JP2751056B2 - セラミックグリーンシートのキャリアフィルム剥離方法及びその装置 - Google Patents
セラミックグリーンシートのキャリアフィルム剥離方法及びその装置Info
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28B—SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
- B28B17/00—Details of, or accessories for, apparatus for shaping the material; Auxiliary measures taken in connection with such shaping
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
- Producing Shaped Articles From Materials (AREA)
Description
ーや積層チップインダクター等の積層電子部品を製造す
るためのセラミックグリーンシートであって、キャリア
フィルムに保持された状態のものから、キャリアフィル
ムを剥離する方法と装置に関する。
層セラミックコンデンサは、内部電極を有する誘電体セ
ラミック層が多数積み重ねられ、内部電極が積層体の端
面に交互に引き出されている。そして、これらの内部電
極が引き出された積層体の端面に外部電極が形成されて
いる。
来の製造方法は、誘電体セラミック粉末を有機バインダ
ーに分散させたセラミックスラリーをシート状に成形し
てグリーンシートを作り、スクリーン印刷法等により、
このグリーンシートの上に導電ペーストで内部電極パタ
ーンを印刷する。そして、この内部電極パターンが印刷
されたグリーンシート所定の順序で積層し、さらにその
両側に内部電極パターンが印刷されてないグリーンシー
トを複数枚積み重ねる。こうして得られた積層体を内部
電極が端面に露出するようにしてチップ状に切断し、こ
れを焼成する。これにより、焼結された積層体が得られ
る。そして、この焼結された積層体の内部電極が露出し
た端面に導電ペーストを塗布し、これを焼き付けて外部
電極を形成することにより、積層チップコンデンサが完
成する。
ような積層セラミックコンデンサについても、小型化、
大容量化が要求されている。このような背景の中で、厚
さ10μm以下の極めて薄いグリーンシートを積層して
積層セラミックコンデンサを製造することが行なわれる
ようになった。このようなコンデンサを歩留り良く製造
するためには、前記のような極めて薄いグリーンシート
に精度良く印刷し、これを積層する技術が必要である。
この場合、セラミックグリーンシートが極端に薄いの
で、それを搬送し、印刷し、積層する際に、同グリーン
シートが伸びたり歪んだりしないよう、その取扱いに慎
重を要する。
ンテレフタレートフィルム等のキャリアフィルム上にセ
ラミックスラリーを一定の膜厚に塗布し、乾燥して形成
される。従来、薄いセラミックグリーンシートについて
は、前記のようにしてキャリアフィルム上に形成した
後、それを同キャリアフィルムごと所定の大きさに打ち
抜き、内部電極パターンの印刷を印刷し、さらにこれを
順次積層しながら、キャリアフィルムを剥離していく方
法が採用されている。
リアフィルムを剥離する場合は、キャリアフィルムの表
面の縁に近い部分に吸盤を吸着し、この吸盤によりキャ
リアフィルムの端をセラミックグリーンシートから剥
し、続いて他方の端に向かってキャリアフィルムの全体
をセラミックグリーンシートから剥していくという方法
がとられていた。
のようなキャリアフィルムの剥離手段の場合、キャリア
フィルムと共に上側のセラミックグリーンシートが下側
のセラミックグリーンシートから剥がれて浮き上がりや
すい。このため、折角仮圧着したセラミックグリーンシ
ートの間に空気が入ってしまったり、積層したセラミッ
クグリーンシートがずれてしまうという問題があった。
ャリアフィルム付セラミックグリーンシートを積層した
状態で、それらの層間剥離を起こすことなく、最も上の
セラミックグリーンシートからキャリアフィルムを確実
に剥離することを可能とするキャリアフィルム剥離方法
と装置を提供することを目的とする。
前記の目的を達成するため、積層台6上に乗ったキャリ
アフィルム付セラミックグリーンシートaの上側のキャ
リアフィルムcをセラミックグリーンシートdから剥離
する方法において、円周面の長手方向に沿って一部平坦
な吸着面3を有するドラム2を用い、このドラム2の前
記平坦な吸着面3を負圧として、そこにセラミックグリ
ーンシートd上のキャリアフィルムcの端縁部を吸着
し、その後ドラム2をキャリアフィルムcの他方の端縁
部に向かって移動させると共に、転がり回転させること
を特徴とするセラミックグリーンシートのキャリアフィ
ルム剥離方法を提供する。
ルム付セラミックグリーンシートaの上側のキャリアフ
ィルムcをセラミックグリーンシートdから剥離する装
置において、円周面の長手方向に沿って一部平坦となっ
ており、且つ表面が負圧とされる吸着面3を有するドラ
ム2と、このドラム2を回転させる回転駆動機構と、ド
ラム2をその周速と等速度で径方向に移動させるリニア
駆動機構と、このドラム2を上下させる機構とを備える
ことを特徴とするセラミックグリーンシートのキャリア
フィルム剥離装置を提供する。
キャリアフィルム剥離方法では、ドラム2の円周面の長
手方向に沿って形成された平坦な吸着面3を負圧とし
て、そこにセラミックグリーンシートd上のキャリアフ
ィルムcの端縁部を吸着するため、キャリアフィルムc
の端縁部を確実に吸着することができる。そして、ドラ
ム2をキャリアフィルムcの他方の端縁部に向かって移
動させると共に、転がり回転させることにより、セラミ
ックグリーンシートdをドラム2の周面で上から押えた
状態で、前記吸着面3に吸着したキャリアフィルムc
を、その一方の端縁部から他方の端縁部へ向けてセラミ
ックグリーンシートdから剥すことができる。これによ
り、セラミックグリーンシートcの層間剥がれを防止し
ながら、キャリアフィルムcのみを確実に剥すことがで
きる。
ンシートのキャリアフィルム剥離装置では、吸着面3を
有するドラム2を回転させる回転駆動機構と、その周速
と等速度で径方向に移動させるリニア駆動機構とによ
り、前記の剥離動作が確実に行うことができる。また、
ドラム2を上下させる機構により、セラミックグリーン
シートdの積層厚の変化にも対応することができる。
ついて詳細に説明する。これらの図に示すように、セラ
ミックグリーンシートdを積層する積層台6の上にガイ
ドレール4が架設され、このガイドレール4に沿って移
動自在にスライダー1が取り付けられている。このスラ
イダー1は、図2に示すリニア駆動モーター9により、
ガイドレール4に沿って走行される。
下動機構7が取り付けられ、この上下動機構7を介して
スライダー1からベアリング8が吊り下げられている。
このベアリング8には、ドラム2が回転自在に軸支さ
れ、このドラム2は、モーター10により回転される。
このドラム2を回転させるモーター10とスライダー1
を移動させる前記リニア駆動モーター9とは、ドラム2
の周速とスライダー1の速度とが互いに等しくなるよう
相互に制御される。
が、その一部はドラム外周の円筒面部分の接線を含む平
坦な面となっており、この平坦面が吸着面3となってい
る。この吸着面3は、図示しない真空配管路により、負
圧となったり、或はその負圧を解除することができるよ
うになっている。これにより、その吸着面3にキャリア
フィルム付セラミックグリーンシートaのキャリアフィ
ルムcを吸着し、或はその吸着を解除することができ
る。
せられたセラミックグリーンシートd或はその表面のキ
ャリアフィルムcの反射光を検知する光沢センサー5が
設けられている。なお、図示の実施例では、ドラム2の
片側だけがベアリング8により軸支されているが、ガイ
ドレール4を平行に2本架設して、ドラム2をその両端
側から軸支することももちろん可能である。
ャリアフィルムの剥離方法について説明する。積層台6
上では、図に示したのとは別の位置でキャリアフィルム
付セラミックグリーンシートaが順次重ねられ、仮圧着
された後、積層台6が図の位置に移動し、そこでキャリ
アフィルムcが剥離される。図1は、最も上のセラミッ
クグリーンシートdからそのキャリアフィルムcを剥離
する状態を示している。
で、その吸着面3がキャリアフィルムcの端縁部の真上
に位置するようにスライダー1が移動し、上下動機構7
によりドラム2が下降される。これにより、図1(a)
で示されたように、前記平坦な吸着面3がキャリアフィ
ルムcの端縁部に当たる。ここで、吸着面3が負圧とさ
れ、キャリアフィルムcの端縁部の一定の幅を持った部
分が吸着面3に吸着される。
すると共に、スライダー1が矢印で示す方向にドラム2
の周速と同じ速度で移動する。これにより、図1(b)
で示されたように、ドラム2はキャリアフィルムc上を
転がりながら回転する。すなわち、ドラム2は、その周
面が常にキャリアフィルムcの表面に上から接触した状
態で回転しながら矢印方向に移動する。このため、積層
されたセラミックグリーンシートdが浮き上がらないよ
うに上から押えながら、平坦な吸着面3に吸着したキャ
リアフィルムcのみを一方の端縁部から他方の端縁部に
向かって剥していく。
ドラム2の吸着面3の負圧が解除され、剥したキャリア
フィルムcがドラム2から離れ、廃棄される。また、光
沢センサー5は、キャリアフィルムc及びセラミックグ
リーンシートdからの反射光を検知し、その反射光量の
差により、キャリアフィルムcの有無を検知する。これ
により、前記の剥離動作の後、なお且つキャリアフィル
ムaが剥離されてない場合は、前記の剥離動作を再度行
う。
ラミックグリーンシートdをドラム2の周面で上から押
さえた状態で、前記吸着面3に吸着したキャリアフィル
ムcを一方の端縁部から他方の端縁部へ向けてセラミッ
クグリーンシートdから剥すことができるので、セラミ
ックグリーンシートの層間剥離を起こすことなく、最も
上のセラミックグリーンシートからキャリアフィルムを
確実に剥離することが可能となる。
トのキャリアフィルム剥離装置とそれを用いた剥離方法
を示す側面図である。
トのキャリアフィルム剥離装置を示す斜視図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 積層台(6)上に乗ったキャリアフィル
ム付セラミックグリーンシート(a)の上側のキャリア
フィルム(c)をセラミックグリーンシート(d)から
剥離する方法において、円周面の長手方向に沿って一部
平坦な吸着面(3)を有するドラム(2)を用い、この
ドラム(2)の前記平坦な吸着面(3)を負圧として、
そこにセラミックグリーンシート(d)上のキャリアフ
ィルム(c)の端縁部を吸着し、その後ドラム(2)を
キャリアフィルム(c)の他方の端縁部に向かって移動
させると共に、転がり回転させることを特徴とするセラ
ミックグリーンシートのキャリアフィルム剥離方法。 - 【請求項2】 積層台(6)上に乗ったキャリアフィル
ム付セラミックグリーンシート(a)の上側のキャリア
フィルム(c)をセラミックグリーンシート(d)から
剥離する装置において、円周面の長手方向に沿って一部
平坦となっており、且つ表面が負圧とされる吸着面
(3)を有するドラム(2)と、このドラム(2)を回
転させる回転駆動機構と、ドラム(2)をその周速と等
速度で径方向に移動させるリニア駆動機構と、このドラ
ム(2)を上下させる機構とを備えることを特徴とする
セラミックグリーンシートのキャリアフィルム剥離装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5063261A JP2751056B2 (ja) | 1993-02-27 | 1993-02-27 | セラミックグリーンシートのキャリアフィルム剥離方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5063261A JP2751056B2 (ja) | 1993-02-27 | 1993-02-27 | セラミックグリーンシートのキャリアフィルム剥離方法及びその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06255880A JPH06255880A (ja) | 1994-09-13 |
JP2751056B2 true JP2751056B2 (ja) | 1998-05-18 |
Family
ID=13224166
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5063261A Expired - Fee Related JP2751056B2 (ja) | 1993-02-27 | 1993-02-27 | セラミックグリーンシートのキャリアフィルム剥離方法及びその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2751056B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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KR20160086392A (ko) * | 2013-11-19 | 2016-07-19 | 코닝 인코포레이티드 | 필링 방법 및 장치 |
CN112786519A (zh) * | 2021-01-13 | 2021-05-11 | 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 | 一种生瓷叠片装置及方法 |
-
1993
- 1993-02-27 JP JP5063261A patent/JP2751056B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06255880A (ja) | 1994-09-13 |
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