JP4078853B2 - 積層セラミック電子部品の製造方法及び製造装置及びペースト印刷方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層セラミック電子部品の製造に際し、支持フィルム、セラミックグリーンシート、あるいは支持フィルム上にセラミックグリーンシートが形成された複合シートからなるシート上にセラミックぺースト及び導電ペーストをグラビア印刷する場合のように複数回のグラビア印刷を行うための積層セラミック電子部品の製造方法及び製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば積層セラミックコンデンサの製造に際し、支持フィルムに支持されたセラミックグリーンシート上にセラミックペースト及び導電ペーストをグラビア印刷する方法が知られている。
【0003】
特開平8−250370号公報には、積層セラミックコンデンサの製造方法において、長尺状の支持フィルム上に形成された誘電体グリーシート上に第1のグラビアロールにより複数の内部電極用パターンをグラビア印刷し、さらに第2のグラビアロールにより前記パターン間に段差解消用誘電体パターンをグラビア印刷したものが開示されている。
【0004】
上記のように、長尺状の誘電体グリーンシートに内部電極用パターンおよび段差解消用誘電体パターンをグラビアロールによりグラビア印刷を行うに際しては、特に誘電体グリーンシートの幅方向(誘電体グリーンシートの搬送方向に直交する方向)に位置ずれが発生することがある。
【0005】
このような幅方向の位置ずれは、上記のような誘電体グリーシート上に内部電極用パターンと段差解消用誘電体パターンを印刷するものにおいては、内部電極用パターンと段差解消用誘電体パターンが重なり合ったり、両者の隙間が開き過ぎたりして、両者を所望の位置に形成することができない。
【0006】
そこで従来、幅方向のずれの修正は、2回目のグラビア印刷工程の前に、第2のグラビアロールをその軸方向に、すなわち、長尺状の誘電体グリーシートの幅方向に移動させることにより行われていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
そのため、図10に示すように、グラビアロールの移動のタイミングによっては、歪みのある段差解消用誘電体パターン101bが生じざるを得なかった。図10において、102は、長尺状の誘電体グリーシートを示し、支持フィルム搬送方向は矢印A方向、印刷方向は矢印B方向、グラビアロールを移動させた位置は矢印Cである。また、印刷パターン101a、101b、101cは、それぞれグラビアロール1回転で印刷されたものである。
【0008】
また、グラビアロールの移動のタイミングによっては、段差解消用誘電体パターン101bの塗布厚が変動するという問題もあった。
上記のような段差解消用誘電体パターンの印刷歪みや塗布厚変動が生じると、段差解消用誘電体パターンの本来の目的である内部電極パターンとの段差の解消ができなくなり、デラミネーション等の積層体の構造欠陥が発生してしまうといった問題があった。
【0009】
本発明の目的は、上述した従来技術の現状に鑑み、シート上に導電ペーストまたは段差解消用セラミックペーストをグラビア印刷する工程を備えた積層セラミック電子部品の製造方法であって、印刷ずれの修正を図るためにグラビアロールを軸方向へ移動させた場合でも、段差解消用セラミックペーストまたは導電ペーストに印刷歪みが生じ難い、積層セラミック電子部品の製造方法および製造装置を提供することにある。
【0010】
本発明の他の目的は、印刷ずれの修正を図るためにグラビアロールを軸方向へ移動させた場合でも、ペーストに印刷歪みが生じ難いペースト印刷方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明の積層セラミック電子部品の製造方法は、軸方向に延びる所定の隙間をもって配置される印刷部が外周面に設けられた第1のグラビアロールと、第1のグラビアロールに圧接される第1の圧接ロールとの間にシートを供給して印刷部に充填されている導電ペーストまたは段差解消用セラミックペーストをシート上に印刷する1回目のグラビア印刷工程と、前記1回目のグラビア印刷工程後に、軸方向に延びる所定の隙間をもって配置される印刷部が外周面に設けられた第2のグラビアロールと、第2のグラビアロールに圧接される第2の圧接ロールとの間にシートを供給して印刷部に充填されている段差解消用セラミックペーストまたは導電ペーストを、シート上の導電ペーストまたは段差解消用セラミックペーストの印刷されていない領域に印刷する2回目のグラビア印刷工程と、前記シートを積層して積層体を得る工程と、前記積層体の外表面に外部電極を形成する工程とを備え、前記2回目のグラビア印刷工程を行うに際し、印刷された導電ペーストまたは段差解消用セラミックペーストのシート搬送方向に直交する方向のずれを検出し、第2のグラビアロールの前記隙間とシートが接触している間に、前記第2のグラビアロールをグラビアロール軸方向に移動させて、前記シート搬送方向に直交する方向のずれを補正することにより、導電ペースト及び段差解消用セラミックペーストが印刷されたシートを得る工程を有する。
【0012】
本発明のある特定の局面では、前記隙間と前記シートが接触している期間の検出が、前記第2のグラビアロールの回転角度を検出することにより行われる。
本発明の別の特定の局面では、前記隙間と前記シートが接触している期間の検出が、前記第2のグラビアロールに設けられた検出マークを検出することにより行われる。
【0013】
本発明の他の特定の局面では、前記2回目のグラビア印刷工程を行うに際し、前記シートのテンションを調整することにより、印刷された導電ペーストまたは段差解消用セラミックペーストのシート搬送方向のずれを補正する工程が備えられる。
【0014】
本発明の積層セラミック電子部品の製造装置は、本発明の積層セラミック電子部品の製造方法に用いられる装置であって、軸方向に延びる所定の隙間をもって配置される印刷部が外周面の周方向に形成された第1のグラビアロールと、該第1のグラビアロールに圧接される第1の圧接ロールとを有する第1のグラビア印刷部と、軸方向に延びる所定の隙間をもって配置される印刷部が外周面の周方向に形成された第2のグラビアロールと、該第2のグラビアロールに圧接される第2の圧接ロールとを有する第2のグラビア印刷部と、前記第2のグラビアロールを軸方向に移動させる移動装置と、前記第2のグラビアロールの前記隙間と前記シートが接触している期間を検出するための検出装置とを備える。
【0015】
本発明のペースト印刷方法は、軸方向に延びる所定の隙間をもって配置される印刷部が外周面に設けられた第1のグラビアロールと、第1のグラビアロールに圧接される第1の圧接ロールとの間にシートを供給して印刷部に充填されている第1のペーストをシート上に印刷する1回目のグラビア印刷工程と、前記1回目のグラビア印刷工程後に、軸方向に延びる所定の隙間をもって配置される印刷部が外周面に設けられた第2のグラビアロールと、第2のグラビアロールに圧接される第2の圧接ロールとの間にシートを供給して印刷部に充填されている第2のペーストを、シート上の第1のペーストの印刷されていない領域に印刷する2回目のグラビア印刷工程と、前記2回目のグラビア印刷工程を行うに際し、印刷された第1のペーストのシート搬送方向に直交する方向のずれを検出し、第2のグラビアロールの前記隙間とシートが接触している間に、前記第2のグラビアロールをグラビアロール軸方向に移動させて、前記シート搬送方向に直交する方向のずれを補正することにより、第2のペーストが印刷されたシートを得る工程を有する。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施例を説明することにより、本発明を明らかにする。
【0017】
図1は、一実施例に係る積層セラミック電子部品のうちの積層セラミックコンデンサの製造方法を説明するための積層セラミックコンデンサの製造装置の概略構成図である。
【0018】
積層セラミック電子部品の製造装置1では、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレンナフタレートなどの合成樹脂からなる支持フィルム上にセラミックグリーンシートが形成された複合シート2が図示の矢印Bで示すように供給される。積層セラミック電子部品の製造装置1は、第1、第2のグラビア印刷部3,4を有し、それぞれ複合シートの一方面に印刷が行われるように配置されている。
【0019】
第1のグラビア印刷部3は、第1のグラビアロール5と、第1の圧接ロール6とを有する。図2(a)に斜視図で示すように、グラビアロール5は円筒状の形状を有し、その外周面5aには周方向に沿って印刷部7aが設けられるとともに、軸方向に延びる所定の隙間5bを有している。印刷部7aには、内部電極となる導電ペーストをセラミックグリーンシートに印刷するために、矩形状の凹部からなる複数のセル7bが、その長手方向がグラビアロール5の回転方向と平行になるようにマトリックス状に設けられている。なお、凹部の形状は積層セラミック電子部品で必要とされる電極の形状に合わせたものであり、矩形状に限定されない。また、図2(a)では、1個の印刷部7aが示されているが、2以上の複数の印刷部が設けられていてもよい。
【0020】
また、第1のグラビアロール5の外周面には、第1の印刷部7aだけでなく、後述する複合シートの搬送方向の位置ずれを補正するための第1の印刷マークを印刷するために印刷マーク用印刷部7cが設けられている。印刷マーク用印刷部7cの形状は特に限定されない。
【0021】
第1のグラビア印刷部3のグラビアロール5と圧接ロール6との間に、複合シート2が挟み込まれ、印刷部7aのセル7bに、図示しない導電ペースト付与手段により充填された導電ペースト(第1のペースト)が複合シート2に転写されて、グラビア印刷が行われる。なお、導電ペーストは、Ag,Ag−Pd,Ni,Cu,Auなどの導電粉末と有機ビヒクルとを混合したものである。
【0022】
第1のグラビア印刷部3では、上記グラビアロール5と圧接ロール6との間に複合シート2を供給するために、ローラー8a〜8eが配置されており、ローラー8a〜8eを介して、複合シート2がグラビアロール5と圧接ロール6との間に供給される。また、グラビアロール5の後段には、ローラー8fが配置されており、ローラー8fを介して、印刷された複合シート2が第1の乾燥装置9に搬送される。乾燥装置9は、適宜のヒーターを備えており、印刷された導電ペーストを乾燥するために設けられている。
【0023】
乾燥装置9の下流側には、ローラー10a,10bが配置されており、導電ペーストが乾燥された後、複合シート2が第2のグラビア印刷部4に供給される。第2のグラビア印刷部4には、グラビア印刷を行うために、第2のグラビアロール11と第2の圧接ロール12とが配置されている。
【0024】
図2(b)に示すように、第2のグラビアロール11は、第1のグラビアロール5と同様に、円筒状の形状を有し、その外周面11aには周方向に沿って第2の印刷部11bが設けられるとともに、軸方向に延びる所定の隙間11gを有している。
【0025】
印刷部11bには、段差解消用セラミックペーストを複合シート2上の導電ペーストの印刷されていない領域に印刷するために、印刷された導電ペーストと略同一形状の凸部からなる複数の土手11cが、導電ペーストと対応する位置に設けられるとともに、その周囲には段差解消用セラミックペーストが充填される格子状の溝11dが設けられている。なお、図2(b)では、1個の印刷部11bが示されているが、2以上の複数の印刷部が設けられていてもよい。
【0026】
また、第2のグラビアロール11の外周面11aには、第2の印刷部11bだけでなく、第1のグラビアロール5と同様に、複合シートの搬送方向の位置ずれを補正するための第2の印刷マークを印刷するために印刷マーク用印刷部11eが設けられている。印刷マーク用印刷部11eの形状は特に限定されない。
【0027】
第2のグラビア印刷部4のグラビアロール11と圧接ロール12との間に、導電ペーストが印刷された複合シート2が挟み込まれ、印刷部11bの溝11dに、図示しない段差解消用セラミックペースト付与手段により充填されている段差解消用セラミックペースト(第2のペースト)が複合シート2に転写されて、段差解消となるグラビア印刷が行われる。なお、段差解消用セラミックペーストは、誘電体セラミック、磁性体セラミック、ガラス、ガラスセラミックなどのセラミック粉末と有機ビヒクルとを混合したものである。
【0028】
また、複合シート2をグラビアロール11と圧接ロール12との間に供給するために、ローラー13a〜13eが配置されている。さらに、グラビアロール11の後段には、ローラー13fを介して第2の乾燥装置14が配置されている。第2の乾燥装置14は、第1の乾燥装置9と同様に構成されている。もっとも、第2の乾燥装置14は、第2のグラビアロール11で付与された段差解消用セラミックペーストを乾燥するのに適した加熱源を有するように構成されている。
【0029】
第2の乾燥装置14の下流には、ローラー15a,15bが配置されており、第1,第2のグラビア印刷部3,4で印刷が行われた複合シート2が矢印C方向に沿って排出される。
【0030】
図3に示すように、本実施例では、第1のグラビア印刷部3において印刷された導電ペーストと、第2のグラビア印刷部4で印刷される段差解消用セラミックペーストの幅方向(複合シートの搬送方向に直交する方向)の位置ずれを補正するために、第2のグラビアロール11には第2のグラビアロール11をその軸方向に移動させる移動装置21が連結されている。移動装置21は、図3では略図的に示されているが、グラビアロール11をその軸方向に適宜の距離移動させ得る任意の往復駆動源により構成され得る。このような往復駆動源としては、エアシリンダー、油圧シリンダーなどの往復駆動装置、あるいはモーターとラック及びピニオンを組み合わせてなる往復駆動装置などを挙げることができ得る。
【0031】
また、本実施例の製造方法では、上記グラビアロール11の軸方向の移動のタイミングを検出するために、図2(b)に示すように、検出マーク11fが設けられている。なお、図2(b)では検出マーク11fは、グラビアロール11の端面に付与されているように設けられているが、外周面に位置していてもよい。
【0032】
また、図3に示すように、グラビアロール11の中心軸には、ロータリーエンコーダー22が連結されている。ロータリーエンコーダー22は、グラビアロール11が1回転するたびに、1つのパルス信号を発生する。なお、上記グラビアロール11の中心軸には、モーター24が連結されている。モーター24は、グラビアロール11を回転駆動するために設けられている。
【0033】
他方、図3に略図的に示すように、上記検出マーク11fが所定の位置に移動してきたことを検出するセンサー23が配置されている。
上記検出マーク11fは、印刷部11b間の非印刷領域と、ある角度隔てられて設けられている。また、他の印刷部間の領域と上記検出マーク11fとの角度も予め知られている。
【0034】
図1に戻り、本実施例では、第2のグラビア印刷部4におけるローラー13b,13c間において、複合シート2を矢印D方向に移動し、複合シート2のテンションを強めたり、弱めたりすることが可能とされている。このように、複合シート2のテンションを強めたり、弱めたりして第2の印刷に際しての複合シートの搬送方向(長さ方向)のずれが補正される。
【0035】
上記テンションを調整するための装置として、図5に示すテンション調整装置26が設けられている。テンション調整装置26は、モーター27と、補正ロール28とを有する。補正ロール28は、図1の矢印Dで示す部分に配置されている。この補正ロール28を図5の矢印で示すように上下方向に移動させ得るように、モーター27にボールネジ29が連結されている。モーター27を正転もしくは逆転させることにより、補正ロール28が上方または下方に移動され、それによって複合シート2のテンションが強められたり、弱められたりする。このテンション調整装置26を用いることにより、複合シート2のパスライン長が変化し、長さ方向における段差解消用セラミックペーストの位置ずれを補正することができる。
【0036】
次に、本実施例の製造方法の具体的な工程を図1〜図6を参照して説明する。
まず、複合シート2が第1のグラビア印刷部3に供給される。この場合、複合シート2の搬送は、図示しない駆動源により行われる。複合シート2が第1のグラビアロール5と第1の圧接ロール6との間を通過することにより、グラビアロール5の印刷部7aのセル7bに付与されていた導電ペーストが複合シート2の一方面に転写される。また、第1の印刷マーク7cも転写される。しかる後、第1の乾燥装置9内において転写された導電ペーストが乾燥され、第1のグラビア印刷工程が完了する。
【0037】
次に、導電ペーストが印刷された複合シート2は、第2のグラビア印刷部4に搬送される。第2のグラビア印刷部4においては、長さ方向における印刷精度を高めるために、前述したテンション調整装置26を用いて、補正ロール28が上下方向に移動され、適切なテンションが複合シート2に与えられる。
【0038】
しかる後、複合シート2は、第2のグラビアロール11と圧接ロール12との間に供給され、第2のグラビアロール11の外周面11aに設けられた印刷部11bの溝11dに付与されていた段差解消用セラミックペーストが複合シート2に転写される。導電ペーストと段差解消用セラミックペーストはポジとネガの関係にあり、実質的に間隙のない、あるいは所定の間隙を有する、あるいは導電ペーストの周囲の所望の幅だけ段差解消用セラミックペーストが重なるようにように印刷されている。なお、第2の印刷マーク11eも転写される。
【0039】
しかる後、第2の乾燥装置14において乾燥され、2回のグラビア印刷が行われた複合シート2がローラー15a,15bを介して矢印Cで示すように排出される。
【0040】
ところで、本実施例では、第1のグラビア印刷により印刷された導電ペーストと、第2のグラビア印刷工程において印刷される段差解消用セラミックペーストの位置合わせを行うために、以下の方法が用いられる。
【0041】
まず、導電ペーストと段差解消用セラミックペーストの複合シート2の搬送方向、すなわち長さ方向に沿う位置ずれは、上記補正ロール28を用いて行われる。
【0042】
すなわち、第1のグラビア印刷にあたり、図4に示すように導電ペーストAと同時に、図4に破線で示す第1の印刷マーク31が印刷される。この第1の印刷マークの印刷は、前述したグラビアロール5の外周面に設けられた印刷マーク用印刷部7cにより行われる。
【0043】
また、第2のグラビアロール11においても、同様に第2の印刷マーク用印刷部11eが設けられている。従って、第1,第2の印刷部3,4を通過した複合シート2には、第1,第2の印刷マーク31,32が印刷されている(図4参照)。この第1,第2の印刷マーク31,32の複合シート2の搬送方向のずれが検出される。このずれの検出は、例えばレーザーなどの光学的な測定装置を用いて行われる。
【0044】
しかる後、上記ずれの量に応じて、前述した補正ロール28が移動される。すなわち、第2の印刷マーク32が対応する第1の印刷マーク31よりも前方に位置している場合には、補正ロール28が下方に移動される。それによって、第2の印刷部におけるパスライン長を短くするように、複合シート2にテンションが与えられる。
【0045】
逆に、第2の印刷マーク32が搬送方向において第1の印刷マーク31よりも後方に位置している場合には、第2のグラビア印刷工程におけるパスライン長を長くするために、補正ロール28が上方に移動されることになる。このようにして、複合シート2の長さ方向における導電ペーストAの位置に対する段差解消用セラミックペーストの位置ずれの補正が行われる。
【0046】
なお、図4においては、第1,第2の印刷マーク31,32は、それぞれ等間隔であり、搬送方向へのずれがない状態を示している。搬送方向にずれがある場合は、それぞれの第1,第2の印刷マーク31,32の間隔が不均一となっている。
【0047】
他方、複合シート2の幅方向、すなわち第2のグラビアロール11の軸方向の調整は、前述したロータリーエンコーダー22と第2のグラビアロール11に設けられた検出マーク11fを用いて行われる。
【0048】
すなわち、ロータリーエンコーダー22は、グラビアロール11が1回転する度に前述したようにパルス信号を発生する。グラビアロール11に設けられた検出マーク11fの角度位置と、ロータリーエンコーダー22のパルス信号を発生するグラビアロール11の角度位置とが一致されている。この位置を基準位置とすると、該基準位置に対して、グラビアロール11の外周面に設けられた印刷部11bの間の非印刷領域の角度範囲は固定されている。従って、上記基準位置から印刷部11bの間の隙間11g(非印刷領域)までグラビアロールが回転される時間及び該領域が複合シートに接触している時間は、モーターの回転速度から求められる。
【0049】
第2のグラビア印刷工程を開始した場合に、図6に示すように、グラビアロール11が1回転する間に、ロータリーエンコーダー22が図示のようにグラビアロール11の1回転よりも短い期間のパルス信号を発生する。このパルス信号が制御装置33に与えられ、制御装置33の指令により、実際に印刷されてきた段差解消用セラミックペーストが撮影装置(図示せず)により撮影される。
【0050】
なお、上述した段差解消用セラミックペーストの撮影は、上記ロータリーエンコーダー22のパルス立ち上がり時期に同期して行われてもよい。あるいは、ロータリーエンコーダー22のパルス信号立ち上がり時期から予め設定された時間だけ遅らされて行われてもよい。ロータリーエンコーダー22のパルス信号だけでも隙間11g(非印刷領域)の検出は可能である。
【0051】
また、前述した第2のグラビアロール11に設けられた検出マーク11eを利用し、該検出マーク11eをレーザーなどを用いて構成されたセンサー23により検出し、上記検出マーク11eが検出された信号が図6の矢印Eで示すように発生したときに、導電ペーストA及び段差解消用セラミックペースト33a〜33cの画像が取り込まれるように構成されてもよい。
【0052】
上記撮影結果が制御装置33に与えられ制御装置33により、導電ペースト及び段差解消用セラミックペーストの上記幅方向のずれ量が求められる。そして、このずれ量に応じて、制御装置33は、移動装置21を駆動し、グラビアロール11をその軸方向に移動させる。この移動のタイミングは、上記ロータリーエンコーダー21のパルス信号が発生した後、グラビアロール11の印刷部間11bの間の隙間11g(非印刷領域)が複合シート2に接触している間に行われるように選ばれる。このタイミングは、上述したグラビアロール11の回転速度と基準位置と印刷部11bの間の隙間11g(非印刷領域)との間の角度及び該領域の角度範囲から求められる上記第1,第2の時間において、第1の時間後の第2の時間の間に設定される。
【0053】
上記のように、本実施例の製造方法では、第2のグラビア印刷工程において、上記補正ロール28を用いて第2のグラビア印刷に際しての複合シート2の搬送方向すなわち印刷方向におけるずれが補正される。また、上記移動装置21を用いてグラビアロール11が移動されて、グラビアロール11の軸方向における印刷ずれが補正される。この場合、第2のグラビアロール11の印刷部の間の隙間11g(非印刷領域)が複合シート2に接触されている間に上記移動装置21の駆動が行われる。従って、例えば図4に示すように、段差解消用セラミックペースト33b,33c間の領域Xにおいてグラビアロール11がY軸方向に移動されたとしても、段差解消用セラミックペースト33a〜33cにおける歪みや塗布厚変動を生じさせることなく、段差解消用セラミックペーストの複合シート2の搬送方向と直交する方向の位置の修正を行うことができる。
【0054】
上記実施例では、段差解消用セラミックペースト33a〜33cの複合シート2の幅方向の位置の修正のタイミングは、基準位置と印刷部11a,11b間の領域との間の角度、及び該領域の角度範囲と、モーターの回転速度に基づいて選ばれたが、印刷部の間の非印刷領域が複合シート2に接触している期間を検出する方法はこれに限定されるものではない。
【0055】
例えば、上記グラビアロール11の端面の中心から見て、上記検出マーク11fが位置している部分を基準位置とすると、基準位置と、隙間(非印刷領域)との間の角度、及び該領域の角度範囲は予め固定されている。従って、例えばグラビアロールの基準位置に対する回転角度を検出することによっても、上記所定の角度範囲の領域が複合シート2に接触している時間を求めることができる。従って、求められた時間期間の間に移動装置21を駆動すればよい。この場合、基準位置が複合シート2に接触している時点を基準にする必要は必ずしもなく、例えば検出マークがある角度位置にきた時点に基づいて、隙間(非印刷領域)が複合シート2に接触される時間期間を求めてもよい。
【0056】
上述のような第1、第2のグラビア印刷工程を行った複合シート2は、図7に示すように、支持フィルム71上にセラミックグリーンシート72が形成され、セラミックグリーンシート72上に、第1のグラビア印刷工程において内部電極73が形成され、第2のグラビア印刷工程において段差解消用セラミック74が形成される。なお、図7においては、内部電極73と段差解消用セラミック74は間隙なく形成されているが、前述のように、所定の間隙を有するように形成してもよいし、内部電極の外縁部の所望の幅だけ段差解消用セラミックが重なるように形成してもよい。
【0057】
また、図7のように、複合シート2はセラミックグリーンシート72が形成されているが、セラミックグリーンシート72を形成せずに、支持フィルム71上に第1のグラビア印刷工程において直接内部電極73を形成し、さらに第2のグラビア印刷工程において段差解消用セラミック74を形成してもよい。この場合には、無地のセラミックグリーンシートを介して複合シートを積層する。
【0058】
このような長尺状の複合シート2を図示しない切断ヘッドにより、セラミックグリーンシート72、内部電極73および段差解消用セラミック74をカットし、これらを支持フィルム71から剥離して、積層ステージ上あるいは切断ヘッド内において積層する工程を繰り返すことにより、図8に示すようなマザー積層体81が得られる。なお、積層される複合シートの下層には、無地のセラミックグリーンシートが積層されている。上層においても必要に応じて無地のセラミックグリーンシートが積層されてもよい。
【0059】
また、長尺状の複合シートを印刷部を囲むようにカード状に切断し、支持フィルムを上にした状態で、積層ステージ上に載置された下層の無地のセラミックグリーンシートの上に圧着し、支持フィルム71を剥離して積層する工程を繰り返すことにより、マザー積層体81を形成してもよい。
【0060】
次に、マザー積層体81を厚み方向に切断することにより、個々の積層セラミックコンデンサ単位の積層体が得られる。そして、上記のようにして得られた個々の積層セラミックコンデンサ単位の積層体が焼成されて、図9に示すセラミック焼結体92が得られる。セラミック焼結体92の両端面に外部電極93,94を形成することにより、積層セラミックコンデンサ91が得られる。積層体と外部電極とは同時に焼成してもよい。
【0061】
積層セラミックコンデンサ91の製造方法では、上記導電ペースト及び段差解消用セラミックペーストの印刷が上記実施例に従って行われるため、導電ペースト及び段差解消用セラミックペーストの印刷の位置合わせによるずれが低減され、導電ペーストによる段差がより確実に解消できる。
【0062】
従って、得られた焼結体におけるデラミネーションなどの構造欠陥が生じ難く、良品率を効果的に高め得ることができる。
本発明においては、上述した積層セラミックコンデンサ以外にも、例えば、積層インダクタ、積層ノイズフィルタ、積層LCフィルタ、積層複合モジュールのような積層セラミック電子部品に適用できる。この場合には、例えばセラミックグリーンシートにビアホールを形成することで、平面状の内部電極パターンと接続して回路素子を構成すればよい。
【0063】
【発明の効果】
本発明の積層セラミック電子部品の製造方法では、2回目のグラビア印刷を行うに際し、印刷された導電ペーストまたは段差解消用セラミックペーストのシート搬送方向に直交する方向のずれが検出され、第2のグラビアロールの隙間とシートが接触している間に第2のグラビアロールがグラビアロール軸方向に移動され、シートの搬送方向に直交する方向の位置ずれが補正される。よって、導電ペースト及び段差解消用セラミックペーストが高精度に印刷されるので、積層セラミック電子部品の製造に際しての良品率を大幅に高めることが可能となる。
【0064】
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造装置は、第1,第2のグラビアロールと、第2のグラビアロールを軸方向に移動させる移動装置と、第2のグラビアロールの隙間とシートが接触している期間を検出する検出装置とを有する。従って、本発明に係る製造方法に従って第1,第2のグラビア印刷工程を実施し得るため、第2のグラビア印刷に際してのグラビアロールの軸方向への位置ずれの補正が、導電ペースト及び段差解消用セラミックグリーンシートに歪みを生じさせることなく行われ得る。
【0065】
本発明のペースト印刷方法では、第2のグラビア印刷に際してのグラビアロールの軸方向への位置ずれの補正が、ペーストに歪みを生じさせることなく行われ得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例のグラビア印刷装置の概略構成図。
【図2】(a),(b)は第1,第2のグラビアロールを示す各斜視図。
【図3】第2のグラビアロール及び第2グラビアロールの回転角度を検出するための装置を説明するための略図的正面図。
【図4】本発明の一実施例において、導電ペースト及び段差解消用セラミックペーストが印刷された後の状態を示す模式的部分切欠平面図。
【図5】本発明の一実施例において、シートの搬送方向における位置ずれを補正するための装置を説明するための斜視図。
【図6】本発明の一実施例において、グラビアロールが回転する際にロータリーエンコーダーより発生するパルス信号と、第2のグラビアロールにより印刷するタイミングを得るためのセンサーの発生する信号のタイミングチャートを示す図。
【図7】本発明の一実施例が適用される積層セラミック電子部品の製造に際し、被印刷物としての複合シート上に導電ペースト及びセラミックペーストが印刷された状態を示す断面図。
【図8】図7に示した複合シートを用いて得られたマザーの積層体を示す断面図。
【図9】図8に示したマザーの積層体を用いて最終的に得られた積層セラミックコンデンサを示す断面図。
【図10】従来のグラビア印刷方法の問題点を説明するための部分切欠平面図。
【符号の説明】
1…積層セラミック電子部の製造装置
2…複合シート
3,4…第1,第2のグラビア印刷部
5…第1のグラビアロール
6…圧接ロール
7a…第1の印刷部
7b…セル
7c…第1の印刷マーク用印刷部
11…第2のグラビアロール
11a,11b…第2の印刷部
11c…第2の印刷マーク用印刷部
11d…溝
12…圧接ロール
21…移動装置
22…ロータリーエンコーダー
23…センサー
Claims (6)
- 軸方向に延びる所定の隙間をもって配置される印刷部が外周面に設けられた第1のグラビアロールと、第1のグラビアロールに圧接される第1の圧接ロールとの間にシートを供給して印刷部に充填されている導電ペーストまたは段差解消用セラミックペーストをシート上に印刷する1回目のグラビア印刷工程と、
前記1回目のグラビア印刷工程後に、軸方向に延びる所定の隙間をもって配置される印刷部が外周面に設けられた第2のグラビアロールと、第2のグラビアロールに圧接される第2の圧接ロールとの間にシートを供給して印刷部に充填されている段差解消用セラミックペーストまたは導電ペーストを、シート上の導電ペーストまたは段差解消用セラミックペーストの印刷されていない領域に印刷する2回目のグラビア印刷工程と、
前記シートを積層して積層体を得る工程と、
前記積層体の外表面に外部電極を形成する工程とを備え、
前記2回目のグラビア印刷工程を行うに際し、印刷された導電ペーストまたは段差解消用セラミックペーストのシート搬送方向に直交する方向のずれを検出し、第2のグラビアロールの前記隙間とシートが接触している間に、前記第2のグラビアロールをグラビアロール軸方向に移動させて、前記シート搬送方向に直交する方向のずれを補正することにより、導電ペースト及び段差解消用セラミックペーストが印刷されたシートを得る工程を有する、積層セラミック電子部品の製造方法。 - 前記隙間と前記シートが接触している期間の検出が、前記第2のグラビアロールの回転角度を検出することにより行われる、請求項1に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
- 前記隙間と前記シートが接触している期間の検出が、前記第2のグラビアロールに設けられた検出マークを検出することにより行われる、請求項1に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
- 前記2回目のグラビア印刷工程を行うに際し、前記シートのテンションを調整することにより、印刷された導電ペーストまたは段差解消用セラミックペーストのシート搬送方向のずれを補正する工程を備える、請求項1〜3のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法に用いられる積層セラミック電子部品の製造装置であって、
軸方向に延びる所定の隙間をもって配置される印刷部が外周面の周方向に形成された第1のグラビアロールと、該第1のグラビアロールに圧接される第1の圧接ロールとを有する第1のグラビア印刷部と、
軸方向に延びる所定の隙間をもって配置される印刷部が外周面の周方向に形成された第2のグラビアロールと、該第2のグラビアロールに圧接される第2の圧接ロールとを有する第2のグラビア印刷部と、
前記第2のグラビアロールを軸方向に移動させる移動装置と、
前記第2のグラビアロールの前記隙間と前記シートが接触している期間を検出するための検出装置とを備える、積層セラミック電子部品の製造装置。 - 軸方向に延びる所定の隙間をもって配置される印刷部が外周面に設けられた第1のグラビアロールと、第1のグラビアロールに圧接される第1の圧接ロールとの間にシートを供給して印刷部に充填されている第1のペーストをシート上に印刷する1回目のグラビア印刷工程と、
前記1回目のグラビア印刷工程後に、軸方向に延びる所定の隙間をもって配置される印刷部が外周面に設けられた第2のグラビアロールと、第2のグラビアロールに圧接される第2の圧接ロールとの間にシートを供給して印刷部に充填されている第2のペーストを、シート上の第1のペーストの印刷されていない領域に印刷する2回目のグラビア印刷工程と、
前記2回目のグラビア印刷工程を行うに際し、印刷された第1のペーストのシート搬送方向に直交する方向のずれを検出し、第2のグラビアロールの前記隙間とシートが接触している間に、前記第2のグラビアロールをグラビアロール軸方向に移動させて、前記シート搬送方向に直交する方向のずれを補正することにより、第2のペーストが印刷されたシートを得る工程を有する、ペースト印刷方法。
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