JP4552352B2 - 接着フィルムの貼着方法、貼着装置および電子回路装置の組立方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば、異方性導電フィルム等の接着フィルムを、配線パターンが形成された配線板等の被貼着体に貼着する接着フィルムの貼着装置および貼着方法、この貼着方法を用いた電子回路装置の組立方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
たとえば、家電製品、コンピュータ、モバイル製品等の製品分野においては、製品の小型化、高機能化、低コスト化等が強く求められており、このため、基板に半導体チップ等の電子回路部品を実装する実装技術分野においても、省スペース化、実装効率の向上等を図ることが求められている。
省スペース化、実装効率の向上等を図ることができる実装方法として、いわゆるフリップチップ実装が知られている。
フリップチップ実装は、半導体チップの表面に形成された電極と基板の表面に形成された電極とを直接対向させて位置を合わせて密着させ、熱および圧力を加えて接合する実装方法である。
【0003】
このフリップチップ実装は、基本的には、基板および半導体チップの電極間の電気的接続および基板に対する半導体チップの固定を同時に行う方法である。なお、基板および半導体チップの固定を補強するために基板と半導体チップとの間に接着剤を介在させる場合もある。
フリップチップ実装においては、半導体チップの電極に銀ペースト等の導電性材料を塗布し、この導電性材料を介して基板の電極と導通させる方式、金属粒子を含有する接着剤としての異方性導電材料を実装前に基板と半導体チップとの間に介在させ加熱圧着させることにより導通および固定を行う方式、金属粒子が含有されていない電気絶縁性の接着剤を基板と半導体チップとの間に介在させ、加圧により導通および固定を行う方式が知られている。
後者2つの方式では、半導体チップおよび基板の対向面間に接着剤が介在するが、この接着剤は、異方性導電フィルム等のように予めフィルム状に形成されたものと、ペースト状のものとが知られている。
フィルム状の接着剤(接着フィルム)を用いた実装においては、たとえば、基板に所定寸法の接着フィルムを貼着し、その後に基板に半導体チップを実装し、熱および圧力を加えることにより接着フィルムを硬化させることが行われている。これによって、半導体チップが基板に固定される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、フリップチップ実装に用いられる接着フィルムは、通常、一連のベースフィルムの表面に連続して貼り付けられた状態で提供される。この接着フィルムの基板への貼着方法としては、たとえば、接着フィルムを所定の寸法に切断し、切断された接着フィルムを基板の所定の位置に貼着し、基板に貼着された接着フィルムからベースフィルムを引き剥がすことが行われている。
しかしながら、従来においては、接着フィルムの貼着ミスが発生しやすく、接着フィルムを基板に貼着する工程の安定性が低いという問題が存在した。
また、工程が多く、設備コスト的な問題も存在した。
【0005】
本発明は、上述の問題に鑑みて成されたものであって、本発明の目的は、異方性導電フィルム等の接着フィルムを配線パターンが形成された配線板等の被貼着体に確実に、かつ、効率良く貼着することができる接着フィルムの貼着装置および貼着方法を提供することにある。
本発明の他の目的は、いわゆるフリップチップ実装において、半導体チップ等の電子回路部品を配線板上に異方性導電フィルム等の接着フィルムを用いて実装する際に、配線板に接着フィルムを確実かつ効率良く貼着することができる電子回路装置の組立方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の接着フィルムの貼着方法は、可撓性支持体の表面に保持された一連の接着フィルムの一端部を分離可能に所定の寸法に切断する切断工程と、前記可撓性支持体を被貼着体の被貼着面に対向させて当該被貼着面に分離可能となった前記接着フィルムを位置決めし、当該接着フィルムを可撓性支持体の背面側から前記被貼着面に向けて押圧しかつ所定温度に加熱して貼着させる貼着工程と、前記可撓性支持体を前記接着フィルムの一端部側から他端部側に向って引き離すことによって、前記被貼着面に貼着された前記接着フィルムと当該可撓性支持体とを分離する分離工程と、を有し、前記貼着工程においては、前記接着フィルムの前記可撓性支持体に対する分離開始端部および分離終了端部に選択的に高い押圧力を作用させる。
【0007】
好適には、本発明の接着フィルムの貼着方法は、前記可撓性支持体が分離された前記接着フィルムに冷却空気を吹きつけて強制冷却する冷却工程をさらに有する。
【0008】
さらに好適には、前記貼着工程では、分離可能となった前記接着フィルムに隣接する未貼着の接着フィルムが前記被貼着体に接触しないように前記可撓性支持体を湾曲させる。
【0009】
本発明の接着フィルムの貼着方法は、前記接着フィルムを支持する可撓性支持体を断続的に走行させながら前記切断工程、貼着工程および分離工程を行う。
【0010】
前記被貼着体は、少なくとも配線パターンが形成された配線板であり、前記接着フィルムは、前記配線板に搭載される電子回路部品を固定し、かつ、当該電子回路部品の搭載面に露出した外部接続端子と前記配線パターンを電気的に接続するための異方性導電フィルムである。
【0011】
前記被貼着体は、少なくとも配線パターンが形成された配線板であり、前記接着フィルムは、前記配線板に搭載される電子回路部品を固定するための接着フィルムとすることも可能である。
【0012】
前記接着フィルムは、樹脂を主成分としている
【0013】
本発明の接着フィルムの貼着装置は、可撓性支持体の表面に保持された一連の接着フィルムの一端部を分離可能に所定の寸法に切断する切断手段と、
被貼着体の被貼着面に位置決めされ分離可能となった前記接着フィルムを前記可撓性支持体の背面側から前記被貼着面に向けて押圧する押圧面を備え、前記接着フィルムを所定温度に加熱する押圧ヘッドと、前記可撓性支持体を前記接着フィルムの一端部側から他端部側に向けて引き離すことによって、前記被貼着面に貼着された前記接着フィルムと当該可撓性支持体とを分離する分離手段と、を有し、前記押圧ヘッドの押圧面は、前記可撓性支持体に対する前記接着フィルムの分離開始端部および分離終了端部に選択的に高い押圧力を作用させる。
【0019】
本発明の電子回路装置の組立方法は、少なくとも配線パターンが形成された配線板と、前記配線板上に電子回路部品が接着フィルムによって固定された電子回路装置の組立方法であって、可撓性支持体の表面に保持された一連の前記接着フィルムの一端部を分離可能に所定の寸法に切断する切断工程と、前記可撓性支持体を前記配線板の部品搭載面に対向させて当該部品搭載面に分離可能となった前記接着フィルムを位置決めし、当該接着フィルムを前記可撓性支持体の背面側から前記部品搭載面に向けて押圧しかつ所定温度に加熱して貼着させる貼着工程と、前記可撓性支持体を前記接着フィルムの一端部側から他端部側に向けて引き離すことによって、前記部品搭載面に貼着された前記接着フィルムと当該可撓性支持体とを分離する分離工程と、前記部品搭載面に貼着された接着フィルム上に前記電子回路部品を位置決めし、当該電子回路部品を前記部品搭載面に向けて加熱圧着し、当該電子回路部品の搭載面に露出した外部接続端子と前記配線パターンとを電気的に接続する接続工程と、を有し、前記貼着工程においては、前記分離工程における前記可撓性支持体に対する前記接着フィルムの分離開始端部および分離終了端部に選択的に高い押圧力を作用させる。
【0020】
本発明では、可撓性支持体に保持された接着フィルムは、所定の寸法に切断されたのち、可撓性支持体に保持された状態で被貼着体の被貼着面に位置決めされる。
位置決めされた接着フィルムは、可撓性支持体の背面側から熱硬化しない程度の温度で加熱され押圧される。これにより、接着フィルムは被貼着面に被貼着面に貼着されるが、樹脂からなる接着フィルムは加熱により軟化し、被貼着面に密着しやすくなる。
このとき、接着フィルムは可撓性支持体に対する分離開始端部および分離終了端部が選択的に高い押圧力で押圧される。これにより、接着フィルムの分離開始端部および分離終了端部が基板に確実に貼着される。さらに、分離可能となった接着フィルムに隣接する接着フィルムが被貼着体に接触しないように可撓性支持体は湾曲される。
次いで、接着フィルムは、冷却空気によって強制冷却される。接着フィルムは冷却により軟化した状態から再び固化し、接着フィルムと被貼着面との間の貼着力が強固になる。
次いで、被貼着面に貼着された接着フィルムの一端部側から他端部側に向けて可撓性支持体が引き離される。このとき、接着フィルムの分離開始端部および分離終了端部は高い押圧力により基板に確実に貼着され、冷却により貼着力が強固になっているので、可撓性支持体を接着フィルムから剥がしはじめるとき、および、剥がし終わるときに接着フィルムが基板から引き剥がされることがない。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る接着フィルムの貼着装置の構成を示す図である。
図1に示す貼着装置1は、可動テーブル80、押圧ヘッド11と、冷却機構60、分離機構40、供給ロール21と、巻取ロール27等を有する。
【0022】
供給ロール21は、図示しない支持機構により回転自在に支持されており、モータ等の駆動源と連結されている。この供給ロール21は、表面に接着フィルムを保持するベースフィルム100が巻かれており、矢印R1の回転方向に回転することによりベースフィルム100を繰り出す。
供給ロール21から繰り出されるベースフィルム100は、回転自在に保持されたガイドローラ22、23および24によって可動テーブル80の上方に導かれ、回転自在に保持されたガイドローラ25および26によって巻取ロール27に導かれている。なお、ベースフィルム100は、接着フィルムを可動テーブル80に対向する側に保持している。
巻取ロール27は、図示しない支持機構により回転自在に支持されており、モータ等の駆動源と連結されている。この巻取ロール27は、矢印R2の回転方向に回転することによりベースフィルム100を巻き取る。
供給ロール21および巻取ロール27は、図示しない制御装置によって駆動制御される。この制御装置は、ベースフィルム100の走行制御およびベースフィルム100に所定の張力が作用するように張力制御を行う。
【0023】
図2はベースフィルム100の構造を示す図であって、(a)は側面図であり、(b)は平面図である。
図2に示すように、ベースフィルム100は、幅Wおよび厚さTH0 が一定であるテープ状の部材である。このベースフィルム100は、たとえば、ポリエチレンテレフタレート(PET)等の樹脂材料から形成されており、可撓性を有する。ベースフィルム100の幅Wは、たとえば、5mm程度であり、厚さTH0は0.1mm程度である。
【0024】
このベースフィルム100の表面には、ベースフィルム100の幅Wと同じ幅の接着フィルム101が貼り付けられている。
この接着フィルム101は、異方性導電フィルム(ACF:anisotropic conductive film) である。異方性導電フィルムは、熱硬化性樹脂または熱可塑性樹脂に銀等の微細金属粒子を分散させてシート状にした膜である。異方性導電フィルムは、後述するように、半導体チップを基板上に固定し、かつ、電気的接続を行うのに使用される。
接着フィルム101の厚さTH1 は、たとえば、15μm程度である。
接着フィルム101は、ベースフィルム100上で連続しており、図2(a)に示すように、後述する切断機構によって端部から所定の寸法L0 毎に切断され、この切断された接着フィルム101pをベースフィルム100から剥がして使用される。
なお、接着フィルム101の表面には、厚さがたとえば0.05mm程度のカバーフィルム105が貼着されており、ベースフィルム100が供給ロール21から繰り出され後述する切断機構により接着フィルム101が切断される前に剥がされる。
【0025】
図1に示す可動テーブル80は、ベースBS上に平行に配置された2条のレール81上を移動自在に設けられている。この可動テーブル80は、保持面80aに接着フィルム101を貼着すべき被貼着体である基板200を保持する。
また、可動テーブル80は、接着フィルム101を貼着する位置から、後述するように、半導体チップを実装する実装工程が行われる位置まで移動可能となっている。
【0026】
図3は、可動テーブル80を図1に示す矢印Eの向きから見た側面図である。
図3に示すように、可動テーブル80には、切断機構70が設けられている。
切断機構70は、カッターナイフ71を備えており、上記した接着フィルム101を切断する。このカッターナイフ71は、先端に両刃の切刃71aを備えている。この切刃71aは、接着フィルム101と略同じ幅をもっている。
カッターナイフ71は保持部材74によって保持されており、この保持部材74は矢印G1およびG2方向に沿って設けられた案内機構73によって移動自在に案内されている。
さらに、保持部材74は、たとえば、エアシリンダからなるアクチュエータ72に連結され、このアクチュエータ72によって矢印G1およびG2方向に駆動される。
【0027】
カッターナイフ71の上方にはベースフィルム100を支持するための支持部76が設けられ、この支持部76の下面である支持面76aによってベースフィルム100を支持する。
また、保持部材74に対向する位置には、カッターナイフ71が矢印G1方向に移動したときに、保持部材74と当接することによってカッターナイフ71の停止位置を規定するストッパ部材75が設けられている。
【0028】
上記構成の切断機構70は、図3に示す状態から、可動テーブル80をレールに81沿って矢印D1に移動させ、所定の位置に位置決めすることにより、カッターナイフ71と支持面76aとの間に接着フィルム101を保持するベースフィルム100が挿入される。
図4は、カッターナイフ71と支持面76aとの間に接着フィルム101を保持するベースフィルム100が挿入された状態を示す図である。
カッターナイフ71と支持面76aとの間にベースフィルム100が挿入された後に、アクチュエータ72を駆動し、カッターナイフ71を矢印G1の向きに上昇させると、カッターナイフ71の切刃71aが接着フィルム101に切り込む。切り込み量は、ストッパ部材75によって規定されるカッターナイフ71の停止位置によって決まる。また、基本的には、カッターナイフ71によって接着フィルム101のみを切断し、ベースフィルム100は切断しない。
【0029】
図1に示す押圧ヘッド11は、可動テーブル80上を通過するベースフィルム100の真上に配置されている。この押圧ヘッド11は、ベースBS上に設けられた図示しない支持機構によって支持されたエアシリンダ17のピストンロッド17aと連結されている。押圧ヘッド11は、エアシリンダ17のピストンロッド17aの伸縮により矢印A1およびA2に示す鉛直方向に移動可能となっている。
【0030】
図5は押圧ヘッド11の構造を示す図であって、(a)は断面図であり、(b)は(a)に示す押圧ヘッド11を矢印Hの方向から見た図である。
図5に示すように、押圧ヘッド11は、押圧部材12と、押圧部材12のヘッド部12tに装着された弾性部材13と、押圧部材12に内蔵された電熱ヒータ14とを備えている。
【0031】
押圧部材12は、たとえば、ステンレス等の金属材料で形成されており、直方体状の胴部12dの中央部からヘッド部12tが突き出している。ヘッド部12tの寸法は、切断した接着フィルム101と略同じ寸法を有しており、たとえば、5×5mm程度である。
このヘッド部12tの先端面の両端部には、並列する突出部12aが形成されている。この突出部12aの突出量は、たとえば、0.3mm程度であり、幅は1mm程度である。
【0032】
電熱ヒータ14は、押圧部材12の胴部12dに内蔵されており、この電熱ヒータ14は、図1に示した電源16から直流電流が供給され、発熱することによって押圧部材12を加熱する。直流電流の供給量を調整して電熱ヒータ14の発熱量を調整することにより、押圧部材12は、たとえば、約80℃〜110℃程度の所定の温度に制御される。
【0033】
ヘッド部12tに装着された弾性部材13は、キャップ形状に成形されており、固定治具15によって周囲がヘッド部12tに固定されている。
この弾性部材13は、たとえば、シリコンを含有するゴム材料で形成されている。弾性部材13も押圧部材12の加熱よって温度上昇する。弾性部材13の厚さは、たとえば、0.3mm程度である。
弾性部材13は、押圧面13aによって上記したベースフィルム100の背面(接着フィルム101が貼付されていない面)を押圧する。
【0034】
図1に示す冷却機構60は、ノズル61と、冷却エア供給源62とを備えている。
ノズル61は、押圧ヘッド11によって押圧されるベースフィルム100の背面に向けて、冷却エア供給源62から供給される冷却エアを吹付可能に配置されている。なお、ノズル61は、ベースBS上に設けられた図示しない支持機構によって支持されている。
【0035】
冷却エア供給源62は、常温(約27℃)の空気を吸引し、これを所定温度、たとえば、約22℃まで冷却してノズル61に供給する。また、冷却エア供給源62は、冷却エアの吹付時間を制御可能になっている。
【0036】
図1に示す分離機構40は、押圧ヘッド11の下流側に設けられており、可動部材43と、可動部材43に固定されたガイド部材44と、可動部材43にガイド部材44に隣接して回転自在に保持されたガイドローラ45と、エアシリンダ41とを有する。
【0037】
エアシリンダ41は、ベースBSに固定されたフランジ部材42によって水平に配置されており、内蔵するピストンロッド41aが可動部材43に連結されている。
エアシリンダ41は、ピストンロッド41aの伸縮により、可動部材43を矢印C1およびC2に示す水平方向に移動可能となっている。
【0038】
ガイド部材44の下面には、ベースフィルム100が当接しており、このベースフィルム100はガイド部材44の下面の一端部で湾曲してガイドローラ45に導かれている。
【0039】
この分離機構40は、後述するように、可動部材43を矢印C1の向きに移動させることにより、基板200に貼着された接着フィルム101からベースフィルム100を引き離すように作用する。
【0040】
次に、上記構成の貼着装置1を用いた接着フィルムの貼着方法の一例および電子回路装置の組立方法の一例について、図6〜図16を参照して説明する。
まず、上記した可動テーブル80上の所定に位置に基板200をセットしたのち、可動テーブル80を移動させて所定の位置に位置決めし、切断機構70の支持部76の支持面76aとカッターナイフ71との間に所定の張力が作用する状態のベースフィルム100を挿入する。
図6(a)は、支持面76aとカッターナイフ71との間にベースフィルム100が挿入された状態を示している。
この状態では、ベースフィルム100に形成された接着フィルム101の先端部101sがカッターナイフ71の切刃71aに対向する位置にある。
【0041】
接着フィルム101の先端部101sがカッターナイフ71の切刃71aに対向する位置にある状態から、巻取ローラ27および供給ローラ21を回転させ、接着フィルム101を図6(a)に示す矢印Jの向きに走行させる。このとき、接着フィルム101の先端部101sが所定の寸法L0 分だけ移動するように、巻取ローラ27および供給ローラ21を制御する。寸法L0 は、たとえば、5mmである。
【0042】
接着フィルム101の先端部101sが所定の寸法L0 分だけ移動したのち、停止した接着フィルム101に対して、図6(b)に示すように、カッターナイフ71を矢印B1に向きに上昇させ、接着フィルム101を切断する。
このとき、ベースフィルム100の背面は支持部76の支持面76aによって支持されながら、接着フィルム101が切断される。
【0043】
接着フィルム101が切断されたのち、図6(c)に示すように、カッターナイフ71を矢印B2の向きに下降させる。図6(c)に示すように、連続していた接着フィルム101の端部は、所定の寸法L0 に切断され、この切断された接着フィルム101pは、ベースフィルム100から分離させる(引き剥がす)ことが可能になる。
この分離可能となった接着フィルム101pは、たとえば、長手方向の寸法L0 が上記したように5mmであり、幅も約5mmである。
【0044】
接着フィルム101の切断が完了したのち、可動テーブル80を移動させて、図7に示すように、可動テーブル80上にセットされた基板200の所定の被貼着面が分離可能となった接着フィルム101pの下方に位置するように位置決めする。
なお、基板200は、表面に所定の配線パターン200が形成されている。この基板200は、たとえば、PETからなるフィルム状の基板であり、厚さが、たとえば、0.1mm程度である。また、配線パターン200は、たとえば、アルミニウムで形成されており、厚さが、たとえば、30μm程度である。
【0045】
基板200を分離可能となった接着フィルム101pに対して位置決めしたのち、押圧ヘッド11を図7に示すように、矢印A2の向きに下降させる。
なお、押圧ヘッド11は、予め所定の温度に加熱されている。
【0046】
押圧ヘッド11が下降すると、図8(a)に示すように、押圧ヘッド11の弾性部材13の押圧面13aがベースフィルム100の背面に接触し、押圧する。
これによって、分離可能となった接着フィルム101pの表面が基板200の表面に押し付けられ、貼着される。
このとき、分離可能となった接着フィルム101pに隣接する未貼着の接着フィルム101が基板200に接触しないように、ベースフィルム100は、基板200の表面に対して所定の角度θで傾斜している。ベースフィルム100を湾曲させ、所定の傾斜角度θは、ガイドローラ24の配置によって規定される。すなわち、所定の傾斜角度θとなるように、ガイドローラ24の配置を決定しておく。所定の傾斜角度θは、たとえば、約10度程度である。
【0047】
また、分離可能となった接着フィルム101pは、押圧面13aによる押圧によって、図8(b)に示すように、押圧部材12の突出部12aにそれそれぞれ対応する両端部R1およびR2に高い圧力が作用し、両端部R1およびR2の間の中間部R3の圧力は両端部R1およびR2に比べて低い。
【0048】
一方、押圧ヘッド11の押圧面13aは所定温度に加熱されているため、樹脂を主成分とする接着フィルム101pは軟化する。このため、接着フィルム101pは基板200の表面に密着し、基板200の表面に馴染む。
さらに、接着フィルム101pの両端部R1およびR2は高い圧力が作用するため、更に強固に基板200の表面に密着する。
【0049】
押圧ヘッド11の押圧面13aによってベースフィルム100の背面から分離可能となった接着フィルム101pの加熱、押圧を、たとえば、0.2〜2sec程度の所定時間行ったのち、図9に示すように、押圧ヘッド11を矢印A1の向きに上昇させる。
【0050】
押圧ヘッド11の上昇動作と並行して、ノズル61から冷却エアを押圧ヘッド11の押圧面13aによって押圧されたベースフィルム100の背面に向けて所定時間吹きつける。吹付時間は、たとえば、0.5〜2sec程度である。
【0051】
この冷却エアの吹き付けによって、接着フィルム101pが強制冷却される。
接着フィルム101pは、強制冷却されると、樹脂を主成分としているため、固化する。接着フィルム101pは、加熱によって基板200の表面に密着したのち、強制冷却によってこの密着状態が固定されるため、接着フィルム101pと基板200の表面との間の貼着力が高まる。
【0052】
冷却エアの吹き付け後、図10に示すように、分離機構40の可動部材43を矢印C1の向きに移動させる。
可動部材43の移動によって、ガイド部材44によって湾曲したベースフィルム100の湾曲位置が矢印C1の向きに移動する。ベースフィルム100には、常に一定の張力Tが作用しているため、ベースフィルム100はガイド部材44の移動に伴って、基板200の表面から次第に引き離される。
【0053】
図11に示すように、可動部材43の進行によって、接着フィルム101pの先端部101sから最初にベースフィルム100が引き剥がされていく。さらなる可動部材43の進行によって、図12に示すように、接着フィルム101pの後端部101eに向けてベースフィルム100と接着フィルム101pとの分離は進む。
【0054】
ここで、接着フィルム101pは、基板200の表面に貼着されているが、接着フィルム101pとベースフィルム100とを剥がす力は、接着フィルム101pと基板200の表面と引き離す力として作用する。この力によって最も接着フィルム101pが基板200の表面から剥がれやすいのは、接着フィルム101pの先端部101sと後端部101eである。
接着フィルム101pの先端部101sあるいは後端部101eが基板200の表面から剥がれ、めくれた状態になると、貼着不良となる。
【0055】
本実施形態では、上述したように、ベースフィルム100と接着フィルム101pとの分離が開始する先端部101s、あるいは、ベースフィルム100と接着フィルム101pとの分離が終了する後端部101eを押圧ヘッド11に形成した各突出部11aによって選択的に高い押圧力を作用させ、強固に貼着させている。
さらに、加熱された接着フィルム101pに冷却エアを吹きつけて強制冷却することにより、基板200と接着フィルム101pとの間の貼着力を高めている。
このため、接着フィルム101pの先端部101sあるいは後端部101eが基板200の表面から剥がれ、めくれた状態になることを確実に防ぐことができる。
【0056】
次いで、可動テーブル80を基板200上に半導体チップを実装する位置に移動させる。
図13(a)は基板200に接着フィルム101pが貼着された状態の側面図であり、(b)は(a)に示す基板200の上面図である。
図13に示すように、接着フィルム101pは、基板200に形成された配線パターン201の複数の接続端子201a上に位置している。
【0057】
この状態における接着フィルム101p上に実装すべき半導体チップを位置決めする。
半導体チップは、たとえば、図14に示すように、集積回路が形成された表面300aに、たとえば、金バンプからなる複数の外部接続端子301が形成されている。
この半導体チップ300は、いわゆるベアチップの状態にあり、外形寸法が接着フィルム101pよりも若干小さい寸法、たとえば、4.4×4.2mmを有し、厚さが175μm程度である。また、外部接続端子301は、外形寸法が、たとえば、100×100μmであり、高さが22μmである。
【0058】
このような半導体チップ300を、図15に示すように、外部接続端子301が基板200に形成された配線パターン201の複数の接続端子201aに対向するように位置合わせする。
【0059】
基板200に対して半導体チップ300を位置合わせしたのち、図15に示すように、所定の温度に加熱された押圧ヘッド400を用いて半導体チップ300を基板200に向けて押圧する。押圧ヘッド400は、たとえば、150℃程度に加熱されている。
【0060】
この加熱圧着により、異方性導電フィルムからなる接着フィルム101pの主成分である樹脂は溶融したのち硬化する。なお、異方性導電フィルムの樹脂が熱硬化性樹脂の場合には、加熱によって溶融したのち、化学反応を起こして硬化し、熱可塑性樹脂の場合には、加熱によって溶融したのち冷却後に硬化する。これにより、半導体チップ300は、基板200上に固定される。
さらに、図16に示すように、異方性導電フィルムに含有される導電性粒子のうち、半導体チップ300の外部接続端子301と配線パターン201の接続端子201aとの間に存在する導電性粒子は、加熱圧着によって導通する。すなわち、外部接続端子301と配線パターン201の接続端子201aとは、導電性粒子を介して電気的に接続される。
【0061】
以上のような工程を経て、図16に示す電子回路装置350の組立が完了する。
本実施形態によれば、押圧ヘッド11に突出部12aを設け、接着フィルム101pのベースフィルム100に対する分離開始端部および分離終了端部に選択的に高い押圧力を作用させ、さらに、接着フィルム101pを基板200に貼着したのちに強制冷却することにより、接着フィルム101pの分離開始端部および分離終了端部の基板200に対する貼着力を高めている。このため、基板200に貼着された接着フィルム101pからベースフィルム100を引き剥がす際に、接着フィルム101pが基板200から引き剥がされることを防ぐことができ、貼着不良の発生を防止でき、効率良く貼着することができ、接着フィルム101pの貼着に必要な時間を大幅に短縮することができる。
この結果、半導体チップ300を基板200に実装する実装工程のリードタイムを短縮化することが可能となる。
【0062】
なお、上述した実施形態では、接着フィルム101として異方性導電フィルムを用いた場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。たとえば、接着フィルム101として、導電性粒子を含まないものを使用することも可能である。
図17は、接着フィルム101として導電性粒子を含まない樹脂を主成分とするものを用いて半導体チップ300を基板200に実装した状態を示す図である。
図17に示すように、半導体チップ300と基板200との間に介在する接着フィルム500は、半導体チップ300を基板200に固定する機能のみを果たしている。
さらに、半導体チップ300の外部接続端子301と配線パターン201の接続端子201aは、直接接触することにより、電気的に接続されている。
【0063】
【発明の効果】
本発明によれば、異方性導電フィルム等の接着フィルムを配線パターンが形成された配線板等の被貼着体に確実に、かつ、効率良く貼着することができる。
この結果、接着フィルムを用いたフリップチップ実装工程のリードタイムを短縮でき、電子回路装置の生産効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る接着フィルムの貼着装置の構成を示す図である。
【図2】ベースフィルム100の構造を示す図であって、(a)は側面図であり、(b)は平面図である。
【図3】可動テーブル80を図1に示す矢印Eの向きから見た側面図である。
【図4】カッターナイフ71と支持面76aとの間に接着フィルム101を保持するベースフィルム100が挿入された状態を示す図である。
【図5】押圧ヘッド11の構造を示す図であって、(a)は断面図であり、(b)は(a)に示す押圧ヘッド11を矢印Hの方向から見た図である。
【図6】貼着装置1を用いた接着フィルムの切断工程を説明するための図である。
【図7】押圧ヘッド11による貼着工程の手順を説明するための図である。
【図8】図7に続く手順を説明するための図である。
【図9】貼着工程の後の冷却工程の手順を説明するための図である。
【図10】冷却工程後の分離工程の手順を説明するための図である。
【図11】図10に続く分離工程の手順を説明するための図である。
【図12】図11に続く分離工程の手順を説明するための図である。
【図13】接着フィルムの貼着が完了した状態の基板の状態を説明するための図である。
【図14】半導体チップの一例を示す斜視図である。
【図15】半導体チップを接着フィルムを介して基板に実装する加熱圧着工程を説明するための図である。
【図16】異方性導電フィルムによる半導体チップと基板との固定および電気的接続を説明するための図である。
【図17】接着フィルム101として導電性粒子を含まない樹脂を主成分とするものを用いて半導体チップ300を基板200に実装した状態を示す図である。
【符号の説明】
1…貼着装置、11…押圧ヘッド、60…冷却機構、61…ノズル、62…冷却エア供給源、40…分離機構、21…供給ロール、27…巻取ロール、70…切断機構、80…可動テーブル、100…ベースフィルム、101…接着フィルム。
Claims (9)
- 可撓性支持体の表面に保持された一連の接着フィルムの一端部を分離可能に所定の寸法に切断する切断工程と、
前記可撓性支持体を被貼着体の被貼着面に対向させて当該被貼着面に分離可能となった前記接着フィルムを位置決めし、押圧および加熱手段を用いて、当該接着フィルムを前記可撓性支持体の背面側から前記被貼着体の被貼着面に向けて押圧しかつ所定温度に加熱して貼着させる貼着工程と、
前記可撓性支持体を前記接着フィルムの一端部側から他端部側に向って引き離すことによって、前記被貼着体の被貼着面に貼着された前記接着フィルムと当該可撓性支持体とを分離する分離工程と、
を有し、
前記貼着工程において、前記押圧および加熱手段に設けられた突出部により、前記接着フィルムの前記可撓性支持体に対する分離開始端部および分離終了端部に選択的に高い押圧力を作用させる、
接着フィルムの貼着方法。 - 当該接着フィルムの貼着方法は、前記接着フィルムを前記被貼着体の被貼着面に貼着した後、前記可撓性支持体を分離する前に当該可撓性支持体の背面から冷却空気を吹きつけて前記接着フィルムを強制冷却し、当該接着フィルムと前記被貼着体の被貼着面との貼着力を高める冷却工程をさらに有する
請求項1に記載の接着フィルムの貼着方法。 - 前記貼着工程において、前記分離可能となった前記接着フィルムに隣接する未貼着の接着フィルムが前記被貼着体に接触しないように前記可撓性支持体を湾曲させる、
請求項1に記載の接着フィルムの貼着方法。 - 前記接着フィルムを支持する前記可撓性支持体を断続的に走行させながら前記切断工程、貼着工程および分離工程を行う、
請求項1に記載の接着フィルムの貼着方法。 - 前記被貼着体は、少なくとも配線パターンが形成された配線板であり、
前記接着フィルムは、前記配線板に搭載される電子回路部品を固定するための接着フィルムである
請求項1に記載の接着フィルムの貼着方法。 - 前記被貼着体は、少なくとも配線パターンが形成された配線板であり、
前記接着フィルムは、前記配線板に搭載される前記電子回路部品を固定し、かつ、当該電子回路部品の搭載面に露出した外部接続端子と前記配線パターンを電気的に接続するための異方性導電フィルムである
請求項5に記載の接着フィルムの貼着方法。 - 前記接着フィルムは、樹脂を主成分としている
請求項1に記載の接着フィルムの貼着方法。 - 可撓性支持体の表面に保持された一連の接着フィルムの一端部を分離可能に所定の寸法に切断する切断手段と、
被貼着体の被貼着面に位置決めされ分離可能となった前記接着フィルムを前記可撓性支持体の背面側から前記被貼着体の被貼着面に向けて押圧する押圧面を備え、前記接着フィルムを所定温度に加熱する押圧ヘッドと、
前記可撓性支持体を前記接着フィルムの一端部側から他端部側に向けて引き離すことによって、前記被貼着体の被貼着面に貼着された前記接着フィルムと当該可撓性支持体とを分離する分離手段と、
を有し、
前記押圧ヘッドの押圧面に設けられた突出部により、前記可撓性支持体に対する前記接着フィルムの分離開始端部および分離終了端部に選択的に高い押圧力を作用させる、
接着フィルムの貼着装置。 - 少なくとも配線パターンが形成された配線板と、前記配線板上に電子回路部品が接着フィルムによって固定された電子回路装置の組立方法であって、
可撓性支持体の表面に保持された一連の前記接着フィルムの一端部を分離可能に所定の寸法に切断する切断工程と、
前記可撓性支持体を前記配線板の部品搭載面に対向させて当該部品搭載面に分離可能となった前記接着フィルムを位置決めし、押圧および加熱手段を用いて当該接着フィルムを前記可撓性支持体の背面側から前記部品搭載面に向けて押圧しかつ所定温度に加熱して貼着させる貼着工程と、
前記可撓性支持体を前記接着フィルムの一端部側から他端部側に向けて引き離すことによって、前記部品搭載面に貼着された前記接着フィルムと当該可撓性支持体とを分離する分離工程と、
前記部品搭載面に貼着された前記接着フィルム上に前記電子回路部品を位置決めし、当該電子回路部品を前記部品搭載面に向けて加熱および圧着し、かつ、当該電子回路部品の搭載面に露出した外部接続端子と前記配線パターンとを電気的に接続する接続工程と、
を有し、
前記貼着工程において、前記押圧および加熱手段に設けられた突出部により、前記分離工程における前記可撓性支持体に対する前記接着フィルムの分離開始端部および分離終了端部に選択的に高い押圧力を作用させる、
電子回路装置の組立方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001138966A JP4552352B2 (ja) | 2001-05-09 | 2001-05-09 | 接着フィルムの貼着方法、貼着装置および電子回路装置の組立方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001138966A JP4552352B2 (ja) | 2001-05-09 | 2001-05-09 | 接着フィルムの貼着方法、貼着装置および電子回路装置の組立方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002334905A JP2002334905A (ja) | 2002-11-22 |
JP2002334905A5 JP2002334905A5 (ja) | 2008-04-03 |
JP4552352B2 true JP4552352B2 (ja) | 2010-09-29 |
Family
ID=18985824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001138966A Expired - Fee Related JP4552352B2 (ja) | 2001-05-09 | 2001-05-09 | 接着フィルムの貼着方法、貼着装置および電子回路装置の組立方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4552352B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5003182B2 (ja) * | 2007-01-31 | 2012-08-15 | パナソニック株式会社 | 電子部品実装方法およびテープ貼付装置 |
JP5005403B2 (ja) * | 2007-03-27 | 2012-08-22 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 電子部品の実装ツール、実装装置 |
JP5010493B2 (ja) * | 2008-02-05 | 2012-08-29 | ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社 | 接着フィルムの転着方法 |
KR101008347B1 (ko) * | 2008-08-26 | 2011-01-14 | 정상희 | 본딩 머신의 열압착기용 팁 제조방법 |
KR101148766B1 (ko) * | 2010-10-25 | 2012-05-25 | 삼성전기주식회사 | 필름제거 장치 |
CN103770968B (zh) * | 2012-10-24 | 2015-12-30 | 汉达精密电子(昆山)有限公司 | 自动贴保护膜机构 |
JP6962163B2 (ja) * | 2017-12-08 | 2021-11-05 | 株式会社村田製作所 | 積層電極体の製造装置 |
JP7182036B2 (ja) * | 2018-06-28 | 2022-12-02 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品圧着装置、シート設置ユニットおよびシート設置ユニットの取付け方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPH10135274A (ja) * | 1996-10-31 | 1998-05-22 | Sharp Corp | テープ貼付装置 |
JP2002289648A (ja) * | 2001-01-17 | 2002-10-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 接合シート貼付装置及び接合シートの貼付方法 |
-
2001
- 2001-05-09 JP JP2001138966A patent/JP4552352B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002334905A (ja) | 2002-11-22 |
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A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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