KR101184132B1 - 점착 테이프의 접착 장치 및 접착 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 점착 테이프의 절단 장치는, 점착 테이프(2)에 대하여 접근 후 멀어지는 방향으로 구동되고 접근 방향으로 구동되었을 때에 점착 테이프를 절단하는 커터(27)와, 커터에 의해 점착 테이프를 절단할 때에 점착 테이프가 이형 테이프(8)와 함께 커터로부터 받는 압박력에 의해 휘는 것을 저지하는 유지 블록(38)과, 커터에 일체로 마련되고 커터에 의해 점착 테이프를 절단할 때에 점착 테이프의 커터에 의해 절단되는 지점 근방을 압박하여 점착 테이프가 접착되는 접착부(28)와, 점착 테이프의 접착부에 압박 접착된 부분 근처를 탄성적으로 압박하고, 점착 테이프가 커터에 의해 절단되어 이 커터가 상기 점착 테이프로부터 멀어지는 방향으로 구동되었을 때에, 점착 테이프의 접착부에 접착된 부분이 이형 테이프로부터 박리될 때까지, 점착 테이프를 탄성적으로 및 비접착 상태로 압박하는 누름 부재(33)를 구비한다.

Description

점착 테이프의 접착 장치 및 접착 방법{APPLYING DEVICE AND APPLYING METHOD FOR ADHESIVE TAPE}
본 발명은 이형 테이프에 접착된 점착 테이프를 커터에 의해 절단하는 점착 테이프의 절단 장치 및 절단 방법, 절단된 점착 테이프를 기판에 접착하는 점착 테이프의 접착 장치 및 접착 방법에 관한 것이다.
예컨대, 액정 디스플레이 패널이나 플라즈마 디스플레이 패널로 대표되는 플랫-패널 디스플레이 등의 제조 공정에서는, 유리제 기판의 측부 상면에, TCP(Tape Carrier Package) 등의 전자 부품을 이방성 도전성 부재로 이루어지는 점착 테이프를 통해 접착하는 공정이 있다.
상기 전자부품을 상기 기판의 측부 상면에 접착하기 전에, 기판의 측부 상면에 소정 길이로 절단된 상기 점착 테이프를 접착하는 공정이 있다. 점착 테이프는 이형 테이프에 접착되어 있고, 이들은 공급 릴에 감겨진 상태로 유지되어 있다.
기판의 측부 상면에 전자부품을 점착 테이프에 의해 접착하는 경우, 우선 이형 테이프와 함께 공급 릴로부터 조출된 점착 테이프를 소정 길이로 절단한다. 이 때의 점착 테이프의 절단 길이는, 예컨대 상기 기판의 측부 상면에 마련된 복수의 단자로 이루어지는 단자부의 길이에 대응하는 길이로 설정된다.
이어서, 소정 길이로 절단된 점착 테이프를, 예컨대 척 등에 의해 상기 이형 테이프와 함께 인출하여, 테이블에 놓인 기판의 측부 상면의 상기 단자부에 대향하도록 위치 결정한 후, 절단된 점착 테이프를 가압 툴에 의해 기판에 가압하여 접착한다.
그리고, 점착 테이프를 기판에 접착했으면, 그 점착 테이프로부터 이형 테이프를 이형 롤러 등에 의해 박리한다.
특허문헌 1에는, 공급 릴로부터 점착 테이프를 이형 테이프와 함께 조출하고, 이 점착 테이프에 있어서 커터에 의해 절단하는 부위를 유지 블록에 대향시키며, 그 상태에서 커터를 상승 방향으로 구동하여 상기 점착 테이프를 소정 길이로 절단하는 것이 개시되어 있다.
상기 커터의 선단부는 통상, 선단으로 감에 따라 예리해지는 쐐기형으로 형성되어 있고, 그 선단부에 의해 도 12a에 도시하는 바와 같이 상기 점착 테이프(a)를 유지 블록(b)에 이형 테이프(c)를 사이에 두고 압박하여 절단하도록 하고 있다. 이 때, 점착 테이프(a)를 확실하게 절단하기 위해 상기 이형 테이프(c)를 그 두께의 대략 절반 정도까지 절단하는 경우가 있다. 즉, 이형 테이프(c)를 하프 커트하도록 하고 있다.
그런데, 점착 테이프(a)를 선단이 예리한 커터에 의해 절단하여 이형 테이프(c)가 하프 커트되면, 점착 테이프(a)는 점성이 풍부하기 때문에, 커터의 선단부에 의해 압박되어 상기 이형 테이프(c)의 하프 커트부에 잔류하게 된다. 점착 테이프(a)의 하프 커트부에 잔류한 잔류 부분(d)은, 절단 부분에서 이형 테이프(c)의 하프 커트부에 강고히 부착되어 있을 뿐만 아니라, 점착 테이프(a)로부터 분단되지 않고 연속한 상태에 있다.
이와 같은 상태에서 소정 길이로 절단된 점착 테이프(a)를, 도 12b에 도시하는 바와 같이 기판(e)에 가압하여 접착한 후, 상기 이형 테이프(c)를, 예컨대 박리용 롤러 등에 의해, 기판(e)에 접착된 점착 테이프(a)로부터 화살표(R) 방향으로 박리하고자 하면, 점착 테이프(a)로부터 분단되지 않고 이형 테이프(c)의 하프 커트부에 부착 잔류된 잔류 부분(d)에 의해 점착 테이프(a)가 이형 테이프(c)와 함께 말려 올라가는 경우가 있고, 이와 같은 경우에는 점착 테이프(a)의 접착 불량을 초래하게 된다.
또한, 이와 같이 점착 테이프(a)가 말려 올라가는 것은, 도 12b에 도시하는 이형 테이프(c)의 박리가 시작되는 단부 A에서 발생하고, 도 12a에 도시하는 박리가 종료하는 단부 B에서 발생하는 경우는 없다.
일본 특허 공개 제2003-51517호 공보
본 발명은, 점착 테이프를 절단하여 기판에 접착한 후 이형 테이프를 박리할 때, 점착 테이프의 단부가 말려 올라가지 않도록 점착 테이프를 절단할 수 있도록 한 점착 테이프의 절단 장치 및 절단 방법, 점착 테이프의 접착 장치 및 접착 방법을 제공하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 이형 테이프에 접착된 점착 테이프를 절단하는 점착 테이프의 절단 장치로서,
상기 점착 테이프에 대하여 접근 후 멀어지는 방향으로 구동되고 접근 방향으로 구동되었을 때에 상기 점착 테이프를 절단하는 커터와,
이 커터에 의해 상기 점착 테이프를 절단할 때에 상기 점착 테이프가 상기 이형 테이프와 함께 상기 커터로부터 받는 압박력에 의해 휘는 것을 저지하는 유지 부재와,
상기 커터에 일체로 마련되고 이 커터에 의해 상기 점착 테이프를 절단할 때에 이 점착 테이프에 있어서 상기 커터에 의해 절단되는 지점 근방을 압박하여 상기 점착 테이프가 접착되는 접착부와,
상기 점착 테이프에 있어서 상기 접착부에 압박 접착된 부분 근처를 탄성적으로 압박하고, 상기 점착 테이프가 상기 커터에 의해 절단되어 이 커터가 상기 점착 테이프로부터 멀어지는 방향으로 구동되었을 때에, 상기 점착 테이프에 있어서 상기 접착부에 접착된 부분이 상기 이형 테이프로부터 박리될 때까지, 이 점착 테이프를 탄성적으로 및 비접착 상태로 압박하는 누름 부재
를 포함하는 것을 특징으로 하는 점착 테이프의 절단 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명은, 이형 테이프에 접착된 점착 테이프를 절단하는 점착 테이프의 절단 장치로서,
상기 점착 테이프를 절단하는 커터를 가지며, 이 커터는 상기 점착 테이프의 폭 방향에 대하여 소정 각도로 경사져 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 점착 테이프의 절단 장치에 있다.
본 발명은, 이형 테이프에 접착된 점착 테이프를, 상기 이형 테이프를 하프 커트하여 절단하는 커터를 구비한 점착 테이프의 절단 장치로서,
상기 커터는, 일측면이 수직면으로, 타측면이 경사면으로, 선단이 평탄면으로 형성되어 있고,
상기 커터가 전진하여 점착 테이프를 절단하고 나서 후퇴할 때, 상기 수직면과 상기 점착 테이프의 절단된 면과의 접촉 저항에 의해 상기 점착 테이프의 절단 부분이 상기 이형 테이프로부터 박리되는 것을 특징으로 하는 점착 테이프의 절단 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명은, 이형 테이프에 접착된 점착 테이프를 절단하는 커터를 구비한 점착 테이프의 절단 장치로서,
상기 커터를 전진 방향으로 구동하여 상기 점착 테이프를 절단한 후에, 상기 커터를 후퇴시키기 전에, 이 커터를 절단 방향과 교차하는 방향으로 구동하는 구동 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 점착 테이프의 절단 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명은, 이형 테이프에 접착된 점착 테이프를 절단하는 커터를 채용하는 점착 테이프의 절단 방법으로서,
상기 점착 테이프를 상기 커터에 의해 절단하는 공정과,
상기 커터에 의해 절단된 상기 점착 테이프의 절단 지점 근방을 상기 이형 테이프로부터 박리하는 공정
을 포함하는 것을 특징으로 하는 점착 테이프의 절단 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명은, 이형 테이프에 접착된 점착 테이프를 소정 길이로 절단하여 기판의 상면에 접착하는 점착 테이프의 접착 장치로서,
상기 점착 테이프에 대하여 접근 후 멀어지는 방향으로 구동되고 접근 방향으로 구동되었을 때에 상기 점착 테이프를 절단하는 커터와,
이 커터에 의해 소정 길이로 절단된 상기 점착 테이프를 상기 이형 테이프와 함께 상기 기판에 가압하여 접착하는 가압 툴과,
상기 이형 테이프의 폭 방향에 대하여 축선이 상대적으로 소정 각도로 경사진 상태로 상기 기판에 접착된 점착 테이프로부터 상기 이형 테이프를 박리하는 이형 롤러
를 포함하는 것을 특징으로 하는 점착 테이프의 접착 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명은, 이형 테이프에 접착된 점착 테이프를 소정 길이로 절단하여 기판의 상면에 접착하는 점착 테이프의 접착 방법으로서,
상기 점착 테이프를 커터에 의해 절단하는 공정과,
상기 커터에 의해 소정 길이로 절단된 상기 점착 테이프를 상기 이형 테이프와 함께 상기 기판에 가압하여 접착하는 공정과,
상기 이형 테이프의 폭 방향에 대하여 축선이 상대적으로 소정 각도로 경사진 상태의 이형 롤러에 의해 상기 기판에 접착된 점착 테이프로부터 상기 이형 테이프를 박리하는 공정
을 포함하는 것을 특징으로 하는 점착 테이프의 접착 방법을 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시형태를 도시하는 점착 테이프의 접착 장치의 개략적인 구성도이다.
도 2a는 소정 길이로 절단된 점착 테이프를 기판의 일측부의 단자부에 접착한 상태의 평면도이다.
도 2b는 기판의 일측부에 전자부품을 접착한 평면도이다.
도 3은 절단 장치의 커터에 의해 점착 테이프를 절단할 때의 설명도이다.
도 4는 상기 커터에 의해 점착 테이프를 절단한 후, 커터가 하강했을 때의 설명도이다.
도 5는 상기 커터를 하강시킴으로써, 점착 테이프의 단부가 이형 테이프로부터 박리된 상태의 설명도이다.
도 6은 형(型) 롤러의 배치 상태를 도시하는 평면도이다.
도 7a는 본 발명의 제2 실시형태를 도시하는 도면으로서, 이형 테이프 및 점착 테이프에 대한 커터의 배치를 도시하는 평면도이다.
도 7b는 커터에 의해 절단된 점착 테이프의 하면도이다.
도 7c는 커터를 도시하는 측면도이다.
도 8a는 본 발명의 제3 실시형태를 도시하는 커터의 측면도이다.
도 8b는 점착 테이프의 절단 부분의 확대 단면도이다.
도 8c는 커터에 의해 점착 테이프의 단부가 이형 테이프로부터 박리되는 상태의 설명도이다.
도 9a는 본 발명의 제4 실시형태를 도시하는 커터의 측면도이다.
도 9b는 커터의 움직임을 도시하는 설명도이다.
도 9c는 점착 테이프의 단부가 커터에 의해 박리되는 상태의 설명도이다.
도 10a는 점착 테이프를 소정 길이로 절단하기 위해 한 쌍의 절단선을 형성한 다른 실시형태를 도시하는 설명도이다.
도 10b는 동일하게 점착 테이프를 소정 길이로 절단하기 위해 도 10a에 의해 형성된 한 쌍의 절단선 부분을 제거하는 다른 실시형태를 도시하는 설명도이다.
도 11a는 기판에 점착 테이프를 접착했을 때의 평면도이다.
도 11b는 점착 테이프를 접착한 후, 기판을 스테이지와 함께 각도 β로 회전시켰을 때의 평면도이다.
도 12a는 종래의 점착 테이프의 절단 부분을 도시하는 확대 단면도이다.
도 12b는 마찬가지로 점착 테이프를 기판에 접착하고 나서 이형 테이프를 박리할 때의 설명도이다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시형태를 설명한다.
도 1 내지 도 6은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 이방성 도전성 부재로 이루어지는 점착 테이프(2)의 접착 장치를 도시하고, 이 접착 장치는 기판 스테이지(5)를 구비하고 있다. 이 기판 스테이지(5)는 베이스(6)를 가지며, 이 베이스(6)의 상면에는 X 구동원(6a), Y 구동원(6b) 및 θ 구동원(6c)에 의해 X, Y 및 θ 방향으로 구동되는 테이블(7)이 마련되어 있다.
상기 테이블(7) 상에는, 도 2a에 도시하는 바와 같이 액정 디스플레이 패널 등의 2개의 유리판을 접합시킨 기판(W)이 공급되어 흡착 유지되어 있다. 기판(W)의 상면의 일측부에는 복수의 단자(1a)가 소정 간격으로 형성된 단자부(1)가 기판(W)의 일측의 길이 방향을 따라 소정 길이로 마련되어 있다.
상기 단자부(1)에는 후술하는 바와 같이 소정 길이로 절단된, 양면 점착성의 이방성 도전성 부재로 이루어지는 상기 점착 테이프(2)가 접착되도록 되어 있다. 그리고, 점착 테이프(2)가 접착된 단자부(1)에는, 도 2b에 도시하는 바와 같이 하나 또는 복수의 TCP 등의 전자부품(3)이 압착된다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 상기 점착 테이프(2)는 일측면에 투광성의 수지 테이프로 이루어지는 이형 테이프(8)가 접착되어 공급 릴(9)에 감기고, 점착 테이프(2)를 아래로 하여 한 쌍의 가이드 롤러(11)에 가이드된 부분이 상기 테이블(7)에 놓인 상기 기판(W)의 단자부(1)의 상면에 대향하여 수평으로 주행하도록 되어 있다.
상기 테이블(7)의 위쪽에는 가압 툴(13)이 상하 구동 기구(14)에 의해 도면 중 화살표로 나타내는 상하 방향으로 구동할 수 있게 마련되어 있다. 점착 테이프(2)는, 후술하는 절단 장치(23)에 의해 소정 길이로 절단되고, 그 절단된 부분이 테이블(7) 상에 놓인 기판(W)의 단자부(1)에 대향하는 위치까지 반송되면, 그 위치에서 정지한다.
정지 후에 가압 툴(13)이 하강하고, 상기 기판(W)에 점착 테이프(2)의 소정 길이로 절단된 부분이 접착된다. 그 후, 상기 이형 테이프(8)는, 구동 기구(16)에 의해 일체적으로 화살표 -X 방향으로 구동되는 제1, 제2 이형 롤러(10a, 10b)에 의해 점착 테이프(2)로부터 박리되고, 권취 릴(12)에 권취되도록 되어 있다.
상기 제1 이형 롤러(10a)는 도 1에 도시하는 바와 같이 이형 테이프(8)의 하면측에 위치하도록 배치되어 있다. 제2 이형 롤러(10b)는 상기 제1 이형 롤러(10a)보다도 점착 테이프(2)의 이송 방향(도 1 및 도 6에서 +X로 도시함) 상류측에 상기 제1 이형 롤러(10a)와 축선을 평행하게 하여 배치되어 있다. 이들 제1, 제2 이형 롤러(10a, 10b)는 도 6에 도시하는 바와 같이 축선(O)을 상기 이형 테이프(8)의 폭 방향에 평행한 직선(L)에 대하여 β로 도시하는 소정 각도로 경사져 배치되어 있다.
따라서, 제1, 제2 이형 롤러(10a, 10b)가 구동 기구(16)에 의해 도 1에 도시하는 화살표 -X로 도시하는 방향으로 구동되면, 이형 테이프(8)는 기판(W)에 접착된 점착 테이프(2)의 이송 방향의 상류측에 위치하는 폭 방향의 일단(도 6에 E1로 도시)으로부터 타단(도 6에 E2로 도시)을 향해 서서히 박리되도록 되어 있다.
상기 점착 테이프(2)와 이형 테이프(8)의 반송은 반송 수단인 이송 장치(20)에 의해 행해진다. 이 이송 장치(20)는 이형 테이프(8)를 협지할 수 있게 형성된 척(21)을 갖는다. 이 척(21)은 도시하지 않는 가이드체에 의해 회전 불가능하게 가이드되고, 서보 모터(22b)에 의해 회전 구동되는 구동 나사(22a)에 의해 직선 구동되도록 되어 있다.
따라서, 상기 척(21)이 이형 테이프(8)를 협지한 상태에서 상기 구동 나사(22a)를 회전 구동하여, 이 척(21)을 도 1에 화살표 +X로 도시하는 방향으로 구동하면, 상기 이형 테이프(8)와 함께 점착 테이프(2)가 +X 방향으로 반송되며, 이 점착 테이프(2)는 소정 위치, 즉 기판(W)의 단자부(1)에 대향하도록 위치 결정될 수 있게 되어 있다.
상기 점착 테이프(2)는 기판(W)보다 반송 방향 상류측에서, 상기 절단 장치(23)에 의해 소정 길이로 절단된다. 이 절단 장치(23)는 도 3과 도 4에 도시하는 바와 같이 축선이 수직하며 상기 점착 테이프(2)의 아래쪽에 배치된 구동 수단으로서의 실린더(25)를 갖는다. 이 실린더(25)의 로드(25a)에는 구동 부재(26)가 부착되어 있다. 이 구동 부재(26)는 실린더(25)에 의해 도 1에 화살표로 도시하는 상하 방향으로 구동된다.
상기 구동 부재(26)의 상면에 있어서, 상기 점착 테이프(2)의 반송 방향의 하류측에 위치하는 일단부에는 커터(27)가 세워져 있다. 이 커터(27)는 선단이 예리하게 된 쐐기형으로 형성된 치형부(27a)를 갖고, 이 치형부(27a)에 있어서, 상기 점착 테이프(2)의 반송 방향의 상류측에 위치하는 일측에는, 상단이 평탄면(28a)으로 된 접착부(28)가 일체로 형성되어 있다. 이 평탄면(28a)은 상기 치형부(27a)의 선단보다 소정 치수 낮은 위치에 형성되어 있다.
상기 접착부(28)의 평탄면(28a)은, 후술하는 바와 같이 상기 커터(27)의 치형부(27a)가 상기 점착 테이프(2)를 절단하고, 상기 이형 테이프(8)가 하프 커트되었을 때, 상기 점착 테이프(2)에 있어서 커터(27)에 의해 절단되는 부위 근방에서, 반송 방향의 상류측 부분을 압박하도록 되어 있다.
상기 평탄면(28a)은 상기 점착 테이프(2)가 접착되기 쉽도록, 예컨대 거친 면으로 형성되어 있다. 이로써, 상기 점착 테이프(2)에 있어서 상기 평탄면(28a)에 의해 압박된 부분은, 그 평탄면(28a)에 접착하도록 되어 있다.
상기 구동 부재(26)의 상면에 있어서, 상기 점착 테이프(2)의 반송 방향의 상류측에 위치하는, 타단부에는 지지편(31)이 마련되어 있다. 이 지지편(31)에는 유지 구멍(32)이 형성되어 있고, 이 유지 구멍(32)에는 누름 부재(33)가 상하 방향으로 슬라이드할 수 있게 지지되어 있다.
상기 누름 부재(33)의 상단면(33a)은 후술하는 바와 같이 점착 테이프(2)를 압박했을 때, 그 점착 테이프(2)가 접착되는 경우가 없는 비접착면으로 형성되어 있다. 비접착면은, 예컨대 실리콘 수지나 불소 수지 등과 같은 활택성(滑澤性)을 갖는 수지를 코팅함으로써 형성된다.
상기 누름 부재(33)에는, 하단면에서 개방된 유지 구멍(34)이 형성되어 있다. 이 유지 구멍(34)에는 스프링(35)이 수용되어 있고, 이 스프링(35)은 상기 누름 부재(33)를 상승 방향으로 압박하고 있다. 또한, 누름 부재(33)의 하단에는, 스프링(35)에 의해 상승 방향으로 압박된 상기 누름 부재(33)가 상기 유지 구멍(34)으로부터 빠져 나오는 것을 저지하는 플랜지(36)가 마련되어 있다.
상기 누름 부재(33)가 스프링(35)에 의해 상승 방향으로 압박된 상태에서, 누름 부재(33)의 상단면(33a)은 상기 커터(27)의 치형부(27a)의 선단과 동등하게 또는 약간 위쪽에 위치하고 있다. 이 실시형태에서는 약간 높은 위치로 설정되어 있다.
상기 절단 장치(23)의 위쪽에는, 상기 점착 테이프(2)를 사이에 두고 유지 부재인 유지 블록(38)이 배치되어 있다. 상기 점착 테이프(2)의 상면에 접착된 이형 테이프(8)는 상면을 상기 유지 블록(38)의 하면에 접촉시키면서 보내지도록 되어 있다.
이형 테이프(8)가 유지 블록(38)의 하면에 접촉된 상태에서, 상기 실린더(25)가 작동하여 구동 부재(26)가 상승 방향으로 구동되면, 점착 테이프(2)는 상기 누름 부재(33)의 상단면(33a)에 의해 상기 유지 블록(38)의 하면에 압박 유지된다.
또한, 구동 부재(26)가 상승 방향으로 구동되면, 누름 부재(33)는 스프링(35)을 압축 변형시켜 상대적으로 아래쪽에 변위한다. 이어서, 상기 구동 부재(26)에 마련된 커터(27)의 치형부(27a)의 선단이 점착 테이프(2)를 절단한다. 그리고, 구동 부재(26)가 상승 한도까지 구동되면, 상기 커터(27)는 점착 테이프(2)를 절단하고, 이형 테이프(8)의 두께 방향의 대략 절반을 절단하는 하프 커트의 위치까지 상승한다.
상기 구동 부재(26)가 상승 한도까지 구동된 후, 하강 방향으로 구동되면, 커터(27)는 구동 부재(26)와 함께 하강하지만, 누름 부재(33)는 스프링(35)의 복원력에 의해 상단면(33a)이 점착 테이프(2)를 계속 압박한다.
상기 커터(27)가 더 하강하면, 점착 테이프(2)가 커터(27)에 일체 형성된 접착부(28)의 평탄면(28a)에 접착되어 있기 때문에, 도 5에 도시하는 바와 같이 점착 테이프(2)에 있어서 커터(27)에 의해 절단된 부분보다도 반송 방향의 상류측에 위치하는 단부가 상기 이형 테이프(8)로부터 박리된다.
이 때, 점착 테이프(2)에 있어서 커터(27)에 의해 절단되는 부분의 상류측의 부분은 누름 부재(33)에 의해 탄성적으로 유지되어 있기 때문에, 상기 점착 테이프(2)의 절단된 단부가 상기 이형 테이프(8)로부터 확실하게 박리된다.
다음에, 상기 구성의 접착 장치에 의해 기판(W)의 측변부에 점착 테이프(2)를 접착하는 경우에 대해서 설명한다.
우선, 상기 절단 장치(23)에 의해 상기 점착 테이프(2)는 소정 길이로 절단된다. 즉, 점착 테이프(2)가 이송 장치(20)에 의해 이송되어 위치 결정되면, 실린더(25)가 작동하여 구동 부재(26)를 상승 방향으로 구동한다.
상기 커터(27)가 상승 한도까지 구동되면, 이 커터(27)에 의해 점착 테이프(2)가 절단되고, 이형 테이프(8)가 하프 커트된다. 이와 동시에, 점착 테이프(2)에 있어서 커터(27)에 의해 절단되는 부분 근처는 누름 부재(33)의 상단면(33a)에 의해 압박 유지된다.
상기 커터(27)가 상승 한도까지 구동되어 점착 테이프(2)를 절단하고 나면, 하강 방향으로 구동된다. 상기 커터(27)에는 접착부(28)가 형성되고, 이 접착부(28)의 평탄면(28a)에는, 상기 점착 테이프(2)에 있어서 상기 커터(27)에 의해 절단되는 지점보다도 이송 방향의 상류측의 단부가 접착된다.
이 때문에, 점착 테이프(2)를 절단한 후, 커터(27)가 하강 방향으로 구동되면, 도 5에 도시하는 바와 같이 상기 점착 테이프(2)의 절단된 부분보다도 반송 방향 상류측의 단부가 상기 접착부(28)에 의해 아래쪽으로 인장되어 상기 이형 테이프(8)로부터 박리된다.
이로써, 점착 테이프(2)의 커터(27)에 의한 절단 지점의 반송 방향 상류측의 단부는, 이형 테이프(8)의 하프 커트부에 잔류하는 상기 점착 테이프(2)의 잔류 부분(2a)으로부터 확실하게 분리되게 된다.
이와 같이 하여, 점착 테이프(2)를 상기 절단 장치(23)에 의해 소정 길이로 절단했으면, 그 절단된 부분이 기판(W)의 단자부(1)에 대향하도록 이송 장치(20)에 의해 상기 점착 테이프(2)를 이형 테이프(8)와 함께 반송하고 위치 결정한다.
점착 테이프(2)가 위치 결정되면, 가압 툴(13)이 하강 방향으로 구동되고 상기 점착 테이프(2)의 소정 길이로 절단된 부분이 기판(W) 일측부의 상면의 단자부(1)에 가압되어 접착된다. 점착 테이프(2)를 접착하여 가압 툴(13)이 상승하면, 한 쌍의 이형 롤러(10a, 10b)가 구동 기구(16)에 의해 -X 방향으로 구동되어 이형 테이프(8)를 점착 테이프(2)로부터 박리한다.
이 때, 이형 테이프(8)의 박리가 시작되는 점착 테이프(2)의 단부, 즉 점착 테이프(2)의 커터(27)에 의해 절단된 지점보다 반송 방향 상류측에 위치하는 단부는, 전술한 바와 같이 이형 테이프(8)의 하프 커트부에 잔류하는 잔류 부분(2a)과 확실하게 분리되어 있다.
이 때문에, 이형 테이프(8)를 이형 롤러(10a, 10b)에 의해 박리하기 시작했을 때, 점착 테이프(2)의 단부가 하프 커트부에 잔류하는 잔류 부분(2a)을 매개로 하여 이형 테이프(8)에 의해 인장되는 경우가 없기 때문에, 상기 점착 테이프(2)의 단부가 기판(W)으로부터 말려 올라가게 되는 일 없이, 상기 이형 테이프(8)를 상기 점착 테이프(2)로부터 박리할 수 있다.
상기 이형 롤러(10a, 10b)는 이형 테이프(8)의 폭 방향에 대하여 각도 β로 경사져 마련되어 있다. 이 때문에, 이형 롤러(10a, 10b)가 구동 기구(16)에 의해 -X 방향으로 구동되어 이형 테이프(8)를 점착 테이프(2)로부터 박리할 때, 이형 테이프(8)는 점착 테이프(2)의 이송 방향의 상류측에 위치하는 폭 방향의 일단(E1)으로부터 서서히 박리되게 된다.
이로써, 이형 테이프(8)를 점착 테이프(2)로부터 박리할 때, 이형 테이프(8)가 점착 테이프(2)를 당기는 힘이 저감되기 때문에, 만약 이형 테이프(8)의 하프 커트부에 잔류하는 잔류 부분(2a)과 점착 테이프(2)가 확실하게 분단되지 않더라도, 기판(W)에 접착된 점착 테이프(2)가 기판(W)으로부터 말려 올라가게 되는 일 없이, 상기 이형 테이프(8)를 상기 점착 테이프(2)로부터 박리할 수 있다.
또한, 이형 테이프(8)를 점착 테이프(2)로부터 박리할 때에, 폭 방향의 일단(E1)으로부터 서서히 박리하기 때문에, 폭 방향 전체를 동시에 박리하는 경우에 비해 점착 테이프(2)의 단위 면적당에 가해지는 인장력이 증대한다.
이 때문에, 한 쌍의 이형 롤러(10a, 10b)의 구동에 수반하여 점착 테이프(2)의 이형 테이프(8)에 잔류한 잔류 부분(2a)이 확실하게 절단되기 때문에, 이것에 의해서도 점착 테이프(2)가 기판(W)으로부터 말려 올라가는 것이 방지된다.
도 7a, 도 7b, 도 7c는 본 발명의 제2 실시형태를 도시한다. 이 실시형태는 절단 장치를 구성하는 커터(27)가 점착 테이프(2)의 폭 방향에 대하여 각도 θ로 경사져 배치되어 있다. 상기 커터(27)는 제1 실시형태와 같이, 실린더(25)에 의해 상하 방향으로 구동된다.
도 7b에 절단선(S)으로 도시하는 바와 같이, 상기 커터(27)에 의해 점착 테이프(2)를 비스듬하게 절단하면, 점착 테이프(2)를 기판(W)에 접착하여 이형 테이프(8)를 이형 롤러(10a, 10b)에 의해 박리할 때, 점착 테이프(2)의 반송 방향 상류측에 위치하는 선단면은 각도 θ로 경사져 있다.
이 때문에, 이형 테이프(8)의 하프 커트부에 잔류하는 점착 테이프(2)의 잔류 부분(2a)과, 이형 테이프(8)의 박리가 시작되는 점착 테이프(2)의 경사진 선단과의 접속 영역은, 커터(27)가 점착 테이프(2)의 폭 방향에 대하여 직교하고 있는 경우에 비해 매우 적고, 접속 강도도 낮기 때문에, 점착 테이프(2)의 단부가 기판(W)으로부터 말려 올라가게 되는 일 없이, 이형 테이프(8)를 박리할 수 있다.
또한, 상기 제1 실시형태에 나타낸 커터(27)를, 제2 실시형태의 커터(27)와 같이 점착 테이프(2)의 폭 방향에 대하여 각도 θ로 경사지게 배치하여도 좋다.
도 8a, 도 8b, 도 8c는 본 발명의 제3 실시형태를 도시한다. 이 실시형태는 절단 장치를 구성하는 커터(127)의 단면 형상의 변형예이다. 도 8a에 도시하는 바와 같이, 이 커터(127)는 점착 테이프(2)의 반송 방향 상류측에 위치하는 일측면이 수직면(127a)으로 형성되고, 하류측에 위치하는 타측면이 경사면(127b)으로 형성되어 있으며, 상단면은 평탄면(127c)으로 되어 있다.
그리고, 상기 커터(127)는 제1 실시형태와 마찬가지로, 구동 수단인 실린더(25)에 의해 도 8a에 화살표로 도시하는 상하 방향으로 구동되도록 되어 있다. 또한, 커터(127)의 수직면(127a)은 점착 테이프(2)가 접착하기 쉬운 거친 면으로 형성되어 있다.
상기 구성의 커터(127)에 의해 점착 테이프(2)를 절단하면, 점착 테이프(2)의 절단되는 부분은 상기 커터(127)의 평탄면(127c)에 의해 분단된다. 또한, 상기 커터(127)에 있어서 점착 테이프(2)의 반송 방향 상류측에 위치하는 일측면은 수직면(127a)이고, 하류측에 위치하는 타측면은 경사면(127b)이다.
이 때문에, 상기 커터(127)에 의해 절단된 점착 테이프(2)에 있어서, 이형 테이프(8)의 하프 커트부에 잔류하는 잔류 부분(2a)은, 도 8b에 도시하는 바와 같이 상기 커터(127)의 수직면(127a)에 의해 상기 점착 테이프(2)의 상류측 단부와 분단된 상태가 된다.
그리고, 이형 테이프(8)를 하프 커트하여 점착 테이프(2)를 절단하고 나서, 커터(127)를 도 8c에 화살표로 도시하는 바와 같이 하강 방향으로 구동하면, 상기 커터(127)의 상승시에 수직면(127a)에 의해 절단된 점착 테이프(2)의 상류측 단부면이, 거친 면으로 형성된 상기 수직면(127a)에 미끄럼 접촉 또는 접착되어 아래쪽으로 끌어 내려지기 때문에, 점착 테이프(2)의 절단 지점의 상류측 단부가 이형 테이프(8)로부터 박리된다.
이로써, 점착 테이프(2)의 절단 지점의 상류측 단부가 하프 커트부에 잔류하는 잔류 부분(2a)과 연속하고 있었다고 해도, 그 잔류 부분(2a)으로부터 확실하게 분단되기 때문에, 소정 길이로 절단된 점착 테이프(2)를 기판(W)에 접착 후, 이형 테이프(8)를 박리할 때, 상기 점착 테이프(2)의 단부가 이형 테이프(8)에 의해 말리는 것이 방지된다.
도 9a, 도 9b, 도 9c는 본 발명의 제4 실시형태를 도시한다. 이 실시형태의 절단 장치를 구성하는 커터(27)의 단면 형상은 제1, 제2 실시형태와 마찬가지로, 쐐기형이지만, 커터(27)를 구동하는 구동 수단이 제1, 제2 실시형태와 상이하다.
즉, 상기 구동 수단은 상기 커터(27)를 도 9a에 화살표 X로 도시하는 점착 테이프(2)의 길이 방향을 따르는 수평 방향(X 방향) 및 화살표 Z로 도시하는 상하 방향인 Z 방향으로 구동하는 X?Z 구동원(41)이다. 이 X?Z 구동원(41)은, 상기 커터(27)를 도 9b에 S1로 도시하는 하강한 초기 위치로부터 S2로 도시하는 +Z 방향의 상승 위치로 구동하여 이형 테이프(8)를 하프 커트하는 상태에서 점착 테이프(2)를 절단한다.
이어서, S3으로 도시하는 -X 방향, 즉 점착 테이프(2)의 이송 방향의 상류측을 향해 약간 구동한 후, S4로 도시하는 -Z 방향인 하강 방향으로 구동하고 나서, S1로 도시하는 +X 방향으로 구동하여 초기 위치에 복귀시키도록 되어 있다.
이와 같이, 상기 커터(27)가 점착 테이프(2)를 절단한 후, -X 방향으로 구동되면, 점착 테이프(2)의 절단 지점의 상류측에 위치하는 단부가 상기 커터(27)의 측면에 의해 -X 방향으로 압박된다. 이어서, 커터(27)는 -Z로 도시하는 방향으로 하강한다.
커터(27)가 -Z 방향으로 하강하면, 상기 점착 테이프(2)의 절단 지점의 상류측 단부는, 도 9c에 도시하는 바와 같이 커터(27)와의 접촉 저항에 의해 이형 테이프(8)로부터 박리되기 때문에, 이형 테이프(8)의 하프 커트부에 잔류하는 점착 테이프(2)의 잔류 부분(2a)에 대하여 확실하게 분리된다.
따라서, 소정 길이로 절단된 점착 테이프(2)를 기판(W)에 접착한 후, 이 점착 테이프(2)로부터 이형 테이프(8)를 박리할 때, 박리 단부가 되는 상기 점착 테이프(2)의 절단시의 상류측의 단부가 이형 테이프(8)의 하프 커트부에 잔류하는 잔류 부분(2a)에 의해 말리는 일 없이, 이형 테이프(8)를 점착 테이프(2)로부터 박리할 수 있다.
상기 각 실시형태에서는, 점착 테이프(2)를 소정 길이로 절단할 때, 도 10a에 도시하는 바와 같이 점착 테이프(2)를 좁은 간격으로 2지점에 절단선(S)을 형성하고, 한 쌍의 절단선(S) 사이 부분을 도 10b에 도시하는 바와 같이 제거하여, 소정 치수로 절단된 점착 테이프(2) 사이에 중간 제거부(41)를 형성하도록 하여도 좋다.
이러한 경우라도, 전술한 제1 내지 제4 실시형태와 같이 하여 이형 테이프(8)의 하프 커트부에 잔류하는 점착 테이프(2)의 잔류 부분(2a)을, 점착 테이프(2)의 반송 방향 하류측에 위치하는 단부와 분리함으로써, 이형 테이프(8)의 박리를 확실하게 행할 수 있게 된다.
전술한 제2 내지 제4 실시형태에서도, 제1 실시형태와 같이 점착 테이프(2)를 기판(W)에 접착한 후, 이형 테이프(8)를 박리할 때, 한 쌍의 이형 롤러(10a, 10b)가 이형 테이프(8)의 폭 방향에 대하여 각도 β로 경사져 있으므로, 기판(W)에 접착된 점착 테이프(2)가 기판(W)으로부터 말려 올라가게 되는 일 없이, 이형 테이프(8)를 박리할 수 있게 된다.
제1 실시형태에서는 제1, 제2 이형 롤러(10a, 10b)의 축선(O)을 상기 이형 테이프(8)의 폭 방향에 평행한 직선(L)에 대하여 도 6에 β로 도시하는 소정 각도로 경사져 배치했지만, 도 11a에 도시하는 바와 같이 한 쌍의 이형 롤러(10a, 10b)를, 이들 축선이 이형 테이프(8)의 폭 방향을 따르는 직선과 평행하게 되도록 배치한다. 즉, 제1, 제2 이형 롤러(10a, 10b)의 축선(O)을 기판(W)이 배치된 스테이지(5)의 Y 방향(도 11a에 도시)을 따르는 이동 방향과 평행하게 되도록 배치한다.
그리고, 점착 테이프(2)를 가압 툴(13)에 의해 기판(W)에 접착한 후, 이형 테이프(8)의 박리를 시작하기 전에, 도 11b에 도시하는 바와 같이 스테이지(5)를 기판(W)과 함께 θ 구동원(6c)에 의해 수평 방향으로 각도 β로 회전시킨다.
이것에 의해, 점착 테이프(2)에 접착된 이형 테이프(8)는 한 쌍의 이형 롤러(10a, 10b)의 축선(O)에 대하여 기판(W)과 함께 각도 β로 경사진다. 따라서, 이 상태로 이형 롤러(10a, 10b)를 구동 기구(16)에 의해 도 1에 도시하는 -X 방향으로 구동하면, 이형 테이프(8)는 기판(W)에 접착된 점착 테이프(2)의 폭 방향 일단으로부터 타단을 향해 서서히 박리되기 때문에, 점착 테이프(2)가 기판(W)으로부터 말려 올라가게 되는 일 없이, 이형 테이프(8)를 박리할 수 있다.
즉, 이형 롤러(10a, 10b) 또는 이형 테이프(8) 중 어느 하나를 경사지게 하고, 즉 이형 롤러(10a, 10b)와 이형 테이프(8)를 상대적으로 각도 β로 경사지게 하고, 그 상태로 점착 테이프(2)로부터 이형 테이프(8)를 박리하면, 점착 테이프(2)의 폭 방향의 일단으로부터 타단을 향해 서서히 박리할 수 있기 때문에, 박리시에 이형 테이프(8)가 점착 테이프(2)에 가하는 인장력이 저감되고, 점착 테이프(2)가 말려 올라가는 것을 방지할 수 있게 된다.
또한, 이형 테이프(8)를 점착 테이프(2)로부터 박리할 때에, 폭 방향의 일단으로부터 서서히 박리되기 때문에, 폭 방향 전체를 동시에 박리하는 경우에 비해 점착 테이프(2)의 단위 면적당에 가해지는 인장력이 증대한다.
이 때문에, 한 쌍의 이형 롤러(10a, 10b)가 구동함에 따라 수반하는 점착 테이프(2)에 있어서 이형 테이프(8)에 잔류한 잔류 부분(2a)이 확실히 절단되기 때문에, 이것에 의해서도 점착 테이프(2)가 기판(W)으로부터 말려 올라가는 것이 방지된다.
이형 롤러(10a, 10b)와 이형 테이프(8)를 상대적으로 각도 β로 경사지게 해 둔다면, 점착 테이프(2)를 절단하는 절단 장치를 구성하는 커터는 제1 내지 제4 실시형태에 나타낸 구조 이외의 것이어도 지장이 없다. 즉, 절단 장치에 의해 점착 테이프(2)를 절단했을 때에, 점착 테이프(2)와 이형 테이프(8)에 잔류하는 점착 테이프(2)의 잔류 부분(2a)이 확실하게 분단되어 있지 않아도, 점착 테이프(2)가 기판(W)으로부터 말려 올라가게 되는 일 없이, 이형 테이프(8)를 박리할 수 있다.
또한, 이형 롤러(10a, 10b)와 이형 테이프(6) 모두를 역방향으로 기울임으로써, 이들 양자를 상대적으로 경사지게 하도록 하여도 좋다.
또한, 점착 테이프(2)를 절단할 때, 이형 테이프(6)를 하프 커트하도록 한 예를 들어 설명했지만, 이형 테이프(6)를 하프 커트하지 않는 경우라도, 점착 테이프를 절단할 때 점착 테이프가 커터에 의해 강하게 압박되어 그 일부가 이형 테이프(6)에 부착 잔류하기 때문에, 이와 같은 경우라도 본 발명을 적용함으로써, 기판에 접착된 점착 테이프(2)가 말려 올라가는 일 없이, 이형 테이프(6)를 박리하는 것이 가능해진다.
본 발명에 의하면, 점착 테이프를 커터에 의해 절단한 경우, 점착 테이프의 절단 지점 근방을 이형 테이프로부터 박리하도록 했기 때문에, 점착 테이프의 단부가 말려 올라가는 일 없이, 이형 테이프를 박리할 수 있게 된다.
또한, 기판에 접착된 점착 테이프로부터 이형 테이프를 박리할 때, 이형 롤러의 축선을 이형 테이프의 폭 방향에 대하여 상대적으로 경사지게 하여 박리하기 때문에, 이형 테이프는 절단된 점착 테이프의 폭 방향의 일단으로부터 서서히 박리된다. 이 때문에, 이형 테이프를 점착 테이프로부터 박리할 때의 접착 저항이 저감되므로, 점착 테이프의 단부가 말려 올라가는 일 없이, 이형 테이프를 박리할 수 있게 된다.

Claims (10)

  1. 이형 테이프에 접착된 점착 테이프를 미리 정해진 길이로 절단하여 기판의 상면에 접착하는 점착 테이프의 접착 장치로서,
    상기 점착 테이프에 대하여 접근 후 멀어지는 방향으로 구동되고 접근 방향으로 구동되었을 때에 상기 점착 테이프를 절단하는 커터와,
    이 커터에 의해 미리 정해진 길이로 절단된 상기 점착 테이프를 상기 이형 테이프와 함께 상기 기판에 가압하여 접착하는 가압 툴과,
    상기 이형 테이프의 폭 방향에 대하여 축선이 상대적으로 미리 정해진 각도로 경사진 상태에서, 상기 기판에 접착된 점착 테이프로부터 상기 이형 테이프를 박리하는 이형 롤러
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 점착 테이프의 접착 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 커터는 상기 점착 테이프의 폭 방향에 대하여 미리 정해진 각도로 경사져 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 점착 테이프의 접착 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 커터는, 일측면이 수직면으로, 타측면이 경사면으로, 선단이 평탄면으로 형성되어 있고,
    상기 커터가 전진하여 점착 테이프를 절단하고 나서 후퇴할 때, 상기 수직면과 상기 점착 테이프의 절단된 면과의 접촉 저항에 의해 상기 점착 테이프의 절단 부분이 상기 이형 테이프로부터 박리되는 것을 특징으로 하는 점착 테이프의 접착 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 커터를 상승 방향으로 구동하여 상기 점착 테이프를 절단한 후에, 상기 커터를 하강시키기 전에, 이 커터를 상기 점착 테이프의 절단 방향과 교차하는 방향으로 구동하는 구동 수단을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 점착 테이프의 접착 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 이형 롤러는 축선이 상기 이형 테이프의 폭 방향에 대하여 미리 정해진 각도로 경사져 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 점착 테이프의 접착 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 기판이 놓이며 이 기판을 회전 방향으로 위치 결정할 수 있는 스테이지를 포함하며,
    상기 기판에 점착 테이프를 접착하고 나서 상기 이형 테이프를 박리할 때에, 상기 스테이지에 의해 기판을 회전시켜 상기 이형 테이프의 폭 방향에 대하여 상기 이형 롤러의 축선이 미리 정해진 각도로 경사지게 하는 것을 특징으로 하는 점착 테이프의 접착 장치.
  7. 이형 테이프에 접착된 점착 테이프를 미리 정해진 길이로 절단하여 기판의 상면에 접착하는 점착 테이프의 접착 방법으로서,
    상기 점착 테이프를 커터에 의해 절단하는 공정과,
    상기 커터에 의해 미리 정해진 길이로 절단된 상기 점착 테이프를 상기 이형 테이프와 함께 상기 기판에 가압하여 접착하는 공정과,
    상기 이형 테이프의 폭 방향에 대하여 축선이 상대적으로 미리 정해진 각도로 경사진 상태의 이형 롤러에 의해, 상기 기판에 접착된 점착 테이프로부터 상기 이형 테이프를 박리하는 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 점착 테이프의 접착 방법.
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