JP2944528B2 - 異方性導電膜の貼り付け方法およびその装置 - Google Patents

異方性導電膜の貼り付け方法およびその装置

Info

Publication number
JP2944528B2
JP2944528B2 JP8216283A JP21628396A JP2944528B2 JP 2944528 B2 JP2944528 B2 JP 2944528B2 JP 8216283 A JP8216283 A JP 8216283A JP 21628396 A JP21628396 A JP 21628396A JP 2944528 B2 JP2944528 B2 JP 2944528B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
conductive film
anisotropic conductive
film
head
thermocompression bonding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP8216283A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH1062807A (ja
Inventor
雄一 長谷川
睦男 中島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NIPPON DENKI FUAKUTORI ENJINIARINGU KK
NEC Corp
Original Assignee
NIPPON DENKI FUAKUTORI ENJINIARINGU KK
Nippon Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NIPPON DENKI FUAKUTORI ENJINIARINGU KK, Nippon Electric Co Ltd filed Critical NIPPON DENKI FUAKUTORI ENJINIARINGU KK
Priority to JP8216283A priority Critical patent/JP2944528B2/ja
Publication of JPH1062807A publication Critical patent/JPH1062807A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2944528B2 publication Critical patent/JP2944528B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/321Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、異方性導電膜の貼
り付け方法およびその装置に係わり、特に液晶表示装置
の液晶パネル基板電極端子とドライバIC端子との接続
媒体やドライバIC端子とプリント回路基板の電極端子
との接続媒体である異方性導電膜の貼り付け方法および
その装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の異方性導電膜の貼り付け装置は、
図5に示すように熱圧着ヘッド6と、受け台5と、キャ
リアフィルム剥離機構8とを有して構成される。
【0003】まず図5(A)に示すように、キャリアフ
ィルム3に異方性導電膜2を接着した異方性導電膜テー
プ材(以下、テープ材、と称す)1を、異方性導電膜2
が基板4に対して適正な位置にくる様に送る。次に図5
(B)に示すように、熱圧着ヘッド6を下降させ、一定
時間熱圧着を行う。次に図5(C)に示すように、熱圧
着ヘッド6を上昇させた後、キャリアフィルム剥離機構
8の固定爪9でキャリアフィルム3をクランプした状態
で、キャリアフィルム剥離機構8が上昇する。これによ
り異方性導電膜2とキャリアフィルム3に角度16が発
生し、分離方向の力が働くことで、図5(D)に示すよ
うに、異方性導電膜2からキャリアフィルム3が剥離さ
れる。
【0004】同様の従来技術として特開平2−2937
20号公報には、図6に示すような異方性導電膜張り付
け方法が開示されている。図6(A)でキャリアフィル
ム101に異方性導電膜102を接着したテープ材を、
基板104上に送る。次に図6(B)に示すように、熱
圧着ヘッド103を下降させ熱圧着を行う。次に図6
(C)〜(F)に示すように、高温に加熱した狭幅の溶
断ツール105を下降し、押し当てることにより熱圧着
後の異方性導電膜102を所定寸法に溶断(溶融部)1
06で溶融し、溶断ツール105と同時にキャリアフィ
ルム101を引き上げることで、異方性導電膜102と
キャリアフィルム101に角度を発生させ、分離方向の
力を作用させてキャリアフィルム101を剥離するとい
う技術が開示されている。
【0005】この開示技術における溶断ツール105
は、異方性導電膜102を所定寸法に溶断する目的であ
り、キャリアフィルム101を介して溶断ツール105
を押圧加熱する理由は、溶断ツール105先端部への異
方性導電膜焼き付きを防止することにある。
【0006】また、特開平5−53130号公報では、
キャリアフィルム剥離ローラの移動により熱圧着後の異
方性導電膜とキャリアフィルムに角度を発生させ、同様
に分離方向の力を作用させてキャリアフィルムを剥離す
るという技術が開示されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】図5に示した従来の技
術における問題点は、異方性導電膜2の熱圧着後にキャ
リアフィルム3を引き上げる際に、キャリアフィルム3
と共に異方性導電膜2が基板4上から剥離されることで
ある。
【0008】その理由は、基板4表面の汚れによる粘着
力の低下,異方性導電膜2の粘着力やキャリアフィルム
3と異方性導電膜2間の剥離処理のばらつきなどの要因
によって、異方性導電膜2と基板4の密着力より異方性
導電膜2とキャリアフィルム3の密着力が強くなるから
である。
【0009】また、図6に示した従来技術では、熱圧着
後に溶断ツール105が下降し(図6(D))、溶断ツ
ール105とキャリアフィルム101が同時に上昇して
キャリアフィルム101の剥離動作に入るため(図6
(E))、図5と同様の問題が発生する欠点がある。更
に、同開示技術においては溶断ツール105とキャリア
フィルム101が同時に上昇する際、溶断部106と同
位置である剥し始め部の異方性導電膜102が溶融状態
であるため、キャリアフィルム101と異方性導電膜1
02,基板104と異方性導電膜102の密着力の関係
が不安定な状態であり、キャリアフィルム剥離動作時に
基板104からの異方性導電膜102の剥離ポテンシャ
ルが高くなる。また、特開平5−53130号公報でも
同様の問題点を有する。
【0010】したがって本発明の目的は、基板への異方
性導電膜の確実な貼り付けおよびキャリアフィルムの確
実な剥離が実現でき、電極端子部に接続媒体である異方
性導電膜が貼られなかったことから発生するオープン不
良を低減し、それに伴う手直し作業を低減させ生産性の
向上に寄与する有効な異方性導電膜の貼り付け方法およ
びその装置を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、異方性
導電膜とキャリアフィルムとを貼り合わせた2層構造の
異方性導電膜テープ材を基板に押し当てて加熱した後、
キャリアフィルムを剥離することにより、異方性導電膜
を基板上に貼り付ける異方性導電膜の貼り付け方法にお
いて、熱圧着ヘッドを下降させその平坦下面を前記キャ
リアフィルムに当接させることにより所定の長さに切断
されている前記異方性導電膜を前記基板に熱圧着させる
際に、異方性導電膜固着ヘッドが下降して所定の長さの
前記異方性導電膜の端部に部分的に高温加熱を加え、
記熱圧着ヘッド及び前記異方性導電膜固着ヘッドが上昇
した後、所定の長さの前記異方性導電膜と前記キャリア
フィルムを前記端部側から剥離させる異方性導電膜貼り
付け方法にある。
【0012】本発明の他の特徴は、異方性導電膜とキャ
リアフィルムとを貼り合わせた2層構造の異方性導電膜
テープ材を用いて、前記異方性導電膜を基板上に貼り付
ける貼り付け装置において、前記キャリアフィルム上の
前記異方性導電膜を所定の長さに切断する切断部と、平
坦下面を前記キャリアフィルムに当接させることにより
所定の長さに切断されている前記異方性導電膜を前記基
板に熱圧着させる熱圧着ヘッドと、前記熱圧着ヘッドと
は独立して温度設定,加圧力設定が可能であり、前記熱
圧着ヘッドによる熱圧着の際に所定の長さの前記異方性
導電膜の端部に部分的に高温加熱を加える異方性導電膜
固着ヘッドと、所定の長さの異方性導電膜と前記キャリ
アフィルムを前記端部側から剥離させる剥離機構とを
する異方性導電膜の貼り付け装置にある。
【0013】上記本発明によれば、熱圧着用ヘッドとは
独立して温度設定,加圧力設定が可能なヘッドにより、
基板と異方性導電膜の端部との密着性を異方性導電膜と
キャリアフィルムとの密着性より十分に強くすることが
出来るから、キャリアフィルム剥離機構の上昇等を行っ
た際に確実にキャリアフィルムを異方性導電膜から剥離
することが出来る。
【0014】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明を説明
する。
【0015】図1は本発明の実施の形態における異方性
導電膜の貼り付け装置を示す図であり、図2は図1の動
作を示す図である。尚、本発明が対象とする異方性導電
膜とは、例えば、導電粒子を接着材(樹脂)の中に均一
に分散して形成されいる高分子層で、熱圧着することに
より、膜の厚み方向のみ導電性が得られ、その他の方向
は絶縁性を示す電気的異方性があり、液晶パネル基板電
極端子とドライバIC端子との接続やドライバIC端子
とPWBの電極端子との接続等の接続媒体として用いて
オープン不良等を低減する膜である。
【0016】図1は、異方性導電膜2とキャリアフィル
ム3とを貼り合わせた2層構造のテープ材1を用いて、
異方性導電膜2を基板4上に貼り付ける異方性導電膜貼
り付け装置である。
【0017】テープ材1を巻き出し回転方向と逆方向の
テンションを持たせリール形態でテープ材1を供給する
供給リール部10と、供給されるテープ材1の異方性導
電膜2のみを切断する異方性導電膜切断部11と、切断
後の異方性導電膜2の不要部分をキャリアフィルム3か
ら剥離する異方性導電膜剥離部12と、異方性導電膜2
の不要部分が剥離されたテープ材1をキャリアフィルム
3側から基板4に対して押圧し、異方性導電膜2を基板
4の表面に一定の温度、圧力で押圧して熱圧着させる、
上下動する熱圧着ヘッド6と、熱圧着ヘッド6と隣接し
熱圧着ヘッド6と同様の動作をとり、かつ温度、圧力が
熱圧着ヘッド6とは別設定でき、テープ材1をキャリア
フィルム3側から押圧し、異方性導電膜2の端部を部分
的に基板4に熱圧着して固着させる異方性導電膜固着ヘ
ッド7と、基板4に熱圧着されたテープ材1のキャリア
フィルム3を引き上げて、異方性導電膜2からキャリア
フィルム3を剥離するキャリアフィルム剥離機構8と、
異方性導電膜2の剥離されたキャリアフィルム3を真空
掃除機により吸引して回収する回収ノズル14と、前述
の異方性導電膜切断部11,異方性導電膜剥離部12の
動作タイミングや熱圧着ヘッド6,異方性導電膜固着ヘ
ッド7の動作タイミング、また、基板4に対するテープ
材1の停止位置を制御するカウンタ付きテープ材送り機
構13を有して構成される。
【0018】次に本発明の実施の形態の異方性導電膜の
貼り付け方法を図1および図2を参照して説明する。
【0019】厚さ0.045mmの異方性導電膜2と厚
さ0.07mmのキャリアフィルム3を貼り合わせたテ
ープ材(例えば日立化成(株)製アニソルム)1がリー
ルに巻かれて供給リール10から供給される。
【0020】異方性導電膜切断部11で異方性導電膜2
のみを2枚のカッタで5〜10mm間隔、例えば10m
m間隔に切断され、一定量送られ、異方性導電膜剥離部
12にて切断された上記例えば10mmの間の異方性導
電膜2の部分、すなわち異方性導電膜2の不要部分がキ
ャリアフィルム3から剥離される。この動作は、テープ
材1が貼り付け長さ分送られる毎に行われる。
【0021】次に図2(A)および図1に示すように、
受け台5に厚さ0.8mmのガラスエポキシ樹脂ベース
のエポキシ回路基板4が位置決めされ、吸着により固定
されている。その時の基板4と熱圧着ヘッド6との位置
関係は、基板4の電極端子の最右部を、熱圧着ヘッド6
の右端より若干左側になる位置とする。
【0022】そして、テープ材1が、基板4の表面から
高さ1〜10mm、例えば1mmの位置を送られ、熱圧
着ヘッド6の下に入り込んだ位置で停止する。この時、
停止位置は、異方性導電膜固着ヘッド7の下方突出部の
右端面と異方性導電膜2右端面が、つら位置に合う位置
関係となる。
【0023】テープ材1停止後、100〜120℃に加
熱された熱圧着ヘッド6が下降し、テープ材1をキャリ
アフィルム3側から基板4上に5〜10kgf/cm2
の荷重で数秒間、例えば6kgf/cm2 の荷重で4秒
間し押圧し(図2(B))上昇する。熱圧着ヘッド6の
動作と同期し180〜230℃、例えば200℃に加熱
された異方性導電膜固着ヘッド7が下降し、0.5〜1
kgf/cm2 の荷重、例えば1kgf/cm2 の荷重
で押圧して異方性導電膜の端部を別途熱圧着して上昇す
る(図2(C))。そしてこの図2(C)に示すよう
に、熱圧着ヘッド6と異方性導電膜固着ヘッド7が上昇
後、キャリアフィルム剥離部8の固定爪9がキャリアフ
ィルム3をクランプしキャリアフィルム剥離部8が上昇
することでキャリアフィルム3と異方性導電膜2に分離
方向の角度16がつき、異方性導電膜2からキャリアフ
ィルム3が剥離する。
【0024】その後、キャリアフィルム剥離部8が元の
位置に下降し、固定爪9が解放すると、テープ材送り機
構13が駆動し、次の停止位置までテープ材1を送る。
【0025】図3は図1および図2のヘッド部周辺を拡
大して示した図である。受け台5にエポキシ回路基板4
を外形を基準として位置決めし、吸着により固定する。
その時のエポキシ回路基板4と熱圧着ヘッド6との位置
関係は、異方性導電膜固着ヘッド7の熱影響を最右部の
電極端子19上の異方性導電膜2が受けないように、エ
ポキシ回路基板4の電極端子19の最右部を、熱圧着ヘ
ッド6の右端より、例えば1mm左側になる位置とし、
熱圧着ヘッド6と異方性導電膜固着ヘッド7との間隔
を、例えば0.5mmとしている。
【0026】尚、図6に示す特開平2−293720号
公報で開示されている技術にも、高温に加熱した溶断ツ
ール105にて、キャリアフィルム101を介して異方
性導電膜102を押圧する機構を備えるが、溶断ツール
105は、異方性導電膜102をキャリアフィルム10
1を介して溶融させ切断するものである。
【0027】これに対して本発明は、高温に加熱した固
着ヘッド7により、異方性導電膜2をキャリアフィルム
3を介して基板4上に部分的に溶融後、所定の長さにな
っている異方性導電膜の端部分を固着させてから剥離動
作に入ることで、基板4からの異方性導電膜2の剥離を
防止するという技術であり、図6とは基本的に異なる技
術である。
【0028】更に、上記開示技術においては、熱圧着ヘ
ッド103長と異方性導電膜102貼り付け長を同一に
しなければならない構造上の制約があるが、本発明の装
置においては、異方性導電膜切断部11および異方性導
電膜剥離部12によってキャリアフィルム3から除去さ
れる異方性導電膜剥離部長さを調整することで熱圧着ヘ
ッド6長に渡って貼り付け長さが設定できる。
【0029】図4は本発明の第2の実施の形態を示す図
である。尚、図4において図1および図2と同一もしく
は類似の箇所は同じ符号を付してあるから重複する説明
は省略する。
【0030】図4においては、異方性導電膜固着ヘッド
7を熱圧着ヘッド6と同一ベースに取り付ける。但し、
異方性導電膜固着ヘッド7と熱圧着ヘッド6は、温度設
定が独立して可能である。
【0031】異方性導電膜固着ヘッド7は、先端部分を
熱圧着ヘッド6よりギャップ18に示すように数mm下
げておきコイルスプリング17の伸縮力により、高さ位
置が変化するように固定する。
【0032】熱圧着ヘッド6と異方性導電膜固着ヘッド
7は同時に下降し、異方性導電膜固着ヘッド7が先にテ
ープ材1を基板4に押圧する。コイルスプリング17の
収縮力にに対して熱圧着ヘッド6は、十分な推力がある
ため、異方性導電膜固着ヘッド7は、熱圧着ヘッド6と
の数mmのギャップ分の伸縮力でテープ材1と基板4を
押圧し、第1の実施の形態と同様の効果が得られる。
【0033】また、第2の実施の形態は、第1の実施の
形態と比べて所定のコイルスプリング17の設定が必要
となるが、第1の実施の形態と比べて駆動系が少なく、
簡素な構造および動作シーケンスが可能である。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、キ
ャリアフィルム剥離始め側の異方性導電膜端部を局部的
に基板に固着させることで、キャリアフィルムと異方性
導電膜との密着性より強い、基板と異方性導電膜の密着
性を得ることが出来る。したがって、異方性導電膜貼り
付け時の基板からの異方性導電膜剥離不良が低減する。
これにより、異方性導電膜貼り付け失敗時に発生してい
る修正工数が低減でき、生産性が7%向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の異方性導電膜貼り
付け装置を示す図である。
【図2】図1を用いた本発明の第1の実施の形態の異方
性導電膜貼り付け方法を示す図である。
【図3】図1および図2のヘッド部周辺を拡大して示し
た図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態の異方性導電膜貼り
付け装置を示す図である。
【図5】従来技術による異方性導電膜貼り付け方法を示
す図である。
【図6】他の従来技術による異方性導電膜貼り付け方法
を示す図である。
【符号の説明】
1 テープ材 2 異方性導電膜 3 キャリアフィルム 4 基板(エポキシ回路基板) 5 受け台 6 熱圧着ヘッド 7 異方性導電膜固着ヘッド 8 キャリアフィルム剥離機構 9 固定爪 10 供給リール部 11 異方性導電膜切断部 12 異方性導電膜剥離部 13 テープ材送り機構 14 回収ノズル 15 固着部 16 角度 17 コイルスプリング 18 ギャップ 19 電極端子 101 キャリアフィルム 102 異方性導電膜 103 熱圧着ヘッド 104 基板 105 溶断ツール 106 溶断(溶融)部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−293720(JP,A) 特開 平4−323031(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G02F 1/135 G01B 21/02 B27G 11/00 C09J 5/00

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 異方性導電膜とキャリアフィルムとを貼
    り合わせた2層構造の異方性導電膜テープ材を基板に押
    し当てて加熱した後、キャリアフィルムを剥離すること
    により、異方性導電膜を基板上に貼り付ける異方性導電
    膜の貼り付け方法において、熱圧着ヘッドを下降させそ
    の平坦下面を前記キャリアフィルムに当接させることに
    より所定の長さに切断されている前記異方性導電膜を前
    記基板に熱圧着させる際に、異方性導電膜固着ヘッドが
    下降して所定の長さの前記異方性導電膜の端部に部分的
    に高温加熱を加え、前記熱圧着ヘッド及び前記異方性導
    電膜固着ヘッドが上昇した後、所定の長さの前記異方性
    導電膜と前記キャリアフィルムを前記端部側から剥離さ
    せることを特徴とした異方性導電膜貼り付け方法。
  2. 【請求項2】 異方性導電膜とキャリアフィルムとを貼
    り合わせた2層構造の異方性導電膜テープ材を用いて、
    前記異方性導電膜を基板上に貼り付ける貼り付け装置に
    おいて、前記キャリアフィルム上の前記異方性導電膜を
    所定の長さに切断する切断部と、平坦下面を前記キャリ
    アフィルムに当接させることにより所定の長さに切断さ
    れている前記異方性導電膜を前記基板に熱圧着させる熱
    圧着ヘッドと、前記熱圧着ヘッドとは独立して温度設
    定,加圧力設定が可能であり、前記熱圧着ヘッドによる
    熱圧着の際に所定の長さの前記異方性導電膜の端部に部
    分的に高温加熱を加える異方性導電膜固着ヘッドと、所
    定の長さの異方性導電膜と前記キャリアフィルムを前記
    端部側から剥離させる剥離機構とを有することを特徴と
    した異方性導電膜の貼り付け装置。
  3. 【請求項3】 前記熱圧着ヘッドと前記異方性導電膜固
    着ヘッドとは互いに異なる駆動系で上昇および下降動作
    を行うことを特徴とした請求項1記載の異方性導電膜貼
    り付け方法または請求項2記載の異方性導電膜の貼り付
    け装置。
  4. 【請求項4】 前記熱圧着ヘッドと前記異方性導電膜固
    着ヘッドとは互いに同じ駆動系で上昇および下降動作を
    行い、かつ前記前記異方性導電膜固着ヘッドにはさらに
    コイルスプリングによる動作が付加されていることを特
    徴とした請求項1記載の異方性導電膜貼り付け方法また
    は請求項2記載の異方性導電膜の貼り付け装置。
JP8216283A 1996-08-16 1996-08-16 異方性導電膜の貼り付け方法およびその装置 Expired - Fee Related JP2944528B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8216283A JP2944528B2 (ja) 1996-08-16 1996-08-16 異方性導電膜の貼り付け方法およびその装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8216283A JP2944528B2 (ja) 1996-08-16 1996-08-16 異方性導電膜の貼り付け方法およびその装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1062807A JPH1062807A (ja) 1998-03-06
JP2944528B2 true JP2944528B2 (ja) 1999-09-06

Family

ID=16686113

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8216283A Expired - Fee Related JP2944528B2 (ja) 1996-08-16 1996-08-16 異方性導電膜の貼り付け方法およびその装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2944528B2 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1150016A (ja) * 1997-07-30 1999-02-23 Seiko Epson Corp 接着用テープの貼付方法及び貼付装置
JP2002155246A (ja) * 2000-11-22 2002-05-28 Toray Eng Co Ltd 接着フィルムの貼付方法および装置
JP4539856B2 (ja) * 2005-08-25 2010-09-08 株式会社日立ハイテクノロジーズ Acf貼り付け方法及びacf貼り付け装置
JP2009229743A (ja) * 2008-03-21 2009-10-08 Shibaura Mechatronics Corp 粘着テープの粘着装置及び貼着方法
JP5820976B2 (ja) * 2008-07-31 2015-11-24 パナソニックIpマネジメント株式会社 太陽電池モジュールの製造方法
JP2009187037A (ja) * 2009-05-26 2009-08-20 Hitachi High-Technologies Corp Acf貼り付け方法及びacf貼り付け装置
JP2010067996A (ja) * 2009-12-14 2010-03-25 Hitachi High-Technologies Corp Acf貼り付け装置
JP2013035685A (ja) * 2011-07-13 2013-02-21 Shibaura Mechatronics Corp 粘着テープの貼着装置及び貼着方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH1062807A (ja) 1998-03-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5096835B2 (ja) Acf貼付け装置及びフラットパネルディスプレイの製造装置
JP4370341B2 (ja) Acf貼り付け装置
JP3045427B2 (ja) 異方性導電膜の貼付け方法および装置
WO2011158476A1 (ja) テープ貼付け装置およびテープ貼付け方法
JP2944528B2 (ja) 異方性導電膜の貼り付け方法およびその装置
CN102227760B (zh) Acf粘贴装置及显示装置的制造方法
JP3082697B2 (ja) 異方性導電フィルム貼付方法及び装置
JP2003051517A (ja) テープ部材貼着装置
JP3595125B2 (ja) 貼着物の貼着装置
JP4552352B2 (ja) 接着フィルムの貼着方法、貼着装置および電子回路装置の組立方法
JPH08133560A (ja) 粘着性テープ片の貼着装置および貼着方法
JP2001294361A (ja) 粘着テープ貼付装置及び部品実装機とディスプレイパネル
JP5021394B2 (ja) Acf貼付け装置及びフラットパネルディスプレイの製造装置
JPH10107404A (ja) 部品実装装置
WO2006064595A1 (ja) 熱圧着ツール及び熱圧着装置
JPH05315401A (ja) 電子部品の接続装置
JP2003012222A (ja) 粘着テープの貼付装置及び貼付方法
JP5356873B2 (ja) 電子部品の実装装置及び実装方法
JP2003066479A (ja) 液晶パネルへのtab部品の圧着方法
JP3127407B2 (ja) 熱圧着方法
JP3720524B2 (ja) 電極間の接続方法
JP5074453B2 (ja) 圧着装置および保護シートの交換方法
JP3329533B2 (ja) 異方性導電膜の接着装置
JP3521453B2 (ja) 回路基板接続方法
JP2008091804A (ja) 電子部品圧着方法及び装置

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19990601

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080625

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080625

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090625

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100625

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100625

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110625

Year of fee payment: 12

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees