KR101863946B1 - Rtr 노광 제어방법 - Google Patents

Abstract

노광 부재에 의한 노광 처리 과정에서 연성회로 기판의 베이스 소재로 사용되는 필름 형상의 기재의 장력 상태를 최적으로 유지하면서 기재의 공급 및 감기를 정상적으로 실행할 수 있는 RTR 노광 제어방법에 관한 것으로, (a) 상기 노광 부재를 향해 기재를 공급하는 공급 부재와 상기 노광 부재에 의해 처리된 기재를 감는 감기 부재 사이에 상기 기재를 세팅하는 단계, (b) 상기 노광 부재에서 상기 기재에 관해 노광 처리가 실행되도록 상기 공급 부재와 감기 부재를 작동시키고 제어 수단이 상기 공급 부재와 감기 부재 사이에서 상기 기재의 인장력을 감지하는 단계, (c) 상기 공급 부재와 감기 부재에서 상기 제어 수단이 상기 기재의 공급 및 감기의 상태를 감지하는 단계, (d) 상기 단계 (b)에서 감지된 인장력이 미리 설정된 인장력에 대응하지 않는 경우, 상기 제어 수단이 상기 기재에 인가되는 인장력을 가감하는 단계, (e) 상기 단계 (c)에서 감지된 상기 기재의 공급 및 감기의 상태가 미리 설정된 위치에서 어긋나는 경우, 상기 제어 수단이 상기 공급 부재 또는 감기 부재의 위치를 제어하는 단계를 포함하고, 상기 단계 (b)와 단계 (c)는 동시에 실행되고, 상기 단계 (b) 내지 단계 (d)는 상기 공급 부재에 감긴 기재의 노광 처리의 공정에 완료될 때까지 반복 실행되는 구성을 마련하여, 기재에 관한 노광 작업을 최적화하여 실행할 수 있다.

Description

RTR 노광 제어방법{Roll To Roll Exposure Control Method}

본 발명은 RTR(Roll To Roll) 노광 제어방법에 관한 것으로, 특히 노광 부재에 의한 노광 처리 과정에서 연성회로 기판의 베이스 소재로 사용되는 필름 형상의 기재의 장력 상태를 최적으로 유지하면서 기재의 공급 및 감기를 정상적으로 실행할 수 있는 RTR 노광 제어방법에 관한 것이다.

최근 전자산업 기술분야에서 반도체 집적회로의 집적도 발전, 소형 칩 부품을 직접 탑재하는 표면 실장 기술의 발전 및 전자장비들의 소형화 추세에 따라, 보다 복잡하고 협소한 공간에서도 내장이 용이한 인쇄회로기판의 필요성이 증대되었으며, 이러한 요구에 부응하여 연성인쇄회로기판이 개발되었다. 이러한 연성 인쇄회로기판은 휴대단말기, LCD, PDP, 카메라, 프린터 헤드 등 전자장비들의 발전으로 인하여 사용이 급격히 증가하면서 그 요구는 더욱 늘어가고 있다. 즉, 휴대 전화, 모바일 기기 등의 각종의 소형 전기 기기에 이용되는 전자 회로 기판(프린트 회로기판)의 전기 회로 베이스 소재는 기기가 경박단소로 발전하므로, 얇고 고정밀도인 필름 형태의 연성 기판이 사용된다.

이러한 필름 형태의 연성 기판은 폴리이미드(Polyimide) 수지와 같은 절연성 필름의 일면 또는 양면에 동박 층이 형성된 동박 적층판에 관통 홀을 형성한 후, 상기 관통 홀을 동 도금한 후, 상기 동박 적층판에 드라이 필름(Dry film)을 라미네이팅(Laminating) 한 후, 순차적으로 노광, 현상 및 에칭으로 회로패턴을 형성한 다음, 동박 적층판의 외측에 커버레이 필름(Coverlay film)을 가접하고 열 프레스를 이용하여 적층하는 과정을 거쳐 제조되며, 그 두께가 0.1㎜ 정도에서 0.06㎜로 박형화 경향이 되고 있다. 또한, 최근에는 두께가 0.05㎜ 이하이고 폭이 550㎜, 그리고 길이가 100m의 얇고 폭이 넓으며 매우 긴 기판이 이용되고, 통상적으로 롤(Roll) 형으로 감겨 다루어지고 있다.

또 필름 형태의 연성 기판의 제작 시, 다층의 기능성 잉크를 중첩하여 인쇄하며, 중첩정밀도(registration)를 균일하게 유지시켜야 생산 수율을 높이고 안정적인 소자성능을 구현할 수 있다. 중첩정밀도를 측정하고 제어하기 위하여 일반적으로 인쇄층 별로 고유한 모양의 레지스터마크(registration mark)를 인쇄하고, 광학센서를 이용하여 인쇄층 간의 상대적인 거리와 정렬도(alignment)를 인식하는 방법을 사용한다. 정밀한 중첩정밀도 제어를 위하여 레지스터마크의 위치 계측과 롤러 구동에 따른 위치변화의 경향성을 예측한다.

또한, 상술한 연성 기판 생산 방식을 이용할 경우 피코팅체는 권출 수단(예: unwinding roll)과 권취 수단(예: winding roll) 사이에서 일정한 장력이 인가된 상태에서 풀리고 감겨지는 동작이 반복되게 되는데, 이때, 롤과의 접촉 압력이 사용자 설정에 맞게 조절되며, 피코팅체와 코팅 롤 간의 접촉 압력은 코팅 구간에서의 피코팅체에 대한 장력 제어에 의해 실현된다.

이러한 기술의 일 예가 하기 문헌 1 내지 3 등에 개시되어 있다.

예를 들어, 하기 특허문헌 1에는 공급 릴로부터 권취 릴까지 장척이고 가소성이 있는 피 노광체를 반송하는 반송 수단, 공급 릴로부터 권취 릴에 이르는 동안에 설치된 노광 수단, 상기 피노광체의 일부분을 보관 유지하는 노광 스테이지 부재, 상기 노광 스테이지 부재를 상기 반송 수단의 상기 피노광체의 반송 방향에 따라서 왕복 이동시키는 이동 수단을 구비하고, 상기 노광 수단과 상기 노광 스테이지 부재와의 상대 이동에 의해 상기 피노광체에 패턴을 노광하는 노광 장치이며, 상기 반송 수단이 상기 공급 릴의 하류측이고 상기 노광 수단의 상류측에 설치되어, 상기 피노광체를 구속하는 공급측 구속 롤러, 상기 노광 수단의 하류측이고 상기 권취 릴의 상류측에 설치되어, 상기 피노광체를 구속하는 권취측 구속 롤러를 구비하고, 상기 공급측 구속 롤러와 상기 권취측 구속 롤러의 적어도 일방에 롤러 구동 수단을 마련한 노광 장치에 대해 개시되어 있다.

또 하기 특허문헌 2에는 모든 단계가 RTR(Roll To Roll) 방식으로 이루어지며, 동박 적층판에 드라이 필름을 밀착하는 드라이 필름 밀착단계, 상기 드라이 필름이 밀착된 상기 동박 적층판을 제1폭으로 노광, 현상, 부식, 및 박리하여 회로패턴을 형성하는 회로패턴 형성 단계 및 상기 동박적층판을 상기 제1폭의 중앙선을 따라 슬리팅(slitting) 하는 슬리팅 단계를 포함하는 FPCB의 제조 방법에 대해 개시되어 있다.

또 하기 특허문헌 3에는 하부 프레임과 상기 하부 프레임에 마련된 잉크통의 상단에서 코팅 롤이 회동 가능하도록 축 연결되며, 공급되는 피코팅체에 외주면이 접촉하여 잉크를 코팅시키는 코팅 롤 유닛, 상기 하부 프레임의 상측에 배치된 상부 프레임과 적어도 한 쌍이 상기 코팅 롤을 기준으로 전후 이격 배치되어 상기 상부 프레임의 하단에서 나란히 회전하도록 축 연결되는 텐션 조절 롤을 포함하는 텐션 조절 롤 유닛 및 회전 구동부와 상기 상부 프레임과 연결 고정되며 상기 회전 구동부로부터 회전력을 전달받아 상기 상부 프레임을 승강시켜 상기 텐션 조절 롤이 피코팅체를 가압하는 힘을 조절하는 이동 블록과 상기 이동 블록을 이동 경로를 제공하여 승강을 안내해주는 지지 가이드를 포함하는 텐션 조절 구동 유닛을 구비한 텐션 조절 기능 코팅처리부를 포함하는 롤 코팅 장치에 대해 개시되어 있다.

대한민국 공개특허공보 제2015-0135094호(2015.12.02 공개) 대한민국 등록특허공보 제10-1373330호(2014.02.28 등록) 대한민국 등록특허공보 제10-1320895호(2013.10.16 등록)

그러나 상술한 바와 같은 특허문헌 1에 개시된 기술에서는 공급측 댄서 롤러 및 권취측 댄서 롤러를 마련하고, 장척 워크의 반송에 따라서 승강하고, 장척 워크에 대해서 장력을 거는 구조로서, 공급 동작 또는 권취 동작 도중에 장척 워크의 처짐이나 주름이 생기는 것을 방지하는 구조로서, 노광 작업의 도중에 워크의 장력을 균일하게 유지하는 것이 곤란하며, 공급 릴 또는 감기 릴 자체에서 워크의 불균일한 감기 및 공급을 조절할 수 없다는 문제도 있었다.

또 상기 특허문헌 2에 개시된 기술에서는 FPCB의 제조 방법으로서 모든 단계가 롤투롤 방식으로 이루어짐으로써, 모든 단계가 연속적으로 이루어지는 구성에 대해 개시되어 있지만, 작업 과정에서 필름의 장력 조절, 감기 상태 및 공급 상태의 제어에 대해서는 전혀 개시되어 있지 않았다.

또한, 상기 특허문헌 3에 개시된 기술에서는 코팅 롤의 상측에 대향 배치된 한 쌍의 텐션 조절 롤의 위치 변위를 감지하기 위해 로드 셀을 사용하므로, 장치의 구조가 복잡하여 제조 비용이 증가하게 된다는 문제가 있었다. 또, 특허문헌 3에 개시된 기술에서는 피코팅체의 공급 측에서만 텐션 조절을 하므로, 코팅 장치 전체에서 피코팅체의 장력을 균일하게 유지할 수 없다는 문제도 있었다.

본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 연성회로 기판의 베이스 소재로 사용되는 필름 형상의 기재에 관한 노광 처리 공정에서 기재의 장력 상태를 최적으로 유지시킬 수 있는 RTR 노광 제어방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 RTR 방식에 따라 연속적으로 실행되는 노광 처리 과정에서 공급 릴에서 공급되는 기재, 공급 릴에 되감기는 기재 및 감기 릴에 감기는 기재를 정상 상태로 유지시킬 수 있는 RTR 노광 제어방법을 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 RTR 노광 제어방법은 연성회로 기판의 베이스 소재로 사용되는 감광성 필름 형태의 기재에 대해 광원 및 조명 광학계를 구비한 노광 부재에 의한 노광 처리의 공정을 제어하는 RTR(Roll To Roll) 노광 제어방법으로서, (a) 상기 노광 부재를 향해 기재를 공급하는 공급 부재와 상기 노광 부재에 의해 처리된 기재를 감는 감기 부재 사이에 상기 기재를 세팅하는 단계, (b) 상기 노광 부재에서 상기 기재에 관해 노광 처리가 실행되도록 상기 공급 부재와 감기 부재를 작동시키고 제어 수단이 상기 공급 부재와 감기 부재 사이에서 상기 기재의 인장력을 감지하는 단계, (c) 상기 공급 부재와 감기 부재에서 상기 제어 수단이 상기 기재의 공급 및 감기의 상태를 감지하는 단계, (d) 상기 단계 (b)에서 감지된 인장력이 미리 설정된 인장력에 대응하지 않는 경우, 상기 제어 수단이 상기 기재에 인가되는 인장력을 가감하는 단계, (e) 상기 단계 (c)에서 감지된 상기 기재의 공급 및 감기의 상태가 미리 설정된 위치에서 어긋나는 경우, 상기 제어 수단이 상기 공급 부재 또는 감기 부재의 위치를 제어하는 단계를 포함하고, 상기 단계 (b)와 단계 (c)는 동시에 실행되고, 상기 단계 (b) 내지 단계 (d)는 상기 공급 부재에 감긴 기재의 노광 처리의 공정에 완료될 때까지 반복 실행되는 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 RTR 노광 제어방법에서, 상기 단계 (b)는 상기 제어 수단의 메모리에 저장된 상기 기재에 대한 정보, 기재의 이동 거리 및 이동 속도에 대한 정보 및 기재의 종류에 따른 장력의 인가에 대한 정보에 의해 상기 단계 (a) 이후에 자동으로 실행되고, 감지 정보는 공급측 터치스크린 및 감기측 터치스크린에 표시되는 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 RTR 노광 제어방법에서, 상기 단계 (d)는 상기 메모리에 미리 설정되어 저장된 인장력과 회전 가능하고 제1 로드 셀이 장착되며 상기 공급 부재의 공급 릴과 공급측 피더 롤러 사이에 장착된 제1 감지 롤러에서 감지된 인장력에 따라 공급측 댄서 롤러의 하강 상태 및 상기 메모리에 미리 설정되어 저장된 인장력과 회전 가능하고 제2 로드 셀이 장착되며 상기 감기 부재의 감기 릴과 감기측 피더 롤러 사이에 장착된 제2 감지 롤러에서 감지된 인장력에 따라 감기측 댄서 롤러의 하강 상태를 동시에 제어하는 것에 의해 실행되는 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 RTR 노광 제어방법에서, 상기 단계 (e)는 상기 공급 릴과 감기 릴에 각각 장착된 제1 및 제2 EPC(Edge Position Controller) 센서에서의 감지 값에 따라 상기 제어 수단이 제1 롤러 구동 수단과 제2 롤러 구동 수단을 제어하여 상기 공급 릴과 감기 릴의 상태를 조절하는 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 RTR 노광 제어방법에서, 상기 단계 (d)에서 감지된 인장력이 미리 설정된 인장력에 대응하지 않는 경우와 단계 (e)에서 상기 기재의 공급 및 감기의 상태가 미리 설정된 위치에서 어긋나는 경우, 상기 공급측 터치스크린 또는 감기측 터치스크린의 표시 상태를 적색으로 하거나 경고음을 발생하는 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 RTR 노광 제어방법에 의하면, 공급 부재에서 공급되는 기재의 인장력과 감기 부재에서 감기는 기재의 인장력을 감지함과 동시에 공급 부재에서 공급되는 기재의 상태와 감기 부재에 감긴 기재의 상태를 감지하여 기재의 상태를 제어하는 것에 의해 기재에 관한 노광을 최적의 상태로 실현할 수 있다는 효과가 얻어진다.

또, 본 발명에 따른 RTR 노광 제어방법에 의하면, 연속적인 노광 처리를 위해 이동하는 필름 형상의 기재에 대한 장력을 정확하게 감지하여 제어하는 것에 의해 노광 작업의 정밀도를 향상시킬 수 있다는 효과도 얻어진다.

또한, 본 발명에 따른 RTR 노광 제어방법에 의하면, RTR 방식에 따라 연속적으로 실행되는 노광 처리 과정에서 기재가 균일한 장력을 유지하므로 불량율을 최소화할 수 있다는 효과도 얻어진다.

도 1은 본 발명에 적용되는 RTR 노광 시스템의 블록도,
도 2는 본 발명에 적용되는 RTR 노광 시스템에서 공급 부재와 감기 부재의 배치 상태를 나타내는 설명도,
도 3은 도 1에 도시된 RTR 노광 시스템의 제어 구성도,
도 4 내지 도 15는 본 발명에 따른 RTR 노광 시스템을 적용하여 기재에 노광 실행을 위한 동작을 설명하기 위한 설명도,
도 16은 도 3에 도시된 공급측 터치스크린의 초기 상태를 나타내는 도면,
도 17은 터치스크린에서 인장력의 값이 표시된 도면.

본 발명의 상기 및 그 밖의 목적과 새로운 특징은 본 명세서의 기술 및 첨부 도면에 의해 더욱 명확하게 될 것이다.

본 발명에 적용되는 용어 "기재(basic materials, 基材)"는 휴대 전화, 모바일 기기 등의 각종의 소형 전기 기기에 이용되는 전자회로 기판으로서의 연성회로 기판의 베이스 소재로 사용되고, 롤-투-롤(Roll To Roll) 인쇄전자소자 생산 방식에 사용될 감광성 필름을 의미하며, 기재의 "표면"은 노광 부재를 향한 부분을, "이면"은 스테이지 부재를 향한 부분을 의미한다. 또 본 발명에 적용되는 용어 "노광(exposure, 露光)"은 노광 장치에 의해 포토레지스트(Photoresist) 등의 감광 재료를 도포한 기재에 소정의 패턴을 감광 인화시키는 과정을 의미한다. 또한, 상기 기재의 이동 방향은 이하 설명하는 도면상의 우측에서 좌측을 향해 이동하는 구조로 설명하지만, 이에 한정되는 것은 아니고 그 반대로 이동하는 구성에 적용할 수도 있다. 2개의 롤러로 이루어진 피더 롤러에서 "개방 상태"는 2개의 롤러 중 상부 롤러가 상승하여 기재가 피더 롤러와 관계없이 이동할 수 있는 상태를 의미하고, "유지 상태"는 상부 롤러가 하강하여 기재가 유지된 상태를 의미하며, "회전 상태"는 기재가 피더 롤러에 의해 이동되는 상태를 의미한다.

본 발명에 따른 RTR 노광 제어방법은 연성회로 기판의 베이스 소재로 사용되는 감광성 필름 형태의 기재에 대해 광원 및 조명 광학계를 구비한 노광 부재에 의한 노광 처리의 공정을 제어하는 RTR(Roll To Roll) 노광 제어방법으로서, 상기 노광 부재를 향해 기재를 공급하는 공급 부재와 상기 노광 부재에 의해 처리된 기재를 감는 감기 부재 사이에 상기 기재를 세팅하고, 상기 노광 부재에서 상기 기재에 관해 노광 처리가 실행되도록 상기 공급 부재와 감기 부재를 작동시키고 제어 수단이 상기 공급 부재와 감기 부재 사이에서 상기 기재의 인장력을 감지하고, 상기 공급 부재와 감기 부재에서 상기 제어 수단이 상기 기재의 공급 및 감기의 상태를 감지하고, 감지된 인장력이 미리 설정된 인장력에 대응하지 않는 경우 상기 제어 수단이 상기 기재에 인가되는 인장력을 가감하고, 또 감지된 상기 기재의 공급 및 감기의 상태가 미리 설정된 위치에서 어긋나는 경우 상기 제어 수단이 상기 공급 부재 또는 감기 부재의 위치를 제어하는 것에 의해 실행된다.

상술한 본 발명의 RTR 노광 제어방법을 실현하기 위한 RTR 노광 시스템에 관해 도 1 내지 도 3에 따라서 설명한다.

도 1은 본 발명에 적용되는 RTR 노광 시스템의 블록도 이고, 도 2는 본 발명에 적용되는 RTR 노광 시스템에서 공급 부재와 감기 부재의 배치 상태를 나타내는 설명도 이며, 도 3은 도 1에 도시된 RTR 노광 시스템의 제어 구성도이다.

본 발명의 RTR 노광 제어방법에 적용되는 RTR(Roll To Roll) 노광 시스템은 도 1에 도시된 바와 같이, 연성회로 기판의 베이스 소재로 사용되는 감광성 필름 형태의 기재(100)에 대해 노광 처리를 실행하는 RTR(Roll To Roll) 노광 시스템으로서, 광원 및 조명 광학계를 구비한 노광 부재(10), 상기 노광 부재(10)를 향해 기재(100)를 공급하는 공급 부재(20), 상기 노광 부재(10)에 의해 처리된 기재(100)를 감는 감기 부재(30), 상기 노광 부재(10)에 의한 노광 처리를 위해 상기 공급 부재(20)에서 공급된 상기 기재(100)를 흡착하여 유지시키는 스테이지 부재(40), 상기 기재(100)의 상태를 감지하는 감지 부재(50), 상기 감지 부재(50)에서 감지된 기재(100)의 상태에 따라 상기 공급 부재(20), 감기 부재(30) 및 스테이지 부재(40)의 작동 상태를 제어하는 제어 수단(60)을 포함한다.

또 상기 노광 부재(10)에 인접해서는 도 2에 도시된 바와 같이, 얼라인먼트 마크를 촬영하는 촬영 수단(70)이 마련된다.

상기 노광 부재(10)는 도 2에 도시된 바와 같이, 공급 부재(20)와 감기 부재(30)의 사이에서 기재(100)의 표면상에 배치되며, 이 노광 부재(10)의 내부에는 다수의 노광 헤드가 마련되며, 각각의 노광 헤드는 기재(100)로부터 소정 거리만큼 수직 상방으로 떨어진 장소에 규칙적으로 배치된다. 또 각각의 노광 헤드에는 광원 및 조명 광학계가 배치되며, 광원으로부터 방사된 광은 각각 대응하는 조명 광학계를 통해서 대응하는 노광 헤드로 유도되고, 각 노광 헤드는 복수의 마이크로 미러(Micro-mirror)를 2차원 배열시킨 DMD(Digital Micro-mirror Device)와 DMD의 상을 기재(100) 상에 결상하는 결상 광학계를 구비할 수 있다. 또한, 각각의 노광 헤드에는 기재(100)를 반송 방향에 따라서 분할함으로써 규정되는 노광 영역이 각각 할당되고, 각 노광 헤드에 대해서 주사 밴드가 규정되며, 각 노광 헤드로부터의 광의 조사 영역인 노광 영역은 각각 주사 밴드의 폭에 따라서 형성되고, 노광 영역에 의해 기재(100)에 광이 조사되어 노광 작업을 실행할 수 있게 된다.

상기 공급 부재(20)는 도 2에 도시된 바와 같이, 회전 가능하고 롤 형상으로 감긴 기재(100)를 노광 부재로 공급하는 공급 릴(21), 상기 기재(100)를 사이에 두고 상하 2개의 롤러로 이루어지며 상기 기재(100)의 공급 또는 유지시키는 공급측 피더 롤러(22), 상기 기재(100)의 이동에 따라 업/다운 실린더에 의해 승강 가능하고 기재(100)에 장력을 인가하는 공급측 댄서 롤러(dancer roller, 23), 보조 롤러로서 상기 공급측 댄서 롤러(23)와 스테이지 부재(40) 사이에 마련되어 기재(100)를 유지시키는 공급측 가이드 롤러(24) 및 상기 공급 릴(21), 공급측 피더 롤러(22)와 공급측 댄서 롤러(23)를 구동시키는 제1 롤러 구동 수단을 포함한다. 상기 제1 롤러 구동 수단은 도 3에 도시된 바와 같이, 서보 모터, 모터 액추에이터, 제1 파우더 클러치와 결합된 서보 모터(25)를 구비하고, 상기 공급 릴(21)은 제어 수단(60)의 제어에 따른 서보 모터와 모터 액추에이터에 의해 작동되며, 상기 공급측 피더 롤러(22)와 공급측 댄서 롤러(23)는 감지 부재(30)의 감지 정보에 의한 제어 수단(60)의 제어에 따른 파우더 클러치와 결합된 서보 모터(25)에 의해 작동된다.

상기 감기 부재(30)는 도 2에 도시된 바와 같이, 회전 가능하고 상기 노광 부재(10)에서 노광 처리된 기재(100)를 롤 형상으로 감아 보관 유지하는 감기 릴(31), 상기 기재(100)를 사이에 두고 상하 2개의 롤러로 이루어지며 상기 기재(100)의 공급 또는 유지시키는 감기측 피더 롤러(32), 상기 기재(100)의 이동에 따라 업/다운 실린더에 의해 승강 가능하고 기재(100)에 장력을 인가하는 감기측 댄서 롤러(33), 보조 롤러로서 상기 공급측 댄서 롤러(33)와 스테이지 부재(40) 사이에 마련되어 기재(100)를 유지시키는 공급측 가이드 롤러(34) 및 상기 감기 릴(31), 감기측 피더 롤러(32)와 감기측 댄서 롤러(33)를 구동시키는 제2 롤러 구동 수단을 포함한다. 상기 제2 롤러 구동 수단은 도 3에 도시된 바와 같이, 서보 모터, 모터 액추에이터, 제2 파우더 클러치와 결합된 서보 모터(35)를 구비하고, 상기 감기 릴(31)은 제어 수단(60)의 제어에 따른 서보 모터와 모터 액추에이터에 의해 작동되며, 상기 감기측 피더 롤러(32)와 감기측 댄서 롤러(33)는 감지 부재(30)의 감지 정보에 의한 제어 수단(60)의 제어에 따른 파우더 클러치와 결합된 서보 모터(35)에 의해 작동된다.

상기 스테이지 부재(40)는 도 2에 도시된 바와 같이 기재(100)의 이면을 흡착하고, 노광 부재(10)에 대향하여 기재(100)를 평탄하게 유지하게 하며, 노광 처리될 기재(100)의 하나의 프레임에 대응하는 폭과 길이를 갖도록 마련된다. 이 스테이지 부재(40)는 구동 수단(미 도시)에 의해 기재(100)의 이면에 접촉하는 상단 위치와 기재(100)와 분리되는 하단 위치와의 사이에 승강 가능함과 동시에 기재(100)의 이동 방향에 따라 왕복 이동하고, 주사 또는 스텝-앤드-리피트(step-and-repeat) 방식에 의해 기재(100)의 반송 방향에 따른 단면을 협지하는 클램프 기구를 구비할 수 있다. 즉 기재(100)가 얇은 필름 형상으로 이루어지므로, 기재의 폭 방향으로의 휘어짐을 방지하기 위해 클램프기구가 마련되어 촬영 수단(70)에 의한 얼라인먼트 마크의 촬영 영역 또는 노광 부재(10)의 노광 영역에서 기재(100)를 평탄하게 유지할 수 있다.

상기 감지 부재(50)는 상기 공급 부재(20)와 감기 부재(30) 부분에 각각 마련되어 상기 공급 부재(20)에서 공급되는 기재(100)의 인장력과 상기 감기 부재(30)에서 감기는 기재(100)의 인장력을 감지한다. 즉, 상기 감지 부재(50)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 로드 셀(511, 521)이 각각 장착되며 회전 가능한 감지 롤러를 포함하고, 이 감지 롤러는 상기 공급 릴(21)과 공급측 피더 롤러(22) 사이에 장착된 제1 감지 롤러(51) 및 상기 감기 릴(31)과 감기측 피더 롤러(32) 사이에 장착된 제2 감지 롤러(52)를 포함한다. 또 상기 감지 부재(50)는 상기 공급 릴(21)에서 공급되는 기재(100) 또는 감기 릴(31)에 감기는 기재(100)의 위치를 감지하도록 상기 공급 릴(21)과 감기 릴(31)에 각각 장착된 제1 및 제2 EPC(Edge Position Controller) 센서(53, 54)를 더 포함한다. 상기 제1 및 제2 EPC 센서(53, 54)는 초음파 센서 또는 광전 센서 등의 비접촉식 센서로서, 상기 공급 릴(21)과 감기 릴(31)과 일치되게 설치되어 좌우로 이송하며 동작 가능하다.

상기 설명에서는 공급 릴(21)과 공급측 피더 롤러(22) 사이에 장착된 제1 감지 롤러(51)의 구성에 대해 설명하였지만, 이에 한정되는 것은 아니고 공급 또는 되감기는 기재(100)의 평탄성 등을 유지하기 위해 상기 공급 릴(21)과 제1 감지 롤러(51) 사이에 다수의 가이드 롤러가 마련될 수 있다. 또 상기 설명에서는 감기 릴(31)과 감기측 피더 롤러(32) 사이에 장착된 제2 감지 롤러(52)의 구성에 대해 설명하였지만, 이에 한정되는 것은 아니고 감기는 기재(100)의 평탄성 등을 유지하기 위해 상기 감기 릴(31)과 제2 감지 롤러(52) 사이에 다수의 가이드 롤러가 마련될 수 있다.

상기 제어 수단(60)은 도 3에 도시된 바와 같이, 공급측 장력 제어기(61), 공급측 EPC(63), 감기측 장력 제어기(62), 감기측 EPC(64), 공급측 및 감기측 터치스크린, 마이크로프로세서, 메모리 등을 포함한다. 상기 메모리에는 기재(100)에 대한 정보, 기재(100)의 이동 거리 및 이동 속도에 대한 정보, 기재(100)의 종류에 따른 장력의 인가에 대한 정보, 노광 부재(10), 공급 부재(20), 감기 부재(30) 및 스테이지 부재(40)에 대한 정보 등이 저장되며, 마이크로프로세서는 상기 제1 및 제2 로드 셀(511, 521)에서 감지된 기재(100)의 인장력에 대한 정보, 제1 및 제2 EPC 센서(53, 54)에서 감지된 공급 릴(21)과 감기 릴(31)에서의 기재(100)의 상태 정보 등과 메모리에 저장된 정보를 비교 판단하여 공급측 장력 제어기(61), 공급측 EPC(63), 감기측 장력 제어기(62), 감기측 EPC(64)가 상기 제1 롤러 구동 수단과 제2 롤러 구동 수단을 각각 제어하도록 명령을 출력한다. 예를 들어, 상기 제1 및 제2 로드 셀(511, 521)에서 감지된 기재(100)의 인장력에 대한 정보에 따라 업/다운 실린더에 의해 승강 가능한 공급측 댄서 롤러(23) 또는 감기측 댄서 롤러(33)의 승강 상태를 제어하는 것에 의해 노광 처리 공정 도중에 기재(100)에 인가되는 장력을 일정하게 유지할 수 있으며, 제1 및 제2 EPC 센서(53, 54)에서 감지된 공급 릴(21)과 감기 릴(31)에서의 기재(100)의 상태 정보에 따라 모터 액추에이터를 제어하는 것에 의해 공급 릴(21)에서 공급되는 기재, 공급 릴(21)에 되감기는 기재 및 감기 릴(31)에 감기는 기재의 사행 처리 등을 방지하여 정상 상태로 유지시킬 수 있다. 또 본 발명에서는 도 3에 도시된 바와 같이, 공급측 터치스크린 및 감기측 터치스크린을 각각 마련하는 것에 의해 별도의 키보드와 마우스 없이 시스템을 운영할 수 있다.

한편, 상기 촬영 수단(70)은 얼라인먼트 마크를 촬영하는 얼라이먼트 카메라(41)를 구비하고, 기재(100)에 마련된 얼라이먼트 마크를 촬영하여 기재(100)의 위치 정보를 취득한다. 이러한 얼라이먼트 마크의 촬영은 기재(100)를 공급 부재(20)에서 감기 부재(30)의 방향으로 이동시키면서 실시하며, 상기 제어 수단(60)은 촬영 수단(70)에 의해 촬영된 얼라인먼트 마크의 정보에 따라 상기 스테이지 부재(40)의 이동을 제어한다.

다음에 본 발명에 따른 RTR 노광 제어방법에 대해 도 2 및 도 4 내지 도 15에 따라 설명한다.

도 4 내지 도 15는 본 발명에 적용되는 RTR 노광 시스템에서 기재(100)에 노광 실행을 위한 제어 동작을 설명하기 위한 설명도 이다.

도 4 내지 도 15에서 스테이지 부재(40) 근방의 화살표는 스테이지 부재(40)의 이동을 나타내고, 기재(100) 상부의 화살표는 기재의 이동을 나타내며, 공급 부재(20), 감기 부재(30) 및 감지 부재(50)에서의 화살표는 기재(100)에 장력이 인가되는 것을 나타낸다. 또 도 4 내지 도 15에서는 설명의 편의상 공급 부재(20)에 마련된 공급측 피더 롤러(22), 공급측 댄서 롤러(23), 공급측 가이드 롤러(24) 및 제1 감지 롤러(51)가 동일 평면상에 배치된 구조를 나타내었지만, 이에 한정되는 것은 아니고 다수의 가이드 롤러를 거쳐 공급측 피더 롤러(22), 공급측 댄서 롤러(23), 공급측 가이드 롤러(24) 및 제1 감지 롤러(51)가 상하로 마련될 수 있다. 또한, 감기 부재(30)에 마련된 감기측 피더 롤러(32), 감기측 댄서 롤러(33), 감기측 가이드 롤러(34) 및 제2 감지 롤러(52)가 동일 평면상에 배치된 구조를 나타내었지만, 이에 한정되는 것은 아니고 다수의 가이드 롤러를 거쳐 감기측 피더 롤러(32), 감기측 댄서 롤러(33), 감기측 가이드 롤러(34) 및 제2 감지 롤러(52)도 상하로 마련될 수 있다.

먼저, 기재(100)의 초기 장착 상태에 대해 도 2를 참조하여 설명한다. 가공 전의 새로운 소재인 롤 형태의 기재(100)는 공급 릴(21)에 감진 상태로 유지되고, 공급 릴(21)에서 기재(100)의 선단부를 인출하여 제1 감지 롤러(51)의 상부를 거쳐 상하 2개의 롤러로 이루어진 공급측 피더 롤러(22)의 사이를 통과시키고, 공급측 댄서 롤러(23)의 하부와 공급측 가이드 롤러(24)의 상부를 통해 스테이지 부재(40)의 상부를 경유하고, 이어서 감기측 가이드 롤러(34), 감기측 댄서 롤러(33), 감기측 피더 롤러(32), 제2 감지 롤러(52)를 거쳐 감기 릴(31)에 감아서 고정한다. 이와 같은 초기 장착 상태에서, 상하 2개의 롤러로 이루어진 공급측 피더 롤러(22)와 감기측 피더 롤러(32)의 상부 롤러는 개방된 상태로 유지되며, 도 2에서 스테이지 부재(40)가 기재(100)의 이면과 밀착된 상태를 나타내었지만, 스테이지 부재(40)는 기재(100)의 이면과 분리된 상태로 유지될 수 있다.

상술한 바와 같이 기재(100)가 노광 시스템에 장착된 후, 본 발명에 적용되는 RTR 노광 시스템이 작동하면, 공급측 피더 롤러(22)가 개방되고, 공급측 댄서 롤러(23)도 기재(100)와 분리된 상태를 유지하고, 스테이지 부재(40)가 상부로 이동하여 기재(100)의 이면에 흡착되며, 제2 롤러 구동 수단에 의해 감기측 피더 롤러(32)가 기재(100)의 유지 상태로 되어 도 2에 도시된 바와 같은 상태로 유지된다.

또 도 2에 도시된 상태에서 제어 수단(60)은 감지 부재(50)를 통해 기재(100)의 상태에 대한 정보를 인식할 수 있다. 즉 제1 감지 롤러(51)와 제2 감지 롤러(51)에 각각 마련된 제1 및 제2 로드 셀(511, 521)을 통해 기재(100)의 인장력을 감지하고, 이 감지된 정보는 제어 수단(60)에 입력되며, 도 16 및 도 17에 도시된 바와 같은 공급측 터치스크린 및 감기측 터치스크린에 표시된다. 도 16은 도 3에 도시된 공급측 터치스크린의 초기 상태를 나타내는 도면이고, 도 17은 터치스크린에서 인장력의 값이 표시된 도면이다.

기재(100)에 관한 인장력 값은 도 17에 도시된 바와 같이, 제어 수단(60)의 메모리에 저장된 기재(100)에 대한 정보에 따라 자동으로 설정되거나 사용자의 조작에 의해 수동으로 설정될 수 있다. 또 본 발명에 따른 기재(100)에 관한 인장력은 공급 부재(20)와 감기 부재(30)에서 동일하므로, 설정 값 입력 및 변경에 대한 방법 또한 동일하게 실행된다. 따라서, 공급측 터치스크린 또는 감기측 터치스크린의 어느 하나를 자동으로 또는 사용자가 조작하는 것에 의해 공급 부재(20)와 감기 부재(30)에 대해 동일하게 설정된다.

또 공급 릴(21)과 감기 릴(31)에 감긴 기재(100)에 대해 각각 제1 및 제2 EPC 센서(53, 54)의 감지 위치를 설정한다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 공급 릴(21)에서 공급되어 감기 릴(31)에 감긴 기재(100)의 초기 상태에 대해 레이저 포인트를 기재(100)의 폭에 맞게 이동 및 고정하여 세팅한다.

상술한 바와 같이 기재(100)가 공급 릴(21)과 감기 릴(31)에 감긴 상태에서 기재(100)에 하나의 프레임(예를 들어 하나의 프레임의 길이를 300㎜로 설정)에 관한 노광 작업을 실행하기 위해, 도 4에 도시된 바와 같이, 제어 수단(60)의 제어에 따른 제1 롤러 구동 수단에 의해 공급측 피더 롤러(22)가 개방 상태로 되고, 공급측 댄서 롤러(23)도 기재(100)와 분리된 상태를 유지하고, 공급 릴(21)에서 공급측 가이드 롤러(24)와 감기측 가이드 롤러(34)를 거쳐 기재(100)가 공급되며, 제2 롤러 구동 수단에 의해 감기측 피더 롤러(32)가 소정의 회전 구동량 예를 들어 500㎜/sec의 회전량을 갖는 상태로 됨과 동시에 감기 릴(31)이 기재를 감는 것에 의해 기재(100)는 예를 들어 300㎜ 정도 이동하게 된다. 이와 같은 기재(100)의 이동과 동기하여 스테이지 부재(40)도 촬영 수단(70)에 의한 하나의 프레임의 선단에 마련된 얼라인먼트 마크 측정 지점까지 이동하게 된다. 상기 기재(100)와 스테이지 부재(40)의 이동 속도는 감기측 피더 롤러(32)의 회전량에 대응하여 예를 들어 500㎜/sec로 실행된다. 한편 기재(100)의 이동과 동시에 제어 수단(60)에 의해 기재(100)에 미리 설정된 장력을 부가하기 위해 제2 롤러 구동 수단을 통해 감기측 댄서 롤러(33)가 하향으로 이동하며, 이에 따라 제1 감지 롤러(51)와 제2 감지 롤러(52)에 각각 마련된 로드 셀(511. 521)은 도 4에 도시된 바와 같은 과정에서 기재(100)의 인장력을 검출한다. 상기 로드 셀(511. 521)에서 감지된 기재(100)의 인장력에 따라 제어 수단(60)이 제2 롤러 구동 수단을 통해 감기측 피드 롤러(32)와 감기 릴(31)의 회전량을 제어하는 것에 의해 기재(100)는 노광을 위한 최적의 상태를 유지하게 된다. 또한, 제어 수단(60)은 공급 릴(21)에 마련된 제1 EPC 센서(53)를 통해 공급 릴(21)에서 기재(100)가 정상 상태로 공급되는 지를 감지함과 동시에, 감기 릴(31)에 마련된 제2 EPC 센서(54)를 통해 감기 릴(31)에서 기재(100)가 정상 상태로 감기는 지를 감지하고, 기재(100)의 가장자리 부분이 어긋나게 감기는 등의 비정상적인 상태인 경우, 공급측 EPC(63)와 감기측 EPC(64)를 통해 각각 공급 릴(21)과 감기 릴(31)의 자세를 제어하는 것에 의해 정상적인 기재(100)의 공급 및 감기를 실현할 수 있다. 상술한 바와 같은 기재(100)의 상태는 공급측 터치스크린 또는 감기측 터치스크린에 각각 표시되고, 정상 운영이 아닌 경우, 알람이 표시되게 한다. 이와 같은 알람은 공급측 터치스크린 또는 감기측 터치스크린의 표시 상태를 적색으로 하거나 경고음을 발생하게 할 수 있다.

상기 제어 수단(60)에 의해 기재(100)가 최적의 상태로 유지된 것으로 판단되면, 제어 수단(60)은 감기측 EPC(64)와 제2 롤러 구동 수단을 통해 도 5에 도시된 바와 같이, 감기측 피더 롤러(32)가 유지 상태로 되어 기재(100)도 정지 상태를 유지하며, 스테이지 부재(40)도 정지 상태로 된다. 이와 같은 상태에서 제어 수단(60)은 제1 감지 롤러(51)와 제2 감지 롤러(52)가 최적의 인장력을 유지한 것으로 판단한다. 도 5에 도시된 상태에서 촬영 수단(70)은 기재(100)에 마련된 얼라인먼트 마크를 촬영하여 기재(100)의 위치를 측정하고, 얼라이먼트 마크의 촬영에 의해 얻은 기재(100)의 위치 정보에 따라 기재(100)와 노광되는 패턴과의 얼라이먼트가 실행된다. 즉, 기재(100)의 위치 정보가 노광 부재(10)의 노광 제어부에 송신되어, 노광 부재(10)가 기재(100)에 패턴을 노광하기 위한 노광 데이터의 좌표에 대해 보정 처리가 실행되며, 노광 데이터의 보정 처리를 하고 있는 동안, 스테이지 부재(40)는 기재(100)를 유지한 채로, 노광 개시 위치에서 일시정지 한다.

그 후, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 롤러 구동 수단에 의해 공급측 피더 롤러(22)가 개방 상태로 되고, 공급측 댄서 롤러(23)도 기재(100)와 분리된 상태를 유지하며, 제2 롤러 구동 수단에 의해 감기측 피더 롤러(32)가 소정의 회전 구동량 예를 들어 500㎜/sec의 회전량을 갖는 상태로 됨과 동시에 감기 릴(31)이 기재(100)를 감는 것에 의해 기재(100)는 다시 예를 들어 300㎜ 정도 이동하게 된다. 이와 같은 기재(100)의 이동과 동기하여 스테이지 부재(40)도 촬영 수단(70)에 의한 하나의 프레임의 후단에 마련된 얼라인먼트 마크 측정 지점까지 이동하게 된다. 상기 기재(100)와 스테이지 부재(40)의 이동 속도도 감기측 피더 롤러(32)가 회전 구동량과 일치하여 500㎜/sec로 실행된다. 한편 기재(100)의 이동과 동시에 기재(100)에 적절한 장력을 부가하기 위해 제2 롤러 구동 수단에 의해 감기측 댄서 롤러(33)가 하향으로 이동하며, 이에 따라 제1 감지 롤러(51)와 제2 감지 롤러(52)에 각각 마련된 로드 셀(511. 521)은 도 6에 도시된 바와 같은 과정에서 기재(100)의 인장력을 검출한다. 상기 로드 셀(511. 521)에서 감지된 기재(100)의 인장력에 따라 제어 수단(60)이 제2 롤러 구동 수단을 통해 감기측 피드 롤러(32)와 감기 릴(31)의 회전량을 제어하는 것에 의해 기재(100)는 노광을 위한 최적의 상태를 유지하게 된다. 이때에도 제어 수단(60)은 공급 릴(21)에 마련된 제1 EPC 센서(53)를 통해 공급 릴(21)에서 기재(100)가 정상 상태로 공급되는 지를 감지함과 동시에, 감기 릴(31)에 마련된 제2 EPC 센서(54)를 통해 감기 릴(31)에서 기재(100)가 정상 상태로 감기는 지를 감지하고, 비정상적인 상태인 경우 공급측 EPC(63)와 감기측 EPC(64)를 통해 각각 공급 릴(21)과 감기 릴(31)의 자세를 제어하는 것에 의해 정상적인 기재(100)의 공급 및 감기를 실현할 수 있다.

다음에, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 제어 수단(60)에 의해 기재(100)가 최적의 상태로 유지된 것으로 판단되면, 제어 수단(60)은 감기측 피더 롤러(32)를 유지 상태로 하고 기재(100)도 정지 상태를 유지하며, 스테이지 부재(40)도 정지 상태로 된다. 이와 같은 상태에서 촬영 수단(70)은 하나의 프레임의 후단에 마련된 얼라인먼트 마크를 촬영하여 기재(100)의 위치를 측정하고, 노광 부재(10)는 얼라이먼트 마크의 촬영에 의해 얻은 기재(100)의 위치 정보에 따라 기재(100)에서 노광 처리할 거리(하나의 프레임)를 판단하고 패턴과의 얼라이먼트를 실행한다.

이어서, 상술한 바와 같이, 얼라인먼트 처리가 완료되면, 도 8에 도시된 바와 같이, 기재(100)와 스테이지 부재(40)는 노광 부재(10)에 의해 노광될 시점으로 이동한다. 즉, 공급측 피더 롤러(22)가 개방 상태로 되고, 공급측 댄서 롤러(23)도 기재(100)와 분리된 상태를 유지하며, 제2 롤러 구동 수단에 의해 감기측 피더 롤러(32)가 소정의 회전 구동량 예를 들어 500㎜/sec의 회전량을 갖는 상태로 됨과 동시에 감기 릴(31)이 기재(100)를 감는 것에 의해 기재(100)와 스테이지 부재(40)는 밀착된 상태를 유지하면서 500㎜/sec의 이동속도로 하나의 프레임에 대응하는 길이, 예를 들어 300㎜ 정도 이동하게 된다.

계속해서 도 9에 도시된 바와 같이, 노광 부재(10)에서 기재(100)에 대해 노광 처리를 실행한다. 노광 처리에서는 공급측 피더 롤러(22)가 개방 상태로 되고, 공급측 댄서 롤러(23)도 기재(100)와 분리된 상태를 유지하며, 제2 롤러 구동 수단에 의해 감기측 피더 롤러(32)가 노광 양에 따른 기재(100)와 스테이지 부재(40)의 이동 속도에 동기한 회전 속도로 구동된다. 이러한 노광 처리 도중에서 감기측 댄서 롤러(33)는 하강하여 감기측 피더 롤러(32)에 의해 감기 릴(31)에 감겨질 기재(100)에 장력을 부여하며, 제1 감지 롤러(51)와 제2 감지 롤러(52)에 각각 마련된 로드 셀(511. 521)은 기재(100)의 인장력을 검출하여 노광 처리 과정에서도 기재(100)를 최적의 상태로 유지하게 된다. 또 이와 같은 노광 처리 도중에서도 제어 수단(60)은 공급 릴(21)에 마련된 제1 EPC 센서(53)를 통해 공급 릴(21)에서 기재(100)가 정상 상태로 공급되는 지를 감지함과 동시에, 감기 릴(31)에 마련된 제2 EPC 센서(54)를 통해 감기 릴(31)에서 기재(100)가 정상 상태로 감기는 지를 감지하여 공급 릴(21)과 감기 릴(31)에서 기재(100)가 정상적인 상태를 유지하게 한다.

상술한 바와 같은 노광 처리는 통상의 노광 처리와 같이, 스테이지 부재(40)에 흡착 유지하고 있는 기재(100)의 표면의 감광 재료층에 대해 노광 부재(10)가 전자 회로 패턴을 주사하여 노광 처리하며, 하나의 프레임 분의 기재(100)에 대해 실행된다. 도 10에 도시된 바와 같이, 노광 부재(10)에 의한 노광 처리가 완료되면, 감기측 피더 롤러(32)의 회전은 정지되고, 기재(100)와 스테이지 부재(40)의 이동도 정지된다. 또 본 발명에 따른 제어 수단(60)은 제1 감지 롤러(51)와 제2 감지 롤러(52)에서 정지되어 있는 기재(100)의 인장력을 측정하고 기재(100)가 최적의 상태로 유지된 것으로 판단한다.

제어 수단(60)은 기재(100)에 대해 도 10에 도시된 바와 같은 노광 처리가 완료된 것으로 판단되면, 도 11에 도시된 바와 같이, 제1 롤러 구동 수단을 제어하여 공급측 댄서 롤러(23)를 하강시키고, 공급측 피더 롤러(22)를 회전 상태로 함과 동시에 제2 롤러 구동 수단을 제어하여 감기측 피더 롤러(32)를 개방 상태로 하여 기재(100)를 공급 릴(21)에서 소정 양, 예를 들어 900㎜ 정도 되감게 한다. 즉 제어 수단(60)은 제1 롤러 구동 수단과 제2 롤러 구동 수단을 제어하여 기재(100)에서 노광 완료한 하나의 프레임에 연속된 다음의 프레임 분이 얼라이먼트 개시 위치에 오도록, 상술한 노광 처리를 위한 기재(100)의 이동 거리만큼 공급 릴(21)에서 되감게한다. 또 제어 수단(60)은 기재(100)의 되감기와 동시에 스테이지 부재(40)를 하나의 프레임의 후단에 마련된 얼라인먼트 마크를 촬영하기 위한 도 7에 도시된 상태까지 이동시킨다. 이와 같은 기재(100)와 스테이지 부재의 이동 속도는 500㎜/sec로 노광 처리를 위한 기재(100)의 이동 속도와 동일 속도로 하는 것이 바람직하다. 본 발명에 따른 제어 수단(60)은 상술한 바와 같은 기재(100)의 되감기 동작에서도 제1 감지 롤러(51)와 제2 감지 롤러(52)에서 되감겨지는 기재(100)의 인장력을 측정하고 제1 EPC 센서(53)와 제2 EPC 센서(54)를 통해 기재(100)의 되감기 상태를 감지하여 제어하는 것에 의해, 기재의 사행 이동 등을 방지하여 공급 릴(21)과 감기 릴(31)에서 기재(100)가 최적의 상태로 유지되도록 한다.

계속해서, 스테이지 부재(40)가 하나의 프레임의 후단에 마련된 얼라인먼트 마크를 촬영하기 위한 도 7에 도시된 상태까지 이동되면, 제어 수단(60)은 도 12에 도시된 바와 같이, 제1 롤러 구동 수단을 제어하여 공급측 피더 롤러(22)를 유지 상태로 함과 동시에 제2 롤러 구동 수단을 제어하여 감기측 피더 롤러(32)를 유지 상태로 하여 기재(100)의 이동을 중지시키고, 스테이지 부재(40)의 이동도 중지시킨다.

다음에, 제어 수단(60)은 도 12에 도시된 상태에서 도 13에 도시된 바와 같이, 스테이지 부재(40)의 구동 수단을 제어하여 스테이지 부재(40)를 기재(100)에서 분리하고 소정의 위치까지 하강시킨다. 기재(100)는 공급측 피더 롤러(22)와 감기측 피더 롤러(32)에 의해 유지상태로 되므로, 스테이지 부재(40)가 기재(100)로부터 분리될 때에 기재(100)가 X 방향이나 Y 방향으로 이동하는 일 없이 제동되며, 소정의 위치를 유지할 수 있을 뿐만 아니라 바람직한 장력의 상태를 유지할 수 있다.

이어서, 공급측 피더 롤러(22)와 감기측 피더 롤러(32)에 의해 기재(100)가 유지되어 기재(100)의 이동이 정지된 상태에서, 도 14에 도시된 바와 같이, 스테이지 부재(40)의 구동 수단에 의해 스테이지 부재(40)가 노광 영역에 대응하는 길이 (다음 프레임에 대응하는 길이)만큼 공급 부재(20) 측으로 이동한다.

스테이지 부재(40)의 이동이 완료된 후, 도 15에 도시된 바와 같이 공급측 피더 롤러(22)와 감기측 피더 롤러(32)에 의해 기재(100)가 유지되어 기재(100)의 이동이 정지된 상태에서 스테이지 부재(40)는 스테이지 부재(40)의 구동 수단에 의해 기재(100)의 이면을 향해 상승하여 도 2에 도시된 상태로 유지된다.

이후, 공급 릴(21)에 감긴 기재(100)에 대한 노광 처리가 완료될 때까지 도 2 및 도 4 내지 도 15의 공정을 반복하여 실행하며, 기재(100)의 최종 프레임의 노광이 종료하면, 감기 릴(31)에 롤 형으로 감긴 기재(100)가 회수된다.

상술한 바와 같은 본 발명의 RTR 노광 제어방법에 의해, 제1 및 제2 로드 셀(511, 521)에서의 감지 정보에 따라 공급측 댄서 롤러(23) 또는 감기측 댄서 롤러(33)의 승강 상태를 제어하여 연속적으로 실행되는 노광 처리 공정 도중에 기재(100)에 인가되는 장력을 일정하게 유지할 수 있으며, 제1 및 제2 EPC 센서(53, 54)에서 감지된 공급 릴(21)과 감기 릴(31)에서의 기재(100)의 상태 정보에 따라 모터 액추에이터를 제어하는 것에 의해 롤 형태로 공급 릴(21)에서 공급되는 기재, 공급 릴(21)에 되감기는 기재 및 감기 릴(31)에 감기는 기재가 사행 처리 등을 방지하여 정상 상태로 유지시킬 수 있다.

이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시 예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.

본 발명에 따른 RTR 노광 제어방법을 사용하는 것에 의해 기재에 관한 노광 작업을 최적화하여 실행할 수 있다.

10 : 노광 부재
20 : 공급 부재
30 : 감기 부재
40 : 스테이지 부재
50 : 감지 부재
60 : 제어 수단

Claims (5)

1. 연성회로 기판의 베이스 소재로 사용되는 감광성 필름 형태의 기재에 대해 광원 및 조명 광학계를 구비한 노광 부재에 의한 노광 처리의 공정을 제어하는 RTR(Roll To Roll) 노광 제어방법으로서,
   (a) 상기 노광 부재를 향해 상기 기재를 공급하는 공급 부재와 상기 노광 부재에 의해 처리된 기재를 감는 감기 부재 사이에 상기 기재를 세팅하는 단계,
   (b) 상기 노광 부재에서 상기 기재에 관해 노광 처리가 실행되도록 상기 공급 부재와 감기 부재를 작동시키고, 회전 가능하고 상기 공급 부재의 공급 릴과 공급측 피더 롤러 사이에 장착된 제1 감지 롤러에 마련된 제1 로드 셀과 회전 가능하고 상기 감기 부재의 감기 릴과 감기측 피더 롤러 사이에 장착된 제2 감지 롤러에 마련된 제2 로드 셀에서 상기 기재의 인장력을 감지하는 단계,
   (c) 상기 공급 릴과 감기 릴에 각각 장착된 제1 및 제2 EPC(Edge Position Controller) 센서로 상기 공급 부재와 감기 부재에서 상기 기재의 공급 및 감기의 상태를 감지하는 단계,
   (d) 상기 단계 (b)에서 상기 제1 로드 셀과 제2 로드 셀에서 감지된 인장력이 미리 설정된 인장력에 대응하지 않는 경우, 제어 수단이 상기 기재에 인가되는 인장력을 가감하는 단계,
   (e) 상기 단계 (c)에서 상기 제1 및 제2 EPC 센서에서 감지된 상기 기재의 공급 및 감기의 상태가 미리 설정된 위치에서 어긋나는 경우, 상기 제어 수단이 상기 공급 부재 또는 감기 부재의 위치를 제어하는 단계를 포함하고,
   상기 단계 (d)는 상기 제어 수단의 메모리에 미리 설정되어 저장된 인장력과 상기 제1 로드 셀에서 감지된 인장력에 따라 공급측 댄서 롤러의 하강 상태 및 상기 메모리에 미리 설정되어 저장된 인장력과 상기 제2 로드 셀에서 감지된 인장력에 따라 감기측 댄서 롤러의 하강 상태를 동시에 제어하는 것에 의해 실행되고,
   상기 단계 (e)는 상기 제1 및 제2 EPC 센서에서의 감지 값에 따라 상기 제어 수단이 제1 롤러 구동 수단과 제2 롤러 구동 수단을 제어하여 상기 공급 릴과 감기 릴의 상태를 조절하며,
   상기 단계 (b)와 단계 (c)는 동시에 실행되고,
   상기 단계 (b) 내지 단계 (d)는 상기 공급 부재에 감긴 기재의 노광 처리의 공정에 완료될 때까지 반복 실행되는 것을 특징으로 하는 RTR 노광 제어방법.
2. 제1항에서,
   상기 단계 (b)는 상기 메모리에 저장된 상기 기재에 대한 정보, 기재의 이동 거리 및 이동 속도에 대한 정보 및 기재의 종류에 따른 장력의 인가에 대한 정보에 의해 상기 단계 (a) 이후에 자동으로 실행되고,
   감지 정보는 공급측 터치스크린 및 감기측 터치스크린에 표시되는 것을 특징으로 하는 RTR 노광 제어방법.
3. 삭제
4. 삭제
5. 제1항에서,
   상기 단계 (d)에서 감지된 인장력이 미리 설정된 인장력에 대응하지 않는 경우와 단계 (e)에서 상기 기재의 공급 및 감기의 상태가 미리 설정된 위치에서 어긋나는 경우, 상기 공급측 터치스크린 또는 감기측 터치스크린의 표시 상태를 적색으로 하거나 경고음을 발생하는 것을 특징으로 하는 RTR 노광 제어방법.
   

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