラミック
シートＧを所定寸法のシート片に切断する切断機構Ｃ
と、このシート片を所定位置まで搬送するシート搬送機
構３と、切断機構ＣがセラミックシートＧを切断する際
の位置決めをする位置決め機構４と、シート搬送機構３
により前記所定位置まで搬送されたセラミックシートＧ
を積層して圧着する積層圧着機構５とを主要構成要素と
してなる。
【００２８】ここで、キャリアフィルムＦは、二軸延伸
ポリエチレンテレフタレートフィルム（ポリエステルフ
ィルム）または二軸延伸ポリプロピレンフィルムなどの
硬質樹脂材料から形成されている。
ポリエチレンテレフタレートフィルム（ポリエステルフ
ィルム）または二軸延伸ポリプロピレンフィルムなどの
硬質樹脂材料から形成されている。
【００２９】一方、セラミックシートＧは、各種セラミ
ック誘電体粉末、樹脂バインダーおよび溶媒からなるス
ラリー状の組成物をコーティング法または印刷法により
製膜することによりキャリアフィルムＦ表面に形成され
る。このセラミックシートＧの厚さは、たとえば２〜３
０μｍ程度とされる。
ック誘電体粉末、樹脂バインダーおよび溶媒からなるス
ラリー状の組成物をコーティング法または印刷法により
製膜することによりキャリアフィルムＦ表面に形成され
る。このセラミックシートＧの厚さは、たとえば２〜３
０μｍ程度とされる。
【００３０】また、セラミックシートＧの上面には、パ
ラジウム、銀、ニッケルなどの金属紛を含む導電材が矩
形状の電極パターンとして印刷されるとともに、セラミ
ックシートＧ切断の際における位置決めのため、位置決
めマークが電極パターンと対応させて所定間隔で印刷さ
れる。
ラジウム、銀、ニッケルなどの金属紛を含む導電材が矩
形状の電極パターンとして印刷されるとともに、セラミ
ックシートＧ切断の際における位置決めのため、位置決
めマークが電極パターンと対応させて所定間隔で印刷さ
れる。
【００３１】フィルム搬送機構２は、セラミックシート
Ｇが表面に形成されたキャリアフィルムＦがセットされ
る巻出装置６を有しており、この巻出装置６から繰り出
されるキャリアフィルムＦがロール群７にガイドされつ
つ巻取装置８まで搬送され、巻き取られるように構成さ
れている。
Ｇが表面に形成されたキャリアフィルムＦがセットされ
る巻出装置６を有しており、この巻出装置６から繰り出
されるキャリアフィルムＦがロール群７にガイドされつ
つ巻取装置８まで搬送され、巻き取られるように構成さ
れている。
【００３２】ロール群７のうち、サクションロール９は
外周面を真空状態にしてキャリアフィルムＦを吸着しつ
つ回転し、キャリアフィルムＦを搬送する。また、サク
ションロール９の上方には、セラミックシートＧのみを
サクションロール９を支台として進行方向に縦長に切断
する、切断機構Ｃを構成している縦方向切断器１０が設
けられている。この縦方向切断器１０は、例えば２枚の
円形回転刃１０ａ、１０ｂを支持する回転刃支持部材１
０ｃが、付勢部材１０ｄにより適当な力でサクションロ
ール９に向かって付勢されるように構成されている。
外周面を真空状態にしてキャリアフィルムＦを吸着しつ
つ回転し、キャリアフィルムＦを搬送する。また、サク
ションロール９の上方には、セラミックシートＧのみを
サクションロール９を支台として進行方向に縦長に切断
する、切断機構Ｃを構成している縦方向切断器１０が設
けられている。この縦方向切断器１０は、例えば２枚の
円形回転刃１０ａ、１０ｂを支持する回転刃支持部材１
０ｃが、付勢部材１０ｄにより適当な力でサクションロ
ール９に向かって付勢されるように構成されている。
【００３３】また、サクションロール９の回転により送
られるキャリアフィルムＦは、供給側テンションロール
１１、巻取側テンションロール１２および移動ロール１
３により適当な張力が与えられ、各ガイドローラ１４
ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ、１４ｅ、１４ｆにガイド
されつつ巻取装置８まで搬送される。
られるキャリアフィルムＦは、供給側テンションロール
１１、巻取側テンションロール１２および移動ロール１
３により適当な張力が与えられ、各ガイドローラ１４
ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ、１４ｅ、１４ｆにガイド
されつつ巻取装置８まで搬送される。
【００３４】シート搬送機構３は、縦方向切断器１０に
より進行方向に切断されたセラミックシートＧを、さら
に進行方向と直角方向に切断して所定寸法のシート片に
成形するとともに、このシート片を吸着保持する搬送ユ
ニット１５と、この搬送ユニット１５をセラミックシー
トＧを切断する切断位置と、切断されたセラミックシー
トＧを積層圧着機構５により圧着して積層する積層位置
との間で移動させるボールネジ機構１６とを備えてい
る。
より進行方向に切断されたセラミックシートＧを、さら
に進行方向と直角方向に切断して所定寸法のシート片に
成形するとともに、このシート片を吸着保持する搬送ユ
ニット１５と、この搬送ユニット１５をセラミックシー
トＧを切断する切断位置と、切断されたセラミックシー
トＧを積層圧着機構５により圧着して積層する積層位置
との間で移動させるボールネジ機構１６とを備えてい
る。
【００３５】搬送ユニット１５は、セラミックシートＧ
を剥離テーブル３３を支台として、進行方向と直角方向
に切断して所定寸法のシート片に成形する、切断機構Ｃ
を構成している横方向切断刃１５ａ、およびシート片を
吸着して保持する吸盤１５ｂとを備えている。ボールネ
ジ機構１６は、製造装置１の基台１ａに一端部（先端
部）が支持されるボールネジ軸１７と、ボールネジ軸１
７の他端部（基端部）が軸継手１８を介して接続されボ
ールネジ軸１７を回転駆動するサーボモータ１９と、搬
送ユニット１５に固定されてボールネジ軸１７と螺合す
るボール雌ネジ２０とから構成されている。なお、前記
説明から明らかなように、本実施形態では、切断機構Ｃ
は、縦方向切断器つまり第１切断機構と、横方向切断器
つまり第２切断機構とから構成されている。
を剥離テーブル３３を支台として、進行方向と直角方向
に切断して所定寸法のシート片に成形する、切断機構Ｃ
を構成している横方向切断刃１５ａ、およびシート片を
吸着して保持する吸盤１５ｂとを備えている。ボールネ
ジ機構１６は、製造装置１の基台１ａに一端部（先端
部）が支持されるボールネジ軸１７と、ボールネジ軸１
７の他端部（基端部）が軸継手１８を介して接続されボ
ールネジ軸１７を回転駆動するサーボモータ１９と、搬
送ユニット１５に固定されてボールネジ軸１７と螺合す
るボール雌ネジ２０とから構成されている。なお、前記
説明から明らかなように、本実施形態では、切断機構Ｃ
は、縦方向切断器つまり第１切断機構と、横方向切断器
つまり第２切断機構とから構成されている。
【００３６】軸継手１８は、ボールネジ軸１７が熱膨張
により軸方向に伸びたときに機械を破損しないように、
その伸びを吸収する構成とされている。その具体的な構
成については、従来より公知の各種構成とすることがで
きる。
により軸方向に伸びたときに機械を破損しないように、
その伸びを吸収する構成とされている。その具体的な構
成については、従来より公知の各種構成とすることがで
きる。
【００３７】位置決め機構４は、セラミックシートＧ上
に電極パターンと対応させて所定間隔で印刷された位置
決めマークを撮影するＣＣＤ撮像装置２１Ａと、このＣ
ＣＤ撮像装置２１Ａにより撮像された画像を処理する画
像処理装置２１Ｂとを備え、このＣＣＤ撮像装置２１Ａ
により撮影された位置決めマークの画像情報を、画像処
理装置２１Ｂにより処理して得られる補正量に応じて、
ボールネジ機構１６が搬送ユニット１５を前記積層位置
から前記切断位置に移動するときの距離を補正する。
に電極パターンと対応させて所定間隔で印刷された位置
決めマークを撮影するＣＣＤ撮像装置２１Ａと、このＣ
ＣＤ撮像装置２１Ａにより撮像された画像を処理する画
像処理装置２１Ｂとを備え、このＣＣＤ撮像装置２１Ａ
により撮影された位置決めマークの画像情報を、画像処
理装置２１Ｂにより処理して得られる補正量に応じて、
ボールネジ機構１６が搬送ユニット１５を前記積層位置
から前記切断位置に移動するときの距離を補正する。
【００３８】ＣＣＤ撮像装置２１Ａは、支持金具２１ａ
を介してボール雌ネジ２０に接合され、つまりボール雌
ネジ２０を介して搬送ユニット１５と連結されており、
それにより搬送ユニット１５と一体となって移動するよ
うに構成されている。
を介してボール雌ネジ２０に接合され、つまりボール雌
ネジ２０を介して搬送ユニット１５と連結されており、
それにより搬送ユニット１５と一体となって移動するよ
うに構成されている。
【００３９】積層圧着機構５は、キャリアプレート供給
装置２２から供給され、キャリアプレート搬送コンベア
３１により搬送される、キャリアプレート２３を支持す
るプレステーブル２４と、このプレステーブル２４を昇
降させる基台１ａに支持された油圧シリンダ２５とを備
え、そしてこの油圧シリンダ２５がシート片を仮圧着し
て積層するとともに、ここで仮圧着されたシート片が必
要に応じて本圧着プレス２６で加圧されるように構成さ
れている。
装置２２から供給され、キャリアプレート搬送コンベア
３１により搬送される、キャリアプレート２３を支持す
るプレステーブル２４と、このプレステーブル２４を昇
降させる基台１ａに支持された油圧シリンダ２５とを備
え、そしてこの油圧シリンダ２５がシート片を仮圧着し
て積層するとともに、ここで仮圧着されたシート片が必
要に応じて本圧着プレス２６で加圧されるように構成さ
れている。
【００４０】キャリアプレート２３上面には、低粘着性
または熱剥離性の糊が塗布されており、これによってシ
ート片が動かないように貼り付けられるとともに、積層
されたシート片をキャリアプレート２３から取外す際に
も、シート片を損傷することなく剥がすことが可能とさ
れている。なお、キャリアプレート２３上面に直接糊を
塗布するのではなく、例えば低粘着性または熱剥離性の
糊が塗布された両面接着シートをキャリアプレート２３
上に貼付して、この上にシート片を積層圧着していく構
成としても良い。
または熱剥離性の糊が塗布されており、これによってシ
ート片が動かないように貼り付けられるとともに、積層
されたシート片をキャリアプレート２３から取外す際に
も、シート片を損傷することなく剥がすことが可能とさ
れている。なお、キャリアプレート２３上面に直接糊を
塗布するのではなく、例えば低粘着性または熱剥離性の
糊が塗布された両面接着シートをキャリアプレート２３
上に貼付して、この上にシート片を積層圧着していく構
成としても良い。
【００４１】この場合、所定枚数のシート片の積層の途
中で電極パターンが印刷されていないダミーシートなど
の種類の異なるシートを積層するときには、キャリアプ
レート２３がプレステーブル２４から排出され、ブラン
クシート供給装置２７によって予め準備されたシートを
キャリアプレート２３上の積層体の上に載せることがで
きる。
中で電極パターンが印刷されていないダミーシートなど
の種類の異なるシートを積層するときには、キャリアプ
レート２３がプレステーブル２４から排出され、ブラン
クシート供給装置２７によって予め準備されたシートを
キャリアプレート２３上の積層体の上に載せることがで
きる。
【００４２】また、所定枚数のシート片が積層される前
に本圧着プレス２６で加圧されたキャリアプレート２３
は、各キャリアプレート搬送コンベア２８、２９、３０
によりプレステーブル２４まで戻される一方、所定枚数
のシート片が積層されたキャリアプレート２３は、必要
に応じて本圧着プレス２６で加圧された後にキャリアプ
レート収納装置３２に収納される。
に本圧着プレス２６で加圧されたキャリアプレート２３
は、各キャリアプレート搬送コンベア２８、２９、３０
によりプレステーブル２４まで戻される一方、所定枚数
のシート片が積層されたキャリアプレート２３は、必要
に応じて本圧着プレス２６で加圧された後にキャリアプ
レート収納装置３２に収納される。
【００４３】次に、図３および図４を参照して、位置決
め機構４により搬送ユニット１５を位置決めする原理に
ついて説明する。
め機構４により搬送ユニット１５を位置決めする原理に
ついて説明する。
【００４４】図３は製造装置１の始動時の状態を示して
いる。また、図４はシート片がある程度の枚数積層され
たときの状態を示している。
いる。また、図４はシート片がある程度の枚数積層され
たときの状態を示している。
【００４５】図３および図４中、ポイントＡはボールネ
ジ軸１７の支点を示している。ポイントＢ１は搬送ユニ
ット１５が積層位置で停止される基準位置、すなわちプ
レステーブル２４のセンタを示しており、ポイントＡか
らポイントＢ1までの距離はＬ1とされている。
ジ軸１７の支点を示している。ポイントＢ１は搬送ユニ
ット１５が積層位置で停止される基準位置、すなわちプ
レステーブル２４のセンタを示しており、ポイントＡか
らポイントＢ1までの距離はＬ1とされている。
【００４６】ポイントＢ2は、図４の時点において、実
際に搬送ユニット１５が積層位置で停止される位置を示
している。すなわち、図３の状態では、搬送ユニット１
５の位置はプレステーブル２４のセンタと一致している
が、図４の状態では、搬送ユニット１５の積層位置での
停止位置は、前記熱膨張の影響によりポイントＢ1から
図の左方向にΔＬ1ずれたポイントＢ2となっている。
際に搬送ユニット１５が積層位置で停止される位置を示
している。すなわち、図３の状態では、搬送ユニット１
５の位置はプレステーブル２４のセンタと一致している
が、図４の状態では、搬送ユニット１５の積層位置での
停止位置は、前記熱膨張の影響によりポイントＢ1から
図の左方向にΔＬ1ずれたポイントＢ2となっている。
【００４７】ポイントＣ1は、製造装置１の始動時、搬
送ユニット１５がポイントＢ1にあるときのＣＣＤ撮像
装置２１Ａの位置を示している。この位置は、セラミッ
クシートＧ上に印刷された位置決めマークの切断位置に
おける基準位置でもある。ポイントＣ1はポイントＢ1か
ら図の左方向にＬ2移動した点とされている。
送ユニット１５がポイントＢ1にあるときのＣＣＤ撮像
装置２１Ａの位置を示している。この位置は、セラミッ
クシートＧ上に印刷された位置決めマークの切断位置に
おける基準位置でもある。ポイントＣ1はポイントＢ1か
ら図の左方向にＬ2移動した点とされている。
【００４８】ポイントＣ2は、図４の時点におけるＣＣ
Ｄ撮像装置２１Ａの位置である。ＣＣＤ撮像装置２１Ａ
は支持金具２１ａによりボール雌ネジ２０を介して搬送
ユニット１５と連結されており、この支持金具２１ａに
は摩擦熱による影響がなく熱膨張による伸びは生じない
ので、ポイントＣ2とポイントＢ2との間の距離はＬ2と
みなすことができる。
Ｄ撮像装置２１Ａの位置である。ＣＣＤ撮像装置２１Ａ
は支持金具２１ａによりボール雌ネジ２０を介して搬送
ユニット１５と連結されており、この支持金具２１ａに
は摩擦熱による影響がなく熱膨張による伸びは生じない
ので、ポイントＣ2とポイントＢ2との間の距離はＬ2と
みなすことができる。
【００４９】ここで、製造装置１の始動時に搬送ユニッ
ト１５を距離Ｌ2移動させるためのサーボモータ１９の
パルス数をＮＬ２とすると、図４の時点においてはこの
パルス数ＮＬ２により搬送ユニット１５は距離（Ｌ2＋
ΔＬ2）移動することになる。したがって、ポイントＢ2
にある搬送ユニット１５を図の左方向に距離Ｌ２移動さ
せようとすると、搬送ユニット１５は距離Ｌ2＋ΔＬ2移
動して、ポイントＡから図の左方向にＬ1＋Ｌ2＋（ΔＬ
1＋ΔＬ2）にあるポイントＤ2まで移動することにな
る。
ト１５を距離Ｌ2移動させるためのサーボモータ１９の
パルス数をＮＬ２とすると、図４の時点においてはこの
パルス数ＮＬ２により搬送ユニット１５は距離（Ｌ2＋
ΔＬ2）移動することになる。したがって、ポイントＢ2
にある搬送ユニット１５を図の左方向に距離Ｌ２移動さ
せようとすると、搬送ユニット１５は距離Ｌ2＋ΔＬ2移
動して、ポイントＡから図の左方向にＬ1＋Ｌ2＋（ΔＬ
1＋ΔＬ2）にあるポイントＤ2まで移動することにな
る。
【００５０】ところが、図４の時点において、ＣＣＤ撮
像装置２１Ａは本来の基準位置であるポイントＣ1から
図の左方向にΔＬ1ずれたポイントＣ2にあるため、この
ＣＣＤ撮像装置２１Ａにより撮像された位置決めマーク
の画像情報に応じて搬送ユニット１５の移動距離Ｌ2を
補正すると、本来の補正分に−ΔＬ1が加算されて移動
距離Ｌ2が補正されることになる。したがって、搬送ユ
ニット１５は、位置決めマークのポイントＣ1からのず
れが０であると仮定した場合、切断位置に移動する際に
ポイントＢ2から（Ｌ2＋ΔＬ2）−ΔＬ1移動することに
なる。
像装置２１Ａは本来の基準位置であるポイントＣ1から
図の左方向にΔＬ1ずれたポイントＣ2にあるため、この
ＣＣＤ撮像装置２１Ａにより撮像された位置決めマーク
の画像情報に応じて搬送ユニット１５の移動距離Ｌ2を
補正すると、本来の補正分に−ΔＬ1が加算されて移動
距離Ｌ2が補正されることになる。したがって、搬送ユ
ニット１５は、位置決めマークのポイントＣ1からのず
れが０であると仮定した場合、切断位置に移動する際に
ポイントＢ2から（Ｌ2＋ΔＬ2）−ΔＬ1移動することに
なる。
【００５１】このとき位置決めマークの基準位置は、ポ
イントＢ2から図の左方向に距離（Ｌ2−ΔＬ1）の位置
にあるので、搬送ユニット１５に保持されるセラミック
シートＧ上の位置決めマークの位置は搬送ユニット１５
の中心から（Ｌ1−ΔＬ1）−［（Ｌ2＋ΔＬ2）−Δ
Ｌ1］の位置、すなわち右方向にΔＬ2ずれた位置とな
る。この状態で積層位置にもどったときの搬送ユニット
１５の位置はポイントＢ2、すなわちポイントＡから図
の左方向に距離（Ｌ1＋ΔＬ1）の位置であるため、この
ときの位置基準マークの位置はポイントＡから図の左方
向に距離（Ｌ1＋ΔＬ1−ΔＬ2）の位置となる。
イントＢ2から図の左方向に距離（Ｌ2−ΔＬ1）の位置
にあるので、搬送ユニット１５に保持されるセラミック
シートＧ上の位置決めマークの位置は搬送ユニット１５
の中心から（Ｌ1−ΔＬ1）−［（Ｌ2＋ΔＬ2）−Δ
Ｌ1］の位置、すなわち右方向にΔＬ2ずれた位置とな
る。この状態で積層位置にもどったときの搬送ユニット
１５の位置はポイントＢ2、すなわちポイントＡから図
の左方向に距離（Ｌ1＋ΔＬ1）の位置であるため、この
ときの位置基準マークの位置はポイントＡから図の左方
向に距離（Ｌ1＋ΔＬ1−ΔＬ2）の位置となる。
【００５２】そこで、ΔＬ1とΔＬ2が同程度の値になる
ように各部材の配置を調整することによって、図に線分
Ｈで示されるように位置決めマークが鉛直方向に並ぶよ
うに調整、すなわち積層される各シート片の電極パター
ンがずれていくのを防止することが可能となる。
ように各部材の配置を調整することによって、図に線分
Ｈで示されるように位置決めマークが鉛直方向に並ぶよ
うに調整、すなわち積層される各シート片の電極パター
ンがずれていくのを防止することが可能となる。
【００５３】本出願人の実験例によれば、気温が２０℃
のとき、製造装置１の始動時から約２５分の間ボールネ
ジ軸１７の温度が上昇し、前記従来技術ではΔＬ1が６
０μｍ程度あり、積層された各シート片の電極パターン
のずれも最大で同程度あったものが、本実施形態に係る
製造装置１では距離Ｌ1と距離Ｌ2を同程度とすることに
よって、前記電極パターンのずれを０とすることができ
た。
のとき、製造装置１の始動時から約２５分の間ボールネ
ジ軸１７の温度が上昇し、前記従来技術ではΔＬ1が６
０μｍ程度あり、積層された各シート片の電極パターン
のずれも最大で同程度あったものが、本実施形態に係る
製造装置１では距離Ｌ1と距離Ｌ2を同程度とすることに
よって、前記電極パターンのずれを０とすることができ
た。
【００５４】このように、本実施形態では、セラミック
シート上に電極パターンと対応させて印刷された位置決
めマークを撮影する、ＣＣＤ撮像装置２１Ａを搬送ユニ
ット１５と連結して、この搬送ユニット１５と一体的に
移動するように設けたので、摩擦熱によりボールネジ軸
１７が熱膨張して、搬送ユニット１５の位置が変化し
て、積層されるシート片の電極パターンが、ずれていく
のを防止することができる。
シート上に電極パターンと対応させて印刷された位置決
めマークを撮影する、ＣＣＤ撮像装置２１Ａを搬送ユニ
ット１５と連結して、この搬送ユニット１５と一体的に
移動するように設けたので、摩擦熱によりボールネジ軸
１７が熱膨張して、搬送ユニット１５の位置が変化し
て、積層されるシート片の電極パターンが、ずれていく
のを防止することができる。
【００５５】なお、本実施形態の製造装置１により製造
される薄膜積層体の例としては、積層セラミックコンデ
ンサ、積層セラミックバリスタ、積層セラミックレジス
タ、積層圧電アクチュエータ、圧電トランス、積層セラ
ミック基板などの積層セラミック製品が挙げられるが、
本発明の薄膜積層体の製造方法がセラミック以外の材料
からなるものの製造に適用可能であることはいうまでも
ない。
される薄膜積層体の例としては、積層セラミックコンデ
ンサ、積層セラミックバリスタ、積層セラミックレジス
タ、積層圧電アクチュエータ、圧電トランス、積層セラ
ミック基板などの積層セラミック製品が挙げられるが、
本発明の薄膜積層体の製造方法がセラミック以外の材料
からなるものの製造に適用可能であることはいうまでも
ない。
【００５６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ボールネジ機構のボールネジ軸の熱膨張により、予め設
定されている切断位置からずれた位置に保持・搬送手段
が搬送されたとしても、撮像手段により撮像された画像
を処理して得られる補正移動量により、保持・搬送手段
を所定位置に位置決めできる。そのため、ボールネジ軸
の熱膨張による製品精度への悪影響を解消することがで
きるという優れた効果が得られる。
ボールネジ機構のボールネジ軸の熱膨張により、予め設
定されている切断位置からずれた位置に保持・搬送手段
が搬送されたとしても、撮像手段により撮像された画像
を処理して得られる補正移動量により、保持・搬送手段
を所定位置に位置決めできる。そのため、ボールネジ軸
の熱膨張による製品精度への悪影響を解消することがで
きるという優れた効果が得られる。
【図１】本発明の一実施形態に係る薄膜積層体の製造装
置の概略構成を示す正面図である。
置の概略構成を示す正面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る薄膜積層体の製造装
置の概略構成を示す平面図である。
置の概略構成を示す平面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る薄膜積層体の製造装
置の動作原理を説明する説明図であって、始動時の状態
を示す。
置の動作原理を説明する説明図であって、始動時の状態
を示す。
【図４】本発明の一実施形態に係る電子部品の製造装置
の動作原理を説明する説明図であって、所定時間経過後
の状態を示す。
の動作原理を説明する説明図であって、所定時間経過後
の状態を示す。
【図５】従来の薄膜積層体の製造装置の概略構成を示す
正面図である。
正面図である。
【図６】従来の薄膜積層体の製造装置の問題点を説明す
る説明図であって、図３相当図である。
る説明図であって、図３相当図である。
【図７】従来の電子部品の製造装置の問題点を説明する
説明図であって、図４相当図である。
説明図であって、図４相当図である。
１ 製造装置 ２ フィルム搬送機構 ３ シート切断搬送機構 ４ 位置決め機構 ５ 積層圧着機構 ６ 巻出装置 ８ 巻取装置 １０ 縦方向切断器 １５ 搬送ユニット １６ ボールネジ機構 ２１Ａ ＣＣＤ撮像装置 ２１Ｂ 画像処理装置 ２２ キャリアプレート供給装置 ２４ プレステーブル ２６ 本圧着プレス ３２ キャリアプレート収納装置 Ｃ 切断機構 Ｆ キャリアフィルム Ｇ セラミックシート
Claims (5)
- 【請求項１】 薄膜状の搬送媒体に載置されて搬送され
ている薄膜シートを所定サイズに切断して薄膜シート片
を得、前記薄膜シート片を積層個所にボールネジ機構に
より搬送して積層する薄膜積層体の製造方法であって、 前記薄膜シートの切断位置の位置決めを、前記薄膜シー
ト片の搬送に同期して移動する撮像手段により撮像され
た画像に基づいてなすことを特徴とする薄膜積層体の製
造方法。 - 【請求項２】 前記積層位置の中心が、前記切断位置の
中心と、前記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点
との中間位置とされてなることを特徴とする請求項１記
載の薄膜積層体の製造方法。 - 【請求項３】 薄膜シートが載置されている薄膜状の搬
送媒体を搬送する搬送媒体搬送機構と、前記薄膜シート
を所定サイズの薄膜シート片に切断する切断手段と、前
記薄膜シート片を保持して切断位置から積層位置まで搬
送する保持・搬送手段と、前記保持・搬送手段を前記切
断位置から積層位置まで搬送するボールネジ機構と、前
記保持・搬送手段の移動に同期して移動するようにされ
ている撮像手段と、前記撮像手段からの画像を処理する
画像処理手段とを備え、 前記画像処理手段からの補正移動量により前記保持・搬
送手段の移動量が補正されてなることを特徴とする薄膜
積層体の製造装置。 - 【請求項４】 前記積層位置の中心が、前記切断位置の
中心と、前記ボールネジ機構のボールネジ軸先端の支点
との中間位置とされてなることを特徴とする請求項３記
載の薄膜積層体の製造装置。 - 【請求項５】 前記切断手段が、前記薄膜シートを搬送
方向に切断する第１切断機構と、前記搬送方向と直交方
向に切断する第２切断機構とを備え、 前記第２切断機構が前記保持・搬送手段に装着されてな
ることを特徴とする請求項３記載の薄膜積層体の製造装
置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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