JP2003068566A - 積層セラミック部品の積層方法とその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 薄いセラミックシートの高速・高生産能力を
有する積層セラミック部品の積層方法とその装置を提供
する。 【解決手段】 キャリアフィルムの表面に導体パターン
が印刷されたセラミックシートフィルム１を供給及び搬
送する供給機構１１及び第１搬送機構と、上面にセラミ
ックシートフィルム１を吸着する吸着機構２６ｄを備
え、セラミックシートフィルム１を固持して待機位置と
セラミックシート積層位置との間を進退自在に移動する
剥離テーブル２６ａを備えた剥離機構２６と、下面にセ
ラミックシートを吸着する吸着機構３３を備えた積層ヘ
ッド３１ａと、その周囲にセラミックシートを切断する
切断機構３４とを備えた積層機構３１と、仮プレス機構
３６と、剥離機構からセラミックシートが切断剥離され
たキャリアフィルムを剥離テーブルの先端部に押圧する
方向に搬送及び巻取る第２搬送機構及び巻取り機構２５
とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、積層セラミックコ
ンデンサ等の積層セラミック部品の積層方法とその装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、特に、積層セラミックコンデンサ
の分野では、体積当りの静電容量の増大及び小型化が強
く望まれている。最近の情報産業の隆盛に伴い、その傾
向はますます強まるとともに需要の増大に拍車がかかっ
ている。そのため、セラミックシートの厚さを従来の２
０μｍ位から５μｍ、さらには、４〜３．５μｍ程度の
ものまで要求されるようになっている。

【０００３】従来の積層セラミック部品の積層装置の第
１の例は、図２２に示すように、連続する帯状のキャリ
アフィルム８０ｂの表面上に内部電極となる導体パター
ンが印刷形成されたセラミックシートフィルム８０を連
続的に供給する供給機構８１と、剥離された連続する帯
状のセラミックシート８０ａを搬送する搬送機構８２
と、キャリアフィルム８０ｂを連続的に巻取る巻取り機
構８３と、搬送されたセラミックシート８０ａの表面側
に配設され下面に吸着機構８５を備えて、セラミックシ
ート８０ａを吸着して直接切り取るとともにプレス機８
８上まで移送機構８４を介して搬送する吸着・搬送機８
７と、搬送されたセラミックシート８０ａを順次熱圧着
してセラミック積層体を形成するプレス機８８とから構
成されていた。ここで、セラミックシート８０ａは、供
給機構８１及び巻取り機構８３と搬送機構８２との組合
せによりセラミックシートフィルム８０のキャリアフィ
ルム８０ｂから連続する帯状の状態で剥離される。

【０００４】セラミックシート８０ａは、機械的強度が
比較的低いため厚さが薄くなると脆くなり、吸着・搬送
機８７で吸着してキャリアフィルム８０ｂからセラミッ
クシート８０ａを切断・剥離する際などに、セラミック
シート８０ａに皺、破れ、変形などが生じ易い。このた
め、従来の前記第１の例においては、セラミックシート
８０ａの厚さは２０μｍ以上に限定されていた。

【０００５】これを解決するため例えば、特開平７−１
４２８号公報には、図２３に示すような概念図により、
セラミックシートフィルム８０を連続的に供給及び搬送
する供給機構８１及び搬送機構８２と、キャリアフィル
ム８０ｂを連続的に巻取る巻取り機構８３と、搬送され
たセラミックシートフィルム８０の裏面側に配設されて
鋭角端部８９ａを有する剥離台８９と、搬送されたセラ
ミックシートフィルム８０の表面側に配設され下面に吸
着機構８５を備えて、セラミックシートフィルム８０の
表面を吸着してセラミックシート８０ａを切り取るとと
もにプレス機８８上まで移送機構８４を介して搬送する
吸着・搬送機８７と、搬送されたセラミックシート８０
ａを順次熱圧着してセラミック積層体を形成するプレス
機８８とから構成された第２の例が提案されている。第
２の例においては、剥離台８９上において搬送されたセ
ラミックシートフィルム８０からその表面のセラミック
シート８０ａのみを吸着・搬送機８７により切断し、同
時に巻取り機構８３によりキャリアフィルム８０ｂを剥
離台８９の鋭角端部８９ａに押圧する方向にキャリアフ
ィルム８０ｂを巻取ることによって切断されたセラミッ
クシート８０ａがキャリアフィルム８０ｂから剥離され
るように構成した点が、第１の例の欠点を改善したもの
である。これによって、セラミックシート８０ａの厚さ
が５μｍのものまで積層することが可能になったとの記
載がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の技術には、下記の問題点があった。 （１）積層タクトタイムが長い。吸着・搬送機が比較的
長い距離を水平移動する搬送時間や、プレス時の積層セ
ラミックシートへの気泡巻込み防止のため制限されたプ
レス機のプレス時間などによりセラミックシート１枚当
りのタクトタイムが長い（約６〜７秒）。 （２）積層精度が悪い。比較的重量構造の吸着・搬送機
が搬送水平移動するため、セラミックシート積層時の精
度が比較的悪い（約１０μｍ程度）。 （３）積層セラミックシートへの気泡巻込み。タクトタ
イムをできるだけ短縮するためプレス機の高速化を図る
と、プレス時に積層セラミックシート間に気泡を巻込む
とともに、セラミックシートに皺が発生し易い等の難点
があった。 （４）セラミックシートの厚さに限界。以上の構成で
は、セラミックシートの厚さは５μｍ以上が限界であ
る。さらに薄膜化の要求には、上記問題点の改善に加え
てセラミックシートフィルムの供給機構及び搬送機構や
キャリアフィルムの巻取り機構等に各フィルムのテンシ
ョン調整機構やセラミックシートフィルムのセラミック
シート切断位置精度確保のためのフィード機構などの適
正な調整機構を加える必要があるなど工夫の余地が有
る。

【０００７】これらの問題点を解決すべく、本発明の目
的は、５μｍ未満の薄いセラミックシートに対応でき、
高積層精度及び積層セラミックシートへの気泡巻込み防
止が可能で、積層タクトタイムが短縮された高性能で高
生産能力を有し、省スペースである積層セラミック部品
の積層方法とその装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記問題を解
決するために、連続する帯状のキャリアフィルムの表面
上に内部電極となる導体パターンが印刷形成されたセラ
ミックシートフィルムを連続的に供給及び搬送する供給
機構及び第１搬送機構と、前記搬送されたセラミックシ
ートフィルムの裏面側に配設されて、上面にセラミック
シートフィルムの裏面側を吸着する吸着機構を備え、先
端上方部が適宜な鋭角で形成された鋭角端部を有し、セ
ラミックシートフィルムの裏面側を固持して待機位置で
ある第１停止位置と所定のセラミックシート積層位置で
ある第２停止位置との間を進退自在に移動する剥離テー
ブルを備えた剥離機構と、前記第１停止位置の前方に近
接して配置され、下面に前記セラミックシートを吸着す
る吸着機構を備えた積層ヘッドと、積層ヘッドの周囲に
セラミックシートを切断する切断機構とを備えた積層機
構と、前記積層ヘッドの直下に対向して配設され、上部
にヒータを内蔵するとともに、前記積層ヘッドに押圧す
ることにより積層されたセラミックシートを熱圧着する
プレスヘッドを備えた仮プレス機構と、前記剥離機構か
らセラミックシートが切断剥離されたキャリアフィルム
を前記剥離テーブルの鋭角端部に押圧する方向に連続的
に搬送及び巻取る第２搬送機構及び巻取り機構とを備
え、前記剥離テーブルの第１停止位置は前記鋭角端部先
端が積層ヘッドの手前の位置であり、第２停止位置は前
記鋭角端部先端が積層ヘッドの下面を通過した位置であ
ることを特徴とする。

【０００９】また、前記供給機構及び第１搬送機構は、
ロール状に回巻された前記セラミックシートフィルムを
取付け、アクチュエータにより駆動されて順次セラミッ
クシートフィルムを送り出し供給するための供給ローラ
を備えた供給機構と、供給機構から供給された前記セラ
ミックシートフィルムを案内して搬送する複数のガイド
ローラからなる第１搬送機構と、第１搬送機構の中間に
設けられ、前記セラミックシートフィルムの適宜なテン
ションを維持する第１テンション調整機構と、前記剥離
テーブルの手前に設けられ、剥離テーブルの進退動作に
対応して剥離テーブルの進退方向に進退自在に移動する
ように構成され、剥離テーブルに対してセラミックシー
トフィルムを絶えず相対的に前進又は停止するように供
給するためのフィードローラ機構とを備え、前記第２搬
送機構及び巻取り機構は、前記剥離機構の下方に配設さ
れ、剥離機構からセラミックシートが切断剥離されたキ
ャリアフィルムを案内して搬送する複数のガイドローラ
からなる第２搬送機構と、第２搬送機構に隣接して設け
られ、前記キャリアフィルムを係止する少なくとも１つ
のフィルム係止機構と、第２搬送機構の中間に設けら
れ、前記キャリアフィルムの適宜なテンションを維持す
る第２テンション調整機構と、アクチュエータにより駆
動されて第２搬送機構により搬送されたキャリアフィル
ムを最終的に巻取るための巻取りローラを備えた巻取り
機構とを有することを特徴とする。

【００１０】また、前記フィードローラ機構は、アクチ
ュエータに連結されて剥離テーブルの移動方向に剥離テ
ーブルの進退動作に対応して進退自在に移動するように
構成されたスライド部材と、前記スライド部材に取付け
られて前記剥離テーブルの上面と略一直線上にセラミッ
クシートフィルムを搬送する可動ローラとを備え、前記
可動ローラが常にセラミックシートフィルムを前進させ
る方向に回転するか又は停止するように可動ローラを進
退移動させるように構成した。

【００１１】また、前記第１テンション調整機構は、前
記セラミックシートフィルムの張力を適宜一定の力に維
持するための第１アクチュエータに連結されて第１アク
チュエータの作動方向に進退自在に移動する第１スライ
ド部材に取付けられ、セラミックシートフィルムを搬送
する第１可動ローラを備え、前記第２テンション調整機
構は、前記キャリアフィルムの張力を適宜一定の力に維
持するための第２アクチュエータに連結されて第２アク
チュエータの作動方向に進退自在に移動する第２スライ
ド部材に取付けられ、キャリアフィルムを搬送する第２
可動ローラを備えた。

【００１２】また、前記積層機構の積層ヘッドは、前記
仮プレス機構の外枠を形成してプレス反力を支持する仮
プレスフレーム上部のフレーム天板と積層ヘッドとの間
に配置されて、フレーム天板の下面に垂設された中空構
造の支柱部材と、前記フレーム天板及び支柱部材を挿通
して設けられ、その上端に連結されたアクチュエータに
より上下方向に進退自在に移動するロッド部材と、ロッ
ド部材の下端部に固設され、積層ヘッドの上端周囲に設
けられた複数個のローラ部材の下部に配置されてローラ
の転動面となる板部材とによって回動自在に支持される
とともに、積層ヘッドの上端部に、前記支柱部材の上端
部が挿通する中空部を有しフレーム天板の下面に固設さ
れた前記アライメント機構と、上下方向に伸縮自在に構
成された複数個のリニアスライド機構を介して係合さ
れ、積層ヘッドが上方に後退したときは、積層ヘッドの
上面が前記支柱部材の下端面に当接するように構成され
ていることを特徴とする。

【００１３】また、前記仮プレス機構のプレスヘッドを
駆動する駆動機構は、プレスヘッドの進退時に高速移動
する高速駆動機構と、最終プレス時に微速移動する微速
駆動機構とを備え、前記高速及び微速移動の少なくとも
２段に速度制御されることを特徴とする。

【００１４】また、前記プレスヘッドの駆動機構は、前
記仮プレスフレームに固設されたガイド部材に案内され
て上下に進退自在なスライド部材に連結された前記プレ
スヘッドの下部に軸受部材を介して回転自在に連結した
動力伝達部材と、前記動力伝達部材の下部に固設された
ナット部材とそのナット部材に係合したネジ部材とから
なるネジ駆動機構と、前記ネジ部材の下端部に連結され
て、ネジ部材を回転駆動する第１モータとからなる高速
駆動機構と、前記動力伝達部材と係合する動力減速部材
に連結され、前記ナット部材を回転駆動する第２モータ
と、前記第１モータの上部の仮プレスフレームに固設さ
れ、ネジ部材を回転係止するネジ部材係止機構とからな
る微速駆動機構とを備え、前記第２モータを停止するこ
とにより前記ナット部材を係止した状態で第１モータを
作動させ前記ネジ部材を回転して前記プレスヘッドを高
速進退させ、前記最終プレス時には第１モータを停止す
ると同時に前記ネジ部材係止機構を作動させてネジ部材
を係止した状態で第２モータを作動させ前記ナット部材
を回転して前記プレスヘッドを微速進長させることを特
徴とする。

【００１５】また、前記の積層セラミック部品の積層装
置を用いて、導体パターンを印刷形成したセラミックシ
ートを積層し、熱圧着してセラミック積層体を形成する
積層セラミック部品の積層方法において、前記セラミッ
クシートフィルムを前記供給機構及び第１搬送機構によ
り適宜のテンション調整を維持して連続的に供給及び搬
送する供給及び搬送工程と、前記セラミックシートフィ
ルムをその裏面側が前記剥離機構に吸着・固持されて前
記積層位置に移動する前進工程と、前記前進工程の間
に、前記画像処理機構により確認したセラミックシート
のずれ量を前記アライメント機構によって位置補正する
アライメント工程と、前記前進工程終了後、前記積層機
構が前記セラミックシートフィルム上に下降してセラミ
ックシートフィルムの表面のセラミックシートを吸着す
ると同時に前記剥離機構の吸着が解除されるとともに、
前記カッタ機構が下降して前記セラミックシートの周辺
を切断する切断工程と、切断工程終了後、前記切断機構
が上昇すると同時に前記フィルム係止機構により前記キ
ャリアフィルムを係止した状態で、前記剥離機構が前記
待機位置まで後退し、これに伴い前記セラミックシート
フィルムの表面のセラミックシートが剥離される剥離工
程と、剥離工程終了後、前記フィルム係止機構が解除さ
れ、前記セラミックシートを吸着した積層機構が上昇す
るとともに、前記アライメント機構とも原点位置に復帰
する待避工程と、待避工程終了後、ヒータにより加熱さ
れた前記仮プレス機構が前記仮プレス駆動機構により高
速で上昇し、前記セラミックシートのプレスを開始する
と同時に仮プレス機構が微速上昇して最終プレスを行っ
て前記セラミックシートを熱圧着する仮プレス工程とを
含み、前記工程を所定回数行うことにより、上下にそれ
ぞれ所定の数の積層された導体パターンが印刷形成され
ていないカバーシートにより挟み込まれた状態で所定の
数の積層されたセラミックシートを所定の仮プレス力に
より熱圧着して一体化し、セラミック積層体を形成する
ことを特徴とする。

【００１６】さらに、前記供給機構及び第１搬送機構
と、剥離機構と、画像処理機構と、第２搬送機構及び巻
取り機構とからなるセラミックシートフィルム供給搬送
ユニットと、前記セラミックシートフィルム供給搬送ユ
ニットの前方に第１の側面を隣接して配設され、前記積
層機構と仮プレス機構とからなる積層仮プレスユニット
と、前記積層仮プレスユニットの第１の側面と相対側の
第２の側面に隣接して配置され、連続する帯状のキャリ
アフィルムの表面上に導体パターンが印刷形成されてい
ないカバーシートフィルムの適宜なテンションを維持す
るテンション調整機構を備え、カバーシートフィルムを
連続的に供給及び搬送する供給機構及び第１搬送機構
と、前記搬送されたカバーシートフィルムの裏面側に配
設されて、上面にカバーシートフィルムの裏面側を吸着
する吸着機構を備え、先端上方部が適宜な鋭角で形成さ
れた鋭角端部を有し、カバーシートフィルムの裏面側を
固持して待機位置である第１停止位置と所定のカバーシ
ート積層位置である第２停止位置との間を進退自在に移
動する剥離テーブルを備えた剥離機構とからなるカバー
シートフィルム供給搬送ユニットと、前記積層仮プレス
ユニットの第３または第４のいずれかの側面に隣接して
配置され、ヒータを内蔵するとともに前記積層仮プレス
ユニットで一体化形成されて搬送機構により搬送された
積層体内部の気泡を吸引するための真空吸引機構を備え
たプレス台座と、ヒータを内蔵するとともに前記積層体
内部の気泡を吸引するためプレス台座上面を密閉する密
閉機構及び真空吸引機構を備え、積層体を前記仮プレス
機構のプレス力より強大な所定のプレス力により熱圧着
して最終的にセラミック積層体を形成するプレスヘッド
とを備えた積層本プレス機構から構成される積層本プレ
スユニットと、前記セラミックシートフィルム供給搬送
ユニット、カバーシートフィルム供給搬送ユニット、積
層仮プレスユニット及び本プレスユニットの各吸着機構
に真空を供給するための真空発生ユニット等と、上記各
ユニットの操作制御及びモニター用パネルを含む操作制
御ユニットとから構成され、前記積層仮プレスユニット
において積層される積層体は、積層セラミックシートの
上下部がそれぞれ適宜枚数のカバーシートの積層体であ
ることを特徴とする。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の最も好ましい一実
施の形態について、添付図面を参照し詳細に説明する。
図１は、本発明に係る一実施の形態による積層セラミッ
ク部品の積層装置の概念図である。本発明に係る積層セ
ラミックコンデンサ等の積層セラミック部品の積層装置
は、連続する帯状のＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレー
ト）などの材質からなるキャリアフィルム１ｂの表面上
に内部電極となる導体パターンが印刷形成されたセラミ
ックシートフィルム１を連続的に供給及び搬送する供給
機構１１及び第１搬送機構と、搬送されたセラミックシ
ートフィルム１の裏面側に配設されて、上面にセラミッ
クシートフィルム１の裏面側を吸着する吸着機構２６ｄ
を備え、先端上方部が適宜な鋭角で形成された鋭角端部
２６ｅを有し、セラミックシートフィルム１の裏面側を
固持して待機位置である第１停止位置と所定のセラミッ
クシート積層位置である第２停止位置との間を進退自在
に移動する剥離テーブル２６ａを備えた剥離機構２６
と、前記第１停止位置の前方に近接して配置され、下面
にセラミックシート１ａを吸着する吸着機構３３を備え
た積層ヘッド３１ａと、積層ヘッド３１ａの周囲にセラ
ミックシート１ａのみを切断する切断機構３４とを備え
た積層機構３１と、積層ヘッド３１ａの直下に対向して
配設され、上部に図示しないヒータを内蔵するととも
に、積層ヘッド３１ａに押圧することにより積層された
セラミックシート１ａを熱圧着するプレスヘッド３６ａ
を備えた仮プレス機構３６と、剥離機構２６からセラミ
ックシート１ａが切断剥離されたキャリアフィルム１ｂ
を剥離テーブル２６ａの鋭角端部２６ｅに押圧する方向
にキャリアフィルム１ｂを連続的に搬送及び巻取る後述
する第２搬送機構及び巻取り機構２５とを備えている。
吸着機構２６ｄ及び３３は、例えば、適宜大きさの複数
の孔を有する多孔質板などから構成されている。

【００１８】図１０に示すように、剥離テーブル２６ａ
の第１停止位置Ｐ１は鋭角端部２６ｅの先端が積層ヘッ
ド３１ａの手前の位置であり、第２停止位置Ｐ２は鋭角
端部２６ｅの先端が積層ヘッド３１ａの下面を通過した
位置である。

【００１９】供給機構１１及び第１搬送機構は、図１に
示すように、ロール状に回巻されたセラミックシートフ
ィルム１を取付け、図示しないアクチュエータにより駆
動されて順次セラミックシートフィルム１を送り出し供
給するための供給ローラ１１ａを備えた供給機構１１
と、供給機構１１から供給されたセラミックシートフィ
ルム１を案内して搬送する複数のガイドローラ１２、１
３、１５、１６からなる第１搬送機構と、第１搬送機構
の中間に設けられ、セラミックシートフィルム１の適宜
な（例えば、１〜２ｋｇ程度の）テンション（張力）を
維持する第１テンション調整機構１４と、剥離テーブル
２６ａの手前に設けられ、剥離テーブル２６ａの進退動
作に対応して剥離テーブル２６ａの進退方向に進退自在
に移動するように構成され、剥離テーブル２６ａに対し
てセラミックシートフィルム１を絶えず相対的に前進又
は停止するように供給するためのフィードローラ機構１
７とを備えている。

【００２０】第１テンション調整機構１４は、セラミッ
クシートフィルム１の張力を前記適宜一定の力に維持す
るための第１アクチュエータ１４ｃに連結されて、第１
アクチュエータ１４ｃの作動方向に延設された第１ガイ
ド部材１４ｂに案内されて進退自在に移動する第１スラ
イド部材１４ａに取付けられ、セラミックシートフィル
ム１を搬送する第１可動ローラ１４ｄを備えている。ま
た、第１スライド部材１４ａには、第１可動ローラ１４
ｄの位置を検出し制御信号を操作制御ユニットに送るポ
テンショメータなどの第１位置センサ１４ｅが、第１ア
クチュエータ１４ｃと平行して配設されている。

【００２１】フィードローラ機構１７は、剥離テーブル
２６ａの移動方向に延設されたガイドレール部材１７ｂ
に案内されて、剥離テーブル２６ａの進退動作に対応し
て進退自在に移動するようにアクチュエータ１７ｃに連
結されたスライド部材１７ａと、スライド部材１７ａに
取付けられて剥離テーブル２６ａの上面と略一直線上に
セラミックシートフィルム１を搬送する可動ローラ１７
ｄとを備え、可動ローラ１７ｄが常にセラミックシート
フィルム１を前進させる方向に回転するか又は少なくと
も停止するように可動ローラ１７ｄを進退移動させるよ
うに構成されている。このような構成によって、剥離テ
ーブル２６ａの進退動作中に常にセラミックシートフィ
ルム１を剥離テーブル２６ａに対して相対的に後退させ
ることなく、後述の監視機構２７を備えた画像処理機構
とも組合され、セラミックシートフィルム１上のセラミ
ックシート１ａの位置を所定の待機位置である第１の停
止位置Ｐ１に精度よく合せて搬送することができる。

【００２２】第２搬送機構及び巻取り機構２５は、剥離
機構２６の下方に配設され、剥離機構２６からセラミッ
クシート１ａが切断剥離されたキャリアフィルム１ｂを
案内して搬送する複数のガイドローラ１９、２０、２
１、２２、２４からなる第２搬送機構と、第２搬送機構
に隣接して設けられ、キャリアフィルム１ｂを係止する
フィルム係止機構２８、２９と、第２搬送機構の中間に
設けられ、キャリアフィルム１ｂの適宜な（例えば、１
〜２ｋｇ程度の）テンションを維持する第２テンション
調整機構２３と、図示しないアクチュエータにより駆動
されて第２搬送機構により搬送されたキャリアフィルム
１ｂを最終的に巻取るための巻取りローラ２５ａを備え
た巻取り機構２５とを備えている。第２搬送機構のうち
のガイドローラ１９、２０及び２１とフィルム係止機構
２８は、スライド部材２６ｂ上に取付けられており、剥
離テーブル２６ａと共に進退移動する。

【００２３】フィルム係止機構２８、２９は、それぞれ
ガイドローラ１９、２２に隣接して設けられ、図示しな
いアクチュエータによりガイドローラ１９、２２の方向
に係止部材２８ａ、２９ａを押付けてガイドローラ１
９、２２上を搬送されているキャリアフィルム１ｂを係
止する。剥離テーブル２６ａが第１停止位置Ｐ１から第
２停止位置Ｐ２まで前進するときにフィルム係止機構２
８が作動し、剥離機構２６においてキャリアフィルム１
ｂの表面からセラミックシート１ａを切断及び剥離する
過程で、剥離テーブル２６ａが第２停止位置Ｐ２から第
１停止位置Ｐ１の方向に後退するときにフィルム係止機
構２９が作動し、いずれのときもキャリアフィルム１ｂ
が後戻りしないように係止される。

【００２４】第２テンション調整機構２３は、キャリア
フィルム１ｂの張力を前記適宜一定の力に維持するため
の第２アクチュエータ２３ｃに連結されて第２アクチュ
エータ２３ｃの作動方向に延設されたガイド部材２３ｂ
に案内されて進退自在に移動する第２スライド部材２３
ａに取付けられ、キャリアフィルム１ｂを搬送する第２
可動ローラ２３ｄを備えている。また、第２スライド部
材２３ａには、第２可動ローラ２３ｄの位置を検出し制
御信号を操作制御ユニットに送るポテンショメータなど
の第２位置センサ２３ｅが、第２アクチュエータ２３ｃ
と平行して配設されている。

【００２５】前記画像処理機構は、剥離テーブル２６ａ
の上方に近接して積層機構３１の手前に少なくとも２ヶ
所配設され、第１停止位置Ｐ１において、セラミックシ
ートフィルム１上のセラミックシート１ａの位置を規定
する図示しないマークの位置を監視するＣＣＤカメラな
どの監視機構２７、３５と、監視機構２７、３５によっ
て得られたセラミックシート１ａの位置ずれ画像データ
を画像処理してそのずれ量を確認する図示しない画像処
理システムとから構成されている。監視機構２７、３５
は、セラミックシート１ａが例えば四角形のものであれ
ば、その四角形の対角に前記マークも配置されているの
で、その対角に対応して少なくとも１個ずつ配設するの
が望ましい。

【００２６】また、第１停止位置Ｐ１近辺に設けられて
いる図示しないファイバーセンサなどの第１位置検出手
段が、剥離テーブル２６ａ上に搬送されたセラミックシ
ートフィルム１を剥離テーブル２６ａの待機位置である
第１停止位置Ｐ１にセラミックシート１ａに設けられて
いる図示しないストップマークの位置を検出し、第１停
止位置Ｐ１に正確に合せて停止させ待機を行わせる。

【００２７】さらに、第２停止位置Ｐ２近辺に設けられ
ている図示しないファイバーセンサなどの第２位置検出
手段が、剥離テーブル２６ａがセラミックシート積層位
置である第２停止位置Ｐ２まで前進した時にセラミック
シート１ａのストップマークの位置を検出し、第２停止
位置Ｐ２に正確に合せて停止させる。

【００２８】積層機構３１は、その上部に、前記画像処
理機構によって画像処理して確認されたセラミックシー
ト１ａのずれ量を位置補正するアライメント機構３２が
設けられている。

【００２９】アライメント機構３２は、既に市販されて
いる公知のものであり詳細な説明は省略するが、図２及
び図３にそれぞれ構成及び作動の概念図を示すように、
平面配置構造のトップテーブル３２ａとベース３２ｂと
の間の４隅に、平面内水平軸Ｘ１、Ｘ２軸とこれに直交
するＹ軸方向に進退自在に構成されたＸ１、Ｘ２、Ｙ軸
クロスリニアガイド３２ｃ１、３２ｃ２、３２ｃ３とＸ
１、Ｘ２、Ｙ軸クロスローラリング３２ｄ１、３２ｄ
２、３２ｄ３とを組合せたモジュール及び第４クロスロ
ーラリング３２ｄ４が平面配置されている。

【００３０】図１及び図４に示すように、トップテーブ
ル３２ａが積層ヘッド３１ａの上面に取付けられ、ベー
ス３２ｂが仮プレス機構３６の外枠を形成してプレス反
力を支持する仮プレスフレーム３６ｋの天板３６ｋ１に
固定されている。Ｘ１、Ｘ２、Ｙ軸クロスリニアガイド
３２ｃ１、３２ｃ２、３２ｃ３は、それぞれカップリン
グ３２ｅ１、３２ｅ２、３２ｅ３を介してＸ１、Ｘ２、
Ｙ軸モータＭ１、Ｍ２、Ｍ３によってそれぞれＸ１、Ｘ
２、Ｙ軸方向に進退自在に駆動され、図３に示すよう
に、前記３つのモジュールを選択的に駆動することによ
りトップテーブル３２ａに取付けられた積層ヘッド３１
ａを水平面内で適宜Ｘ１、Ｘ２、Ｙ軸移動又は回転さ
せ、前記セラミックシート１ａのずれ量を正確に位置補
正（アライメント）することができる。

【００３１】積層機構３１の積層ヘッド３１ａは、図４
及び図５に示すように、仮プレスフレーム３６ｋ上部の
フレーム天板３６ｋ１と積層ヘッド３１ａとの間に配置
されて、フレーム天板３６ｋ１の下面に垂設された中空
構造の支柱部材３７と、フレーム天板３６ｋ１及び支柱
部材３７の内部に配設されたリニアブッシュなどの軸受
部材３７ｂ、３７ｃ、３７ｄを挿通して設けられ、その
上端に連結されたエアシリンダなどのアクチュエータ３
９により上下方向に僅かに（例えば２ｍｍ程度）進退自
在に移動するロッド部材３１ｂと、ロッド部材３１ｂの
下端部に固設され、積層ヘッド３１ａの上端周囲にロー
ラ取付部材３８ａを介して設けられた少なくとも３個以
上の複数個のボルト付ボールベアなどのローラ部材３８
の下部に配置されてローラの転動面となる板部材３１ｃ
とによって回動自在に支持されている。

【００３２】アクチュエータ３９は、例えば、フレーム
天板３６ｋ１上に図示しない固定部材によりヒンジ連結
されたエアシリンダであり、図４に示すように、エアシ
リンダロッド先端の先端部材３９ａと、中央部がロッド
部材３１ｂの上端の先端部材３１ｄとピンなどの軸部材
３１ｅによってヒンジ結合され、一方の端部がフレーム
天板３６ｋ１の上面に立設された支持部材３１ｇ先端部
とピンなどの軸部材３１ｈによってヒンジ結合されたリ
ンク部材３１ｆの他方の端部とピンなどの軸部材３１ｉ
によってヒンジ結合されている。また、アクチュエータ
３９が作動し、シリンダロッドが下方に伸張したとき、
シリンダロッド先端部材３９ａの下端部に固設されたス
トップ部材３９ｂが、フレーム天板３６ｋ１上面に垂設
された位置決め調整ネジブロック３１ｊに当接して停止
する。この停止位置は、以下に述べるが、剥離テーブル
２６ａが積層位置である第２停止位置Ｐ２に来た時、積
層ヘッド３１ａの下面がセラミックシートフィルム１上
に軟接触してセラミックシート１ａを吸引する第２の停
止位置として、調整ネジブロック３１ｊにより調整され
る。

【００３３】さらに、積層ヘッド３１ａの上端部に、支
柱部材３７の上端部が挿通する中空部３２ｆを有しフレ
ーム天板３６ｋ１の下面に固設されたアライメント機構
３２のベース３２ｂの下部のトップテーブル３２ａと、
上下方向に僅かに（例えば２ｍｍ程度）伸縮自在に構成
された複数個のリニアスライド機構３２ｃを介して係合
されている。そして、積層ヘッド３１ａがアクチュエー
タ３９により上方に引上げられ後退したときは、積層ヘ
ッド３１ａの上面が支柱部材３７の下端面３７ａに当接
するように構成されている。

【００３４】このような構成により、積層ヘッド３１ａ
が上方に後退した状態で仮プレス機構３６が作動してプ
レスされるが、プレス反力は積層ヘッド３１ａから直接
支柱部材３７を経てフレーム天板３６ｋ１に伝わる。す
なわち、精緻な機構であるアライメント機構３２にはプ
レス反力が掛らないように構成されている。

【００３５】なお、アクチュエータ３９は、次の２段階
で作動する。まず初めに、積層機構３１の積層ヘッド３
１ａを僅かに（例えば約１ｍｍ程度）下方のアライメン
ト作動位置である第１の停止位置まで伸展させる。この
第１の停止位置で、前記画像処理機構により確認したセ
ラミックシート１ａのずれ量をアライメント機構３２に
よって位置補正が行われる。次に前記アライメント工程
終了後に、再びアクチュエータ３９が作動して積層積層
ヘッド３１ａを僅かに（例えば約１ｍｍ程度）下方の吸
着位置である第２の停止位置まで伸展させセラミックシ
ートフィルム１上に接触させる。この第２の停止位置
で、積層積層ヘッド３１ａがセラミックシートフィルム
１の表面のセラミックシート１ａを吸着する。

【００３６】切断機構３４は、図６乃至図８に示すよう
に、積層ヘッド３１ａの周囲に沿って配設されたガイド
部材３４ｋに係合して進退自在に移動するスライド部材
３４ｊに配設されたリンク機構３４ｈを介して回転自在
に取付けられてセラミックシート１ｂのみを同時に切断
する複数個のカッタ３４ａと、積層ヘッド３１ａの周囲
に配設されて、スライド部材３４ｊを進退させるため
の、図示しないアクチュエータにより駆動される駆動タ
イミングプーリ３４ｂ、駆動タイミングベルト３４ｄに
係合して駆動される従動タイミングプーリ３４ｃ及び従
動タイミングベルト３４ｅなどから構成された駆動機構
と、カッタ３４ａをリンク機構３４ｈを介して上下移動
するためのアクチュエータ３４ｑと、リンク機構３４ｈ
に取付けられカッタ３４ａを適宜の力で押し下げる方向
に付勢する付勢部材３４ｉとを備えている。

【００３７】カッタ３４ａは、図７及び図８に示すよう
に、スライド部材３４ｊの下方部に突設されたカッタフ
レーム３４ｇの下端部に一端部をピンなどの軸支部材３
４ｎを介してヒンジ結合されたカッタアーム３４ｆの他
端部にピンなどの軸支部材３４ｍを介してリンク機構３
４ｈと共に回転自在にヒンジ結合されている。また、ガ
イド部材３４ｋの下方の積層ヘッド３１ａの周囲に延設
されて、その上部に設けられたアクチュエータ３４ｑに
より上下に進退自在に構成された押下げ部材３４ｒが、
図８に示すように、カッタアーム３４ｆの上部を介して
カッタ３４ａを押し下げるように構成されている。

【００３８】一方、リンク機構３４ｈの上部に取付けら
れた付勢部材３４ｉは、カッタ３４ａがアクチュエータ
３４ｑによりセラミックシート１ａの上面に接するよう
に押し下げられときにはカッタ３４ａを適宜の力で押し
下げる方向に付勢し、その付勢力はセラミックシート１
ａのみを切断するように調整されている。このような構
成により、アクチュエータ３４ｑの過大な押下げ力が直
接カッタ３４ａに伝わらず、キャリアフィルム１ｂまで
切断することのないように付勢部材３４ｉが緩衝の役割
を果たしている。しかし、付勢部材３４ｉは、アクチュ
エータ３４ｑが後退した通常の待機状態では、リンク機
構３４ｈを介してカッタ３４ａを自動的に引上げる方向
に張力が作動するように構成されている。

【００３９】仮プレス機構３６のプレスヘッド３６ａを
駆動する駆動機構は、プレスヘッド３６ａの進退時に高
速移動する高速駆動機構と、最終プレス時に微速移動す
る微速駆動機構とを備え、前記高速及び微速移動の少な
くとも２段に速度制御される。

【００４０】プレスヘッド３６ａの駆動機構は、図１に
示すように、仮プレスフレーム３６ｋに固設されたガイ
ド部材３６ｎに案内されて上下に進退自在なスライド部
材３６ｐに連結されたプレスヘッド３６ａの下部に軸受
部材３６ｅを介して回転自在に連結した動力伝達部材３
６ｈと、動力伝達部材３６ｈの下部に固設されたナット
部材３６ｇとナット部材３６ｇに係合したネジ部材３６
ｃとからなるネジ駆動機構３６ｂと、ネジ部材３６ｃの
下端部に連結されて、ネジ部材３６ｃを回転駆動する第
１モータ３６ｊとからなる高速駆動機構と、図９に示す
ように、動力伝達部材３６ｈと係合する動力減速部材３
６ｉに連結され、ナット部材３６ｇを回転駆動する第２
モータ３６ｍと、第１モータ３６ｊの上部の仮プレスフ
レーム３６ｋに固設され、ネジ部材３６ｃを回転係止す
るネジ部材係止機構３６ｆとからなる微速駆動機構とを
備えている。

【００４１】第２モータ３６ｍを停止することによりナ
ット部材３６ｇを係止した状態で第１モータ３６ｊを作
動させ、ネジ部材３６ｃを回転してプレスヘッド３６ａ
を高速進退させ、最終プレス時には第１モータ３６ｊを
停止すると同時にネジ部材係止機構３６ｆを作動させて
ネジ部材３６ｃを係止した状態で第２モータ３６ｍを作
動させ、ナット部材３６ｇを回転してプレスヘッド３６
ａを微速進長させる。

【００４２】以上の構成により、例えば、プレスヘッド
３６ａの前記高速進退は、ストローク５５ｍｍを０．２
〜０．５秒程度の高速で、微速進長は、０．２ｍｍを約
０．２秒以上から可変の微速に制御される。これは、積
層タクトタイムの短縮を図るためプレスヘッド３６ａを
高速伸張させるが、最終プレス段階で積層セラミックシ
ート１ａ及び／又は後述する導体パターンが印刷形成さ
れていないカバーシートを熱圧着するときにはプレスヘ
ッド３６ａを微速伸張させ、積層セラミックシート１ａ
間及び／又はカバーシート間の空気を充分に追い出して
気泡を巻込まないようにするためである。

【００４３】次に、前記の積層セラミック部品の積層装
置を用いて、セラミックシート１を積層し、熱圧着して
セラミック積層体を形成する本発明の一実施の形態によ
る積層セラミック部品の積層方法について、図１０乃至
図１９を参照して説明する。

【００４４】まず、積層セラミック部品の積層第１工程
は、図１及び図１０に示すように、セラミックシートフ
ィルム１を供給機構１１及び第１搬送機構により適宜の
テンション調整を維持して第１停止位置Ｐ１に待機して
いる剥離テーブル２６ｅ上に連続的に供給及び搬送する
供給及び搬送工程である。このとき、前記第１位置検出
手段によって、剥離テーブル２６ａ上に搬送されたセラ
ミックシートフィルム１を剥離テーブル２６ａの第１停
止位置Ｐ１に番のセラミックシート１ａの位置を正確
に合せて停止させ待機を行わせる。

【００４５】次に、積層第２工程は、図１１に示すよう
に、フィルム係止機構２８の係止部材２８ａが伸展して
にキャリアフィルム１ｂを係止した状態で、セラミック
シートフィルム１の裏面側を剥離テーブル２６ａに吸着
・固持されて、前記第２位置検出手段により積層位置で
ある第２停止位置Ｐ２に正確に合せて移動する前進工程
と、この前進工程の間に、アクチュエータ３９（図４）
が作動して積層機構３１の積層ヘッド３１ａを僅かに
（例えば約１ｍｍ程度）下方のアライメント作動位置で
ある第１の停止位置まで伸展させた状態で、前記画像処
理機構により確認した番のセラミックシート１ａのず
れ量をアライメント機構３２によって位置補正するアラ
イメント工程とを含む前進及びアライメント工程であ
る。

【００４６】次に、積層第３工程は、前記アライメント
工程終了後、図１２に示すように、再びアクチュエータ
３９（図４）が作動して積層積層ヘッド３１ａを僅かに
（例えば約１ｍｍ程度）下方の吸着位置である第２の停
止位置まで伸展させセラミックシートフィルム１上に接
触させて、積層ヘッド３１ａがセラミックシートフィル
ム１の表面の番のセラミックシート１ａを吸着すると
同時に剥離機構３１の吸着が解除される積層機構吸着工
程である。

【００４７】次に、積層第４工程は、図１３に示すよう
に、カッタ機構３４が下降してセラミックシート１ａの
周辺を切断する切断工程である。

【００４８】引続き、積層第５工程は、図１４に示すよ
うに、切断機構３４が上昇する切断機構待避工程であ
る。

【００４９】引続き、積層第６工程は、図１５に示すよ
うに、フィルム係止機構２８の係止部材２８ａが後退し
て係止状態を解除するとともに、フィルム係止機構２９
の係止部材２９ａが伸展してキャリアフィルム１ｂを係
止した状態で、剥離テーブル２６ａが待機位置の第１停
止位置Ｐ１まで後退し、これに伴いセラミックシートフ
ィルム１の表面の番のセラミックシート１ａが剥離さ
れる剥離工程である。このとき、前記第１位置検出手段
によって、図１６に示すように、剥離テーブル２６ａ上
に搬送されたセラミックシートフィルム１を剥離テーブ
ル２６ａの第１停止位置Ｐ１に番のセラミックシート
１ａの位置を正確に合せて停止させ待機を行わせる。

【００５０】次に、積層第７工程は、図１６に示すよう
に、剥離工程終了後、前記フィルム係止機構２９の係止
部材２９ａが後退して係止状態が解除され、アクチュエ
ータ３９（図４）が後退して番のセラミックシート１
ａを吸着した積層ヘッド３１ａを僅かに（例えば約１ｍ
ｍ程度）上方の前記第１の停止位置まで上昇させた状態
で、アライメント機構３２が原点位置に復帰するアライ
メント機構待避工程である。

【００５１】引続き、積層第８工程は、図１７に示すよ
うに、アライメント機構待避工程終了後さらに、積層機
構３１がアクチュエータ３９（図４）の作動により原点
の退避位置まで上昇する積層機構待避工程である。

【００５２】次に、積層第９工程は、図１８に示すよう
に、積層機構待避工程終了後、ヒータにより加熱された
仮プレス機構３６が仮プレス駆動機構により高速で伸張
（上昇）する仮プレス機構高速伸張工程である。

【００５３】引続き、積層第１０工程は、図１９に示す
ように、番のセラミックシート１ａのプレスを開始す
ると同時に仮プレス機構３６が微速伸張（上昇）して最
終プレスを行って番のセラミックシート１ａを熱圧着
する仮プレス工程である。

【００５４】最後に、積層第１１工程は、図示しないが
図１０のように、仮プレス機構３６が待機位置まで高速
で後退（下降）する仮プレス機構待避工程である。な
お、フィルム係止機構２８の係止部材２８ａも後退して
係止状態が解除される。

【００５５】前記工程を順次、、―――番のセラミ
ックシート１ａに対して所定回数繰返し行うことによ
り、上下にそれぞれ所定の数（例えば、４０〜５０枚程
度）の積層された導体パターンが印刷形成されていない
カバーシートにより挟み込まれた状態で所定の数（例え
ば、２００〜４００枚程度）の積層されたセラミックシ
ート１ａを所定（例えば８トン程度）の仮プレス力によ
り熱圧着して一体化し、セラミック積層体を形成する。

【００５６】次に、本発明に係る一実施の形態による積
層セラミック部品の積層システム全体について、添付の
図２０及び図２１を参照して説明する。

【００５７】本発明に係る一実施の形態による積層セラ
ミック部品の積層システムは、図１に示すとともに前記
したように、供給機構１１及び第１搬送機構と、剥離機
構２６と、前記画像処理機構と、第２搬送機構及び巻取
り機構２５とからなるセラミックシートフィルム供給搬
送ユニット１０と、図２０に示すように、セラミックシ
ートフィルム供給搬送ユニット１０の前方に第１の側面
３０ａを隣接して配設され、図１に示すように、積層機
構３１と、仮プレス機構３６とからなる積層仮プレスユ
ニット３０と、積層仮プレスユニット３０の第１の側面
３０ａと相対側の第２の側面３０ｂに隣接して配置さ
れ、いずれも図示しないが図１及び前記のセラミックシ
ートフィルム供給搬送ユニット１０と同様に構成され、
連続する帯状のキャリアフィルムの表面上に導体パター
ンが印刷形成されていないカバーシートフィルムの適宜
なテンションを維持するテンション調整機構を備え、カ
バーシートフィルムを連続的に供給及び搬送する供給機
構及び第１搬送機構と、前記搬送されたカバーシートフ
ィルムの裏面側に配設されて、上面にカバーシートフィ
ルムの裏面側を吸着する吸着機構を備え、先端上方部が
適宜な鋭角で形成された鋭角端部を有し、カバーシート
フィルムの裏面側を固持して待機位置である第１停止位
置と所定のカバーシート積層位置である第２停止位置と
の間を進退自在に移動する剥離テーブルを備えた剥離機
構とからなるカバーシートフィルム供給搬送ユニット７
０と、積層仮プレスユニット３０の第３または第４のい
ずれかの側面（例えば第３の側面３０ｃ）に隣接して配
置され、ヒータ及び真空吸引機構５１ａ、５２ａを内蔵
するとともに、積層仮プレスユニット３０で一体化形成
されて搬送機構により搬送された積層体を仮プレス機構
３６のプレス力より強大な所定（例えば、５０トン程
度）のプレス力により熱圧着して最終的にセラミック積
層体を形成する本プレス機構から構成される積層本プレ
スユニット５０と、セラミックシートフィルム供給搬送
ユニット１０、カバーシートフィルム供給搬送ユニット
７０、積層仮プレスユニット３０及び積層本プレスユニ
ット５０の各吸着機構及び真空吸引機構に真空を供給す
るための真空発生ユニット４０等と、図１に示すような
上記各ユニットの操作制御及びモニター用パネル６１、
を含む操作制御ユニット６０とから構成されている。

【００５８】積層本プレスユニット５０は、図２１に示
すように、上面にヒータを内蔵するとともに、積層仮プ
レスユニット３０で一体化形成されて搬送された前記積
層体を真空吸引するヒータ及び真空吸引機構５１ａを備
えたプレス台座５１と、下面にヒータ及び真空吸引機構
５２ａを内蔵するとともに、プレス台座５１上面に接触
する位置まで下降して前記積層体を密閉して真空吸引す
る密閉機構５２ｂを備え、積層体を前記所定のプレス力
により熱圧着して最終的にセラミック積層体を形成する
プレスヘッド５２とを備えた積層本プレス機構と、その
積層本プレス機構を支えるフレーム台座５４と、前記全
体を覆うカバー５９とからなっている。

【００５９】プレス台座５１は、フレーム台座５４の上
面に固設されている。また、プレスヘッド５２は、フレ
ーム台座５４の上面に立設されたガイド部材５５に案内
されて上下方向に進退自在に移動するスライド部材５６
の中央下面に固設されている。スライド部材５６の中央
上面には、ガイド部材５５の上端にナットなどの固定部
材５８によって固設されたシリンダ取付け部材５７の中
央に取付けられた流体圧シリンダ５３のシリンダロッド
５３ａの先端が連結されている。この流体圧シリンダ５
３により前記所定の強大なプレス力が得られる。

【００６０】積層仮プレスユニット１０において積層さ
れる積層体は、前記したように、積層セラミックシート
１ａの上下部がそれぞれ適宜枚数（例えば、４０〜５０
枚程度）のカバーシートの積層体である。

【００６１】

【発明の効果】以上、詳細に説明した本発明による積層
セラミックコンデンサなどのセラミック積層部品の積層
方法とその装置は、下記のような従来にない優れた効果
を奏する。 （１）積層タクトタイムを短縮化及び省スペース化。積
層機構３１の水平移動をなくし、剥離機構２６のセラミ
ックシート１ａの大きさに近い最小限距離の水平移動に
よるセラミックシートフィルム１の搬送及びセラミック
シート１ａの剥離を行うこと（省スペース化）と、仮プ
レス機構３６の高速及び微速制御の採用による高速プレ
スを可能にしたこととによって、セラミックシート１枚
当りのタクトタイムを、例えば前記従来の約６〜７秒か
ら３．８秒に大幅に短縮化した。

【００６２】（２）積層精度を向上。比較的重量構造の
積層機構３１の水平移動をなくし、剥離機構２６の水平
移動によるセラミックシートフィルム１の搬送を行うよ
うにしたことと、フィードローラ機構１７により常にセ
ラミックシートフィルム１を剥離テーブル２６ａに対し
て相対的に後退させることなく、前記画像処理機構とも
組合され、セラミックシートフィルム１上のセラミック
シート１ａの位置を所定の待機位置である第１の停止位
置Ｐ１に精度よく合せて搬送することと、アライメント
機構３２によりセラミックシート１ａのずれ量を最終的
に正確に位置補正することとによって、セラミックシー
ト積層時の精度を、例えば前記従来の約１０μｍ程度か
ら５μｍ以内に大幅に向上させた。

【００６３】（３）積層セラミックシートへの気泡巻込
み及び皺発生を防止。仮プレス機構３６の高速及び微速
制御の採用による最終的な微速プレスを可能にしたこと
によって、積層セラミックシート１ａ間及び／又はカバ
ーシート間の空気を充分に追い出して気泡を巻込まない
ようにするとともに、これによってセラミックシートに
皺が発生しないようにした。

【００６４】（４）セラミックシートの薄膜化要求に対
応可能。以上の構成と効果等によって、セラミックシー
トの厚さを、例えば前記従来の限界である５μｍ以上か
ら２〜３．５μｍの薄膜化の要求に充分対応可能となっ
た。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る一実施の形態による積層セラミッ
ク部品の積層装置の概念図である。

【図２】図１のＡ−Ａ矢視、アライメント機構の概念図
である。

【図３】アライメント機構の作動概念図である。

【図４】図１のＦ部（積層機構支持構造）の詳細図であ
る。

【図５】図４のＧ−Ｇ矢視図（積層機構支持構造部）で
ある。

【図６】図１のＢ−Ｂ矢視図（カッタ機構の概念図）で
ある。

【図７】図６のＤ−Ｄ矢視図（カッタ機構の概念図）で
ある。

【図８】図７のＥ−Ｅ矢視図（カッタ機構の概念図）で
ある。

【図９】図１のＣ−Ｃ矢視図（仮プレス機構の概念図）
である。

【図１０】本発明の積層セラミック部品の積層装置によ
る積層セラミック部品の積層第１工程図（供給及び搬送
工程図）である。

【図１１】本発明の積層セラミック部品の積層装置によ
る積層セラミック部品の積層第２工程図（前進及びアラ
イメント工程図）である。

【図１２】本発明の積層セラミック部品の積層装置によ
る積層セラミック部品の積層第３工程図（積層機構吸着
工程図）である。

【図１３】本発明の積層セラミック部品の積層装置によ
る積層セラミック部品の積層第４工程図（切断工程図）
である。

【図１４】本発明の積層セラミック部品の積層装置によ
る積層セラミック部品の積層第５工程図（切断機構待避
工程図）である。

【図１５】本発明の積層セラミック部品の積層装置によ
る積層セラミック部品の積層第６工程図（剥離工程図）
である。

【図１６】本発明の積層セラミック部品の積層装置によ
る積層セラミック部品の積層第７工程図（アライメント
機構待避工程図）である。

【図１７】本発明の積層セラミック部品の積層装置によ
る積層セラミック部品の積層第８工程図（積層機構待避
工程図）である。

【図１８】本発明の積層セラミック部品の積層装置によ
る積層セラミック部品の積層第９工程図（仮プレス機構
高速伸張工程図）である。

【図１９】本発明の積層セラミック部品の積層装置によ
る積層セラミック部品の積層第１０工程図（仮プレス工
程図）である。

【図２０】本発明に係る一実施の形態による積層セラミ
ック部品の積層システムの概念平面図である。

【図２１】図２０のＦ−Ｆ矢視、本プレス機構の概念図
である。

【図２２】従来の積層セラミック部品の積層装置（第１
の例）の概念図である。

【図２３】従来の積層セラミック部品の積層装置（第２
の例）の概念図である。

【符号の説明】

１、８０ セラミックシートフィルム １ａ、８０ａ セラミックシート １ｂ、８０ｂ キャリアフィルム １０ セラミックシートフィルム供給搬送ユニット １１、８１ 供給機構 １２、１３、１５、１６、１８、１９、２０、２１、２
２、２４、２９、８２搬送機構（ガイドローラ） １４ 第１テンション調整機構 １４ａ 第１スライド部材 １４ｂ 第１ガイド部材 １４ｃ 第１アクチュエータ １４ｄ 第１可動ローラ １４ｅ 第１位置センサ １７ フィードローラ機構 １７ａ、２６ｂ、３４ｊ、３４ｐ、３６ｐ、５６ スラ
イド部材 １７ｂ、２６ｃ、３４ｋ、３６ｎ、５５ ガイド部材 １７ｃ、２６ｆ 、３４ｑ、３９ アクチュエータ １７ｄ 可動ローラ ２３ 第２テンション調整機構 ２３ａ 第２スライド部材 ２３ｂ 第２ガイド部材 ２３ｃ 第２アクチュエータ ２３ｄ 第２可動ローラ ２３ｅ 第２位置センサ ２５、８３ 巻取り機構 ２６ 剥離機構 ２６ａ 剥離テーブル ２６ｄ、３３、８５ 吸着機構 ２６ｅ 鋭角端部 ２７、３５ 監視機構（ＣＣＤカメラ） ２８ 第１フィルム係止機構 ２８ａ、２９ａ 係止部材 ２９ 第２フィルム係止機構 ３０ 積層仮プレス装置ユニット ３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ 第１、第２、第３、
第４の側面 ３１ 積層機構 ３１ａ 積層ヘッド ３１ｂ ロッド部材 ３１ｃ 板部材 ３１ｄ、３９ａ 先端部材 ３１ｅ、３１ｈ、３１ｉ 軸部材 ３１ｆ リンク部材 ３１ｇ 支持部材 ３２ アライメント機構 ３２ａ トップテーブル ３２ｂ ベース ３２ｃ１、３２ｃ２、３２ｃ３ Ｘ１軸、Ｘ２軸、Ｙ軸
クロスリニアガイド ３２ｄ１、３２ｄ２、３２ｄ３ Ｘ１軸、Ｘ２軸、Ｙ軸
クロスローラリング ３２ｄ４ 第４クロスローラリング ３２ｅ リニアスライド機構 ３２ｆ 中空部 ３４ 切断機構 ３４ａ、８６ カッタ ３４ｂ 従動タイミングプーリ ３４ｃ 駆動タイミングプーリ ３４ｄ 駆動タイミングベルト ３４ｅ 従動タイミングベルト ３４ｆ カッタアーム ３４ｇ カッタフレーム ３４ｈ リンク機構 ３４ｉ 付勢部材 ３４ｍ カッタ軸 ３４ｒ 押下げ部材 ３６ 仮プレス機構 ３６ａ、５２ プレスヘッド ３６ｂ ネジ駆動機構 ３６ｃ ネジ部材 ３６ｅ、３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ 軸受部材 ３６ｆ ネジ部材係止機構 ３６ｇ ナット部材 ３６ｈ 動力伝達部材 ３６ｉ 動力減速部材 ３６ｊ 第１モータ ３６ｋ 仮プレスフレーム ３６ｋ１ フレーム天板 ３６ｍ 第２モータ ３７ 支柱部材 ３７ａ 下端面 ３８ ローラ部材 ３８ａ ローラ取付け部材 ４０ 真空発生ユニット ５０ 本プレス装置ユニット ５０ａ 流体圧ユニット ５１ プレス台座 ５１ａ、５２ａ ヒータ及び真空吸引機構 ５２ｂ 密閉機構 ５３ 流体圧シリンダ ５３ａ シリンダロッド ５４ フレーム台座 ５５ ガイド部材 ５７ シリンダ取付け部材 ５８ 固定部材 ５９ カバー ６０ 操作制御ユニット ６１ 制御パネル ６２ 操作パネル ７０ カバーシート供給装置ユニット ８４ 移送機構 ８７ 吸着・切断機 ８８ プレス機 ８９ 剥離台 Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３ Ｘ１軸、Ｘ２軸、Ｙ軸モータ Ｐ１ 第１停止位置（待機位置） Ｐ２ 第２停止位置（積層位置）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5E082 AB03 BC38 EE04 EE35 FG06 FG26 LL01 LL02 MM11 MM12 MM13 MM15 MM21 MM22 MM23 MM24

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 連続する帯状のキャリアフィルムの表面
   上に内部電極となる導体パターンが印刷形成されたセラ
   ミックシートフィルムを連続的に供給及び搬送する供給
   機構及び第１搬送機構と、 前記搬送されたセラミックシートフィルムの裏面側に配
   設されて、上面にセラミックシートフィルムの裏面側を
   吸着する吸着機構を備え、先端上方部が適宜な鋭角で形
   成された鋭角端部を有し、セラミックシートフィルムの
   裏面側を固持して待機位置である第１停止位置と所定の
   セラミックシート積層位置である第２停止位置との間を
   進退自在に移動する剥離テーブルを備えた剥離機構と、 前記第１停止位置の前方に近接して配置され、下面に前
   記セラミックシートを吸着する吸着機構を備えた積層ヘ
   ッドと、積層ヘッドの周囲にセラミックシートを切断す
   る切断機構とを備えた積層機構と、 前記積層ヘッドの直下に対向して配設され、上部にヒー
   タを内蔵するとともに、前記積層ヘッドに押圧すること
   により積層されたセラミックシートを熱圧着するプレス
   ヘッドを備えた仮プレス機構と、 前記剥離機構からセラミックシートが切断剥離されたキ
   ャリアフィルムを前記剥離テーブルの鋭角端部に押圧す
   る方向に連続的に搬送及び巻取る第２搬送機構及び巻取
   り機構とを備え、 前記剥離テーブルの第１停止位置は前記鋭角端部先端が
   積層ヘッドの手前の位置であり、第２停止位置は前記鋭
   角端部先端が積層ヘッドの下面を通過した位置であるこ
   とを特徴とする積層セラミック部品の積層装置。
2. 【請求項２】 前記供給機構及び第１搬送機構は、 ロール状に回巻された前記セラミックシートフィルムを
   取付け、アクチュエータにより駆動されて順次セラミッ
   クシートフィルムを送り出し供給するための供給ローラ
   を備えた供給機構と、 供給機構から供給された前記セラミックシートフィルム
   を案内して搬送する複数のガイドローラからなる第１搬
   送機構と、 第１搬送機構の中間に設けられ、前記セラミックシート
   フィルムの適宜なテンションを維持する第１テンション
   調整機構と、 前記剥離テーブルの手前に設けられ、剥離テーブルの進
   退動作に対応して剥離テーブルの進退方向に進退自在に
   移動するように構成され、剥離テーブルに対してセラミ
   ックシートフィルムを絶えず相対的に前進又は停止する
   ように供給するためのフィードローラ機構とを備え、 前記第２搬送機構及び巻取り機構は、 前記剥離機構の下方に配設され、剥離機構からセラミッ
   クシートが切断剥離されたキャリアフィルムを案内して
   搬送する複数のガイドローラからなる第２搬送機構と、 第２搬送機構に隣接して設けられ、前記キャリアフィル
   ムを係止する少なくとも１つのフィルム係止機構と、 第２搬送機構の中間に設けられ、前記キャリアフィルム
   の適宜なテンションを維持する第２テンション調整機構
   と、 アクチュエータにより駆動されて第２搬送機構により搬
   送されたキャリアフィルムを最終的に巻取るための巻取
   りローラを備えた巻取り機構とを有することを特徴とす
   る請求項１に記載の積層セラミック部品の積層装置。
3. 【請求項３】 前記フィードローラ機構は、 アクチュエータに連結されて前記剥離テーブルの移動方
   向に剥離テーブルの進退動作に対応して進退自在に移動
   するように構成されたスライド部材と、 前記スライド部材に取付けられて前記剥離テーブルの上
   面と略一直線上にセラミックシートフィルムを搬送する
   可動ローラとを備え、 前記可動ローラが常にセラミックシートフィルムを前進
   させる方向に回転するか又は停止するように可動ローラ
   を進退移動させるように構成したことを特徴とする請求
   項２に記載の積層セラミック部品の積層装置。
4. 【請求項４】 前記第１テンション調整機構は、 前記セラミックシートフィルムの張力を適宜一定の力に
   維持するための第１アクチュエータに連結されて第１ア
   クチュエータの作動方向に進退自在に移動する第１スラ
   イド部材に取付けられ、セラミックシートフィルムを搬
   送する第１可動ローラを備え、 前記第２テンション調整機構は、 前記キャリアフィルムの張力を適宜一定の力に維持する
   ための第２アクチュエータに連結されて第２アクチュエ
   ータの作動方向に進退自在に移動する第２スライド部材
   に取付けられ、キャリアフィルムを搬送する第２可動ロ
   ーラを備えたことを特徴とする請求項２に記載の積層セ
   ラミック部品の積層装置。
5. 【請求項５】 前記積層機構の積層ヘッドは、 前記仮プレス機構の外枠を形成してプレス反力を支持す
   る仮プレスフレーム上部のフレーム天板と積層ヘッドと
   の間に配置されて、フレーム天板の下面に垂設された中
   空構造の支柱部材と、 前記フレーム天板及び支柱部材を挿通して設けられ、そ
   の上端に連結されたアクチュエータにより上下方向に進
   退自在に移動するロッド部材と、 ロッド部材の下端部に固設され、積層ヘッドの上端周囲
   に設けられた複数個のローラ部材の下部に配置されてロ
   ーラの転動面となる板部材とによって回動自在に支持さ
   れるとともに、 積層ヘッドの上端部に、前記支柱部材の上端部が挿通す
   る中空部を有しフレーム天板の下面に固設された前記ア
   ライメント機構と、上下方向に伸縮自在に構成された複
   数個のリニアスライド機構を介して係合され、 積層ヘッドが上方に後退したときは、積層ヘッドの上面
   が前記支柱部材の下端面に当接するように構成されてい
   ることを特徴とする請求項５に記載の積層セラミック部
   品の積層装置。
6. 【請求項６】 前記仮プレス機構のプレスヘッドを駆動
   する駆動機構は、 プレスヘッドの進退時に高速移動する高速駆動機構と、 最終プレス時に微速移動する微速駆動機構とを備え、 前記高速及び微速移動の少なくとも２段に速度制御され
   ることを特徴とする請求項１に記載の積層セラミック部
   品の積層装置。
7. 【請求項７】 前記プレスヘッドの駆動機構は、 前記仮プレスフレームに固設されたガイド部材に案内さ
   れて上下に進退自在なスライド部材に連結された前記プ
   レスヘッドの下部に軸受部材を介して回転自在に連結し
   た動力伝達部材と、前記動力伝達部材の下部に固設され
   たナット部材とそのナット部材に係合したネジ部材とか
   らなるネジ駆動機構と、前記ネジ部材の下端部に連結さ
   れて、ネジ部材を回転駆動する第１モータとからなる高
   速駆動機構と、 前記動力伝達部材と係合する動力減速部材に連結され、
   前記ナット部材を回転駆動する第２モータと、前記第１
   モータの上部の仮プレスフレームに固設され、ネジ部材
   を回転係止するネジ部材係止機構とからなる微速駆動機
   構とを備え、 前記第２モータを停止することにより前記ナット部材を
   係止した状態で第１モータを作動させ前記ネジ部材を回
   転して前記プレスヘッドを高速進退させ、前記最終プレ
   ス時には第１モータを停止すると同時に前記ネジ部材係
   止機構を作動させてネジ部材を係止した状態で第２モー
   タを作動させ前記ナット部材を回転して前記プレスヘッ
   ドを微速進長させることを特徴とする請求項７に記載の
   積層セラミック部品の積層装置。
8. 【請求項８】 前記請求項１乃至請求項７に記載の積層
   セラミック部品の積層装置を用いて、導体パターンを印
   刷形成したセラミックシートを積層し、熱圧着してセラ
   ミック積層体を形成する積層セラミック部品の積層方法
   において、 前記セラミックシートフィルムを前記供給機構及び第１
   搬送機構により適宜のテンション調整を維持して連続的
   に供給及び搬送する供給及び搬送工程と、 前記セラミックシートフィルムをその裏面側が前記剥離
   機構に吸着・固持されて前記積層位置に移動する前進工
   程と、 前記前進工程の間に、前記画像処理機構により確認した
   セラミックシートのずれ量を前記アライメント機構によ
   って位置補正するアライメント工程と、 前記前進工程終了後、前記積層機構が前記セラミックシ
   ートフィルム上に下降してセラミックシートフィルムの
   表面のセラミックシートを吸着すると同時に前記剥離機
   構の吸着が解除されるとともに、前記カッタ機構が下降
   して前記セラミックシートの周辺を切断する切断工程
   と、 切断工程終了後、前記切断機構が上昇すると同時に前記
   フィルム係止機構により前記キャリアフィルムを係止し
   た状態で、前記剥離機構が前記待機位置まで後退し、こ
   れに伴い前記セラミックシートフィルムの表面のセラミ
   ックシートが剥離される剥離工程と、 剥離工程終了後、前記フィルム係止機構が解除され、前
   記セラミックシートを吸着した積層機構が上昇するとと
   もに、前記アライメント機構とも原点位置に復帰する待
   避工程と、 待避工程終了後、ヒータにより加熱された前記仮プレス
   機構が前記仮プレス駆動機構により高速で上昇し、前記
   セラミックシートがプレスを開始すると同時に仮プレス
   機構が微速上昇して最終プレスを行って前記セラミック
   シートを熱圧着する仮プレス工程とを含み、 前記工程を所定回数行うことにより、上下にそれぞれ所
   定の数の積層された導体パターンが印刷形成されていな
   いカバーシートにより挟み込まれた状態で所定の数の積
   層されたセラミックシートを所定の仮プレス力により熱
   圧着して一体化し、セラミック積層体を形成することを
   特徴とする積層セラミック部品の積層方法。
9. 【請求項９】 前記供給機構及び第１搬送機構と、剥離
   機構と、画像処理機構と、第２搬送機構及び巻取り機構
   とからなるセラミックシートフィルム供給搬送ユニット
   と、 前記セラミックシートフィルム供給搬送ユニットの前方
   に第１の側面を隣接して配設され、前記積層機構と仮プ
   レス機構とからなる積層仮プレスユニットと、 前記積層仮プレスユニットの第１の側面と相対側の第２
   の側面に隣接して配置され、連続する帯状のキャリアフ
   ィルムの表面上に導体パターンが印刷形成されていない
   カバーシートフィルムの適宜なテンションを維持するテ
   ンション調整機構を備え、カバーシートフィルムを連続
   的に供給及び搬送する供給機構及び第１搬送機構と、 前記搬送されたカバーシートフィルムの裏面側に配設さ
   れて、上面にカバーシートフィルムの裏面側を吸着する
   吸着機構を備え、先端上方部が適宜な鋭角で形成された
   鋭角端部を有し、カバーシートフィルムの裏面側を固持
   して待機位置である第１停止位置と所定のカバーシート
   積層位置である第２停止位置との間を進退自在に移動す
   る剥離テーブルを備えた剥離機構とからなるカバーシー
   トフィルム供給搬送ユニットと、 前記積層仮プレスユニットの第３または第４のいずれか
   の側面に隣接して配置され、ヒータを内蔵するとともに
   前記積層仮プレスユニットで一体化形成されて搬送機構
   により搬送された積層体内部の気泡を吸引するための真
   空吸引機構を備えたプレス台座と、ヒータを内蔵すると
   ともに前記積層体内部の気泡を吸引するためプレス台座
   上面を密閉する密閉機構及び真空吸引機構を備え、積層
   体を前記仮プレス機構のプレス力より強大な所定のプレ
   ス力により熱圧着して最終的にセラミック積層体を形成
   するプレスヘッドとを備えた積層本プレス機構から構成
   される積層本プレスユニットと、 前記セラミックシートフィルム供給搬送ユニット、カバ
   ーシートフィルム供給搬送ユニット、積層仮プレスユニ
   ット及び本プレスユニットの各吸着機構に真空を供給す
   るための真空発生ユニット等と、 上記各ユニットの操作制御及びモニター用パネルを含む
   操作制御ユニットとから構成され、 前記積層仮プレスユニットにおいて積層される積層体
   は、積層セラミックシートの上下部がそれぞれ適宜枚数
   のカバーシートの積層体であることを特徴とする積層セ
   ラミック部品の積層システム。