KR102268164B1 - 유연 디바이스 제조 장치 및 이를 이용한 유연 디바이스의 제조 방법 - Google Patents

유연 디바이스 제조 장치 및 이를 이용한 유연 디바이스의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유연 기판과, 유연 기판의 일면 상에 위치하며 개구부를 가지는 마스크 기판과, 유연 기판을 마스크 기판에 고정시키기 위한 고정부를 포함하며, 마스크 기판은 소자층이 형성되는 유연 기판 일면 상의 소자층이 형성되지 않는 소정 영역에 위치하며, 유연 기판의 이동 시 상기 유연 기판을 지지하고 상기 소자층 형성 공정 시 적어도 하나의 마스크가 그 사이에 마련되는 유연 디바이스 제조 장치 및 이를 이용한 유연 디바이스의 제조 방법이 제시된다.

Description

유연 디바이스 제조 장치 및 이를 이용한 유연 디바이스의 제조 방법{Apparatus and method of manufacturing a flexible device}
본 발명은 유연 디바이스의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 캐리어 기판을 이용하지 않는 유연 디바이스 제조 장치 및 이를 이용한 유연 디바이스의 제조 방법에 관한 것이다.
최근 급속하게 발전하고 있는 반도체 기술에 힘입어, 디스플레이의 화면 크기는 증가하고 그 무게는 경량화되는 등 디스플레이의 성능이 개선되고, 그 수요가 폭발적으로 증가하고 있다. 이러한 디스플레이에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD), 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Display; OLED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel; PDP), 전기영동표시장치(Electrophoretic Display; EPD) 등이 있다.
최근에는 기존의 휘어지지 않는 단단한(rigid) 유리 기판을 대신하여 플라스틱 등과 같이 유연(flexible) 재료를 이용하여 종이처럼 휘어져도 표시 성능을 그대로 유지할 수 있는 유연 기판을 이용한 디스플레이가 급부상하고 있다.
그런데, 유연 기판은 휘어지는 특성 때문에 유리 기판을 대상으로 하는 종래의 디스플레이 제조 장비를 이용하여 제조하기 어려운 문제가 있다. 예를 들어, 로봇(Robot)에 의한 기판 반송 시 로봇 암에 유연 기판을 위치시키게 되면 심하게 휘어져 로봇 암 사이로 빠져나가게 되는 등의 어려움이 있다. 따라서, 유연 기판을 이용하는 디스플레이 제조공정은, 유연 기판 자체만으로 유연 기판 상에 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 등의 형성 공정을 진행하기에 한계가 있다.
이러한 문제를 해결하기 위해 유연 기판을 유리 기판과 같이 단단한 재질로 형성된 캐리어 기판(Carrier Substrate)에 부착한 상태로 제조 공정을 수행하는 방안이 제안되었다. 즉, 디스플레이의 제조 공정이 진행되지 않는 유연 기판의 후면에 캐리어 기판을 부착한 후 공정 챔버로 이동시키고, 소정 패턴의 박막, 예를 들어 박막 트랜지스터의 복수의 층을 형성하기 위한 복수의 마스크를 각각 유연 기판의 상면에 밀착시킨 후 공정을 진행한다. 그리고, 소정의 공정이 완료된 후 유연 기판으로부터 캐리어 기판을 분리한다. 이러한 캐리어 기판을 이용한 유연 디스플레이 장치의 제조 방법이 한국공개특허 제2014-0029085호에 제시되어 있다.
이렇게 캐리어 기판을 이용함으로써 캐리어 기판의 합착 및 분리에 따른 공정 속도가 저하되고, 캐리어 기판에 따른 비용이 증가하게 된다.
본 발명은 마스크의 일부를 이용함으로써 캐리어 기판을 이용하지 않는 마스크 기판 및 이를 이용한 유연 디바이스 제조 장치 및 이를 이용한 유연 디바이스의 제조 방법을 제공한다.
본 발명은 마스크 기판을 유연 기판의 상측에 부착하고 마스크 기판 내측에 복수의 공정 마스크를 밀착시켜 해당 공정을 수행하는 유연 디바이스 제조 장치 및 이를 이용한 유연 디바이스의 제조 방법을 제공한다.
본 발명의 일 양태에 따른 유연 디바이스 제조 장치는 유연 기판; 상기 유연 기판의 일면 상에 위치하며 개구부를 가지는 마스크 기판; 및 상기 유연 기판을 상기 마스크 기판에 고정시키기 위한 고정부를 포함하며, 상기 마스크 기판은 소자층이 형성되는 상기 유연 기판 일면 상의 상기 소자층이 형성되지 않는 소정 영역에 위치하며, 상기 유연 기판의 이동 시 상기 유연 기판을 지지하고 상기 소자층 형성 공정 시 적어도 하나의 마스크가 그 사이에 마련된다.
상기 마스크 기판은 상기 유연 기판 가장자리의 적어도 일 영역에 마련된 제 1 지지부를 포함한다.
상기 마스크 기판은 상기 제 1 지지부 내측의 상기 유연 기판 상의 적어도 일 영역에 마련된 제 2 지지부를 더 포함한다.
상기 마스크 기판은 상기 유연 기판의 타면 상에 마련되며, 상기 제 1 지지부와 대향되는 영역에 마련된 제 3 지지부를 더 포함한다.
상기 고정부는 상기 마스크 기판과 상기 유연 기판 사이에 마련된 점착부를 포함한다.
상기 고정부는 상기 마스크 기판과 상기 유연 기판의 외측에서 상기 마스크 기판과 유연 기판을 고정시키는 클램프를 포함한다.
본 발명의 다른 양태에 따른 유연 디바이스 제조 방법은 유연 기판의 일면 상에 마스크 기판을 부착하는 단계; 상기 마스크 기판이 상기 유연 기판을 지지하여 이동시키는 단계; 및 상기 마스크 기판 내측에 적어도 하나의 마스크를 위치시킨 후 소자층 형성 공정을 실시하는 단계를 포함한다.
상기 마스크 기판은 상기 유연 기판의 상기 소자층이 형성되는 일면 상의 상기 소자층이 형성되지 않는 영역에 마련된다.
상기 마스크 기판은 상기 유연 기판의 가장자리에 소정의 폭으로 마련된다.
상기 마스크 기판은 상기 유연 기판의 가장자리와, 상기 가장자리 내측에 마련된다.
상기 마스크는 상기 마스크 기판의 내측에 마련된다.
본 발명의 실시 예들은 유연 기판의 소자층이 형성되는 일면의 가장자리에 사각의 틀 형상의 마스크 기판을 부착한 후 기판을 이동시키고, 마스크 기판 내측에 적어도 하나의 마스크를 위치시킨 후 박막 증착 공정 등을 실시한다. 즉, 본 발명은 마스크의 일부를 이용하여 기판을 지지함으로써 별도의 캐리어 기판을 이용하지 않고도 기판의 이송이 가능하다. 따라서, 캐리어 기판이 필요 없으므로 캐리어 기판에 따른 비용을 줄일 수 있고, 캐리어 기판의 부착 및 분리 등에 필요한 공정 및 비용을 절약할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 유연 디바이스 제조 장치의 사시도.
도 2 내지 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 유연 디바이스의 제조 방법을 설명하기 위해 순서적으로 도시한 단면도.
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 유연 디바이스 제조 장치의 사시도.
도 7 내지 도 10은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 유연 디바이스의 제조 방법을 설명하기 위해 순서적으로 도시한 단면도.
도 11 및 도 12는 본 발명의 또다른 실시 예에 따른 유연 디바이스 제조 장치를 설명하기 위한 단면도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 유연 디바이스 제조 장치의 사시도이고, 도 2 내지 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 유연 디바이스의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 유연 디바이스 제조 장치는 기판(100)과, 기판(100)의 일면 상에 마련된 마스크 기판(200)을 포함한다. 기판(100)은 휘거나 접을 수 있는 유연(flexible) 기판을 포함할 수 있고 사각형의 형상으로 마련될 수 있다. 이러한 유연 기판(100)은 폴리이미드(Polyimide)를 이용하여 제작할 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 다양한 고분자 필름 재료가 이용될 수 있다. 예를 들어, PET(polyethylene terephthalate), TAC(tri-acetyl cellulose), COP(cyclo-olefin polymer), PEN(polyethylene 2,6-naphthalate), PES(polyether sulfone), PEI(polyether imide), PMMA(polymethylmethacrylate), PC(polycarbonate) 등의 고분자를 단일층으로 이용하거나 또는 이들 중 둘 이상을 적층하여 기판(100)으로 이용할 수 있다. 또한, 마스크 기판(200)은 기판(100)의 소자 제조 공정이 진행되는 일면 상에 마련될 수 있다. 예를 들어, 마스크 기판(200)은 박막 트랜지스터 등의 소자층이 형성되는 기판(100)의 상면에 마련될 수 있다. 이러한 마스크 기판(200)은 기판(100)의 가장자리에 소정의 폭으로 마련될 수 있다. 즉, 기판(100) 상면 중에서 소자층이 형성되지 않는 영역, 즉 기판(100)의 가장자리에 소정 폭의 마스크 기판(200)이 마련되고, 소정의 공정이 진행되어 소자층이 형성되는 기판(100)의 중앙 영역에는 개구가 형성된다. 따라서, 마스크 기판(200)은 예컨데 사각의 틀 형상으로 마련될 수 있다. 이러한 마스크 기판(200)은 유연 기판(100)을 지지하는 지지 부재로 이용되는 동시에 소정의 박막 증착 공정 시 마스크로 이용된다. 즉, 종래에는 소자층이 형성되지 않는 기판(100)의 후면 전체에 캐리어 기판이 부착되어 기판(100)을 지지하였지만, 본 발명은 소자층이 형성되는 기판(100)의 상면중에서 소자층이 형성되지 않는 가장자리 영역에 마스크 기판(200)이 부착되어 기판(100)을 지지하고 박막 증착 공정 시 마스크로서 기능한다. 한편, 마스크 기판(200)은 실리콘, 유리 등의 단단한 물질로 제작될 수 있다. 또한, 마스크 기판(200)은 고정부(미도시)에 의해 기판(100) 상에 밀착되어 마련될 수 있다. 예를 들어, 마스크 기판(200)의 일면에 고정부로서 점착제를 도포한 후 마스크 기판(200)과 기판(100)을 점착시킬 수 있다. 또한, 마스크 기판(200)과 기판(100)의 측면에 마련되어 마스크 기판(200)의 상면과 기판(100)의 하면을 고정하는 클램프를 고정부로서 이용할 수도 있다. 한편, 점착제를 이용하여 마스크 기판(200)과 기판(100)을 점착시킬 때 상온과 디스플레이의 제조 공정 온도의 평균 온도에서 점착시킬 수 있다. 예를 들어, 디스플레이의 제조 공정 중 최대 온도가 300℃의 경우 상온과 300℃ 사이의 온도, 예를 들어 150℃의 온도에서 기판(100)과 마스크 기판(200)을 점착시킨다. 이렇게 상온과 공정 온도 사이의 평균 온도에서 기판(100)과 마스크 기판(200)을 점착시킬 경우 기판(100)과 마스크 기판(200)의 열팽창 계수의 불일치로 인한 기판(100)의 휨 방지 및 스트레스 발생을 최소화시킬 수 있다. 또한, 마스크 기판(200)은 단단한 재료 이외에 유연 재료를 이용할 수도 있다. 즉, 마스크 기판(200)은 기판(100)과 열팽창 계수가 유사하거나 동일한 재료를 이용하여 제작할 수도 있다. 예를 들어, 마스크 기판(200)은 기판(100)의 재료와 동일 재료를 이용하여 마련할 수도 있다. 따라서, 유연 디스플레이의 제조 과정에서 마스크 기판(200)과 기판(100)간에 열팽창 계수의 차이로 발생되는 기판(100)의 휨 현상을 미연에 차단할 수 있다. 여기서, 기판(100)과 동일한 열팽창 계수를 갖는 물질은 폴리이미드를 포함한 기판(100) 재료를 포함할 수 있고, 기판(100)과 유사한 열팽창 계수를 갖는 물질은 나노 화합물이 도포된 폴리머 또는 강화 섬유 플라스틱을 포함할 수 있다. 또한, 기판(100)과 열팽창 계수가 유사하거나 동일한 재질의 마스크 기판(200)을 적용하는 경우 마스크 기판(200)은 기판(100)보다 두껍게 마련될 수 있다. 한편, 마스크 기판(200)과 기판(100)을 점착하기 이전에 기판(100)에 텐션(tension)을 줌으로써 기판(100)의 가장자리에 마스크 기판(200)이 점착되더라도 기판(100)의 중앙부가 처지는 현상을 방지할 수 있다.
도 3을 참조하면, 마스크 기판(200)이 점착된 기판(100)을 이동시켜 소정의 제 1 공정 장비 내로 로딩한다. 그리고, 제 1 공정 장비 내에서 소정 패턴의 제 1 마스크(310)와 기판(100)을 정렬시키고 제 1 마스크(310)와 기판(100)을 밀착시킨다. 이때, 제 1 마스크(310)는 마스크 기판(200) 사이의 영역에 밀착시킨다. 즉, 마스크 기판(200)이 소자층이 형성되지 않는 기판(100)의 가장자리 영역에 사각의 틀 형상으로 마련되므로 소자층이 형성되는 영역, 즉 마스크 기판(200) 사이의 기판(100) 상에 제 1 마스크(310)를 밀착시킨다. 제 1 마스크(310)가 밀착된 후 소정의 공정, 예를 들어 박막 증착 공정을 진행하여 기판(100) 상에 소정의 패턴의 제 1 박막을 형성한다.
도 4를 참조하면, 제 1 박막의 증착 공정이 완료된 후 제 1 마스크(310)를 기판(100)과 이격시키고, 마스크 기판(200)이 부착된 기판(100)을 제 1 공정 챔버로부터 언로딩한다. 그리고, 마스크 기판(200)이 부착된 기판(100)을 제 2 공정 챔버로 이동시킨 후 제 2 공정 챔버 내로 로딩한다. 그리고, 제 2 공정 챔버 내에서 제 2 마스크(320)와 기판(100)을 정렬하고 제 2 마스크(320)와 기판(100)을 밀착시킨다. 이때, 제 2 마스크(320)는 제 1 마스크(310)와 다른 형상의 마스크일 수 있다. 또한, 제 2 마스크(320)는 마스크 기판(100) 사이의 영역에 밀착시킨다. 즉, 소자층이 형성되지 않는 기판(100)의 가장자리 영역에 부착된 마스크 기판(200) 사이의 기판(100) 상에 제 2 마스크(320)를 밀착시킨다. 제 2 마스크(320)가 밀착된 후 소정의 공정, 예를 들어 박막 증착 공정을 진행하여 기판(100) 상에 소정 패턴의 제 2 박막을 형성한다.
도 5를 참조하면, 마스크 기판(200)이 부착된 기판(100)을 복수의 공정 챔버로 이동시키고 복수의 공정 챔버 내에서 복수의 마스크를 기판(100)과 밀착한 후 복수의 공정, 예를 들어 박막 증착 공정을 실시한다. 복수의 공정이 완료되면 기판(100)으로부터 마스크 기판(200)을 분리한다. 마스크 기판(200)은 기판(100)으로부터 떼어내어 분리할 수 있고, 기판(100)의 소정 영역을 절단하여 분리할 수도 있다.
상기한 바와 같이 본 발명의 일 실시 예는 예를 들어 사각의 틀 형상의 마스크 기판(200)을 소자층이 형성되는 연성 기판(100) 일면의 가장자리에 마련하고, 마스크 기판(200)에 의해 노출된 기판(100) 상에 복수의 마스크(300)를 마련하여 복수의 박막 증착 공정을 실시한다. 본 발명의 일 실시 예는 마스크의 일부를 이용하여 기판(100)을 지지함으로써 별도의 캐리어 기판을 이용하지 않고도 기판(100)의 이송이 가능하다. 따라서, 캐리어 기판이 필요 없으므로 캐리어 기판에 따른 비용을 줄일 수 있고, 캐리어 기판의 부착 및 분리 등에 필요한 공정 및 비용을 절약할 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 유연 디바이스 제조 장치의 사시도이고, 도 7 내지 도 10은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 유연 디바이스의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마스크 기판(210)은 기판(100)의 가장자리 뿐만 아니라 기판(100) 중앙의 소정 영역에도 마련된다. 즉, 마스크 기판(210)은 기판(100) 상면의 가장자리 영역과 기판(100)의 중앙 영역의 적어도 일부에 마련될 수 있다. 예를 들어, 마스크 기판(210)은 기판(100) 상면의 가장자리 영역을 지지하는 외측 지지부(211)와, 기판(100) 상면의 중앙 영역에 일 방향 및 타 방향으로 예컨데 십자 형상으로 마련된 내측 지지부(212)를 포함할 수 있다. 이렇게 외측 지지부(211)과 내측 지지부(212)를 포함하는 마스크 기판(210)은 하나의 기판(100) 상에 복수의 소자가 소정 간격 이격되어 형성되는 경우에 적용될 수 있다. 즉, 하나의 기판(100) 상에 복수의 소자가 이격되어 형성되는 경우 소자 사이의 이격 영역에는 소자층이 형성되지 않을 수 있는데, 이렇게 소자층이 형성되지 않는 소자 사이의 영역에 마스크 기판(210)이 더 마련될 수 있다. 따라서, 마스크 기판(210)이 기판(100)의 가장자리 영역을 포함하여 복수의 영역을 지지함으로써 보다 안정적으로 기판(100)을 지지할 수 있다. 또한, 기판(100)의 면적이 증가하는 경우 마스크 기판(210)이 기판(100)의 가장자리 영역만을 지지하게 되면 기판(100)의 중앙 영역이 처질 수 있지만, 내측 지지부(212)에 의해 기판(100)의 중앙 영역을 지지함으로써 기판(100)의 면적이 증가하여도 기판(100)의 처짐이 방지될 수 있다. 한편, 마스크 기판(210)의 외측 지지부(211)와 내측 지지부(212)는 그 폭이 서로 다를 수 있는데, 예를 들어 외측 지지부(211)가 내측 지지부(212)보다 넓은 폭으로 마련될 수 있다. 또한, 마스크 기판(210)의 외측 지지부(211)와 내측 지지부(212)는 두께가 서로 다를 수 있는데, 예를 들어 외측 지지부(211)가 내측 지지부(212)보다 두껍게 마련될 수 있다.
도 8을 참조하면, 마스크 기판(210)이 점착된 기판(100)을 이동시켜 소정의 제 1 공정 장비 내로 로딩한다. 그리고, 제 1 공정 장비 내에서 소정 패턴의 제 1 마스크(310)와 기판(100)을 정렬시키고 제 1 마스크(310)와 기판(100)을 밀착시킨다. 이때, 제 1 마스크(210)는 마스크 기판(210)의 외측 지지부(211) 사이에 마련되고, 소정 영역이 내측 지지부(212)를 덮도록 마련될 수 있다. 즉, 제 1 마스크(210)는 내측 지지부(212)와 대응되는 영역과 내측 지지부(212) 사이의 기판(100) 상에 대응되는 영역을 포함할 수 있고, 기판(100)에 대응되는 영역이 내측 지지부(212)에 대응되는 영역보다 두꺼울 수 있다. 따라서, 제 1 마스크(310)는 일 영역이 마스크 기판(210)의 내측 지지부(212) 상에 접촉되고, 타 영역이 기판(100) 상에 접촉될 수 있다. 물론, 제 1 마스크(310)는 복수로 분리되어 마스크 기판(210)의 내측 지지부(212) 사이에 위치할 수도 있다. 제 1 마스크(310)가 기판(100) 상에 밀착된 후 소정의 공정, 예를 들어 박막 증착 공정을 진행하여 기판(100) 상에 소정의 패턴의 제 1 박막을 형성한다.
도 9를 참조하면, 제 1 박막의 증착 공정이 완료된 후 제 1 마스크(310)를 기판(100)으로부터 분리하고, 마스크 기판(210)이 부착된 기판(100)을 제 1 공정 챔버로부터 언로딩한다. 그리고, 마스크 기판(210)이 부착된 기판(100)을 제 2 공정 챔버로 이동시킨 후 제 2 공정 챔버 내로 로딩한다. 그리고, 제 2 공정 챔버 내에서 제 2 마스크(320)와 기판(100)을 정렬하고 제 2 마스크(320)와 기판(100)을 밀착시킨다. 이때, 제 2 마스크(320)는 제 1 마스크(310)와 다른 형상의 마스크일 수 있다. 제 2 마스크(320)가 밀착된 후 소정의 공정, 예를 들어 박막 증착 공정을 진행하여 기판(100) 상에 소정 패턴의 제 2 박막을 형성한다.
도 10을 참조하면, 이렇게 마스크 기판(210)이 부착된 기판(100)을 복수의 공정 챔버로 이동시키고 복수의 공정 챔버 내에서 복수의 마스크를 기판(100)과 밀착한 후 복수의 공정, 예를 들어 박막 증착 공정을 실시한다. 복수의 공정이 완료되면 기판(100)으로부터 마스크 기판(210)을 분리한다. 마스크 기판(210)은 기판(100)으로부터 떼어내어 분리할 수 있고, 기판(100)의 소정 영역을 절단하여 분리할 수도 있다.
도 11 및 도 12는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 유연 디바이스 제조 장치의 단면도이다.
도 11을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 마스크 기판(220)은 기판(100)의 상측 및 하측 가장자리에 마련된다. 즉, 마스크 기판(220)은 기판(100)의 상측 가장자리에 마련된 상측 지지부(221)와 기판(100)의 하측 가장자리에 마련된 하측 지지부(222)를 포함한다. 이때, 마스크 기판(220)은 상측 지지부(221)와 하측 지지부(222)가 동일한 폭으로 마련될 수 있다. 그러나, 상측 지지부(221)와 하측 지지부(222)가 다른 폭으로 마련될 수도 있는데, 소자가 형성되지 않는 면에 마련된 하측 지지부(222)가 상측 지지부(221)보다 넓은 폭으로 마련될 수 있다. 또한, 도시되지 않았지만 상측 지지부(221)와 하측 지지부(222)의 측면에 측벽부가 마련될 수도 있다.
또한, 도 12에 도시된 바와 같이 상측 지지부(221) 및 하측 지지부(222)의 적어도 어느 하나의 내측에는 기판(100) 상에 소자층이 형성되지 않는 영역에 대응되는 내측 지지부(223)가 마련될 수 있다. 예를 들어, 상측 지지부(221) 사이에 내측 지지부(223)가 마련될 수 있다. 내측 지지부(223)가 마련됨으로써 마스크 기판(220)이 기판(100)의 가장자리 영역을 포함하여 복수의 영역을 지지함으로써 보다 안정적으로 기판(100)을 지지할 수 있다.
본 발명의 기술적 사상은 상기 실시 예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기 실시 예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주지해야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야에서 당업자는 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 기판 200, 210, 220 : 마스크 기판
310, 320 : 마스크

Claims (11)

  1. 유연 기판;
    상기 유연 기판의 일면 상에 위치하며 개구부를 가지는 마스크 기판; 및
    상기 유연 기판을 상기 마스크 기판에 고정시키기 위한 고정부를 포함하며,
    상기 마스크 기판은 소자층이 형성되는 상기 유연 기판 일면 상의 상기 소자층이 형성되지 않는 소정 영역에 위치하며, 상기 유연 기판의 이동 시 상기 유연 기판을 지지하고 상기 소자층 형성 공정 시 적어도 하나의 마스크가 그 사이에 마련되며,
    상기 마스크 기판은,
    상기 유연 기판 일면 상의 가장자리 영역에 마련된 제 1 지지부; 및
    상기 제 1 지지부 내측의 상기 유연 기판 일면 상에 마련된 제 2 지지부;를 포함하며,
    상기 제 1 지지부의 폭이 상기 제 2 지지부 보다 넓은 유연 디바이스 제조 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서, 상기 마스크 기판은 상기 유연 기판의 타면 상에 마련되며, 상기 제 1 지지부와 대향되는 영역에 마련된 제 3 지지부를 더 포함하는 유연 디바이스 제조 장치.
  5. 청구항 1에 있어서, 상기 고정부는 상기 마스크 기판과 상기 유연 기판 사이에 마련된 점착부를 포함하는 유연 디바이스 제조 장치.
  6. 청구항 1에 있어서, 상기 고정부는 상기 마스크 기판과 상기 유연 기판의 외측에서 상기 마스크 기판과 유연 기판을 고정시키는 클램프를 포함하는 유연 디바이스 제조 장치.
  7. 유연 기판의 일면 상에 마스크 기판을 부착하는 단계;
    상기 마스크 기판이 상기 유연 기판을 지지하여 이동시키는 단계; 및
    상기 마스크 기판 내측에 적어도 하나의 마스크를 위치시킨 후 소자층 형성 공정을 실시하는 단계를 포함하고,
    상기 유연 기판의 일면 상에 마스크 기판을 부착하는 단계에 있어서, 상기 마스크 기판은 상기 유연 기판의 상기 소자층이 형성되는 일면 상의 상기 소자층이 형성되지 않는 영역에 마련되며,
    상기 마스크 기판은 상기 유연 기판의 가장자리와, 상기 가장자리 내측에 마련되고,
    상기 유연 기판의 가장자리에 마련된 마스크 기판이 상기 가장자리 내측에 마련된 마스크 기판에 비해 폭이 넓게 마련된 유연 디바이스의 제조 방법.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 청구항 7에 있어서, 상기 마스크는 상기 마스크 기판의 내측에 마련되는 유연 디바이스의 제조 방법.
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