JP2003145522A - セラミック積層体製造装置およびセラミック積層体製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 セラミック積層体の製造において、吸引穴に
よってセラミックグリーンシートが盛り上がる現象を防
止でき、なおかつ、材料を無駄にせず、積層ジグで積層
体を十分拘束できるようにする。 【解決手段】 セラミック積層体製造装置は、セラミッ
クグリーンシートを保持するための吸着手段を有し、前
記セラミックグリーンシートを積重ねるとともに、第１
の圧力で押圧するための第１の圧着ヘッド２１と、積み
重ねられた上記セラミックグリーンシートを第１の圧力
より高い第２の圧力で押圧するための第２の圧着ヘッド
２２とを備える。好ましくは、第２の圧着ヘッド２２の
セラミックグリーンシートに当接するための領域は、穴
のない平坦面である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、セラミック電子部
品に用いられるセラミック積層体の製造装置および製造
方法に関するものである。なお、セラミック積層体と
は、キャリアフィルム上に成形されたセラミックグリー
ンシートをキャリアフィルムから剥離し、セラミックグ
リーンシート同士を積み重ねて互いに圧着させたもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】（従来技術に基づく第１のセラミック積
層体製造装置）図１０〜図１２を参照して、従来技術に
基づく第１のセラミック積層体製造装置を用いたセラミ
ックグリーンシートの積層方法について説明する。図１
０に示すように、キャリアフィルム１の上面にセラミッ
クグリーンシート２が形成されたキャリアフィルム付き
セラミックグリーンシート１０が供給され、圧着ヘッド
２１が、キャリアフィルム付きセラミックグリーンシー
ト１０に向かって降下する。圧着ヘッド２１には吸引穴
３が設けられており、外周を取り囲むように切断刃６が
配置されている。図１１に示すように、切断刃６がキャ
リアフィルム１は切断せずにセラミックグリーンシート
２だけを切断する。圧着ヘッド２１は、切断された内側
の領域のセラミックグリーンシート２を吸引穴３によっ
て吸着してキャリアフィルム１から剥離し、持ち上げ
る。図１２に示すように、圧着ヘッド２１は、積層ジグ
５の上方に移動し、積層ジグ５の内部にセラミックグリ
ーンシート２を下ろす。この状態でパンチ５３ａが圧着
ヘッド２１を上側から押圧することによって、いま下ろ
したセラミックグリーンシート２は、既に積層ジグ５内
に形成されているセラミックグリーンシート２の積層体
に仮圧着させられる。

【０００３】セラミックグリーンシート２は、薄いた
め、吸引穴３で吸着して保持すると、図１３に示すよう
に、吸引穴３の形状がセラミックグリーンシート２に転
写される場合がある。セラミックグリーンシート２は、
積層ジグ５内に下ろされた後、仮圧着のために圧着ヘッ
ド２１によって押圧されるが、圧着ヘッド２１の吸引穴
３に当たる部分は押圧されないため、図１３に示すよう
に、圧着されずにセラミックグリーンシート２が盛り上
った形状となる。このような現象が起こる状態のまま、
何枚ものセラミックグリーンシート２を積み重ねていく
と、吸引穴３の位置は毎回同じ位置なので、盛り上がっ
たセラミックグリーンシート２の上に、さらに盛り上が
ったセラミックグリーンシート２を重ねる結果となる。
そのため、図１４に示すように、最上層に表れる盛り上
がり量は次第に大きくなり、しまいに、突出した部分の
セラミックグリーンシート２が破れたり、破れてちぎれ
たセラミックグリーンシート２の突起部分が吸引穴３を
塞いだりする場合がある。

【０００４】また、セラミックグリーンシート２の表面
には、薄い金属層からなる電極４が印刷される場合があ
る。このような電極４を印刷したセラミックグリーンシ
ート２を圧着ヘッド２１で吸着した場合、図１５に示す
ように、吸引穴３は、電極４に当接する場合がある。こ
の状態で吸着して、さらに仮圧着のために押圧すると、
図１６に拡大して示すように、吸引穴３の形状が電極４
に転写されて、電極４に盛上り部４１が形成されてしま
う。このような盛上り部４１を発生させる条件のまま何
枚ものセラミックグリーンシート２を積み重ねると、図
１７に示すようになる。この場合、盛上り部４１によっ
て、セラミックグリーンシート２同士の間にすきまがで
き、密着性が悪くなる場合がある。また、吸引穴３は毎
回同じ位置にあるので、盛上り部４１が毎回同じ箇所に
でき、これが積層されることによって盛上り部４１の箇
所だけ局所的に厚くなって、積層体としての厚みの均一
性が損なわれたりする。

【０００５】この問題を解消するために適当な技術とし
て、特開２０００−２９９２４４に提案された技術があ
る。この技術を適用すれば、吸引穴によってセラミック
グリーンシートが盛り上がる現象や電極が盛り上がる現
象を防止できるセラミック積層体製造装置およびセラミ
ック積層体製造方法を得ることができる。以下、特開２
０００−２９９２４４に提案された技術を適用した例を
説明する。

【０００６】（従来技術に基づく第２のセラミック積層
体製造装置）図１８〜図２３を参照して、従来技術に基
づく第２のセラミック積層体製造装置の構成について説
明する。このセラミック積層体製造装置は、圧着ヘッド
２１を備えている。図１８に示すように、圧着ヘッド２
１は、セラミックグリーンシート２を保持するための吸
引穴３と、積み重ねられたセラミックグリーンシート２
を押圧するための平坦部７とを含んでいる。このセラミ
ック積層体製造装置は、セラミックグリーンシート２の
積層位置に対する圧着ヘッドの押圧位置の相対位置関係
を変更するための位置変更手段（図示省略）を備えてい
る。位置変更手段としては、たとえば、Ｘ軸テーブルお
よびＸ軸テーブルリニアガイドの組合せが使用可能であ
る。

【０００７】上述のセラミック積層体製造装置を用い
て、セラミックグリーンシートを積み重ねる方法につい
て説明する。まず、図１８に示すように、１枚目のセラ
ミックグリーンシート２ｈを吸引穴３で吸着した状態
で、積層ジグ５の所定箇所に置く。圧着ヘッド２１は、
吸引をやめ、次のセラミックグリーンシートを取りに行
く。しかし、セラミックグリーンシート２ｈにおいて
は、吸引穴３に対応する部分には突起が残る。次に、図
１９に示すように、２枚目のセラミックグリーンシート
２ｉを１枚目のセラミックグリーンシート２ｈとは、ず
らした位置に積み重ねる。このずらし量は、吸引穴３の
径より大きな長さとする。この結果、セラミックグリー
ンシート２ｈの突起は平坦部７によって押しつぶされ、
図２０に示すように平坦になる。代わりに、新たに積ん
だセラミックグリーンシート２ｉには突起が残る。次
に、３枚目のセラミックグリーンシート２ｊは、図２０
に示すように、セラミックグリーンシート２ｉとさらに
逆向きにずらした位置に積み重ねる。すなわち、セラミ
ックグリーンシート２ｈとセラミックグリーンシート２
ｊとは積み重ねた位置が同じとなっている。このよう
に、１枚ごとにずらして、交互に異なる位置に積み重ね
ていくことによって、吸引穴３で生じた突起は、必ず次
の積重ねの際に平坦部７によって押しつぶされ、図２１
に示すように、最上層の１枚を除いていずれも平坦にな
る。

【０００８】上述のようにずらして積層することによ
り、セラミックグリーンシートに吸引穴に起因する突起
が生じてもその都度押しつぶして平らにしながら積み重
ねることができるため、突起が同じ位置で蓄積し、突出
した部分のセラミックグリーンシート２が破れたり、破
れてちぎれたセラミックグリーンシート２の突起部分が
吸引穴３を塞いだりするなどといった現象を防止するこ
とができる。

【０００９】毎回のずらし量がＡである場合、最終的な
積層体の端から長さＡの部分には、図２１に示すよう
に、１枚おきにしかセラミックグリーンシートが入って
いない状態となるが、このような端部は、耳部として切
り捨て、廃棄するものである。

【００１０】図２２、図２３に、各層の吸引穴の位置関
係を拡大して概念的に示す。上述の例では、図２２に示
すように、交互に反対側に吸引穴径に相当する距離ずつ
ずらし、その結果、２通りの位置に交互に積み重ねてい
くというものであったが、これ以外のパターンであって
もよい。たとえば、図２３に示すようなパターンでもよ
い。これは、積層途中のある時点に注目し、これを「１
枚目」としたとき、１枚目から２枚目に移るときには、
第１の向き（図２３における右向き）に吸引穴径の半分
の距離だけずらし、２枚目から３枚目に移るときは、先
ほどと逆向きである第２の向き（図２３における左向
き）に吸引穴径の距離だけずらし、３枚目から４枚目に
移るときは、再び第１の向きに吸引穴径の半分の距離だ
けずらすというパターンである。このようなずらし方に
よっても、突起を押しつぶしながら積み重ねることは可
能である。

【００１１】（従来技術に基づく第３のセラミック積層
体製造装置）図２４を参照して、従来技術に基づく第３
のセラミック積層体製造装置の構成について説明する。

【００１２】従来技術に基づく第２のセラミック積層体
製造装置の説明においては、位置変更手段の一例を示し
たが、位置変更手段は、上述のように１つの圧着ヘッド
でリニアガイドなどを用いて位置をずらして押圧する方
式のものに限らず、図２４に示すように２つの圧着ヘッ
ド２１１，２１２を備えることとして、各圧着ヘッドご
とにそれぞれ押圧する位置が決まっており、圧着ヘッド
２１１の押圧する位置と、圧着ヘッド２１２の押圧する
位置とが、吸引穴径だけずれた位置関係になるように設
定されたものであってもよい。このような構成も位置変
更手段に該当するものとする。なお、図２４の例では、
圧着ヘッドは２つであるが、３つ以上として、各圧着ヘ
ッドごとにそれぞれ押圧する位置を決めておいてもよ
い。

【００１３】図２４の例では、キャリアフィルム付きセ
ラミックグリーンシート１０を手前と奥の双方のＹθテ
ーブルから並列して供給し、圧着ヘッド２１１および圧
着ヘッド２１２によって交互にセラミックグリーンシー
ト２をプレス機５３内に持ち込むようになっている。こ
のようにすれば、新たなセラミックグリーンシート２を
受け取るために一方の圧着ヘッドが積層ジグから離れて
いる間にも他方の圧着ヘッドによって積層作業を進める
ことができ、効率がよい。

【００１４】あるいは、図２４に示すような構造の装置
において、２つの圧着ヘッド２１１，２１２の押圧時の
位置は同じとし、その代わり、２つの圧着ヘッド２１
１，２１２の中で占める吸引穴と平坦部の配置関係を変
えておくこととしてもよい。このようにすれば、２つの
圧着ヘッド２１１，２１２が同じ位置で押圧を行なうこ
ととしても、吸引穴によって突出部が生じる位置も平坦
部によって押される領域も圧着ヘッド２１１，２１２間
で異なるので、一方の圧着ヘッドの吸引穴で生じる突出
部を毎回他方の圧着ヘッドの平坦部で押しつぶして平ら
にすることができる。

【００１５】なお、必要であれば、この従来技術に基づ
くセラミック積層体製造装置によって得られたセラミッ
ク積層体を、後工程において、より強い圧力で再度圧着
してもよい。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】従来技術に基づく第
２、第３のセラミック積層体製造装置においては、セラ
ミックグリーンシートをずらして積層するため、図２１
に示されるように積層体の端部に遊び部分が生じる。こ
の遊び部分は除去する必要があり、セラミックグリーン
シートの材料の無駄となる。また、積層ジグの枠内の面
積を、圧着ヘッドの圧着面の面積に比べてずらし量の分
だけ大きくする必要があるため、圧着時に積層ジグによ
って積層体を拘束できない部分が存在することとなり、
その部分においては積層体に盛り上がりを生じる。ま
た、積層体を積層ジグによって十分に拘束できないこと
から、高い積み重ね位置精度を維持することは困難であ
る。

【００１７】そこで、本発明は、吸引穴によってセラミ
ックグリーンシートが盛り上がる現象を防止でき、なお
かつ、材料を無駄にせず、積層ジグで積層体を十分拘束
できる、セラミック積層体製造装置およびセラミック積
層体製造方法を提供することを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に基づくセラミック積層体製造装置では、セ
ラミックグリーンシートを保持するための吸着手段を有
し、上記セラミックグリーンシートを積重ねるととも
に、第１の圧力で押圧するための第１の圧着ヘッドと、
積み重ねられた上記セラミックグリーンシートを上記第
１の圧力より高い第２の圧力で押圧するための第２の圧
着ヘッドとを備える。この構成を採用することにより、
吸着して搬送する圧着ヘッドと、既に積み重ねられたセ
ラミックグリーンシートを強く押圧するための圧着ヘッ
ドと、役割が明確に分担されているので、各圧着ヘッド
をその役割に応じた設計とすることができる。特に、第
２の圧着ヘッドの方からは吸着に関する構造を廃し、よ
り高い圧力に対応した設計とすることができる。

【００１９】上記発明において好ましくは、上記第１お
よび第２の圧着ヘッドを所定の積層位置に移動させるた
めの圧着ヘッド移動手段と、上記第１および第２の圧着
ヘッドのうち上記積層位置に位置するものに、上記セラ
ミックグリーンシートに向けて押圧を行なわせるための
圧着ヘッド加圧手段とを備える。この構成を採用するこ
とにより、第１と第２の圧着ヘッドを圧着ヘッド移動手
段によって入れ替えて、同一の圧着ヘッド加圧手段によ
って押圧を行なうことができるので、装置の省スペース
化を実現することができる。また、２種類の圧着ヘッド
による押圧を一つの圧着ヘッド加圧手段で兼ねて行なう
ことは、すなわち、積層したセラミックグリーンシート
を移動させずに一ヶ所に設置したまま積み重ね作業を進
めていくことができるということでもある。したがっ
て、積み重ね位置精度が良くなる。

【００２０】上記発明において好ましくは、上記第２の
圧着ヘッドの上記セラミックグリーンシートに当接する
ための領域は平坦面である。この構成を採用することに
より、第２の圧着ヘッドは、セラミックグリーンシート
の圧着のための押圧に適した形状とすることができる。

【００２１】上記発明において好ましくは、上記平坦面
は、穴のない平坦面である。この構成を採用することに
より、第２の圧着ヘッドは、穴がないために構造的に圧
縮に強くなり、高い圧力で押圧できる圧着ヘッドとする
ことができる。

【００２２】上記目的を達成するため、本発明に基づく
セラミック積層体製造方法の一つの局面では、セラミッ
クグリーンシートを保持するための吸着手段を有する第
１の圧着ヘッドと、積み重ねられた上記セラミックグリ
ーンシートを押圧するための平坦面を有する第２の圧着
ヘッドとを用い、上記第１の圧着ヘッドで上記セラミッ
クグリーンシートを保持し、搬送し、積重ね、第１の圧
力で押圧した後に、上記第２の圧着ヘッドで上記第１の
圧力より高い第２の圧力で押圧する。この方法を採用す
ることにより、吸着して搬送する圧着ヘッドと、既に積
み重ねられたセラミックグリーンシートを強く押圧する
ための圧着ヘッドとで役割を明確に分担して積層および
圧着の作業を進めていけるので、各圧着ヘッドとして各
役割に応じた設計のものを使用することができ、効率良
くセラミック積層体を製造することができる。

【００２３】上記目的を達成するため、本発明に基づく
セラミック積層体製造方法の他の局面では、供給される
セラミックグリーンシートを、吸引穴を有する第１の圧
着ヘッドで吸着する第１吸着工程と、上記第１の圧着ヘ
ッドに吸着した上記セラミックグリーンシートを所定の
積層位置に搬送し、上記第１の圧着ヘッドに吸着したま
ま降ろす第１設置工程と、上記第１の圧着ヘッドによる
上記セラミックグリーンシートの吸着をやめ、上記セラ
ミックグリーンシートを残して上記第１の圧着ヘッドを
退避させる退避工程と、上記セラミックグリーンシート
の上記吸引穴が当接していた位置に第２の圧着ヘッドの
平坦面を重ね合わせて、前記第１の圧着ヘッドで押圧し
た圧力より強い圧力で押圧する押圧工程とを含む。この
方法を採用することにより、吸引穴によって生じた突出
部を平坦面によって強く押しつぶすことができるので、
突出部が成長して破れるなどといった問題を解消するこ
とが可能となる。

【００２４】上記発明において好ましくは、上記第２の
圧着ヘッドは、上記セラミックグリーンシートに当接す
るための領域内に穴のない平坦面を含む。この方法を採
用することにより、第２の圧着ヘッドとして圧縮に強い
構造のものを用いることができるので、第２の圧着ヘッ
ドによってより確実に圧着しながら積層することができ
る。

【００２５】

【発明の実施の形態】（実施の形態１） （構成）図１を参照して、本発明に基づく実施の形態１
におけるセラミック積層体製造装置の構成について説明
する。このセラミック積層体製造装置は、Ｘ方向に位置
変更可能なように圧着ヘッド２１，２２を備えている。
圧着ヘッド２１は、図２に示すように、セラミックグリ
ーンシート２を吸着する吸引穴３とヒータ（図示省略）
と切断刃６を備えている。図４に示すように、圧着ヘッ
ド２１は、Ｘテーブル２１ａがＸ軸テーブルリニアガイ
ド５４に載ることによって支持されており、Ｘテーブル
２１ａに設けられた４本の圧着ヘッドガイドポスト２１
ｂによって水平方向の動きを拘束されている。プレス機
５３は、ベース５３ｃの上方で、油圧シリンダ５３ｂに
よってパンチ５３ａを押し下げることができるようにな
っている。したがって、圧着ヘッド２１がパンチ５３ａ
の真下に位置するときにパンチ５３ａを押し下げれば、
圧着ヘッド２１が積層ジグ５に向けて押し下げられる。

【００２６】一方、圧着ヘッド２２（図１参照）は、圧
着ヘッド２１とは独立して動作可能であり、吸引穴３と
切断刃６は備えていない。圧着ヘッド２２は、圧着ヘッ
ド２１と似た構造で支持されているが、圧着ヘッド２２
の圧着面には、吸引穴も突起もなく、平坦な面となって
いる。

【００２７】キャリアフィルム付きセラミックグリーン
シート１０は、図１に示すように、一定形状のシート状
で、Ｙθテーブル５１に載せられて供給される。キャリ
アフィルム付きセラミックグリーンシート１０は、Ｙθ
テーブル５１によって吸引保持されている。Ｙθテーブ
ル５１が圧着ヘッド２１の下方に移動する途中で、カメ
ラ（図示省略）でキャリアフィルム付きセラミックグリ
ーンシート１０に予め設けられたマークを撮影し、キャ
リアフィルム付きセラミックグリーンシート１０の載置
位置を検出する。この検出結果は、Ｙθテーブル５１お
よび圧着ヘッド２１にフィードバックされ、載置位置の
ずれが補正される。

【００２８】圧着ヘッド２１がキャリアフィルム付きセ
ラミックグリーンシート１０の上面に向けて下りること
によって、図２に示すように、切断刃６によって、キャ
リアフィルム付きセラミックグリーンシート１０のうち
セラミックグリーンシート２だけに切込みが入れられ
る。圧着ヘッド２１の吸引穴３でセラミックグリーンシ
ート２を吸着し、Ｙθテーブル５１による吸引をやめる
ことによって、キャリアフィルム１を含めたキャリアフ
ィルム付きセラミックグリーンシート１０全体が持ち上
げられる。このように圧着ヘッド２１はキャリアフィル
ム付きセラミックグリーンシート１０を保持したままで
Ｘ方向に移動し、積層ジグ５に向かう途中、キャリアフ
ィルム剥離ブロック５２によってキャリアフィルム１が
剥離される。この剥離作業は、具体的には、図２、図３
に示すように、行なわれる。すなわち、図２に示すよう
に、チャック５２ａがキャリアフィルム付きセラミック
グリーンシート１０の前方で待ち構えており、圧着ヘッ
ド２１が移動してくることによって、キャリアフィルム
付きセラミックグリーンシート１０の前端を把持する。
図３に示すように、チャック５２ａは圧着ヘッド２１の
移動と同期するように下に向けて移動し、ロール５２ｂ
によってキャリアフィルム１を曲げながらキャリアフィ
ルム１をセラミックグリーンシート２から剥離する。

【００２９】こうして、図５に示すように、圧着ヘッド
２１は、セラミックグリーンシート２のみを保持した状
態で、積層ジグ５の上方に到達する。プレス機５３（図
１、図４参照）がパンチ５３ａを押し下げ、圧着ヘッド
２１の先端が、セラミックグリーンシート２を保持した
まま、図６に示すように、積層ジグ５の中に挿入され
る。このとき、たとえば、圧着ヘッド２１の先端および
積層ジグ５は、セラミックグリーンシート２同士を短時
間で圧着するため、セラミックグリーンシート２中に含
まれるバインダのガラス転移温度付近またはそれ以上の
温度に設定され、圧力を３〜８ＭＰａとして圧着する。
所定の圧着時間が経過した後、パンチ５３ａを持ち上
げ、図７に示すように、圧着ヘッド２１を上昇させる。
セラミックグリーンシート２は、積層ジグ５の中に積み
重ねられて残る。

【００３０】次に、図８に示すように、圧着ヘッド２２
を積層ジグ５の上方に移動させる。プレス機５３（図
１、図４参照）がパンチ５３ａを押し下げ、圧着ヘッド
２２の先端が、図９に示すように、積層ジグ５の中に挿
入される。圧着ヘッド２２の先端および積層ジグ５は、
セラミックグリーンシート２同士を短時間で圧着するた
め、セラミックグリーンシート２中に含まれるバインダ
のガラス転移温度付近またはそれ以上の温度に設定さ
れ、圧力を１０〜１３０ＭＰａとして圧着する。この間
に圧着ヘッド２１は、次のセラミックグリーンシート２
を取りに行っている。所定の圧着時間が経過した後、パ
ンチ５３ａを持ち上げ、圧着ヘッド２２を上昇させる。
圧着ヘッド２２を退避させ、次のセラミックグリーンシ
ート２を保持した圧着ヘッド２１が、積層ジグ５の上方
に移動する。

【００３１】以後、同様に、圧着ヘッド２１による新た
なセラミックグリーンシート２の積み重ねおよび小さな
圧力での圧着と、圧着ヘッド２２による大きな圧力での
圧着とを繰り返すことによって、所定枚数までセラミッ
クグリーンシート２を積み重ねる。所定枚数まで積み重
ね終えたら、積層ジグ５をプレス機５３から取り出し、
代わりに新しい積層ジグ５を設置する。こうして、同様
の作業を繰り返す。

【００３２】（作用・効果）圧着ヘッド２１は、吸引穴
３を備えているのに対し、圧着ヘッド２２は、吸引穴な
どのない平坦な面であるため、構造的に圧縮に強くなっ
ており、圧着ヘッド２１より高い圧力で押圧できる。

【００３３】セラミックグリーンシート２を積層ジグ５
まで搬送してくる圧着ヘッド２１の吸引穴３によってセ
ラミックグリーンシート２自身や電極４に変形が生じた
としても、平坦な圧着ヘッド２２で高い圧力で押圧する
ことができるため、変形を押しならして平坦な状態に戻
すことができる。

【００３４】このような圧着ヘッドが２つあっても、１
台のプレス機で使用することができるため、装置を効率
良く構成することができ、装置を安価に抑えることがで
きる。また、圧着ヘッドが移動し、入れ替わることによ
り、積層ジグ５自体は、積重ね終了時まで同じ場所で固
定しておけるので、セラミックグリーンシートの積重ね
位置精度が良い。

【００３５】また、本実施の形態におけるセラミック積
層体製造装置では、圧着ヘッド２２で大きな圧力を加え
ている間に、圧着ヘッド２１が次のセラミックグリーン
シートを取りに行くようにできるので、圧着ヘッドが１
つしかない場合に比べて、セラミックグリーンシートの
１枚当たりの積層に要する時間を短縮することができ
る。

【００３６】なお、今回開示した上記実施の形態はすべ
ての点で例示であって制限的なものではない。本発明の
範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって
示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での
すべての変更を含むものである。

【００３７】

【発明の効果】本発明によれば、吸着して搬送する圧着
ヘッドと、既に積み重ねられたセラミックグリーンシー
トを押圧するための圧着ヘッドと、役割が明確に分担さ
れているので、各圧着ヘッドをその役割に応じた設計と
することができる。特に、第２の圧着ヘッドの方からは
吸着に関する構造を廃し、より高い圧力に対応した設計
とすることができる。第２の圧着ヘッドには吸引穴のな
い構造とすることができるため、吸引穴によってある層
のセラミックグリーンシートに突出部が生じても次の層
の積層時に、圧着ヘッドの平坦部によって前の層の突出
部を押しつぶして平らにしながら積み重ねることができ
る。その結果、突出部同士が積み重なって大きな突起と
なって、しまいに破れたりといった現象を防止すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に基づく実施の形態１におけるセラミ
ック積層体製造装置の斜視図である。

【図２】 本発明に基づく実施の形態１におけるセラミ
ック積層体製造装置の圧着ヘッドがセラミックグリーン
シートを保持して搬送する様子の説明図である。

【図３】 本発明に基づく実施の形態１におけるセラミ
ック積層体製造装置のキャリアフィルムを剥離する動作
の説明図である。

【図４】 本発明に基づく実施の形態１におけるセラミ
ック積層体製造装置のプレス機の部分の正面図である。

【図５】 本発明に基づく実施の形態１におけるセラミ
ック積層体製造装置による積層方法の第１の説明図であ
る。

【図６】 本発明に基づく実施の形態１におけるセラミ
ック積層体製造装置による積層方法の第２の説明図であ
る。

【図７】 本発明に基づく実施の形態１におけるセラミ
ック積層体製造装置による積層方法の第３の説明図であ
る。

【図８】 本発明に基づく実施の形態１におけるセラミ
ック積層体製造装置による積層方法の第４の説明図であ
る。

【図９】 本発明に基づく実施の形態１におけるセラミ
ック積層体製造装置による積層方法の第５の説明図であ
る。

【図１０】 従来技術に基づく第１のセラミック積層体
製造装置による積層方法の第１の説明図である。

【図１１】 従来技術に基づく第１のセラミック積層体
製造装置による積層方法の第２の説明図である。

【図１２】 従来技術に基づく第１のセラミック積層体
製造装置による積層方法の第３の説明図である。

【図１３】 従来技術に基づく第１のセラミック積層体
製造装置による積層方法においてセラミックグリーンシ
ートに吸引穴が転写される様子の説明図である。

【図１４】 従来技術に基づく第１のセラミック積層体
製造装置による積層方法においてセラミックグリーンシ
ートの盛り上がり量が大きくなる様子の説明図である。

【図１５】 従来技術に基づく第１のセラミック積層体
製造装置による積層方法において電極を吸着する様子の
説明図である。

【図１６】 従来技術に基づく第１のセラミック積層体
製造装置による積層方法において電極に吸引穴が転写さ
れる様子の説明図である。

【図１７】 従来技術に基づく第１のセラミック積層体
製造装置による積層方法において盛上り部を有するセラ
ミックグリーンシートを積み重ねた状態を示す説明図で
ある。

【図１８】 従来技術に基づく第２のセラミック積層体
製造装置による積層方法の第１の説明図である。

【図１９】 従来技術に基づく第２のセラミック積層体
製造装置による積層方法の第２の説明図である。

【図２０】 従来技術に基づく第２のセラミック積層体
製造装置による積層方法の第３の説明図である。

【図２１】 従来技術に基づく第２のセラミック積層体
製造装置による積層方法の第４の説明図である。

【図２２】 従来技術に基づく第２のセラミック積層体
製造装置による積層方法の一例での吸引穴の位置関係を
示す概念図である。

【図２３】 従来技術に基づく第２のセラミック積層体
製造装置による積層方法の他の例での吸引穴の位置関係
を示す概念図である。

【図２４】 従来技術に基づく第３のセラミック積層体
製造装置の一例の斜視図である。

【符号の説明】

１ キャリアフィルム、２，２ｈ，２ｉ，２ｊ セラミ
ックグリーンシート、３ 吸引穴、４ 電極、５ 積層
ジグ、６ 切断刃、１０ キャリアフィルム付きセラミ
ックグリーンシート、２１，２２，２１１，２１２ 圧
着ヘッド、２１ａ Ｘ軸テーブル、２１ｂ 圧着ヘッド
ガイドポスト、４１ 盛上り部、５１Ｙθテーブル、５
２ キャリアフィルム剥離ブロック、５２ａ チャッ
ク、５２ｂ ロール、５３ プレス機、５３ａ パン
チ、５３ｂ 油圧シリンダ、５３ｃベース、５４ Ｘ軸
テーブルリニアガイド。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 セラミックグリーンシートを保持するた
   めの吸着手段を有し、前記セラミックグリーンシートを
   積重ねるとともに、第１の圧力で押圧するための第１の
   圧着ヘッドと、 積み重ねられた前記セラミックグリーンシートを前記第
   １の圧力より高い第２の圧力で押圧するための第２の圧
   着ヘッドとを備える、セラミック積層体製造装置。
2. 【請求項２】 前記第１および第２の圧着ヘッドを所定
   の積層位置に移動させるための圧着ヘッド移動手段と、 前記第１および第２の圧着ヘッドのうち前記積層位置に
   位置するものに、前記セラミックグリーンシートに向け
   て押圧を行なわせるための圧着ヘッド加圧手段とを備え
   る、請求項１に記載のセラミック積層体製造装置。
3. 【請求項３】 前記第２の圧着ヘッドの前記セラミック
   グリーンシートに当接するための領域は平坦面である、
   請求項１または２に記載のセラミック積層体製造装置。
4. 【請求項４】 前記平坦面は、穴のない平坦面である、
   請求項１から３のいずれかに記載のセラミック積層体製
   造装置。
5. 【請求項５】 セラミックグリーンシートを保持するた
   めの吸着手段を有する第１の圧着ヘッドと、 積み重ねられた前記セラミックグリーンシートを押圧す
   るための平坦面を有する第２の圧着ヘッドとを用い、 前記第１の圧着ヘッドで前記セラミックグリーンシート
   を保持し、搬送し、積重ね、第１の圧力で押圧した後
   に、前記第２の圧着ヘッドで前記第１の圧力より高い第
   ２の圧力で押圧する、セラミック積層体製造方法。
6. 【請求項６】 供給されるセラミックグリーンシート
   を、吸引穴を有する第１の圧着ヘッドで吸着する吸着工
   程と、 前記第１の圧着ヘッドに吸着した前記セラミックグリー
   ンシートを所定の積層位置に搬送し、前記第１の圧着ヘ
   ッドに吸着したまま降ろす設置工程と、 前記第１の圧着ヘッドによる前記セラミックグリーンシ
   ートの吸着をやめ、前記セラミックグリーンシートを残
   して前記第１の圧着ヘッドを退避させる退避工程と、 前記セラミックグリーンシートの前記吸引穴が当接して
   いた位置に第２の圧着ヘッドの平坦面を重ね合わせて、
   前記第１の圧着ヘッドで押圧した圧力より強い圧力で押
   圧する押圧工程とを含む、セラミック積層体製造方法。
7. 【請求項７】 前記第２の圧着ヘッドは、前記セラミッ
   クグリーンシートに当接するための領域内に穴のない平
   坦面を含む、請求項６に記載のセラミック積層体製造方
   法。