JP2002151350A - 薄膜積層体の製造方法および製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数種類の薄膜シートを効率よく積層してい
くことができる薄膜積層体の製造方法および製造装置を
提供する。 【解決手段】 可撓性基体に載置されて搬送される薄膜
シートを所定サイズに裁断し、かつ積層して薄膜積層体
を製造する薄膜積層体の製造するものであって、複数種
類の薄膜シートを各可撓性基体に載置して搬送するとと
もに、前記各可撓性基体上で薄膜シートを裁断して積層
位置まで搬送するシート裁断搬送手段により、各種薄膜
シートを裁断して同一の前記積層位置で所望の枚数・順
序で積層する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は薄膜積層体の製造方
法および製造装置に関する。さらに詳しくは、キャリア
フィルムなどの可撓性基体に成形される複数種類の薄膜
シートを所定寸法に裁断し積層して積層コンデンサなど
の薄膜積層体を製造する薄膜積層体の製造方法および製
造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、ＬＳＩパッケージ用基板、多
層配線基板および積層コンデンサ（チップコンデンサ）
などの薄膜積層体を製造する薄膜積層体の製造方法とし
て、キャリアフィルムと称される帯状の可撓性基体表面
にいわゆるテープ成形法によりグリーンシート（セラミ
ック生シート）を連続的に成形し、このグリーンシート
を所定サイズに裁断するとともに、裁断された各シート
にパターン印刷などにより電極パターンを形成しかつ各
シートを圧着積層して、薄膜積層体を製造する薄膜積層
体の製造方法が行われている。

【０００３】このような薄膜積層体の製造方法におい
て、特に積層コンデンサを製造する際には、同一の外形
寸法でコンデンサの容量を調節するために、電極パター
ンが形成された各グリーンシート（以下、電極シートと
称する）の間に電極パターンが形成されていないグリー
ンシート、いわゆるダミーシートを挟み込んで容量を変
化させるようにされている。

【０００４】図６および図７に、従来知られている薄膜
積層体の製造装置の一例を示す（特開平１０−２８４３
４６号公報参照）。この製造装置Ａ´は、電極パターン
が所定間隔で印刷されたグリーンシート（電極シート）
Ｇ´が表面に連続的に成形されているキャリアフィルム
Ｆ´を巻出装置１０１にセットし、このキャリアフィル
ムＦ´を巻出装置１０１から捲き出し、ロール群１０２
により裁断台１０３上まで所定長さずつ送って、この裁
断台１０３上でシート裁断搬送ヘッド１０４により電極
シートＧ´を所定寸法に裁断し、裁断された各電極シー
トＧ´を裁断搬送ヘッド１０４により吸着把持して積層
台１０５上方まで搬送し、この積層台１０５上で各電極
シートＧ´を所定枚数圧着・積層して積層体Ｓ´を形成
していくものとされる。

【０００５】また、この積層装置Ａ´においてダミーシ
ートを積層する際には、図７に示すように、積層体Ｓ´
をダミーシート積層位置１０６までコンベヤ（不図示で
ある）により搬送し、ダミーシート供給装置１０７によ
り供給されるダミーシートを積層体Ｓ´の上に所定枚数
載置した後、コンベヤ１１９，１２０，１２１により再
び積層台１０５上まで搬送し、この積層台１０５上で残
りの電極シートＧ´を積層していくようにしている。

【０００６】このように前記従来の積層装置Ａ´におい
てダミーシートを電極シートＧ´の間に挟み込んで積層
するような場合は、積層体Ｓ´を別の積層位置１０６に
移動させて積層し、ダミーシート積層後再び積層体Ｓ´
を元の積層位置１０５に戻して電極シートＧ´を積層し
ていくようにしており、このことが効率向上の障害とな
る場合があるという問題がある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる従来技
術の課題に鑑みなされたものであって、複数種類の薄膜
シートを効率よく積層していくことができる薄膜積層体
の製造方法および製造装置を提供することを目的として
いる。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の薄膜積層体の製
造方法は、可撓性基体に載置されて搬送される薄膜シー
トを所定サイズに裁断し、かつ積層して薄膜積層体を製
造する薄膜積層体の製造方法であって、少なくとも二つ
の薄膜シートを積層位置を挟んで対向配置し、複数種類
の薄膜シートを各可撓性基体に載置して搬送するととも
に、前記各可撓性基体上で薄膜シートを裁断して前記積
層位置までねじ駆動により搬送するシート裁断搬送手段
により、各種薄膜シートを裁断して同一の前記積層位置
で所望の枚数・順序で積層することを特徴とする。

【０００９】本発明の薄膜積層体の製造方法において
は、シート裁断搬送手段を薄膜シートの種類に対応する
数設け、各シート裁断搬送手段を各種薄膜シートの裁断
・搬送に割り当てるようにしてもよい。

【００１０】また、本発明の薄膜積層体の製造方法にお
いては、シート裁断搬送手段により各種薄膜シートを裁
断し前記積層位置まで搬送するときの位置決めが、シー
ト裁断搬送手段に支持されシート裁断搬送手段と連動し
て一体的に移動するようにされた位置決め機構によりな
されるのも好ましい。

【００１１】一方、本発明の薄膜積層体の製造装置は、
可撓性基体に載置されて搬送される薄膜シートを所定サ
イズに裁断し、かつ積層して薄膜積層体を製造する薄膜
積層体の製造装置であって、複数種類の薄膜シートを各
可撓性基体に載置して搬送する基体搬送手段と、前記各
可撓性基体上で薄膜シートを裁断して積層位置までねじ
駆動により搬送する少なくとも一つのシート裁断搬送手
段と、シート裁断搬送手段が、各種薄膜シートを裁断す
るとともに同一の前記積層位置で所望の枚数・順序で積
層していくよう制御する制御手段とを備え、前記基体搬
送手段の少なくとも二つが前記積層位置を挟んで対向配
置されてなることを特徴とする。

【００１２】本発明の薄膜積層体の製造装置において
は、シート裁断搬送手段が薄膜シートの種類に対応する
数設けられ、制御手段が各シート裁断搬送手段を各種薄
膜シートの裁断・搬送に割り当てて制御するようされて
なるのが好ましい。

【００１３】また、本発明の薄膜積層体の製造装置にお
いては、シート裁断搬送手段により各種薄膜シートを裁
断し前記積層位置まで搬送するときの位置決めをする位
置決め機構を備え、前記位置決め機構が、裁断搬送手段
に支持され裁断搬送手段と連動して一体的に移動するよ
うされてもよい。

【００１４】

【作用】本発明は前記の如く構成されているので、複数
種類の薄膜シートがシート裁断搬送手段により裁断され
同一の積層位置まで搬送され積層されるので、効率を容
易に向上させることができる。また、シート裁断搬送手
段を各種薄膜シートに対応させて設けることにより、さ
らに効率よく薄膜シートを積層していくことも可能とな
る。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら本
発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる
実施形態のみに限定されるものではない。

【００１６】図１および図２に、本発明の一実施形態に
係る薄膜積層体の製造方法が適用される製造装置Ａの概
略構成を示し、この製造装置Ａは、薄膜積層体としての
例えば積層コンデンサ（チップコンデンサ）を製造する
薄膜積層体の製造装置であって、セラミック材料からな
る矩形状の多数の電極パターンが形成された厚さ５μｍ
程度の所定寸法のグリーンシート（以下、電極シートと
いう）Ｇを圧着・積層していくとともに、コンデンサ容
量の調整などのために、電極パターンの形成されていな
いセラミック材料からなる厚さ５０μｍ程度のグリーン
シート、いわゆるダミーシートＤを各電極シートＧの間
に積層して積層体Ｓを形成していくものとされる。

【００１７】すなわち、製造装置Ａは、電極シートＧが
表面に連続的に成形されたキャリアフィルムＦＧおよび
ダミーシートＤが表面に連続的に成形されたキャリアフ
ィルムＦＤをそれぞれ所定長さずつ送るように搬送す
る、各シートＧ，Ｄと対応する系統数の（本実施形態で
は２系統の）フィルム搬送機構１０と、フィルム搬送機
構１０により搬送されるキャリアフィルムＦＧ、ＦＤ上
の各シートＧ、Ｄを所定寸法に裁断し各キャリアフィル
ムＦＧ、ＦＤから剥離して、積層位置まで搬送する、各
シートＧ，Ｄと対応する系統数の（本実施形態では２系
統の）シート裁断搬送機構２０と、シート裁断搬送機構
２０が各シートＧ、Ｄを裁断する裁断位置および裁断し
た各シートＧ、Ｄを積層する積層位置の位置決めをする
位置決め機構３０と、裁断搬送機構２０により裁断・搬
送された各シートＧ、Ｄを圧着・積層する圧着積層機構
４０と、これら各機構を制御する制御装置５０とを主要
構成要素としてなる。

【００１８】ここで、キャリアフィルムＦＧ，ＦＤは、
二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（ポリエ
ステルフィルム）または二軸延伸ポリプロピレンフィル
ムなどの可撓性を有する硬質樹脂材料から形成される。
つまり、キャリアフィルムＦＧ，ＦＤは、可撓性基体と
される。

【００１９】また、電極シートＧおよびダミーシートＤ
を構成するグリーンシートは、各種セラミック誘電体粉
末、樹脂バインダーや可塑剤、界面活性剤（分散剤）お
よび有機溶剤からなるスラリーをキャリアフィルムＦ表
面にドクターブレードを用いて薄く塗布し乾燥させて、
連続的に成形されたものとされる。

【００２０】電極シートＧには、パラジウム、銀、ニッ
ケルなどの金属粉を含む導電材が矩形状の電極パターン
として例えばスクリーン印刷法により印刷されるととも
に、位置決め機構４０による位置決めを実行する際のタ
ーゲットとなる位置決め用マーク（不図示である）が所
定間隔で印刷される。

【００２１】フィルム搬送機構１０は、電極シートＧが
成形されたキャリアフィルムＦＧを搬送する電極シート
フィルム搬送機構１０Ａと、ダミーシートＤが成形され
たキャリアフィルムＦＤを搬送するダミーシートフィル
ム搬送機構１０Ｂとからなる。各フィルム搬送機構１０
Ａ、１０Ｂはそれぞれ、各シートＧ、Ｄが表面に成形さ
れたキャリアフィルムＦＧ、ＦＤがセットされ、各キャ
リアフィルムＦＧ、ＦＤを送り出す巻出装置１１と、キ
ャリアフィルムＦＧ、ＦＤを吸着して裁断位置としての
剥離テーブル１２Ａ、１２Ｂに所定長さずつ送るように
回転するサクションロール１３と、サクションロール１
３により送られる各キャリアフィルムＦＧ、ＦＤの搬送
経路をガイドする複数のガイドロール１４と、各シート
Ｇ、Ｄが裁断され剥離された後のキャリアフィルムＦ
Ｇ、ＦＤを巻き取る巻取装置１５と、搬送途中のキャリ
アフィルムＦＧ、ＦＤの張力を一定に保つための複数の
テンションロール１６とから構成されている。

【００２２】裁断搬送機構２０は、キャリアフィルムＦ
Ｇ、ＦＤ上の各シートＧ、Ｄを裁断し積層位置まで搬送
する、各シートＧ、Ｄと対応する数の（本実施形態では
２個の）シート裁断搬送ヘッド２１Ａ、２１Ｂと、この
シート裁断搬送ヘッド２１Ａ、２１Ｂを裁断位置と積載
位置との間で移動させるボールねじ２２とから構成され
る。

【００２３】各シート裁断搬送ヘッド２１Ａ、２１Ｂは
それぞれ、キャリアフィルムＦＧ、ＦＤ表面の各シート
Ｇ、Ｄを裁断位置としての剥離テーブル１２Ａ、１２Ｂ
上で所定寸法に裁断する平刃２１ａ（図３〜図５参照）
と、平刃２１ａを駆動するエアシリンダ２１ｂと、平刃
２１ａにより所定寸法に裁断された各シートＧ、Ｄを吸
着把持する吸着盤２１ｃとを有するものとされる。ま
た、各剥離テーブル１２Ａ、１２Ｂは、積層位置として
のプレステーブル４１（後出）を間に挟んで、各剥離テ
ーブル１２Ａ、１２Ｂおよびプレステーブル４１が直線
的に並ぶように配設される。つまり、積層位置を挟んで
対向配置されている。なお、本実施形態ではサイクルタ
イムの短縮の観点からシート裁断搬送ヘッド２１Ａ、２
１Ｂを用いたダブルヘッドされているが、構成の簡素化
を図る場合には、単一ヘッドとされてもよい。

【００２４】ボールねじ２２は、電極シートＧを裁断搬
送する電極シート裁断搬送ヘッド２１Ａを裁断位置とし
ての剥離テーブル１２Ａ上方と積層位置としてのプレス
テーブル４１上方との間で移動可能とするとともに、ダ
ミーシートＤを裁断搬送するダミーシート裁断搬送ヘッ
ド２１Ｂを裁断位置としての剥離テーブル１２Ｂ上方と
積層位置としてのプレステーブル４１上方との間で移動
可能とするように配設されるボールねじ軸２２ａと、ボ
ールねじ軸２２ａを制御装置５０からの指令に応じて回
転させるサーボモータ２２ｂと、ボールねじ軸２２ａが
摺動摩擦熱により熱膨張して伸縮したときの影響を吸収
するようにサーボモータ２２ｂの回転軸とボールねじ軸
２２ａとを接続する軸継手２２ｃとから構成される。

【００２５】また、本製造装置Ａには、各シートＧ、Ｄ
をシート裁断搬送ヘッド２１Ａ、２１Ｂにより裁断する
前に、各シートＧ、Ｄを所定幅とするように縦方向に裁
断するための縦方向裁断機構２３Ａ、２３Ｂが設けられ
るものとされる。各縦方向裁断機構２３Ａ、２３Ｂはそ
れぞれ、各シートＧ、Ｄを例えばサクションロール１３
上で切断する２つの円板刃２３ａと、各円板刃２３ａを
下方向に付勢するバネ２３ｂと、円板刃２３ａおよびバ
ネ２３ｂを支持する支持具２３ｃと、支持具２３ｃを切
断位置と待機位置との間で昇降させるエアシリンダ２３
ｄとから構成される。

【００２６】位置決め機構３０は、電極シートＧ上に印
刷された前記位置決め用マークを撮像するＣＣＤ撮像装
置３１と、このＣＣＤ撮像装置３１により撮像された画
像データに強調処理やノイズ除去処理などの所定の画像
処理を行う画像処理部３２と、画像処理部３２により処
理された画像データに基づいて、電極シート裁断搬送ヘ
ッド２１Ａをボールねじ２２により裁断位置としての剥
離テーブル１２Ａ上方まで移動させる際の移動量を補正
するとともに、電極シート裁断搬送ヘッド２１Ａを剥離
テーブル１２Ａ上方から積層位置としてのプレステーブ
ル４１上方まで移動させる際の移動量を補正する移動量
補正部３３とから構成される。画像処理部３２および移
動量補正部３３は制御装置５０により構成されるものと
される。

【００２７】ここで、ＣＣＤ撮像装置３１は、電極シー
ト裁断搬送ヘッド２１Ａと一体的に移動するように裁断
搬送ヘッド２１Ａに支持具３１ａにより直接的に支持さ
れるものとされ、これによりボールねじ軸２２ａの熱膨
張に起因する位置決め誤差を解消して、精度良く各シー
トＧ、Ｄを積層していくことが可能とされる（特願平１
１−２２６２１４号参照）。なお、ＣＣＤ撮像装置３１
は、剥離テーブル１２Ａ上方に固定して設置するものと
することも可能である。

【００２８】圧着積層機構４０は、所定寸法に裁断され
た各シートＧ、Ｄを積層してなる積層体Ｓが形成されて
いく積層位置としてのプレステーブル４１と、プレステ
ーブル４１の鉛直上下方向および水平方向の位置を調節
するテーブル位置補正機構４２と、このプレステーブル
４１を昇降させる油圧シリンダ４３とから構成され、油
圧シリンダ４３によりプレステーブル４１を上方に押し
上げるようにしてシート裁断搬送ヘッド２１により吸着
把持されている各シートＧ、Ｄを積層体Ｓに圧着積層す
るものとされる。

【００２９】また、積層体Ｓは、図２に示すように、キ
ャリアプレート供給装置４４から供給され、コンベア４
５ａによりプレステーブル４１に搬送・載置されるキャ
リアプレートＰ上に形成されていくものとされる。キャ
リアプレートＰは、上面に低粘着性または熱剥離性の糊
が塗布されており、これによって積層体Ｓが表面に貼り
付けられるとともに、積層体ＳをキャリアプレートＰか
ら取外す際にも各シートを損傷することなく剥がすこと
が可能なように離型処理が施されたものとされる。な
お、キャリアプレートＰ上面に直接糊を塗布するのでは
なく、例えば低粘着性または熱剥離性の糊が塗布された
両面接着シートをキャリアプレートＰ上に貼付して、こ
の上に各シートＧ，Ｄを積層圧着していく構成としても
良い。

【００３０】プレステーブル４１上で積層体Ｓが形成さ
れたキャリアプレートＰは、コンベア４５ｂにより本圧
着プレス４６まで搬送され、必要に応じて本圧着された
後、コンベア４５ｃによりキャリアプレート収納装置４
７まで搬送され収納される。制御装置５０は、ＣＰＵ
（中央演算処理装置、不図示である）と、製造装置Ａを
制御するための各種プログラム記憶するＲＯＭ、および
ＣＰＵにより演算処理される各種データを記憶するＲＡ
Ｍからなる記憶装置とを備え、フィルム搬送機構１０、
シート裁断搬送機構２０および圧着積層機構４０を制御
する制御部５１を構成するとともに、画像処理部３２お
よび移動量補正部３３を構成するものとされる。制御部
５１は、移動量補正部３３の出力信号に応じて電極シー
ト裁断搬送ヘッド２１Ａを移動させる際の移動量を調整
する。

【００３１】次に、かかる構成の製造装置Ａの動作を以
下に説明する。

【００３２】（１）積層体Ｓを構成する電極シートおよ
びダミーシートを積層していく順序・枚数を予め制御装
置５０の記憶装置に記憶させておく。通常は、積層体Ｓ
上下に設けられるカバーシートの一方として、ダミーシ
ートをキャリアプレートＰ上に所定枚数積層し、その上
に所望のコンデンサ容量に応じた割合で電極シートおよ
びダミーシートを積層させるように指示する。さらにそ
の上にカバーシートの他方として、ダミーシートを所定
枚数積層するよう指示される。

【００３３】（２）電極シートＧを積層する場合

【００３４】（２−１）図３に示すように、電極シート
Ｇを積層する場合は、ＣＣＤ撮像装置３１により剥離テ
ーブル１２Ａ上の電極シートＧの位置決め用マークを撮
像し、撮像され画像処理部３２により画像処理された画
像データに基づいて、移動量補正部３３により、電極シ
ート裁断搬送ヘッド２１Ａを剥離テーブル１２Ａ上方ま
で移動させる際の移動量を補正し、この補正された移動
量にしたがってボールねじ軸２２ａを回転させる。

【００３５】（２−２）図４に示すように、剥離テーブ
ル１２Ａ上で、エアシリンダ２１ｂにより平刃２１ａを
鉛直下方に駆動して電極シートＧを裁断し、吸着盤２１
ｃにより裁断された電極シートＧを吸着する。この状態
で、剥離テーブル１２ＡをキャリアフィルムＦＧの送り
方向と逆方向（図４に矢印Ｋで示す）に移動させて電極
シートＧをキャリアフィルムＦＧから剥離する。

【００３６】（２−３）図５に示すように、電極シート
Ｇを吸着把持した状態の電極シート裁断搬送ヘッド２１
Ａをプレステーブル４１上方まで移動させ、油圧シリン
ダ４３によりプレステーブル４１を上昇させて、積層体
Ｓを電極シート裁断搬送ヘッド２１Ａに吸着把持されて
いる電極シートＧに圧接させ、この状態で吸着盤２１ｃ
による吸着を解除して、電極シートＧを積層体Ｓに積層
する。

【００３７】（３）ダミーシートを積層する場合

【００３８】（３−１）ダミーシートＤを積層する場合
は、ダミーシート裁断搬送ヘッド２１Ｂを剥離テーブル
１２Ｂ上方の裁断位置に移動させ、前記手順（２−２）
と同様にして、ダミーシートＤを裁断しキャリアフィル
ムＦＤから剥離する。

【００３９】（３−２）ダミーシートＤを吸着把持した
状態のダミーシート裁断搬送ヘッド２１Ｂを剥離テーブ
ル１２Ｂ上方の積載位置まで移動させ、油圧シリンダ４
３によりプレステーブル４１を上昇させて、裁断搬送ヘ
ッド２１Ａに吸着把持されているダミーシートＤを積層
体Ｓに圧着積層する。

【００４０】（４）カバーシートを積層すべき場合

【００４１】（４−１）カバーシートを積層すべき場合
は、ダミーシート裁断搬送ヘッド２１Ｂを剥離テーブル
１２Ｂ上方の裁断位置に移動させ、前記手順（２−２）
と同様にして、ダミーシートＤを裁断しキャリアフィル
ムＦＤから剥離する。

【００４２】（４−２）ダミーシートＤを吸着把持した
状態のダミーシート裁断搬送ヘッド２１Ｂを剥離テーブ
ル１２Ｂ上方の積載位置まで移動させ、油圧シリンダ４
３によりプレステーブル４１を上昇させて、ダミーシー
ト裁断搬送ヘッド２１Ｂに吸着把持されているダミーシ
ートＤをキャリアプレートＰまたは積層体Ｓに圧着積層
する。

【００４３】このように、本実施形態の製造装置Ａは、
電極シートＧおよびダミーシートＤの各種シートに対応
させて、各シートＧ，Ｄが載置されるキャリアフィルム
ＦＧ，ＦＤを搬送する各フィルム搬送機構１０Ａ、１０
Ｂを設けるとともに、対応する数のシート裁断搬送ヘッ
ド２１Ａ、２１Ｂを設け、各シート裁断搬送ヘッド２１
Ａ、２１Ｂにより電極シートＧおよびダミーシートＤを
それぞれ裁断し、同一の積層位置に搬送して、圧着積層
していくようにしているので、電極シートＧの積層途中
でダミーシートＤを積層し、再び電極シートＧを積層し
ていくような場合に効率よく積層体Ｓを形成していくこ
とができる。

【００４４】また、各シート裁断搬送ヘッド２１Ａ、２
１Ｂは一体的に連動して移動するよう構成されているの
で、各シート裁断搬送ヘッド２１Ａ、２１Ｂ相互の干渉
を防止するような特別の動作プログラムを組む必要がな
く、制御を簡略化することができる。

【００４５】さらにまた、裁断位置としての各剥離テー
ブル１２Ａ，１２Ｂおよび積層位置としてのプレステー
ブル４１が直線的に並ぶように配設されているので、各
シート裁断搬送ヘッド２１Ａ、２１Ｂを同一の軸上で動
かすことが可能となり、各シート裁断搬送ヘッド２１
Ａ、２１Ｂの移動機構２２を共用のものとすることが容
易となる。

【００４６】さらにまた、位置決め機構としてのＣＣＤ
撮像装置３１を電極シート裁断搬送ヘッド２１Ａに支持
させて、裁断搬送ヘッド２１Ａと一体的に連動して移動
するようされているので、ボールねじ軸２２ａの熱膨張
に起因する位置決め誤差を解消して、精度良く電極シー
トＧを裁断・積層していくことが可能となる。

【００４７】なお、本実施形態の製造装置Ａにより製造
される薄膜積層体の例としては、積層セラミックコンデ
ンサ、積層セラミックバリスタ、積層セラミックレジス
タ、積層圧電アクチュエータ、圧電トランス、積層セラ
ミック基板などの積層セラミック製品が挙げられるが、
本発明の薄膜積層体の製造方法がセラミック以外の材料
からなるものの製造に適用可能であることはいうまでも
ない。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、複数種
類の薄膜シートを各可撓性基体に載置して搬送するとと
もに、前記各可撓性基体上で薄膜シートを裁断し同一の
積層位置まで搬送し積層するようにしているので、各種
薄膜シートを効率よく積層していくことができるという
優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る薄膜積層体の製造装
置の概略構成を示す正面図である。

【図２】本発明の一実施形態に係る薄膜積層体の製造装
置の概略構成を示す平面図である。

【図３】本発明の一実施形態に係る薄膜積層体の製造装
置の動作を説明する説明図である。

【図４】本発明の一実施形態に係る薄膜積層体の製造装
置の動作を説明する説明図である。

【図５】本発明の一実施形態に係る薄膜積層体の製造装
置の動作を説明する説明図である。

【図６】従来の薄膜積層体の製造装置の概略構成を示す
正面図である。

【図７】従来の薄膜積層体の製造装置の概略構成を示す
平面図である。

【符号の説明】

Ａ 製造装置 Ｄ ダミーシート Ｆ キャリアフィルム Ｇ 電極シート １０ フィルム搬送機構 ２０ シート裁断搬送機構 ２１ シート裁断搬送ヘッド ２２ ボールねじ ３０ 位置決め機構 ３１ ＣＣＤ撮像装置 ３３ 移動補正部 ４０ 圧着積層機構 ５０ 制御装置

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 可撓性基体に載置されて搬送される薄膜
   シートを所定サイズに裁断し、かつ積層して薄膜積層体
   を製造する薄膜積層体の製造方法であって、 少なくとも二つの薄膜シートを積層位置を挟んで対向配
   置し、 複数種類の薄膜シートを各可撓性基体に載置して搬送す
   るとともに、前記各可撓性基体上で薄膜シートを裁断し
   て前記積層位置までねじ駆動により搬送する少なくとも
   一つのシート裁断搬送手段により、各種薄膜シートを裁
   断して同一の前記積層位置で所望の枚数・順序で積層す
   ることを特徴とする薄膜積層体の製造方法。
2. 【請求項２】 シート裁断搬送手段を薄膜シートの種類
   に対応する数設け、各シート裁断搬送手段を各種薄膜シ
   ートの裁断・搬送に割り当てることを特徴とする請求項
   １記載の薄膜積層体の製造方法。
3. 【請求項３】 シート裁断搬送手段により各種薄膜シー
   トを裁断し前記積層位置まで搬送するときの位置決め
   が、シート裁断搬送手段に支持されシート裁断搬送手段
   と連動して一体的に移動するようにされた位置決め機構
   によりなされることを特徴とする請求項２記載の薄膜積
   層体の製造方法。
4. 【請求項４】 可撓性基体に載置されて搬送される薄膜
   シートを所定サイズに裁断し、かつ積層して薄膜積層体
   を製造する薄膜積層体の製造装置であって、 複数種類の薄膜シートを各可撓性基体に載置して搬送す
   る基体搬送手段と、 前記各可撓性基体上で薄膜シートを裁断して積層位置ま
   でねじ駆動により搬送する少なくとも一つのシート裁断
   搬送手段と、 シート裁断搬送手段が、各種薄膜シートを裁断するとと
   もに同一の前記積層位置で所望の枚数・順序で積層して
   いくよう制御する制御手段とを備え、 前記基体搬送手段の少なくとも二つが前記積層位置を挟
   んで対向配置されてなることを特徴とする薄膜積層体の
   製造装置。
5. 【請求項５】 シート裁断搬送手段が薄膜シートの種類
   に対応する数設けられ、制御手段が各シート裁断搬送手
   段を各種薄膜シートの裁断・搬送に割り当てて制御する
   ようされてなることを特徴とする請求項４記載の薄膜積
   層体の製造装置。
6. 【請求項６】 シート裁断搬送手段により各種薄膜シー
   トを裁断し前記積層位置まで搬送するときの位置決めを
   する位置決め機構を備え、前記位置決め機構が、裁断搬
   送手段に支持され裁断搬送手段と連動して一体的に移動
   するようされてなることを特徴とする請求項５記載の薄
   膜積層体の製造装置。