JP2005109296A - 積層セラミック電子部品の製造方法および輪転印刷機を用いた印刷方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 長尺のマザーセラミックグリーンシート上に導電性ペースト膜および段差吸収用セラミックペースト膜をグラビア印刷機を用いて印刷する場合において、供給方向でのずれを生じさせないようにする。
【解決手段】 第１の印刷部２３において導電性ペースト膜を印刷し、第２の印刷部２４において段差吸収用セラミックペースト膜を印刷するとき、第２の印刷部２４の直後に導電性ペースト膜と段差吸収用セラミックペースト膜との間のずれを測定し、これを補正するように、コンペンセータロール２９を移動させ、また、第２の印刷部２４の直前に第１の印刷部２３で印刷された導電性ペースト膜の印刷ピッチを測定し、この印刷ピッチと目標ピッチとが一致するように、第２の印刷部２４における印刷ロール４４の周速を変更する。
【選択図】 図４

Description

この発明は、積層セラミック電子部品の製造方法および輪転印刷機を用いた印刷方法に関するもので、特に、積層セラミック電子部品に備える内部導体膜のような構成要素膜を、輪転印刷機を用いた印刷によって、長尺シート上に形成する工程を備える、積層セラミック電子部品の製造方法、およびこのような積層セラミック電子部品の製造方法において適用される印刷方法に関するものである。

積層セラミック電子部品の一例としての積層セラミックコンデンサの製造方法に関して、長尺のキャリアフィルムによって裏打ちされた長尺のマザーセラミックグリーンシートを用意し、その後、輪転印刷機としてのグラビア印刷機を用いて、マザーセラミックグリーンシート上に、まず、内部導体膜となる導電性ペースト膜を形成し、次いで、導電性ペースト膜の厚みによる段差を吸収するための段差吸収用セラミックペースト膜を形成する、各工程を備えるものが知られている（たとえば、特許文献１参照）。

他方、一般的なグラビア印刷方法において、下流のユニットに供給または排出されるウェブの見当ずれを検出し、上流のユニットと下流のユニットとの間の経路長を、上記見当ずれを修正するように調節するとともに、経路長の調節が所定範囲を超える場合には、下流のユニットの駆動系の回転速度を調節することを特徴とする、見当制御方法が、たとえば特許文献２において提案されている。
特開平８−２５０３７０号公報 特開平１１−２８８０５号公報

上述の特許文献２に記載の見当制御方法では、ウェブの供給方向の見当合わせは、より具体的には、コンペンセータロールを移動させ、それによって経路長を修正することによって行なわれている。しかしながら、ウェブが、特許文献１に記載のキャリアフィルムによって裏打ちされたマザーセラミックグリーンシートのように、伸びやすいシートである場合には、高精度での見当合わせが困難である。また、先刷りおよび追刷りというように２段階の印刷工程が実施される場合には、ウェブにおいて塑性変形が生じたとき、先刷り時のウェブの伸びを後刷り時に再現することが困難であり、この場合にも、高精度での見当合わせが困難である。

また、特許文献２に記載された見当制御方法では、コンペンセータロールの移動による経路長の調節可能な量が限界に達した場合にのみ、下流のユニットの駆動系の回転速度を調節することを行なっている。他方、上述のように、ウェブが伸びやすいシートである場合には、見当合わせを行なうにあたって、経路長の調節のためのコンペンセータロールの移動方向が常に一定になるため、この移動のストロークエンドに直ぐに達してしまい、連続運転が不可能になってしまう。

このようなことから、特許文献１に記載のキャリアフィルムによって裏打ちされたマザーセラミックグリーンシートのような伸びやすいシートを印刷の対象とする場合、特許文献２に記載されたような見当制御方法が必ずしも適しているとは言えない。

そこで、この発明の目的は、上述のような問題を解決し得る、積層セラミック電子部品の製造方法を提供しようとすることである。

この発明の他の目的は、より一般的に、上述のような問題を解決し得る、グラビア印刷機のような輪転印刷機を用いた印刷方法を提供しようとすることである。

この発明は、積層セラミック電子部品のための少なくとも第１および第２の構成要素膜が形成された長尺のマザーセラミックグリーンシートを作製する、マザーセラミックグリーンシート作製工程と、マザーセラミックグリーンシートを複数個の所定領域毎にそれぞれカットし、それによって、所定サイズの複数枚のセラミックグリーンシートを取り出す、カット工程と、複数枚のセラミックグリーンシートを積み重ねる、積層工程とを備える、積層セラミック電子部品の製造方法にまず向けられる。このような積層セラミック電子部品の製造方法において、上述した技術的課題を解決するため、次のような構成を備えることを特徴としている。

上記マザーセラミックグリーンシート作製工程は、第１の印刷工程と、第２の印刷工程と、ずれ補正工程と、ピッチ補正工程とを備えている。

第１の印刷工程では、画線部が外周面上に設けられた第１の印刷ロールとこの第１の印刷ロールに圧接する第１の圧接ロールとを用い、第１の印刷ロールと第１の圧接ロールとの間にマザーセラミックグリーンシートを供給することによって、画線部に付与されている印刷ペーストをマザーセラミックグリーンシート上に印刷して第１の構成要素膜を形成することが行なわれる。

第２の印刷工程では、画線部が外周面上に設けられた第２の印刷ロールとこの第２の印刷ロールに圧接する第２の圧接ロールとを用い、第２の印刷ロールと第２の圧接ロールとの間に第１の印刷工程が実施された後のマザーセラミックグリーンシートを供給することによって、画線部に付与されている印刷ペーストをマザーセラミックグリーンシート上に印刷して第２の構成要素膜を形成することが行なわれる。

ずれ補正工程は、マザーセラミックグリーンシートの供給方向での第１および第２の構成要素膜間のずれを補正するために実施されるものである。このずれ補正工程は、第２の印刷工程の直後に第１および第２の構成要素膜間のずれを測定するためのずれ測定工程と、ずれ測定工程で測定されたずれを補正するように、第２の印刷工程の前にあるマザーセラミックグリーンシートの経路長を変更するための経路長変更工程とを備えている。

ピッチ補正工程は、マザーセラミックグリーンシートの供給方向での第１の印刷工程の印刷ピッチと第２の印刷工程の印刷ピッチとを一致させるように補正するために実施されるものである。ピッチ補正工程は、第２の印刷工程の直前に第１の印刷工程の印刷ピッチを測定するためのピッチ測定工程と、ピッチ測定工程で測定された印刷ピッチと目標ピッチとが一致するように、第２の印刷ロールの周速を変更するための周速変更工程とを備えている。

上述した目標ピッチは、予め設定しておいた値を用いてもよいが、好ましくは、次のように決定される。すなわち、ずれ補正工程およびピッチ補正工程を実施しない状態で、第２の印刷工程を複数回実施しながら、各回の第２の印刷工程の直後に第１および第２の構成要素膜間のずれを測定することによって、１回の印刷工程あたりの当該ずれの変化量を求める工程と、第２の印刷工程の直前に第１の印刷工程の印刷ピッチを測定する工程とがさらに実施され、これらの工程によって得られた第１の印刷工程の印刷ピッチにずれの変化量を考慮することによって、目標ピッチが決定される。

第１の印刷工程と第２の印刷工程とは、１つの印刷機において連続的に実施されてもよいが、第１の印刷工程を終えた後のマザーセラミックグリーンシートが、巻取りロールに巻き取られ、第２の印刷工程が、巻取りロールから引き出されたマザーセラミックグリーンシートに対して実施される場合において、この発明が特に有利に適用される。

第１の印刷工程において、第１の構成要素膜との位置関係が一定の第１のレジスタマークが印刷され、第２の印刷工程において、第２の構成要素膜との位置関係が一定の第２のレジスタマークが印刷され、前述したずれ測定工程において、第１および第２のレジスタマーク間のずれを測定することによって、第１および第２の構成要素膜間のずれが求められることが好ましい。

上述の第１のレジスタマークは、マザーセラミックグリーンシートの供給方向における前方側および後方側にそれぞれ印刷され、ピッチ測定工程において、前方側および後方側の第１のレジスタマーク間の距離を測定することによって、第１の印刷工程の印刷ピッチが求められることが好ましい。

なお、第１の印刷工程において、上記第１のレジスタマークとは別に、第１の構成要素膜との位置関係が一定の第１および第２のピッチ測定用マークがマザーセラミックグリーンシートの供給方向における前方側および後方側にそれぞれ印刷され、前述したピッチ測定工程において、第１および第２のピッチ測定用マーク間の距離を測定することによって、第１の印刷工程の印刷ピッチが求められてもよい。

この発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法において、第１および第２の印刷工程においてそれぞれ印刷される第１および第２の構成要素膜は、積層セラミック電子部品の製造方法において、互いに位置合わせされた状態で形成されるべきものであれば、どのような構成要素膜であってもよい。

第１の例として、第１の構成要素膜は、導電性ペースト膜および導電性ペースト膜の厚みによる段差を吸収するための段差吸収用セラミックペースト膜のいずれか一方であり、第２の構成要素膜は、導電性ペースト膜および段差吸収用セラミックペースト膜のいずれか他方である。

第２の例として、第１の構成要素膜は、第１の導電性ペースト膜および第１の導電性ペースト膜の厚みによる段差を吸収するための第１の段差吸収用セラミックペースト膜の双方であり、第２の構成要素膜は、第１の導電性ペースト膜および第１の段差吸収用セラミックペースト膜の上に第２のマザーセラミックグリーンシートを介して形成される第２の導電性ペースト膜および第２の導電性ペースト膜の厚みによる段差を吸収するための第２の段差吸収用セラミックペースト膜の双方である。この場合、第１の印刷工程の後であって、第２の印刷工程の前に、第２のマザーセラミックグリーンシートを第１の導電性ペースト膜および第１の段差吸収用セラミックペースト膜の上に配置する工程をさらに備えることになる。

なお、上述の第１および第２の構成要素膜についての例からわかるように、第１の構成要素膜を印刷するための「第１の印刷工程」の用語と第２の構成要素膜を印刷するための「第２の印刷工程」の用語とは、互いに他の印刷工程との間で区別するために用いられるものである。したがって、上記第２の例の場合には、第１の導電性ペースト膜および第１の段差吸収用セラミックペースト膜のいずれか一方を印刷する工程を「第１の印刷工程」と定義し、いずれか他方を印刷する工程を「第２の印刷工程」と定義しながらも、これら第１の導電性ペースト膜および第１の段差吸収用セラミックペースト膜の双方を印刷するための工程を再び「第１の印刷工程」と定義し、第２の導電性ペースト膜および第２の段差吸収用セラミックペースト膜の双方を印刷するための工程を再び「第２の印刷工程」と定義することもある。

前述した第２のマザーセラミックグリーンシートを配置する工程は、好ましくは、第１の導電性ペースト膜および第１の段差吸収用セラミックペースト膜を形成している第１のマザーセラミックグリーンシートを第１のキャリアフィルムによって裏打ちした状態とし、かつ第２のマザーセラミックグリーンシートを第２のキャリアフィルムによって裏打ちした状態としながら、第１および第２のキャリアフィルムをそれぞれ外側に向けた状態で、第１の導電性ペースト膜および第１の段差吸収用セラミックペースト膜と第２のマザーセラミックグリーンシートとを互いに接触させる接触工程と、第１および第２のキャリアフィルム間に熱圧着作用を及ぼす熱圧着工程と、次いで、第２のマザーセラミックグリーンシートから第２のキャリアフィルムを剥離する剥離工程とを備えている。

上述の熱圧着工程は、接触工程の実施によって得られた、第１および第２のキャリアフィルムをそれぞれ外側に向けかつ第１の導電性ペースト膜および第１の段差吸収用セラミックペースト膜と第２のマザーセラミックグリーンシートとを互いに接触させた状態にある長尺複合構造物を、加熱された加熱ロールと加熱ロールに圧接する加熱されない非加熱ロールとの間に供給する工程を備え、長尺複合構造物は、非加熱ロールの外周面の所定の範囲において接するが、加熱ロールの外周面には非加熱ロールとのニップ部分においてのみ接するように案内されることが好ましい。

この発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法において、第１および第２の印刷工程は、グラビア印刷によって実施されることが好ましい。

この発明は、また、上述した積層セラミック電子部品の製造方法に向けられる発明の主要部をなす、より一般的な輪転印刷機を用いた印刷方法にも向けられる。

この発明に係る輪転印刷機を用いた印刷方法は、第１の印刷工程と、第２の印刷工程と、ずれ補正工程と、ピッチ補正工程とを備えている。

第１の印刷工程は、画線部が外周面上に設けられた第１の印刷ロールと第１の印刷ロールに圧接する第１の圧接ロールとを用い、第１の印刷ロールと第１の圧接ロールとの間に長尺シートを供給することによって、画線部に付与されている印刷ペーストを長尺シート上に印刷して第１の印刷膜を形成するために実施されるものである。

第２の印刷工程は、画線部が外周面上に設けられた第２の印刷ロールと第２の印刷ロールに圧接する第２の圧接ロールとを用い、第２の印刷ロールと第２の圧接ロールとの間に第１の印刷工程が実施された後の長尺シートを供給することによって、画線部に付与されている印刷ペーストを長尺シート上に印刷して第２の印刷膜を形成するために実施されるものである。

ずれ補正工程は、長尺シートの供給方向での第１および第２の印刷膜間のずれを補正するために実施されるものである。ずれ補正工程は、第２の印刷工程の直後に第１および第２の印刷膜間のずれを測定するためのずれ測定工程と、ずれ測定工程で測定されたずれを補正するように、第２の印刷工程の前にある長尺シートの経路長を変更するための経路長変更工程とを備えている。

ピッチ補正工程は、長尺シートの供給方向での第１の印刷工程の印刷ピッチと第２の印刷工程の印刷ピッチとを一致させるように補正するために実施されるものである。ピッチ補正工程は、第２の印刷工程の直前に第１の印刷工程の印刷ピッチを測定するためのピッチ測定工程と、ピッチ測定工程で測定された印刷ピッチと目標ピッチとが一致するように、第２の印刷ロールの周速を変更するための周速変更工程とを備える。

上述した輪転印刷機は、好ましくは、グラビア印刷機である。

まず、この発明に係る輪転印刷機を用いた印刷方法によれば、長尺シートの供給方向での第１の印刷工程の印刷ピッチと第２の印刷工程の印刷ピッチとを一致させるように補正するためのピッチ補正工程が、第２の印刷ロールの周速を変更することによって実施された上で、長尺シートの供給方向での第１および第２の印刷膜間のずれを補正するためのずれ補正工程が、第２の印刷工程の前にある長尺シートの経路長を変更することによって実施されるので、第１および第２の印刷膜間で高精度の見当合わせすなわち位置合わせを行なうことができる。

また、ピッチ補正工程によって比較的大きな位置ずれが補正されるため、ずれ補正工程で補正されるべき位置ずれ量を比較的小さくすることができる。そのため、ずれ補正工程において長尺シートの経路長を変更するため、たとえばコンペンセータロールを移動させる場合には、運転動作中にコンペンセータロールがストロークエンドに頻繁に達することがないため、連続運転を妨げる要因を低減することができる。

また、ピッチ補正工程およびずれ補正工程といった２段階での位置ずれ補正を行なうため、長尺シートとして、伸びやすい材質のものが用いられても、高精度の位置合わせを行なうことができる。

このようなことから、長尺シートが長尺のマザーセラミックグリーンシートであり、印刷膜が導電性ペースト膜や段差吸収用セラミックペースト膜のような構成要素膜である、積層セラミック電子部品の製造方法において、この発明に係る印刷方法が適用されたとき、上述した効果をより顕著に発揮させることができる。

この発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法において、ずれ補正工程およびピッチ補正工程を実施しない状態で、第２の印刷工程を複数回実施しながら、各回の第２の印刷工程の直後に第１および第２の構成要素膜間のずれを測定することによって、１回の第２の印刷工程あたりの当該ずれの変化量を求め、第２の印刷工程の直前に第１の印刷工程の印刷ピッチを測定し、これら測定されまたは求められた第１の印刷工程の印刷ピッチにずれの変化量を考慮することによって、目標ピッチが決定されると、より正確に目標ピッチを決定することができる。

第１の印刷工程を終えた後のマザーセラミックグリーンシートを巻取りロールに巻き取り、第２の印刷工程を、巻取りロールから引き出されたマザーセラミックグリーンシートに対して実施する場合には、第２の印刷工程での位置合わせを高精度に行なうことが比較的困難であったが、この発明によれば、第２の印刷工程での位置合わせを高精度に行なうことが容易になる。

第１の印刷工程において、第１の構成要素膜との位置関係が一定の第１のレジスタマークを印刷し、第２の印刷工程において、第２の構成要素膜との位置関係が一定の第２のレジスタマークを印刷し、ずれ測定工程において、第１および第２のレジスタマーク間のずれを測定することによって、第１および第２の構成要素膜間のずれを求めるようにすれば、ずれ測定工程でのずれ測定をより容易に行なうことができる。

上述の第１のレジスタマークが、マザーセラミックグリーンシートの供給方向における前方側および後方側にそれぞれ印刷され、ピッチ測定工程において、前方側および後方側の第１のレジスタマーク間の距離を測定することによって、第１の印刷工程の印刷ピッチが求めるようにすれば、印刷ピッチをより容易に求めることができるとともに、第１のレジスタマークの多機能化を図ることができる。

なお、上述の方法に代えて、第１の印刷工程において、上述の第１のレジスタマークとは別に、第１の構成要素膜との位置関係が一定の第１および第２のピッチ測定用マークをマザーセラミックグリーンシートの供給方向における前方側および後方側にそれぞれ印刷し、ピッチ測定工程において、第１および第２の位置合わせマーク間の距離を測定することによって、第１の印刷工程の印刷ピッチが求めるようにしても、印刷ピッチをより容易に求めることができる。

この発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法が、第１の構成要素膜および第１の段差吸収用セラミックペースト膜を第１の印刷工程において印刷し、第１の導電性ペースト膜および第１の段差吸収用セラミックペースト膜の上に第２のマザーセラミックグリーンシートを介して第２の導電性ペースト膜および第２の段差吸収用セラミックペースト膜を第２の印刷工程において形成する場合に適用されるとき、第２のマザーセラミックグリーンシートを第１の導電性ペースト膜および第１の段差吸収用セラミックペースト膜の上に配置するため、第１の導電性ペースト膜および第１の段差吸収用セラミックペースト膜を形成している第１のマザーセラミックグリーンシートを第１のキャリアフィルムによって裏打ちした状態とし、かつ第２のマザーセラミックグリーンシートを第２のキャリアフィルムによって裏打ちした状態としながら、第１および第２のキャリアフィルムをそれぞれ外側に向けた状態で、第１の導電性ペースト膜および第１の段差吸収用セラミックペースト膜と第２のマザーセラミックグリーンシートとを互いに接触させる接触工程と、第１および第２のキャリアフィルム間に熱圧着作用を及ぼす熱圧着工程と、次いで、第２のマザーセラミックグリーンシートから第２のキャリアフィルムを剥離する剥離工程とを実施するようにすれば、第２のマザーセラミックグリーンシートを所望のごとく配置することが容易である。

上述の熱圧着工程において、接触工程の実施によって得られた、第１および第２のキャリアフィルムをそれぞれ外側に向けかつ第１の導電性ペースト膜および第１の段差吸収用セラミックペースト膜と第２のマザーセラミックグリーンシートとを互いに接触させた状態にある長尺複合構造物を、加熱された加熱ロールと加熱ロールに圧接する加熱されない非加熱ロールとの間に供給する工程を実施しながら、長尺複合構造物を、非加熱ロールの外周面の所定の範囲において接するが、加熱ロールの外周面には非加熱ロールとのニップ部分においてのみ接するように案内すれば、第１の導電性ペースト膜および第１の段差吸収用セラミックペースト膜と第２のマザーセラミックグリーンシートとの間で良好な熱圧着状態を得ることができるとともに、加熱ロールによる加熱が第１および第２のキャリアフィルムに長時間及ぼされ、これらキャリアフィルムが不所望に変形してしまうことを有利に防止することができる。

第１および第２の印刷工程において、グラビア印刷が適用される場合には、高いパターン精度および薄い膜厚をもって、構成要素膜を形成することができるので、前述した高精度の位置合わせが得られる効果がより顕著に発揮されることになる。

図１は、この発明の一実施形態による製造方法を適用して製造される積層セラミック電子部品の一例としての積層セラミックコンデンサ１を図解的に示す断面図である。

積層セラミックコンデンサ１は、焼結体としての積層体２を備えている。積層体２は、積層された複数のセラミック層３と、セラミック層３間の特定の界面に沿って形成された内部導体膜４および５とをもって構成される。

積層体２の相対向する端部には、それぞれ、外部電極６および７が形成されている。一方の外部電極６には、内部導体膜４が電気的に接続され、他方の外部電極７には、内部導体膜５が電気的に接続される。そして、内部導体膜４と内部導体膜５とは、積層方向に交互に配置されている。

このような積層セラミックコンデンサ１に備える積層体２を製造するため、図２および図３にそれぞれ示した工程が実施される。

まず、図２を参照して、たとえばポリエチレンテレフタレートからなる長尺のキャリアフィルム８が用意され、その上に、長尺の第１のマザーセラミックグリーンシート９が形成される。マザーセラミックグリーンシート９上には、第１の導電性ペースト膜１０および第１の導電性ペースト膜１０の厚みによる段差を吸収するための第１のセラミックペースト膜１１が形成される。

これら導電性ペースト膜１０および段差吸収用セラミックペースト膜１１上には、長尺の第２のマザーセラミックグリーンシート１２が形成される。マザーセラミックグリーンシート１２上には、第２の導電性ペースト膜１３および第２の導電性ペースト膜１３の厚みによる段差を吸収するための第２の段差吸収用セラミックペースト膜１４が形成される。

次に、上述したキャリアフィルム８上にあるマザーセラミックグリーンシート９および１２を含む４層複合構造物１５が、複数個の所定領域毎にそれぞれカットされる。このカットを実施するためのカット線１６が、図２において、１点鎖線で示されている。

次に、カット線１６によって囲まれた複数個の領域の各々にある４層複合構造物１５が、図３に示すように取り出される。なお、カット後の４層複合構造物１５の取り出しを容易にするため、キャリアフィルム８には、離型層が形成されていることが好ましい。カット後の４層複合構造物１５は、第１および第２のマザーセラミックグリーンシート９および１２の各々の一部によって与えられた所定サイズのセラミックグリーンシート９ａおよび１２ａを含んでいる。

次に、複数個の４層複合構造物１５を、図３において矢印１７で示すように、積み重ねかつ圧着する、積層工程が実施される。この積層工程を必要回数繰り返すことによって、生のマザー積層体１８が得られる。生のマザー積層体１８は、図３において１点鎖線で示した分割線１９に沿って分割される。その結果、複数個の生の積層体チップ２０が得られる。

生の積層体チップ２０は、これを焼成することによって、図１に示した焼結後の積層体２となるものである。すなわち、生の積層体チップ２０に備えるセラミックグリーンシート９ａおよび１２ａは、焼結後において、セラミック層３となり、導電性ペースト膜１０および１３は、焼結後において、内部導体膜４または５となる。また、段差吸収用セラミックペースト膜１１および１４は、導電性ペースト膜１０および１３すなわち焼結後の内部導体膜４および５の厚みによる段差を吸収するように作用し、焼結後においては、セラミック層３と一体化される。

次に、上述のような焼結後の積層体２の各端部に外部電極６および７が形成されることによって、積層セラミックコンデンサ１が完成される。

上述したような積層体２を製造する、特に、図２に示した４層複合構造物１５を製造するため、図４ないし図１１を参照しながら以下に説明するような各工程が実施される。

図４には、輪転印刷機の一例としての第１のグラビア印刷機２１が示されている。第１のグラビア印刷機２１では、後で詳述するように、図２に示した第１のキャリアフィルム８によって裏打ちされた状態にある第１のマザーセラミックグリーンシート９が取り扱われ、第１のマザーセラミックグリーンシート９上に、第１の導電性ペースト膜１０および第１の段差吸収用セラミックペースト膜１１を印刷することが行なわれる。

まず、一般的に説明すると、グラビア印刷機２１では、長尺シートＡが第１の巻取りロール２２から引き出され、第１の印刷部２３を通過した後では、長尺シートＡ上に第１の構成要素膜が形成された状態にある長尺シートＢとなり、次に、第２の印刷部２４を通過した後では、長尺シートＢ上にさらに第２の構成要素膜が形成された状態にある長尺シートＣとなり、最終的に、長尺シートＣが第２の巻取りロール２５に巻き取られる。このような長尺シートＡないしＣの供給方向２６が矢印で示されている。

供給方向２６における第１の印刷部２３の下流側には、第１の乾燥炉２７が配置され、第１の印刷部２３において印刷された第１の構成要素膜が乾燥される。また、第２の印刷部２４の下流側には、第２の乾燥炉２８が配置され、第２の印刷部２４において印刷された第２の構成要素膜が乾燥される。

また、第１の印刷部２３と第２の印刷部２４との間には、長尺シートＢを巻掛けする状態でコンペンセータロール２９が配置される。コンペンセータロール２９の上流側および下流側には、それぞれ、ガイドロール３０および３１が配置される。コンペンセータロール２９は、両方向矢印３２で示すように上下方向に移動するように構成され、他方、ガイドロール３０および３１は固定的に位置される。

コンペンセータロール２９は、両方向矢印３２方向への移動によって、第１の印刷部２３と第２の印刷部２４との間での長尺シートＢの経路長を変更するもので、これによって、供給方向２６での第１および第２の構成要素膜間のずれを補正するように作用する。

コンペンセータロール２９の上述した移動は、コンペンセータロール制御装置３３によって制御される。より詳細には、コンペンセータロール制御装置３３は、第２の印刷部２４の直ぐ下流側に設けられたずれ測定用カメラ３４によって撮像された画像を処理することによって、第１および第２の構成要素膜間のずれを測定し、この測定されたずれを補正するように、コンペンセータロール２９を移動させる。ずれ測定用カメラ３４による撮影開始のタイミングは、ずれ測定用カメラ３４の上流側に配置されたトリガセンサ３５からのトリガ信号によって与えられる。

図５には、第１の印刷部２３が拡大されて示されている。第１の印刷部２３は、第１の印刷ロール３６とこの第１の印刷ロール３６に圧接する第１の圧接ロール３７とを備えている。長尺シートＡは、これら印刷ロール３６と圧接ロール３７との間に供給される。そして、印刷ロール３６および圧接ロール３７は、それぞれ、矢印３８および３９方向に回転し、それによって、長尺シートＡは、前述した供給方向２６に搬送される。

第１の印刷ロール３６は、タンク４０に収容された印刷ペースト４１内に浸漬され、それによって、印刷ロール３６の外周面上に設けられた画線部４２（図５において、その一部が概略的に図示されている。）に印刷ペースト４１が付与される。印刷ロール３６の外周面上の余分な印刷ペースト４１は、ドクターブレード４３によって掻き取られる。

第２の印刷部２４は、詳細な図示を省略するが、第１の印刷部２３と実質的に同様の構成を有していて、第２の印刷ロール４４および第２の圧接ロール４５を備えている。

第２の印刷ロール４４の周速は、図４に示すように、印刷ロール制御装置４６によって制御される。より詳細には、印刷ロール制御装置４６は、第２の印刷部２４の直ぐ上流側において供給方向２６に並ぶように設けられた２個のピッチ測定用カメラ４７および４８によって撮像された画像を処理することによって、第１の印刷部２３で印刷された第１の構成要素膜の印刷ピッチを測定し、この測定された印刷ピッチと目標ピッチとが一致するように、第２の印刷ロール４４の周速を変更する。ピッチ測定用カメラ４７および４８による撮影開始のタイミングは、ピッチ測定用カメラ４７および４８の上流側に配置されたトリガセンサ４９からのトリガ信号によって与えられる。

以上のような構成を備える第１のグラビア印刷機２１を用いて、まず、図２に示す２層複合構造物５０、すなわち、第１のキャリアフィルム８によって裏打ちされた状態にある第１のマザーセラミックグリーンシート９上に、第１の導電性ペースト膜１０および第１の段差吸収用セラミックペースト膜１１が印刷されたものが、次のようにして作製される。

図４を参照して、長尺シートＡとして、長尺のキャリアフィルム８によって裏打ちされた長尺の第１のマザーセラミックグリーンシート９が用いられる。そして、第１の印刷部２３は、第１の導電性ペースト膜１０を印刷するために用いられ、したがって、印刷ペースト４１としては、導電性ペーストが用いられる。このようにして、第１の印刷部２３を通過した長尺シートＢは、キャリアフィルム８によって裏打ちされた第１のマザーセラミックグリーンシート９上に第１の導電性ペースト１０を形成した状態となっている。

なお、導電性ペースト膜１０の印刷状態からわかるように、長尺シートＡは、マザーセラミックグリーンシート９を第１の印刷ロール３６側に向けた状態で供給される。

上述した第１の導電性ペースト膜１０が図６に平面図で示されている。図６において、第１のマザーセラミックグリーンシート９の一方側縁には、第１のレジスタマーク５１およびトリガマーク５２が図示されている。トリガマーク５２の各々は、第１のレジスタマーク５１の各々の、供給方向２６における前方側に配置されている。第１のレジスタマーク５１およびトリガマーク５２の各々は、たとえば、第１の印刷ロール３６が１回転する毎に１つずつ印刷され、したがって、一定の周期で、第１の導電性ペースト膜１０と同時に印刷される。その結果、第１のレジスタマーク５１およびトリガマーク５２と第１の導電性ペースト膜１０との位置関係は一定である。

上述のようにして、第１の導電性ペースト膜１０が形成された第１のマザーセラミックグリーンシート９を含む長尺シートＢは、第１の乾燥炉２７およびコンペンセータロール２９を経て、第２の印刷部２４に至る。

第２の印刷部２４では、印刷ペーストとしてセラミックペーストが用いられ、図６に示すように、第１の段差吸収用セラミックペースト膜１１が、第１のマザーセラミックグリーンシート９上の導電性ペースト膜１０が形成されていない領域上に形成される。

また、図６に示すように、第１のマザーセラミックグリーンシート９の一方側縁上であって、第１のレジスタマーク５１の各々の近傍に、第２のレジスタマーク５３が一定の周期で設けられる。第２のレジスタマーク５３は、第２の印刷部２４において、第１の段差吸収用セラミックペースト膜１１と同時に印刷されるものであり、第１の段差吸収用セラミックペースト膜１１との位置関係が一定である。

このように、第２の印刷部２４を通過した長尺シートＣは、図６に示すように、第１の導電性ペースト膜１０および第１の段差吸収用セラミックペースト膜１１を形成した第１のマザーセラミックグリーンシート９を含んでおり、図２に示した２層複合構造物５０を与えている。

次に、このような長尺シートＣは、第２の乾燥炉２８を通過した後、第２の巻取りロール２５に巻き取られる。

以上のようなグラビア印刷機２１による印刷において、次のようにして、目標ピッチの決定、ピッチ補正およびずれ補正がそれぞれ実施される。

まず、目標ピッチの決定のため、コンペンセータロール制御装置３３によるコンペンセータロール２９の制御および印刷ロール制御装置４６による第２の印刷ロール４４の制御を実施しない状態で、印刷が開始される。そして、第１の印刷部２３において印刷されたトリガマーク５２がトリガセンサ３５を通過したとき、ずれ測定用カメラ３４の撮影トリガが与えられ、第１および第２の印刷部２３および２４でそれぞれ印刷された第１および第２のレジスタマーク５１および５３が撮像される。この撮像された画像を処理することによって、印刷初期の位置ずれが測定される。

このような位置ずれを、数ショットないし数１０ショットの間、測定し、１ショットあたりの当該ずれの変化量が求められる。この変化量は、第１の印刷部２３と第２の印刷部２４との間での印刷ピッチの差Ｄ１となる。

他方、トリガマーク５２がトリガセンサ４９を通過したとき、ピッチ測定用カメラ４７および４８の撮影トリガが与えられ、前方側および後方側の第１のレジスタマーク５１が同時に撮像される。この撮像された画像を処理することによって、第１の印刷部２３での印刷ピッチＰ１が求められる。

そして、このようにして求められた印刷ピッチＰ１に、上述の印刷ピッチの差Ｄ１を考慮することによって、第２の印刷部２４での目標ピッチＰ２が決定される。

なお、目標ピッチＰ２としては、上述のような測定結果により求めるのではなく、予め設定しておいた値を用いてもよい。

次に、ピッチ補正のため、第１の印刷部２３において印刷されたトリガマーク５２がトリガセンサ４９を通過したとき、ピッチ測定用カメラ４７および４８に撮影トリガが与えられる。その結果、ピッチ測定用カメラ４７および４８によって、前方側および後方側の第１のレジスタマーク５１が同時に撮像され、得られた画像が保存され、次いで処理されることによって、第１の印刷部２３における印刷ピッチＸが求められる。そして、この印刷ピッチＸと前述の目標ピッチＰ２とが比較され、これらが一致するように、第２の印刷ロール４４の周速が変更される。すなわち、Ｘ＜Ｐ２の場合には、第２の印刷ロール４４の周速が上げられ、Ｘ＞Ｐ２の場合には、周速が下げられる。

ずれ補正のため、第１の印刷部２３において印刷されたトリガマーク５２がトリガセンサ３５を通過したとき、ずれ測定用カメラ３４に撮影トリガが与えられ、第１および第２の印刷部２３および２４においてそれぞれ印刷された第１および第２のレジスタマーク５１および５２が撮像される。この撮像された画像を、コンペンセータロール制御装置３３において処理することによって、ずれが測定される。そして、このずれを補正するように、コンペンセータロール２９の位置が調整され、それによって、長尺シートＢの経路長が変更される。

以上のようにして、第２の巻取りロール２５に巻き取られた長尺シートＣは、図２に示した２層複合構造物５０を与えている。

次に、この２層複合構造物５０上に第２のマザーセラミックグリーンシート１２を配置した状態にある３層複合構造物５４を得るため、図７および図８を参照して説明するような工程が実施される。ここで、図７は、３層複合構造物５４を得るための工程を実施している状態を示す正面図であり、図８は、図７の線ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩに沿う拡大断面図である。図７において、矢印２６は供給方向を示している。

図８によく示されているように、２層複合構造物５０、すなわち第１の導電性ペースト膜１０および第１の段差吸収用セラミックペースト膜１１を形成している第１のマザーセラミックグリーンシート９は、第１のキャリアフィルム８によって裏打ちされた状態である。他方、第２のマザーセラミックグリーンシート１２は、第２のキャリアフィルム５５によって裏打ちされた状態で用意される。

これら２層複合構造物５０および第２のマザーセラミックグリーンシート１２は、第１および第２のキャリアフィルム８および５５をそれぞれ外側に向けた状態で、図７に示すように、ガイドロール５６の外周面に沿って案内される。これによって、図８において矢印５７で示すように、第１の導電性ペースト膜１０および第１の段差吸収用セラミックペースト膜１１と第２のマザーセラミックグリーンシート１２とを互いに接触させる接触工程が実施される。

次に、上述のように、第１および第２のキャリアフィルム８および５５をそれぞれ外側に向けかつ第１の導電性ペースト膜１０および第１の段差吸収用セラミックペースト膜１１と第２のマザーセラミックグリーンシート１２とを互いに接触させた状態にある長尺複合構造物５８は、たとえば１００℃程度の温度に加熱された加熱ロール５９と加熱ロール５９に圧接する加熱されないたとえば樹脂からなる非加熱ロール６０との間に供給される。これによって、第１および第２のキャリアフィルム８および５５間に熱圧着作用を及ぼす熱圧着工程が実施される。この熱圧着工程の結果、第１および第２のキャリアフィルム８および５５間には、目的とする３層複合構造物５４が形成されている。

次に、熱圧着工程を終えた長尺複合構造物５８のうち、第２のキャリアフィルム５５を除いて、第１のキャリアフィルム８および３層複合構造物５４が、ガイドロール６１の外周面に沿って案内される。これによって、長尺複合構造物５８に含まれる第２のマザーセラミックグリーンシート１２から第２のキャリアフィルム５５が剥離される。

図７によく示されているように、ガイドロール５６および６１は、加熱ロール５９と非加熱ロール６０とのニップ部分６２より下方に位置している。したがって、長尺複合構造物５８は、非加熱ロール６０の外周面の所定の範囲において接するが、加熱ロール５９の外周面にはニップ部分６２においてのみ接するように案内される。

このような構成を採用することにより、長尺複合構造物５８における第１の導電性ペースト膜１０および第１の段差吸収用セラミックペースト膜１１と第２のマザーセラミックグリーンシート１２とを比較的長い時間にわたって接触させることができるので、これらの間で良好な熱圧着状態を得ることができる。また、これに加えて、加熱ロール５９による加熱が第１および第２のキャリアフィルム８および５５に長時間及ぼされることを防止でき、そのため、これらキャリアフィルム８および５５が熱によって不所望にも変形してしまうことを有利に防止することができる。

図７に示した工程を終えて得られた第１のキャリアフィルム８によって裏打ちされた３層複合構造物５４は、たとえば巻取りロール６３（図１０参照）に巻き取られる。

図９は、図７に示した構成の変形例を示している。図９において、図７に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。

図９に示した構成は、図７に示した構成に比べて、ガイドロール５６に対応する要素を備えず、より簡略化されている。より具体的には、加熱ロール５９および非加熱ロール６０のニップ部分６２より下方から、第１のキャリアフィルム８によって裏打ちされた２層複合構造物５０が供給され、他方、ニップ部分６２より上方から、第２のキャリアフィルム５５によって裏打ちされた第２のマザーセラミックグリーンシート１２が供給される。

次に、ニップ部分６２において、第１および第２のキャリアフィルム８および５５をそれぞれ外側に向けた状態で、２層複合構造物５０に含まれる第１の導電性ペースト膜１０および第１の段差吸収用セラミックペースト膜１１と第２のマザーセラミックグリーンシート１２とを互いに接触させる接触工程と、第１および第２のキャリアフィルム８および５５間に熱圧着作用を及ぼす熱圧着工程とが実施される。これによって、ニップ部分６２において、第１および第２のキャリアフィルム８および５５をそれぞれ外側に向けかつ第１の導電性ペースト膜１０および第１の段差吸収用セラミックペースト膜１１と第２のマザーセラミックグリーンシート１２とを互いに接触させた状態にある長尺複合構造物５８が得られる。

次に、ニップ部分６２を通過した後の長尺複合構造物５８に含まれる第２のマザーセラミックグリーンシート１２から第２のキャリアフィルム５５が剥離されるように、第２のキャリアフィルム５５のみがニップ部分６２より上方へ案内され、他方、第１のキャリアフィルム８によって裏打ちされた３層複合構造物５４がニップ部分６２より下方へ案内される。

図９に示した構成によれば、第１のキャリアフィルム８によって裏打ちされた２層複合構造物５０または３層複合構造物５４を、非加熱ロール６０の外周面に沿って比較的長い時間にわたって案内することができる。

以上説明した工程を終えたとき、図２に示した３層複合構造物５４が得られているが、この３層複合構造物５４上に、第２の導電性ペースト膜１３および第２の段差吸収用セラミックペースト膜１４を形成した状態にある４層複合構造物１５を得るため、図１０に示すような第２のグラビア印刷機６４が用いられる。なお、第２のグラビア印刷機６４は、図４に示した第１のグラビア印刷機２１と共通する要素を多く備えている。

まず、簡単に説明すると、第２のグラビア印刷機６４では、第１のキャリアフィルム８によって裏打ちされた３層複合構造物５４が第１の巻取りロール６３から引き出され、第１の印刷部６５を通過した後では、３層構造物５４に含まれる第２のマザーセラミックグリーンシート１２上に第２の導電性ペースト膜１３が形成された状態となり、次に、第２の印刷部６６を通過した後では、さらに第２の段差吸収用セラミックペースト膜１４が形成された状態にある４層複合構造物１５が得られる。そして、最終的に、４層複合構造物１５が、第１のキャリアフィルム８によって裏打ちされた状態で、第２の巻取りロール６７に巻き取られる。図１０において、矢印２６は供給方向を示している。

以下に、第２のグラビア印刷機６４の詳細について説明する。なお、第２のグラビア印刷機６４において、第１のグラビア印刷機２１に備える要素に対応する要素については、第１のグラビア印刷機２１について行なった説明を援用し、ここでの説明を省略することがある。

第１および第２の印刷部６５および６６は、図５を参照して説明したのと同様の構成を有している。第１の印刷部６５は、第１の印刷ロール６８と第１の圧接ロール６９とを備えている。第２の印刷部６６は、第２の印刷ロール７０と第２の圧接ロール７１とを備えている。

供給方向２６における第１の印刷部６５の下流側には、第１の乾燥炉７２が配置され、また、第２の印刷部６６の下流側には、第２の乾燥炉７３が配置されている。

供給方向２６における第１の印刷部６５の上流側には、キャリアフィルム８によって裏打ちされた３層複合構造物５４を巻き掛けする状態で第１のコンペンセータロール７４が、両方向矢印７５で示すように上下方向に移動するように配置される。第１のコンペンセータロール７４の上流側および下流側には、それぞれ、ガイドロール７６および７７が固定的に位置される。

第１のコンペンセータロール７４は、両方向矢印７５方向への移動によって、第１の印刷部６５の上流側での３層複合構造物５４の経路長を変更するもので、これによって、後で詳細に説明するように、供給方向２６での第１および第２の導電性ペースト膜１０および１３間のずれを補正するように作用する。

第１のコンペンセータロール７４の上述した移動は、第１のコンペンセータロール制御装置７８によって制御される。より詳細には、第１のコンペンセータロール制御装置７８は、第１の印刷部６５の直ぐ下流側に設けられた第１のずれ測定用カメラ７９によって撮像された画像を処理することによって、第１および第２の導電性ペースト膜１０および１３間のずれを測定し、この測定されたずれを補正するように、第１のコンペンセータロール７４を移動させる。第１のずれ測定用カメラ７９による撮影開始のタイミングは、第１のずれ測定用カメラ７９の上流側に配置されたトリガセンサ８０からのトリガ信号によって与えられる。

第１の印刷部６５と第２の印刷部６６との間には、第１のコンペンセータロール７４と同様の構成をもって、第２のコンペンセータロール８１が、両方向矢印８２で示すように上下方向に移動するように配置される。第２のコンペンセータロール８１の上流側および下流側には、それぞれ、ガイドロール８３および８４が固定的に位置される。

第２のコンペンセータロール８１は、両方向矢印８２方向への移動によって、第１の印刷部６５と第２の印刷部６６との間での３層複合構造物５４を含む長尺シートの経路長を変更するもので、これによって、後で詳細に説明するように、供給方向２６での第２の導電性ペースト膜１３と第２の段差吸収用セラミックペースト膜１４との間のずれを補正するように作用する。

第２のコンペンセータロール８１の上述した移動は、第２のコンペンセータロール制御装置８５によって制御される。より詳細には、第２のコンペンセータロール制御装置８５は、第２の印刷部６６の直ぐ下流側に設けられた第２のずれ測定用カメラ８６によって撮像された画像を処理することによって、第２の導電性ペースト膜１３と第２の段差吸収用セラミックペースト膜１４とのずれを測定し、この測定されたずれを補正するように、第２のコンペンセータロール８１を移動させる。第２のずれ測定用カメラ８６による撮影開始のタイミングは、第２のずれ測定用カメラ８６の上流側に配置されたトリガセンサ８７からのトリガ信号によって与えられる。

また、第１の印刷部６５に備える第１の印刷ロール６８の周速は、第１の印刷ロール制御装置８８によって制御される。より詳細には、第１の印刷ロール制御装置８８は、第１の印刷部６５の直ぐ上流側において供給方向２６に並ぶように設けられた２個の第１のピッチ測定用カメラ８９および９０によって撮像された画像を処理することによって、前述の第１のグラビア印刷機２１の第１の印刷部２３で印刷された第１の導電性ペースト膜１０の印刷ピッチを測定し、この測定された印刷ピッチと目標ピッチとが一致するように、第１の印刷ロール６８の周速を変更する。第１のピッチ測定用カメラ８９および９０による撮影開始のタイミングは、第１のピッチ測定用カメラ８９および９０の上流側に配置されたトリガセンサ９１からのトリガ信号によって与えられる。

他方、第２の印刷部６６における第２の印刷ロール７０の周速は、第２の印刷ロール制御装置９２によって制御される。より詳細には、第２の印刷ロール制御装置９２は、第２の印刷部６６の直ぐ上流側において供給方向２６に並ぶように設けられた２個の第２のピッチ測定用カメラ９３および９４によって撮像された画像を処理することによって、第１の印刷部６５で印刷された第２の導電性ペースト膜１３の印刷ピッチを測定し、この測定された印刷ピッチと目標ピッチとが一致するように、第２の印刷ロール７０の周速を変更する。第２のピッチ測定用カメラ９３および９４による撮影開始のタイミングは、第２のピッチ測定用カメラ９３および９４の上流側に配置されたトリガセンサ９５によって与えられる。

以上のような構成を備える第２のグラビア印刷機６４を用いて、図２に示した３層構造物５４に含まれる第２のマザーセラミックグリーンシート１２上に、第２の導電性ペースト膜１３および第２の段差吸収用セラミックペースト膜１４が印刷された４層複合構造物１５が、次のようにして作製される。

図１１には、第２のグラビア印刷機６４を用いて作製された４層複合構造物１５が平面図で示されている。

図１０および図１１を参照して、３層複合構造物５４が第１の印刷部６５を通過すると、３層複合構造物５４に含まれる第２のマザーセラミックグリーンシート１２上に第２の導電性ペースト膜１３が印刷される。この印刷と同時に、第２のマザーセラミックグリーンシート１２の一方側縁には、第３のレジスタマーク９６が印刷される。第３のレジスタマーク９６は、たとえば、第１の印刷ロール６８が１回転する毎に１つずつ印刷され、したがって、一定の周期であって、第２の導電性ペースト膜１３との位置関係が一定である。

なお、図１１において、前述の第１のグラビア印刷機２１によって印刷された第１および第２のレジスタマーク５１および５３ならびにトリガマーク５２が破線で示されている。これらレジスタマーク５１および５３ならびにトリガマーク５２は、第２のマザーセラミックグリーンシート１２によって覆われた状態であるが、第２のマザーセラミックグリーンシート１２の厚みが薄いため、第２のマザーセラミックグリーンシート１２を通して透視することができる。

上述のようにして、第２の導電性ペースト膜１３が形成された３層複合構造物５４は、第１の乾燥炉７２および第２のコンペンセータロール８１を経て、第２の印刷部６６に至る。

第２の印刷部６６では、第２の段差吸収用セラミックペースト膜１４が、第２のマザーセラミックグリーンシート１２上の第２の導電性ペースト膜１３が形成されていない領域上に印刷される。

また、上述の第２の段差吸収用セラミックペースト膜１４の印刷と同時に、第４のレジスタマーク９７が、第２のマザーセラミックグリーンシート１２の一方側縁であって、第３のレジスタマーク９６の各々の近傍に、一定の周期であって、第２の段差吸収用セラミックペースト膜１４と一定の位置関係をもって印刷される。

このようにして作製された４層複合構造物１５は、第２の乾燥炉７３を通過した後、第１のキャリアフィルム８とともに、第２の巻取りロール６７に巻き取られる。

以上のような第２のグラビア印刷機６４による印刷において、次のようにして、目標ピッチの決定、ピッチ補正およびずれ補正がそれぞれ実施される。

まず、目標ピッチの決定のため、コンペンセータロール制御装置７８および８５ならびに印刷ロール制御装置８８および９２の各々による制御を実施しない状態で、印刷が開始される。

上述の状態で、第１の印刷部６５での目標ピッチの決定のため、前述の第１のグラビア印刷機２１において印刷されたトリガマーク５２がトリガセンサ８０を通過したとき、第１のずれ測定用カメラ７９の撮影トリガが与えられ、第１のグラビア印刷機２１に備える第１の印刷部２３（図４参照）で印刷された第１のレジスタマーク５１と第２のグラビア印刷機６４に備える第１の印刷部６５で印刷された第３のレジスタマーク９６とが撮像される。この撮像された画像を処理することによって、印刷初期の位置ずれが測定される。

このような位置ずれを、数ショットないし数１０ショットの間、測定し、１ショットあたりの当該ずれの変化量が求められる。この変化量は、第１のグラビア印刷機２１と第２のグラビア印刷機６４との間での印刷ピッチの差Ｄ２となる。

他方、トリガマーク５２がトリガセンサ９１を通過したとき、第１のピッチ測定用カメラ８９および９０の撮影トリガが与えられ、前方側および後方側の第１のレジスタマーク５１が同時に撮像される。この撮像された画像を処理することによって、第１のグラビア印刷機２１での印刷ピッチＰ３が求められる。

そして、このようにして求められた印刷ピッチＰ３に、上述の印刷ピッチの差Ｄ２を考慮することによって、第２のグラビア印刷機６４における第１の印刷部６５での目標ピッチＰ４が決定される。

また、第２の印刷部６６での目標ピッチの決定のため、トリガマーク５２がトリガセンサ８７を通過したとき、第２のずれ測定用カメラ８６の撮影トリガが与えられ、第１および第２の印刷部６５および６６でそれぞれ印刷された第３および第４のレジスタマーク９６および９７が撮像される。この撮像された画像を処理することによって、印刷初期の位置ずれが測定される。

このような位置ずれを、数ショットないし数１０ショットの間、測定し、１ショットあたりの当該ずれの変化量が求められる。この変化量は、第１の印刷部６５と第２の印刷部６６との間での印刷ピッチの差Ｄ３となる。

他方、トリガマーク５２がトリガセンサ９５を通過したとき、第２のピッチ測定用カメラ９３および９４の撮影トリガが与えられ、前方側および後方側の第３のレジスタマーク９６が同時に撮像される。この撮像された画像を処理することによって、第２の印刷部６６での印刷ピッチＰ５が求められる。

そして、このようにして求められた印刷ピッチＰ５に、上述の印刷ピッチの差Ｄ３を考慮することによって、第２の印刷部６６での目標ピッチＰ６が決定される。

なお、上述した目標ピッチＰ４およびＰ６としては、上述のような測定結果により求めるのではなく、予め設定しておいた値を用いてもよい。

次に、第１の印刷部６５でのピッチ補正のため、第１のグラビア印刷機２１において印刷されたトリガマーク５２がトリガセンサ９１を通過したとき、第１のピッチ測定用カメラ８９および９０に撮影トリガが与えられる。その結果、第１のピッチ測定用カメラ８９および９０によって、前方側および後方側の第１のレジスタマーク５１が第２のマザーセラミックグリーンシート１２を通して同時に撮像され、得られた画像が保存され、次いで処理されることによって、第１のグラビア印刷機２１における印刷ピッチＸ１が求められる。そして、この印刷ピッチＸ１と前述の目標ピッチＰ４とが比較され、これらが一致するように、第１の印刷ロール６８の周速が変更される。

他方、第２の印刷部６６でのピッチ補正のため、トリガマーク５２がトリガセンサ９５を通過したとき、第２のピッチ測定用カメラ９３および９４に撮影トリガが与えられる。その結果、第２のピッチ測定用カメラ９３および９４によって、前方側および後方側の第３のレジスタマーク９６が同時に撮像され、得られた画像が保存され、次いで処理されることによって、第１の印刷部６５における印刷ピッチＸ２が求められる。そして、この印刷ピッチＸ２と前述の目標ピッチＰ６とが比較され、これらが一致するように、第２の印刷ロール７０の周速が変更される。

また、第１の印刷部６５でのずれ補正のため、第１のグラビア印刷機２１において印刷されたトリガマーク５２がトリガセンサ８０を通過したとき、第１のずれ測定用カメラ７９に撮影トリガが与えられ、第１のグラビア印刷機２１に備える第１の印刷部２３において印刷された第１のレジスタマークと第２のグラビア印刷機６４に備える第１の印刷部６５において印刷された第３のレジスタマーク９６とが撮像される。この撮像された画像を、第１のコンペンセータロール制御装置７８において処理することによって、ずれが測定される。そして、このずれを補正するように、第１のコンペンセータロール７４の位置が調整され、それによって、３層複合構造物５４の経路長が変更される。

他方、第２の印刷部６６でのずれ補正のため、トリガマーク５２がトリガセンサ８７を通過したとき、第２のずれ測定用カメラ８６に撮影トリガが与えられ、第１および第２の印刷部６５および６６においてそれぞれ印刷された第３および第４のレジスタマーク９６および９７が撮像される。この撮像された画像を、第２のコンペンセータロール制御装置８５において処理することによって、ずれが測定される。そして、このずれを補正するように、第２のコンペンセータロール８１の位置が調整され、それによって、第２の導電性ペースト膜１３が形成された３層複合構造物５４の経路長が変更される。

以上のようにして、図２に示すような４層複合構造物１５がキャリアフィルム８によって裏打ちされた状態で得られ、第２の巻取りロール６７に巻き取られる。

次に、前述したように、カット線１６によって囲まれた複数個の領域の各々にある４層複合構造物１５が、図３に示すように取り出される。なお、上述のカット線１６の位置が、図６および図１１の各々において破線で示されている。

その後、前述したように、図３に示した積層工程が実施され、得られた生のマザー積層体１８が、さらに、分割線１９に沿って分割されることによって、複数個の生の積層体チップ２０が得られる。この生の積層体チップ２０を焼成することによって、図１に示した焼結後の積層体２が得られ、この積層体２の各端部に外部電極６および７が形成されることによって、積層セラミックコンデンサ１が完成される。

以上、この発明を図示した実施形態に関連して説明したが、この発明の範囲内において、その他、種々の変形例が可能である。

たとえば、図示の実施形態では、第１の導電性ペースト膜１０の印刷を第１の段差吸収用セラミックペースト膜１１の印刷より前に実施し、また、第２の導電性ペースト膜１３の印刷を第２の段差吸収用セラミックペースト膜１４の印刷より前に実施したが、段差吸収用セラミックペースト膜１１および１４の印刷を、それぞれ、導電性ペースト膜１０および１３の印刷より前に実施してもよい。

また、図示した導電性ペースト膜１０および１３の各々の数および形状は、一例にすぎない。

また、第１のグラビア印刷機２１における第１の印刷部２３において、第１のレジスタマーク５１とは別に、第１の導電性ペースト膜１０との位置関係が一定の第１および第２のピッチ測定用マークを第１のマザーセラミックグリーンシート９の供給方向における前方側および後方側にそれぞれ印刷し、ピッチ測定工程において、第１および第２の位置合わせマーク間の距離を測定することによって、第１の印刷部２３での印刷ピッチが求めるようにしてもよい。また、第２のグラビア印刷機６４における第１の印刷部６５においても、同様の第１および第２のピッチ測定用マークを第２のマザーセラミックグリーンシート１２の供給方向における前方側および後方側にそれぞれ印刷し、ピッチ測定工程において、第１および第２の位置合わせマーク間の距離を測定することによって、第１の印刷部６５での印刷ピッチが求めるようにしてもよい。

また、図示の実施形態では、導電性ペースト膜１０および１３ならびに段差吸収用セラミックペースト膜１１および１４の形成をグラビア印刷で行なったが、グラビア印刷以外の輪転印刷機を用いた印刷が適用されてもよい。

また、図示した実施形態では、第１および第２の導電性ペースト膜１０および１３ならびに第１および第２の段差吸収用セラミックペースト膜１１および１４が互いに位置合わせされた状態で形成されるべきものであるが、このような組み合わせ以外の互いに位置合わせされた状態で形成されるべき構成要素膜の形成に、この発明が適用されてもよい。たとえば、段差吸収用セラミックペースト膜１１および１４が形成されず、第１および第２の導電性ペースト膜１０および１３のみが形成される場合において、この発明が適用されてもよい。

また、図示した実施形態では、積層セラミックコンデンサ１の製造方法に向けられたものであったが、積層セラミックコンデンサ以外の積層セラミック電子部品の製造方法にも、この発明を適用することができる。

また、図示した実施形態では、グラビア印刷によって、図２に示すような４層複合構造物１５を作製したが、この４層複合構造物１５の上に、さらに第３のマザーセラミックグリーンシートが積層されたものを用いて、積層セラミックコンデンサ等が製造されてもよい。

また、図７または図９に示した熱圧着のための構成は、図４に示した第１のグラビア印刷機２１における第２の乾燥炉２８と第２の巻取りロール２５との間に配置されてもよい。

また、図示の実施形態では、２つのグラビア印刷機２１および６４を順次用いて４層複合構造物１５を作製したが、これら２つのグラビア印刷機２１および６４は、１つのインライン工程での印刷を可能にするように、上述した熱圧着のための構成をも含めて一体化されてもよい。

また、図示の実施形態では、第１および第２のグラビア印刷機２１および６４を使い分けたが、単に、第２のグラビア印刷機６４のみを２回用いることによって、４層複合構造物１５を作製するようにしてもよい。この場合には、第２のグラビア印刷機６４を１回目に用いる場合、第１のコンペンセータロール７４の位置を固定し、第１のコンペンセータロール制御装置７８および第１の印刷ロール制御装置８８を作動させないようにすればよい。

また、前述した実施形態において、さらに、第２のグラビア印刷機６４を用いることによって、より多層の複合構造物を作製するようにしてもよい。

この発明の一実施形態による製造方法を適用して製造される積層セラミック電子部品の一例としての積層セラミックコンデンサ１を図解的に示す断面図である。 図１に示した積層体２を製造するために作製される４層複合構造物１５の一部を示す断面図である。 図２に示した４層複合構造物１５を積層して生のマザー積層体１８を得るための工程を示す断面図である。 図２に示した２層複合構造物５０を製造するために用いられる第１のグラビア印刷機２１の概略的構成を図解的に示す正面図である。 図４に示した第１の印刷部２３に備える構成をより詳細に示す正面図である。 図４に示した第１のグラビア印刷機２１によって作製された２層複合構造物５０の一部を示す平面図である。 図２に示した３層複合構造物５４を得るために用いられる熱圧着装置を図解的に示す正面図である。 図７の線ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩに沿う拡大断面図である。 図７に示した熱圧着装置の変形例を図解的に示す正面図である。 図２に示した４層複合構造物１５を作製するために第１のグラビア印刷機２１の後に用いられる第２のグラビア印刷機６４の概略的構成を図解的に示す正面図である。 図１０に示した第２のグラビア印刷機６４によって得られた４層複合構造物１５の一部を示す平面図である。

符号の説明

１ 積層セラミックコンデンサ
２ 積層体
３ セラミック層
４，５ 内部導体膜
８ 第１のキャリアフィルム
９ 第１のマザーセラミックグリーンシート
１０ 第１の導電性ペースト膜
１１ 第１の段差吸収用セラミックペースト膜
１２ 第２のマザーセラミックグリーンシート
１３ 第２の導電性ペースト膜
１４ 第２の段差吸収用セラミックペースト膜
１５ ４層複合構造物
１６ カット線
１８ 生のマザー積層体
２１，６４ グラビア印刷機
２３，２４，６５，６６ 印刷部
２６ 供給方向
２９，７４，８１ コンペンセータロール
３３，７８，８５ コンペンセータロール制御装置
３４，７９，８６ ずれ測定用カメラ
３６，４４，６８，７０ 印刷ロール
３７，４５，６９，７１ 圧接ロール
４１ 印刷ペースト
４２ 画線部
４６，８８，９２ 印刷ロール制御装置
４７，４８，８９，９０，９３，９４ ピッチ測定用カメラ
５０ ２層複合構造物
５１，５３，９６，９７ レジスタマーク
５４ ３層複合構造物
５５ 第２のキャリアフィルム
５８ 長尺複合構造物
５９ 加熱ロール
６０ 非加熱ロール
６２ ニップ部分

Claims (14)

1. 積層セラミック電子部品のための少なくとも第１および第２の構成要素膜が形成された長尺のマザーセラミックグリーンシートを作製する、マザーセラミックグリーンシート作製工程と、
   前記マザーセラミックグリーンシートを複数個の所定領域毎にそれぞれカットし、それによって、所定サイズの複数枚のセラミックグリーンシートを取り出す、カット工程と、
   複数枚の前記セラミックグリーンシートを積み重ねる、積層工程と
   を備える、積層セラミック電子部品の製造方法であって、
   前記マザーセラミックグリーンシート作製工程は、
   画線部が外周面上に設けられた第１の印刷ロールと前記第１の印刷ロールに圧接する第１の圧接ロールとを用い、前記第１の印刷ロールと前記第１の圧接ロールとの間に前記マザーセラミックグリーンシートを供給することによって、前記画線部に付与されている印刷ペーストを前記マザーセラミックグリーンシート上に印刷して前記第１の構成要素膜を形成するための第１の印刷工程と、
   画線部が外周面上に設けられた第２の印刷ロールと前記第２の印刷ロールに圧接する第２の圧接ロールとを用い、前記第２の印刷ロールと前記第２の圧接ロールとの間に前記第１の印刷工程が実施された後の前記マザーセラミックグリーンシートを供給することによって、前記画線部に付与されている印刷ペーストを前記マザーセラミックグリーンシート上に印刷して前記第２の構成要素膜を形成するための第２の印刷工程と、
   前記マザーセラミックグリーンシートの供給方向での前記第１および第２の構成要素膜間のずれを補正するためのずれ補正工程と、
   前記マザーセラミックグリーンシートの供給方向での前記第１の印刷工程の印刷ピッチと前記第２の印刷工程の印刷ピッチとを一致させるように補正するためのピッチ補正工程と
   を備え、
   前記ずれ補正工程は、前記第２の印刷工程の直後に前記第１および第２の構成要素膜間のずれを測定するためのずれ測定工程と、前記ずれ測定工程で測定された前記ずれを補正するように、前記第２の印刷工程の前にある前記マザーセラミックグリーンシートの経路長を変更するための経路長変更工程とを備え、
   前記ピッチ補正工程は、前記第２の印刷工程の直前に前記第１の印刷工程の印刷ピッチを測定するためのピッチ測定工程と、前記ピッチ測定工程で測定された前記印刷ピッチと目標ピッチとが一致するように、前記第２の印刷ロールの周速を変更するための周速変更工程とを備える、
   積層セラミック電子部品の製造方法。
2. 前記ずれ補正工程および前記ピッチ補正工程を実施しない状態で、前記第２の印刷工程を複数回実施しながら、各回の前記第２の印刷工程の直後に前記第１および第２の構成要素膜間のずれを測定することによって、１回の前記第２の印刷工程あたりの当該ずれの変化量を求める工程と、前記第２の印刷工程の直前に前記第１の印刷工程の印刷ピッチを測定する工程とがさらに実施され、これらの工程によって得られた前記第１の印刷工程の印刷ピッチに前記ずれの変化量を考慮することによって、前記目標ピッチが決定される、請求項１に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
3. 前記第１の印刷工程を終えた後の前記マザーセラミックグリーンシートは、巻取りロールに巻き取られ、前記第２の印刷工程は、前記巻取りロールから引き出された前記マザーセラミックグリーンシートに対して実施される、請求項１または２に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
4. 前記第１の印刷工程と前記第２の印刷工程とは、連続的に実施される、請求項１または２に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
5. 前記第１の印刷工程において、前記第１の構成要素膜との位置関係が一定の第１のレジスタマークが印刷され、前記第２の印刷工程において、前記第２の構成要素膜との位置関係が一定の第２のレジスタマークが印刷され、前記ずれ測定工程において、前記第１および第２のレジスタマーク間のずれを測定することによって、前記第１および第２の構成要素膜間のずれが求められる、請求項１ないし４のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
6. 前記第１のレジスタマークは、前記マザーセラミックグリーンシートの供給方向における前方側および後方側にそれぞれ印刷され、前記ピッチ測定工程において、前方側および後方側の前記第１のレジスタマーク間の距離を測定することによって、前記第１の印刷工程の印刷ピッチが求められる、請求項５に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
7. 前記第１の印刷工程において、前記第１の構成要素膜との位置関係が一定の第１および第２のピッチ測定用マークが前記マザーセラミックグリーンシートの供給方向における前方側および後方側にそれぞれ印刷され、前記ピッチ測定工程において、前記第１および第２のピッチ測定用マーク間の距離を測定することによって、前記第１の印刷工程の印刷ピッチが求められる、請求項１ないし５のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
8. 前記第１の印刷工程において印刷される前記第１の構成要素膜は、導電性ペースト膜および前記導電性ペースト膜の厚みによる段差を吸収するための段差吸収用セラミックペースト膜のいずれか一方であり、前記第２の印刷工程において印刷される前記第２の構成要素膜は、前記導電性ペースト膜および前記段差吸収用セラミックペースト膜のいずれか他方である、請求項１ないし７のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
9. 前記第１の印刷工程において印刷される前記第１の構成要素膜は、第１の導電性ペースト膜および前記第１の導電性ペースト膜の厚みによる段差を吸収するための第１の段差吸収用セラミックペースト膜の双方であり、前記第２の印刷工程において印刷される前記第２の構成要素膜は、前記第１の導電性ペースト膜および前記第１の段差吸収用セラミックペースト膜の上に第２のマザーセラミックグリーンシートを介して形成される第２の導電性ペースト膜および前記第２の導電性ペースト膜の厚みによる段差を吸収するための第２の段差吸収用セラミックペースト膜の双方であり、前記第１の印刷工程の後であって、前記第２の印刷工程の前に、前記第２のマザーセラミックグリーンシートを前記第１の導電性ペースト膜および前記第１の段差吸収用セラミックペースト膜の上に配置する工程をさらに備える、請求項１ないし７のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
10. 前記第２のマザーセラミックグリーンシートを配置する工程は、前記第１の導電性ペースト膜および前記第１の段差吸収用セラミックペースト膜を形成している第１の前記マザーセラミックグリーンシートを第１のキャリアフィルムによって裏打ちした状態とし、かつ前記第２のマザーセラミックグリーンシートを第２のキャリアフィルムによって裏打ちした状態としながら、前記第１および第２のキャリアフィルムをそれぞれ外側に向けた状態で、前記第１の導電性ペースト膜および前記第１の段差吸収用セラミックペースト膜と前記第２のマザーセラミックグリーンシートとを互いに接触させる接触工程と、前記第１および第２のキャリアフィルム間に熱圧着作用を及ぼす熱圧着工程と、次いで、前記第２のマザーセラミックグリーンシートから前記第２のキャリアフィルムを剥離する剥離工程とを備える、請求項９に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
11. 前記熱圧着工程は、前記接触工程の実施によって得られた、前記第１および第２のキャリアフィルムをそれぞれ外側に向けかつ前記第１の導電性ペースト膜および前記第１の段差吸収用セラミックペースト膜と前記第２のマザーセラミックグリーンシートとを互いに接触させた状態にある長尺複合構造物を、加熱された加熱ロールと前記加熱ロールに圧接する加熱されない非加熱ロールとの間に供給する工程を備え、前記長尺複合構造物は、前記非加熱ロールの外周面の所定の範囲において接するが、前記加熱ロールの外周面には前記非加熱ロールとのニップ部分においてのみ接するように案内される、請求項１０に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
12. 前記第１および第２の印刷工程において、グラビア印刷が適用される、請求項１ないし１１のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
13. 画線部が外周面上に設けられた第１の印刷ロールと前記第１の印刷ロールに圧接する第１の圧接ロールとを用い、前記第１の印刷ロールと前記第１の圧接ロールとの間に長尺シートを供給することによって、前記画線部に付与されている印刷ペーストを前記長尺シート上に印刷して第１の印刷膜を形成するための第１の印刷工程と、
    画線部が外周面上に設けられた第２の印刷ロールと前記第２の印刷ロールに圧接する第２の圧接ロールとを用い、前記第２の印刷ロールと前記第２の圧接ロールとの間に前記第１の印刷工程が実施された後の前記長尺シートを供給することによって、前記画線部に付与されている印刷ペーストを前記長尺シート上に印刷して第２の印刷膜を形成するための第２の印刷工程と、
    前記長尺シートの供給方向での前記第１および第２の印刷膜間のずれを補正するためのずれ補正工程と、
    前記長尺シートの供給方向での前記第１の印刷工程の印刷ピッチと前記第２の印刷工程の印刷ピッチとを一致させるように補正するためのピッチ補正工程と
    を備え、
    前記ずれ補正工程は、前記第２の印刷工程の直後に前記第１および第２の印刷膜間のずれを測定するためのずれ測定工程と、前記ずれ測定工程で測定された前記ずれを補正するように、前記第２の印刷工程の前にある前記長尺シートの経路長を変更するための経路長変更工程とを備え、
    前記ピッチ補正工程は、前記第２の印刷工程の直前に前記第１の印刷工程の印刷ピッチを測定するためのピッチ測定工程と、前記ピッチ測定工程で測定された前記印刷ピッチと目標ピッチとが一致するように、前記第２の印刷ロールの周速を変更するための周速変更工程とを備える、
    輪転印刷機を用いた印刷方法。
14. 前記輪転印刷機はグラビア印刷機である、請求項１３に記載の輪転印刷機を用いた印刷方法。