JP2003217992A - 積層型電子部品の積層体作製装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 内部電極を有する積層体を高精度かつ高速に
製造する積層型電子部品の積層体作製装置を提供する。 【解決手段】 グリーンシート１ｂを供給する巻き出し
供給部１と、グリーンシート１ｂを外周面に巻き付けて
積層体を形成する積層ドラム２と、積層ドラム２の回転
角を検出する回転角度検出装置４と、回転角度検出装置
４の情報に基づき、グリーンシート１ｂを巻き付けなが
ら積層ドラム２に巻き付けたグリーンシート１ｂ上に内
部電極を形成する内部電極印刷部５とを備えることによ
り、高速で積層体が製造できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は積層型電子部品の積
層体作製装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、電子部品に対する小型、高機能化
が求められる中で、積層セラミックコンデンサをはじめ
とする積層型電子部品の積層工程製造プロセスへの関心
が高まっている。

【０００３】そのなかでも、高機能化のひとつである高
積層化の流れに伴い、ひとつの商品を製造するための積
層回数とその製造コストの増大が大きな課題となってい
る。

【０００４】従来の積層型電子部品の製造方法は大別す
ると以下の３種類に分類することができる。

【０００５】一つ目は、図１２に示すように、内部電極
印刷済みのシートを１枚ずつの個片状で扱い、外形基準
や穴基準などのメカ的な位置決め方法か、カメラと画像
処理法を用いた認識・アライメントによる方法等、何ら
かの位置決め手段により、下層のシートに対する所定の
位置に積み重ね、熱、圧力等の作用によりシート間を固
定することを所定の回数繰り返すことで積層体を作製す
るというものである。

【０００６】二つ目は、図１３に示すように、積層体を
形成するパレット等の上に電極を印刷していないシート
を個片状で積み重ね、熱、圧力等の作用により下層の積
層体と固定し、外形基準や穴基準などのメカ的な位置決
め方法か、カメラと画像処理法を用いた認識・アライメ
ントによる方法等、何らかの位置決め手段により位置決
めされたパレット等の平面上に電極印刷を行うことを１
枚ずつ繰り返して積層体をつくり、所定の回数積層する
ことで積層体を作製するというものである。

【０００７】三つ目は、シートを連続体として回転体に
巻き回して積層体をつくる方法であり、その内のひとつ
は特開平１１−２３８６４５号に示されるように、自立
性のあるフィルムをボビンに巻き回して巻回体を得なが
ら、位置決め動作によって下層との相対位置を合わせた
印刷済みの電極を転写によってその上の上層に形成し、
積層体を形成する方法である。また、もうひとつは、特
開２０００−５８３７９号に示されるように、積層体を
形成する多角柱状ロールと、内部電極形成部と、位置調
整部とによって構成され、位置調整部によって、多角柱
状ロールの平面部分に形成された積層体の電極位置と内
部電極形成部によって積層体の上層にこれから形成する
内部電極との相対位置を決めるものである。

【０００８】しかしながら一つ目の方法では、１枚ずつ
の個片状シートを下層に対して位置決めする動作の時間
Ｔ−１ａと、位置決めされたシートを下層と密着させる
動作の時間Ｔ−１ｂの合計時間であるＴ−１ａ＋Ｔ−１
ｂが１層ごとに必要となる。

【０００９】また、二つ目の方法では供給したシートを
パレット等の上の積層体と密着させる動作Ｔ−２ａと、
積層体を形成するパレット等を位置決めする動作の時間
Ｔ−２ｂとその積層体の上に電極印刷する動作の時間Ｔ
−２ｃの合計であるＴ−２ｂ＋Ｔ−２ｃとのどちらか長
い方の時間が１層ごとに必要になる。

【００１０】また、三つ目の方法では、印刷済みの電極
の位置あわせ時間Ｔ−３ａと転写時間Ｔ−３ｂの合計Ｔ
−３ａ＋Ｔ−３ｂ、または多角柱状ロールと内部電極印
刷部との位置あわせ時間Ｔ−４ａと内部電極の形成時間
Ｔ−４ｂの合計Ｔ−４ａ＋Ｔ−４ｂが必要となる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来の方法
でどうしても必要なこれらの動作を、より単純化し、高
速での積層を実現する積層型電子部品の積層体作製装置
を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】第１の発明は、次の構成
よりなるものである。すなわち、グリーンシートを所定
の張力を付加して供給する巻き出し供給部と、前記グリ
ーンシートを巻き付けて積層する積層ドラムと、前記積
層ドラム上で前記グリーンシートとを前記積層ドラムに
巻き付けた積層体に加圧する押えローラー部と、前記積
層ドラムの回転角を検出する角度検出装置と、前記角度
検出装置により検出した前記回転角情報に基づき前記積
層ドラムに積層した前記グリーンシートの所定位置に、
前記グリーンシートを巻き付けながら内部電極を形成す
る内部電極印刷部よりなることを特徴とし、角度検出装
置からのタイミング信号にあわせて印刷をするだけで、
アライメントや位置決めしないで各層の電極位置をそろ
えた積層体をグリーンシートを巻き付けながら作製する
ことができるものである。

【００１３】第２の発明は第１の発明において、内部電
極印刷部がインクジェット方式であることを特徴とし、
積層体に非接触で、角度検出装置からのタイミング信号
にあわせて印刷をするだけで、アライメントや位置決め
しないで各層の電極位置をそろえた積層体を作製するこ
とができるものである。

【００１４】第３の発明は内部電極印刷部が、複数個の
内部電極印刷部により構成され、これらの複数個の内部
電極印刷部が、積層ドラムの回転方向に垂直な方向から
見て複数箇所の位置にわかれて設置され、それぞれの内
部電極印刷部が補正制御部により補正されて印刷するこ
とを特徴とし、複数個のヘッドを自由に配置し、広い範
囲の印刷ができるものである。また、印刷ヘッドを分散
して配置することで、乾きにくいインクとシートの組み
合わせの場合でも、各ヘッドで形成されたインクが隣同
士でつながりにくくできるなど、最適な印刷状態を提供
できるものである。

【００１５】第４の発明はグリーンシートを巻き付ける
ことにより変化する積層ドラムの外周直径を測定する積
層体厚み測定装置を持ち、この情報により請求項３に記
載の補正制御を行うことを特徴とし、精度良く各層の電
極位置をコントロールすることが可能となる。

【００１６】第５の発明はグリーンシートを巻き付ける
ことにより変化する積層ドラムの外周直径を測定するこ
となくシートの厚み、巻き付け量、圧縮率等の各種情報
を基に演算で積層体厚みを求める演算部と、この演算部
の情報により請求項３に記載の補正制御を行うことを特
徴とし、より簡単な機構で精度良く各層の電極位置をコ
ントロールすることが可能となる。

【００１７】第６の発明は積層ドラムが円柱形状である
ことを特徴とし、内部電極印刷部をどの位置に配置して
も内部電極印刷部と積層ドラムとの距離を一定にして印
刷が可能となる。また、平面にしか印刷できない印刷工
法の場合に適している。

【００１８】第７の発明は、積層ドラムが多角柱形状で
あることを特徴とし、積層し終えた積層体が平板状に形
成されるので、後工程でプレスされても内部に応力が発
生したり、クラックが生じないですむ。

【００１９】第８の発明は、内部電極印刷部に追従ロー
ラー等の接触式上下機構を設けたことを特徴とし、積層
ドラムが多角柱形状である場合に、多角柱状形状の角部
と辺部による積層ドラムと内部電極印刷部との間の距離
を一定に保つことができる。

【００２０】第９の発明は、内部電極印刷部に非接触式
上下駆動機構と積層ドラムとの距離を測定または演算す
る上下位置駆動制御部を設けたことを特徴とし、積層ド
ラムが多角柱形状である場合に、多角柱形状の角部と辺
部による積層ドラムと内部電極印刷部との間の距離を一
定に保つことができる。

【００２１】第１０の発明は積層ドラム外周に分割式の
パレットを装着していることを特徴とし、所定の積層が
完了した後にパレット間で切断し、パレット単位での取
り出しが可能となる。

【００２２】第１１の発明は、積層ドラム外周に分割式
のパレットを装着し、そのパレット間に切断刃を通せる
溝を設けたことを特徴とし、パレット間での切断作業が
容易になる。

【００２３】第１２の発明は、グリーンシート供給部と
積層ドラムの間に、接着剤の塗布部を設けたことを特徴
とし、タック性のないシートでも各層の電極位置がずれ
ないで積層することができる。

【００２４】第１３の発明は、接着剤塗布済みのグリー
ンシートを用い、グリーンシート供給部から積層ドラム
までの間のグリーンシート接触部に非粘着処理を施した
ことを特徴とし、接着剤塗布部無しでも各層の電極位置
ずれがないで積層することができる。

【００２５】第１４の発明は、積層ドラム上で押えロー
ラーなどを利用して熱、または圧力などによりグリーン
シートを積層ドラム上の積層体に部分的または全面で固
定することを特徴とし、接着剤を塗らなくても、タック
性のないシートを固定することができる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下に、本発明を積層セラミック
コンデンサの積層体の製造に適用した形態について図面
を用いて説明する。

【００２７】図１は本発明の実施の形態における積層セ
ラミックコンデンサの積層体製造装置の要部構成模式図
である。

【００２８】図２（ａ）〜（ｂ）は、本発明の実施の形
態である積層セラミックコンデンサの製品構造の構成図
である。積層チップコンデンサは図２（ａ）に示すよう
な構造をしており、内部電極は図２（ｂ）に示すよう
に、グリーンシート１ｂの上に内部電極が片側の外部電
極側のみに接触できるように片寄らせて形成されてお
り、積層するグリーンシート１ｂとなる誘電体シート１
枚ごとに片寄らせる方向を逆にして積み重ねていくこと
で、ひとつの積層チップコンデンサ内に並列の誘電体よ
りなる容量成分（Ｃ成分）を何層も持たせた構造として
いる。

【００２９】実際の積層体作製は、ひとつひとつの部品
ごとに積層するのではなく、縦横複数個分の大きさのシ
ート単位で積層していく。

【００３０】このとき、内部電極パターンは図２（ｂ）
に示すようにＡパターン（シートＡ）、Ｂパターン（シ
ートＢ）を１層ごとに切り替えて形成し、それらを交互
に積層して積層体を作製することにより、積層し終わっ
た積層体の断面は図２（ａ）のような構造となる。

【００３１】図１において、１はシートロール１ａと巻
き出し量調整装置１ｃを有したシート巻き出し供給部で
あり、シートロール１ａより巻き出されたグリーンシー
ト１ｂは途中のガイド（図示せず）、巻き出し量調整装
置１ｃを経て積層ドラム２に巻き付けられる。

【００３２】巻き付ける時のシートの先端部は、積層ド
ラム２の外周面となる側面に複数個配置されるパレット
１２同士の間に設けられた溝１３の間に差し込み、図中
に表示されないシート保持機構によりずれないように保
持されるか、もしくは、パレット１２の内のひとつまた
は複数のパレット表面に粘着部を設けて固定する。さら
には、パレット１２の表面にシート先端部を沿わせて上
から粘着テープ等で貼り付けて固定するなどの方法でず
れないように固定する。この時パレット表面に用いる粘
着部は、積層体完成後の積層体のパレット１２からの取
り外しを考えて、その粘着材料として温度やＵＶ光、そ
の他の条件で粘着力が変化するものであってもかまわな
い。

【００３３】このようにシート先端部を固定した後、グ
リーンシート１ｂは押えローラー３により積層ドラム２
の外周面上に沿って、積層面の空気を押し出しながら密
着させられる。

【００３４】次に、図１に示されていない積層ドラム駆
動部により積層ドラム２は図１の矢印方向（時計方向）
に回転させられ、積層ドラム２に沿わされていたグリー
ンシート１ｂは積層ドラム２に巻き付けられ、例えば、
積層ドラム２をＮ回回転させることでＮ層の積層体が形
成される。

【００３５】この時、接着剤塗布部１４により、グリー
ンシート１ｂの積層面となる下面に接着剤を塗布しなが
ら巻き付けていくことにより、グリーンシート１ｂは下
層の積層体に固着され、積層ドラム２の回転を停止した
ときや、回転による巻き締まり、巻き付け力の変動など
により巻き付けられたシートがずれることなく積層体が
作製できる。この接着剤塗布部１４は、スプレー方式、
ローラー塗工方式、ブレード方式、あるいはその他の塗
布方式によるものでも可能であり、塗布条件によって、
なんらかの乾燥機能を付加してもかまわない。さらに、
接着剤として、シート状に成形されたものを積層ドラム
２に巻き付ける前工程となるこの場所でグリーンシート
１ｂに貼り合わせることや、あらかじめグリーンシート
１ｂのシートロール１ａにこのような接着機能をもたせ
ておくことによっても同様の効果が得られる。

【００３６】このように各層間が接着剤で固着された状
態で、積層ドラム２に設けた回転角度検出装置４からの
積層ドラム２の回転角情報を有する信号と別途用意され
ていた印刷パターンデータに基づき、すでに内部電極印
刷部５により形成した下層の積層体の電極位置に合わせ
て所定の正しい位置関係になるように内部電極が上層に
形成される。この時、内部電極形成はグリーンシート１
ｂをＮ層積層する中で任意の層だけを選んで行えること
は言うまでもないことである。また、印刷される内部電
極パターンは層ごとに異なったものでも、同じものでも
かまわない。

【００３７】この内部電極印刷部５は、積層ドラム２の
回転角度検出装置４からの信号に基づいて、デジタル制
御で印刷形状、印刷タイミングを変更、微調整できるこ
とを特徴としており、言い換えれば内部電極として印刷
されるパターンは、ドットなどの小さい部分の集合体と
して表され、回転角度検出装置４の最小分解能ごとにド
ットなどの小さい部分が結び付けられて集合体を形成し
ている。そのため例えドラムの回転スピードが変わって
も、回転角度検出装置４の最小分解能以上にはドットな
どの小さい部分の集合体の印刷される位置はずれること
がないので、最小分解能以上に印刷精度が落ちることが
なく、自由にドラム回転速度の変更を可能にするのであ
る。

【００３８】複数個配置されているパレット１２の内の
ひとつを例にとってみると、パレット１２内ではまず１
層分のシートを巻き付けた後、内部電極形成（必要な層
のみ）をし、ふたたび１層分のシート巻き付けを行うと
いったこの動作が繰り返されて内部電極を有した積層体
が形成され、所定の積層回数だけ積層ドラム２を回転さ
せることで、積層ドラム２の多角形の面数分の所定層数
の積層体が作製できる。

【００３９】所定層数の積層終了時には、所定層数を最
後に終了したパレット２が押えローラー３を通過したと
ころで、グリーンシート１ｂを図１中に示していない切
断機構により切断し、シートの終端処理を行う。

【００４０】このようにグリーンシート１ｂを積層ドラ
ム２に巻き付けることで積層体を作製するに当たり、巻
き付ける時のグリーンシート１ｂの幅方向の位置は蛇行
などにより少々ずれても内部電極の層間の位置関係には
影響はないが、極端にずれるとシートの有効面積が減少
するので、蛇行防止のための幅方向巻き出し位置制御機
構などを併用する場合もある。

【００４１】積層体が積層ドラム２の外周面上に作製で
きたら、パレット１２同士の間にある溝１３に沿って切
断刃により連続状の積層体をパレット単位の大きさに分
離して、積層ドラム２からパレット１２ごと外して取り
出す。

【００４２】パレット１２に関しては、積層完了後の取
り出しの際に、パレット１２以外の積層体の着脱が容易
に行える手段として、吸着による積層体保持、あるいは
粘着力可変可能なシートによる積層体保持などを用いた
場合はパレット１２ごと取り出すことを省略することは
可能である。

【００４３】また、図３に示すような所定のノズルピッ
チで複数のノズルを有したインクジェットヘッドを使用
するインクジェット方式の電極印刷工法を内部電極印刷
部５に用いる場合、図４のインクジェットヘッドを有し
た印刷ヘッド５ａ，５ｂ，５ｃまたは図５の印刷ヘッド
５ａ，５ｂ，５ｃに示すように、内部電極印刷部５を複
数個設け、積層ドラム２の外周面上の複数箇所に分けて
配置することも可能である。その場合は図４の配置、図
５の配置の場合それぞれの場合において、図６のように
印刷ヘッド５ａ，５ｂ，５ｃが各々ノズルピッチ方向に
少しずつずらして配置され、かつ互いの印刷ヘッド５
ａ，５ｂ，５ｃのノズル間の隙間を補完しあえる配置の
場合と、図７のように印刷ヘッド５ａ，５ｂ，５ｃの各
印刷ヘッドの端のノズルとその隣の印刷ヘッドの端のノ
ズルが隣接するように配置される場合とがある。

【００４４】内部電極印刷の分解能をあげて印刷精度を
向上させたいときは図６のような配置を、内部電極印刷
の印刷面積を拡げたいときは図７のような配置を、ま
た、分解能向上も印刷範囲拡大も必要な場合は図６と図
７の両方を併用した配置とすることで可能となる。

【００４５】また実際には、回転角度検出装置４からの
信号と、図示されていない汎用パーソナルコンピュータ
内に用意されている内部電極の印刷パターンデータと
が、演算部８に入力され、その演算結果が次の補正制御
部６に渡され、次のような印刷タイミング合わせの補正
が行われ、さらに高精度な内部電極の印刷を可能とす
る。

【００４６】補正の内容としては、図１のような多面体
の積層ドラム２上に積層体と内部電極印刷を行う場合
は、図８に示すように、各グリーンシート１ｂ上に垂直
に内部電極を積み重ねて積層体を形成したいので、グリ
ーンシート１ｂを巻き付けた積層体の厚さの変化ととも
に印刷パターンの端の印刷開始位置をそれに対応する角
度信号により補正したり、図９に示すように複数の内部
電極用の印刷ヘッド５ａ，５ｂ，５ｃと積層ドラム２上
の被印刷面との距離が印刷ヘッドの配置位置によりそれ
ぞれ異なり、その距離の違いも積層ドラム２の回転とと
もにリアルタイムで変化するので、リアルタイムで各印
刷ヘッド５ａ，５ｂ，５ｃ毎に印刷タイミングを補正す
る必要がある。このような補正計算をするのが補正制御
部６であり、演算部８の信号が補正制御部６で補正され
てから内部電極印刷部５に印刷指示信号として出され
る。

【００４７】角度補正に関して、さらに具体的に説明す
る。積層ドラム２が多角柱状で、内部電極印刷部５が複
数個設置されておりその複数個が図５のように多角柱の
外周面の１つの面内に設置されていて、かつその複数個
のノズルを有した複数の印刷ヘッドが上下方向には互い
に固定されていて同じタイミングでしか上下できない場
合、図９のように、印刷ヘッド５ａ，５ｂ，５ｃから積
層ドラム２面での着弾までの距離が異なることになる。
しかもその距離の差は一定でなく、積層ドラム２の回転
角度θの関数で表される。

【００４８】もともとの積層ドラム２外周での回転方向
の各印刷ヘッド５ａ〜５ｃの位置のちがいによるタイミ
ング補正と別に、回転している積層ドラム２上での着弾
位置のずれはこの距離の差Δｘ２（またはΔｘ１）によ
って、Ｖｄ×Δｘ２／Ｖｉと表され、補正部８によりこ
れをリアルタイムで補正することができる。ここでＶｄ
はドラム回転速度、Ｖｉはインク飛行速度である。

【００４９】パレット１２に対して内部電極を垂直に積
み重ねるために、グリーンシート１ｂを巻き付けている
ときの積層体の厚さの変化とともにパターン端の印刷開
始位置の補正を行う時は、図１に示すように積層ドラム
２外周面上に配置した積層体厚み測定装置７からの積層
体厚み情報を含む信号を補正制御部６に伝え補正計算を
行う。

【００５０】この厚み補正に関し、さらに具体的に説明
する。積層ドラム２にグリーンシート１ｂを巻き付け
て、回転角度検出装置４からの一定角度の角度信号でタ
イミングをとって内部電極を印刷するだけだと、巻き付
けていくに従い積層ドラムの外形が大きくなるにつれ
て、積層体におけるグリーンシート１ｂの断面方向にお
いて、電極の形状が積層体の上方ほど広がりをもって大
きくなり、ひとつの積層コンデンサのチップサイズでは
平行四辺形になってしまう。これを防ぐために、積層体
厚み測定装置７、もしくは積層体の厚みを求める演算部
８によりリアルタイムでの積層ドラム２に巻き付けられ
ていたグリーンシート１ｂを含む外形寸法を把握し、回
転角度検出装置４からの回転位置信号を補正し、積層体
の断面形状が平行四辺形に傾かないように補正する。

【００５１】すなわち、図８に示すように、角度補正し
ない場合は１層目〜全ての層をθ₀度のタイミングで印
刷を開始するが、巻き付けた層の厚さを測定しΔθ度の
印刷のタイミングを角度補正することで、内部電極が傾
かずにまっすぐ積層できるのである。

【００５２】また、積層体厚み測定装置７は図１のよう
な接触式でも、ＬＥＤ、レーザーを用いた光学式の非接
触式であってもかまわない。

【００５３】また、積層ドラム２の形状が図１に示すよ
うに多角形である場合は、内部電極印刷部５が積層ドラ
ム２外周に固定されていると、内部電極印刷部５と非印
刷体である積層体のグリーンシート１ｂ表面との距離が
積層ドラム２の回転とともに変化してしまう。印刷方法
によってはこの距離を一定に保つことが望ましい場合が
あり、その場合は図１の追従ローラー９に固定されてい
る内部電極印刷部５の印刷ヘッドにより印刷すること
で、内部電極用の印刷ヘッドは追従ローラー９とともに
多角形の外周面の外周形状にあわせて上下し、その結果
内部電極印刷部５と非印刷体である積層体のグリーンシ
ート１ｂ表面との距離は一定に保たれることが可能とな
る。このためには追従ローラー９は積層ドラム２に巻き
付けている積層体の上に自重、またはばね等の力で押さ
えられている必要があり、これにより積層体の厚み変化
による内部電極印刷部５の高さ調整も自動的に行うこと
が可能となる。

【００５４】追従ローラー９による積層体面との接触を
行わずに実施する場合は、図１０に示すように非接触式
の内部電極印刷部５を有した非接触式上下機構１０を使
用してもかまわない。これは内部電極印刷部５のすぐ横
に取り付けた距離測長センサーにより印刷ヘッドと積層
ドラム２との距離を測定し、その結果を上下コントロー
ル部となる上下位置駆動制御部１１で演算し、積層ドラ
ム２の凸部となる山がくれば印刷ヘッドを上に、谷がく
れば印刷ヘッドを下に上下駆動部により移動させるもの
である。

【００５５】こうすることにより、多角柱形状の角部と
辺部による積層ドラム２と内部電極印刷部５との間の距
離を一定に保つことが可能となり、印刷品質の向上が可
能となる。

【００５６】なお、内部電極印刷部５は、非接触印刷方
式、接触式のいずれであっても、印刷形状の切り替え、
または、印刷タイミングが高速に切り替えられるもので
あればかまわないことはいうまでもない。

【００５７】この時、接触式のほうが構造が簡単で安価
で作製できるが、非接触式の場合は多角柱のコーナー部
での衝撃、振動がなく、滑らかな上下動作ができ、さら
に印刷品質の向上が望める。

【００５８】さらには、非接触式の内部電極印刷部５の
印刷ヘッド上下方式として、図１の回転角度検出装置４
からの角度信号を図１０の距離測長センサーの代わりに
することも可能である。

【００５９】また図６のように複数の印刷ヘッドで、ノ
ズル間の隙間を補完しあって印刷パターンを形成する場
合に、図４または図５のような配置にすることで各イン
クジェットヘッドの印刷タイミングに時間差をつけるこ
とが可能となり、各ノズルごとに、インクジェットヘッ
ドで飛ばしたインク粒のグリーンシート１ｂへの染込み
時間を調整することが可能となる。

【００６０】したがって、電極材料インクなどのように
溶媒の中に電極材料を構成する導電性の金属粉が含まれ
る場合に、グリーンシート１ｂ上に形成された電極パタ
ーン内での金属成分である金属粉の片寄りと、インクジ
ェットヘッドから飛び出すインク粒で構成するドットを
連続的に形成することによりつくられる電極パターンの
緻密性との２つの特性をインクの乾燥性とグリーンシー
ト１ｂへのインク染込み特性を使い分けることにより、
バランスよく調整し、設定することを可能にするのであ
る。

【００６１】図１１は、前述のインクジェット方式の電
極印刷工法を説明する模式図である。

【００６２】図１１（ａ）に示すようにインク粒を同時
に飛ばして所定の幅の電極パターンを形成した場合、イ
ンクのシートへの染込み、あるいは、インクの乾燥時間
が同一なことにより、インクが硬化するまでの間に、幅
方向の端部の金属粉が中央部に移動し、電極パターン内
において金属成分の片寄りが発生する。

【００６３】これは、図１１（ｂ）に示すように、イン
クが染込みやすいシートを使用するか、あるいは、乾燥
性の高いインクを使用することで金属成分のムラをなく
することはできるが、図１１（ｃ）に示すようにインク
が染込みにくいシートであったり、または、乾燥しにく
いインクを使用しても、インク粒をシートに形成する際
にたとえば幅方向に対して、個々のインク粒を時間差を
もたせて形成することでも、金属成分の片寄りをなくす
ことができる。

【００６４】なお、積層ドラム２が円柱形状であれば、
内部電極印刷部５の各印刷ヘッドの配置を、積層ドラム
２と同心円上に配置することで、角度補正が不要で、か
つ内部電極印刷部５と印刷面の距離変化がないので、印
刷ヘッドを上下させる必要がないので、装置を簡単にす
ることが可能である。

【００６５】

【発明の効果】角度検出装置と、デジタル制御で印刷形
状、印刷タイミングを変更、微調整できることを特徴と
した内部電極印刷部と、シートの接着剤塗布部と、積層
ドラムをもつ構成の本積層体作製装置によれば次のよう
な効果がある。

【００６６】従来の方式１，２に対しては、シートを個
片にしてのハンドリング時間が不要であり、かつ、印刷
済みシートの位置あわせまたは積層体パレットの位置あ
わせ時間と、シートと積層体を固定する時間の合計をか
けずに積層体が作製できる。

【００６７】従来の方式３のような連続シートでの積層
方法に対しても、印刷済みシートの位置あわせまたは積
層体パレットの位置あわせ時間と、シートと積層体を固
定する時間をかけずに、内部電極印刷部の印刷スピード
にのみ依存する高速積層プロセスが実現できる。

【００６８】また、位置決めユニットや認識アライメン
ト機構などの複雑で高価な機構を使わないで済む効果も
ある。

【００６９】さらに、間欠回転による積層でなく、積層
ドラムを連続回転させながら積層体を作製することに適
した構成となっているため、間欠回転設備よりもさらに
生産性をあげることが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態における積層セラミックコ
ンデンサの積層体製造装置の要部構成模式図

【図２】本発明の実施の形態である積層セラミックコン
デンサの製品構造の構成図

【図３】インクジェット工法の印刷ヘッドの概略図

【図４】複数個の内部電極印刷部を積層ドラムの外周に
配置した状態を示す構成模式図

【図５】複数個の内部電極印刷部を積層ドラムの外周に
配置した他の状態を示す構成模式図

【図６】複数個の内部電極印刷部がグリーンシートに対
して配置されている状態を示す平面模式図

【図７】複数個の内部電極印刷部がグリーンシートに対
して配置されている別の状態を示す平面模式図

【図８】多角柱状の積層ドラムに積層体を形成するとき
の厚み補正を説明する模式図

【図９】多角柱状の積層ドラムに積層体を形成するとき
の角度補正を説明する模式図

【図１０】非接触式の内部電極印刷方式を示す構成模式
図

【図１１】インクジェット方式の電極印刷工法を説明す
る模式図

【図１２】従来の積層体製造方法を示す模式図

【図１３】従来の他の積層体製造方法を示す模式図

【符号の説明】

１ シート巻き出し供給部 ２ 積層ドラム ３ 押えローラー ４ 回転角度検出装置 ５ 内部電極印刷部 ６ 補正制御部 ７ 積層体厚み測定装置 ８ 演算部 ９ 追従ローラー １０ 非接触式上下駆動機構 １１ 上下位置駆動制御部 １２ パレット １３ 溝 １４ 接着剤塗布部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 青木 潔 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 竹田 徹 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 前波 信也 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 坂口 佳也 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 大槻 淳 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5E082 AA01 AB03 BB01 BC38 EE04 EE23 EE35 FF05 FG04 FG26 FG46 FG54 GG10 MM07 MM12 MM17 MM22

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 グリーンシートを所定の張力を付加して
   供給する巻き出し供給部と、前記グリーンシートを巻き
   付けて積層する積層ドラムと、前記積層ドラム上で前記
   グリーンシートを前記積層ドラムに巻き付けた積層体に
   加圧する押えローラー部と、前記積層ドラムの回転角を
   検出する角度検出装置と、前記角度検出装置により検出
   した前記回転角情報に基づき前記積層ドラムに積層した
   前記グリーンシートの所定位置に、前記グリーンシート
   を巻き付けながら内部電極を形成する内部電極印刷部と
   を備えた積層型電子部品の積層体作製装置。
2. 【請求項２】 内部電極印刷部はインクジェット方式に
   より内部電極を形成する請求項１に記載の積層型電子部
   品の積層体作製装置。
3. 【請求項３】 内部電極印刷部が、複数個の内部電極印
   刷部により構成され、これらの複数個の内部電極印刷部
   が、積層ドラムの回転方向に垂直な方向から見て複数箇
   所の位置にわかれて設置され、それぞれの内部電極印刷
   部が補正制御部により補正されて印刷されることを特徴
   とする請求項１に記載の積層型電子部品の積層体作製装
   置。
4. 【請求項４】 グリーンシートを巻き付けることにより
   変化する積層ドラムの外周直径を測定する積層体厚み測
   定装置を持ち、この情報により補正制御を行うことを特
   徴とする請求項３に記載の積層型電子部品の積層体作製
   装置。
5. 【請求項５】 グリーンシートを巻き付けることにより
   変化する積層ドラムの外周直径を測定することなくシー
   トの厚み、巻き付け量、圧縮率等の各種情報を基に演算
   で積層体厚みを求める演算部と、この演算部の情報によ
   り補正制御を行うことを特徴とする請求項３に記載の積
   層型電子部品の積層体作製装置。
6. 【請求項６】 積層ドラムが円柱形状であることを特徴
   とした請求項１に記載の積層型電子部品の積層体作製装
   置。
7. 【請求項７】 積層ドラムが多角柱形状であることを特
   徴とした請求項１に記載の積層型電子部品の積層体作製
   装置。
8. 【請求項８】 多角柱形状の角部と辺部による積層ドラ
   ムと内部電極印刷部との間の距離を一定に保つために、
   内部電極印刷部に追従ローラー等の接触式上下機構を設
   けたことを特徴とする請求項７に記載の積層型電子部品
   の積層体作製装置。
9. 【請求項９】 多角柱形状の角部と辺部による積層ドラ
   ムと内部電極印刷部との間の距離を一定に保つために、
   内部電極印刷部に非接触式上下駆動機構と前記積層ドラ
   ムとの距離を測定または演算する上下位置駆動制御部を
   設けたことを特徴とする請求項７に記載の積層型電子部
   品の積層体作製装置。
10. 【請求項１０】 積層ドラム外周に分割式のパレットを
    装着していることを特徴とする請求項１に記載の積層型
    電子部品の積層体作製装置。
11. 【請求項１１】 積層ドラム外周に分割式のパレットを
    装着し、そのパレット間に切断刃を通せる溝を設けたこ
    とを特徴とする積層型電子部品の積層体作製装置。
12. 【請求項１２】 グリーンシート供給部と積層ドラムの
    間に、接着剤の塗布部を設けたことを特徴とする請求項
    １に記載の積層型電子部品の積層体作製装置。
13. 【請求項１３】 グリーンシート供給部から積層ドラム
    までの間のグリーンシート接触部に非粘着処理を施した
    ことを特徴とする請求項１に記載の積層型電子部品の積
    層体作製装置。
14. 【請求項１４】 押えローラーによりグリーンシートを
    積層ドラム上の積層体に部分的または全面で固定するこ
    とを特徴とする請求項１に記載の積層型電子部品の積層
    体作製装置。