JP2006229016A - 積層型電子部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 支持体上に第1のセラミックグリーンシートを形成する。この支持体と第1のセラミックグリーンシートを打ち抜いた後、支持体と第1のセラミックグリーンシートに貫通孔を設ける。この貫通孔が設けられた支持体と第1のセラミックグリーンシートを、所定温度以上の加熱により粘着力が弱くなり、かつ弾性を有する粘着層を片面に形成した粘着弾性シートが用いられた支持体の粘着層上に配置された第2のセラミックグリーンシートに積層、圧着した後、第1のセラミックグリーンシートから支持体を剥離する。この第1のセラミック上には導体パターンが印刷される。これらを繰り返して積層体内に素子が形成される。
【選択図】 図1
Description
また、本発明は、絶縁体層と導体パターンを積層して積層体内に素子が形成された積層型電子部品の製造方法において、支持体上に第1のセラミックグリーンシートを形成する第1の工程、支持体と第1のセラミックグリーンシートを切り出した後、支持体と第1のセラミックグリーンシートに貫通孔を設ける第2の工程、支持体と第1のセラミックグリーンシートを第2のセラミックグリーンシートに積層、圧着し、支持体を剥離する第3の工程及び、第1のセラミック上に導体パターンを印刷する第4の工程を繰り返して積層体内に素子が形成される。
さらに、本発明の積層型電子部品の製造方法は、第2のセラミックグリーンシートと第1のセラミックグリーンシートが積層される支持体として、所定温度以上の加熱により粘着力が弱くなり、かつ弾性を有する粘着層を片面に形成した粘着弾性シートが用いられたり、この粘着弾性シートを接合したプラスチック又は金属のプレートが用いられたりして、この支持体の粘着層上に第2のセラミックグリーンシートと第1のセラミックグリーンシートが積層される。
また、本発明の積層型電子部品の製造方法は、第2のセラミックグリーンシートと第1のセラミックグリーンシートが積層される支持体として、所定温度以上の加熱により粘着力が弱くなり、かつ、弾性を有する粘着層を片面に形成した粘着弾性シートが用いられ、この支持体の粘着層上に第2のセラミックグリーンシートと第1のセラミックグリーンシートが積層されるので、セラミックグリーンシートを積層・圧着する時の圧力で下層の導体パターンが延びたり、積層数が増すにつれて導体パターンの印刷面の凹凸が大きくなったりすることを防止できる。これにより特性のバラツキを小さくでき、設計・製造の条件を安定させて設計・製造をしやすくできる。
従って、本発明の積層型電子部品の製造方法は、支持体とセラミックグリーンシートに形成された貫通孔によって、積層、圧着時のシート間の空気の排出抵抗が小さくなり、残留空気をなくすことができると共に、積層ずれを抑制することができる。また、本発明の積層型電子部品の製造方法は、セラミックグリーンシートを導体パターンが形成されたセラミックグリーンシート上に圧着する際に、粘着弾性シートの導体パターンと対応する位置が凹むので、粘着弾性体シートによって導体パターンの有無による凹凸を吸収することができ、導体パターンの印刷面を常に平坦にすることができる。
図1は本発明の積層型電子部品の製造方法の実施例を示す断面図、図2は本発明の積層型電子部品の実施例の上面図である。
まず、支持体上にセラミックグリーンシートが形成される。支持体としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)等のプラスチックフィルムが用いられる。また、セラミックグリーンシートは、支持体上にドクターブレード法等で厚みが例えば20μmになる様に形成される。
次に、この支持体とセラミックグリーンシートを所定の大きさに打ち抜いたり、切り出したりした後、セラミックグリーンシート側からレーザを照射してその部分を加工することにより、図1(A)に示す様に、支持体11とセラミックグリーンシート12に貫通孔Sが形成される。この貫通孔Sは、製品領域内においては製品に影響を与えない様に後に個々の製品に切断される際の切断線上に形成される。
さらに、図1(B)に示す様に、基準ピンPを備えた積層テーブルA上に、支持体13が積層テーブルAの基準ピンPによって位置決めされた状態で配置される。支持体13としては、例えば、ポリエステルの基材上に、100℃以上の温度で加熱することにより粘着力が弱くなり、かつ弾性を有する粘着層を形成した粘着弾性シートが用いられる。この積層テーブルA上において、支持体11とセラミックグリーンシート12が、セラミックグリーンシート12を支持体13側に向けた状態で支持体13の粘着層上に積層される。この支持体11とセラミックグリーンシート12は、圧着プレス機の上型Bによって加圧され、セラミックグリーンシート12と支持体13の粘着層が圧着される。この圧着プレス機の上型Bは、その表面部が多孔質に形成されたり、貫通孔Sと対向する位置に吸引孔が設けられたり、表面に多孔質のシートが取り付けられたものが用いられる。そして、図1(C)に示す様に、セラミックグリーンシート12の上面から支持体が剥離される。
続いて、図1(D)に示す様に、支持体13とセラミックグリーンシート12の積層体を印刷テーブルCに移し、セラミックグリーンシート12の支持体剥離面に導体ペーストを印刷により塗布し、絶乾状態になる様に70℃で乾燥させることによりセラミックグリーンシート12上に導体パターン14が形成される。
さらに続いて、これら積層体が室温に戻った後、これら積層体を積層テーブルに戻し、導体パターンが形成されたセラミックグリーンシート上に、貫通孔と導体パターン間を接続するためのビア孔が形成されたセラミックグリーンシートと支持体を、図1(B)と同様にセラミックグリーンシート同士を対向させた状態で積層、圧着し、支持体を剥離し、セラミックグリーンシート表面に導体パターンを印刷する。この様に、図1(A)〜図1(D)を所定の層数に達するまで繰り返した後、支持体11付きの保護用セラミックグリーンシート15を積層、加圧し、支持体を剥離した後、印刷テーブルに移し、切断マークが印刷される。そして、図1(E)に示す様に、これらの積層体を金型内に配置し、最上層にポリエチレンテレフタレート(PET)シートを積層して、金型によって加圧してこれら積層体が一体化される。この金型は、上板16A、下板16B、金枠16C、16Dを備え、上板16Aと下板16Bによって積層体に圧力が加えられ、積層体が一体化される。
この様に一体化された積層体は、金型から取り出された後、ポリエチレンテレフタレート(PET)シートが剥離され、図2に示す様な切断マークに沿って粘着弾性シートに達する切りこみが入れられる。そして、これらを120℃で5分間加温して支持体の粘着層の粘着力を弱めた後、支持体から剥離することにより、個々の素子に分割される。この分割された素子は、脱脂、焼成された後、端面に外部電極が形成される。
また、本発明の積層型電子部品の製造方法において、セラミックグリーンシートの厚みを20μm、導体パターンの厚みを13μm、導体パターンの幅を55μm、導体パターンの積層数を30層として1005サイズ(1mm×0.5mm×0.5mm)の積層型インダクタを形成する場合、セラミックグリーンシート同士を圧着する際に、加圧条件を40℃、270kg/cm2、5秒間加圧にしたところ、導体パターンの厚みが10.2μm、導体パターン間が14μm、導体パターンの幅が58.9μm、積層ずれが19.6μmとなった。これは、従来の製造方法のものが導体パターンの厚みが9.2μm、導体パターン間が15.2μm、導体パターン幅が60.9μm、積層ずれが19.9μmであるのと比較して、導体パターンの幅の延び、導体パターンのつぶれ、積層ずれが小さくなっている。
12 セラミックグリーンシート
Claims (6)
- 絶縁体層と導体パターンを積層して積層体内に素子が形成された積層型電子部品の製造方法において、
支持体上に第1のセラミックグリーンシートを形成する第1の工程、該支持体と該第1のセラミックグリーンシートを打ち抜いた後、該支持体と該第1のセラミックグリーンシートに貫通孔を設ける第2の工程、該支持体と該第1のセラミックグリーンシートを第2のセラミックグリーンシートに積層、圧着し、該支持体を剥離する第3の工程及び、該第1のセラミック上に導体パターンを印刷する第4の工程を繰り返して積層体内に素子が形成されることを特徴とする積層型電子部品の製造方法。 - 絶縁体層と導体パターンを積層して積層体内に素子が形成された積層型電子部品の製造方法において、
支持体上に第1のセラミックグリーンシートを形成する第1の工程、該支持体と該第1のセラミックグリーンシートを切り出した後、該支持体と該第1のセラミックグリーンシートに貫通孔を設ける第2の工程、該支持体と該第1のセラミックグリーンシートを第2のセラミックグリーンシートに積層、圧着し、該支持体を剥離する第3の工程及び、該第1のセラミック上に導体パターンを印刷する第4の工程を繰り返して積層体内に素子が形成されることを特徴とする積層型電子部品の製造方法。 - 前記第2のセラミックグリーンシートと前記第1のセラミックグリーンシートが積層される支持体として、所定温度以上の加熱により粘着力が弱くなり、かつ弾性を有する粘着層を片面に形成した粘着弾性シートが用いられ、該支持体の粘着層上に第2のセラミックグリーンシートと第1のセラミックグリーンシートが積層された請求項1又は請求項2に記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記第2のセラミックグリーンシートと前記第1のセラミックグリーンシートが積層される支持体として、所定温度以上の加熱により粘着力が弱くなり、かつ弾性を有する粘着層を片面に形成した粘着弾性シートを接合したプラスチック又は金属のプレートが用いられ、該支持体の粘着層上に第2のセラミックグリーンシートと第1のセラミックグリーンシートが積層された請求項1又は請求項2に記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記貫通孔は、前記第1のセラミックグリーンシートの各素子に切断する切断線上に形成された請求項1、2、3、4のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記貫通孔は、前記第1のセラミックグリーンシートと前記支持体をレーザによって加工することにより形成された請求項1、2、3、4、5のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
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2005
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