JP2000306766A - 積層型電子部品のための積層体製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の目的は、生産性を向上できる積層型
電子部品のための積層体製造装置を提供することであ
る。 【解決手段】 セラミックスおよび有機結合材成分を含
有し、かつその上に内部電極層を形成するための所定の
パターンを持つ自立性グリーンシートからなる積層型電
子部品のための積層体製造装置であり、予め所定のパタ
ーンが形成された自立性グリーンシートを柱状ロールに
巻回して製造する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、積層型電子部品の
ための積層体の製造装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、電子部品の分野では、高密度表面
実装化にともない、積層セラミックコンデンサや積層型
バリスタ、積層フィルタ、積層圧電素子などの積層型電
子部品の小型化、機能の高度化が望まれている。ここで
は、積層セラミックコンデンサを例にとり説明する。

【０００３】積層セラミックコンデンサは、複数の誘電
体セラミックス層と各誘電体セラミックス層間に形成さ
れる複数の内部電極と、誘電体セラミック層の各端面に
おいてこれらの内部電極と接続される外部電極からなっ
ている。

【０００４】従来、積層セラミックコンデンサは、以下
のような工程で製造されている。例えばセラミックスス
ラリーをドクターブレード法によってステンレススチー
ルベルト等の上にキャストすることによりシート状に成
形されたセラミックグリーンシート上面に例えばパラジ
ウム、銀−パラジウム、ニッケル等の内部電極となる金
属を含む導電ペーストを使用して、スクリーン印刷等の
方法で所定の電極パターンを形成する。通常１枚のグリ
ーンシート上に複数の電極パターンを形成し、後の工程
で切断することにより複数個の積層セラミックコンデン
サを製造する。

【０００５】導電ペースト層が形成されたセラミックス
グリーンシートは、所定形状に切断するとともに複数枚
積層され、厚み方向にプレスすることにより圧着する。
あるいは湿式あるいは乾式の等方圧プレスも使用され
る。

【０００６】次に圧着された積層体は個々の積層セラミ
ックコンデンサを得るための積層体が得られるように切
断され、得られた個々の積層体を脱バインダーしさらに
焼成して焼結体を得る。その後、内部電極と導通する外
部電極を焼き付けることにより積層セラミックコンデン
サが製造される。

【０００７】近年、このような積層型電子部品において
小型化、大容量化を得るためにセラミック積層体の薄層
化および多層化することが望まれている。

【０００８】しかしながら、前記のごとくセラミックグ
リーンシートを複数枚積層して積層型電子部品を製造す
る装置では、セラミック積層体の薄層化、多層化による
セラミックグリーンシートの積層枚数の増大は、1つの
積層体を作製するのに時間がかかることになる。

【０００９】そのため、前記のごとくセラミックグリー
ンシートを所定形状に切断するとともに複数枚積層して
積層型電子部品を製造する以外の、生産性を向上させる
積層体製造装置の開発が必要となる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上述
したような生産性を向上できる、積層型電子部品のため
の積層体の製造装置を提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、次の構成を取る。すなわち、セラミック
スおよび有機結合材成分を含有し、かつその上に内部電
極層を形成するための所定のパターンを持つ自立性グリ
ーンシートからなる積層型電子部品のための積層体を製
造する装置において、第１の発明は、グリーンシートを
巻き出すための巻き出し部と、グリーンシートを巻き出
し部から柱状ロールまで案内するシート案内ローラと、
グリーンシートを巻き取り、積層体を形成するための柱
状ロールと、前記柱状ロールに巻き取られたある周回の
グリーンシートＧ１上に形成された所定のパターンに対
し、該グリーンシートＧ１上に隣接して積層される次周
回のグリーンシートＧ２上に形成されるＧ１上のパター
ンと同じパターンの位置を決めるパターン位置決め部
と、巻き取られたグリーンシート同士を密着させるグリ
ーンシート圧着装置と、巻き取られたグリーンシートの
各層間がずれないために固定するための固定装置、また
は前記固定装置並びに前記巻き取られたグリーンシート
の幅方向もしくは幅方向および長手方向を固定するため
に固定装置を移動する固定装置駆動装置からなるシート
固定部と、巻き出し部と柱状ロール間のグリーンシート
の張力を検出するフィルム張力検出装置と、前記検出さ
れた張力に基づいてグリーンシートの張力を調整する張
力調整装置からなる張力調整部とを備えたことを特徴と
する。

【００１２】第２の発明は、第１の発明において、柱状
ロールが、周面が円滑な凸面を形成する柱体、多角柱体
または板状体であることを特徴とする。

【００１３】第３の発明は、第１または２の発明のいず
れかにおいて、パターン位置決め部が、画像処理などの
視覚認識処理装置と、上記グリーンシート上の所定位置
にあらかじめ形成したマークの画像処理によって上記グ
リーンシート上に形成された所定のパターンの位置決め
を行なう柱状ロール駆動装置であることを特徴とする。

【００１４】第４の発明は、第１〜３の発明のいずれか
において固定装置が積層されたグリーンシートの層間を
熱によって固定することを特徴とする。

【００１５】第５の発明は、第１〜４の発明のいずれか
において固定が、柱状ロールの周面上で、非クローズド
ラインで実施されることを特徴とする。

【００１６】第６の発明は、第１〜５の発明のいずれか
においてグリーンシートが、焼結可能なセラミックス成
分５０〜９５重量％、および有機結合材成分５〜５０重
量％からなり、かつその上に内部電極層を形成するため
の所定のパターンを持つことを特徴とする。

【００１７】第７の発明は、第１〜６の発明のいずれか
において有機結合材成分が、重量平均分子量４０万以上
のポリオレフィンであることを特徴とする。

【００１８】第８の発明は、第７の発明においてポリオ
レフィンが、ポリエチレン、ポリビニルアルコールおよ
びそれらの共重合体からなる群より選ばれる少なくとも
一種のポリオレフィンであることを特徴とする。

【００１９】第９の発明は、第１〜８の発明のいずれか
において積層型電子部品が、積層型セラミックコンデン
サであることを特徴とする。

【００２０】第１の発明における、所定のパターンを持
つグリーンシートを準備するには、巻き出し部に巻かれ
たグリーンシート上にすでに内部電極層を形成するため
の所定のパターンが形成されていたり、巻き出し部から
柱状ロールに巻回されるまでの間に、グリーンシート上
にパターンを形成するパターン形成部があってもよい。

【００２１】内部電極層を形成するための所定のパター
ンは、予め内部電極層が形成された転写フィルムを室温
または加熱雰囲気下でグリーンシートを接触させ圧着さ
せる方法、スクリーン印刷法、グラビア印刷法等の各種
印刷法、蒸着法、スパッタ法などの薄膜形成法などによ
って形成する。

【００２２】グリーンシートを巻き出すための巻き出し
部は、ロール状のグリーンシートを供給する巻き出し軸
または前記巻き出し軸および巻き出し軸を駆動し、グリ
ーンシートの張力を調整するための駆動装置で構成され
る。前記駆動装置としては、サーボモータ、ＤＣモー
タ、インダクションモータあるいは前記モータのいずれ
かとクラッチの組み合わせなどが使用可能である。

【００２３】シート案内ローラは、グリーンシートを巻
き出し部から柱状ロールまで搬送、方向転換、横ぶれ防
止をするためのローラであり、ローラとグリーンシート
間に滑りが生じない構造であればよく、モータ駆動によ
る回転またはグリーンシートの走行によって回転しても
よい。シート案内ローラの材質は、金属、樹脂などから
なるものが使用可能である。

【００２４】柱状ロールは、グリーンシートを巻き取
り、積層体を形成するためのロールであり、柱状ロール
と、柱状ロールを回転させかつ前記柱状ロールに巻き取
られたある周回のグリーンシートＧ１上に形成された所
定のパターンに対し、該グリーンシートＧ１上に隣接し
て積層される次周回のグリーンシートＧ２上に形成され
た所定のパターンの位置を決めるための駆動装置から構
成されている。また前記駆動装置は、サーボモータやス
テッピングモータ、ＤＣモータ、インダクションモータ
あるいは前記モータのいずれかとカム機構やゼネバ機構
などの機械式の割出し装置の組み合わせなどが使用可能
である。

【００２５】グリーンシート圧着装置は、一定張力でか
つしわなく柱状ロール上でグリーンシート同士を密着さ
せるため、固定装置の上流側に設置し、自由に回転する
フリーローラと、フリーローラを所定位置へ移動させる
直線運動機構から構成される。直線運動機構は、空気圧
機器や油圧機器あるいはボールねじとモータにより直線
運動させる方式などが適用できる。

【００２６】柱状ロールに巻き取られたグリーンシート
の層間がずれないように各層間を固定させるための固定
装置は、例えば接着剤で接着させる装置または熱融着装
置などである。例えば熱融着装置はヒータコントロール
装置と所定の温度に温度制御されるヒータから構成され
ることができる。固定装置により固定される領域は、グ
リーンシート上に形成された所定のパターンの面積より
も大きければよい。加熱方式による接着で使用するヒー
タとしては、先端尖状や平板状あるいは矩形状の形状を
したヒータを使用し、接触あるいは非接触状態でグリー
ンシートを加熱接着できる方式が適用できる。

【００２７】固定装置駆動装置は、固定装置をグリーン
シートに近づく方向、グリーンシートの幅方向及び／又
はグリーンシートの長手方向の所定位置に移動させるた
め、直線運動機構で構成される。直線運動機構は、空気
圧機器や油圧機器あるいはボールねじとモータにより直
線運動させる方式などが適用できる。

【００２８】パターン位置決め部は、当業者は公知の手
段から種種選択できると考える。例えばパターン位置決
め部は、画像検出カメラと画像処理コントローラおよび
柱状ロールを回転させグリーンシート上に形成された所
定のパターンの位置決めするための柱状ロール駆動モー
タから構成される。

【００２９】パターン位置決めは、次のように行われ
る。グリーンシートの長手方向に間隔を隔てて配列され
ている所定のパターンおよび検出用マークが、画像検出
カメラの検出位置に来るまで柱状ロールを柱状ロール駆
動モータにより回転させる。画像検出カメラおよび図示
しない画像処理コントローラにより検出マークが検出さ
れると、柱状ロール駆動モータは回転をやめ、柱状ロー
ルを停止させる。ここで検出マークが所定位置からずれ
た場合、柱状ロール駆動モータにより柱状ロールをいず
れかの方向に回転させることでグリーンシートを引張り
あるいは緩めてグリーンシート上に形成された所定のパ
ターンの位置決めを行なう。

【００３０】巻き出し部と柱状ロール間のグリーンシー
トの張力を検出するフィルム張力検出装置は、ダンサロ
ール方式やロードセル方式などのグリーンシートの張力
を直接測定する方式の張力検出器から構成される。

【００３１】グリーンシートの張力を調整する張力調整
装置は、巻き出し部から柱状ロール間の特定位置に、ブ
レーキや駆動モータあるいは駆動モータとクラッチなど
から構成され、前記の検出されたグリーンシートの張力
データに基づいて前記グリーンシートの張力を調整す
る。前記駆動モータとしては、サーボモータ、ＤＣモー
タ、インダクションモータなどが使用可能である。

【００３２】本発明で使用されるセラミックグリーンシ
ートと呼ばれるフィルムは、セラミックスおよび有機結
合材成分を含有し、かつその上に内部電極層を形成する
ための所定のパターンからなる。そしてキャリヤテープ
等の支持基材なしで、単独で扱えることができる自立性
を持ち、平板あるいは円筒ボビンに巻くことができるよ
うな柔軟さ、しなやかさを有するフィルムである。この
フィルムは、空孔率が体積の１〜８０％を有するもので
あり、空孔率５〜５０％のものを好ましく用いることが
できる。かかるセラミックグリーンシートとしては特表
平４−５００８３５号公報にて開示されている無機物含
有フィルムを例示することができる。

【００３３】本発明における焼結可能なセラミックスと
しては、従来の積層型電子部品の製造に使用可能な材料
であれば制限はなく、各種誘電体材料が使用可能であ
る。例えばチタン、アルミ、バリウム、鉛、ジルコニウ
ム、珪素、イットリウム等からなる酸化物セラミックス
を挙げることができる。

【００３４】本発明における有機結合材成分としては、
上記無機成分の結合材として自立性のフィルムを形成で
きる高分子量のポリマーが使用可能であり、上記公表公
報に記載されているように重量平均分子量４０万以上の
ポリマー、特に重量平均分子量４０万以上ポリオレフィ
ンを好ましく使用することができる。分子量はグリーン
シートへの成形が可能であれば、伸度、強度の点で高い
ほうが好ましく、１００万以上が更に好ましい。ポリオ
レフィンとしてはポリエチレン、ポリビニルアルコール
およびそれらの共重合体のいずれかからなるポリオレフ
ィンであることが好ましく、超高分子量ポリエチレンが
特に好ましい。

【００３５】本発明で巻回に使用されるフィルムは、焼
結可能なセラミックス成分５０〜９５重量％、有機結合
材成分５〜５０重量％からなる。セラミックスの含有率
は高いほど有機成分の除去には有利であるが、シートの
形状保持の点から有機結合材成分が５〜５０重量％程度
あることが好ましい。有機結合材成分としては６〜３５
重量％がより好ましく、７〜２０重量％の範囲が更に好
ましい。

【００３６】

【発明の実施の形態】以下に、本発明を積層セラミック
コンデンサのための積層体の製造に適用した形態の一例
について説明する。

【００３７】図１は、本発明による積層セラミックコン
デンサのための積層体製造装置の実施例の基本構成を示
した説明図である。図１の装置は、その上に所定のパタ
ーンが形成されたグリーンシートを用いて積層体を製造
するための装置である。ここで図中２は、ロール状のグ
リーンシート１を巻き出すための巻き出し軸、３は、巻
き出し軸を駆動しかつ張力検出装置４によって検出され
た張力に基づいてグリーンシート１の張力を調整する巻
き出し軸駆動モータ、４は、グリーンシート１の搬送中
に生じる張力変動を検出する張力検出装置、５は、グリ
ーンシート１を巻き出し軸２から柱状ロール７まで案内
するシート案内ローラ、６は、柱状ロール７の加減速時
に発生する張力変動を調整するためのダンサロールによ
る張力調整装置、７は、グリーンシート１を巻き取り、
そして積層体を形成するための柱状ロール、８は、柱状
ロール７を所定方向に回転させ、かつ柱状ロール７に巻
き取られたグリーンシート１上に形成された所定のパタ
ーンに対し、グリーンシート１上に隣接して積層される
グリーンシート１上の形成する所定のパターンの位置を
決める柱状ロール駆動モータである。また９は、柱状ロ
ール７に巻き取られたグリーンシート１上に形成された
所定のパターンに対し、グリーンシート１上に隣接して
積層されるグリーンシート１上の形成する所定のパター
ンの位置を決めるパターン位置決め部、１０は、巻き取
られたグリーンシート１の各層間を密着させるグリーン
シート圧着装置、１１は、巻き取られたグリーンシート
１の各層間がずれないために接着により固定するための
シート固定部である。

【００３８】予めその上に所定のパターンが形成された
ロール状のグリーンシート１は、巻き出し軸２と巻き出
し駆動モータ３により巻き出される。張力検出装置４
は、グリーンシート１の張力に基づく板ばねのたわみを
差動トランスにより検出する張力検出センサで構成され
ている。そして張力検出装置４により張力変動を検出
し、巻き出し駆動モータ３のトルクを制御することでグ
リーンシート１の張力を調整する張力制御系を設けてい
る。さらに、柱状ロール７の加減速時に発生する張力変
動を調整するため、ダンサロール１２とスプリング１
３、ダンパ１４により構成されるダンサロール方式の張
力調整装置６を設けている。

【００３９】巻き出し軸２から巻き出されたグリーンシ
ート１は、シート案内ローラ５により、柱状ロール７へ
巻き取られるように搬送される。

【００４０】パターン位置決め部９は、画像検出カメラ
１５と、図示しない画像処理コントローラおよび柱状ロ
ール７を回転させグリーンシート１上に形成された所定
のパターンの位置決めするための柱状ロール駆動モータ
８から構成される。

【００４１】次にパターン位置決めについて説明する。
グリーンシート１の長手方向に間隔を隔てて配列されて
いる所定のパターンおよび検出用マークが、画像検出カ
メラ１５の検出位置に来るまで柱状ロール７を柱状ロー
ル駆動モータ８により回転させる。画像検出カメラ１５
および図示しない画像処理コントローラにより検出マー
クが検出されると、柱状ロール駆動モータ８は回転をや
め、柱状ロール７を停止させる。ここで検出マークが所
定位置からずれた場合、柱状ロール駆動モータ８により
柱状ロール７をいずれかの方向に回転させることでグリ
ーンシート１を引張りあるいは緩めてグリーンシート１
上に形成された所定のパターンの位置決めを行なう。

【００４２】グリーンシート１上に形成された所定のパ
ターンを位置決めした後、次いでグリーンシート圧着装
置１０によりすでに巻回されているグリーンシート１の
各層間を密着させ、シート固定部１１により巻き取られ
たグリーンシート１の各層間がずれないように接着によ
り固定する。

【００４３】グリーンシート圧着装置１０は、グリーン
シート１が柱状ロール７に巻き取られ始める位置に設置
される。グリーンシート圧着装置１０は、自由に回転す
るニップロール１６と駆動用空気圧シリンダ１７で構成
されている。グリーンシート圧着装置１０によるニップ
操作は、駆動用空気圧シリンダ１７によりニップロール
１６を移動させ、グリーンシート１をニップロール１６
と柱状ロール７間で挟み、グリーンシート１を柱状ロー
ル７に密着させる。そして、シート固定部１１によりグ
リーンシート１が接着された後、ニップロール１６はグ
リーンシート１から離れる方向へ移動する。

【００４４】シート固定部１１はグリーンシート圧着装
置１０の直後に設置されている。本実施例のシート固定
部１１は、ヒータを用いた固定装置１８と、空気圧シリ
ンダによる固定装置駆動装置１９から構成されている。
ヒータの形状はプレート型であり、グリーンシート１上
に形成されている所定のパターンの長手方向および幅方
向の４辺を囲うように配置している。そして、グリーン
シート圧着装置１０によりグリーンシート１がニップさ
れた後、固定装置駆動装置１９により固定装置１８が柱
状ロール７へ移動し、ヒータ先端をグリーンシート１に
押し当て、巻き取られたグリーンシート１の層間を熱融
着により接着する。接着後、固定装置１８がグリーンシ
ート１から離れる方向へ移動し、接着は完了する。

【００４５】グリーンシート１を接着後、次のグリーン
シート１上に形成された所定のパターンを位置決めする
ため、画像検出カメラで検出マークを検出するまで柱状
ロール７を回転させる。

【００４６】上記の操作は、所望の積層数の積層セラミ
ックコンデンサのための積層体が得られるまで繰返し実
施される。

【００４７】なお、上述の内部電極を形成した積層体を
作成する前後で、図２に示す積層セラミックコンデンサ
２０のカバー層２３を得るために、柱状ロール７を回転
させ、内部電極の位置決め以外の工程を実施する。本操
作も、所望の積層数のカバー層２３が得られるまで実施
される。

【００４８】このようにして、柱状ロール７の周面上の
範囲内の大きさで、積層セラミックコンデンサのための
積層体２５が形成される。

【００４９】

【発明の効果】本発明によれば、キャリヤテープを用い
ず柱状ロール上で内部電極の位置決めをしながら巻回す
ることにより、積層型電子部品のための積層体を連続し
て効率よく製造することができる。また、本発明によれ
ば、柱状ロール上で内部電極の位置決めおよび積層体の
形成の各工程が一連の操作のもとで実施することができ
るので、これらの各工程が一連の操作のもとで実施され
ない場合に必要な工程間における運搬作業などが不用に
なり、積層体を得るまでの時間を短縮することができ、
積層体を効率よく製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の実施例の装置全体の構成の説
明図である。

【図２】図２は、本発明に係る積層型電子部品の一例と
しての積層セラミックコンデンサの断面図である。

【符号の説明】

１ グリーンシート ２ 巻き出し軸 ３ 巻き出し軸駆動モータ ４ 張力検出装置 ５ シート案内ローラ ６ ダンサロール式張力調整装置 ７ 柱状ロール ８ 柱状ロール駆動モータ ９ パターン位置決め部 １０ グリーンシート圧着装置 １１ シート固定部 １２ ダンサロール １３ スプリング １４ ダンパ １５ 画像検出カメラ １６ ニップロール １７ 空気圧シリンダ １８ 固定装置 １９ 固定装置駆動装置 ２０ 積層セラミックコンデンサ ２１ 内部電極 ２２ 誘電体層 ２３ カバー層 ２４ 外部電極 ２５ 積層体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大野 隆央 山口県岩国市日の出町２番１号 帝人株式 会社岩国研究センター内 Ｆターム(参考） 5E001 AB03 AH00 AH05 AH09 AJ01 AJ02 5E082 AB03 BC40 FG06 FG26 FG54 KK01 LL02 MM13 MM21 MM22 MM24 MM26 PP03 PP10

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 セラミックスおよび有機結合材成分を含
   有する自立性グリーンシートを積層してなり、かつ内部
   電極層を形成するための所定のパターンを持つ積層型電
   子部品のための積層体を製造する装置であって、前記グ
   リーンシートを巻き出すための巻き出し部と、前記グリ
   ーンシートを巻き取り、積層体を形成するための柱状ロ
   ールと、前記グリーンシートを巻き出し部から柱状ロー
   ルまで案内するシート案内ローラと、前記柱状ロールに
   巻き取られたある周回のグリーンシートＧ１上に形成さ
   れている所定のパターンに対し、該グリーンシートＧ１
   上に隣接して積層される次周回のグリーンシートＧ２上
   に形成されるＧ１上のパターンと同じパターンの位置を
   決めるパターン位置決め部と、前記グリーンシートを前
   記柱状ロールに密着させるグリーンシート圧着装置と、
   巻き取られた前記グリーンシートの各層間がずれないよ
   うに各層間を固定するための固定装置、または前記固定
   装置並びに前記巻き取られたグリーンシートの幅方向も
   しくは幅方向および長手方向を固定するために前記固定
   装置を移動させる固定装置駆動装置からなるシート固定
   部と、前記巻き出し部と前記柱状ロール間の前記グリー
   ンシートの張力を検出するフィルム張力検出装置と、前
   記の検出された張力に基づいて前記グリーンシートの張
   力を調整する張力調整装置とからなる張力調整部と、を
   備えたことを特徴とする、積層型電子部品のための積層
   体製造装置。
2. 【請求項２】 上記柱状ロールが、周面が円滑な凸面を
   形成する柱体、多角柱体または板状体である、請求項１
   記載の積層型電子部品のための積層体製造装置。
3. 【請求項３】 上記パターン位置決め部が、画像処理な
   どの視覚認識処理装置と、上記グリーンシート上の所定
   位置にあらかじめ形成したマークの画像処理によって上
   記グリーンシート上に形成された所定のパターンの位置
   決めを行なう柱状ロール駆動装置とから構成される、請
   求項１または２記載の積層型電子部品のための積層体製
   造装置。
4. 【請求項４】 上記固定装置が積層されたグリーンシー
   トの層間を熱によって固定する、請求項１〜３のいずれ
   かに記載の積層型電子部品のための積層体製造装置。
5. 【請求項５】 上記固定が、上記柱状ロールの周面上
   で、非クローズドラインで実施される、請求項１〜４の
   いずれかに記載の積層型電子部品のための積層体製造装
   置。
6. 【請求項６】 上記グリーンシートが、焼結可能なセラ
   ミックス成分５０〜９５重量％、および有機結合材成分
   ５〜５０重量％からなり、かつその上に内部電極層を形
   成するための所定のパターンを持つ、請求項１〜５のい
   ずれかに記載の積層型電子部品のための積層体製造装
   置。
7. 【請求項７】 有機結合材成分が、重量平均分子量４０
   万以上のポリオレフィンである、請求項１〜６のいずれ
   かに記載の積層型電子部品のための積層体製造装置。
8. 【請求項８】 ポリオレフィンが、ポリエチレン、ポリ
   ビニルアルコールおよびそれらの共重合体からなる群よ
   り選ばれる少なくとも一種のポリオレフィンである請求
   項７記載の積層型電子部品のための積層体製造装置。
9. 【請求項９】 上記積層型電子部品が積層セラミックコ
   ンデンサである、請求項１〜８のいずれかに記載の積層
   型電子部品のための積層体製造装置。