KR20160086392A

KR20160086392A - 필링 방법 및 장치

Info

Publication number: KR20160086392A
Application number: KR1020167015708A
Authority: KR
Inventors: 로버트 앨런 벨맨; 로버트 조지 맨리; 앨런 토마스 Ⅱ 스티븐스
Original assignee: 코닝 인코포레이티드
Priority date: 2013-11-19
Filing date: 2014-11-04
Publication date: 2016-07-19
Also published as: WO2015077012A1; TW201522252A; CN105745168A; JP2016539502A

Abstract

필링 장치(100)는 아치형 표면(117)을 포함하고 그 아치형 표면에 대해 제1 기판(111)을 해제가능하게 장착하도록 구성된 장착 부재(115)를 구비한 필링 부재(103)를 포함한다. 상기 필링 장치는 필링 부재가 지지 축에 대해 회전하는 동안 필링 부재를 제2기판으로부터 멀리 이동하도록 제2기판(113)에 대해 지지 축(X)을 이동하도록 구성된 이동 메카니즘(107)을 더 포함한다. 다른 예들에 있어서, 방법은 필링 부재의 아치형 표면에 대해 제1기판을 해제가능하게 장착하는 단계 및 지지 위치(105)에 대해 제2기판을 해제가능하게 장착하는 단계를 포함한다. 상기 방법은 필링 부재를 제2기판으로부터 멀리 이동하도록 제2기판에 대해 필링 부재의 지지 축을 이동시키는 단계를 더 포함하며, 상기 제1기판은 필링 부재가 지지 축에 대해 회전함에 따라 제2기판으로부터 필링된다.

Description

필링 방법 및 장치{PEELING METHODS AND APPARATUS}

본 출원은 35 U.S.C.§119 하에 2013년 11월 19일 출원된 미국 가출원 제61/906,065호를 우선권 주장하고 있으며, 상기 특허 문헌의 내용은 참조를 위해 본 발명에 모두 포함된다.

본 개시는 통상 기판을 필링하기 위한 방법 및 장치에 관한 것으로, 특히 제1기판을 제2기판으로부터 필링하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.

플렉시블 전자 소자 또는 다른 소자들의 제조에 있어 얇은 플렉시블 유리의 사용에 대한 관심이 높아지고 있다. 플렉시블 유리는 예컨대 액정 디스플레이(LCD), 전기영동 디스플레이(EPD), 유기발광다이오드 디스플레이(OLED), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 터치 센서, 광전지 등과 같은 전자 소자들의 제조 또는 성능과 관련된 몇가지 이점의 특성을 가질 수 있다. 플렉시블 유리 사용에 있어서의 한가지 요소는 롤 포맷이 아니라 시트 포맷으로 유리를 처리하는 능력이다.

플랙시블 유리의 처리 동안 그 플렉시블 유리의 핸들링을 가능하게 하기 위해, 그러한 플랙시블 유리는 통상 폴리머 결합제를 이용하여 단단한 캐리어 기판에 결합된다. 일단 캐리어 기판에 결합되면, 그러한 캐리어 기판의 단단한 특성 및 크기는 그 결합된 구조가 플렉시블 유리에 대한 밴딩 또는 손상을 야기하지 않고 제조시에 핸들링될 수 있게 한다. 예컨대, 박막 트랜지스터(TFT) 요소들은 LCD 제조시에 그러한 플렉시블 유리에 부착될 것이다.

처리 후, 그러한 플렉시블 유리는 캐리어 기판으로부터 제거된다. 그러나, 연약한 특성의 캐리어 기판이 주어진 경우, 플렉시블 유리를 캐리어 기판으로부터 분리하기 위해 인가된 힘은 그 플렉시블 유리를 손상시킬 수 있다. 더욱이, 그러한 분리 프로세스는 종종 캐리어 기판을 손상시킬 뿐만 아니라 미래에 사용할 수 없는 캐리어 기판이 되게 한다.

따라서, 플랙시블 유리 또는 캐리어 기판을 손상시키기 위한 잠재성을 감소시키는 캐리어 기판으로부터 얇은 플렉시블 유리를 분리하기 위한 실용적인 해결책이 필요하다.

이하 상세한 설명에 기술된 몇몇 예시의 형태들의 기본적인 이해를 제공하기 위해 본 개시의 간단한 요약을 제공한다.

본 개시의 제1형태에 있어서, 제1기판을 제2기판으로부터 필링하기 위한 필링 장치는 지지 축에 대해 회전하도록 구성된 필링 부재를 포함한다. 상기 필링 부재는 아치형 표면을 포함하고 상기 아치형 표면에 대해 제1기판을 해제가능하게 장착하도록 구성된 장착 부재를 포함한다. 상기 필링 장치는 필링 부재가 지지 축에 대해 회전하는 동안 필링 부재를 제2기판으로부터 멀리 이동시키기 위해 제2기판에 대해 지지 축을 이동하도록 구성된 이동 메카니즘을 더 포함한다.

제1형태의 일 예에 있어서, 상기 이동 메카니즘은 상기 필링 부재를 제2기판으로부터 멀리 이동시키기 위해 상기 필링 부재의 중량을 리프팅하도록 구성된다.

제1형태의 다른 예에 있어서, 상기 필링 부재는 이동 메카니즘이 지지 축을 이동하는 동안 상기 지지 축에 대해 자유롭게 회전하도록 구성된다.

제1형태의 또 다른 예에 있어서, 상기 아치형 표면은 상기 아치형 표면의 외부 방사상 프로파일을 따라 변하는 굴곡 반경을 포함한다.

제1형태의 또 다른 형태에 있어서, 상기 장착 부재는 하나 또는 그 이상의 진공 포트를 포함한다.

제1형태의 또 다른 예에 있어서, 상기 장착 부재는 아치형 표면으로부터 확장하는 상승된 표면부를 포함하고, 상기 상승된 표면부는 상기 아치형 표면의 굴곡에 거의 매칭되는 굴곡을 포함하는 상승된 표면을 포함한다.

제1형태의 또 다른 예에 있어서, 상기 장착 부재는 상기 장착 부재의 표면부의 둘레를 에두르는 밀봉 부재를 더 포함한다.

제1형태의 또 다른 예에 있어서, 상기 필링 장치는 제2기판을 지지하도록 구성된 지지 플랫폼을 더 포함한다. 일 예에 있어서, 상기 지지 플랫폼은 상기 제2기판을 지지 플랫폼에 해제가능하게 장착하도록 구성된 장착부를 포함한다. 다른 예에 있어서, 상기 필링 장치는 상기 지지 플랫폼의 움직임을 해제가능하게 락킹하도록 구성된 락킹 장치를 포함한다. 또 다른 예에 있어서, 상기 지지 플랫폼은 상기 필링 부재가 지지 축에 대해 회전하는 동안 이동하도록 구성된다.

제1형태는 상기 기술한 제1형태의 예 단독으로 또는 그 예들의 소정 조합에 의해 수행된다.

본 개시의 제2형태에 있어서, 제1기판을 제2기판으로부터 필링하기 위한 방법은 필링 부재의 아치형 표면에 대해 상기 제1기판을 해제가능하게 장착하는 단계 (I)를 포함한다. 상기 방법은 지지 위치에 대해 상기 제2기판을 해제가능하게 장착하는 단계 (II)를 더 포함한다. 상기 방법은 상기 필링 부재를 상기 제2기판으로부터 멀리 이동하도록 상기 제2기판에 대해 상기 필링 부재의 지지 축을 이동하는 단계 (III)을 더 포함하며, 상기 제1기판은 상기 필링 부재가 상기 지지 축에 대해 회전함에 따라 상기 제2기판으로부터 필링된다.

제2형태의 일 예에 있어서, 단계 (III)은 상기 필링 부재를 상기 제2기판으로부터 멀리 이동하도록 상기 필링 부재의 중량을 리프팅하는 단계를 포함한다.

제2형태의 다른 예에 있어서, 단계 (I)는 단계 (III) 동안 상기 지지 축에 대한 모멘트(moment)를 생성하도록 상기 필링 부재를 포지셔닝(positioning)하는 단계를 더 포함한다. 일 예에 있어서, 단계 (III)의 모멘트는 단계 (III) 동안 지지 축에 대한 필링 부재의 회전을 드라이브(drive)한다. 다른 예에 있어서, 상기 모멘트는 상기 필링 부재의 중량에 의해 생성된다.

제2형태의 또 다른 예에 있어서, 단계 (II)는 지지 위치를 포함하는 지지 플랫폼에 대해 제2기판을 해제가능하게 장착하는 단계를 포함하며, 단계 (III)은 상기 필링 부재가 상기 지지 축에 대해 회전함에 따라 상기 지지 플랫폼을 이동시키는 단계를 더 포함한다.

제2형태의 또 다른 예에 있어서, 단계 (II)는 상기 지지 위치를 포함하는 지지 플랫폼에 대해 제2기판을 해제가능하게 장착하는 단계를 포함하며, 단계 (III)은 상기 필링 부재가 지지 축에 대해 회전하는 동안 이동하도록 상기 지지 플랫폼을 락킹 해제하는 단계를 더 포함한다.

제2형태의 다른 예에 있어서, 단계 (I)는 진공을 인가하는 단계를 포함한다.

제2형태의 또 다른 예에 있어서, 단계 (I)는 상기 제1기판의 에지부가 상기 필링 부재의 아치형 표면에 대해 해제가능하게 진공 장착되도록 제1기판의 에지와 진공 밀봉 부재의 에지를 정렬시키는 단계를 포함한다.

제2형태는 상기 기술한 제2형태의 예 단독으로 또는 그 예들의 소정 조합에 의해 수행된다.

이들 및 다른 형태들은 수반되는 도면을 참조하여 다음의 상세한 설명을 읽음으로써 더 잘 이해될 것이다:
도 1은 예시의 필링 장치의 측면도이고;
도 2는 도 1의 예시의 필링 장치의 단면도(end view)이고;
도 3은 예시의 필링 장치의 필링 부재의 측면도이고;
도 4는 도 3의 필링 부재의 하면도이고;
도 5는 예시의 필링 장치의 측면도이고, 여기서 기판은 필링 부재에 해제가능하게 장착되며;
도 6은 지지 축이 방향 D1로 이동된 후 도 5의 예시의 필링 장치의 측면도이다.

이제, 예시의 실시예들이 나타난 수반되는 도면을 참조하여 이하 예들을 좀더 충분히 기술한다. 가능한 한, 도면 전체에 걸쳐 동일하거나 유사한 부분에는 동일한 참조부호가 사용된다. 그러나, 형태들이 많은 다른 형태로 실시되고, 본원에 기술한 실시예들로 한정하는 것으로 해석하지 않을 것이다.

본 개시의 필링 장치는 서로 결합된 2개의 기판을 개별적으로 필링하는데 유용할 수 있다. 특히, 본 개시의 필링 장치는 다양한 전자 소자들의 생산 동안 캐리어 기판으로부터 개별적으로 얇은 플렉시블 유리 시트를 필링하는데 유용할 수 있다. 플렉시블 유리 시트는 종종 액정 디스플레이(LCD), 전기영동 디스플레이(EPD), 유기발광다이오드 디스플레이(OLED), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 터치 센서 등을 제조하는데 사용된다. 그러한 플렉시블 유리의 처리 동안 그 플렉시블 유리의 핸들링을 가능하게 하기 위해, 그러한 플렉시블 유리는 통상 폴리머 결합제를 이용하여 단단한 캐리어 기판에 결합된다. 그러한 캐리어 기판의 단단한 특성 및 크기는 그 결합된 구조가 플렉시블 유리에 대한 밴딩 또는 손상을 야기하지 않고 제조시에 핸들링될 수 있게 한다. 플렉시블 유리 시트를 캐리어 기판으로부터 제거하길 원한다면, 본 개시의 필링 장치는 유리 시트 또는 캐리어 기판을 손상시키지 않고 플렉시블 유리 시트를 캐리어 기판으로부터 필링하는데 유용할 수 있다.

도 1 및 2로 돌아가서, 필링 부재(103), 옵션의 지지 플랫폼(105), 및 이동 메카니즘을 포함하는 예시의 필링 장치(100)가 나타나 있다. 더욱이, 제1기판(111)의 주표면(112)이 제2기판(113)의 주표면(114)에 면하도록 제2기판(113)에 결합된 제1기판을 포함하는 결합된 구조(109)가 나타나 있다. 상기 제1기판(111)은 약 300 ㎛보다 작은 두께를 갖는 얇은 플렉시블 유리 시트가 될 것이다. 더욱이, 상기 제2기판(113)은 약 400 ㎛보다 큰 두께를 갖는 좀더 단단한 유리 시트가 될 것이다. 그러나, 상기 제1 및 제2기판(111, 113)은 발명의 범주를 벗어나지 않고 다른 재료를 포함하거나 또는 다른 두께를 가질 수 있다.

지지 플랫폼(105)은 필링 장치(100)의 동작 동안 제2기판(113)을 지지하도록 구성된다. 한편, 필링 부재(103)는 지지 축(X)에 대해 회전하도록 구성되고 장착 부재(115)를 포함한다. 그러한 장착 부재(115)는 아치형 표면(117)을 갖고 이 아치형 표면(117)에 대해 상기 제1기판(111)을 해제가능하게 장착하도록 구성된다. 이동 메카니즘(107)은 필링 부재(103)가 지지 축(X)에 대해 회전하는 동안 그 필링 부재(103)를 제2기판(113)으로부터 멀리 이동하도록 상기 제2기판(113)에 대해 상기 지지 축(X)을 이동하도록 구성된다. 특히, 상기 이동 메카니즘(107)은 가이드 부재(121)를 따라 각각 이동하는 지지 아암(119)들을 포함한다. 상기 이동 메카니즘(107)은 필링 부재(103)를 지지하고 상기 지지 축(X)을 따라 확장하는 지지 부재(123)를 더 포함한다. 그러한 지지 부재(123)는 지지 아암(119)들에 의해 지지된다. 상기 지지 아암(119)들이 가이드 부재(121)들을 따라 이동함에 따라, 상기 지지 부재(123) 및 지지 축(X) 또한 이동할 것이다. 상기 필링 부재(103), 지지 플랫폼(105), 및 이동 메카니즘(107)은 상기 제1기판(111)이 아치형 표면(117)에 대해 장착될 때, 그러한 필링 부재(103)의 리프팅(lifting) 및 회전이 상기 제1기판(111)을 상기 제2기판(113)으로부터 필링하도록 구성된다.

옵션의 지지 플랫폼(105)은 제2기판을 장착하기 위한 지지 위치를 제공한다. 그러한 지지 플랫폼은 상기 제2기판(113)을 상기 지지 플랫폼(105)에 해제가능하게 장착하도록 구성된 장착부(127)를 포함할 수 있다. 본 실시예에서의 그러한 장착부(127)는 다수의 진공 포트(129)를 포함하며, 여기서 진공은 상기 제2기판(113)을 상기 지지 플랫폼(105)에 선택적으로 장착하도록 상기 진공 포트(129)에 선택적으로 제공된다. 그러나, 다른 실시예들에서의 상기 장착부(127)는 단지 단일의 진공 포트만을 포함할 수 있다. 대안으로, 상기 장착부(127)는 상기 제2기판(113)을 상기 지지 플랫폼(105)에 해제가능하게 장착하기 위한 접착 또는 다른 고정 수단을 포함할 수 있다.

상기 지지 플랫폼(105)은, 해제가능하게 장착된 제2기판(113)이 지지 플랫폼(105)에 따라 이동하도록 지지 축(X)에 대해 필링 부재(103)가 회전하는 동안 가이드 부재(131)들을 따라 수평으로 이동하도록 구성된다. 더욱이, 상기 지지 플랫폼(105)은 상기 가이드 부재(131)들을 따라 지지 플랫폼(105)의 움직임을 해제가능하게 락킹하도록 구성된 락킹 장치(132)를 포함할 수 있다. 비록 나타내진 않았지만, 다른 예들에서, 상기 필링 장치는 이동가능한 지지 플랫폼을 포함하지 않을 수 있다. 오히려, 몇몇 실시예들에서, 상기 제2기판은 테이블, 또는 상기 필링 장치 아래의 지지면과 같은 다른 지지면에 장착될 수 있다. 예컨대, 상기 필링 장치는 이 필링 장치 아래의 지지면에 대한 움직임을 위해 장착될 것이다. 그와 같이, 상기 제2기판은 상기 제1기판을 상기 제2기판으로부터 필링하기 위해 필링 장치를 이용할 때 상기 필링 장치가 지지면에 대해 이동하는 동안 지지면에 대한 고정 위치에 장착될 수 있다.

도 3 및 4로 되돌아 가서, 필링 부재(103)의 아치형 표면(117)은 이 아치형 표면(117)의 외부 주변 프로파일(301)을 따라 변하는 굴곡 반경을 포함한다. 예컨대, 그러한 굴곡 반경은 상기 외부 주변 프로파일(301)을 따라 어느 한 위치에서 지지 축(X)으로부터의 거리 R1이 되는 한편, 상기 외부 주변 프로파일(301)을 따라 또 다른 위치에서 지지 축(X)으로부터의 다른 거리 R2가 될 것이다. 바람직하게, 상기 아치형 표면(117)은, R2가 R1보다 커지도록, 상기 외부 주변 프로파일(301)의 단부 303에서 상기 외부 주변 프로파일(301)의 단부 305로 굴곡 반경이 증가하도록 구성된다. 그러나, 다른 실시예에서는 상기 굴곡 반경이 상기 아치형 표면(117)의 외부 주변 프로파일(301)을 따라 일정하게 유지될 수 있다.

도 3 및 4에 나타낸 바와 같이, 상기 필링 부재(103)의 장착 부재(115)는 다수의 상승된 표면부(307, 309, 311)를 포함할 수 있다. 각각의 상승된 표면부(307, 309, 311)는 상기 아치형 표면(117)으로부터 확장되고 상기 아치형 표면(117)의 굴곡에 거의 매칭되는 굴곡을 갖는 상승된 표면을 포함한다. 또한 상기 장착 부재(115)는 그러한 상승된 표면부(307, 309)들을 통해 확장되는 다수의 진공 포트(313)를 포함한다. 진공은 상기 상승된 표면부(307, 309)에 대해 상기 제1기판(111)의 일부를 해제가능하게 장착하도록 상기 진공 포트(313)들에 선택적으로 제공될 것이다. 추가로, 상기 필링 부재(103)는 상기 아치형 표면(117)에 장착되고 상기 상승된 표면부(307, 309)들의 둘레를 에두르는 밀봉 부재(315, 317)들을 포함할 수 있다. 그러한 밀봉 부재(315, 317)들은 상기 아치형 표면(117)과 상기 제1기판(111)간 진공 밀봉을 제공하기 위해 상기 제1기판(111)의 주표면(133; 도 1 및 2에 나타낸)을 체결하도록 구성된다. 바람직하게, 각각의 밀봉 부재(315, 317)는 개스킷(gasket) 또는 O-링과 같은 플렉시블 및 탄성 부재이다. 따라서, 상기 아치형 표면(117)에 장착될 때, 상기 플렉시블 밀봉 부재(315, 317)들의 표면(319, 321)들은 그 아치형 표면(117)의 굴곡에 거의 매칭되는 굴곡을 가질 것이다.

도 5 및 6은 상기 기술한 필링 장치(100)를 이용하여 상기 제1기판(111)을 상기 제2기판(113)으로부터 필링하는 하나의 방법을 기술한다. 그러한 방법은 상기 제2기판(113)을 지지 위치에 해제가능하게 장착하는 단계를 포함한다. 예컨대, 나타낸 바와 같이, 상기 방법은 상기 제2기판을 상기 지지 위치에서 상기 지지 플랫폼(105)에 해제가능하게 장착하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 제2기판(113)은 상기 기술한 진공 포트(129)들을 이용하여 지지 플랫폼(105)에 해제가능하게 장착되거나, 상기 제2기판(113)은 접착 또는 다른 고정 수단을 이용하여 해제가능하게 장착될 것이다. 대안으로, 앞서 기술한 바와 같이, 상기 장치는 지지 플랫폼 없이 제공될 수 있다. 예컨대, 상기 방법은 상기 필링 장치(100) 아래의 지지면의 지지 위치에 상기 제2기판을 해제가능하게 장착하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 방법은 상기 필링 부재(103)의 아치형 표면(117)에 대해 상기 제1기판(111)을 해제가능하게 장착하는 단계를 더 포함한다. 도 5에 따르면, 필링 부재(103)는 밀봉 부재(315)의 에지(501)가 제1기판(111)의 에지(503)와 정렬되고 그 밀봉 부재(315)의 표면(319)이 상기 제1기판(111)의 에지부(505)를 체결하도록 위치된다. 다음에 상기 필링 부재(103)의 아치형 표면(117)에 대해 상기 에지부(505)를 해제가능하게 진공 장착하도록 그 상승된 표면부(307)에서 진공 포트(313)에 대해 진공이 제공된다. 제1기판(111)이 프레스되면, 밀봉 부재(315)는 아치형 표면(117)과 제1기판(111)간 플러시 밀봉(flush seal)을 제공할 것이다.

바람직하게, 상기 필링 부재(103)는, 에지부(505)가 아치형 표면(117)에 대해 최초 장착될 때 필링 부재의 중력 중심(Cg)이 지지 축(X)이 놓여있는 수직 평면(P)으로부터 오프셋되도록 위치된다. 따라서, 상기 필링 부재(103)의 중량(F)은 상기 지지 축(X)에 대한 모멘트(M)를 생성할 것이다. 상기 필링 부재(103)가 상기 지지 축(X)에 대해 자유롭게 회전하도록 구성되기 때문에, 상기 모멘트(M; 다른 힘 및 모멘트 부재(absent))는 통상 그 모멘트(M)의 방향으로 상기 지지 축(X)에 대해 상기 필링 부재(103)를 회전하게 할 것이다. 그러나, 상기 제1기판(111)의 에지부(505)를 장착하도록 제공된 진공은 필링 부재(103)를 움직이지 않게 유지하고 그 필링 부재(103)의 회전을 막는 것을 돕는 진공력을 생성할 것이다. 상기 언급한 바와 같이, 상기 지지 플랫폼(105)은 가이드 부재(131)들을 따라 그 지지 플랫폼(105)의 움직임을 해제가능하게 락킹하도록 구성된 락킹 장치(132)를 포함할 수 있다. 따라서, 락킹될 때, 진공 포트(129)들을 통해 제공된 진공을 통해 상기 지지 플랫폼(105)에 고정된 기판 어셈블리(109)는 움직임이 방지될 것이다. 그와 같이, 상기 진공 포트(313)를 통해 제공된 진공을 통해 그 기판 어셈블리(109)에 부착된 필링 부재(103)는 유사하게 움직임이 방지될 것이다. 더욱이, 상기 아치형 표면(117)의 굴곡 반경이 상기 외부 주변 프로파일(301)의 단부 303에서 단부 305로 증가하기 때문에, 상기 필링 부재(103)는 관통하기 위한 필링 부재(103)의 보다 큰 반경부를 위한 상기 지지 축(X)과 기판 어셈블리(109)간 더 큰 틈새 공간이 필요해짐에 따라 상기 모멘트(M)의 방향으로 회전하는 것을 더 방지할 것이다. 따라서, 상기 제2기판(113)으로부터 멀리 필링 부재(103)를 이동시키고 상기 지지 축(X)과 기판 어셈블리(109)간 틈새 공간을 크게 하기 위해 상기 지지 축(X)이 제2기판(113)에 대해 이동되지 않는 한, 상기 필링 부재(103)는 움직이지 않고 유지될 것이다.

상기 방법은 필링 부재(103)를 제2기판(113)으로부터 멀리 이동시키도록 상기 제2기판(113)에 대해 상기 필링 부재(103)의 지지 축(X)을 이동하는 단계를 더 포함한다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 그러한 이동 메카니즘(107)은 방향 D1로 제2기판(113)으로부터 멀리 상기 지지 축(X)을 이동시키도록 동작될 것이다. 상기 방향 D1은 바람직하게 수직이다. 그러나, 그 방향 D1은 상기 제2기판(113)의 표면을 횡단하는 소정의 방향이 될 수 있다. 다른 예들에 있어서, 나타내진 않았지만, 상기 필링 부재(103)의 지지 축(X)은 예컨대 필링 부재가 이동하지 않으면서 상기 제2기판(113)을 필링 부재로부터 멀리 이동시킴으로써 상기 제2기판에 대해 이동될 수 있다. 예컨대, 그러한 나타낸 제2기판(113)은 상기 지지 축(X)의 상대적 이동을 제공하기 위해 방향 D1에 대향하는 방향으로 하향 이동할 것이다.

상기 이동 메카니즘(107)의 지지 아암(119)은 가이드 부재(121)를 따라 수동으로 상승되거나 또는 상기 이동 메카니즘(107)은 상기 지지 아암(119)의 위치를 조절하기 위해 자동으로 동작될 수 있는 모터를 포함할 것이다. 상기 제1기판(111)의 에지부(505)가 상기 필링 부재(103)의 아치형 표면(117)에 대해 해제가능하게 진공 장착되기 때문에, 상기 필링 부재(103)가 제2기판에 대해 리프팅되어 상기 에지부(505)를 상기 제2기판(113)으로부터 멀리 필링시킴에 따라 상기 필링 부재(103)는 상기 에지부(505)에 리프팅력을 전달할 것이다.

상기 방법은 상기 지지 축(X)이 제2기판(113)에 대해 이동됨에 따라 상기 필링 부재(103)를 상기 지지 축(X)에 대해 회전하게 하는 락킹 장치(132)를 해제하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 락킹 장치(132)가 해제되면, 지지 플랫폼(105; 및 거기에 장착된 기판 어셈블리 109)은 가이드 부재(131)를 따라 자유롭게 이동할 수 있다. 따라서, 상기 필링 부재(103)는 앞서 단단한 기판 어셈블리(109)에 대한 장착으로 인해 더 이상 회전이 금지되지 않을 것이다. 오히려, 상기 지지 축(X)이 상기 제2기판(113)에 대해 그리고 그로부터 멀리 이동됨에 따라, 상기 지지 축(X)과 기판 어셈블리(109)간 틈새 공간은 증가하고, 이에 따라 상기 필링 부재(103)가 모멘트(M)의 방향으로 회전되게 한다. 상기 필링 부재(103)가 회전됨에 따라, 상기 필링 부재(103)는 제1기판(111)을 우측으로 끌어당기고, 이후 제2기판(113) 및 지지 플랫폼(105)을 방향 D2로 가이드 부재(131)를 따라 이동시킬 것이다.

비록 본 실시예의 지지 플랫폼(105)이 가이드 부재(131)를 따라 자유롭게 이동하도록 구성되었을 지라도, 다른 실시예들에서 그러한 지지 플랫폼(105)은 필링 부재(103)의 회전에 따라 상기 가이드 부재를 따라 상기 지지 플랫폼(105)을 자동으로 이동시키도록 동작될 수 있는 모터에 의해 이동될 수 있다는 것을 알아야 한다. 더욱이, 상기 지지 플랫폼(105)이 움직이지 않고 유지되나 제2기판(113)이 그 지지 플랫폼(105)에 대해 고정되지 않는 실시예들이 있을 수 있다. 그와 같은 실시예들에 있어서, 상기 제2기판(113)은 만약 제공된다면 제1기판(111)이 필링 부재(103)에 의해 우측으로 끌어당겨지고, 이에 따라 지지 플랫폼(105)이 움직이지 않고 유지되면서 상기 필링 부재(103)가 회전되게 함에 따라 제1기판(111)과 함께 상기 지지 플랫폼(105)을 가로질러 자유롭게 슬라이드할 수 있다.

상기 지지 축(X)이 방향 D1로 이동됨에 따라, 상기 필링 부재(103)는 모멘트(M)에 따라 자연스럽게 계속해서 회전할 것이다. 상기 필링 부재(103)가 회전하고 상기 제2기판(113)에 대해 리프팅함에 따라, 에지부(505)는 필링 부재(103)에 의해 그리고 제2기판(113)으로부터 멀리 계속해서 리프팅됨으로써, 제1기판(111)이 상기 제2기판(113)으로부터 멀리 더 필링되게 한다. 추가로, 상기 아치형 표면(117)의 굴곡은 상기 필링 부재(103)가 리프팅되고 회전됨에 따라 상기 필링 부재(103)의 밀봉 부재(317)가 결국 상기 제1기판(111)과 체결되도록 구성된다. 다음에 그러한 밀봉 부재(317)를 체결하는 상기 제1기판(111)의 일부에서 상기 제1기판(111)에 추가의 리프팅력을 제공하기 위해 그 상승된 표면부(309)에서 진공 포트(313)에 대해 진공이 제공될 것이다. 따라서, 제1기판(111)을 제2기판(113)으로부터 필링하는데 필요한 전체 리프팅력은 그러한 필요한 리프팅력이 그 에지부(505)에 완전히 제공되지 않도록 상기 제1기판(111)의 일부에 걸쳐 전파될 수 있다. 상기 제1기판(111)의 일부에 걸친 그와 같은 리프팅력의 전파는 그 제1기판의 소정의 일부가 높은 진공력으로부터의 원하지 않는 압축 스트레스를 격게하는 것을 방지할 수 있다.

결국, 방향 D1로의 지지 축(X)의 계속된 이동은 그 중력의 중심(Cg)이 도 6에 나타낸 바와 같이 평면(P) 상에 지지 축(X) 바로 아래일 때까지 상기 필링 부재(103)가 상기 모멘트(M)에 따라 자연스럽게 회전하게 할 것이다. 이러한 점에서, 상기 필링 부재(103)는 상기 필링 부재의 중량(F)에 의해 생성된 모멘트(M)가 제로(zero)가 될 때까지 추가의 힘 없이 회전하는 것을 멈출 것이다. 상기 제1기판(111)은 이러한 시점에서 상기 제2기판(113)으로부터 완전히 필링되거나 또는 상기 제1기판(111)은 상기 제2기판(113)으로부터 부분적으로 필링될 것이다. 상기 제1 및 제2기판(111, 113)의 소정 부분이 부착을 유지하면, 방향 D1로 지지 축(X)의 좀더 나아간 이동은 제2기판(113)에 대해 상기 제2기판(113) 및 상기 해제가능하게 장착된 제1기판(111)을 리프팅하여 상기 제1 및 제2기판(111, 113)이 완전히 분리되게 한다.

도 6에서 볼 수 있는 바와 같이, 상기 기술한 필링 장치(100) 및 방법을 이용하여 제1기판(111)을 제2기판(113)으로부터 필링하는 것은 필링 부재(103)의 아치형 표면(117)의 굴곡에 거의 매칭되는 굴곡을 제1기판(111)에 생성한다. 상기 필링 부재(103)가 지지 축(X)에 대해 회전하고 상기 제2기판(113)에 대해 리프팅함에 따라, 상기 제1기판(111)의 표면(133)은 밀봉 부재(315, 317)들을 체결하는 제1기판(111)의 일부에 해제가능하게 진공 장착(즉, 부착)된다. 추가로, 상기 필링 부재의 좀더 나아간 회전 및 리프팅은 제1기판(111)의 표면(133)이 상승된 표면부(311)를 체결하게 할 것이다. 상기 밀봉 부재(315, 317) 및 상승된 표면부(311)의 표면들이 상기 필링 부재(103)의 아치형 표면(117)의 굴곡에 거의 매칭되는 굴곡을 갖기 때문에, 상기 제1기판(111)의 표면(133)은 유사하게 상기 아치형 표면(117)의 굴곡에 거의 매칭되는 굴곡을 가질 것이다. 상기 제1기판(111)에 대한 손상을 방지하기 위해, 그러한 생성된 굴곡은 바람직하게 상기 제1기판의 항복 강도를 초과하지 않는 밴딩 스트레스를 상기 제1기판(111)이 받게 할 것이다.

상기 기술한 장치(100) 및 이 장치(100)를 이용하는 방법은 제2기판(113)으로부터 멀리 지지 축(X)을 이동시키기 위해 단일의 선형력을 인가함으로써 제1기판(111)이 제2기판(113)으로부터 필링되게 할 수 있다. 상기 필링 부재(103)는 지지 축(X)이 제2기판(113)으로부터 멀리 이동됨에 따라 자연스럽게 회전할 것이다. 더욱이, 옵션의 지지 플랫폼(105) 및 제2기판(113)은 상기 필링 부재(103)가 자연스럽게 회전함에 따라 상기 필링 부재가 제1기판(111)에 가하는 풀링 동작에 따라 이동(예컨대, 수평으로)할 것이다. 따라서, 부드러운 필링 동작은 단일의 선형력에 의해 상기 제1기판(111)에 인가될 것이다.

통상의 기술자라면 청구된 발명의 사상 및 범주를 벗어나지 않고 다양한 변형 및 변경이 이루어질 수 있다는 것을 명확히 알 수 있을 것이다. 예컨대, 앞서 기술한 바와 같이, 상기 기술한 장치(100)의 이동 메카니즘(107)이 필링 부재(103)를 리프팅하도록 구성될 지라도, 그러한 이동 메카니즘(107)은 다른 실시예들에서 그 동일한 필링 동작을 달성하기 위해 상기 필링 부재(103)로부터 멀리 상기 제2기판(113)을 하강시킬 수 있다. 더욱이, 지지 축(X)이 이동됨에 따라 상기 필링 부재(103가 자연스럽게 회전할 지라도, 상기 필링 부재(103)의 회전은 다른 실시예들에서 수동으로 또는 자동으로 제어될 수 있다. 더욱이, 상기 기술한 장치(100)의 필링 부재(103)의 장착 부재(115)가 제1기판(111)의 표면(133)를 체결하도록 구성된 다수의 상승된 부분(307, 309, 311) 및 밀봉 부재(315, 317)들을 포함할 지라도, 상기 장착 부재(115)는 다른 실시예들에서 소정의 상승된 부분 또는 밀봉 부재들을 포함하지 않을 수 있다. 오히려, 상기 제1기판(111)의 표면(133)이 상기 필링 장치(100)의 동작 동안 장착 부재(115)의 아치형 표면(117)과 직접 체결될 것이다. 게다가, 상기 장착 부재(115)는 발명의 범주로부터 벗어나지 않고 소정 다수의 상승된 부분 및 밀봉 부재들을 포함하거나, 또는 어떠한 것도 포함하지 않을 수 있다. 이들은 단지 상기 기술한 장치 및 방법으로 이루어질 수 있는 몇가지의 변형예일 뿐이다. 청구된 발명의 사상 및 범주로부터 벗어나지 않고 다른 다양한 변형 및 변경들이 이루어질 수 있다.

Claims

제1기판을 제2기판으로부터 필링하기 위한 필링 장치로서,
아치형 표면을 포함하고 상기 아치형 표면에 대해 상기 제1기판을 해제가능하게 장착하도록 구성된 장착 부재를 포함함과 더불어, 지지 축에 대해 회전하도록 구성된 필링 부재; 및
상기 필링 부재가 상기 지지 축에 대해 회전하는 동안 상기 필링 부재를 상기 제2기판으로부터 멀리 이동시키기 위해 상기 제2기판에 대해 상기 지지 축을 이동하도록 구성된 이동 메카니즘을 포함하는, 필링 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 이동 메카니즘은 상기 필링 부재를 제2기판으로부터 멀리 이동시키기 위해 상기 필링 부재의 중량을 리프팅하도록 구성된, 필링 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 필링 부재는 상기 이동 메카니즘이 상기 지지 축을 이동하는 동안 상기 지지 축에 대해 자유롭게 회전하도록 구성된, 필링 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 아치형 표면은 상기 아치형 표면의 외부 방사상 프로파일을 따라 변하는 굴곡 반경을 포함하는, 필링 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 장착 부재는 하나 또는 그 이상의 진공 포트를 포함하는, 필링 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 장착 부재는 아치형 표면으로부터 확장하는 상승된 표면부를 포함하고, 상기 상승된 표면부는 상기 아치형 표면의 굴곡에 거의 매칭되는 굴곡을 포함하는 상승된 표면을 포함하는, 필링 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 장착 부재는 상기 장착 부재의 표면부의 둘레를 에두르는 밀봉 부재를 더 포함하는, 필링 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제2기판을 지지하도록 구성된 지지 플랫폼을 더 포함하는, 필링 장치.
청구항 8에 있어서,
상기 지지 플랫폼은 상기 제2기판을 지지 플랫폼에 해제가능하게 장착하도록 구성된 장착부를 포함하는, 필링 장치.
청구항 8에 있어서,
상기 지지 플랫폼의 움직임을 해제가능하게 락킹하도록 구성된 락킹 장치를 더 포함하는, 필링 장치.
청구항 8에 있어서,
상기 지지 플랫폼은 필링 부재가 지지 축에 대해 회전하는 동안 이동하도록 구성된, 필링 장치.
제1기판을 제2기판으로부터 필링하기 위한 방법으로서,
(I) 필링 부재의 아치형 표면에 대해 상기 제1기판을 해제가능하게 장착하는 단계;
(II) 지지 위치에 대해 상기 제2기판을 해제가능하게 장착하는 단계;
(III) 상기 필링 부재를 상기 제2기판으로부터 멀리 이동하도록 상기 제2기판에 대해 상기 필링 부재의 지지 축을 이동하는 단계를 포함하며,
상기 제1기판은 상기 필링 부재가 상기 지지 축에 대해 회전함에 따라 상기 제2기판으로부터 필링되는, 필링 방법.
청구항 12에 있어서,
단계 (III)은 상기 필링 부재를 상기 제2기판으로부터 멀리 이동하도록 상기 필링 부재의 중량을 리프팅하는 단계를 포함하는, 필링 방법.
청구항 12에 있어서,
단계 (I)는 단계 (III) 동안 상기 지지 축에 대한 모멘트를 생성하도록 상기 필링 부재를 포지셔닝하는 단계를 더 포함하는, 필링 방법.
청구항 14에 있어서,
단계 (III)의 모멘트는 단계 (III) 동안 지지 축에 대한 필링 부재의 회전을 드라이브하는, 필링 방법.
청구항 14에 있어서,
상기 모멘트는 상기 필링 부재의 중량에 의해 생성되는, 필링 방법.
청구항 12에 있어서,
단계 (II)는 지지 위치를 포함하는 지지 플랫폼에 대해 제2기판을 해제가능하게 장착하는 단계를 포함하며, 단계 (III)은 상기 필링 부재가 상기 지지 축에 대해 회전함에 따라 상기 지지 플랫폼을 이동시키는 단계를 더 포함하는, 필링 방법.
청구항 12에 있어서,
단계 (II)는 지지 위치를 포함하는 지지 플랫폼에 대해 제2기판을 해제가능하게 장착하는 단계를 포함하며, 단계 (III)은 상기 필링 부재가 지지 축에 대해 회전하는 동안 이동하도록 상기 지지 플랫폼을 락킹 해제하는 단계를 더 포함하는, 필링 방법.
청구항 12에 있어서,
단계 (I)는 진공을 인가하는 단계를 포함하는, 필링 방법.
청구항 12에 있어서,
단계 (I)는 상기 제1기판의 에지부가 상기 필링 부재의 아치형 표면에 대해 해제가능하게 진공 장착되도록 상기 제1기판의 에지와 진공 밀봉 부재의 에지를 정렬시키는 단계를 포함하는, 필링 방법.