JP4422003B2 - フィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法 - Google Patents

Description

本発明は、例えば、半導体チップを回路基板上にフィルム状封止接着材を介して接着させる実装工法を実施する際に、接着剤層と剥離フィルムとが貼着されてなるフィルム状封止接着材を、所要の形状に切断して、接着剤層を回路基板に接着したのちに、接着剤層から剥離フィルムを剥離する方法に関するものである。

今日、電子回路基板は、あらゆる電気機器に使用されるようになり、その性能も日増しに向上し、回路基板上に用いられる周波数も高くなっており、インピーダンスが低くなるフリップチップ実装は高周波を使用する電子機器に適した実装方法になっている。また、携帯機器の増加から、回路基板にＩＣチップをパッケージ化することなくチップのまま搭載するフリップチップ実装が求められている。

近年、種々の被着体を相互に接着するに際しては、接着剤層と剥離フィルムを剥離可能に仮貼付けしてなるフィルム状封止接着材が使用されている。このフィルム状封止接着材は、実装工程の生産性の向上を目的として、所定の幅を有する長尺状の形態として扱われることが多い。したがって、長尺状のフィルム状封止接着材は、接着すべき被着体の形状に対応した長さに切断加工する必要があり、この切断加工に際しては、図１２（ａ）または（ｂ）に示すような手段が採用されている。

すなわち、図１２（ａ）の切断加工方法は、接着剤層２と剥離フィルム３とが剥離可能に仮貼着されてなる長尺状のフィルム状封止接着材１が、接着剤層２が下側に位置する配置とした状態で、矢印で示す図の右方へ向け移送されながら、所定位置で移送を停止されて、転写ヘッド４４が下降してその下方に突設されたチップ４７により剥離フィルム３を介して接着剤層２が受台４８上の転写紙部材４９に押し付けられることにより、接着剤層２におけるチップ４７で押圧された一部分が熱圧着により転写紙部材４９上に転写される。これにより、剥離フィルム３は切断されることなく、接着剤層２のみは、所定の間隔で一部分が除去された切断部２ａが形成されることにより、所定の長さに切断される。

図１２（ｂ）の切断加工方法は、接着剤層２と剥離フィルム３とが剥離可能に仮貼着されてなる長尺状のフィルム状封止接着材１が、接着剤層２が下側に位置する配置とした状態で、図の右方へ向け移送されながら、所定位置で移送を停止されて、高温に加熱された切断用ツール５０が接着剤層２に押し付けられることにより、接着剤層２の切断用ツール５０が押し付けられた一部分が溶断されて、接着剤層２が所定の寸法に切断される。

上述のように接着剤層２が所定長さに切断されたフィルム状封止接着材１は、図１３（ａ）に示すように、図の右方に移送されて、接着剤層２における所要の長さに切断された部分が回路基板１０の所定位置に達した時点で移送が停止される。上記所定長さの接着剤層２は、これに位置決め状態で対向された貼り付けツール５１により回路基板１０上に加熱しながら加圧されることにより、仮貼り付けされる。この仮貼り付けは、接着剤層２が硬化反応を起こさず、且つ軟化を起こさせる温度、例えば４０〜１００℃に設定して加熱することにより行なわれる。つぎに、切断されることなく長尺形状を維持している剥離フィルム３は、図１３（ｂ）に示すように、所定間隔に配設された二つのローラ５３，５４により剥離フィルム３を両側から挟んだ剥離用機構５２が接着剤層２に沿って矢印で示すように図の左方に向け移動することにより、接着剤層２から剥離され、そののち、巻き取りリール（図示せず）に巻き取られる。このようなフィルム状封止接着材１を用いた実装工法としては、接着剤層２に導電粒子を混入させた異方性導電フィルムを用いたＡＣＦ工法が広く実用されるようになってきた（例えば、特許文献１参照）。

ところで、上述の従来のフィルム状封止接着材１の切断加工方法では、生産性の向上を目的として、長尺形状としたフィルム状封止接着材１を、これの長手方向に沿った一方向に向け移送しながら、接着剤層２の一部分を溶断または転写により除去する工程を経て切断するようにしているので、長尺形状の接着剤層２における長手方向に対し直交する幅寸法の大小により適応できる被着体が限定されてしまう。そのため、形状の異なる多品種の被着体に対しタイムリーに対応するためには、長尺形状のフィルム状封止接着材１として、接着すべき被着体の形状に対応した幅寸法を有する多くの種類のものを用意する必要があるため、これら多種類のフィルム状封止接着材１の保管や管理が煩雑となるだけでなく、接着すべき被着体の種類が変わる毎に行うフィルム状封止接着材１の交換作業の頻度が高くなって生産性が低下してしまう。

そこで、従来では、比較的大きな形状のフィルム状封止接着材を、被着体に対応した所要形状に剥離フィルムごと切り出して、回路基板などの被着体に仮貼り付けする工法も採用されている。この工法では、被着体に仮貼り付けされた所定形状のフィルム状封止接着材に残存している剥離フィルムを如何に剥離するかが課題となる。従来では、被着体に接着しているフィルム状封止接着材に押え板を当接させた状態で、フィルム状封止接着材の端部に爪を差し込み、その押え板と爪とを用いて剥離フィルムを挟み、挟み込んだ部分を引っ張ることにより、剥離フィルムを剥離する剥離装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
特許第３１５０３４７号号公報 特開平７−３１５６８２号公報

しかしながら、上記剥離装置では、被着体に接着しているフィルム状封止接着材の外表面、すなわち押え板の当接面を基準とし、その基準面から剥離フィルムの厚さ以下の距離だけ下方位置の被着体側に爪を差し込むことによって押え板と爪とで剥離フィルムを挟むようになっているので、剥離フィルムを剥がし終えるまでに比較的時間がかかるだけでなく、剥離フィルムを挟むのに失敗する不具合が発生するおそれがある。また、上記剥離装置は、構成の複雑化に伴って高価なものとなる。

本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、所定形状に切り出して被着体に仮貼り付けされたフィルム状封止接着材の剥離フィルムを、簡単で安価な手段により、確実、且つ迅速に剥離することができるフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために、請求項１のフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法は、接着剤層の少なくとも一面に剥離フィルムが剥離可能に貼り付けられてなるフィルム状封止接着材が、任意の形状に切り出して被着体に前記接着剤層により仮貼り付けされ、
剥離用接着フィルムの粘着面を、弾性変形可能な筒状であって、中空部に冷却用気体を送給した加圧ローラにより前記剥離フィルムに押し付けて接着させたのち、前記加圧ローラを、弾性変形した状態を保持しながら、前記冷却用気体により前記フィルム状封止接着材を冷却するようにして前記剥離用接着フィルムが前記剥離フィルムの全面に接するように転動させて、前記剥離フィルムを前記剥離用接着フィルムに接着して前記接着剤層から剥離することを特徴としている。

また、請求項２のフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法は、請求項１の発明において、前記加圧ローラを、加圧ヘッドにより剥離用接着フィルムを介し剥離フィルムに押し付けて弾性変形させたのち、前記加圧ヘッドをフィルム状封止接着材の表面に沿った方向に移動させて前記加圧ローラを強制的に転動させることを特徴とする。

また、請求項３のフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法は、請求項１または
２ の発明において、前記加圧ローラを、加圧ヘッドにより剥離用接着フィルムを介し剥離フィルムに押し付けて弾性変形させたのち、前記加圧ヘッドと被着体との少なくとも一方を、前記加圧ローラを転動または回転させながら相対移動させることを特徴とする。

請求項４に係る発明のフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法は、接着剤層の少なくとも一面に剥離フィルムが剥離可能に貼り付けられてなるフィルム状封止接着材が、任意の形状に切り出して被着体に前記接着剤層により仮貼り付けされ、
剥離用接着フィルムの粘着面を、弾性変形可能な円筒状の弾性押圧部が外周面に嵌着されてなる中空部に冷却用気体を送給した加圧ローラにより前記剥離フィルムに押し付けて接着させたのち、前記加圧ローラを、前記弾性押圧部が弾性変形した状態を保持しながら、前記冷却用気体により前記フィルム状封止接着材を冷却するようにして前記剥離用接着フィルムが前記剥離フィルムの全面に接するように転動させて、前記剥離フィルムを前記剥離用接着フィルムに接着して前記接着剤層から剥離することを特徴としている。

請求項５に係る発明は、請求項４の発明のフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法において、前記加圧ローラを、加圧ヘッドにより剥離用接着フィルムを介し剥離フィルムに押し付けて弾性押圧部を弾性変形させたのち、前記加圧ヘッドをフィルム状封止接着材の表面に沿った方向に移動させて前記加圧ローラを強制的に転動させることを特徴とした。

請求項６の発明は、請求項４または５の発明のフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法において、前記加圧ローラを、加圧ヘッドにより剥離用接着フィルムを介し剥離フィルムに押し付けて弾性押圧部を弾性変形させたのち、前記加圧ヘッドと被着体との少なくとも一方を、前記加圧ローラを転動または回転させながら相対移動させることを特徴とした。

請求項７に係る発明は、請求項１ないし６の何れか一項の発明のフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法において、剥離用接着フィルムを、剥離フィルムを接着させて剥離したのちに、一方向に移送して巻き取ることにより回収するようにした。

請求項１に係る発明によれば、剥離用接着フィルムを弾性変形が可能な加圧ローラで剥離フィルム上に押し付けたのち、加圧ローラを剥離フィルムの全面に転動させるだけの極めて簡単で安価な手段を用いるにも拘わらず、剥離フィルムを接着剤層から確実、且つ迅速に剥離することができる。また、弾性変形した加圧ローラにより、剥離用接着フィルムと剥離フィルムとの接触面積が拡がるので、剥離用接着フィルムを剥離フィルムに効果的に接着できる。

請求項２に係る発明によれば、加圧ローラを、弾性変形させることができる押圧力で剥離用接着フィルムを介しフィルム状封止接着材に押し付けた状態を保持しながら、フィルム状封止接着材の一端から他端まで転動させる手段を、容易、且つ確実に具現化することかできる。

請求項３に係る発明によれば、被着体を移動させるようにすれば、加圧ローラを静止状態で強制的に回転されることができるので、加圧ローラおよび加圧ヘッドは単に上下動するだけでよい。さらに、加圧ヘッドおよび被着体を互いに逆方向に移動させるようにすれば、剥離フィルムの剥離に要する時間を短縮することができ、生産性の向上を図ることができる。

請求項４に係る発明によれば、被着体に仮貼り付けされた直後であって軟化状態のフィルム状封止接着材が、加圧ローラの中空部を流動する冷却用気体により冷却されて収縮することから、剥離フィルムが剥離され易い状態となり、剥離フィルムを接着剤層から一層確実、且つさらに迅速に剥離することができる。

請求項５に係る発明によれば、剥離用接着フィルムを剥離フィルムに接着させるのに先立って、フィルム状封止接着材が、冷却用気体で冷却されることにより、被着体に接着するための軟化状態から収縮して、剥離フィルムは接着剤層から剥離し易い状態となるから、軟化状態のフィルム状封止接着材を効率的に冷却して剥離フィルムを接着剤層から一層容易に剥離可能な状態とすることができる。

請求項６に係る発明によれば、硬質材料により形成した加圧ローラを用いることが可能であり、この加圧ローラにより剥離用接着フィルムをフイルム状封止接着材に押し付けたときに、硬質材料からなる加圧ローラにより弾性押圧部に対し確実に弾性変形させる力を付与することができるとともに、一体物の弾性変形可能な加圧ローラを用いる場合に比較して、剥離用接着フィルムに対し所要の押圧力を付与した状態を保持しながら転動する動作をスムーズに行うことができる利点がある。

請求項７に係る発明によれば、加圧ローラを、これの弾性押圧部を弾性変形させることができる押圧力で剥離用接着フィルムを介しフィルム状封止接着材に押し付けた状態を保持しながら、フィルム状封止接着材の一端から他端まで転動させる手段を、容易、且つ確実に具現化することができる。

請求項８に係る発明によれば、弾性押圧部で外周面が被覆された加圧ローラを用いる場合においても、被着体を移動させるようにすれば、加圧ローラを静止状態で強制的に回転されることができるので、加圧ローラおよび加圧ヘッドは単に上下動するだけでよい。さらに、加圧ヘッドをおよび被着体を互いに逆方向に移動させるようにすれば、剥離フィルムの剥離に要する時間を短縮することができ、生産性の向上を図ることができる。

請求項９に係る発明によれば、弾性押圧部で外周面が被覆された加圧ローラを用いる場合においても、被着体に仮貼り付けされた直後であって軟化状態のフィルム状封止接着材が、加圧ローラの中空部を流動する冷却用気体により冷却されて収縮することから、剥離フィルムが剥離され易い状態となり、剥離フィルムを接着剤層から一層確実、且つさらに迅速に剥離することができる。

請求項１０に係る発明によれば、弾性押圧部で外周面が被覆された加圧ローラを用いる場合においても、剥離用接着フィルムを剥離フィルムに接着させるのに先立って、フィルム状封止接着材が、冷却用気体で冷却されることにより、被着体に接着するための軟化状態から収縮して、剥離フィルムは接着剤層から剥離し易い状態となるから、軟化状態のフィルム状封止接着材を効率的に冷却して剥離フィルムを接着剤層から一層容易に剥離可能な状態とすることができる。

請求項１１に係る発明によれば、剥離用接着フィルムは、剥離フィルムを接着して除外したのちに、巻き取りリールなどに巻き取られて回収されるので、剥離フィルムの剥離工程を簡素化しながらも能率的に行える。

以下、本発明の最良の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。図１（ａ）〜（ｄ）は、本発明の第１の実施の形態に係るフィルム状封止接着材１の剥離フィルム３の剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図である。図１（ａ）に示すように、回路基板１０におけるＩＣチップなどの電子部品の実装位置には、当該電子部品に対応した形状に切り出されたフィルム状封止接着材１が、保護フィルムを剥がして、それにより露出した接着剤層２を介して接着されている。フィルム状封止接着材１の上方位置には、図の下面側にのみ粘着層が設けられた長尺状の剥離用接着フィルム４が、二つのガイドローラ８，９間に架け渡されて、回路基板１０に平行に保持されている。上記剥離用接着フィルム４は、供給リール（図示せず）から繰り出されて、巻き取りリール（図示せず）に巻き取られるようになっているが、両ガイドローラ８，９間の部分は、上方からの押圧力を受けたときに下方に繰り出される程度の軽いテンションを付与した状態で弾性的に保持されている。

剥離用接着フィルム４の上方には、弾性変形可能な円筒状の加圧ローラ７が上下動自在、且つ水平移動可能に保持されている。加圧ローラ７または回路基板１０は、図１（ａ）に明示するように、フィルム状封止接着材１の端部の上方に加圧ローラ７が対向する相対位置に位置決めされる。その状態で、図１（ｂ）に示すように、加圧ローラ７が下降して剥離用接着フィルム４の下面の粘着層をフィルム状封止接着材１の剥離フィルム３上に押し付けて、両者を接着させる。このとき、加圧ローラ７は、比較的大きな押圧力を受けて弾性変形するので、この弾性変形した加圧ローラ７により、剥離用接着フィルム４と剥離フィルム３との接触面積が拡がり、剥離用接着フィルム４が剥離フィルム３に効率的に接着される。

つぎに、図１（ｃ）に示すように、加圧ローラ７は、剥離用接着フィルム４を剥離フィルム３に押し付けた状態で回転されながら、回路基板１０に沿って水平方向に転動されていく。これにより、剥離フィルム３は、一端側から他端側に向けて剥離用接着フィルム４に接着されていくとともに、加圧ローラ７の移動に伴い一端側から接着剤層２より剥離されていく。

図１（ｄ）に示すように、剥離フィルム３の全体が剥離用接着フィルム４に接着された時点で、加圧ローラ７が元の高さ位置まで上昇し、剥離フィルム３が接着された剥離用接着フィルム４は、加圧ローラ７からの押圧力が解除されて、自体に付与されているテンションにより接着剤層２の上方に離間して両ガイドローラ８，９間に張架状態となったのち、巻き取りリールに巻き取られて回収されていく。

上記実施の形態では、剥離用接着フィルム４を弾性変形が可能な加圧ローラ７で剥離フィルム３上に押し付けたのち、加圧ローラ７を剥離フィルム３の一端から他端までの間を転動させるだけの極めて簡単で安価な手段を用いるにも拘わらず、剥離フィルム３を接着剤層２から確実、且つ迅速に剥離することができる。また、剥離用接着フィルム４は、剥離フィルム３を接着して除外したのちに、巻き取りリールに巻き取られて回収されるので、この点からも剥離フィルム３の剥離工程を簡素化しながらも能率的に行える。

なお、この第１の実施の形態の各工程は、後述する第２ないし第１１の実施の形態に対する基本となるものであり、したがって、第２ないし第１１の実施の形態では、冗長な説明となるのを避けるために、剥離用接着フィルム４を剥離フィルム３に接着させて剥離する作用についての説明を省略する。

図２（ａ）〜（ｄ）は、本発明の第２の実施の形態に係るフィルム状封止接着材１の剥離フィルム３の剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図である。同図において、図１と同一若しくは同等のものには同一の符号を付して、重複する説明を省略する。この実施の形態が第１の実施の形態と相違するのは、図２（ｂ），（ｃ）に示すように、加圧ローラ７を剥離用接着フィルム４を介しフィルム状封止接着材１に押し付けた状態でフィルム状封止接着材１の一端から他端まで転動させるときに、円筒形状の加圧ローラ７の中空部に冷却用気体１１を送給することだけである。なお、冷却用気体１１としては、空気を用いるのが好ましい。

したがって、この実施の形態では、第１の実施の形態と同様に、極めて簡単で安価な手段を用いるにも拘わらず、剥離フィルム３を接着剤層２から確実、且つ迅速に剥離することができる効果を得られるのに加えて、回路基板１０に仮貼り付けされた直後であって軟化状態のフィルム状封止接着材１が、加圧ローラ７の中空部を流動する冷却用気体１１によっり冷却されて収縮することから、剥離フィルム３が剥離され易い状態となり、剥離フィルム３を接着剤層２から一層確実、且つさらに迅速に剥離することができる。

図３（ａ）〜（ｄ）は、本発明の第３の実施の形態に係るフィルム状封止接着材１の剥離フィルム３の剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図である。同図において、図１と同一若しくは同等のものには同一の符号を付して、重複する説明を省略する。この実施の形態が第１の実施の形態と相違するのは、上下動自在、且つ水平移動可能な加圧ヘッド１２により、同図（ｂ）に示すように弾性変形が可能な加圧ローラ７を剥離用接着フィルム４を介しフィルム状封止接着材１に押し付けたのち、同図（ｃ）に示すように回路基板１０に沿った方向に水平移動することによって加圧ローラ７を強制的に転動させることだけである。

したがって、この実施の形態では、第１の実施の形態と同様に、極めて簡単で安価な手段を用いるにも拘わらず、剥離フィルム３を接着剤層２から確実、且つ迅速に剥離することができる効果を得られるのに加えて、円筒状の加圧ローラ７を、弾性変形させることができる押圧力で剥離用接着フィルム４を介しフィルム状封止接着材１に押し付けた状態を保持しながら、フィルム状封止接着材１の一端から他端まで転動させる手段を、容易、且つ確実に具現化することができる。

また、この実施の形態では、図２（ｃ）に２点鎖線矢印で示すように、回路基板１０を両ガイドローラ８，９間に沿った方向に移動させるようにすれば、加圧ローラ７を静止状態で強制的に回転されることができるので、加圧ローラ７および加圧ヘッド１２は単に上下動するだけでよい。さらに、加圧ヘッド１２を図３（ｃ）の矢印方向に移動させるとともに、回路基板１０を２点鎖線矢印で示す加圧ヘッド１２とは逆方向に移動させるようにすれば、剥離フィルム３の剥離に要する時間を短縮することができ、生産性の向上を図ることができる。

図４（ａ）〜（ｄ）は、本発明の第４の実施の形態に係るフィルム状封止接着材１の剥離フィルム３の剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図である。この実施の形態では、第２の実施の形態における円筒状の加圧ローラ７の中空部に冷却用気体１１を送給する工程と、第３の実施の形態における加圧ヘッド１２により加圧ローラ７を弾性変形する状態に押圧し、且つ強制的に転動させる工程との双方を採用したものである。

したがって、この実施の形態では、第１の実施の形態と同様に、極めて簡単で安価な手段を用いるにも拘わらず、剥離フィルム３を接着剤層２から確実、且つ迅速に剥離することができる効果を得られるのに加えて、加圧ローラ７の中空部を流動する冷却用気体１１によって剥離フィルム３を剥離し易い状態とすることができるとともに、円筒状の加圧ローラ７を、弾性変形させることができる押圧力で剥離用接着フィルム４を介しフィルム状封止接着材１に押し付けた状態を保持しながら、フィルム状封止接着材１の一端から他端まで転動させる手段を、容易、且つ確実に具現化することができる利点がある。

また、この実施の形態では、図３の実施の形態と同様に、図４（ｃ）に２点鎖線矢印で示すように、回路基板１０を両ガイドローラ８，９間に沿った方向に移動させるようにすれば、加圧ローラ７を静止状態で強制的に回転されることができるので、加圧ローラ７および加圧ヘッド１２は単に上下動するだけでよい。さらに、加圧ヘッド１２を図４（ｃ）の矢印方向に移動させるとともに、回路基板１０を２点鎖線矢印で示す加圧ヘッド１２とは逆方向に移動させるようにすれば、剥離フィルム３の剥離に要する時間を短縮することができ、生産性の向上を図ることができる。

図５（ａ）〜（ｄ）は、本発明の第５の実施の形態に係るフィルム状封止接着材１の剥離フィルム３の剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図である。この実施の形態では、第１ないし第４の実施の形態で用いた円筒状の加圧ローラ７に代えて、シリコンゴムなどの弾性変形可能な材質により円筒状に形成された弾性押圧部１４により外周面が被覆された加圧ローラ１３を用いたものであり、加圧ローラ１３は、金属などの硬質材料により円筒状に形成されている。剥離フィルム３は、第１の実施の形態と同様の工程を経て剥離される。

したがって、この実施の形態では、第１の実施の形態と同様に、極めて簡単で安価な手段を用いるにも拘わらず、剥離フィルム３を接着剤層２から確実、且つ迅速に剥離することができる効果を得られるのに加えて、加圧ローラ１３は、硬質材料により形成されていることから、図５（ｂ）に示すように、剥離用接着フィルム４をフイルム状封止接着材１に押し付けたときに、弾性押圧部１４に対し確実に弾性変形させる力を付与することができるとともに、一体物の加圧ローラ７を用いる場合に比較して、剥離用接着フィルム４に対し所要の押圧力を付与した状態を保持しながら転動する動作をスムーズに行うことができる利点がある。

図６（ａ）〜（ｄ）は、本発明の第６の実施の形態に係るフィルム状封止接着材１の剥離フィルム３の剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図である。この実施の形態が第５の実施の形態と相違するのは、図６（ｂ），（ｃ）に示すように、弾性押圧部１４を備えた加圧ローラ１３を剥離用接着フィルム４を介しフィルム状封止接着材１に押し付けた状態でフィルム状封止接着材１の一端から他端まで転動させるときに、円筒形状の加圧ローラ７の中空部に冷却用気体１１を送給することだけである。

したがって、この実施の形態では、第１の実施の形態と同様に、極めて簡単で安価な手段を用いるにも拘わらず、剥離フィルム３を接着剤層２から確実、且つ迅速に剥離することができる効果が得られるとともに、第５の実施の形態と同様に、一体物の加圧ローラ７を用いる場合に比較して剥離用接着フィルム４に対し所要の押圧力を付与した状態を保持しながら転動する動作をスムーズに行うことができる利点があり、さらに、これらの効果に加えて、回路基板１０に仮貼り付けされた直後であって軟化状態のフィルム状封止接着材１が、加圧ローラ１３の中空部を流動する冷却用気体１１により冷却されて収縮することから、剥離フィルム３が剥離され易い状態となり、剥離フィルム３を接着剤層２から一層確実、且つさらに迅速に剥離することができる。

図７（ａ）〜（ｄ）は、本発明の第７の実施の形態に係るフィルム状封止接着材１の剥離フィルム３の剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図である。この実施の形態が第６の実施の形態と相違するのは、第３の実施の形態で用いたものと同様の上下動自在、且つ水平移動可能な加圧ヘッド１２により、同図（ｂ）に示すように、弾性押圧部１４により被覆された加圧ローラ１３を剥離用接着フィルム４を介しフィルム状封止接着材１に押し付けたのち、同図（ｃ）に示すように回路基板１０に沿った方向に水平移動することによって上記加圧ローラ１３を強制的に転動させることだけである。

したがって、この実施の形態では、第６の実施の形態の上述したと同様の効果が得られるのに加えて、加圧ローラ１３を、これの弾性押圧部１４を弾性変形させることができる押圧力で剥離用接着フィルム４を介しフィルム状封止接着材１に押し付けた状態を保持しながら、フィルム状封止接着材１の一端から他端まで転動させる手段を、容易、且つ確実に具現化することかてきる。

図８（ａ）〜（ｄ）は、本発明の第８の実施の形態に係るフィルム状封止接着材１の剥離フィルム３の剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図である。この実施の形態が第７の実施の形態と相違するのは、図８（ｂ），（ｃ）に示すように、弾性押圧部１４が被覆された加圧ローラ１３を剥離用接着フィルム４を介しフィルム状封止接着材１に押し付けた状態でフィルム状封止接着材１の一端から他端まで転動させるときに、円筒形状の加圧ローラ７の中空部に冷却用気体１１を送給することだけである。

したがって、この実施の形態では、第７の実施の形態で説明したと同様の効果が得られるのに加えて、回路基板１０に仮貼り付けされた直後であって軟化状態のフィルム状封止接着材１が、加圧ローラ１３の中空部を流動する冷却用気体１１により冷却されて収縮することから、剥離フィルム３が剥離され易い状態となり、剥離フィルム３を接着剤層２から一層確実、且つさらに迅速に剥離することができる。

図９（ａ）〜（ｅ）は、本発明の第９の実施の形態に係るフィルム状封止接着材１の剥離フィルム３の剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図である。この実施の形態では、第１の実施の形態である図１（ａ）〜（ｄ）の各工程を実施するのに先立って、図９（ａ）に示すように、所定形状に切り出して回路基板１０に仮貼り付けされたフィルム状封止接着材１に対しブロー装置１７から冷却用気体１１を吹きつけるようにしたものであり、そののちに図１（ａ）〜（ｄ）の各構成と同様の、図９（ｂ）〜（ｅ）の各工程を実施する。

この実施の形態では、剥離用接着フィルム４を剥離フィルム３に接着させるのに先立って、フィルム状封止接着材１が、ブロー装置１７から吹き付けられる冷却用気体１１で冷却されることにより、回路基板１０に接着するための軟化状態から収縮する。これにより、剥離フィルム３は接着剤層２から剥離し易い状態となる。したがって、この実施の形態では、第２の実施の形態のように円筒状の加圧ローラ７の中空部に冷却用気体１１を送給する場合や、第６の実施の形態のように弾性押圧部１４で被覆された円筒状の加圧ローラ１３の中空部に冷却用気体１１を送給する場合に比較して、軟化状態のフィルム状封止接着材１を効率的に冷却して剥離フィルム３を接着剤層２から一層容易に剥離可能な状態とすることができる。

図１０（ａ）〜（ｅ）は、本発明の第１０の実施の形態に係るフィルム状封止接着材１の剥離フィルム３の剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図である。この実施の形態では、第３の実施の形態である図３（ａ）〜（ｄ）の各工程を実施するのに先立って、図１０（ａ）に示すように、所定形状に切り出して回路基板１０に仮貼り付けされたフィルム状封止接着材１に対しブロー装置１７から冷却用気体１１を吹きつけるようにしたものであり、そののちに図３（ａ）〜（ｄ）の各構成と同様の図１０（ｂ）〜（ｅ）の各工程を実施する。

この実施の形態では、剥離用接着フィルム４を剥離フィルム３に接着させるのに先立って、フィルム状封止接着材１が、ブロー装置１７から吹き付けられる冷却用気体１１で冷却されることにより、回路基板１０に接着するための軟化状態から収縮する。これにより、剥離フィルム３は接着剤層２から剥離し易い状態となる。したがって、この実施の形態では、円筒状の加圧ローラ７を、弾性変形させることができる押圧力で剥離用接着フィルム４を介しフィルム状封止接着材１に押し付けた状態を保持しながら、フィルム状封止接着材１の一端から他端まで転動させる手段を、容易、且つ確実に具現化することができる構成を有するものにおいて、第２の実施の形態のように円筒状の加圧ローラ７の中空部に冷却用気体１１を送給する場合や、第６の実施の形態のように弾性押圧部１４で被覆された円筒状の加圧ローラ１３の中空部に冷却用気体１１を送給する場合に比較して、軟化状態のフィルム状封止接着材１を効率的に冷却して剥離フィルム３を接着剤層２から一層容易に剥離可能な状態とすることができる。

図１１（ａ）〜（ｅ）は、本発明の第１１の実施の形態に係るフィルム状封止接着材１の剥離フィルム３の剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図である。この実施の形態では、第５の実施の形態である図５（ａ）〜（ｄ）の各工程を実施するのに先立って、図１１（ａ）に示すように、所定形状に切り出して回路基板１０に仮貼り付けされたフィルム状封止接着材１に対しブロー装置１７から冷却用気体１１を吹きつけるようにしたものであり、そののちに図３（ａ）〜（ｄ）の各構成と同様の図１０（ｂ）〜（ｅ）の各工程を実施する。

この実施の形態では、剥離用接着フィルム４を剥離フィルム３に接着させるのに先立って、フィルム状封止接着材１が、ブロー装置１７から吹き付けられる冷却用気体１１で冷却されることにより、回路基板１０に接着されたときの軟化状態から収縮する。これにより、剥離フィルム３は接着剤層２から剥離し易い状態となる。したがって、この実施の形態では、弾性押圧部１４で被覆された加圧ローラ１３を備えていることにより、一体物の加圧ローラ７を用いる場合に比較して剥離用接着フィルム４に対し所要の押圧力を付与した状態を保持しながら転動する動作をスムーズに行うことができる手段を採用する場合において、第２の実施の形態のように円筒状の加圧ローラ７の中空部に冷却用気体１１を送給する場合や、第６の実施の形態のように弾性押圧部１４で被覆された円筒状の加圧ローラ１３の中空部に冷却用気体１１を送給する場合に比較して、軟化状態のフィルム状封止接着材１を効率的に冷却して剥離フィルム３を接着剤層２から一層容易に剥離可能な状態とすることができる。

本発明のフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法は、接着すべき被着体に対応した形状に剥離フィルムを含めて切り出したフィルム状封止接着材を被着体に仮貼り付けたのちに、残存する剥離フィルムを、簡単で安価な手段により、確実、且つ迅速に剥離することができるので、例えば、ＩＣチップなどの半導体素子を回路基板にフィルム状封止接着材を介し熱圧着接合する実装分野などにおいて、剥離フィルムを剥離する用途に適用すれば、多種の半導体素子のサイズ毎に対応した幅に加工された多種類のフィルム状封止接着材を用意する必要がなくなり、フィルム状封止接着材の在庫管理や実装設備の段取り変更時間などが短縮され、生産性の高い半導体素子の実装を行うことができる。

（ａ）〜（ｄ）は本発明の第１の実施の形態に係るフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図。 （ａ）〜（ｄ）は本発明の第２の実施の形態に係るフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図。 （ａ）〜（ｄ）は本発明の第３の実施の形態に係るフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図。 （ａ）〜（ｄ）は本発明の第４の実施の形態に係るフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図。 （ａ）〜（ｄ）は本発明の第５の実施の形態に係るフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図。 （ａ）〜（ｄ）は本発明の第６の実施の形態に係るフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図。 （ａ）〜（ｄ）は本発明の第７の実施の形態に係るフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図。 （ａ）〜（ｄ）は本発明の第８の実施の形態に係るフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図。 （ａ）〜（ｅ）は本発明の第９の実施の形態に係るフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図。 （ａ）〜（ｅ）は本発明の第１０の実施の形態に係るフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図。 （ａ）〜（ｅ）は本発明の第１１の実施の形態に係るフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法を具現化した剥離過程を工程順に示した概略断面図。 （ａ），（ｂ）は何れも従来のフィルム状封止接着材を切断加工する工程を示す概略断面図。 （ａ），（ｂ）は従来のフィルム状封止接着材の剥離フィルムを剥離する過程を工程順に示した概略断面図。

符号の説明

１ フイルム状封止接着材
２ 接着材層
３ 剥離フィルム
４ 剥離用接着フィルム
７ 加圧ローラ
１０ 回路基板（被着体）
１１ 冷却用気体
１２ 加圧ヘッド
１３ 加圧ローラ
１４ 弾性押圧部

Claims (7)

1. 接着剤層の少なくとも一面に剥離フィルムが剥離可能に貼り付けられてなるフィルム状封止接着材が、任意の形状に切り出して被着体に前記接着剤層により仮貼り付けされ、
   剥離用接着フィルムの粘着面を、弾性変形可能な筒状であって、中空部に冷却用気体を送給した加圧ローラにより前記剥離フィルムに押し付けて接着させたのち、前記加圧ローラを、弾性変形した状態を保持しながら、前記冷却用気体により前記フィルム状封止接着材を冷却するようにして前記剥離用接着フィルムが前記剥離フィルムの全面に接するように転動させて、前記剥離フィルムを前記剥離用接着フィルムに接着して前記接着剤層から剥離することを特徴とするフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法。
2. 前記加圧ローラを、加圧ヘッドにより剥離用接着フィルムを介し剥離フィルムに押し付けて弾性変形させたのち、
   前記加圧ヘッドをフィルム状封止接着材の表面に沿った方向に移動させて前記加圧ローラを強制的に転動させることを特徴とする請求項１ に記載のフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法。
3. 前記加圧ローラを、加圧ヘッドにより剥離用接着フィルムを介し剥離フィルムに押し付けて弾性変形させたのち、
   前記加圧ヘッドと被着体との少なくとも一方を、前記加圧ローラを転動または回転させながら相対移動させることを特徴とする請求項１ または２ に記載のフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法。
4. 接着剤層の少なくとも一面に剥離フィルムが剥離可能に貼り付けられてなるフィルム状封止接着材が、任意の形状に切り出して被着体に前記接着剤層により仮貼り付けされ、
   剥離用接着フィルムの粘着面を、弾性変形可能な円筒状の弾性押圧部が外周面に嵌着されてなる中空部に冷却用気体を送給した加圧ローラにより前記剥離フィルムに押し付けて接着させたのち、前記加圧ローラを、前記弾性押圧部が弾性変形した状態を保持しながら、前記冷却用気体により前記フィルム状封止接着材を冷却するようにして前記剥離用接着フィルムが前記剥離フィルムの全面に接するように転動させて、前記剥離フィルムを前記剥離用接着フィルムに接着して前記接着剤層から剥離することを特徴とするフィルム状封止
   接着材の剥離フィルムの剥離方法。
5. 前記加圧ローラを、加圧ヘッドにより剥離用接着フィルムを介し剥離フィルムに押し付けて弾性押圧部を弾性変形させたのち、
   前記加圧ヘッドをフィルム状封止接着材の表面に沿った方向に移動させて前記加圧ローラを強制的に転動させることを特徴とする請求項４に記載のフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法。
6. 前記加圧ローラを、加圧ヘッドにより剥離用接着フィルムを介し剥離フィルムに押し付けて弾性押圧部を弾性変形させたのち、
   前記加圧ヘッドと被着体との少なくとも一方を、前記加圧ローラを転動または回転させながら相対移動させることを特徴とする請求項４または５に記載のフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法。
7. 剥離用接着フィルムを、剥離フィルムを接着させて剥離したのちに、一方向に移送して巻き取ることにより回収するようにした請求項１ないし６の何れか一項に記載のフィルム状封止接着材の剥離フィルムの剥離方法。

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