JP6477620B2 - シート搬送装置、シート積層装置および積層型電子部品の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、シートを搬送するシート搬送装置、このシート搬送装置を備えるシート積層装置、および、積層型電子部品の製造方法に関する。

従来、セラミックグリーンシートなどを搬送するシート搬送装置およびこのシート搬送装置を備えるシート積層装置が知られている。

この種のシート搬送装置およびシート積層装置の一例として、特許文献１には、セラミックグリーンシートを供給する供給テーブル（第１保持部）と、この供給テーブルからセラミックグリーンシートを受け取って搬送し、積層治具に積み重ねる圧着ヘッド（第２保持部）とを備える装置が開示されている。この装置では、加熱された圧着ヘッドを用いてセラミックグリーンシートを積み重ねることで、短時間でセラミックグリーンシートを積層圧着している。

特開２００３−１４５５２２号公報

しかしながら、特許文献１に開示されたシート搬送装置およびシート積層装置では、供給テーブルからセラミックグリーンシートを受け渡す際に、加熱された圧着ヘッドが供給テーブルに接近し、供給テーブルの温度が上昇する場合がある。供給テーブルの温度が上昇すると、供給テーブル上に載置されたセラミックグリーンシートが熱膨張して変形するという問題が起きる。

そこで、本発明は、熱によるシートの変形を抑制することができるシート搬送装置等を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の一態様に係るシート搬送装置は、シートを搬送するシート搬送装置であって、前記シートを保持する第１の保持面を有する第１保持部と、前記シートを保持する第２の保持面を有し、加熱された状態で、前記第１保持部に保持された前記シートを介して前記第１の保持面に接し、前記シートを前記第１保持部から受け取って前記第２の保持面で保持する第２保持部と、前記第１保持部が前記シートを保持していない状態において、前記第１の保持面に接触して前記第１保持部を冷却する冷却部とを備える。

このように、シート搬送装置が第１保持部を冷却する冷却部を備えているので、例えば、加熱された状態の第２保持部が第１保持部に接し、第１保持部が温度上昇するような場合が起きても、第１保持部を冷却して第１保持部の温度を下げることができる。これにより、第１保持部に保持されるシートの熱変形を抑制することができる。

また、第１の保持面には、複数の吸引穴が形成されていてもよい。

このように、第１の保持面に吸引穴が設けられているので、吸引を用いてシートを安定して保持することができる。また、例えば、冷却部を吸引した場合には、第１の保持面と冷却部との密着性を向上させることができる。これにより、第１の保持面を均一に冷却することができ、第１保持部に保持されるシートの熱変形を抑制することができる。

また、前記第１保持部は、前記冷却部と前記第１の保持面とが接触している際に、前記複数の吸引穴を用いて前記冷却部を吸引してもよい。

この構成によれば、冷却部と第１の保持面が接触している際の互いの密着性を向上させることができる。これにより、第１の保持面を密着させ、第１の保持面を均一に冷却することができるので、第１保持部に保持されるシートの熱変形を抑制することができる。

また、前記第１保持部は、温度センサを有していてもよい。

これによれば、例えば、温度センサの計測値に基づいて、冷却部と第１保持部とを接触させる時間を変えることが可能となる。これにより、第１保持部の温度を均一に保つことができ、第１保持部に保持されるシートの熱変形を抑制することができる。

また、さらに、前記第１保持部、あるいは、前記第２保持部に保持されている前記シートの保持位置を検出する位置検出部を備えていてもよい。

これによれば、例えば、位置検出部で検出したシートの保持位置をもとに、シートの位置を補正することが可能となる。これにより、シートを高精度に搬送することができる。

また、本発明の一態様に係るシート積層装置は、上記シート搬送装置と、前記第２保持部で保持した前記シートを所定位置に積み重ねる積み重ね部とを備えている。

これによれば、熱変形が抑制されたシートを積層することがき、積層精度を向上させることができる。

また、本発明の一態様に係る積層型電子部品の製造方法は、複数のシートが積層されることで形成される積層型電子部品の製造方法であって、前記シートを保持する第１保持部にて、前記シートを保持する第１保持工程と、加熱された状態で、前記シートを前記第１保持部から受け取って保持する第２保持工程と、前記第２保持工程で保持したシートを所定位置に積み重ねるシート積み重ね工程と、前記第１保持工程および前記第２保持工程が行われていないときに、前記第１保持部を冷却する冷却工程とを含む。

これによれば、熱によるシートの変形を抑制できるので、積層型電子部品の品質低下を抑制することができる。

また、前記第１保持工程において、あるいは、前記第２保持工程と前記シート積み重ね工程との間に、前記シートの保持位置を検出してもよい。

これによれば、シートの積層精度を向上させることができ、積層型電子部品を高品質化することができる。

本発明のシート搬送装置等によれば、熱によるシートの変形を抑制することができる。

実施の形態１に係るシート搬送装置を含むシート積層装置の斜視図である。 実施の形態１に係るシート積層装置の各ステージの関係を示す模式図である。 実施の形態１に係るシート搬送装置の供給ステージを示す正面図である。 実施の形態１に係るシート搬送装置の受け渡しステージを示す正面図である。 実施の形態１に係るシート搬送装置の冷却ステージを示す正面図である。 実施の形態１に係るシート積層装置の位置検出ステージを示す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は下側から見た図である。 実施の形態１に係るシート積層装置の制御構成を示すブロック図である。 実施の形態１に係るシート積層装置の動作を示すフローチャートである。 実施の形態２に係る積層型電子部品の製造方法を示すフローチャートである。 実施の形態３に係るシート搬送装置の冷却ステージを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。

本実施の形態のシート搬送装置は、セラミックグリーンシートなど、電子部品材料として用いられる薄状のシートを搬送する装置である。本実施の形態のシート搬送装置は、シートを積層するためのシート積層装置に組み込まれている。

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置および接続形態、製造工程、および製造工程の順序などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。

なお、各図は模式図であり、図面に示される構成要素の大きさまたは大きさの比は、必ずしも厳密ではない。また、各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略または簡略化する。

（実施の形態１）
［１−１．シート搬送装置およびシート積層装置の全体構成］
図１は、実施の形態１に係るシート搬送装置２を含むシート積層装置１の斜視図である。図２は、シート積層装置１の各ステージの関係を示す模式図である。

シート搬送装置２は、図１および図２に示すように、シート５を第１保持部１０上に供給する供給ステージＳＡ、シート５を第１保持部１０から第２保持部２０に受け渡す受け渡しステージＳＢ、および、第１保持部１０を冷却部３０で冷却する冷却ステージＳＣを備えている。

シート積層装置１は、前述した供給ステージＳＡ、受け渡しステージＳＢ、冷却ステージＳＣに加え、シート５の保持位置を位置検出部４０で検出する位置検出ステージＳＤ、および、シート５を積み重ね部５０で積層する積み重ねステージＳＥを備えている。

第１保持部１０は、図２に示すように、供給ステージＳＡ、受け渡しステージＳＢ、冷却ステージＳＣをこの順に、繰り返し移動する。第１保持部１０は、一軸テーブルなどの第１移動手段により、上記ステージ間を移動可能となっている。

第２保持部２０は、受け渡しステージＳＢ、位置検出ステージＳＤ、積み重ねステージＳＥをこの順に、繰り返し移動する。第２保持部２０は、垂直一軸ロボットおよび水平一軸ロボットで構成される第２移動手段により、上記ステージ間を移動可能となっている。

［１−２．シート搬送装置およびシート積層装置の各構成］
以下、シート搬送装置２およびシート積層装置１の各構成について説明する。

図３Ａは、シート搬送装置２の供給ステージＳＡを示す正面図である。図３Ａを参照しながら、第１保持部１０について説明する。

第１保持部１０は直方体状であり、耐摩耗性を有する金属材料により形成されている。第１保持部１０は、その上面に、シート５を保持する第１の保持面１１を有している。第１の保持面１１は、平面状であり、複数の吸引穴１２が形成されている。複数の吸引穴１２には、電磁弁などの第１吸引手段が接続されている。第１吸引手段をオンまたはオフすることにより、第１の保持面１１でシート５を保持または保持解除することができる。

搬送対象であるシート５は、キャリアフィルム７と、キャリアフィルム７に形成されたグリーンシート６とにより構成される複合シートである。シート５は、平面視して矩形状をしている。シート５は、グリーンシート６が第１の保持面１１に接し、キャリアフィルム７がグリーンシート６の上側に位置する状態で、第１保持部１０に保持されている。

第１保持部１０の内部であって第１の保持面１１の近傍には、熱電対などの温度センサ１３が設けられている。この温度センサ１３によって、第１の保持面１１の近傍の温度をモニタすることができる。

図３Ｂは、シート搬送装置２の受け渡しステージＳＢを示す正面図である。図３Ｂを参照しながら、第２保持部２０について説明する。

第２保持部２０は直方体状であり、耐摩耗性を有する金属材料により形成されている。第２保持部２０は、その下面に、シート５を保持する第２の保持面２１を有している。第２の保持面２１は、平面状であり、複数の吸引穴２２が形成されている。複数の吸引穴２２には、電磁弁などの第２吸引手段が接続されている。第２吸引手段をオンまたはオフすることにより、第２の保持面２１でシート５を保持または保持解除することができる。

第２保持部２０の内部には、温度センサ付きのヒータ２３が設けられている。ヒータ２３は、第２保持部２０で保持したグリーンシート６を、積み重ね部５０上のグリーンシート６に熱圧着するために設けられている。ヒータ２３は、温度調節器（図示省略）に接続され、第２保持部２０は、グリーンシート６に含まれるバインダのガラス転移点付近の温度となるように温度制御される。第２保持部２０の温度は、例えば、４０℃以上７０℃以下のうちの所定の温度となるように設定される。

シート５を第１保持部１０から第２保持部２０に受け渡す場合、第１の保持面１１と第２の保持面２１とが、第１保持部１０に保持されたシート５を介して接する。その際、第１保持部１０は、加熱された状態の第２保持部２０から熱を受け温度上昇する。本実施の形態のシート搬送装置２では、第１保持部１０の温度上昇を抑制するため、冷却部３０が設けられている。

図３Ｃは、シート搬送装置２の冷却ステージＳＣを示す正面図である。図３Ｃを参照しながら、冷却部３０について説明する。

冷却部３０は、直方体状であり、耐摩耗性を有する金属材料により形成されている。冷却部３０は、第１保持部１０の第１の保持面１１と接触する冷却接触面３１を有している。冷却接触面３１は、吸引穴等が形成されておらず平坦状である。冷却接触面３１の外形は、第１保持部１０の第１の保持面１１の外形よりも大きい。

冷却部３０には冷却手段３２が設けられている。冷却手段３２は、冷却部３０の内部に設けられた配管と、配管に流れる冷却媒体とにより構成される。冷却媒体は、例えば、１５℃以上２０℃以下の水である。

冷却部３０は、垂直一軸ロボットなどの冷却部移動手段により、第１保持部１０に対して接近または離反可能となっている。冷却部３０は、第１保持部１０がシート５を保持していない状態において、第１保持部１０の第１の保持面１１に接触する。第１保持部１０と冷却部３０とが接触している際に、第１保持部１０の吸引穴１２を用いて冷却部３０を吸引することで、第１保持部１０と冷却部３０との密着性を向上させ、第１保持部１０を効率的に冷却することができる。

図４は、シート積層装置１の位置検出ステージＳＤを示す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は下側から見た図である。図４を参照しながら、複数の位置検出部４０について説明する。

複数の位置検出部４０のそれぞれは、例えば、光学カメラまたは光学センサであり、第２保持部２０に保持されているシート５の保持位置を検出する。シート５の保持位置とは、第２保持部２０の所定位置を基準としたシート５の位置をいう。シート５には、予め２つのセンシングマーク５ａが形成されている。複数の位置検出部４０のそれぞれは、２つのセンシングマーク５ａに対応する位置に配置されている。位置検出部４０によって検出されたシート５の保持位置情報は、シート５を積み重ねる際の位置補正に用いられる。

なお、シート５の位置検出は、第２保持部２０にて保持されている状態のシート５に限られず、第１保持部１０にシート５が保持されている状態で、シート５の保持位置を検出してもよい。

次に、図１および図２を参照しながら、積み重ねステージＳＥについて説明する。

積み重ねステージＳＥは、積み重ね部５０と、シート５を押圧して積み重ねる押圧手段７０とを有している。

第２保持部２０により保持されたシート５は、積み重ね部５０の上側に搬送される。積み重ねが行われる前に、シート５または積み重ね部５０は、位置検出部４０にて検出した保持位置情報に基づいて位置補正される。位置補正の方法としては、積み重ね部５０によりＸＹθ方向の位置補正を行ってもよいし、積み重ね部５０でＹθ方向の位置補正を行い第２移動手段でＸ方向の位置補正を行ってもよい。

押圧手段７０は、例えば、油圧シリンダである。押圧手段７０は、押圧パンチ７１を介して第２保持部２０を下降させる。第２保持部２０は、第２移動手段にばね等を介して上下移動自在に支持されており、押圧パンチ７１の下降により、積み重ね部５０に向かって押し下げられる。第２保持部２０に保持されたシート５は、積み重ね部５０に予め載置されているシート５等に圧着され、積み重ねられる。

なお、図１に示すシート積層装置１では、第２保持部２０と異なる圧接ヘッド６０を備えている。圧接ヘッド６０の下面である圧接面は、吸引穴がなく平坦状となっている。圧接ヘッド６０は、第２保持部２０がシート５の積み重ねを行った後であって積み重ねステージＳＥから退避しているときに、積み重ね部５０に載置されたグリーンシート６を再び押圧する。この圧接ヘッド６０の押圧により、吸引穴等を起因とするグリーンシート６の変形を抑制しつつ、グリーンシート６同士の密着性を向上させることができる。

次に、シート積層装置１の制御構成について説明する。図５は、シート積層装置の制御構成を示すブロック図である。

シート積層装置１は、図５に示されるように、温度センサ１３および位置検出部４０を備えている。温度センサ１３は、第１保持部１０の温度を計測するセンサである。位置検出部４０は、第２保持部２０に保持されたシート５の保持位置を検出する検出器である。

また、シート積層装置１は、制御部１００、第１移動手段１５、第１吸引手段１６、第２移動手段２５、第２吸引手段２６、ヒータ２３、冷却部移動手段３５、位置補正手段５５および押圧手段７０を備えている。

第１移動手段１５は、第１保持部１０を、供給ステージＳＡ、受け渡しステージＳＢ、冷却ステージＳＣの順に移動させる手段である。第１吸引手段１６は、第１保持部１０の吸引をオンオフする手段である。第２移動手段２５は、第２保持部２０を受け渡しステージＳＢ、位置検出ステージＳＤ、積み重ねステージＳＥの順に移動させる手段である。第２吸引手段２６は、第２保持部２０の吸引をオンオフする手段である。ヒータ２３は、第２保持部２０を加熱する手段である。冷却部移動手段３５は、冷却部３０を第１保持部１０に接近または離反させる手段である。

位置補正手段５５は、シート５の保持位置が目標値からずれている場合に、シート５の保持位置を相対的に補正する手段である。制御部１００は、位置検出部４０により検出した保持位置情報に基づき、目標値に対するシート５のずれ量を求め、ずれ量に対応した位置補正指令を位置補正手段５５に出力する。

押圧手段７０は、押圧パンチ７１を介して押圧力を第２保持部２０に伝達し、積み重ね部５０に載置されたグリーンシート６に、第２保持部２０で保持したシート５（グリーンシート６）を積層し、圧着する手段である。

制御部１００は、上記の第１移動手段１５、第１吸引手段１６、第２移動手段２５、第２吸引手段２６、ヒータ２３、冷却部移動手段３５、位置補正手段５５および押圧手段７０を統括的に制御する。制御部１００は、例えばＣＰＵ、ＲＡＭ及びＲＯＭなどを備えており、ＣＰＵがＲＯＭに格納されたプログラムをＲＡＭに展開して実行することで、第１移動手段１５、第１吸引手段１６、第２移動手段２５、第２吸引手段２６、ヒータ２３、冷却部移動手段３５、位置補正手段５５および押圧手段７０の作動を制御する。また、制御部１００は、第１吸引手段１６および第２吸引手段２６の吸引オンオフタイミング、および、冷却部移動手段３５の駆動タイミングなどを制御する。

［１−３．シート積層装置およびシート搬送装置の動作］
次に、シート搬送装置２およびシート積層装置１の動作について説明する。図６は、シート積層装置１の動作を示すフローチャートである。

先に、第１保持部１０の動作を中心に説明する。

まず、供給ステージＳＡにて、第１保持部１０の第１の保持面１１上にシート５を載置し供給する（Ｓ１１）。供給されたシート５は、第１吸引手段１６を吸引オンすることで第１の保持面１１に保持される（第１保持工程）。

次に、第１移動手段１５を駆動し、第１保持部１０を受け渡しステージＳＢに移動させる。第１保持部１０の移動が完了した後、第２移動手段２５を駆動し、第２保持部２０を下降させる。これにより、第１保持部１０によるシート受け渡し（Ｓ１２）、および、第２保持部２０によるシート受け取り（Ｓ２２）を行う。

具体的には、まず、第２保持部２０の第２の保持面２１を、シート５を介した状態で、第１保持部１０の第１の保持面１１に当接させる。次に、第２吸引手段２６の吸引をオンした後、第１吸引手段１６の吸引をオフする。次に、第２移動手段２５を駆動し、第２保持部２０を上昇させ、第２保持部２０の第２の保持面２１と、第１保持部１０の第１の保持面１１とを離反させる。これらの動作により、第１保持部１０によるシート受け渡し、および、第２保持部２０によるシート受け取りが完了する（第２保持工程）。このように、シート５の受け渡しの際に、第１の保持面１１および第２の保持面２１の少なくとも一方が吸引オンした状態で、シート５を保持するので、シート５の熱変形が抑制される。

次に、第１移動手段１５を駆動し、第１保持部１０を冷却ステージＳＣに移動させる。そして、冷却部移動手段３５を駆動することで冷却部３０を下降させ、冷却部３０の冷却接触面３１を第１保持部１０の第１の保持面１１に接触させる。この動作により、第１保持部１０を冷却する（Ｓ１３：冷却工程）。このとき、第１保持部１０の第１吸引手段１６をオンさせ、冷却部３０の冷却接触面３１を第１の保持面１１に密着させる。これにより、第１保持部１０の冷却効率が向上する。

冷却部３０を第１保持部１０に接触させた後、第１保持部１０の温度センサ１３が目標温度を示したときに、冷却部移動手段３５を駆動して冷却部３０を第１保持部１０から引き離す。例えば、第１保持部１０の冷却前の温度が約２２℃で、冷却部３０の温度が約１７℃である場合、冷却部３０に当接された第１保持部１０の温度が２０℃になった時点で、冷却部３０を第１保持部１０から引き離す。

このように、第１保持部１０の温度センサ１３の計測値に基づいて、冷却部３０を引き離すタイミングを決めているので、第１保持部１０の温度を均一に保つことが可能となる。また、冷却部３０の温度を、第１保持部１０を冷却する際の目標温度（例えば、２０℃）よりも低い温度（例えば、１７℃）に設定することで、第１保持部１０の冷却時間を短縮することができる。

冷却が完了すれば、第１移動手段１５を駆動し、第１保持部１０を供給ステージＳＡに移動させる。以降、第１保持部１０は、第２保持部２０と動作サイクルを合わせながら、供給ステージＳＡ、受け渡しステージＳＢ、冷却ステージＳＣの順に同様の動作を行う。

次に、シート積層装置１の動作について、第２保持部２０の動作を中心に説明する。

まず、第２移動手段２５を駆動し、受け渡しステージＳＢに配置された第２保持部２０を位置検出ステージＳＤに移動させる。そして、位置検出部４０にてシート５のセンシングマーク５ａを読み取り、シート５の保持位置を検出する（Ｓ２３）。シート５の保持位置に関する情報は、制御部１００に入力され、位置補正指令として位置補正手段５５に出力される。位置補正手段５５は、位置補正指令に基づいて位置補正を行う。

次に、第２移動手段２５のさらなる駆動により、第２保持部２０を積み重ねステージＳＥに移動させる。具体的には、シート５を保持した第２保持部２０を積み重ね部５０の上側に位置させた状態で、押圧手段７０により押圧パンチ７１および第２保持部２０を押し下げ、第２保持部２０に保持されたシート５を積み重ね部５０上のグリーンシート６に押圧する。そして、所定の時間経過後、押圧パンチ７１および第２保持部２０を上昇させる。上昇の際、第２保持部２０のグリーンシート６は、積み重ね部５０上のグリーンシート６に圧着された状態で、積み重ね部５０上に残る。一方、キャリアフィルム７は、第２保持部２０に保持された状態で、第２保持部２０とともに上昇する。すなわち、この動作により、グリーンシート６からキャリアフィルム７が剥離される。剥離されたキャリアフィルム７は、他の場所に置かれた回収箱に投入される。これらの動作により、シート積層の１サイクルが完了する（Ｓ２４）。

積み重ねが完了すれば、第２移動手段２５を駆動させ、第２保持部２０を、受け渡しステージＳＢに移動させる。以降、第２保持部２０は、第１保持部１０と動作サイクルを合わせながら、受け渡しステージＳＢ、位置検出ステージＳＤ、積み重ねステージＳＥの順に同様の動作を行う。

そして、積み重ね部５０にて、グリーンシート６を所定の枚数積み重ねることで、シート積層に関する動作を終了する。

［１−４．効果等］
本実施の形態に係るシート搬送装置２は、シート５を保持する第１の保持面１１を有する第１保持部１０と、シート５を保持する第２の保持面２１を有し、加熱された状態で、第１保持部１０に保持されたシート５を介して第１の保持面１１に接し、シート５を第１保持部１０から受け取って第２の保持面２１で保持する第２保持部２０と、第１保持部１０がシート５を保持していない状態において、第１の保持面１１に接触して第１保持部１０を冷却する冷却部３０とを備えている。

このように、シート搬送装置２が第１保持部１０を冷却する冷却部３０を備えているので、例えば、加熱された状態の第２保持部２０が第１保持部１０に接し、第１保持部１０が温度上昇するような場合が起きても、第１保持部１０を冷却して第１保持部１０の温度を下げることができる。これにより、第１保持部１０に保持されるシート５の熱変形を抑制することができる。

また、熱膨張率が異なる材質で形成された複数種類のシート５を積み重ねる場合であっても、熱膨張によるシート５のサイズの変化を抑制することができる。

また、例えば、第１保持部１０に冷却機能を持たせた場合と比較して、本実施の形態では、第１保持部１０とは異なる冷却部３０に冷却機能を持たせているので、第１保持部１０の構造を簡略化することができる。また、本実施の形態では、冷却部３０と第１保持部１０とを接触させて、第１の保持面１１を直接冷却できるため、冷却温度の精度を向上させることができる。

また、本実施の形態に係るシート積層装置１は、シート搬送装置２と、第２保持部２０で保持したシート５を所定位置に積み重ねる積み重ね部５０とを備えている。

これによれば、熱変形が抑制されたシート５を積層することがき、積層精度を向上させることができる。また、例えば、第１保持部１０の冷却と、シート５の積み重ねを並行して行うことが可能となり、生産効率を向上させることができる。

（実施の形態２）
実施の形態２では、積層型電子部品の製造方法について説明する。図７は、積層型電子部品の製造方法を示すフローチャートである。

積層型電子部品は、例えば、積層コンデンサ、積層インダクタ、ＬＴＣＣセラミックス（Low Temperature Co-fired Ceramics）などである。積層型電子部品は、セラミック基材が積層されたセラミック積層体と、セラミック積層体の内部に形成された内部導体と、セラミック積層体の表面に形成され、内部導体と導通する外部端子とを有している。

この積層型電子部品を作製するにあたり、まず、キャリアフィルム７上にグリーンシート６を成形する（Ｓ１）。具体的には、キャリアフィルム７上にシート材料をリップ塗工、スクリーン印刷、インクジェット印刷等で塗布し、乾燥する。

次にグリーンシート６上に内部導体を形成する（Ｓ２）。内部導体を形成するために、例えば、スクリーン印刷、グラビア印刷、インクジェット印刷等の印刷手段を用いることができる。

次に、内部導体が形成されたグリーンシート６を積層する（Ｓ３）。このＳ３工程で、実施の形態１で示したシート積層装置１が用いられる。具体的には、内部導体が形成されたグリーンシート６を第１保持部１０に保持させた後、第２保持部２０に受け渡し、第２保持部２０に保持されたグリーンシート６を積み重ね部５０で積層する。一方、グリーンシート６を積み重ねている間に、第１保持部１０を冷却部３０で冷却する。そして、これらの動作を繰り返す。

所定枚数のグリーンシート６の積層を終え、積層体ブロックを形成した後、積層体ブロックに対してプレス加工を行う。プレス加工は、平板プレス、あるいは静水圧プレスを用いることができる。プレス加工では、Ｓ３工程よりも高圧力で積層体ブロックを圧接する。

次に、積層体ブロックをカットして個片化する（Ｓ４）。カット方式としてはカット刃を用いた押し切り、または、ダイシング等などが挙げられる。

次に個片化したワークを焼成する（Ｓ５)。この高温焼成処理により、グリーンシート中のセラミック粉末が焼結するとともに、内部導体中の金属粉末が焼結する。

次に、焼成されたワークに外部端子を形成する（Ｓ６）。これにより、積層型電子部品が作製される。

なお、上記では、積層型電子部品がセラミック基材の積層体により構成される例を示したが、それに限られず、積層型電子部品は、樹脂基材の積層体により構成されていてもよい。その場合、上記Ｓ５工程の後の高温焼成処理を行わずに積層型電子部品を形成することができる。

実施の形態２に係る積層型電子部品の製造方法は、複数のシート５が積層されることで形成される積層型電子部品の製造方法であって、シート５を保持する第１保持部１０にて、シート５を保持する第１保持工程と、加熱された状態で、シート５を第１保持部１０から受け取って保持する第２保持工程と、第２保持工程で保持したシート５を所定位置に積み重ねるシート積み重ね工程と、第１保持工程および第２保持工程が行われていないときに、第１保持部１０を冷却する冷却工程とを含む。

なお、上記において、第１保持工程および第２保持工程が行われていないときとは、第１保持工程および第２保持工程以外のときであり、少なくともシート積み重ね工程を含むときである。

実施の形態２では、第１保持工程、第２保持工程、シート積み重ね工程および冷却工程において、実施の形態１に係るシート搬送方法およびシート積層方法が用いられるので、シート５の熱変形を抑制でき、積層型電子部品の品質低下を抑制することができる。また、シート積層時のシート５の位置決め時間を短縮することができるので、積層型電子部品の生産性を向上させることができる。

また、上記では、シート搬送装置２をシート積層装置１に組み込んだ例を示したが、それに限られず、シート搬送装置２は、印刷装置、露光装置、レーザー加工装置、機械加工、外観検査装置など、熱源を有する装置に組み込んで用いることができる。

（実施の形態３）
図８は、実施の形態３に係るシート搬送装置の冷却ステージＳＣを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。

実施の形態３では、冷却ステージＳＣの位置制御部材に応力が付加された場合について説明する。位置制御部材とは、例えば、サーボモータ１１６、スライダ１１７を有するリニアガイド１１２、ボールネジ１１１、リニアスケール１１３などの一軸ロボットに用いられる部材である。

冷却ステージＳＣでは、冷却部３０の冷却接触面３１と第１保持部１０の第１の保持面１１とを密着させるために、冷却部３０および第１保持部１０を互いに圧接する。その際、冷却部３０および第１保持部１０のそれぞれは傾きを有し、平行度が完全な０ではないため、位置制御部材に応力が生じる場合がある。

実施の形態３では、このような応力の発生を抑制するため、冷却部３０と第１保持部１０とを密着させ圧接する際に、サーボモータ１１６による位置制御を解除、あるいは、位置制御の動力源にトルク制限（モータトルクの１０％程度目安）をかける。

例えば、冷却部３０および第１保持部１０の圧接に伴ってスライダ１１７に水平方向の力が加わると、ボールネジ１１１にトルクが発生する。このトルクが制限値を越えると、サーボモータ１１６はこのトルクを打消す方向に回転し、制限値を下回ったところで停止する。本実施の形態では、このトルクの制限値（制限トルク）を、下記に示す大小関係とすることで、サーボモータ１１６のトルクに起因するボールネジ１１１の変形、および、スライダ１１７の変形を抑制している。

制限トルク＜ボールネジに変形が生ずるトルク

また、本実施の形態では、冷却部３０と第１保持部１０とを密着させた際、スライダ１１７の左方向への移動は停止するが、このスライダ１１７の移動が停止した状態でも、ボールネジ１１１はトルクを打消す方向に回転するので、ボールネジ１１１の変形が解消され、リニアガイド１１２に過大な力が加わることを抑制できる。これにより、位置ずれ等が生じることを抑制することができる。

さらに、ボールネジ１１１およびリニアガイド１１２に変形が生じにくいことから、冷却部３０および第１保持部１０が離反した直後に動き出すスライダ１１７のオーバーシュートに起因する振動も低減できる。

なお、上記では冷却ステージＳＣにおける冷却部３０と第１保持部１０との関係を例に挙げて説明したが、積み重ねステージＳＥの第２保持部２０と積み重ね部５０との関係にも適用することができる。

（その他の形態）
以上、本発明の実施の形態に係るシート搬送装置２、シート積層装置１および積層型電子部品の製造方法について説明したが、本発明は、個々の実施の形態及びその変形例には限定されない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態及びその変形例に施したものや、異なる実施の形態及びその変形例における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本発明の一つ又は複数の態様の範囲内に含まれてもよい。

例えば、シート搬送装置２において、冷却部３０の冷却接触面３１と第１保持部１０の第１の保持面１１との密着性を向上させるために、冷却部３０の冷却接触面３１を、樹脂などの軟質材料（第１保持部１０よりも柔らかい材料）により構成してもよい。

また、シート搬送装置２において、第１の保持面１１と冷却接触面３１とをほぼ平行にするように、冷却部３０を球面ベアリングなどの自由関節により支持してもよい。

また、シート搬送装置２において、第１保持部１０および第２保持部２０が、上下逆であってもよい。すなわち、上側に配置された第１保持部１０から、下側に配置された第２保持部２０にシート５を受け渡してもよい。

また、シート積層装置１において、第２保持部２０が積み重ね部５０を有していてもよい。すなわち、第２保持部２０がシート５を受け取り、そのシート５を第２保持部２０上に順次積層してもよい。

また、第２保持部２０は、内部に設けられたヒータ２３により自身が加熱された状態となるが、それに限られず、受け渡しステージＳＢよりも後のステージ（第２保持工程よりも後工程）で配置された熱源に直接的または間接的に接触して加熱された状態となってもよい。

また、シート積層装置１におけるグリーンシート６の積み重ね方式は、第２保持部２０で押圧した後にグリーンシート６とキャリアフィルム７とを剥離するのでなく、圧接ヘッド６０で押圧した後にキャリアフィルム７とグリーンシート６とを剥離する方式でもよい。また、第1保持部１０にシート５が保持されている時点など、シート積み重ね工程よりも前に、グリーンシート６からキャリアフィルム７を剥離し、その後、積み重ね部５０でグリーンシート６のみを積み重ねてもよい。また、圧接ヘッド６０による圧接を行わず、第２保持部２０のみでシート５を圧着してもよい。

また、シート５の材質はセラミックグリーンシートに限られず、樹脂シート、金属箔であってもよい。シート５に貫通孔や貫通溝、凹凸形状などが設けられていてもよい。シート５に金属ペースト等のパターン（乾燥後あるいは未乾燥、半乾燥）が形成されていてもよい。シート５は、キャリアフィルム７に液状材料を供給して形成してもよいし、別工程で形成したグリーンシート６をキャリアフィルム７に貼り付けてもよい。シート５は、キャリアフィルム７に形成されている必要はなく、自立したシートであってもよい。キャリアフィルム７の材質は、樹脂、金属など、変形可能なフィルムでもよいし、剛体でもよい。

本発明のシート搬送装置等は、セラミックグリーンシート、磁性体シート、樹脂シートなど、電子部品材料として用いられる薄板状のシートを搬送するための装置として広く利用できる。

１ シート積層装置
２ シート搬送装置
５ シート
５ａ センシングマーク
６ グリーンシート
７ キャリアフィルム
１０ 第１保持部
１１ 第１の保持面
１２ 吸引穴
１３ 温度センサ
１５ 第１移動手段
１６ 第１吸引手段
２０ 第２保持部
２１ 第２の保持面
２２ 吸引穴
２３ ヒータ
２５ 第２移動手段
２６ 第２吸引手段
３０ 冷却部
３１ 冷却接触面
３２ 冷却手段
３５ 冷却部移動手段
４０ 位置検出部
５０ 積み重ね部
５５ 位置補正手段
６０ 圧接ヘッド
７０ 押圧手段
７１ 押圧パンチ
ＳＡ 供給ステージ
ＳＢ 受け渡しステージ
ＳＣ 冷却ステージ
ＳＤ 位置検出ステージ
ＳＥ 積み重ねステージ

Claims (8)

1. シートを搬送するシート搬送装置であって、
   前記シートを保持する第１の保持面を有する第１保持部と、
   前記シートを保持する第２の保持面を有し、加熱された状態で、前記第１保持部に保持された前記シートを介して前記第１の保持面に接し、前記シートを前記第１保持部から受け取って前記第２の保持面で保持する第２保持部と、
   前記第１保持部が前記シートを保持していない状態において、前記第１の保持面に接触して前記第１保持部を冷却する冷却部と
   を備えるシート搬送装置。
2. 前記第１の保持面には、複数の吸引穴が形成されている
   請求項１に記載のシート搬送装置。
3. 前記第１保持部は、前記冷却部と前記第１の保持面とが接触している際に、前記複数の吸引穴を用いて前記冷却部を吸引する
   請求項２に記載のシート搬送装置。
4. 前記第１保持部は、温度センサを有している
   請求項１〜３のいずれか１項に記載のシート搬送装置。
5. さらに、
   前記第１保持部、あるいは、前記第２保持部に保持されている前記シートの保持位置を検出する位置検出部を備える
   請求項１〜４のいずれか１項に記載のシート搬送装置。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載のシート搬送装置と、
   前記第２保持部で保持した前記シートを所定位置に積み重ねる積み重ね部と
   を備えるシート積層装置。
7. 複数のシートが積層されることで形成される積層型電子部品の製造方法であって、
   前記シートを保持する第１保持部にて、前記シートを保持する第１保持工程と、
   加熱された状態で、前記シートを前記第１保持部から受け取って保持する第２保持工程と、
   前記第２保持工程で保持したシートを所定位置に積み重ねるシート積み重ね工程と、
   前記第１保持工程および前記第２保持工程が行われていないときに、前記第１保持部を冷却する冷却工程と
   を含む積層型電子部品の製造方法。
8. 前記第１保持工程において、あるいは、前記第２保持工程と前記シート積み重ね工程との間に、前記シートの保持位置を検出する
   請求項７に記載の積層型電子部品の製造方法。

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