JPH0418795A - グリーンシートの積層装置 - Google Patents

グリーンシートの積層装置

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JPH0418795A
JPH0418795A JP12249190A JP12249190A JPH0418795A JP H0418795 A JPH0418795 A JP H0418795A JP 12249190 A JP12249190 A JP 12249190A JP 12249190 A JP12249190 A JP 12249190A JP H0418795 A JPH0418795 A JP H0418795A
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green sheet
green
sheet
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handler
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Tatsuo Saegusa
達男 三枝
Tsutomu Tamura
田村 務
Yukio Kato
幸男 加藤
Jun Matsueda
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  • Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (概要〕 グリーンシートに重ねられた保護紙とマイラシートとを
剥離することで、積層テーブルに位置決め、積層を行う
グリーンシートの積層装置に関し、人手を介することな
く、製造の省力化を図ると共に、品質の向上を図ること
を目的とし、上面に保護紙を、下面にマイラシートをそ
れぞれ重ねることで形成されたグリーンシーI・を積載
するトレイと、該l・レイを収納するホッパ部と、該ホ
ッパ部から該1−レイを引き出すよう該ホッパ部に併設
される給排テーブルと、該給排テーブルに隣接されるこ
とで該グリーンシーl−を位置決めし、積層を行う積層
テーブルと、該ホッパ部および該積層テーブルを制御す
る制御部とを備え、該トレイの引き出しによって該給排
テーブルに送出された該グリーンシートから該保護紙を
除去し、該制御部の制御によりハンドラ機構のハンドラ
を駆動さ−U、該ハンドラによって該グリーンシー]−
を吸着保持することで該トレイを該ホッパ部に戻し、該
制御部の制御により剥離機構が駆動され、該グリーンシ
ーI・から該マイラシートの剥離を行い、該マイラシー
トの剥離後、該グリーンシートが該ハンドラ機構により
該給排テーブルから該積層テーブルに移送され、該積層
テーブルに於いて該グリーンシートの積層が行われるよ
うに構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明はグリーンシートに重ねられた保護紙とマイラシ
ーI・とを剥離することで、積層テーブルに位置決め、
積層を行うグリーンシートの積層装置に関する。
近年、電子装置に広く用いられる多層基板としては、セ
ラミック材による基板が使用されるようになった。
そこで、このようなセラミック材による多層基板を製造
する場合は、所定のパターンが形成されたグリーンシー
トを逐次位置決めすることで積層し、積層後、焼成する
ことで形成される。
したがって、グリーンシートの積層に際しては、それぞ
れのグリーンシートに形成されたパターンに位置ずれが
生じることのないように行われることが重要となる。
(従来の技術〕 従来は第6図の従来の説明図に示すように形成され“ζ
いた。第6図の(a)は斜視図、(b)は位置決めの説
明図である。
第6図の(a)に示すように、台板61に積載されたグ
リーンシー目を吸着ハンド60にて吸着保持し、XY子
テーブルOAに吸着プレート40Cを固着することで形
成された積層テーブル40の直上に移送し、グリーンシ
ート1を所定の位置に位置決めし、吸着ハンド60を降
下させ、吸着ハンド60の吸着保持を開放させ、グリー
ンシー目を吸着プレート40Cに積層させるように構成
されていた。
また、積層テーブル40には支持具40Bによって支持
されたカメラ400が設げられ、吸着ハンド60の貫通
穴60Aを通して吸着保持されたグリーンシート1のマ
ークを読み取り、位置決めが行われるように形成されて
いる。
この場合の位置決めは、(b)に示すように、グリーン
シート1の所定個所に導電相によって形成されたビアに
背面側から光を照射し、貫通穴60Aを通したカメラ4
00からの画像を処理、映像化することでビアが黒色部
1八となる個所を読み取り、黒色部IAが中心点Cに合
致させるようXY子テーブル 40Aを微動させることで行われる。
そこで、実際にグリーンシート1を積層する場合は、先
づ、積層すべきグリーンシー目を台板61に載せ、グリ
ーンシー目に重ねられた保護紙およびマイラシートを人
手によって剥がし、吸着ハンド60によって吸着保持し
、矢印^のように積層テーブル40に移送し、前述の位
置決め後、吸着ハンド60を降下させ、積層テーブル4
0にグリンシートIを積層することが行われる。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかし、このようなグリーンシー1−1に重ねられた保
護紙およびマイラシートを人手によって剥がずことでは
、十分に取扱を注意しなければグリーンシート1を損傷
させることになり、また、積層テーブル40に積層され
たグリンシート1は、積層された互いのグリンシート1
の間が固着されていないため、外力が加わることで簡単
に位置ずれが生じる。
したがって、積層作業にはグリーンシート1の取り扱い
に熟練した多くの人手を要し、また、積層時にグリンシ
ーHの位置決めを行っても、積層後、位置ずれが生じる
問題を有していた。
そこで、本発明では、人手を介することなく、製造の省
力化を図ると共に、品質の向上を図ることを目的とする
〔課題を解決するための手段〕
第1図は本発明の原理説明図である。
第1図に示すように、上面に保護紙3を、下面にマイラ
シート2をそれぞれ重ねることで形成されたグリーンシ
ー1〜1を積載するトレイ11と、該トレイ11を収納
するホッパ部IOと、該ホッパ部工0から該トレイ11
を引き出ずよう該ホッパ部10に側設される給排テーブ
ル12と、該給排テーブル12に隣接されることで該グ
リーンシー1−1を位置決めし、積層を行う積層テーブ
ル40と、該ホッパ部10および該積層テーブル40を
制御する制御部50とを備え、該トレイ11の引き出し
によって該給排テーブル12に送出された該グリーンシ
ー目から該保製紙3を除去し、該制御部50の制御によ
りハンドラ機構30のハンドラ31を駆動させ、該ハン
ドラ31によって該グリーンシート1を吸着保持するこ
とで該トレイ11を該ホッパ部10に戻し、該制御部5
0の制御により剥離機構20が駆動され、該グリーンシ
ート1から該マイラシート2の剥離を行い、該マイラシ
ート2の剥離後、該グリーンシート1が該ハンドラ機構
30により該給排テーブル12から該積層テーブル40
に移送され、該積層テーブル40に於いて該グリーンシ
ー目の積層が行われるように構成する。
このように構成することによって前述の課題は解決され
る。
〔作用〕
即ち、ホッパ部10に収納されたトレイ11を給排テー
ブル12に引き出し、トレイ11に重ねられた保護紙3
を除去し、ハンドラ31によってトレイ11に積載され
たグリーンシート1を挟持、保持し、トレイ11を再度
ホッパ部10に収納することで、剥離機構20を駆動さ
せ、グリーンシーl司の下面に重ねられたマイラシート
2の剥離を行い、更に、マイラシート2の剥離後、グリ
ーンシーhlをハンドラ機構30によって積層テーブル
40に移送させ、位置決めを行い、ハンドラ31による
グリーンシート1の吸着、保持を開放させ、積層テーブ
ル40に於いてグリーンシート1の積層が行われるよう
にしたものである。
また、この場合のグリーンシー1−1の積層に際しては
、先に積層されたグリーンシート1に接着剤塗布機構に
よって接着剤が塗布され、次に、積層されるグリーンシ
ート1が先に積層されたグリーンシート1に固着される
したがって、従来のような人手による作業は不要となり
、また、積層後の位置ずれを防止することが行え、積層
作業の省力化および品質の向−)1が図れることになる
〔実施例〕
以下本発明を第2図〜第4図を参考に詳細に説明する。
第2図は本発明による一実施例の斜視図第3図は本発明
のフローチャート図、第4図は本発明の剥離機構の説明
図で、(a)は平面図5(b)は斜視図、(C)は剥離
の説明図、第5図は本発明の接着剤塗布機構の説明図で
、(a)は斜視図、 (bl) (b2)は接着剤の塗
布説明図である。全図を通じて、同一符号は同一対象物
を示す。
第2図に示すように、給排テーブル12を介してホッパ
部10と、積層テーブル40とを併設し、給排テーブル
12には剥離機構20を設け、給排テーブル12と、積
層テーブル40との間にはハンドラ31を走行するハン
ドラ機構30が配設されるように構成されたものである
また、ホンパ部10にはトレイ11に積載されグリーン
シー目を所定ピンチPによって保持するパッケージ13
が収納され、内設された昇降機構10Bによって矢印F
4方向に昇降されるように形成されている。
この場合、グリーンシート1の上面には保護紙3が、下
面にはマイラシー1・2がそれぞれ重ねられている。
そこで、屑降機構10Bの上昇によって積層すべきグリ
ーンシート1の積載されたトレイ11を給徘口1〇八に
合致させ、l・レイ11を給排口1〇八から給排テーブ
ル12に矢印F1に示す方向に引き出され、先づ、ハン
ドラ31によってグリーンシー1−1の−に面の保護紙
3を吸着し、保護紙3を給排テーブル12に併設された
ダストシュー1・21に移送することで保護紙3の除去
を行い、次に1、ハンドラ31によってグリーンシート
1を吸着し、トレイ11から離すように保持を行う。
この場合、グリーンシート1の下面にはマイラシート2
が貼り付いた状態で保持されている。
このようなグリーンシート1の吸着、保持によって空と
なったl・レイ11は給排口1.OAから矢印F1の方
向と逆方向に押し込まれ、パッケージ13に戻される。
また、グリーンシート1を吸着、保持したハン牛 ドラ31は弟分図の(a)に示ずよ・うに90°の角度
に回動され、給排テーブル12と、吸着、保持されたグ
リーンシート1との間に剥離機構20を矢印F2の方向
に走行させ、グリーンシート1のコーナ部1^に位置さ
せることで停止させる。
剥離機構20は(b)に示すように、矢印F2の方向に
往復運動するキャリッジ20F と、キャリッジ20F
に固着された支持具20Gによって回転自在に支持され
たローラ2〇八 と、爪20を有するチャック機構20
0とによって形成されおり、ローラ2OAに設けられた
吸着バット20Bによってグリーンシート1のコーナ部
IAを吸着し、(c)に示すように矢印Eのように回転
させることで、グリーンシー目に貼り付けられていたマ
イラシート2をほぼ垂直に曲げ起こしの状態にすること
が行える。
但し、この場合、コーナ部1八に於けるマイラシー1−
2を予め剥がし、吸着パラ) 20Bの吸着によって曲
げ起こしが容易なようにする必要がある。
そこで、チャック機構200を矢印l、の方向に移動さ
せ、爪20Eの矢印り方向の駆動によってマイラシート
2を挟持する。
このように爪20Hによってマイラシート2を挟持後、
キャリッジ20Fを矢印F2と逆方向に走行させ、グリ
ーンシート1の対角方向にマイラシート2を剥離する。
また、剥離されたマイラシート2は給排テーブルX2に
併設されたダストシュート21に落とし込まれる。
一方、マイラシート2が剥離されたグリーンシー1−1
はハンドラ31が前述の90°の角度を逆方向に回動さ
れることで元の状態にし、ハンドラ機構30の駆動によ
り、ハンドラ31を給排テーブル12から積層テーブル
40の直上に移送するよう矢印F3の方向に走行される
積層テーブル40には前述と同様のカメラ400が設り
られ、ハンドラ31の貫通穴31Aを通して、グリーン
シート1のマークを検出し、XY子テーブル0への位置
調整によって位置決めを行う。
このようにして位置決めされたグリーンシートlはハン
ドラ31の降下により、吸着テーブル40Cに積載され
るように開放される。
ざ また、積層テーブル40の周囲には第4図の(a)に示
ずローラ41Aによって張架されたチェーン41Bによ
って移送されるキャリア4ICに接着剤51を滴下する
ノズル41Dを備えることで形成された接着剤塗布機構
41が設けられている。
そこで、先に、吸着テーブル40Gに積層されたグリー
ンシート1−1に対しては、(bl)に示すように、ノ
ズル4LDの先端から接着剤51を所定量滴下する。こ
の場合、チェーン41Bが矢印の方向に所定間隔て走行
され、グリーンシート1−1の周囲には所定の間隔で接
着剤51の塗布が行われる。
この塗布は、次に積層されるグリーンシート12が移送
される間に行われ、次に積層されるグリーンシーH−2
の積層時は、(h2)に示すように、グリーンシー1−
L2の積層に支障を来すことのないよう、ノズル411
〕が退避するように配慮されている。
また、この場合の接着剤51としては、事務用ノリとし
て市販されている透明のノリで支障なく接着可能である
ことが確認されている。
尚、このような積層では、積層テーブル40に治具を載
せることで、グリーンシート1の積層を行うと、積層後
はその治具の引き出しによって積層されたグリーンシー
ト1をそのままの状態で容易に取り出しが行え、しかも
、治具によって直に焼成炉に運搬することが行え、便利
である。
このように構成すると、グリーンシート1の積層は、内
設された制御部50によって第3図のフローチャート図
に示す制御により自動的に行うことができる。
始めに1.ホッパ部10にはグリーンシー目がトレイ1
1に積載されたパンケージ13をセットする。
この場合、一つのパッケージ13には約70枚のグリー
ンシート1が収納されるように形成されている。
パッケージ13をセット後ば、スタートの指令により積
層が開始される。
先づ、セットされたパッケージ13の昇降により積層す
べきグリーンシート1を積載したトレイが所定個所に位
置され、給排テーブル12に引き出され、保護紙3の除
去により、グリーンシー目がハンドラ31によって吸着
保持される。このグリーンシー1−1の吸着、保持によ
って空になったトレイ11をパッケージ13に戻すと共
に、マイラシート2の剥離を行う。
マイラシート2の剥離後は、ハンドラ機構30の走行に
より積層テーブル40の直上にグリーンシー]・1を移
送し、XY子テーブル0Aの駆動とカメラ40Dの映像
とにより位置調整を行い、グリーンシー目を位置決めす
ることで積層を行う。
次に、積層されたグリーンシー目の枚数が確認され、更
にグリーンシー目の積層が必要の場合は、接着剤の塗布
を行うと共に、次のグリーンシート1の取り込みを行う
ようパッケージ13の昇降させ、以下同様の順序によっ
て次のグリーンシート1を積層テーブル40の直上に移
送する。
このようにして逐次グリーンシート1の積層を行い、グ
リーンシート1の積層が所定数に達した時は、積層指令
が取り消され、終了となる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、グリーンシート
を供給するホッパ部と、グリーンシートからマイラシー
トを剥離する剥離機構と、グリーンシートを吸着、保持
し、積層テーブルに移送するハンドラ機構と、接着剤を
塗布する接着剤塗布機構とを備えることで、グリーンシ
ートが積層テーブルに於いて逐次積層されるようにする
ことができる。
したがって、従来のよ・うな、人手を必要とせず、しか
も、接着剤によりグリーンシートの積層が固着されるこ
とで積層後の位置ずれを防止することができ、積層作業
の省力化および品質の向]−が図れ、実用的効果は大で
ある。
【図面の簡単な説明】
第3図は本発明のフローチャート図 第4図は本発明の剥離機構の説明図で、(a)は平面図
、(b)は斜視図、(C)は剥離の説明図第5図は本発
明の接着剤塗布機構の説明図で、(a)は斜視図、 (
bl) (b2)は接着剤の塗布説明図。 第6図は従来の説明図で、(a)は斜視図、(b)は位
置決めの説明図を示す。 図において、 1はグリーンシート、   2マイラシート。 3は保護紙、10はホッパ一部 11はトレイ、12は給排テーブル 20は剥離機構、30はハンドラ機構。 31はハンドラ、40は積層テーブル。 41は接着剤塗布機構、   50は制御部を示す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 〔1〕上面に保護紙(3)を、下面にマイラシート(2
    )をそれぞれ重ねることで形成されたグリーンシート(
    1)を積載するトレイ(11)と、該トレイ(11)を
    収納するホッパ部(10)と、該ホッパ部(10)から
    該トレイ(11)を引き出すよう該ホッパ部(10)に
    併設される給排テーブル(12)と、該給排テーブル(
    12)に隣接されることで該グリーンシート(1)を位
    置決めし、積層を行う積層テーブル(40)と、該ホッ
    パ部(10)および該積層テーブル(40)を制御する
    制御部(50)とを備え、 該トレイ(11)の引き出しによって該給排テーブル(
    12)に送出された該グリーンシート(1)から該保護
    紙(3)を除去し、該制御部(50)の制御によりハン
    ドラ機構(30)のハンドラ(31)が駆動され、該ハ
    ンドラ(31)によって該グリーンシート(1)を吸着
    保持することで該トレイ(11)を該ホッパ部(10)
    に戻し、該制御部(50)の制御により剥離機構(20
    )が駆動され、該グリーンシート(1)から該マイラシ
    ート(2)の剥離を行い、該マイラシート(2)の剥離
    後、該グリーンシート(1)が該ハンドラ機構(30)
    により該給排テーブル(12)から該積層テーブル(4
    0)に移送され、該積層テーブル(40)に於いて該グ
    リーンシート(1)の積層が行われることを特徴とする
    グリーンシートの積層装置。 〔2〕請求項1記載の前記ホッパ部(10)には前記グ
    リーンシート(1)を積載した前記トレイ(11)の複
    数個が所定ピッチで収納され、前記給排、テーブル(1
    2)に一旦引き出された該トレイ(11)が再度収納れ
    ることで次ぎの該トレイ(11)の引き出しが行われる
    よう前記制御部(50)の制御により該トレイ(11)
    が該所定ピッチによって上昇されることを特徴とするグ
    リーンシートの積層装置。 〔3〕請求項1記載の前記制御部(50)の制御により
    前記ハンドラ(31)が前記給排テーブル(12)に於
    いて90゜回動され、前記剥離機構(20)が前記マイ
    ラシート(2)の所定のコーナ部を挟持し、前記グリー
    ンシート(1)の対角方向に走行することで該マイラシ
    ート(2)の剥離を行うことを特徴とするグリーンシー
    トの積層装置。 〔4〕請求項1記載の前記積層テーブル(40)に移送
    された前記グリーンシート(1)に接着剤を滴下し、次
    ぎに移送される該グリーンシート(1)を固着させるよ
    う前記制御部(50)によって制御される接着剤塗布機
    構(41)が該積層テーブル(40)の周囲に配設され
    ることを特徴とするグリーンシートの積層装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6572830B1 (en) 1998-10-09 2003-06-03 Motorola, Inc. Integrated multilayered microfludic devices and methods for making the same
US6592696B1 (en) * 1998-10-09 2003-07-15 Motorola, Inc. Method for fabricating a multilayered structure and the structures formed by the method
JP2009246273A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Tdk Corp グリーンシート積層装置および積層型電子部品の製造装置
CN109230793A (zh) * 2018-07-08 2019-01-18 东莞市联洲知识产权运营管理有限公司 一种方便更换基材卷轴的Mylar剥离装置

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