JPH0780171B2

JPH0780171B2 - グリーンシートの積層装置

Info

Publication number: JPH0780171B2
Application number: JP12249190A
Authority: JP
Inventors: 達男三枝; 務田村; 幸男加藤; 準松枝
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1990-05-11
Filing date: 1990-05-11
Publication date: 1995-08-30
Anticipated expiration: 2010-08-30
Also published as: JPH0418795A

Description

【発明の詳細な説明】〔概要〕グリーンシートに重ねられた保護紙とマイラシートとを
剥離することで、積層テーブルに位置決め、積層を行う
グリーンシートの積層装置に関し、人手を介することなく、製造の省力化を図ると共に、品
質の向上を図ることを目的とし、上面に保護紙を、下面にマイラシートをそれぞれ重ねる
ことで形成されたグリーンシートを積載するトレイと、
該トレイを収納するホッパ部と、該ホッパ部から該トレ
イを引き出すよう該ホッパ部に併設される給排テーブル
と、該給排テーブルに隣接されることで該グリーンシー
トを位置決めし、積層を行う積層テーブルと、該ホッパ
部および該積層テーブルを制御する制御部とを備え、該
トレイの引き出しによって該給排テーブルに送出された
該グリーンシートから該保護紙を除去し、該制御部の制
御によりハンドラ機構のハンドラを駆動させ、該ハンド
ラによって該グリーンシートを吸着保持することで該ト
レイを該ホッパ部に戻し、該制御部の制御により剥離機
構が駆動され、該グリーンシートから該マイラシートの
剥離を行い、該マイラシートの剥離後、該グリーンシー
トが該ハンドラ機構により該給排テーブルから該積層テ
ーブルに移送され、該積層テーブルに於いて該グリーン
シートの積層が行われるように構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明はグリーンシートに重ねられた保護紙とマイラシ
ートとを剥離することで、積層テーブルに位置決め、積
層を行うグリーンシートの積層装置に関する。

近年、電子装置に広く用いられる多層基板としては、セ
ラミック材による基板が使用されるようになった。

そこで、このようなセラミック材による多層基板を製造
する場合は、所定のパターンが形成されたグリーンシー
トを逐次位置決めすることで積層し、積層後、焼成する
ことで形成される。

したがって、グリーンシートの積層に際しては、それぞ
れのグリーンシートに形成されたパターンに位置ずれが
生じることのないように行われること重要となる。

〔従来の技術〕

従来は第６図の従来の説明図にを示すように形成されて
いた。第６図の（ａ）は斜視図，（ｂ）は位置決めの説
明図である。

第６図の（ａ）に示すように、台板61に積載されたグリ
ーンシート１を吸着ハンド60にて吸着保持し、XYテーブ
ル40Aに吸着プレート40Cを固着することで形成された積
層テーブル40の直上に移送し、グリーンシート１を所定
の位置に位置決めし、吸着ハンド60を降下させ、吸着ハ
ンド60の吸着保持を開放させ、グリーンシート１を吸着
プレート40Cに積層させるように構成されていた。

また、積層テーブル40には支持具40Eによって支持され
たカメラ40Dが設けられ、吸着ハンド60の貫通穴60Aを通
して吸着保持されたグリーンシート１のマークを読み取
り、位置決めが行われるように形成されている。

この場合の位置決めは、（ｂ）に示すように、グリーン
シート１の所定個所に導電材によって形成されたビアに
背面側から光を照射し、貫通穴60Aを通したカメラ40Dか
らの画像を処理，映像化することでビアが黒色部1Aとな
る個所を読み取り、黒色部1Aが中心点Ｃに合致させるよ
うXYテーブル40Aを微動させることで行われる。

そこで、実際にグリーンシート１を積層する場合は、先
づ、積層すべきグリーンシート１を台板61に載せ、グリ
ーンシート１に重ねられた保護紙およびマイラシートを
人手によって剥がし、吸着ハンド60によって吸着保持
し、矢印Ａのように積層テーブル40に移送し、前述の位
置決め後、吸着ハンド60を降下させ、積層テーブル40に
グリンシート１を積層することが行われる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、このようなグリーンシート１に重ねられた保護
紙およびマイラシートを人手によって剥がすことでは、
十分に取扱を注意しなければグリーンシート１を損傷さ
せることになり、また、積層テーブル40に積層されたグ
リンシート１は、積層された互いのグリンシート１の間
が固着されていないため、外力が加わることで簡単に位
置ずれが生じる。

したがって、積層作業にはグリーンシート１の取り扱い
に熟練した多くの人手を要し、また、積層時にグリンシ
ート１の位置決めを行っても、積層後、位置ずれが生じ
る問題を有していた。

そこで、本発明では、人手を介することなく、製造の省
力化を図ると共に、品質の向上を図ることを目的とす
る。

〔課題を解決するための手段〕

第１図は本発明の原理説明図である。

第１図に示すように、上面に保護紙３を、下面にマイラ
シート２をそれぞれ重ねることで形成されたグリーンシ
ート１を積載するトレイ11と、該トレイ11を収納するホ
ッパ部10と、該ホッパ部10から該トレイ11を引き出すよ
う該ホッパ部10に併設される給排テーブル12と、該給排
テーブル12に隣接されることで該グリーンシート１を位
置決めし、積層を行う積層テーブル40と、該ホッパ部10
および該積層テーブル40を制御する制御部50とを備え、
該トレイ11の引き出しによって該給排テーブル12に送出
された該グリーンシート１から該保護紙３を除去し、該
制御部50の制御によりハンドラ機構30のハンドラ31を駆
動させ該ハンドラ31によって該グリーンシート１を吸着
保持することで該トレイ11を該ホッパ部10に戻し、該制
御部50の制御により剥離機構20が駆動され、該グリーン
シート１から該マイラシート２の剥離を行い、該マイラ
シート２の剥離後、該グリーンシート１が該ハンドラ機
構30により該給排テーブル12から該積層テーブル40に移
送され、該積層テーブル40に於いて該グリーンシート１
の積層が行われるように構成する。

このように構成することによって前述の課題は解決され
る。

〔作用〕

即ち、ホッパ部10に収納されたトレイ11を給排テーブル
12に引き出し、トレイ11に重ねられた保護紙３を除去
し、ハンドラ31によってトレイ11に積載されたグリーン
シート１を挟持，保持し、トレイ11を再度ホッパ部10に
収納することで、剥離機構20を駆動させ、グリーンシー
ト１の下面に重ねられたマイラシート２の剥離を行い、
更に、マイラシート２の剥離後、グリーンシート１をハ
ンドラ機構30によって積層テーブル40に移送させ、位置
決めを行い、ハンドラ31によるグリーンシート１の吸
着，保持を開放させ、積層テーブル40に於いてグリーン
シート１の積層が行われるようにしたものである。

また、この場合のグリーンシート１の積層に際しては、
先に積層されたグリーンシート１に接着剤塗布機構によ
って接着剤が塗布され、次に、積層されるグリーンシー
ト１が先に積層されたグリーンシート１に固着される。

したがって、従来のような人手による作業は不要とな
り、また、積層後の位置ずれを防止することが行え、積
層作業の省力化および品質の向上が図れることになる。

〔実施例〕

以下本発明を第２図〜第４図を参考に詳細に説明する。
第２図は本発明による一実施例の斜視図，第３は本発明
のフローチャート図，第４図は本発明の剥離機構の説明
図で、（ａ）は平面図，（ｂ）は斜視図，（ｃ）は剥離
の説明図，第５図は本発明の接着剤塗布機構の説明図
で、（ａ）は斜視図，（b1）（b2）は接着剤の塗布説明
図である。全図を通じて、同一符号は同一対象物をを示
す。

第２図に示すように、給排テーブル12を介してホッパ部
10と、積層テーブル40とを併設し、給排テーブル12には
剥離機構20を設け、給排テーブル12と、積層テーブル40
との間にはハンドラ31を走行するハンドラ機構30が配設
されるように構成されたものである。

また、ホッパ部10にはトレイ11に積載されグリーンシー
ト１を所定ピッチＰによって保持するパッケージ13が収
納され、内設された昇降機構10Bによって矢印F4方向に
昇降されるように形成されている。

この場合、グリーンシート１の上面には保護紙３が、下
面にはマイラシート２がそれぞれ重ねられている。

そこで、昇降機構10Bの上昇によって積層すべきグリー
ンシート１の積載されたトレイ11を給排口10Aに合致さ
せ、トレイ11を給排口10Aから給排テーブル12に矢印F1
に示す方向に引き出され、先づ、ハンドラ31によってグ
リーンシート１の上面の保護紙３を吸着し、保護紙３を
給排テーブル12に併設されたダストシュート21に移送す
ることで保護紙３の除去を行い、次に、ハンドラ31によ
ってグリーンシート１を吸着し、トレイ11から離すよう
に保持を行う。

この場合、グリーンシート１の下面にはマイラシート２
が貼り付いた状態で保持されている。

このようなグリーンシート１の吸着，保持によって空と
なったトレイ11は給排口10Aから矢印F1の方向と逆方向
に押し込まれ、パッケージ13に戻される。

また、グリーンシート１を吸着，保持したハンドラ31は
第４図の（ａ）に示すように90°の角度に回動され、給
排テーブル12と、吸着，保持されたグリーンシート１と
の間に剥離機構20を矢印F2の方向に走行させ、グリーン
シート１のコーナ部1Aに位置させることで停止させる。

剥離機構20は（ｂ）に示すように、矢印F2の方向に往復
運動するキャリッジ20Fと、キャリッジ20Fに固着された
支持具20Cによって回転自在に支持されたローラ20Aと、
爪20を有するチャック機構20Dとによって形成されお
り、ローラ20Aに設けられた吸着パット20Bによってグリ
ーンシート１のコーナ部1Aを吸着し、（ｃ）に示すよう
に矢印Ｅのように回転させることで、グリーンシート１
に貼り付けられていたマイラシート２をほぼ垂直に曲げ
起こしの状態にすることが行える。

但し、この場合、コーナ部1Aに於けるマイラシート２を
予め剥がし、吸着パット20Bの吸着によって曲げ起こし
が容易なようにする必要がある。

そこで、チャック機構20Dを矢印Ｌの方向に移動させ、
爪20Eの矢印Ｍ方向の駆動によってマイラシート２を挟
持する。

このように爪20Eによってマイラシート２を挟持後、キ
ャリッジ20Fを矢印F2と逆方向に走行させ、グリーンシ
ート１の対角方向にマイラシート２を剥離する。

また、剥離されたマイラシート２は給排テーブル12に併
設されたダストシュート21に落とし込まれる。

一方、マイラシート２が剥離されたグリーンシート１は
ハンドラ31が前述の90°の角度を逆方向に回動されるこ
とで元の状態にし、ハンドラ機構30の駆動により、ハン
ドラ31を給排テーブル12から積層テーブル40の直上に移
送するよう矢印F3の方向に走行される。

積層テーブル40には前述と同様のカメラ40Dが設けら
れ、ハンドラ31の貫通穴31Aを通して、グリーンシート
１のマークを検出し、XYテーブル40Aの位置調整によっ
て位置決めを行う。

このようにして位置決めされたグリーンシート１はハン
ドラ31の降下により、吸着テーブル40Cに積載されるよ
うに開放される。

また、積層テーブル40の周囲には第５図の（ａ）に示す
ローラ41Aによって張架されたチェーン41Bによって移送
されるキャリア41Cに接着剤51を滴下するノズル41Dを備
えることで形成された接着剤塗布機構41が設けられてい
る。

そこで、先に、吸着テーブル40Cに積層されたグリーン
シート1-1に対しては、（b1）に示すように、ノズル41D
の先端から接着剤51を所定量滴下する。この場合、チェ
ーン41Bが矢印の方向に所定間隔で走行され、グリーン
シート1-1の周囲には所定の間隔で接着剤51の塗布が行
われる。

この塗布は、次に積層されるグリーンシート1-2が移送
される間に行われ、次に積層されるグリーンシート1-2
の積層時は、（b2）に示すように、グリーンシート1-2
の積層に支障を来すことのないよう、ノズル41Dが退避
するように配慮されている。

また、この場合の接着剤51としては、事務用ノリとして
市販されている透明のノリで支障なく接着可能であるこ
とが確認されている。

尚、このような積層では、積層テーブル40に治具を載せ
ることで、グリーンシート１の積層を行うと、積層後は
その治具の引き出しによって積層されたグリーンシート
１をそのままの状態で容易に取り出しが行え、しかも、
治具によって直に焼成炉に運搬することが行え、便利で
ある。

このように構成すると、グリーンシート１の積層は、内
設された制御部50によって第３図のフローチャート図に
示す制御により自動的に行うことができる。

始めに、ホッパ部10にはグリーンシート１がトレイン11
に積載されたパッケージ13をセットする。

この場合、一つのパッケージ13には約70枚のグリーンシ
ート１が収納されるように形成されている。

パッケージ13をセット後は、スタートの指令により積層
が開始される。

先づ、セットされたパッケージ13の昇降により積層すべ
きグリーンシート１を積載したトレイが所定個所に位置
され、給排テーブル12に引き出され、保護紙３の除去に
より、グリーンシート１がハンドラ31によって吸着保持
される。このグリーンシート１の吸着，保持によって空
になったトレイ11をパッケージ13に戻すと共に、マイラ
シート２の剥離を行う。

マイラシート２の剥離後は、ハンドラ機構30の走行によ
り積層テーブル40の直上にグリーンシート１を移送し、
XYテーブル40Aの駆動とカメラ40Dの映像とにより位置調
整を行い、グリーンシート１を位置決めすることで積層
を行う。

次に、積層されたグリーンシート１の枚数が確認され、
更にグリーンシート１の積層が必要の場合は、接着剤の
塗布を行うと共に、次のグリーンシート１の取り込みを
行うようパッケージ13の昇降させ、以下同様の順序によ
って次のグリーンシート１を積層テーブル40の直上に移
送する。

このようにして逐次グリーンシート１の積層を行い、グ
リーンシート１の積層が所定数に達した時は、積層指令
が取り消され、終了となる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、グリーンシート
を供給するホッパ部と、グリーンシートからマイラシー
トを剥離する剥離機構と、グリーンシートを吸着，保持
し、積層テーブルに移送するハンドラ機構と、接着剤を
塗布する接着剤塗布機構とを備えることで、グリーンシ
ートが積層テーブルに於いて逐次積層されるようにする
ことができる。

したがって、従来のような、人手を必要とせず、しか
も、接着剤によりグリーンシートの積層が固着されるこ
とで積層後の位置ずれを防止することができ、積層作業
の省力化および品質の向上が図れ、実用的効果は大であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理説明図，第２図は本発明による一実施例の斜視図，第３図は本発明のフローチャート図，第４図は本発明の剥離機構の説明図で、（ａ）は平面
図，（ｂ）は斜視図，（ｃ）は剥離の説明図，第５図は本発明の接着剤塗布機構の説明図で、（ａ）は
斜視図，（b1）（b2）は接着剤の塗布説明図，第６図は従来の説明図で、（ａ）は斜視図，（ｂ）は位
置決めの説明図を示す。図において、１はグリーンシート,2マイラシート,3は保護紙,10はホ
ッパー部,11はトレイ,12は給排テーブル,20は剥離機構,
30はハンドラ機構,31はハンドラ,40は積層テーブル,41
は接着剤塗布機構,50は制御部を示す。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】上面に保護紙（３）を、下面にマイラシー
ト（２）をそれぞれ重ねることで形成されたグリーンシ
ート（１）を積載するトレイ（11）と、該トレイ（11）
を収納するホッパ部（10）と、該ホッパ部（10）から該
トレイ（11）を引き出すよう該ホッパ（10）に併設され
る給排テーブル（12）と、該給排テーブル（12）に隣接
されることで該グリーンシート（１）を位置決めし、積
層を行う積層テーブル（40）と、該ホッパ部（10）およ
び該積層テーブル（40）を制御する制御部（50）とを備
え、該トレイ（11）の引き出しによって該給排テーブル（1
2）に送出された該グリーンシート（１）から該保護紙
（３）を除去し、該制御部（50）の制御によりハンドラ
機構（30）のハンドラ（31）が駆動され、該ハンドラ
（31）によって該グリーンシート（１）を吸着保持する
ことで該トレイ（11）を該ホッパ部（10）に戻し、該制
御部（50）の制御により剥離機構（20）が駆動され、該
グリーンシート（１）から該マイラシート（２）の剥離
を行い、該マイラーシート（２）の剥離後、該グリーン
シート（１）が該ハンドラ機構（30）により該給排テー
ブル（12）から該積層テーブル（40）に移送され、該積
層テーブル（40）に於いて該グリーンシート（１）の積
層が行われることを特徴とするグリーンシートの積層装
置。
【請求項２】請求項１記載の前記ホッパ部（10）には前
記グリーンシート（１）を積載した前記トレイ（11）の
複数個が所定ピッチで収納され、前記給排テーブル（1
2）に一旦引き出された該トレイ（11）が再度収納され
ることで次ぎの該トレイ（11）の引き出しが行われるよ
う前記制御部（50）の制御により該トレイ（11）が該所
定ピッチによって上昇されることを特徴とするグリーン
シートの積層装置。
【請求項３】請求項１記載の前記制御部（50）の制御に
より前記ハンドラ（31）が前記給排テーブル（12）に於
いて90°回動され、前記剥離機構（20）が前記マイラシ
ート（２）の所定のコーナ部を挟持し、前記グリーンシ
ート（１）の対角方向に走行することで該マイラシート
（２）の剥離を行うことを特徴とするグリーンシートの
積層装置。
【請求項４】請求項１記載の前記積層テーブル（40）に
移送された前記グリーンシート（１）に接着剤を滴下
し、次ぎに移送される該グリーンシート（１）を固着さ
せるよう前記制御部（50）によって制御される接着剤塗
布機構（41）が該積層テーブル（40）の周囲に配設され
ることを特徴とするグリーンシートの積層装置。