JP2009233795A - シリコンインゴット用測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】四角柱状のシリコンインゴット2の前後をチャッキングするチャッキング部10a,10b、チャッキング部10a,10bにチャッキングされたシリコンインゴット2を回転させる回転軸部14、回転軸部14の軸心を基準位置としてシリコンインゴット2の各側面5までの4方向の長さ寸法を測定する測定装置8を備える。シリコンインゴット2を回転させる回転軸部14の軸心を基準位置として、シリコンインゴット2の4方向の側面5までの寸法を測定することでシリコンインゴット2の外形寸法を測定する際、測定の基準点となる基準位置はシリコンインゴット2をチャッキングすることで変化することがないよう位置決めされているので、シリコンインゴット2の外形の寸法を高精度に測定することができる。
【選択図】図3
Description
2 シリコンインゴット
5 側面
7 研削研磨装置
8 測定装置
10a,10b チャッキング部
14 回転軸部
25 タッチセンサー
Claims (5)
- 四角柱状のシリコンインゴットをスライス加工することでシリコンウエハが形成される加工工程前に前記シリコンインゴットの寸法を測定することができるシリコンインゴット用測定装置であって、該シリコンインゴット用測定装置に、前記シリコンインゴットの前後をチャッキングするチャッキング部と、該チャッキング部を回転させる回転軸部とを備え、該回転軸部の軸心を中心として、前記チャッキング部にチャッキングされた前記シリコンインゴットを90度単位で回転できるように構成し、前記軸心を基準位置として、前記シリコンインゴットの側面までの4方向の長さ寸法を測定する測定装置を備えたことを特徴とするシリコンインゴット用測定装置。
- 前記測定装置にはタッチセンサーを備え、該タッチセンサーが前記シリコンインゴットの4箇所の側面に接触されることにより、前記軸心を基準位置として、前記シリコンインゴットの側面までの4方向の長さ寸法を測定することを特徴とする請求項1記載のシリコンインゴット用測定装置。
- 前記角柱状のシリコンインゴットを前記チャッキング部でチャッキングした際、シリコンインゴットの2箇所の側面を垂直になるように配置し、該垂直に配置された前記シリコンインゴットの側面に対向する位置に前記タッチセンサーを備えた測定装置を配設したことを特徴とする請求項2記載のシリコンインゴット用測定装置。
- 前記角柱状のシリコンインゴットを前記チャッキング部でチャッキングした際、シリコンインゴットの2箇所の側面を水平になるように配置し、該水平に配置された前記シリコンインゴットの側面に対向する位置に前記タッチセンサーを備えた測定装置を配設したことを特徴とする請求項2記載のシリコンインゴット用測定装置。
- 前記シリコンインゴットの垂直又は水平に配置された側面に対向する位置に前記タッチセンサーを備えた測定装置を備える一方で、該測定装置の配置していない側面に対向する位置に前記シリコンインゴットの側面を研削/研磨する研削研磨装置を配設したことを特徴とする請求項2に記載のシリコンインゴット用測定装置。
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