JP2005072121A - 積層セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 後でカットすることが予定されている長尺のマザーセラミックグリーンシート上に導電性ペースト膜のような構成要素膜をグラビア輪転印刷機を用いて印刷する場合において、幅方向のずれを補正するため、印刷ロールをその軸線方向へ移動させたとき、導電性ペースト膜のような構成要素膜に歪みが生じたり、厚みが変動したりすることがある。
【解決手段】 たとえば導電性ペースト膜４０の幅方向でのずれを補正するにあたって、このずれの補正が、所定サイズのセラミックグリーンシートを取り出すためにカットされる少なくとも１個の所定領域に対応する補正区間５０の全域にわたって均等に進むようにする。
【選択図】 図５

Description

この発明は、積層セラミック電子部品の製造方法に関するもので、特に、積層セラミック電子部品に備える内部導体膜のような構成要素膜を、輪転印刷機を用いた印刷によって、長尺シート上に形成する工程を備える、積層セラミック電子部品の製造方法に関するものである。

積層セラミック電子部品の一例としての積層セラミックコンデンサの製造方法に関して、図１２に示すように、長尺のキャリアフィルム１によって裏打ちされた長尺のマザーセラミックグリーンシート２を用意し、その後、グラビア印刷を適用することによって、マザーセラミックグリーンシート２上に、まず、内部導体膜となる導電性ペースト膜３を形成し、次いで、導電性ペースト膜３の厚みによる段差を吸収するための段差吸収用セラミックペースト膜４を形成する、各工程を備えるものが知られている（たとえば、特許文献１参照）。

上述したように、導電性ペースト膜３および段差吸収用セラミックペースト膜４をグラビア印刷する場合、画線部が外周面上に設けられた印刷ロールと印刷ロールに圧接する圧接ロールとを備えるグラビア印刷機を用い、印刷ロールと圧接ロールとの間に、キャリアフィルム１によって裏打ちされたマザーセラミックグリーンシート２を供給することが行なわれる。そして、画線部に導電性ペーストが付与されている印刷ロールと圧接ロールとの間にマザーセラミックグリーンシート２が供給されることによって、マザーセラミックグリーンシート２上に導電性ペースト膜３が印刷され、画線部にセラミックペーストが付与されている印刷ロールと圧接ロールとの間にマザーセラミックグリーンシート２が供給されることによって、マザーセラミックグリーンシート２上に段差吸収用セラミックペースト膜４が印刷される。

上述のような印刷工程においては、長尺のマザーセラミックグリーンシート２を印刷ロールと圧接ロールとの間に供給しながら印刷を実施するので、印刷ロールとマザーセラミックグリーンシート２との位置関係に関して、マザーセラミックグリーンシート２の供給方向５に対して直交する方向すなわち幅方向のずれが生じることがあり、その結果、導電性ペースト膜３と段差吸収用セラミックペースト膜４との位置関係に関して、幅方向のずれが生じることがある。

図１２の左側には、このようなずれが生じた状態が図示されている。より具体的には、図示したずれは、段差吸収用セラミックペースト膜４が所望の位置より図による上方向へずれることによって生じたものである。

このようなずれは、導電性ペースト膜３と段差吸収用セラミックペースト膜４との重なりを必要以上に生じさせたり、導電性ペースト膜３と段差吸収用セラミックペースト膜４との間に過度の隙間を生じさせたりして、積層セラミックコンデンサの製造の歩留まりを低下させる原因となる。

なお、図１２では、導電性ペースト膜３と段差吸収用セラミックペースト膜４との位置関係に関して、ずれの有無をより明瞭に図示するため、互いの間にある隙間を実際のものより広く図示していることを指摘しておく。

前述したように、ずれが生じた場合、後で印刷される段差吸収用セラミックペースト膜４の印刷に際して、印刷ロールをその軸線方向に、すなわち、長尺のマザーセラミックグリーンシート２の幅方向に所定量移動させることによって、これを補正することが行なわれている。
特開平８−２５０３７０号公報

上述したずれの補正を行なう場合、印刷ロールの移動のタイミングによっては、図１２の中央部に示すように、段差吸収用セラミックペースト膜４に歪みを生じさせることがある。また、図１２では図示しないが、印刷ロールの移動のタイミングによっては、段差吸収用セラミックペースト膜４の厚みに変動を生じさせることもある。

上述のように、段差吸収用セラミックペースト膜４に歪みや厚みの変動が生じると、段差吸収用セラミックペースト膜４の本来の目的である導電性ペースト膜３の厚みによる段差の吸収が不可能になり、得られた積層セラミックコンデンサにおいて、デラミネーション等の構造欠陥をもたらすことがある。

上述の問題を避けるため、歪みや厚みの変動が生じた段差吸収用セラミックペースト膜４が位置する部分において、マザーセラミックグリーンシート２を用いずに廃棄してしまうことも考えられるが、この場合には、材料のロスを招いてしまう。

なお、上述した説明では、段差吸収用セラミックペースト膜４の印刷を導電性ペースト膜３の印刷より後に実施し、段差吸収用セラミックペースト膜４の印刷に際して、そのずれの補正を行なったが、導電性ペースト膜３の印刷を後に実施し、導電性ペースト膜３の印刷に際して、ずれの補正を行なう場合であっても、同様の問題に遭遇する。

また、上述した説明では、導電性ペースト膜３および段差吸収用セラミックペースト膜４の形成をグラビア印刷で行なったが、輪転印刷機を用いた印刷を適用する限り、グラビア印刷以外の印刷であっても、同様の問題に遭遇する。

また、上述した説明では、積層セラミックコンデンサの製造方法について行なったが、積層セラミックコンデンサ以外の積層セラミック電子部品の製造方法においても、同様の問題に遭遇する。

そこで、この発明の目的は、上述のような問題を解決し得る、積層セラミック電子部品の製造方法を提供しようとすることである。

この発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法は、基本的に、積層セラミック電子部品のための構成要素膜が形成された長尺のマザーセラミックグリーンシートを作製する、マザーセラミックグリーンシート作製工程と、マザーセラミックグリーンシートを複数個の所定領域毎にそれぞれカットし、それによって、所定サイズの複数枚のセラミックグリーンシートを取り出す、カット工程と、複数枚のセラミックグリーンシートを積み重ねる、積層工程とをまず備えている。

また、マザーセラミックグリーンシート作製工程は、画線部が外周面上に設けられた印刷ロールと印刷ロールに圧接する圧接ロールとを備える輪転印刷機を用い、印刷ロールと圧接ロールとの間に長尺シートを供給することによって、画線部に付与されている印刷ペーストを長尺シート上に印刷して前述した構成要素膜を形成する、印刷工程を備えている。

また、上記印刷工程は、構成要素膜の、長尺シートの供給方向に直交する幅方向のずれを検出する、ずれ検出工程と、ずれを補正するため、印刷ロールと長尺シートとの幅方向での相対的位置関係を変更する、ずれ補正工程とを備えている。

そして、前述した技術的課題を解決するため、上記ずれ補正工程は、少なくとも１個の所定領域の全域にわたって、ずれの補正が均等に進むように実施されることを特徴としている。

この発明において、ずれ補正工程は、印刷ロールをその軸線方向へ移動させる工程を備えることが好ましい。

また、前述の印刷工程に付される長尺シートは、典型的には、長尺のキャリアフィルムによって裏打ちされた前述のマザーセラミックグリーンシートであり、この場合には、印刷工程において、構成要素膜はマザーセラミックグリーンシート上に形成される。

印刷工程に付される長尺シートは、長尺のキャリアフィルムであってもよい。この場合には、印刷工程において、構成要素膜はキャリアフィルム上に形成される。この実施態様の場合には、印刷工程の後、キャリアフィルム上でマザーセラミックグリーンシートを成形する工程が実施される。あるいは、印刷工程の後、キャリアフィルムに対してマザーセラミックグリーンシートを圧着させたり、マザーセラミックグリーンシートに対してキャリアフィルムを圧着させたりすることにより、キャリアフィルム上の構成要素膜をマザーセラミックグリーンシート上へ転写する工程が実施される。

この発明は、前述した構成要素膜が、互いに位置合わせされた状態で形成される第１および第２の構成要素膜を備えるとき、特に有利に適用される。この場合、印刷工程は、第１の構成要素膜を形成する第１の印刷工程と、第１の印刷工程の後、第２の構成要素膜を形成する第２の印刷工程とを備え、ずれ検出工程は、第２の構成要素膜のずれを検出するように実施され、ずれ補正工程は、第２の構成要素膜のずれを補正するように実施される。

上述の実施態様において、１つの典型的な具体例では、第１の構成要素膜が、導電性ペースト膜および導電性ペースト膜の厚みによる段差を吸収するための段差吸収用セラミックペースト膜のいずれか一方であり、第２の構成要素膜が、導電性ペースト膜および段差吸収用セラミックペースト膜のいずれか他方である。

この発明は、印刷工程において用いられる輪転印刷機がグラビア印刷機であるとき、特に有利に適用される。

また、この発明において、印刷ロールの外周面の周方向での全域が、画線部を設けるための領域として用いられることが好ましい。

この発明によれば、ずれ補正工程が、少なくとも１個の所定領域の全域にわたって、ずれの補正が均等に進むように実施されるので、まず、補正可能量を大きくすることができ、大きな補正についても、これを１度に済ませることができるとともに、補正に要する時間を短縮することができる。

また、補正が行なわれている間に印刷された構成要素膜においては、それが位置する所定領域の全域にわたって均等にずれが補正されるので、図１２を参照して説明したような構成要素膜の歪みや厚みの変動が生じることがない。そればかりでなく、その後に実施されるたとえばカット工程または積層工程において、構成要素膜の補正によるθ方向のずれを補償するように、カット位置または積層位置等を制御すれば、補正が行なわれている間に印刷された構成要素膜が位置する部分についても、マザーセラミックグリーンシートを問題なく用いることができ、材料ロスをなくしながら、高い歩留まりをもって積層セラミック電子部品を製造することができる。

この発明において、ずれの補正を、印刷ロールをその軸線方向へ移動させることにより行なうようにすれば、この移動を簡単な機構により実現することができるとともに、印刷ロールと長尺シートとの幅方向での相対的位置関係を容易かつ確実に変更することができる。

構成要素膜が、たとえば導電性ペースト膜および段差吸収用セラミックペースト膜のように、互いに位置合わせされた状態で形成される第１および第２の構成要素膜を備える場合、より厳密なずれの補正が必要になるため、この発明によって、特に顕著な効果が発揮される。

また、印刷工程において用いられる輪転印刷機がグラビア印刷機である場合には、高いパターン精度および薄い膜厚をもって、構成要素膜を形成することができるので、構成要素膜の歪みや厚みの変動がより深刻な問題となる。したがって、この発明は、印刷工程においてグラビア印刷機が用いられる場合において、特に顕著な効果を発揮することになる。

この発明において、印刷ロールの外周面の周方向での全域が、画線部を設けるための領域として用いられると、マザーセラミックグリーンシートの長さ方向の全域を構成要素膜の印刷領域として用いることができるので、隣り合うものの間で隙間を形成することなく複数個の所定領域をマザーセラミックグリーンシートに与えることができる。したがって、マザーセラミックグリーンシートの無駄をなくすことができ、前述した材料ロスをなくすことができるという効果をより完璧に発揮させることができる。

図１ないし図８は、この発明の第１の実施形態を説明するためのものである。この実施形態では、積層セラミック電子部品として、図８に示すような積層セラミックコンデンサ１１が製造される。

図８を参照して、積層セラミックコンデンサ１１は、焼結体としての積層体１２を備えている。積層体１２は、積層された複数のセラミック層１３と、セラミック層１３間の特定の界面に沿って形成された内部導体膜１４および１５とをもって構成される。

積層体１２の相対向する端部には、それぞれ、外部電極１６および１７が形成されている。一方の外部電極１６には、内部導体膜１４が電気的に接続され、他方の外部電極１７には、内部導体膜１５が電気的に接続される。そして、内部導体膜１４と内部導体膜１５とは、積層方向に交互に配置されている。

このような積層セラミックコンデンサ１１に備える積層体１２を製造するために実施される印刷工程において、図１に示すような輪転印刷機としてのグラビア印刷機２１が用いられる。

グラビア印刷機２１では、たとえばポリエチレンテレフタレートからなる長尺のキャリアフィルム２２と、このキャリアフィルム２２によって裏打ちされた長尺のマザーセラミックグリーンシート２３とからなる、複合構造の長尺シート２４（たとえば、図３参照）が取り扱われる。

グラビア印刷機２１は、このような長尺シート２４を、図示しない巻出し部から巻取り部へと矢印で示した供給方向２５に搬送する複数個のガイドロール２６を備えている。このような長尺シート２４の搬送経路の途中に、第１および第２の印刷部２７および２８が配置されている。

図２には、第１の印刷部２７が拡大されて示されている。第１の印刷部２７は、第１の印刷ロール２９とこの第１の印刷ロール２９に圧接する第１の圧接ロール３０とを備えている。長尺シート２４は、これら印刷ロール２９と圧接ロール３０との間に供給される。そして、印刷ロール２９および圧接ロール３０は、それぞれ、矢印３１および３２方向に回転し、それによって、長尺シート２４は、前述した供給方向２５に搬送される。

第１の印刷部２７は、前述した積層セラミックコンデンサ１１のための構成要素膜の１つとしての段差吸収用セラミックペースト膜３３（たとえば、図３参照）を印刷するためのものである。そのため、印刷ロール２９は、タンク３４に収容されたセラミックペースト３５内に浸漬され、それによって、印刷ロール２９の外周面上に設けられた画線部３６（図２において、その一部が概略的に図示されている。）にセラミックペースト３５が付与される。印刷ロール２９の外周面上の余分なセラミックペースト３５は、ドクターブレード３７によって掻き取られる。

上述のように画線部３６に付与されたセラミックペースト３５は、印刷ロール２９と圧接ロール３０との間に供給された長尺シート２４上に印刷され、それによって、図３に示すように、長尺シート２４に備えるマザーセラミックグリーンシート２３上に段差吸収用セラミックペースト膜３３が形成される。

なお、図３に示した段差吸収用セラミックペースト膜３３の印刷状態からわかるように、長尺シート２４は、マザーセラミックグリーンシート２３を印刷ロール２９側に向けた状態で供給される。

第２の印刷部２８は、詳細な図示を省略するが、第１の印刷部２７と実質的に同様の構成を有していて、第２の印刷ロール３８および第２の圧接ロール３９を備えている。

第２の印刷部２８では、第１の印刷部２７におけるセラミックペーストに代えて導電性ペーストが用いられ、図４に示すように、導電性ペースト膜４０が、マザーセラミックグリーンシート２３上の段差吸収用セラミックペースト膜３３が形成されない領域上に形成される。段差吸収用セラミックペースト膜３３は、図４からわかるように、導電性ペースト膜４０の厚みによる段差を吸収するように作用する。

図１に示すように、グラビア印刷機２１の第１の印刷部２７の下流側には、乾燥炉４１が配置され、これによって、第１の印刷部２７において印刷された段差吸収用セラミックペースト膜３３が乾燥される。また、第２の印刷部２８の下流側には、乾燥炉４２が配置され、これによって、第２の印刷部２８において印刷された導電性ペースト膜４０が乾燥される。

また、第２の印刷部２８の上流側には、長尺シート２４を巻掛けする状態でコンペンセータロール４３が配置される。コンペンセータロール４３は、図１において両方向矢印４４で示すように上下方向に移動するように構成される。このコンペンセータロール４３は、長尺シート２４のテンションを制御し、それによって、長尺シート２４の長さ方向での導電性ペースト膜４０の位置ずれを補正するように作用する。

図４は、図１に示したグラビア印刷機２１による印刷を終えた段階にある長尺シート２４の状態を断面図で示すものであるが、この段階にある長尺シート２４を平面図で示したものが図５である。

図５と前述した図１２とを比較すると、図１２では、マザーセラミックグリーンシート２の長さ方向に分布する複数個の印刷領域間に隙間６が形成されている。これに対して、この実施形態では、図５に示すように、長尺シート２４は、その長さ方向の全域にわたって、段差吸収用セラミックペースト膜３３および導電性ペースト膜４０の印刷領域として用いられる。すなわち、第１の印刷ロール２９にあっては、その外周面の周方向での全域が、画線部３６を設けるための領域として用いられ、第２の印刷ロール３８においても、その外周面の周方向での全域が、画線部を設けるための領域として用いられる。

また、図５に示すように、長尺シート２４の一方側縁上には、第１および第２のレジスタマーク４５および４６ならびに検出用マーク４７が、それぞれ、一定の周期で表示されている。また、長尺シート２４の幅方向の中央部には、前側積層用位置合わせマーク４８および後側積層用位置合わせマーク４９が、それぞれ、一定の周期で表示されている。

上述した第１のレジスタマーク４５は、第１の印刷部２７において、段差吸収用セラミックペースト膜３３と同時に印刷されるものであり、段差吸収用セラミックペースト膜３３との位置関係は一定である。他方、第２のレジスタマーク４６、検出用マーク４７ならびに積層用位置合わせマーク４８および４９は、第２の印刷部２８において、導電性ペースト膜４０と同時に印刷されるものであり、導電性ペースト膜４０との位置関係が一定である。

したがって、たとえば第１のレジスタマーク４５と第２のレジスタマーク４６との位置関係を見ることにより、段差吸収用セラミックペースト膜３３に対する導電性ペースト膜４０の位置ずれを検出することができる。この位置ずれを検出するためのカメラ（図示せず。）は、第２の印刷部２８の下流側に配置される。検出用マーク４７は、このカメラによる検出のタイミングを計るために用いられる。

カメラによる第１および第２のレジスタマーク４５および４６の検出の結果、これらが長尺シート２４の供給方向２５（図５において左右方向）にずれていると、コンペンセータロール４３が所定の距離だけ上方または下方へ移動され、長尺シート２４のテンションが制御されることによって、供給方向２５での位置ずれが補正される。

他方、長尺シート２４の幅方向での第１および第２のレジスタマーク４５および４６間の間隔が所定の値からずれていると、段差吸収用セラミックペースト膜３３に対する導電性ペースト膜４０の位置が幅方向にずれていることになる。図５の右側には、第１および第２のレジスタマーク４５および４６間の幅方向での間隔が所定の値より広く、それゆえ、導電性ペースト膜４０が、段差吸収用セラミックペースト膜３３に対して、図による下方向へのずれが生じている状態が示されている。

上述のような幅方向のずれが検出されたとき、このずれを補正するため、第２の印刷部における第２の印刷ロール３８と長尺シート２４との幅方向での相対的位置関係を変更する、ずれ補正工程が実施される。この実施形態では、ずれ補正工程は、第２の印刷ロール３８をその軸線方向へ移動させることによって行なわれる。そして、このずれ補正工程では、次のようにずれの補正が進むように実施される。

すなわち、図５に示した補正区間５０の全域にわたって、ずれの補正が均等に進むように、ずれ補正工程が実施される。なお、この補正区間５０は、後述する所定領域５１（図６参照）に対応するものであり、言い換えると、ずれ補正工程は、この１個の所定領域５１の全域にわたって、ずれの補正が均等に進むように実施される。

前述したように、ずれ補正工程では、第２の印刷ロール３８をその軸線方向へ移動させることが行なわれるが、この移動の開始のタイミングの検出は、第２の印刷ロール３８を回転駆動するための駆動軸に取り付けたロータリエンコーダ（図示せず。）によって行なわれる。すなわち、第２の印刷ロール３８の外周面上での図形の開始部（補正の開始位置）がロータリエンコーダでのどの角度にあたるのかを予め入力しておき、その補正の開始位置が長尺シート２４に接する時点（印刷される時点）に第２の印刷ロール３８の軸線方向への移動を開始させるための信号を出すように設定される。

他方、補正時間（補正を実行する時間期間）については、第２の印刷ロール３８の回転数および補正の開始位置と終了位置間の角度が予めわかっていれば、これら既知の値から演算によって簡単に求めることができる。そして、補正量を補正時間で割れば、第２の印刷ロール３８の軸線方向移動速度を一定値として決定することができる。

なお、上述した第２の印刷ロール３８の軸線方向移動の開始時点を決定するため、第１または第２の印刷部２７または２８において、この軸線移動開始を検出するためのマークを同時に印刷しておき、それをセンサで検出することによって得られた信号を、軸線移動開始のための信号として用いてもよい。

また、レジスタマーク４５および４６は、上述のような補正のための第２の印刷ロール３８の軸線方向の移動の影響を受けないように、補正区間５０の始端および終端に位置していることが好ましい。

図５に示した補正区間５０は、図６に示した１個の所定領域５１に対応するものであったが、２個以上の所定領域５０に対応していてもよい。いずれにしても、１個の所定領域５１について、ずれの補正が均等に進むようにされればよいことになる。

図５ならびに後述する図６、図９および図１１において、図１２の場合と同様、段差吸収用セラミックペースト膜３３と導電性ペースト膜４０との位置関係に関して、ずれの有無をより明瞭に図示するため、互いの間にある隙間を実際のものより広く図示していることを指摘しておく。

次に、図６に示すように、マザーセラミックグリーンシート２３を複数個の所定領域５１毎にそれぞれカットし、それによって、所定サイズの複数枚のセラミックグリーンシート５２を取り出す、カット工程が実施される。前述したように、印刷ロール２９および３８の各々の外周面の周方向での全域が、画線部３６等を設けるための領域として用いられているので、この実施形態では、隣り合う所定領域５１間には隙間が形成されず、互いに接した状態となっている。また、各所定領域５１内には、前述した前側積層用位置合わせマーク４８および後側積層用位置合わせマーク４９の双方が位置している。

上述したカット工程では、たとえばカット刃による打ち抜きが適用される。このとき、マザーセラミックグリーンシート２３のみを打ち抜き、キャリアフィルム２２は完全には切断されないようにされる。そして、マザーセラミックグリーンシート２３の打ち抜きによって得られた所定サイズのセラミックグリーンシート５２は、たとえば真空吸引によって保持されながら、キャリアフィルム２２から剥離される。

次いで、図７に示すように、複数枚のセラミックグリーンシート５２を積み重ねる、積層工程が実施される。積層工程では、導電性ペースト膜４０が積層方向に交互にずれるように積層され、その後、積層方向にプレスされることによって、図７にその一部を示す生のマザー積層体５３が得られる。

なお、キャリアフィルム２２とともにマザーセラミックグリーンシート２３を打ち抜き、得られた所定サイズのセラミックグリーンシート５２を積み重ねた段階で、キャリアフィルム２２を剥離するようにしてもよい。

前述した積層工程では、前側積層用位置合わせマーク４８および後側積層用位置合わせマーク４９（図６参照）を基準として、各セラミックグリーンシート５２が積み重ねられる。したがって、前述の図５に示した補正区間５０にあるセラミックグリーンシート５２であっても、導電性ペースト膜４０のずれの補正が均等に進んでいるので、上述した位置合わせマーク４８および４９を基準として積み重ねを行なえば、自ずとθ方向のずれが補償され、導電性ペースト膜４０について、適正な位置を与えることができる。

なお、導電性ペースト膜４０のずれ補正によるθ方向のずれを補償するため、図６に示したカット工程において、補正区間５０に相当する所定領域５１についてθ方向のずれを考慮したカット位置を選ぶようにしてもよい。

次に、図７にその一部を示した生のマザー積層体５３は、図８に示した積層セラミックコンデンサ１１に備える積層体１２の生の状態のものを得るため、分割線５４に沿って分割され、複数個の生の状態の積層体チップが取り出される。

次に、生の積層体チップが焼成される。これによって、セラミックグリーンシート５２は焼結後のセラミック層１３となり、導電性ペースト膜４０は焼結後の内部導体膜１４および１５となる。また、段差吸収用セラミックペースト膜３３は、導電性ペースト膜４０すなわち焼結後の内部導体膜１４および１５の厚みによる段差を吸収するように作用し、焼結後においては、セラミック層１３と一体化される。

そして、上述のような焼結後の積層体１２の各端部に外部電極１６および１７が形成されることによって、積層セラミックコンデンサ１１が完成される。

図９および図１０は、この発明の第２の実施形態を説明するためのもので、前述した図６および図７にそれぞれ対応する図である。図９および図１０において、図６および図７に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。

この第２の実施形態では、図１０に示すように、複数枚のセラミックグリーンシート５２の各端面を揃えた状態で積み重ねることによって、導電性ペースト膜４０が積層方向に交互にずれた状態が得られるようにするため、図９に示すような所定領域６１が採用されることを特徴としている。

図１１は、この発明の第３の実施形態を説明するための図６に相当する図である。図１１において、図６に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。

この第３の実施形態では、前述した実施形態のように、前側積層用位置合わせマーク４８および後側積層用位置合わせマーク４９というように２種類の積層用位置合わせマークを形成せずに、単に１種類の積層用位置合わせマーク７１のみを形成することを特徴としている。

この実施形態においては、各所定領域５１内に単に１個の積層用位置合わせマーク７１のみが入るようにカット工程が実施されるが、このカット工程に際しては、所定領域５１内にある積層用位置合わせマーク７１と所定領域５１の近傍にある積層用位置合わせマーク７１とが検出されてカット位置が決定される。そして、カット時のセラミックグリーンシート５２の位置が維持されたまま、１個の積層用位置合わせマーク７１を基準として、複数枚のセラミックグリーンシート５２の積み重ねが行なわれる。

以上、この発明を図示した実施形態に関連して説明したが、この発明の範囲内において、その他、種々の変形例が可能である。

たとえば、図示の実施形態では、導電性ペースト膜４０の印刷を段差吸収用セラミックペースト膜３３の印刷より後に実施し、導電性ペースト膜４０の印刷に際して、そのずれの補正を行なったが、段差吸収用セラミックペースト膜３３の印刷を後に実施し、段差吸収用セラミックペースト膜３３の印刷に際して、ずれの補正を行なうようにしてもよい。

また、図示した導電性ペースト膜４０の数および形状は、一例にすぎない。

また、図示の実施形態では、段差吸収用セラミックペースト膜３３および導電性ペースト膜４０の形成をグラビア印刷で行なったが、グラビア印刷以外の輪転印刷機を用いた印刷が適用されてもよい。

また、図示の実施形態では、長尺シート２４がキャリアフィルム２２およびマザーセラミックグリーンシート２３からなる複合シートであったが、長尺シート２４が、単に長尺のキャリアフィルム２２のみによって構成されてもよい。この場合には、段差吸収用セラミックペースト膜３３および導電性ペースト膜４０がキャリアフィルム２２上に形成されることなる。

したがって、マザーセラミックグリーンシート２３上に段差吸収用セラミックペースト膜３３および導電性ペースト膜４０が形成された状態を得るため、たとえば、キャリアフィルム２２上でマザーセラミックグリーンシート２３を成形する工程が実施される。あるいは、別に用意されたマザーセラミックグリーンシート２３上に、キャリアフィルム２２上の段差吸収用セラミックペースト膜３３および導電性ペースト膜４０を転写するようにしても、また、予め用意されたマザーセラミックグリーンシート２３をキャリアフィルム２２上の段差吸収用セラミックペースト膜３３および導電性ペースト膜４０に転写するようにしてもよい。

また、段差吸収用セラミックペースト膜３３および導電性ペースト膜４０は、互いに位置合わせされた状態で形成されるべきものであるが、これら段差吸収用セラミックペースト膜３３および導電性ペースト膜４０の組み合わせ以外の互いに位置合わせされた状態で形成されるべき構成要素膜の形成に、この発明が適用されてもよい。

また、この発明は、上述のような２種類以上の構成要素膜を印刷する場合に限らず、たとえば導電性ペースト膜のみというように、単に１種類の構成要素膜を印刷する場合にも適用することができる。この場合であっても、印刷位置のずれの問題が生じ、このずれを補正するため、少なくとも１個の所定領域の全域にわたって、補正が均等に進むように実施することが有効であるからである。

この発明の第１の実施形態による積層セラミック電子部品の製造方法において、印刷工程を実施するために用いられるグラビア印刷機２１の概略的構成を図解的に示す正面図である。 図１に示した第１の印刷部２７に備える構成をより詳細に示す正面図である。 図１に示した第１の印刷部２７を通過した後に得られる長尺シート２４の状態を示す断面図である。 図１に示した第２の印刷部２８を通過した後に得られる長尺シート２４の状態を示す断面図である。 図４に示した状態にある長尺シート２４の平面図である。 この発明の第１の実施形態におけるカット工程を説明するための長尺シート２４の平面図である。 この発明の第１の実施形態に備える積層工程を説明するための生のマザー積層体５３の一部を示す断面図である。 この発明の第１の実施形態によって得られた積層セラミックコンデンサ１１を示す断面図である。 この発明の第２の実施形態を説明するための図６に相当する図である。 この発明の第２の実施形態を説明するための図７に相当する図である。 この発明の第３の実施形態を説明するための図６に相当する図である。 この発明が解決しようとする課題を説明するためのマザーセラミックグリーンシート２の平面図である。

符号の説明

１１ 積層セラミックコンデンサ
１２ 積層体
１３ セラミック層
１４，１５ 内部導体膜
２１ グラビア印刷機
２２ キャリアフィルム
２３ マザーセラミックグリーンシート
２４ 長尺シート
２５ 供給方向
２７ 第１の印刷部
２８ 第２の印刷部
２９，３８ 印刷ロール
３０，３９ 圧接ロール
３３ 段差吸収用セラミックペースト膜
３５ セラミックペースト
３６ 画線部
４０ 導電性ペースト膜
４５，４６ レジスタマーク
５０ 補正区間
５１，６１ 所定領域
５２ 所定サイズのセラミックグリーンシート
５３ 生のマザー積層体

Claims (10)

1. 積層セラミック電子部品のための構成要素膜が形成された長尺のマザーセラミックグリーンシートを作製する、マザーセラミックグリーンシート作製工程と、
   前記マザーセラミックグリーンシートを複数個の所定領域毎にそれぞれカットし、それによって、所定サイズの複数枚のセラミックグリーンシートを取り出す、カット工程と、
   複数枚の前記セラミックグリーンシートを積み重ねる、積層工程と
   を備える、積層セラミック電子部品の製造方法であって、
   前記マザーセラミックグリーンシート作製工程は、画線部が外周面上に設けられた印刷ロールと前記印刷ロールに圧接する圧接ロールとを備える輪転印刷機を用い、前記印刷ロールと前記圧接ロールとの間に長尺シートを供給することによって、前記画線部に付与されている印刷ペーストを前記長尺シート上に印刷して前記構成要素膜を形成する、印刷工程を備え、
   前記印刷工程は、前記構成要素膜の、前記長尺シートの供給方向に直交する幅方向のずれを検出する、ずれ検出工程と、前記ずれを補正するため、前記印刷ロールと前記長尺シートとの幅方向での相対的位置関係を変更する、ずれ補正工程とを備え、
   前記ずれ補正工程は、少なくとも１個の前記所定領域の全域にわたって、前記ずれの補正が均等に進むように実施される、
   積層セラミック電子部品の製造方法。
2. 前記ずれ補正工程は、前記印刷ロールをその軸線方向へ移動させる工程を備える、請求項１に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
3. 前記長尺シートは、長尺のキャリアフィルムによって裏打ちされた前記マザーセラミックグリーンシートであり、前記印刷工程において、前記構成要素膜は前記マザーセラミックグリーンシート上に形成される、請求項１または２に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
4. 前記長尺シートは、長尺のキャリアフィルムであり、前記印刷工程において、前記構成要素膜は前記キャリアフィルム上に形成される、請求項１または２に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
5. 前記印刷工程の後、前記キャリアフィルム上で前記マザーセラミックグリーンシートを成形する工程をさらに備える、請求項４に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
6. 前記印刷工程の後、前記キャリアフィルム上の前記構成要素膜を前記マザーセラミックグリーンシート上へ転写する工程をさらに備える、請求項４に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
7. 前記構成要素膜は、互いに位置合わせされた状態で形成される第１および第２の構成要素膜を備え、前記印刷工程は、前記第１の構成要素膜を形成する第１の印刷工程と、前記第１の印刷工程の後、前記第２の構成要素膜を形成する第２の印刷工程とを備え、前記ずれ検出工程は、前記第２の構成要素膜のずれを検出するように実施され、前記ずれ補正工程は、前記第２の構成要素膜の前記ずれを補正するように実施される、請求項１ないし６のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
8. 前記第１の構成要素膜は、導電性ペースト膜および前記導電性ペースト膜の厚みによる段差を吸収するための段差吸収用セラミックペースト膜のいずれか一方であり、前記第２の構成要素膜は、前記導電性ペースト膜および前記段差吸収用セラミックペースト膜のいずれか他方である、請求項７に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
9. 前記印刷工程において用いられる前記輪転印刷機はグラビア印刷機である、請求項１ないし８のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
10. 前記印刷ロールの外周面の周方向での全域が、前記画線部を設けるための領域として用いられる、請求項１ないし９のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。

Images