TW486700B - Method and device for manufacturing thin film laminated body - Google Patents

Description

4867㈧ 五、發明說明 發明所屬技術領域】 f 5月3有關於一種薄膜疊層體之製造方法及製造裝 置。更評細說明之，a丄 究片切斷成既定尺寸=關於將形成了電極圖案之例如陶 等之薄膜疊層體以2後f層：製造憂層陶究電容器 心衣造方法及製造裝置 【習知技術】 置，=為以電容器等電子元件之製造裝 電極圖案之情之撓性支樓體在形成之陶竟片印刷 既定尺寸之薄片之产^將印刷了電極圖案之陶£片切斷成 平8-167544號& # = ί u利用CCD攝影裝置定位（參照特開 一汉特開平1 0-2 8434 6號）。 尺寸ίΓ片表Λ,將印刷了電極圖案之陶甍片切斷成既定 疊層體之梦H⑽攝影裝置定位之該習知技術之薄膜 囔增般H 4叙置之概略構造。 運機構m片G之載持薄膜F ;切斷搬 膜F表面之陶膜斗搬運機構1 0 1進給之載持薄 置；定位機構，用以施行切斷搬=V1〇l:定位 G時之定位；及疊層屡接機構1〇4 ^構〇2切斷陶莞片 構灣至該既定位置之陶…層Y二用切斷搬運機 薄膜搬運機構1〇1具有設定在 持薄膜F之捲出裝置1〇5，在構造 开捲成有陶莞片G之載 固豕捲出裝置1 0 5抽出 486700 五、發明說明（2) 之載持薄膜F在各滾輪106導引下被搬至捲繞裝置107為止 後捲繞。 切斷搬運機構1〇2包括：搬運單元1 1 〇，具備以剝離工 作台11 5為支座將陶瓷片g切斷成既定尺寸之薄片之切刃 1 0 8及吸附陶瓷片G之吸盤1 0 9 ;無桿液壓缸1 1 1，用以在利 用搬運單元1 1 〇切斷陶瓷片G之切斷位置和利用疊層壓接機 構1 0 4將薄片疊層後壓接之疊層位置之間令搬運單元1 1 〇移 動’及滾珠螺桿機構1 1 2，為了微調該無桿液壓缸1 π而令 其移動小距離。 —=位機構1 〇 3具有：拍攝在陶瓷片（j上和電極圖案對應 =按照既定間隔印刷之定位記號之CCD攝影裝置11 3a ;及 处理CCD攝影裝置丨13a所拍攝之影像之影像處理裝置 。^據利用該影像處理裝置113b處理該照相機113a所 a|^位記號之影像資料後所得到之移動修正量，進行 "„早=11 〇自5亥豐層位置移至該切斷位置時之定位。 置為= 由將切斷搬運機構102搬至該疊層位 向上推之油壓缸115構成。接之堡接台114及將該壓接台114 在本習知技術，為错、生 液壓缸111移動大部分之距"1用搬運單元11 0利用無桿 可將缸移動小距離，將：運滚珠螺桿機構112 如使用滚珠螺桿機構112令。错此，在例 情況可防止由摩揍埶彳丨如—、運早兀1 1 0移動全部之距離之 脹引起之疊層壓接:壤H滾珠螺桿軸1 12a在軸向之熱膨 安（溥片之位置偏差。

第5頁 486700 五、發明說明（3) 1 1 ?八：V邊爹照圖6及圖7 ’邊說明在使用滾珠螺桿機構 令在移：全部之距離之情況由摩擦熱引起之滾珠螺/軸 12:在：向之熱膨脹引起之叠層壓接之薄片之 車。 表示製造裝置100起動時之狀態，又圖7表示既 疋片數之薄片疊層後之狀態。 -η ?在„圖7中，點A表示;衰珠螺桿機構112之滾珠螺桿 車里、隹&别端之支點。點Bl表示搬運單元110停在疊層位置 之基準位置，即壓接台Π4夕士 置 “ u 士中心’設自點八至點&為止之 距離為。點B2表示在圖7之時刻實際上搬運單元11〇 疊=置之位置。即，在圖6之狀態，搬運單元110之： 4之中一致’但是在圖7之狀態，搬運單元 ^:層位置之停止位置受到該熱膨脹影響，變成自 B!向圖之左方偏移了 AM之點β2。 Μ 點q係⑽攝影裝置11 3a之固定位置，而且也是在陶 瓷片G上所印刷之定位記號在切斷位置之基 為自h向圖之左方移動了L2之點。 产表2該CCD攝影襄置113a所偵測之偏差為0之 十月况搬運早= 110移至該切斷位置為止時之位置。和 ，：ί二際上按照定位記號和點C1之偏差修正距離 L ’決疋搬運單元11〇自點至該切斷位置時之 距 離。 ，ΐ圖7之時刻’ *該CCD攝影裝置n3a所债 測之偏差為0之情況，搬運單元11〇停在切斷位置之位置。 點込和點I之距離受到滾珠螺桿軸丨丨2a之熱膨脹之影響而

五、發明說明（4) ___ ，成L2+AL2。因此，在圖7之狀態 比點D!向圖之左方偏移了 + △[ 飯運早元11 0就停在 結果，在圖7之時亥丨J，在疊層;H置田。 仞之位置向圖之左方偏移了 ALi，而夏所甓層之薄片比當 (即電極圖案之位置（在圖7中以線段£^定1記號之位置 置））向圖之右方偏移了 △ 。 又示疋位纪號之位 於是’在利用滾珠螺桿機構i J 2 一 斷位置和該疊層位置之間移動之情況，早d10，該切 珠螺桿軸11 2a之溫度穩定為止之期間 自起動時至滾 熱膨脹而伸長下去，有所疊戶之薄，滾珠螺桿軸11 23因 之問題。關於這-點有電：圖案偏移下去 大二Λ，10'!動該切斷位置和該疊層位置之間之 極圈；之偏移Γ 2螺柃軸112a之熱膨脹之影響所引起之電 圖案之偏移抑制至幾乎不成問題之程产。 壓二是之’、述J知技術因必^ ^ 令薄膜晶#俨又二之機構’有製造裝置之機構複雜化並 7厚Μ璺層體之製造費用增多之問題。 【發明所欲解決之課題】 的在於這種習知技術之課題而想出來的，其目 j在於k供不將機構複雜化而且可消除構件之熱膨脹對產 口口精度之不良影響之薄膜疊層體之製造方法及製造裝置。 【用以解決課題之手段】

第7頁 486700 五、發明說明（5) 本發明之 狀之搬運媒體 膜片，利用滾 之薄膜疊層體 片之搬運同步 之切斷位置之 在本發明 之中心設為該 桿輛前端之支 而，本發 體搬運機構， 體；切斷裝置 保持·搬運機 層位置為止； 該切斷位置搬 運機構之移動 理來自該攝影 理裝置之移動 在本發明 之中心設為該 椁軸前端之支 又，在本 襄置具備在搬 該搬運方向垂 薄膜豐層體 後搬運之薄 珠螺桿機構 之製造方法 移動之攝影 定位。 * 之薄膜疊層 切斷位置之 點之中間位 明之薄膜疊 用以搬運載 ’用以將該 構，用以保 滾珠螺桿機 至疊層位置 同步的移動 裝置之影像 修正1而修 之薄膜疊層 切斷位置之 點之中間位 發明之薄膜 運方向切斷 直之方向切 之製造方法，係將被載 膜片切斷成既定尺寸後 將遠溥膜片搬到疊層位 ’其特徵在於依照利用 裝置所拍攝之影像進行 體之製 中心和 置。 層體之 置有薄 薄膜片 持該薄 構，用 為止； 及影 其特 正该保 體之製 中心和 置。 疊層體 該薄膜 斷之帛 造方法’最好該 該滾珠螺桿機構 製造裴 膜片之 切成既 膜片並 以將該 攝影袭 像處理 徵為： 持•搬 造裝置 該滾殊 置，具備 薄膜狀之 疋尺寸之 自切斷位 保持•搬 置，和該 裝置處理 依據來自 運機構之 ’最好該 螺桿機構 置於薄骐 ，得到薄 置後疊層 和該薄膜 殯薄膜片 «層位置 之滾珠螺 :搬運媒 搬運媒 薄膜片； 置搬至疊 運機構自 保持•搬 ，用以處 該影像處 移動量。 疊層位置 之滾珠螺 之製造梦@ n u 、忒置，最 片之第〜切斷機 一切斷機構，該 好該切斷 構及在和 第二切斷

五、發明說明（6) 機構襄在 5Λ保持•搬運機構 【發明之作用】 因本^ 明七 椁機構之i“桿；所Ϊ構成，保持·搬運機構因滚珠螺 :;位置，也= ; = 偏移了預設之切2 消除滾珠螺持搬運機構定位於既定位置。因J移 螺—熱膨脹對產品精度之不良ΐ響口而’可 【發明之實施例】 *本:=:=;】::依照實施例說明本發明，但 之製造5二圖』=匕:之；實施例之應用薄 本製造裝置!之主=略構造。 二之在表面形成陶兗片G之載持=如每次進給固定長 竟片of:用該薄臈搬運機構2進-之ίί運之薄臈搬運機 是片G切成既定尺寸之薄 …之載持薄膜F表面之 定位置為止之薄片搬運機構3 f f f構c、將該薄片搬至既 ί行定位之定位機構4以及將利J ?機構C切斷陶瓷片“寺 U止之陶究片G叠層後 運機構3搬至該； 在此，載持薄臈F由二軸=豐層壓接機構5。 A S曰薄膜）或二轴延伸聚歸薄膜K對4二甲酸乙酯薄膜 而，陶UG藉著利用塗抹法或硬質樹脂材料形成、 --- Ρ刷法將各種陶瓷义

第9頁 別700

質粉末、樹脂黏合劑以及由溶劑構成之漿狀之構成物 、 持薄膜F表面形成。該陶瓷片G之厚度例如約2〜u 在栽 u u // IU 〇 、曾。又，在陶瓷片G之上面將包含鈀、銀、鎳等金屬於 導士電材料印刷成矩形之電極圖案，而且為了在切斷陶 二日^之定位，令和電極圖案對應的按照既定間隔印刷a 記號。 疋位 薄膜搬運機構2具有設定在表面形成了陶兗片〇之 :辭之捲出裝置6 ’在構造上自該捲出裝置6抽戰持 薄膜F在滾輪群7導引下被搬至捲繞裝置8為止後捲繞。X符 ?輪群7之中吸氣滾輪9在外周面設為真空狀態； 2溥膜F下轉動，搬運載持薄膜F。又，在吸氣滾輪9之 置構成切斷機構C之縱向切斷器1〇，以吸氣滾 方向只將陶兗片G切斷成縱向長。本縱向切斷 = = 列如支樓2片圓形旋轉刀1〇a、1〇b之旋： 壓。 场&什1 Ud以適當之力向吸氣滾輪9偏 入 給侧？^吸氣滚輪9之轉動進給之載持薄膜F，利用 i當之Y力一！各：二力滾輪12以及移動滾輪13 _

-•7-4；rL?；：i4b'i4c'i4d'14- 薄片搬運機構3具備將利用 切斷之陶究片G再在和行^ =切斷斋1()“進方 15在切斷陶“G之切斷位置之:利

第10頁 五 發明說明（8) 斷之陶瓷片G壓接後疊層之疊層位wR a 機構1 6。 1置之間移動之滾珠螺桿 搬運單元1 5具備以剝離工作a + 和行進方向垂直之方向切斷而形 ^座將陶瓷片G在 切斷機構C之橫向切刃1 5 a及吸附伴持$ 一寸之薄片之構成 Ψ ι4 ^ ^ 7保持5亥缚片之吸盤1 5 b 〇 滾珠螺桿機構16由一端部（前端部） ς之及 滾珠螺桿軸17、經由軸接頭"“二】1之上座 埏部（基端部）連接並驅動滾珠螺桿動^ 螺桿2。構成…卜，由以上之轴7螺2滾珠陰 斷機構C由縱向切斷器即第一切斷機本貝施例切 二切斷機構構成。 七、向切斷為即弟 膨胀t ^ ::1: m上為τ避免機械在滾珠螺桿軸17因熱 ?破損而吸收該㈣。其具體之構造可 抹用自習知周知之各種構造。 按昭=構4严備拍攝在陶究片G上令和電極圖案對應的 ct摄之定位記號之CCD攝影裳置21 Α及處理該 攝衫哀置2 1A所拍攝之影像之影像處理裴置2丨b，按照 利用該影像處理裝置2iB處理該CCD攝影裝置2u : 號之影像資料後所得到之移動修正量，#正滾珠螺 杯機構U將搬運單奶自該疊層位置移至該切斷位置時之 距離。 CCD攝影裝置2 1 a經由支撐件2 1 a和滾珠陰螺桿2 〇結 5，即經由滾珠陰螺桿2〇和搬運單元15連結，藉此在構造

486700 五、發明說明（9) 上和搬運單元1 5變

成一體移動。 疊層壓接機構5在構造上具備支撐由载持板供給 2 2供給並利用載持板搬運輸送帶3 1搬運之载、 台24及令該壓接台24升降之由基座la支撐之油壓缸25 1而 且該油壓缸25將薄片暫時壓接後疊層，而且在此 正式壓接壓床2 6將暫時壓接之薄片加壓。 而 在載持板2 3上面塗抹低黏 此將薄片貼成不會動，而且在 片時，也可不損傷薄片的剝離 在載持板2 3上面，例如塗抹了 之雙面黏接薄片貼在載持板2 3 接下去之構造也可。 在此情況，在既定片數之 床26所加壓之載持板23利用各 30搬回至壓接台24為止，而既 板23在按照需要用正式壓接壓 藏裝置32。 接性或熱剝離性之漿糊，藉 自載持板23取下所疊層之薄 。此外，不是將漿糊直接塗 低黏接性或熱剝離性之漿糊 上後在其上將薄片疊層後壓 薄片疊層之前用正式壓接壓 載持板搬運輸送帶28、29、 定片數之薄片疊層後之載持 床2 6加壓後收藏於載持板收 其次，參照圖3及圖 元1 5定位之原理 ui3/示製造裝置1之起動時之狀態。x，圖4表示薄 片且層某種程度之片數時之狀態。 =圖3及圖4中，點A表示滾珠螺桿軸17之支點。點β :不Λ運單元15停在疊層位置之基準位置，即壓接台24\ 甲〜，設自點Α至點&為止之距離為。

486700 五、發明說明（ίο) 1 點I表示在圖4之時刻實際上搬運單元15停在疊層位 置之位置。即，在圖3之狀態，搬運單元丨5之位置和壓接 台24之中心一致，但是在圖4之狀態，搬運單元15在疊層 位置之停止位置受到該熱膨脹影響，變成自點Βι向圖之左 方偏移了 之點B2。 點匕表示製造裝置1起動時搬運單元15位於點&時之 CCD攝影裝置2 1 A之位置°此位置也是在陶竟片G上所印刷 之定位記號在切斷位置之基準位置。點匕為自&向圖之左 方移動了 L2之點。 點C2係在圖4之時刻之CCD攝影裝置21 A之位置。CCD攝 =表置2 1 A利用支撐件2 1 a經由滾珠陰螺桿2 0和搬運單元1 5 因在邊支撐件21a無摩擦熱之影響，未發生熱膨脹 引起之伸長，點C2和點A之間之距離可看成L2。 拓在此，5又在製造裝置1起動時用以令搬運單元15移動 服馬達19之脈波數為％時，在圖4之時刻，搬 利用該脈波數％移動距離 之搬運單元15向圖之左 距 右 運早兀15就移動距離L? + Λΐ ，外ώ ^+l2+(l2 + m2)之點D22。…目之左方移至位 來之Ϊ = = V之因左影裝㈣^ 該CCD攝影裝置2U所拍$ Ί 移了 ALl之點C2，按照 單元15之移動距離L2時丨位記號之影像資料修正搬運 移動修正量加上一 AL 。=:移動距離12修正成在本來之 1。因此，在假設自定位記號之點&

第13頁 486700 五、發明說明（11) 之偏差為0之情況q般運單元15在移到切斷位置時就自點 移動（L2 + △h)〜。 此時，因定位記號之基準位置位於自點b2向圖之左方 移動距離（L2 — △、）之位置，搬運單元丨5所保持之陶瓷片G 上之定位記號之位置係距離搬運單元丨5之中心（一 ) —[(l2 + al2) —△、]之位置，即向右方偏移了乂L2之位 置。 因在此狀態回到疊層位置時之搬運單元丨5之位置係點 B2，即係自點A向圖之左方移動距離& + ）之位置，此 時之位置基準記號之位置變成自點A向圖之左距離 (M + AL! — AL2)之位置。 因此，藉著將各構件之配置調整成和變成大 致相等之值，如圖上以線段11所示，調整成定位記號在鉛 垂方向排列，即可防止所疊層之各薄片之電極圖案偏移下 去。 。&若依據本發明申請人之實驗例，氣溫為20。(：時，在自 製造裝置1之起動時開始約2 5分鐘之間滾珠螺桿軸丨7之溫 度上升，在上述習知技術約6 0 // m，所疊層之各薄片 之電極圖案之^偏移最大也大致相等，但是在本實施例之製 ie扃置1藉著將距離Μ和距離L2設為大致相等，可使續電 極圖案之偏移變成〇。 便〃 $ 於是，在本實施例，因將拍攝在陶瓷片上令和 案對應的印刷之定位記號之CCD攝影裝置21A和搬一 / 連結，e又置成和該搬運單元丨5成一體的移早兀 狄殊螺桿軸

第14頁 486700 五 、發明説明（12)

1 7因摩擦熱而熱膨脹，搬運單元1 5之位置變化，也可防止 所疊層之薄片之電極圖案偏移下去。 此外’在利用本實施例之製造裝置1所製造之薄膜疊 ^體f例子上，可列舉疊層陶瓷電容器、疊層陶瓷變阻 器、疊層陶瓷暫存器、疊層壓電致動器、壓電變壓器、# 路板等疊層陶瓷產☆’但是本發明之薄膜疊屉ί =方法當然可應用於由陶£以外之材料構成之產= 【發明之效果】

之滾ΐ =上之說明所示，若依據本發明，因滾玫艘 朱螺桿軸之熱膨脹，保 、珠累桿機 所得= 置’也藉著處理攝影f詈J偏移了預 ‘件到之移動修正量，π將保拄攝：衣置所拍攝之影傳 不，而，可得到可消除滾螺軸：：構定位於既定 之不良影響之優異之效果。朱累'干轴之熱膨胰對產品賴

486700 圖式簡單說明 圖1係表示本發明之一實施例之薄膜疊層體之製造裝 置之概略構造之正視圖。 圖2係表示本發明之一實施例之薄膜疊層體之製造裝 置之概略構造之平面圖。 圖3係說明本發明之一實施例之薄膜疊層體之製造裝 置之動作原理之說明圖，表示起動時之狀態。 圖4係說明本發明之一實施例之電子元件之製造裝置 之動作原理之說明圖，表示經過既定時間後之狀態。 圖5係表示習知之薄膜疊層體之製造裝置之概略構造 之正視圖。

圖6係說明習知之薄膜疊層體之製造裝置之問題點之 說明圖，係相當於圖3之圖。 圖7係說明習知之電子元件之製造裝置之問題點之說 明圖’係相當於圖4之圖。 【符號說明】 1製造裝置 2 薄膜搬運機構 3薄片切斷搬泽機構 ‘定位機構 5疊層壓接機構 6捲出裝置 8捲繞裝置 1 0 縱向切斷器

第16頁 486700 圖式簡單說明 1 5 搬運單元 1 6 滾珠螺桿機構 21ACCD攝影裝置 2 1 B影像處理裝置

2 2載持板供給裝置 24壓接台 26正式壓接壓床 32載持板收藏裝置 C切斷機構 F載持薄膜 G陶瓷片 Γ·

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Claims (1)

1. 申凊專利範圍 之撖運媒辦ί溥膜疊層體之製造方法，將被載置於薄膜狀 片，利用^社搬運之薄膜片切斷成既定^寸後，得到薄膜 層； 螺桿機構將該薄膜片搬到疊層值置後加以疊 其特徵為： 依昭利十 攝之影像造 該薄膜片之搬運同步移動之攝影裝置所拍 選仃礒薄膜片之切斷位置之定位。 ， 法，其如申請專利範圍第1項之薄膜疊層體之製造方 浪珠螺桿機位置之中心設為Γ刀斷位置之二和該 辦攝之滾珠螺桿轴前端之支點之中間位置。 運機^ =種薄膜疊層體之製造裝置，具備：播^ n成構’用以搬 . ι運媒體搬 斷裝置，用2 ί 專 涛膜狀之搬運媒體·，切 將该溥膜片切成既定尺寸之薄Μ '、 =機構，用以保持該薄膜片並自切斷位：：片；保持· f止；滾珠螺桿機構1以將該保持？搬運：至疊層位置 立置搬至疊層位置為止；攝影裝i 主構自該切斷 之移動同步的移動；及影像處理裝;;保持·搬運機構 該攝影裴置之影像； 外理，用以處理來自 其特徵為： 依據來自該影像處理裝置之移動修正旦 •搬運機構之移動量。 里 > 正該保持 486700 六、申請專利範圍 4. 如申請專利範圍第3項之薄膜疊層體之製造裝 置，其中，該疊層位置之中心設為該切斷位置之中心和該 滚珠螺桿機構之滾珠螺桿軸前端之支點之中間位置。 5. 如申請專利範圍第3項之薄膜疊層體之製造裝 置，其中，該切斷裝置具備沿搬運方向切斷該薄膜片之第 一切斷機構及沿著和該搬運方向垂直之方向切斷該薄膜片 之第二切斷機構，該第二切斷機構裝在該保持·搬運機

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