JP2751056B2 - セラミックグリーンシートのキャリアフィルム剥離方法及びその装置 - Google Patents
セラミックグリーンシートのキャリアフィルム剥離方法及びその装置Info
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- JP2751056B2 JP2751056B2 JP5063261A JP6326193A JP2751056B2 JP 2751056 B2 JP2751056 B2 JP 2751056B2 JP 5063261 A JP5063261 A JP 5063261A JP 6326193 A JP6326193 A JP 6326193A JP 2751056 B2 JP2751056 B2 JP 2751056B2
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- B28B—SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
- B28B17/00—Details of, or accessories for, apparatus for shaping the material; Auxiliary measures taken in connection with such shaping
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、積層チップコンデンサ
ーや積層チップインダクター等の積層電子部品を製造す
るためのセラミックグリーンシートであって、キャリア
フィルムに保持された状態のものから、キャリアフィル
ムを剥離する方法と装置に関する。
ーや積層チップインダクター等の積層電子部品を製造す
るためのセラミックグリーンシートであって、キャリア
フィルムに保持された状態のものから、キャリアフィル
ムを剥離する方法と装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】積層電子部品の最も代表的な例である積
層セラミックコンデンサは、内部電極を有する誘電体セ
ラミック層が多数積み重ねられ、内部電極が積層体の端
面に交互に引き出されている。そして、これらの内部電
極が引き出された積層体の端面に外部電極が形成されて
いる。
層セラミックコンデンサは、内部電極を有する誘電体セ
ラミック層が多数積み重ねられ、内部電極が積層体の端
面に交互に引き出されている。そして、これらの内部電
極が引き出された積層体の端面に外部電極が形成されて
いる。
【０００３】このような積層セラミックコンデンサの従
来の製造方法は、誘電体セラミック粉末を有機バインダ
ーに分散させたセラミックスラリーをシート状に成形し
てグリーンシートを作り、スクリーン印刷法等により、
このグリーンシートの上に導電ペーストで内部電極パタ
ーンを印刷する。そして、この内部電極パターンが印刷
されたグリーンシート所定の順序で積層し、さらにその
両側に内部電極パターンが印刷されてないグリーンシー
トを複数枚積み重ねる。こうして得られた積層体を内部
電極が端面に露出するようにしてチップ状に切断し、こ
れを焼成する。これにより、焼結された積層体が得られ
る。そして、この焼結された積層体の内部電極が露出し
た端面に導電ペーストを塗布し、これを焼き付けて外部
電極を形成することにより、積層チップコンデンサが完
成する。
来の製造方法は、誘電体セラミック粉末を有機バインダ
ーに分散させたセラミックスラリーをシート状に成形し
てグリーンシートを作り、スクリーン印刷法等により、
このグリーンシートの上に導電ペーストで内部電極パタ
ーンを印刷する。そして、この内部電極パターンが印刷
されたグリーンシート所定の順序で積層し、さらにその
両側に内部電極パターンが印刷されてないグリーンシー
トを複数枚積み重ねる。こうして得られた積層体を内部
電極が端面に露出するようにしてチップ状に切断し、こ
れを焼成する。これにより、焼結された積層体が得られ
る。そして、この焼結された積層体の内部電極が露出し
た端面に導電ペーストを塗布し、これを焼き付けて外部
電極を形成することにより、積層チップコンデンサが完
成する。
【０００４】多くの回路部品が小型化される中で、この
ような積層セラミックコンデンサについても、小型化、
大容量化が要求されている。このような背景の中で、厚
さ１０μｍ以下の極めて薄いグリーンシートを積層して
積層セラミックコンデンサを製造することが行なわれる
ようになった。このようなコンデンサを歩留り良く製造
するためには、前記のような極めて薄いグリーンシート
に精度良く印刷し、これを積層する技術が必要である。
この場合、セラミックグリーンシートが極端に薄いの
で、それを搬送し、印刷し、積層する際に、同グリーン
シートが伸びたり歪んだりしないよう、その取扱いに慎
重を要する。
ような積層セラミックコンデンサについても、小型化、
大容量化が要求されている。このような背景の中で、厚
さ１０μｍ以下の極めて薄いグリーンシートを積層して
積層セラミックコンデンサを製造することが行なわれる
ようになった。このようなコンデンサを歩留り良く製造
するためには、前記のような極めて薄いグリーンシート
に精度良く印刷し、これを積層する技術が必要である。
この場合、セラミックグリーンシートが極端に薄いの
で、それを搬送し、印刷し、積層する際に、同グリーン
シートが伸びたり歪んだりしないよう、その取扱いに慎
重を要する。
【０００５】セラミックグリーンシートは、ポリエチレ
ンテレフタレートフィルム等のキャリアフィルム上にセ
ラミックスラリーを一定の膜厚に塗布し、乾燥して形成
される。従来、薄いセラミックグリーンシートについて
は、前記のようにしてキャリアフィルム上に形成した
後、それを同キャリアフィルムごと所定の大きさに打ち
抜き、内部電極パターンの印刷を印刷し、さらにこれを
順次積層しながら、キャリアフィルムを剥離していく方
法が採用されている。
ンテレフタレートフィルム等のキャリアフィルム上にセ
ラミックスラリーを一定の膜厚に塗布し、乾燥して形成
される。従来、薄いセラミックグリーンシートについて
は、前記のようにしてキャリアフィルム上に形成した
後、それを同キャリアフィルムごと所定の大きさに打ち
抜き、内部電極パターンの印刷を印刷し、さらにこれを
順次積層しながら、キャリアフィルムを剥離していく方
法が採用されている。
【０００６】従来、セラミックグリーンシートからキャ
リアフィルムを剥離する場合は、キャリアフィルムの表
面の縁に近い部分に吸盤を吸着し、この吸盤によりキャ
リアフィルムの端をセラミックグリーンシートから剥
し、続いて他方の端に向かってキャリアフィルムの全体
をセラミックグリーンシートから剥していくという方法
がとられていた。
リアフィルムを剥離する場合は、キャリアフィルムの表
面の縁に近い部分に吸盤を吸着し、この吸盤によりキャ
リアフィルムの端をセラミックグリーンシートから剥
し、続いて他方の端に向かってキャリアフィルムの全体
をセラミックグリーンシートから剥していくという方法
がとられていた。
【０００７】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、こ
のようなキャリアフィルムの剥離手段の場合、キャリア
フィルムと共に上側のセラミックグリーンシートが下側
のセラミックグリーンシートから剥がれて浮き上がりや
すい。このため、折角仮圧着したセラミックグリーンシ
ートの間に空気が入ってしまったり、積層したセラミッ
クグリーンシートがずれてしまうという問題があった。
のようなキャリアフィルムの剥離手段の場合、キャリア
フィルムと共に上側のセラミックグリーンシートが下側
のセラミックグリーンシートから剥がれて浮き上がりや
すい。このため、折角仮圧着したセラミックグリーンシ
ートの間に空気が入ってしまったり、積層したセラミッ
クグリーンシートがずれてしまうという問題があった。
【０００８】そこで、本発明は、前記の課題に鑑み、キ
ャリアフィルム付セラミックグリーンシートを積層した
状態で、それらの層間剥離を起こすことなく、最も上の
セラミックグリーンシートからキャリアフィルムを確実
に剥離することを可能とするキャリアフィルム剥離方法
と装置を提供することを目的とする。
ャリアフィルム付セラミックグリーンシートを積層した
状態で、それらの層間剥離を起こすことなく、最も上の
セラミックグリーンシートからキャリアフィルムを確実
に剥離することを可能とするキャリアフィルム剥離方法
と装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明では、
前記の目的を達成するため、積層台６上に乗ったキャリ
アフィルム付セラミックグリーンシートａの上側のキャ
リアフィルムｃをセラミックグリーンシートｄから剥離
する方法において、円周面の長手方向に沿って一部平坦
な吸着面３を有するドラム２を用い、このドラム２の前
記平坦な吸着面３を負圧として、そこにセラミックグリ
ーンシートｄ上のキャリアフィルムｃの端縁部を吸着
し、その後ドラム２をキャリアフィルムｃの他方の端縁
部に向かって移動させると共に、転がり回転させること
を特徴とするセラミックグリーンシートのキャリアフィ
ルム剥離方法を提供する。
前記の目的を達成するため、積層台６上に乗ったキャリ
アフィルム付セラミックグリーンシートａの上側のキャ
リアフィルムｃをセラミックグリーンシートｄから剥離
する方法において、円周面の長手方向に沿って一部平坦
な吸着面３を有するドラム２を用い、このドラム２の前
記平坦な吸着面３を負圧として、そこにセラミックグリ
ーンシートｄ上のキャリアフィルムｃの端縁部を吸着
し、その後ドラム２をキャリアフィルムｃの他方の端縁
部に向かって移動させると共に、転がり回転させること
を特徴とするセラミックグリーンシートのキャリアフィ
ルム剥離方法を提供する。
【００１０】さらに、積層台６上に乗ったキャリアフィ
ルム付セラミックグリーンシートａの上側のキャリアフ
ィルムｃをセラミックグリーンシートｄから剥離する装
置において、円周面の長手方向に沿って一部平坦となっ
ており、且つ表面が負圧とされる吸着面３を有するドラ
ム２と、このドラム２を回転させる回転駆動機構と、ド
ラム２をその周速と等速度で径方向に移動させるリニア
駆動機構と、このドラム２を上下させる機構とを備える
ことを特徴とするセラミックグリーンシートのキャリア
フィルム剥離装置を提供する。
ルム付セラミックグリーンシートａの上側のキャリアフ
ィルムｃをセラミックグリーンシートｄから剥離する装
置において、円周面の長手方向に沿って一部平坦となっ
ており、且つ表面が負圧とされる吸着面３を有するドラ
ム２と、このドラム２を回転させる回転駆動機構と、ド
ラム２をその周速と等速度で径方向に移動させるリニア
駆動機構と、このドラム２を上下させる機構とを備える
ことを特徴とするセラミックグリーンシートのキャリア
フィルム剥離装置を提供する。
【００１１】
【作用】前記本発明によるセラミックグリーンシートの
キャリアフィルム剥離方法では、ドラム２の円周面の長
手方向に沿って形成された平坦な吸着面３を負圧とし
て、そこにセラミックグリーンシートｄ上のキャリアフ
ィルムｃの端縁部を吸着するため、キャリアフィルムｃ
の端縁部を確実に吸着することができる。そして、ドラ
ム２をキャリアフィルムｃの他方の端縁部に向かって移
動させると共に、転がり回転させることにより、セラミ
ックグリーンシートｄをドラム２の周面で上から押えた
状態で、前記吸着面３に吸着したキャリアフィルムｃ
を、その一方の端縁部から他方の端縁部へ向けてセラミ
ックグリーンシートｄから剥すことができる。これによ
り、セラミックグリーンシートｃの層間剥がれを防止し
ながら、キャリアフィルムｃのみを確実に剥すことがで
きる。
キャリアフィルム剥離方法では、ドラム２の円周面の長
手方向に沿って形成された平坦な吸着面３を負圧とし
て、そこにセラミックグリーンシートｄ上のキャリアフ
ィルムｃの端縁部を吸着するため、キャリアフィルムｃ
の端縁部を確実に吸着することができる。そして、ドラ
ム２をキャリアフィルムｃの他方の端縁部に向かって移
動させると共に、転がり回転させることにより、セラミ
ックグリーンシートｄをドラム２の周面で上から押えた
状態で、前記吸着面３に吸着したキャリアフィルムｃ
を、その一方の端縁部から他方の端縁部へ向けてセラミ
ックグリーンシートｄから剥すことができる。これによ
り、セラミックグリーンシートｃの層間剥がれを防止し
ながら、キャリアフィルムｃのみを確実に剥すことがで
きる。
【００１２】また、前記本発明によるセラミックグリー
ンシートのキャリアフィルム剥離装置では、吸着面３を
有するドラム２を回転させる回転駆動機構と、その周速
と等速度で径方向に移動させるリニア駆動機構とによ
り、前記の剥離動作が確実に行うことができる。また、
ドラム２を上下させる機構により、セラミックグリーン
シートｄの積層厚の変化にも対応することができる。
ンシートのキャリアフィルム剥離装置では、吸着面３を
有するドラム２を回転させる回転駆動機構と、その周速
と等速度で径方向に移動させるリニア駆動機構とによ
り、前記の剥離動作が確実に行うことができる。また、
ドラム２を上下させる機構により、セラミックグリーン
シートｄの積層厚の変化にも対応することができる。
【００１３】
【実施例】次に、図１と図２により、本発明の実施例に
ついて詳細に説明する。これらの図に示すように、セラ
ミックグリーンシートｄを積層する積層台６の上にガイ
ドレール４が架設され、このガイドレール４に沿って移
動自在にスライダー１が取り付けられている。このスラ
イダー１は、図２に示すリニア駆動モーター９により、
ガイドレール４に沿って走行される。
ついて詳細に説明する。これらの図に示すように、セラ
ミックグリーンシートｄを積層する積層台６の上にガイ
ドレール４が架設され、このガイドレール４に沿って移
動自在にスライダー１が取り付けられている。このスラ
イダー１は、図２に示すリニア駆動モーター９により、
ガイドレール４に沿って走行される。
【００１４】スライダー１にエアシリンダーからなる上
下動機構７が取り付けられ、この上下動機構７を介して
スライダー１からベアリング８が吊り下げられている。
このベアリング８には、ドラム２が回転自在に軸支さ
れ、このドラム２は、モーター１０により回転される。
このドラム２を回転させるモーター１０とスライダー１
を移動させる前記リニア駆動モーター９とは、ドラム２
の周速とスライダー１の速度とが互いに等しくなるよう
相互に制御される。
下動機構７が取り付けられ、この上下動機構７を介して
スライダー１からベアリング８が吊り下げられている。
このベアリング８には、ドラム２が回転自在に軸支さ
れ、このドラム２は、モーター１０により回転される。
このドラム２を回転させるモーター１０とスライダー１
を移動させる前記リニア駆動モーター９とは、ドラム２
の周速とスライダー１の速度とが互いに等しくなるよう
相互に制御される。
【００１５】ドラム２の外周面は、全体が円筒面である
が、その一部はドラム外周の円筒面部分の接線を含む平
坦な面となっており、この平坦面が吸着面３となってい
る。この吸着面３は、図示しない真空配管路により、負
圧となったり、或はその負圧を解除することができるよ
うになっている。これにより、その吸着面３にキャリア
フィルム付セラミックグリーンシートａのキャリアフィ
ルムｃを吸着し、或はその吸着を解除することができ
る。
が、その一部はドラム外周の円筒面部分の接線を含む平
坦な面となっており、この平坦面が吸着面３となってい
る。この吸着面３は、図示しない真空配管路により、負
圧となったり、或はその負圧を解除することができるよ
うになっている。これにより、その吸着面３にキャリア
フィルム付セラミックグリーンシートａのキャリアフィ
ルムｃを吸着し、或はその吸着を解除することができ
る。
【００１６】さらに、図示の装置では、積層台６上に載
せられたセラミックグリーンシートｄ或はその表面のキ
ャリアフィルムｃの反射光を検知する光沢センサー５が
設けられている。なお、図示の実施例では、ドラム２の
片側だけがベアリング８により軸支されているが、ガイ
ドレール４を平行に２本架設して、ドラム２をその両端
側から軸支することももちろん可能である。
せられたセラミックグリーンシートｄ或はその表面のキ
ャリアフィルムｃの反射光を検知する光沢センサー５が
設けられている。なお、図示の実施例では、ドラム２の
片側だけがベアリング８により軸支されているが、ガイ
ドレール４を平行に２本架設して、ドラム２をその両端
側から軸支することももちろん可能である。
【００１７】次ぎに、この装置を用いた本発明によるキ
ャリアフィルムの剥離方法について説明する。積層台６
上では、図に示したのとは別の位置でキャリアフィルム
付セラミックグリーンシートａが順次重ねられ、仮圧着
された後、積層台６が図の位置に移動し、そこでキャリ
アフィルムｃが剥離される。図１は、最も上のセラミッ
クグリーンシートｄからそのキャリアフィルムｃを剥離
する状態を示している。
ャリアフィルムの剥離方法について説明する。積層台６
上では、図に示したのとは別の位置でキャリアフィルム
付セラミックグリーンシートａが順次重ねられ、仮圧着
された後、積層台６が図の位置に移動し、そこでキャリ
アフィルムｃが剥離される。図１は、最も上のセラミッ
クグリーンシートｄからそのキャリアフィルムｃを剥離
する状態を示している。
【００１８】まず、平坦な吸着面３を真下に向けた状態
で、その吸着面３がキャリアフィルムｃの端縁部の真上
に位置するようにスライダー１が移動し、上下動機構７
によりドラム２が下降される。これにより、図１（ａ）
で示されたように、前記平坦な吸着面３がキャリアフィ
ルムｃの端縁部に当たる。ここで、吸着面３が負圧とさ
れ、キャリアフィルムｃの端縁部の一定の幅を持った部
分が吸着面３に吸着される。
で、その吸着面３がキャリアフィルムｃの端縁部の真上
に位置するようにスライダー１が移動し、上下動機構７
によりドラム２が下降される。これにより、図１（ａ）
で示されたように、前記平坦な吸着面３がキャリアフィ
ルムｃの端縁部に当たる。ここで、吸着面３が負圧とさ
れ、キャリアフィルムｃの端縁部の一定の幅を持った部
分が吸着面３に吸着される。
【００１９】続いて、ドラム２が矢印で示す方向に回転
すると共に、スライダー１が矢印で示す方向にドラム２
の周速と同じ速度で移動する。これにより、図１（ｂ）
で示されたように、ドラム２はキャリアフィルムｃ上を
転がりながら回転する。すなわち、ドラム２は、その周
面が常にキャリアフィルムｃの表面に上から接触した状
態で回転しながら矢印方向に移動する。このため、積層
されたセラミックグリーンシートｄが浮き上がらないよ
うに上から押えながら、平坦な吸着面３に吸着したキャ
リアフィルムｃのみを一方の端縁部から他方の端縁部に
向かって剥していく。
すると共に、スライダー１が矢印で示す方向にドラム２
の周速と同じ速度で移動する。これにより、図１（ｂ）
で示されたように、ドラム２はキャリアフィルムｃ上を
転がりながら回転する。すなわち、ドラム２は、その周
面が常にキャリアフィルムｃの表面に上から接触した状
態で回転しながら矢印方向に移動する。このため、積層
されたセラミックグリーンシートｄが浮き上がらないよ
うに上から押えながら、平坦な吸着面３に吸着したキャ
リアフィルムｃのみを一方の端縁部から他方の端縁部に
向かって剥していく。
【００２０】こうしてキャリアフィルムｃを剥した後、
ドラム２の吸着面３の負圧が解除され、剥したキャリア
フィルムｃがドラム２から離れ、廃棄される。また、光
沢センサー５は、キャリアフィルムｃ及びセラミックグ
リーンシートｄからの反射光を検知し、その反射光量の
差により、キャリアフィルムｃの有無を検知する。これ
により、前記の剥離動作の後、なお且つキャリアフィル
ムａが剥離されてない場合は、前記の剥離動作を再度行
う。
ドラム２の吸着面３の負圧が解除され、剥したキャリア
フィルムｃがドラム２から離れ、廃棄される。また、光
沢センサー５は、キャリアフィルムｃ及びセラミックグ
リーンシートｄからの反射光を検知し、その反射光量の
差により、キャリアフィルムｃの有無を検知する。これ
により、前記の剥離動作の後、なお且つキャリアフィル
ムａが剥離されてない場合は、前記の剥離動作を再度行
う。
【００２１】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、セ
ラミックグリーンシートｄをドラム２の周面で上から押
さえた状態で、前記吸着面３に吸着したキャリアフィル
ムｃを一方の端縁部から他方の端縁部へ向けてセラミッ
クグリーンシートｄから剥すことができるので、セラミ
ックグリーンシートの層間剥離を起こすことなく、最も
上のセラミックグリーンシートからキャリアフィルムを
確実に剥離することが可能となる。
ラミックグリーンシートｄをドラム２の周面で上から押
さえた状態で、前記吸着面３に吸着したキャリアフィル
ムｃを一方の端縁部から他方の端縁部へ向けてセラミッ
クグリーンシートｄから剥すことができるので、セラミ
ックグリーンシートの層間剥離を起こすことなく、最も
上のセラミックグリーンシートからキャリアフィルムを
確実に剥離することが可能となる。
【図１】本発明の実施例によるセラミックグリーンシー
トのキャリアフィルム剥離装置とそれを用いた剥離方法
を示す側面図である。
トのキャリアフィルム剥離装置とそれを用いた剥離方法
を示す側面図である。
【図２】本発明の実施例によるセラミックグリーンシー
トのキャリアフィルム剥離装置を示す斜視図である。
トのキャリアフィルム剥離装置を示す斜視図である。
１ スライダー ２ ドラム ３ ドラムの吸着面 ４ ガイドレール ５ 光沢センサー ７ 上下動機構 ８ ベアリング ９ リニア駆動モーター １０ ドラム回転用のモーター
Claims (2)
- 【請求項１】 積層台（６）上に乗ったキャリアフィル
ム付セラミックグリーンシート（ａ）の上側のキャリア
フィルム（ｃ）をセラミックグリーンシート（ｄ）から
剥離する方法において、円周面の長手方向に沿って一部
平坦な吸着面（３）を有するドラム（２）を用い、この
ドラム（２）の前記平坦な吸着面（３）を負圧として、
そこにセラミックグリーンシート（ｄ）上のキャリアフ
ィルム（ｃ）の端縁部を吸着し、その後ドラム（２）を
キャリアフィルム（ｃ）の他方の端縁部に向かって移動
させると共に、転がり回転させることを特徴とするセラ
ミックグリーンシートのキャリアフィルム剥離方法。 - 【請求項２】 積層台（６）上に乗ったキャリアフィル
ム付セラミックグリーンシート（ａ）の上側のキャリア
フィルム（ｃ）をセラミックグリーンシート（ｄ）から
剥離する装置において、円周面の長手方向に沿って一部
平坦となっており、且つ表面が負圧とされる吸着面
（３）を有するドラム（２）と、このドラム（２）を回
転させる回転駆動機構と、ドラム（２）をその周速と等
速度で径方向に移動させるリニア駆動機構と、このドラ
ム（２）を上下させる機構とを備えることを特徴とする
セラミックグリーンシートのキャリアフィルム剥離装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5063261A JP2751056B2 (ja) | 1993-02-27 | 1993-02-27 | セラミックグリーンシートのキャリアフィルム剥離方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5063261A JP2751056B2 (ja) | 1993-02-27 | 1993-02-27 | セラミックグリーンシートのキャリアフィルム剥離方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06255880A JPH06255880A (ja) | 1994-09-13 |
| JP2751056B2 true JP2751056B2 (ja) | 1998-05-18 |
Family
ID=13224166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5063261A Expired - Fee Related JP2751056B2 (ja) | 1993-02-27 | 1993-02-27 | セラミックグリーンシートのキャリアフィルム剥離方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2751056B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1315144B1 (it) * | 2000-11-09 | 2003-02-03 | Gisulfo Baccini | Separatore automatico e procedimento di ottenimento di circuiti permicroelettronica. |
| KR20160086392A (ko) * | 2013-11-19 | 2016-07-19 | 코닝 인코포레이티드 | 필링 방법 및 장치 |
| CN112786519A (zh) * | 2021-01-13 | 2021-05-11 | 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 | 一种生瓷叠片装置及方法 |
-
1993
- 1993-02-27 JP JP5063261A patent/JP2751056B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06255880A (ja) | 1994-09-13 |
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